JPH10274944A - 液晶表示デバイス用基板およびその製法 - Google Patents
液晶表示デバイス用基板およびその製法Info
- Publication number
- JPH10274944A JPH10274944A JP8134897A JP8134897A JPH10274944A JP H10274944 A JPH10274944 A JP H10274944A JP 8134897 A JP8134897 A JP 8134897A JP 8134897 A JP8134897 A JP 8134897A JP H10274944 A JPH10274944 A JP H10274944A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- gas barrier
- substrate
- liquid crystal
- group
- display device
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000000758 substrate Substances 0.000 title claims abstract description 70
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 title claims abstract description 53
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 7
- 239000007789 gas Substances 0.000 claims abstract description 104
- 230000004888 barrier function Effects 0.000 claims abstract description 101
- 239000010409 thin film Substances 0.000 claims abstract description 31
- 239000002985 plastic film Substances 0.000 claims abstract description 26
- 229920006255 plastic film Polymers 0.000 claims abstract description 25
- 125000000217 alkyl group Chemical group 0.000 claims abstract description 13
- 239000004020 conductor Substances 0.000 claims abstract description 13
- 125000004435 hydrogen atom Chemical group [H]* 0.000 claims abstract description 13
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims abstract description 10
- 125000003118 aryl group Chemical group 0.000 claims abstract description 9
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims abstract description 9
- 210000002858 crystal cell Anatomy 0.000 claims abstract description 7
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical group [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 4
- 125000000391 vinyl group Chemical group [H]C([*])=C([H])[H] 0.000 claims abstract description 4
- 125000003647 acryloyl group Chemical group O=C([*])C([H])=C([H])[H] 0.000 claims abstract description 3
- 150000002894 organic compounds Chemical class 0.000 claims description 45
- 239000000203 mixture Substances 0.000 claims description 40
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 claims description 37
- 125000003277 amino group Chemical group 0.000 claims description 12
- 125000000524 functional group Chemical group 0.000 claims description 12
- 238000000576 coating method Methods 0.000 claims description 11
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 claims description 10
- 230000003301 hydrolyzing effect Effects 0.000 claims description 8
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 8
- 150000002736 metal compounds Chemical class 0.000 claims description 6
- 125000002924 primary amino group Chemical group [H]N([H])* 0.000 claims description 5
- 125000000467 secondary amino group Chemical group [H]N([*:1])[*:2] 0.000 claims description 5
- 125000002252 acyl group Chemical group 0.000 claims description 4
- 239000000126 substance Substances 0.000 claims description 4
- 125000003396 thiol group Chemical group [H]S* 0.000 claims description 3
- -1 acryl groups Chemical group 0.000 abstract description 20
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 68
- 239000010408 film Substances 0.000 description 27
- 150000002902 organometallic compounds Chemical class 0.000 description 10
- OKKJLVBELUTLKV-UHFFFAOYSA-N Methanol Chemical compound OC OKKJLVBELUTLKV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 9
- 239000002904 solvent Substances 0.000 description 9
- 238000006482 condensation reaction Methods 0.000 description 6
- 229910000077 silane Inorganic materials 0.000 description 6
- 229920002873 Polyethylenimine Polymers 0.000 description 5
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 5
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 description 5
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 description 5
- 230000035699 permeability Effects 0.000 description 5
- HZAXFHJVJLSVMW-UHFFFAOYSA-N 2-Aminoethan-1-ol Chemical compound NCCO HZAXFHJVJLSVMW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 4
- 230000009467 reduction Effects 0.000 description 4
- LFQCEHFDDXELDD-UHFFFAOYSA-N tetramethyl orthosilicate Chemical compound CO[Si](OC)(OC)OC LFQCEHFDDXELDD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- WYTZZXDRDKSJID-UHFFFAOYSA-N (3-aminopropyl)triethoxysilane Chemical compound CCO[Si](OCC)(OCC)CCCN WYTZZXDRDKSJID-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- ZWEHNKRNPOVVGH-UHFFFAOYSA-N 2-Butanone Chemical compound CCC(C)=O ZWEHNKRNPOVVGH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- SJECZPVISLOESU-UHFFFAOYSA-N 3-trimethoxysilylpropan-1-amine Chemical compound CO[Si](OC)(OC)CCCN SJECZPVISLOESU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- CSCPPACGZOOCGX-UHFFFAOYSA-N Acetone Chemical compound CC(C)=O CSCPPACGZOOCGX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- UHOVQNZJYSORNB-UHFFFAOYSA-N Benzene Chemical compound C1=CC=CC=C1 UHOVQNZJYSORNB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N Ethanol Chemical compound CCO LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- XEKOWRVHYACXOJ-UHFFFAOYSA-N Ethyl acetate Chemical compound CCOC(C)=O XEKOWRVHYACXOJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- LYCAIKOWRPUZTN-UHFFFAOYSA-N Ethylene glycol Chemical compound OCCO LYCAIKOWRPUZTN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- KFZMGEQAYNKOFK-UHFFFAOYSA-N Isopropanol Chemical compound CC(C)O KFZMGEQAYNKOFK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- BOTDANWDWHJENH-UHFFFAOYSA-N Tetraethyl orthosilicate Chemical compound CCO[Si](OCC)(OCC)OCC BOTDANWDWHJENH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- YXFVVABEGXRONW-UHFFFAOYSA-N Toluene Chemical compound CC1=CC=CC=C1 YXFVVABEGXRONW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 150000001252 acrylic acid derivatives Chemical class 0.000 description 3
- 210000004027 cell Anatomy 0.000 description 3
- UAOMVDZJSHZZME-UHFFFAOYSA-N diisopropylamine Chemical compound CC(C)NC(C)C UAOMVDZJSHZZME-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 238000001035 drying Methods 0.000 description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 3
- 125000003700 epoxy group Chemical group 0.000 description 3
- 239000003822 epoxy resin Substances 0.000 description 3
- 150000002148 esters Chemical class 0.000 description 3
- RTZKZFJDLAIYFH-UHFFFAOYSA-N ether Substances CCOCC RTZKZFJDLAIYFH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 230000007062 hydrolysis Effects 0.000 description 3
- 238000006460 hydrolysis reaction Methods 0.000 description 3
- 239000000463 material Substances 0.000 description 3
- VLKZOEOYAKHREP-UHFFFAOYSA-N n-Hexane Chemical compound CCCCCC VLKZOEOYAKHREP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 239000004417 polycarbonate Substances 0.000 description 3
- 229920000647 polyepoxide Polymers 0.000 description 3
- 239000011241 protective layer Substances 0.000 description 3
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 3
- UUODQIKUTGWMPT-UHFFFAOYSA-N 2-fluoro-5-(trifluoromethyl)pyridine Chemical compound FC1=CC=C(C(F)(F)F)C=N1 UUODQIKUTGWMPT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- YEJRWHAVMIAJKC-UHFFFAOYSA-N 4-Butyrolactone Chemical compound O=C1CCCO1 YEJRWHAVMIAJKC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-M Acrylate Chemical compound [O-]C(=O)C=C NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 2
- VVJKKWFAADXIJK-UHFFFAOYSA-N Allylamine Chemical compound NCC=C VVJKKWFAADXIJK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- LCFVJGUPQDGYKZ-UHFFFAOYSA-N Bisphenol A diglycidyl ether Chemical compound C=1C=C(OCC2OC2)C=CC=1C(C)(C)C(C=C1)=CC=C1OCC1CO1 LCFVJGUPQDGYKZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- QUSNBJAOOMFDIB-UHFFFAOYSA-N Ethylamine Chemical compound CCN QUSNBJAOOMFDIB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- LRHPLDYGYMQRHN-UHFFFAOYSA-N N-Butanol Chemical compound CCCCO LRHPLDYGYMQRHN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- IMNFDUFMRHMDMM-UHFFFAOYSA-N N-Heptane Chemical compound CCCCCCC IMNFDUFMRHMDMM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000004695 Polyether sulfone Substances 0.000 description 2
- 239000004697 Polyetherimide Substances 0.000 description 2
- 239000006087 Silane Coupling Agent Substances 0.000 description 2
- 229920002125 Sokalan® Polymers 0.000 description 2
- WYURNTSHIVDZCO-UHFFFAOYSA-N Tetrahydrofuran Chemical compound C1CCOC1 WYURNTSHIVDZCO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- WNLRTRBMVRJNCN-UHFFFAOYSA-N adipic acid Chemical compound OC(=O)CCCCC(O)=O WNLRTRBMVRJNCN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 125000001931 aliphatic group Chemical group 0.000 description 2
- 125000002947 alkylene group Chemical group 0.000 description 2
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 2
- 125000003178 carboxy group Chemical group [H]OC(*)=O 0.000 description 2
- 239000003054 catalyst Substances 0.000 description 2
- 238000009833 condensation Methods 0.000 description 2
- 230000005494 condensation Effects 0.000 description 2
- 229920001577 copolymer Polymers 0.000 description 2
- 238000004132 cross linking Methods 0.000 description 2
- 238000007607 die coating method Methods 0.000 description 2
- 125000003055 glycidyl group Chemical group C(C1CO1)* 0.000 description 2
- NAQMVNRVTILPCV-UHFFFAOYSA-N hexane-1,6-diamine Chemical compound NCCCCCCN NAQMVNRVTILPCV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910003437 indium oxide Inorganic materials 0.000 description 2
- IQPQWNKOIGAROB-UHFFFAOYSA-N isocyanate group Chemical group [N-]=C=O IQPQWNKOIGAROB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 125000005968 oxazolinyl group Chemical group 0.000 description 2
- XNGIFLGASWRNHJ-UHFFFAOYSA-N phthalic acid Chemical compound OC(=O)C1=CC=CC=C1C(O)=O XNGIFLGASWRNHJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000000704 physical effect Effects 0.000 description 2
- 229920003023 plastic Polymers 0.000 description 2
- 229920001230 polyarylate Polymers 0.000 description 2
- 229920000515 polycarbonate Polymers 0.000 description 2
- 229920006393 polyether sulfone Polymers 0.000 description 2
- 229920001601 polyetherimide Polymers 0.000 description 2
- 229920000642 polymer Polymers 0.000 description 2
- WGYKZJWCGVVSQN-UHFFFAOYSA-N propylamine Chemical compound CCCN WGYKZJWCGVVSQN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- KIDHWZJUCRJVML-UHFFFAOYSA-N putrescine Chemical compound NCCCCN KIDHWZJUCRJVML-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 2
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 2
- 239000000243 solution Substances 0.000 description 2
- VXUYXOFXAQZZMF-UHFFFAOYSA-N titanium(IV) isopropoxide Chemical compound CC(C)O[Ti](OC(C)C)(OC(C)C)OC(C)C VXUYXOFXAQZZMF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- BPSIOYPQMFLKFR-UHFFFAOYSA-N trimethoxy-[3-(oxiran-2-ylmethoxy)propyl]silane Chemical compound CO[Si](OC)(OC)CCCOCC1CO1 BPSIOYPQMFLKFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- XFNJVJPLKCPIBV-UHFFFAOYSA-N trimethylenediamine Chemical compound NCCCN XFNJVJPLKCPIBV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- FKTHNVSLHLHISI-UHFFFAOYSA-N 1,2-bis(isocyanatomethyl)benzene Chemical compound O=C=NCC1=CC=CC=C1CN=C=O FKTHNVSLHLHISI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- BPXVHIRIPLPOPT-UHFFFAOYSA-N 1,3,5-tris(2-hydroxyethyl)-1,3,5-triazinane-2,4,6-trione Chemical compound OCCN1C(=O)N(CCO)C(=O)N(CCO)C1=O BPXVHIRIPLPOPT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- SBJCUZQNHOLYMD-UHFFFAOYSA-N 1,5-Naphthalene diisocyanate Chemical compound C1=CC=C2C(N=C=O)=CC=CC2=C1N=C=O SBJCUZQNHOLYMD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- UWFRVQVNYNPBEF-UHFFFAOYSA-N 1-(2,4-dimethylphenyl)propan-1-one Chemical compound CCC(=O)C1=CC=C(C)C=C1C UWFRVQVNYNPBEF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- IVIDDMGBRCPGLJ-UHFFFAOYSA-N 2,3-bis(oxiran-2-ylmethoxy)propan-1-ol Chemical compound C1OC1COC(CO)COCC1CO1 IVIDDMGBRCPGLJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- TZJDSQVHVIJEFA-UHFFFAOYSA-N 2-(7-oxabicyclo[4.1.0]heptan-4-yl)ethyl-tri(propan-2-yloxy)silane Chemical compound C1C(CC[Si](OC(C)C)(OC(C)C)OC(C)C)CCC2OC21 TZJDSQVHVIJEFA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- SYEWHONLFGZGLK-UHFFFAOYSA-N 2-[1,3-bis(oxiran-2-ylmethoxy)propan-2-yloxymethyl]oxirane Chemical compound C1OC1COCC(OCC1OC1)COCC1CO1 SYEWHONLFGZGLK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- HDPLHDGYGLENEI-UHFFFAOYSA-N 2-[1-(oxiran-2-ylmethoxy)propan-2-yloxymethyl]oxirane Chemical compound C1OC1COC(C)COCC1CO1 HDPLHDGYGLENEI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- RQZUWSJHFBOFPI-UHFFFAOYSA-N 2-[1-[1-(oxiran-2-ylmethoxy)propan-2-yloxy]propan-2-yloxymethyl]oxirane Chemical compound C1OC1COC(C)COC(C)COCC1CO1 RQZUWSJHFBOFPI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- FVCHRIQAIOHAIC-UHFFFAOYSA-N 2-[1-[1-[1-(oxiran-2-ylmethoxy)propan-2-yloxy]propan-2-yloxy]propan-2-yloxymethyl]oxirane Chemical compound C1OC1COC(C)COC(C)COC(C)COCC1CO1 FVCHRIQAIOHAIC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- SEFYJVFBMNOLBK-UHFFFAOYSA-N 2-[2-[2-(oxiran-2-ylmethoxy)ethoxy]ethoxymethyl]oxirane Chemical compound C1OC1COCCOCCOCC1CO1 SEFYJVFBMNOLBK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- VSRMIIBCXRHPCC-UHFFFAOYSA-N 2-[2-[2-[2-[2-(oxiran-2-ylmethoxy)ethoxy]ethoxy]ethoxy]ethoxymethyl]oxirane Chemical compound C1OC1COCCOCCOCCOCCOCC1CO1 VSRMIIBCXRHPCC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- WTYYGFLRBWMFRY-UHFFFAOYSA-N 2-[6-(oxiran-2-ylmethoxy)hexoxymethyl]oxirane Chemical compound C1OC1COCCCCCCOCC1CO1 WTYYGFLRBWMFRY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- KUAUJXBLDYVELT-UHFFFAOYSA-N 2-[[2,2-dimethyl-3-(oxiran-2-ylmethoxy)propoxy]methyl]oxirane Chemical compound C1OC1COCC(C)(C)COCC1CO1 KUAUJXBLDYVELT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- PLDLPVSQYMQDBL-UHFFFAOYSA-N 2-[[3-(oxiran-2-ylmethoxy)-2,2-bis(oxiran-2-ylmethoxymethyl)propoxy]methyl]oxirane Chemical compound C1OC1COCC(COCC1OC1)(COCC1OC1)COCC1CO1 PLDLPVSQYMQDBL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- AGXAFZNONAXBOS-UHFFFAOYSA-N 2-[[3-(oxiran-2-ylmethyl)phenyl]methyl]oxirane Chemical compound C=1C=CC(CC2OC2)=CC=1CC1CO1 AGXAFZNONAXBOS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- FSYPIGPPWAJCJG-UHFFFAOYSA-N 2-[[4-(oxiran-2-ylmethoxy)phenoxy]methyl]oxirane Chemical compound C1OC1COC(C=C1)=CC=C1OCC1CO1 FSYPIGPPWAJCJG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- LTHNHFOGQMKPOV-UHFFFAOYSA-N 2-ethylhexan-1-amine Chemical compound CCCCC(CC)CN LTHNHFOGQMKPOV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- NJBCRXCAPCODGX-UHFFFAOYSA-N 2-methyl-n-(2-methylpropyl)propan-1-amine Chemical compound CC(C)CNCC(C)C NJBCRXCAPCODGX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ZUCADJKKDINPSW-UHFFFAOYSA-N 3-[dibutoxy(ethyl)silyl]propan-1-amine Chemical compound CCCCO[Si](CC)(CCCN)OCCCC ZUCADJKKDINPSW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- LAYIREOMKATBAT-UHFFFAOYSA-N 3-[dibutoxy(methyl)silyl]propan-1-amine Chemical compound CCCCO[Si](C)(CCCN)OCCCC LAYIREOMKATBAT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- BNYFUBOZYDQIDU-UHFFFAOYSA-N 3-[diethoxy(ethyl)silyl]propan-1-amine Chemical compound CCO[Si](CC)(OCC)CCCN BNYFUBOZYDQIDU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- HXLAEGYMDGUSBD-UHFFFAOYSA-N 3-[diethoxy(methyl)silyl]propan-1-amine Chemical compound CCO[Si](C)(OCC)CCCN HXLAEGYMDGUSBD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ZYAASQNKCWTPKI-UHFFFAOYSA-N 3-[dimethoxy(methyl)silyl]propan-1-amine Chemical compound CO[Si](C)(OC)CCCN ZYAASQNKCWTPKI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- TZVMHTHUWCFVQH-UHFFFAOYSA-N 3-[ethyl(dimethoxy)silyl]propan-1-amine Chemical compound CC[Si](OC)(OC)CCCN TZVMHTHUWCFVQH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- LHNRUQHMRIZFHY-UHFFFAOYSA-N 3-[methyl-di(propan-2-yloxy)silyl]propan-1-amine Chemical compound CC(C)O[Si](C)(OC(C)C)CCCN LHNRUQHMRIZFHY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- WGKYSFRFMQHMOF-UHFFFAOYSA-N 3-bromo-5-methylpyridine-2-carbonitrile Chemical compound CC1=CN=C(C#N)C(Br)=C1 WGKYSFRFMQHMOF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- SOYBEXQHNURCGE-UHFFFAOYSA-N 3-ethoxypropan-1-amine Chemical compound CCOCCCN SOYBEXQHNURCGE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- XYUINKARGUCCQJ-UHFFFAOYSA-N 3-imino-n-propylpropan-1-amine Chemical compound CCCNCCC=N XYUINKARGUCCQJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- FMGBDYLOANULLW-UHFFFAOYSA-N 3-isocyanatopropyl(trimethoxy)silane Chemical compound CO[Si](OC)(OC)CCCN=C=O FMGBDYLOANULLW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- KDNRZXGNYXGIFO-UHFFFAOYSA-N 3-isocyanopropyl-dimethoxy-methylsilane Chemical compound CO[Si](C)(OC)CCC[N+]#[C-] KDNRZXGNYXGIFO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- FAXDZWQIWUSWJH-UHFFFAOYSA-N 3-methoxypropan-1-amine Chemical compound COCCCN FAXDZWQIWUSWJH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- MECNWXGGNCJFQJ-UHFFFAOYSA-N 3-piperidin-1-ylpropane-1,2-diol Chemical compound OCC(O)CN1CCCCC1 MECNWXGGNCJFQJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- OXKAXHPVFLEQHV-UHFFFAOYSA-N 3-tri(propan-2-yloxy)silylpropan-1-amine Chemical compound CC(C)O[Si](OC(C)C)(OC(C)C)CCCN OXKAXHPVFLEQHV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- UAHAMNBFDHWCPU-UHFFFAOYSA-N 3-tributoxysilylpropan-1-amine Chemical compound CCCCO[Si](CCCN)(OCCCC)OCCCC UAHAMNBFDHWCPU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- DCQBZYNUSLHVJC-UHFFFAOYSA-N 3-triethoxysilylpropane-1-thiol Chemical compound CCO[Si](OCC)(OCC)CCCS DCQBZYNUSLHVJC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- URDOJQUSEUXVRP-UHFFFAOYSA-N 3-triethoxysilylpropyl 2-methylprop-2-enoate Chemical compound CCO[Si](OCC)(OCC)CCCOC(=O)C(C)=C URDOJQUSEUXVRP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- UUEWCQRISZBELL-UHFFFAOYSA-N 3-trimethoxysilylpropane-1-thiol Chemical compound CO[Si](OC)(OC)CCCS UUEWCQRISZBELL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- XDLMVUHYZWKMMD-UHFFFAOYSA-N 3-trimethoxysilylpropyl 2-methylprop-2-enoate Chemical compound CO[Si](OC)(OC)CCCOC(=O)C(C)=C XDLMVUHYZWKMMD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- VPWNQTHUCYMVMZ-UHFFFAOYSA-N 4,4'-sulfonyldiphenol Chemical compound C1=CC(O)=CC=C1S(=O)(=O)C1=CC=C(O)C=C1 VPWNQTHUCYMVMZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- SAIKULLUBZKPDA-UHFFFAOYSA-N Bis(2-ethylhexyl) amine Chemical compound CCCCC(CC)CNCC(CC)CCCC SAIKULLUBZKPDA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- DKPFZGUDAPQIHT-UHFFFAOYSA-N Butyl acetate Natural products CCCCOC(C)=O DKPFZGUDAPQIHT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229920000298 Cellophane Polymers 0.000 description 1
- FEWJPZIEWOKRBE-JCYAYHJZSA-N Dextrotartaric acid Chemical compound OC(=O)[C@H](O)[C@@H](O)C(O)=O FEWJPZIEWOKRBE-JCYAYHJZSA-N 0.000 description 1
- WPYCRFCQABTEKC-UHFFFAOYSA-N Diglycidyl resorcinol ether Chemical compound C1OC1COC(C=1)=CC=CC=1OCC1CO1 WPYCRFCQABTEKC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229920000219 Ethylene vinyl alcohol Polymers 0.000 description 1
- PIICEJLVQHRZGT-UHFFFAOYSA-N Ethylenediamine Chemical compound NCCN PIICEJLVQHRZGT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000005057 Hexamethylene diisocyanate Substances 0.000 description 1
- CERQOIWHTDAKMF-UHFFFAOYSA-N Methacrylic acid Chemical compound CC(=C)C(O)=O CERQOIWHTDAKMF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- NTIZESTWPVYFNL-UHFFFAOYSA-N Methyl isobutyl ketone Chemical compound CC(C)CC(C)=O NTIZESTWPVYFNL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- UIHCLUNTQKBZGK-UHFFFAOYSA-N Methyl isobutyl ketone Natural products CCC(C)C(C)=O UIHCLUNTQKBZGK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- QORUGOXNWQUALA-UHFFFAOYSA-N N=C=O.N=C=O.N=C=O.C1=CC=C(C(C2=CC=CC=C2)C2=CC=CC=C2)C=C1 Chemical compound N=C=O.N=C=O.N=C=O.C1=CC=C(C(C2=CC=CC=C2)C2=CC=CC=C2)C=C1 QORUGOXNWQUALA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- CTQNGGLPUBDAKN-UHFFFAOYSA-N O-Xylene Chemical compound CC1=CC=CC=C1C CTQNGGLPUBDAKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229920003171 Poly (ethylene oxide) Polymers 0.000 description 1
- 239000004696 Poly ether ether ketone Substances 0.000 description 1
- 239000004642 Polyimide Substances 0.000 description 1
- 229920001328 Polyvinylidene chloride Polymers 0.000 description 1
- 239000005700 Putrescine Substances 0.000 description 1
- 229910006404 SnO 2 Inorganic materials 0.000 description 1
- FEWJPZIEWOKRBE-UHFFFAOYSA-N Tartaric acid Natural products [H+].[H+].[O-]C(=O)C(O)C(O)C([O-])=O FEWJPZIEWOKRBE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- UMILHIMHKXVDGH-UHFFFAOYSA-N Triethylene glycol diglycidyl ether Chemical compound C1OC1COCCOCCOCCOCC1CO1 UMILHIMHKXVDGH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- MZVQCMJNVPIDEA-UHFFFAOYSA-N [CH2]CN(CC)CC Chemical group [CH2]CN(CC)CC MZVQCMJNVPIDEA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- KXBFLNPZHXDQLV-UHFFFAOYSA-N [cyclohexyl(diisocyanato)methyl]cyclohexane Chemical compound C1CCCCC1C(N=C=O)(N=C=O)C1CCCCC1 KXBFLNPZHXDQLV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- FFQCSDOYDVGJLQ-UHFFFAOYSA-N [diacetyloxy(3-aminopropyl)silyl] acetate Chemical compound CC(=O)O[Si](OC(C)=O)(OC(C)=O)CCCN FFQCSDOYDVGJLQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- TVJPBVNWVPUZBM-UHFFFAOYSA-N [diacetyloxy(methyl)silyl] acetate Chemical compound CC(=O)O[Si](C)(OC(C)=O)OC(C)=O TVJPBVNWVPUZBM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- NJSVDVPGINTNGX-UHFFFAOYSA-N [dimethoxy(propyl)silyl]oxymethanamine Chemical compound CCC[Si](OC)(OC)OCN NJSVDVPGINTNGX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000002253 acid Substances 0.000 description 1
- 235000011037 adipic acid Nutrition 0.000 description 1
- 239000001361 adipic acid Substances 0.000 description 1
- 150000001298 alcohols Chemical class 0.000 description 1
- 125000005370 alkoxysilyl group Chemical group 0.000 description 1
- 150000003973 alkyl amines Chemical class 0.000 description 1
- 230000004075 alteration Effects 0.000 description 1
- SMZOGRDCAXLAAR-UHFFFAOYSA-N aluminium isopropoxide Chemical compound [Al+3].CC(C)[O-].CC(C)[O-].CC(C)[O-] SMZOGRDCAXLAAR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- JPUHCPXFQIXLMW-UHFFFAOYSA-N aluminium triethoxide Chemical compound CCO[Al](OCC)OCC JPUHCPXFQIXLMW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000002518 antifoaming agent Substances 0.000 description 1
- 150000004945 aromatic hydrocarbons Chemical class 0.000 description 1
- 229920003233 aromatic nylon Polymers 0.000 description 1
- 238000007611 bar coating method Methods 0.000 description 1
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 1
- KBWLNCUTNDKMPN-UHFFFAOYSA-N bis(oxiran-2-ylmethyl) hexanedioate Chemical compound C1OC1COC(=O)CCCCC(=O)OCC1CO1 KBWLNCUTNDKMPN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- XUCHXOAWJMEFLF-UHFFFAOYSA-N bisphenol F diglycidyl ether Chemical compound C1OC1COC(C=C1)=CC=C1CC(C=C1)=CC=C1OCC1CO1 XUCHXOAWJMEFLF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- YHWCPXVTRSHPNY-UHFFFAOYSA-N butan-1-olate;titanium(4+) Chemical compound [Ti+4].CCCC[O-].CCCC[O-].CCCC[O-].CCCC[O-] YHWCPXVTRSHPNY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- BSDOQSMQCZQLDV-UHFFFAOYSA-N butan-1-olate;zirconium(4+) Chemical compound [Zr+4].CCCC[O-].CCCC[O-].CCCC[O-].CCCC[O-] BSDOQSMQCZQLDV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000007809 chemical reaction catalyst Substances 0.000 description 1
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 1
- 239000003431 cross linking reagent Substances 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- MGQFVQQCNPBJKC-UHFFFAOYSA-N dibutoxy(diethyl)silane Chemical compound CCCCO[Si](CC)(CC)OCCCC MGQFVQQCNPBJKC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- GQNWJCQWBFHQAO-UHFFFAOYSA-N dibutoxy(dimethyl)silane Chemical compound CCCCO[Si](C)(C)OCCCC GQNWJCQWBFHQAO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 150000001991 dicarboxylic acids Chemical class 0.000 description 1
- ZBCBWPMODOFKDW-UHFFFAOYSA-N diethanolamine Chemical compound OCCNCCO ZBCBWPMODOFKDW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ZMAPKOCENOWQRE-UHFFFAOYSA-N diethoxy(diethyl)silane Chemical compound CCO[Si](CC)(CC)OCC ZMAPKOCENOWQRE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- APUCFCMRGXIEBB-UHFFFAOYSA-N diethoxy-(3-isocyanopropyl)-methylsilane Chemical compound CCO[Si](C)(OCC)CCC[N+]#[C-] APUCFCMRGXIEBB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ASGKDLGXPOIMTM-UHFFFAOYSA-N diethoxy-methyl-[2-(7-oxabicyclo[4.1.0]heptan-4-yl)ethyl]silane Chemical compound C1C(CC[Si](C)(OCC)OCC)CCC2OC21 ASGKDLGXPOIMTM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- OTARVPUIYXHRRB-UHFFFAOYSA-N diethoxy-methyl-[3-(oxiran-2-ylmethoxy)propyl]silane Chemical compound CCO[Si](C)(OCC)CCCOCC1CO1 OTARVPUIYXHRRB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- VSYLGGHSEIWGJV-UHFFFAOYSA-N diethyl(dimethoxy)silane Chemical compound CC[Si](CC)(OC)OC VSYLGGHSEIWGJV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ZWPNXHXXRLYCHZ-UHFFFAOYSA-N diethyl-di(propan-2-yloxy)silane Chemical compound CC(C)O[Si](CC)(CC)OC(C)C ZWPNXHXXRLYCHZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- HPNMFZURTQLUMO-UHFFFAOYSA-N diethylamine Chemical compound CCNCC HPNMFZURTQLUMO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- GPLRAVKSCUXZTP-UHFFFAOYSA-N diglycerol Chemical compound OCC(O)COCC(O)CO GPLRAVKSCUXZTP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- GYZLOYUZLJXAJU-UHFFFAOYSA-N diglycidyl ether Chemical compound C1OC1COCC1CO1 GYZLOYUZLJXAJU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 125000005442 diisocyanate group Chemical group 0.000 description 1
- 229940043279 diisopropylamine Drugs 0.000 description 1
- JJQZDUKDJDQPMQ-UHFFFAOYSA-N dimethoxy(dimethyl)silane Chemical compound CO[Si](C)(C)OC JJQZDUKDJDQPMQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- SLQTWNAJXFHMHM-UHFFFAOYSA-N dimethoxy-methyl-[2-(7-oxabicyclo[4.1.0]heptan-4-yl)ethyl]silane Chemical compound C1C(CC[Si](C)(OC)OC)CCC2OC21 SLQTWNAJXFHMHM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- WHGNXNCOTZPEEK-UHFFFAOYSA-N dimethoxy-methyl-[3-(oxiran-2-ylmethoxy)propyl]silane Chemical compound CO[Si](C)(OC)CCCOCC1CO1 WHGNXNCOTZPEEK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- BPXCAJONOPIXJI-UHFFFAOYSA-N dimethyl-di(propan-2-yloxy)silane Chemical compound CC(C)O[Si](C)(C)OC(C)C BPXCAJONOPIXJI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- IUNMPGNGSSIWFP-UHFFFAOYSA-N dimethylaminopropylamine Chemical compound CN(C)CCCN IUNMPGNGSSIWFP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- YYLGKUPAFFKGRQ-UHFFFAOYSA-N dimethyldiethoxysilane Chemical compound CCO[Si](C)(C)OCC YYLGKUPAFFKGRQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000003618 dip coating Methods 0.000 description 1
- POLCUAVZOMRGSN-UHFFFAOYSA-N dipropyl ether Chemical compound CCCOCCC POLCUAVZOMRGSN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ASBGGHMVAMBCOR-UHFFFAOYSA-N ethanolate;zirconium(4+) Chemical compound [Zr+4].CC[O-].CC[O-].CC[O-].CC[O-] ASBGGHMVAMBCOR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- FWDBOZPQNFPOLF-UHFFFAOYSA-N ethenyl(triethoxy)silane Chemical compound CCO[Si](OCC)(OCC)C=C FWDBOZPQNFPOLF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- NKSJNEHGWDZZQF-UHFFFAOYSA-N ethenyl(trimethoxy)silane Chemical compound CO[Si](OC)(OC)C=C NKSJNEHGWDZZQF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- MABAWBWRUSBLKQ-UHFFFAOYSA-N ethenyl-tri(propan-2-yloxy)silane Chemical compound CC(C)O[Si](OC(C)C)(OC(C)C)C=C MABAWBWRUSBLKQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 150000002170 ethers Chemical class 0.000 description 1
- SBRXLTRZCJVAPH-UHFFFAOYSA-N ethyl(trimethoxy)silane Chemical compound CC[Si](OC)(OC)OC SBRXLTRZCJVAPH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- MYEJNNDSIXAGNK-UHFFFAOYSA-N ethyl-tri(propan-2-yloxy)silane Chemical compound CC(C)O[Si](CC)(OC(C)C)OC(C)C MYEJNNDSIXAGNK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229960005237 etoglucid Drugs 0.000 description 1
- 238000011156 evaluation Methods 0.000 description 1
- 230000008020 evaporation Effects 0.000 description 1
- 238000001704 evaporation Methods 0.000 description 1
- RRAMGCGOFNQTLD-UHFFFAOYSA-N hexamethylene diisocyanate Chemical compound O=C=NCCCCCCN=C=O RRAMGCGOFNQTLD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- FUZZWVXGSFPDMH-UHFFFAOYSA-M hexanoate Chemical compound CCCCCC([O-])=O FUZZWVXGSFPDMH-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- 229920001519 homopolymer Polymers 0.000 description 1
- 229930195733 hydrocarbon Natural products 0.000 description 1
- 150000002430 hydrocarbons Chemical class 0.000 description 1
- 125000002887 hydroxy group Chemical group [H]O* 0.000 description 1
- 230000001771 impaired effect Effects 0.000 description 1
- 229910052738 indium Inorganic materials 0.000 description 1
- APFVFJFRJDLVQX-UHFFFAOYSA-N indium atom Chemical compound [In] APFVFJFRJDLVQX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- RHZWSUVWRRXEJF-UHFFFAOYSA-N indium tin Chemical compound [In].[Sn] RHZWSUVWRRXEJF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- PJXISJQVUVHSOJ-UHFFFAOYSA-N indium(iii) oxide Chemical compound [O-2].[O-2].[O-2].[In+3].[In+3] PJXISJQVUVHSOJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000012948 isocyanate Substances 0.000 description 1
- 150000002513 isocyanates Chemical class 0.000 description 1
- JJWLVOIRVHMVIS-UHFFFAOYSA-N isopropylamine Chemical compound CC(C)N JJWLVOIRVHMVIS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 150000002576 ketones Chemical class 0.000 description 1
- 238000010030 laminating Methods 0.000 description 1
- HLXDKGBELJJMHR-UHFFFAOYSA-N methyl-tri(propan-2-yloxy)silane Chemical compound CC(C)O[Si](C)(OC(C)C)OC(C)C HLXDKGBELJJMHR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- BFXIKLCIZHOAAZ-UHFFFAOYSA-N methyltrimethoxysilane Chemical compound CO[Si](C)(OC)OC BFXIKLCIZHOAAZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- KYCGURZGBKFEQB-UHFFFAOYSA-N n',n'-dibutylpropane-1,3-diamine Chemical compound CCCCN(CCCC)CCCN KYCGURZGBKFEQB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- QOHMWDJIBGVPIF-UHFFFAOYSA-N n',n'-diethylpropane-1,3-diamine Chemical compound CCN(CC)CCCN QOHMWDJIBGVPIF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- KMBPCQSCMCEPMU-UHFFFAOYSA-N n'-(3-aminopropyl)-n'-methylpropane-1,3-diamine Chemical compound NCCCN(C)CCCN KMBPCQSCMCEPMU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- YLBPOJLDZXHVRR-UHFFFAOYSA-N n'-[3-[diethoxy(methyl)silyl]propyl]ethane-1,2-diamine Chemical compound CCO[Si](C)(OCC)CCCNCCN YLBPOJLDZXHVRR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- DYUWTXWIYMHBQS-UHFFFAOYSA-N n-prop-2-enylprop-2-en-1-amine Chemical compound C=CCNCC=C DYUWTXWIYMHBQS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000012299 nitrogen atmosphere Substances 0.000 description 1
- 229920000847 nonoxynol Polymers 0.000 description 1
- TVMXDCGIABBOFY-UHFFFAOYSA-N octane Chemical compound CCCCCCCC TVMXDCGIABBOFY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 1
- 239000006259 organic additive Substances 0.000 description 1
- 239000004033 plastic Substances 0.000 description 1
- 239000004014 plasticizer Substances 0.000 description 1
- 229920000083 poly(allylamine) Polymers 0.000 description 1
- 229920002492 poly(sulfone) Polymers 0.000 description 1
- 239000004584 polyacrylic acid Substances 0.000 description 1
- 229920001707 polybutylene terephthalate Polymers 0.000 description 1
- 229920006289 polycarbonate film Polymers 0.000 description 1
- 238000006068 polycondensation reaction Methods 0.000 description 1
- 229920000728 polyester Polymers 0.000 description 1
- 229920002530 polyetherether ketone Polymers 0.000 description 1
- 229920000139 polyethylene terephthalate Polymers 0.000 description 1
- 239000005020 polyethylene terephthalate Substances 0.000 description 1
- 229920001721 polyimide Polymers 0.000 description 1
- 239000005033 polyvinylidene chloride Substances 0.000 description 1
- ZGSOBQAJAUGRBK-UHFFFAOYSA-N propan-2-olate;zirconium(4+) Chemical compound [Zr+4].CC(C)[O-].CC(C)[O-].CC(C)[O-].CC(C)[O-] ZGSOBQAJAUGRBK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- HCOKJWUULRTBRS-UHFFFAOYSA-N propan-2-yloxysilane Chemical compound CC(C)O[SiH3] HCOKJWUULRTBRS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- AOHJOMMDDJHIJH-UHFFFAOYSA-N propylenediamine Chemical compound CC(N)CN AOHJOMMDDJHIJH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 150000004819 silanols Chemical class 0.000 description 1
- 238000003756 stirring Methods 0.000 description 1
- 235000002906 tartaric acid Nutrition 0.000 description 1
- 239000011975 tartaric acid Substances 0.000 description 1
- UQMOLLPKNHFRAC-UHFFFAOYSA-N tetrabutyl silicate Chemical compound CCCCO[Si](OCCCC)(OCCCC)OCCCC UQMOLLPKNHFRAC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- YLQBMQCUIZJEEH-UHFFFAOYSA-N tetrahydrofuran Natural products C=1C=COC=1 YLQBMQCUIZJEEH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ZUEKXCXHTXJYAR-UHFFFAOYSA-N tetrapropan-2-yl silicate Chemical compound CC(C)O[Si](OC(C)C)(OC(C)C)OC(C)C ZUEKXCXHTXJYAR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229920002803 thermoplastic polyurethane Polymers 0.000 description 1
- 239000002562 thickening agent Substances 0.000 description 1
- XOLBLPGZBRYERU-UHFFFAOYSA-N tin dioxide Chemical compound O=[Sn]=O XOLBLPGZBRYERU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910001887 tin oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052719 titanium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010936 titanium Substances 0.000 description 1
- JMXKSZRRTHPKDL-UHFFFAOYSA-N titanium ethoxide Chemical compound [Ti+4].CC[O-].CC[O-].CC[O-].CC[O-] JMXKSZRRTHPKDL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- DVKJHBMWWAPEIU-UHFFFAOYSA-N toluene 2,4-diisocyanate Chemical compound CC1=CC=C(N=C=O)C=C1N=C=O DVKJHBMWWAPEIU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- YZVRVDPMGYFCGL-UHFFFAOYSA-N triacetyloxysilyl acetate Chemical compound CC(=O)O[Si](OC(C)=O)(OC(C)=O)OC(C)=O YZVRVDPMGYFCGL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- SGCFZHOZKKQIBU-UHFFFAOYSA-N tributoxy(ethenyl)silane Chemical compound CCCCO[Si](OCCCC)(OCCCC)C=C SGCFZHOZKKQIBU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- GIHPVQDFBJMUAO-UHFFFAOYSA-N tributoxy(ethyl)silane Chemical compound CCCCO[Si](CC)(OCCCC)OCCCC GIHPVQDFBJMUAO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- GYZQBXUDWTVJDF-UHFFFAOYSA-N tributoxy(methyl)silane Chemical compound CCCCO[Si](C)(OCCCC)OCCCC GYZQBXUDWTVJDF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- CKIXFRABPZURLY-UHFFFAOYSA-N triethoxy(3-isocyanopropyl)silane Chemical compound CCO[Si](OCC)(OCC)CCC[N+]#[C-] CKIXFRABPZURLY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- DENFJSAFJTVPJR-UHFFFAOYSA-N triethoxy(ethyl)silane Chemical compound CCO[Si](CC)(OCC)OCC DENFJSAFJTVPJR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- CPUDPFPXCZDNGI-UHFFFAOYSA-N triethoxy(methyl)silane Chemical compound CCO[Si](C)(OCC)OCC CPUDPFPXCZDNGI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- UDUKMRHNZZLJRB-UHFFFAOYSA-N triethoxy-[2-(7-oxabicyclo[4.1.0]heptan-4-yl)ethyl]silane Chemical compound C1C(CC[Si](OCC)(OCC)OCC)CCC2OC21 UDUKMRHNZZLJRB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- JXUKBNICSRJFAP-UHFFFAOYSA-N triethoxy-[3-(oxiran-2-ylmethoxy)propyl]silane Chemical compound CCO[Si](OCC)(OCC)CCCOCC1CO1 JXUKBNICSRJFAP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- DQZNLOXENNXVAD-UHFFFAOYSA-N trimethoxy-[2-(7-oxabicyclo[4.1.0]heptan-4-yl)ethyl]silane Chemical compound C1C(CC[Si](OC)(OC)OC)CCC2OC21 DQZNLOXENNXVAD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- AAPLIUHOKVUFCC-UHFFFAOYSA-N trimethylsilanol Chemical compound C[Si](C)(C)O AAPLIUHOKVUFCC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 description 1
- 239000008096 xylene Substances 0.000 description 1
- 229910052726 zirconium Inorganic materials 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
- G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
- G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour
- G02F1/13—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
- G02F1/133—Constructional arrangements; Operation of liquid crystal cells; Circuit arrangements
- G02F1/1333—Constructional arrangements; Manufacturing methods
- G02F1/133345—Insulating layers
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C08—ORGANIC MACROMOLECULAR COMPOUNDS; THEIR PREPARATION OR CHEMICAL WORKING-UP; COMPOSITIONS BASED THEREON
- C08J—WORKING-UP; GENERAL PROCESSES OF COMPOUNDING; AFTER-TREATMENT NOT COVERED BY SUBCLASSES C08B, C08C, C08F, C08G or C08H
- C08J7/00—Chemical treatment or coating of shaped articles made of macromolecular substances
- C08J7/04—Coating
- C08J7/0427—Coating with only one layer of a composition containing a polymer binder
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C08—ORGANIC MACROMOLECULAR COMPOUNDS; THEIR PREPARATION OR CHEMICAL WORKING-UP; COMPOSITIONS BASED THEREON
- C08J—WORKING-UP; GENERAL PROCESSES OF COMPOUNDING; AFTER-TREATMENT NOT COVERED BY SUBCLASSES C08B, C08C, C08F, C08G or C08H
- C08J7/00—Chemical treatment or coating of shaped articles made of macromolecular substances
- C08J7/04—Coating
- C08J7/043—Improving the adhesiveness of the coatings per se, e.g. forming primers
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C08—ORGANIC MACROMOLECULAR COMPOUNDS; THEIR PREPARATION OR CHEMICAL WORKING-UP; COMPOSITIONS BASED THEREON
- C08J—WORKING-UP; GENERAL PROCESSES OF COMPOUNDING; AFTER-TREATMENT NOT COVERED BY SUBCLASSES C08B, C08C, C08F, C08G or C08H
- C08J7/00—Chemical treatment or coating of shaped articles made of macromolecular substances
- C08J7/04—Coating
- C08J7/044—Forming conductive coatings; Forming coatings having anti-static properties
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C08—ORGANIC MACROMOLECULAR COMPOUNDS; THEIR PREPARATION OR CHEMICAL WORKING-UP; COMPOSITIONS BASED THEREON
- C08J—WORKING-UP; GENERAL PROCESSES OF COMPOUNDING; AFTER-TREATMENT NOT COVERED BY SUBCLASSES C08B, C08C, C08F, C08G or C08H
- C08J7/00—Chemical treatment or coating of shaped articles made of macromolecular substances
- C08J7/04—Coating
- C08J7/048—Forming gas barrier coatings
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C09—DYES; PAINTS; POLISHES; NATURAL RESINS; ADHESIVES; COMPOSITIONS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; APPLICATIONS OF MATERIALS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- C09D—COATING COMPOSITIONS, e.g. PAINTS, VARNISHES OR LACQUERS; FILLING PASTES; CHEMICAL PAINT OR INK REMOVERS; INKS; CORRECTING FLUIDS; WOODSTAINS; PASTES OR SOLIDS FOR COLOURING OR PRINTING; USE OF MATERIALS THEREFOR
- C09D163/00—Coating compositions based on epoxy resins; Coating compositions based on derivatives of epoxy resins
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C09—DYES; PAINTS; POLISHES; NATURAL RESINS; ADHESIVES; COMPOSITIONS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; APPLICATIONS OF MATERIALS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- C09D—COATING COMPOSITIONS, e.g. PAINTS, VARNISHES OR LACQUERS; FILLING PASTES; CHEMICAL PAINT OR INK REMOVERS; INKS; CORRECTING FLUIDS; WOODSTAINS; PASTES OR SOLIDS FOR COLOURING OR PRINTING; USE OF MATERIALS THEREFOR
- C09D183/00—Coating compositions based on macromolecular compounds obtained by reactions forming in the main chain of the macromolecule a linkage containing silicon, with or without sulfur, nitrogen, oxygen, or carbon only; Coating compositions based on derivatives of such polymers
- C09D183/14—Coating compositions based on macromolecular compounds obtained by reactions forming in the main chain of the macromolecule a linkage containing silicon, with or without sulfur, nitrogen, oxygen, or carbon only; Coating compositions based on derivatives of such polymers in which at least two but not all the silicon atoms are connected by linkages other than oxygen atoms
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C09—DYES; PAINTS; POLISHES; NATURAL RESINS; ADHESIVES; COMPOSITIONS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; APPLICATIONS OF MATERIALS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- C09D—COATING COMPOSITIONS, e.g. PAINTS, VARNISHES OR LACQUERS; FILLING PASTES; CHEMICAL PAINT OR INK REMOVERS; INKS; CORRECTING FLUIDS; WOODSTAINS; PASTES OR SOLIDS FOR COLOURING OR PRINTING; USE OF MATERIALS THEREFOR
- C09D185/00—Coating compositions based on macromolecular compounds obtained by reactions forming in the main chain of the macromolecule a linkage containing atoms other than silicon, sulfur, nitrogen, oxygen, and carbon; Coating compositions based on derivatives of such polymers
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C08—ORGANIC MACROMOLECULAR COMPOUNDS; THEIR PREPARATION OR CHEMICAL WORKING-UP; COMPOSITIONS BASED THEREON
- C08J—WORKING-UP; GENERAL PROCESSES OF COMPOUNDING; AFTER-TREATMENT NOT COVERED BY SUBCLASSES C08B, C08C, C08F, C08G or C08H
- C08J2463/00—Characterised by the use of epoxy resins; Derivatives of epoxy resins
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C09—DYES; PAINTS; POLISHES; NATURAL RESINS; ADHESIVES; COMPOSITIONS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; APPLICATIONS OF MATERIALS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- C09K—MATERIALS FOR MISCELLANEOUS APPLICATIONS, NOT PROVIDED FOR ELSEWHERE
- C09K2323/00—Functional layers of liquid crystal optical display excluding electroactive liquid crystal layer characterised by chemical composition
- C09K2323/02—Alignment layer characterised by chemical composition
- C09K2323/025—Polyamide
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
- Y10T428/00—Stock material or miscellaneous articles
- Y10T428/31504—Composite [nonstructural laminate]
- Y10T428/31511—Of epoxy ether
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
- Y10T428/00—Stock material or miscellaneous articles
- Y10T428/31504—Composite [nonstructural laminate]
- Y10T428/31551—Of polyamidoester [polyurethane, polyisocyanate, polycarbamate, etc.]
- Y10T428/31598—Next to silicon-containing [silicone, cement, etc.] layer
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Polymers & Plastics (AREA)
- Medicinal Chemistry (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Wood Science & Technology (AREA)
- Nonlinear Science (AREA)
- Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
- Mathematical Physics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Coating Of Shaped Articles Made Of Macromolecular Substances (AREA)
- Laminated Bodies (AREA)
- Devices For Indicating Variable Information By Combining Individual Elements (AREA)
- Liquid Crystal (AREA)
Abstract
(57)【要約】 (修正有)
【課題】 プラスチックフィルムを液晶表示デバイス用
基板として用いる場合に起るガスバリア性の問題を解決
し、液晶表示デバイスの薄型化に貢献する。 【解決手段】 液晶表示デバイスの液晶セルを挟持する
ための基板であって、プラスチックフィルム基材の片面
に、ガスバリア性の薄膜と透明導電性物質の薄膜を順次
形成し、ガスバリア性の薄膜が、 R1 mM(OR2 )n で示される有機金属化合物及び/又はその加水分解縮合
物を必須成分として含有するガスバリア用組成物を基材
にコーティングする。(Mは金属元素、R1 は異なって
いてもよく、水素原子、低級アルキル基、アリール基、
ビニル基又は炭素鎖に直結したメルカプト基、又は(メ
タ)アクリロイル基を表し、R2 は異なっていてもよ
く、水素原子、低級アルキル基またはアシル基を表し、
mは0または正の整数、nは1以上の整数でかつm+n
は金属元素Mの原子価と一致する)
基板として用いる場合に起るガスバリア性の問題を解決
し、液晶表示デバイスの薄型化に貢献する。 【解決手段】 液晶表示デバイスの液晶セルを挟持する
ための基板であって、プラスチックフィルム基材の片面
に、ガスバリア性の薄膜と透明導電性物質の薄膜を順次
形成し、ガスバリア性の薄膜が、 R1 mM(OR2 )n で示される有機金属化合物及び/又はその加水分解縮合
物を必須成分として含有するガスバリア用組成物を基材
にコーティングする。(Mは金属元素、R1 は異なって
いてもよく、水素原子、低級アルキル基、アリール基、
ビニル基又は炭素鎖に直結したメルカプト基、又は(メ
タ)アクリロイル基を表し、R2 は異なっていてもよ
く、水素原子、低級アルキル基またはアシル基を表し、
mは0または正の整数、nは1以上の整数でかつm+n
は金属元素Mの原子価と一致する)
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、液晶表示デバイス
用のプラスチックフィルム基板およびその製法に関する
ものである。
用のプラスチックフィルム基板およびその製法に関する
ものである。
【0002】
【従来の技術】液晶を用いた表示デバイスは、時計、電
卓、自動車のパネル、ページャ等を始めとして様々な分
野に用いられている。図1には単純な構造の液晶表示デ
バイスの概略図を示した。液晶表示デバイス1は、対向
する2枚の基板2,2と配向膜3,3と透明電極4,4
がそれぞれ積層されて形成されたセルの中に液晶組成物
5がエポキシ樹脂6により封入されて構成されている。
液晶表示デバイスの適用範囲の拡大に伴って、デバイス
の薄膜化、軽量化、低コスト化の要求が高まり、最近で
は、基板2として従来のガラスに代わってプラスチック
フィルムが利用されることが多くなってきた。
卓、自動車のパネル、ページャ等を始めとして様々な分
野に用いられている。図1には単純な構造の液晶表示デ
バイスの概略図を示した。液晶表示デバイス1は、対向
する2枚の基板2,2と配向膜3,3と透明電極4,4
がそれぞれ積層されて形成されたセルの中に液晶組成物
5がエポキシ樹脂6により封入されて構成されている。
液晶表示デバイスの適用範囲の拡大に伴って、デバイス
の薄膜化、軽量化、低コスト化の要求が高まり、最近で
は、基板2として従来のガラスに代わってプラスチック
フィルムが利用されることが多くなってきた。
【0003】基板に要求される特性としては、耐熱性、
可撓性、透明性、耐湿性、耐溶剤性等であり、これらを
満足するプラスチックフィルムが基板に用いられてい
る。しかし、液晶組成物は、基板で挟持されるセル内に
減圧で封入されることから、プラスチックフィルム基板
の気体透過性が大きいと酸素や窒素等の気体がプラスチ
ックフィルムを通過してしまい、セル内に気泡が生じる
という問題が起こる。
可撓性、透明性、耐湿性、耐溶剤性等であり、これらを
満足するプラスチックフィルムが基板に用いられてい
る。しかし、液晶組成物は、基板で挟持されるセル内に
減圧で封入されることから、プラスチックフィルム基板
の気体透過性が大きいと酸素や窒素等の気体がプラスチ
ックフィルムを通過してしまい、セル内に気泡が生じる
という問題が起こる。
【0004】このため、基板用のプラスチックフィルム
にガスバリア性を付与することが提案されている。しか
し従来のガスバリア性フィルム、例えばエチレン−ビニ
ルアルコール共重合体や芳香族系ナイロン等の気体不透
過性素材は、耐湿性が悪く、ガスバリア性に湿度依存性
があるため不適である。
にガスバリア性を付与することが提案されている。しか
し従来のガスバリア性フィルム、例えばエチレン−ビニ
ルアルコール共重合体や芳香族系ナイロン等の気体不透
過性素材は、耐湿性が悪く、ガスバリア性に湿度依存性
があるため不適である。
【0005】一方、液晶表示デバイスの需要は日々増大
し、基板としてガラスの代わりにプラスチック素材を使
用するだけでは、小型化、低コスト化の要求に応じるこ
とができなくなっている。この観点から、液晶表示デバ
イスに不可欠な透明電極の薄型化も検討されている。現
在、透明電極として汎用されているITO(indiumtin
oxide ;スズドープインジウム酸化物) 膜は、ITOの
支持体用透明プラスチックフィルムに、ITOがスパッ
タリングやコーティングされて形成されているが、IT
Oとプラスチックフィルムの密着性を上げるためにアン
ダーコート層を介在させており、薄型化には限度があっ
た。
し、基板としてガラスの代わりにプラスチック素材を使
用するだけでは、小型化、低コスト化の要求に応じるこ
とができなくなっている。この観点から、液晶表示デバ
イスに不可欠な透明電極の薄型化も検討されている。現
在、透明電極として汎用されているITO(indiumtin
oxide ;スズドープインジウム酸化物) 膜は、ITOの
支持体用透明プラスチックフィルムに、ITOがスパッ
タリングやコーティングされて形成されているが、IT
Oとプラスチックフィルムの密着性を上げるためにアン
ダーコート層を介在させており、薄型化には限度があっ
た。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】そこで本発明では、プ
ラスチックフィルムを液晶表示デバイス用基板として用
いる場合に起るガスバリア性の問題を解決し、しかも液
晶表示デバイスの薄型化に貢献することのできる基板お
よびその製法の提供を課題として掲げた。
ラスチックフィルムを液晶表示デバイス用基板として用
いる場合に起るガスバリア性の問題を解決し、しかも液
晶表示デバイスの薄型化に貢献することのできる基板お
よびその製法の提供を課題として掲げた。
【0007】
【課題を解決するための手段】本発明の液晶表示デバイ
ス用基板は、液晶表示デバイスの液晶セルを挟持するた
めの基板であって、この基板が、プラスチックフィルム
基材の少なくとも片面に、ガスバリア性の薄膜と透明導
電性物質の薄膜が順次形成されてなり、かつ、前記ガス
バリア性の薄膜が、下記一般式で示される有機金属化合
物(I) および/またはその加水分解縮合物、 R1 mM(OR2 )n …(I) (式中Mは金属元素、R1 は同一または異なっていても
よく、水素原子、低級アルキル基、アリール基、ビニル
基または炭素鎖に直結したメルカプト基、または(メ
タ)アクリロイル基を表し、R2 は同一または異なって
いてもよく、水素原子、低級アルキル基またはアシル基
を表し、mは0または正の整数、nは1以上の整数でか
つm+nは金属元素Mの原子価と一致する)を必須成分
として含有するガスバリア用組成物を前記プラスチック
フィルム基材にコーティングすることにより形成された
ものであるところに要旨を有する。
ス用基板は、液晶表示デバイスの液晶セルを挟持するた
めの基板であって、この基板が、プラスチックフィルム
基材の少なくとも片面に、ガスバリア性の薄膜と透明導
電性物質の薄膜が順次形成されてなり、かつ、前記ガス
バリア性の薄膜が、下記一般式で示される有機金属化合
物(I) および/またはその加水分解縮合物、 R1 mM(OR2 )n …(I) (式中Mは金属元素、R1 は同一または異なっていても
よく、水素原子、低級アルキル基、アリール基、ビニル
基または炭素鎖に直結したメルカプト基、または(メ
タ)アクリロイル基を表し、R2 は同一または異なって
いてもよく、水素原子、低級アルキル基またはアシル基
を表し、mは0または正の整数、nは1以上の整数でか
つm+nは金属元素Mの原子価と一致する)を必須成分
として含有するガスバリア用組成物を前記プラスチック
フィルム基材にコーティングすることにより形成された
ものであるところに要旨を有する。
【0008】すなわち、本発明では、ガスバリア層上に
直接透明導電性薄膜を設けているので、透明導電性物質
の薄膜用の支持体が不必要となり、前記した支持体と透
明導電性物質との間のアンダーコート層の必要性もなく
なるので、液晶表示デバイス全体の薄型化に、大きく貢
献することができる。
直接透明導電性薄膜を設けているので、透明導電性物質
の薄膜用の支持体が不必要となり、前記した支持体と透
明導電性物質との間のアンダーコート層の必要性もなく
なるので、液晶表示デバイス全体の薄型化に、大きく貢
献することができる。
【0009】ガスバリア用組成物に、さらに、分子内に
1級および/または2級アミノ基を有する有機化合物(I
I)が含まれている構成は、ガスバリア性薄膜を形成する
際の成膜性を良好にし、また得られるガスバリア性薄膜
の可撓性やガスバリア性等の物性が向上するため好まし
い。下記一般式で示される有機シラン化合物(III) およ
び/またはその加水分解縮合物、あるいはポリエチレン
イミン類のような加水分解性のSi(OR6 )基(ただ
しR6 の意味は上記と同じ)を持たない有機化合物(IV)
を、単独でまたは併用して、有機化合物(II)として使用
することができる。
1級および/または2級アミノ基を有する有機化合物(I
I)が含まれている構成は、ガスバリア性薄膜を形成する
際の成膜性を良好にし、また得られるガスバリア性薄膜
の可撓性やガスバリア性等の物性が向上するため好まし
い。下記一般式で示される有機シラン化合物(III) およ
び/またはその加水分解縮合物、あるいはポリエチレン
イミン類のような加水分解性のSi(OR6 )基(ただ
しR6 の意味は上記と同じ)を持たない有機化合物(IV)
を、単独でまたは併用して、有機化合物(II)として使用
することができる。
【0010】
【化1】
【0011】[式中A1 はアルキレン基、R3 は水素原
子、低級アルキル基、または
子、低級アルキル基、または
【0012】
【化2】
【0013】(式中A2 は直接結合またはアルキレン基
を、R7,R8 は水素原子または低級アルキル基を示す)
で表わされる基、R4 は水素原子または低級アルキル
基、R5は同一または異なる低級アルキル基、アリール
基または不飽和脂肪族残基、R6は水素原子、低級アル
キル基またはアシル基を意味し(ただしR3,R4,R7,R
8のうち少なくとも1つが水素原子である)、wは0、
1、2のいずれか、zは1、2、3のいずれかの整数を
表わす(ただしw+z=3である)]。
を、R7,R8 は水素原子または低級アルキル基を示す)
で表わされる基、R4 は水素原子または低級アルキル
基、R5は同一または異なる低級アルキル基、アリール
基または不飽和脂肪族残基、R6は水素原子、低級アル
キル基またはアシル基を意味し(ただしR3,R4,R7,R
8のうち少なくとも1つが水素原子である)、wは0、
1、2のいずれか、zは1、2、3のいずれかの整数を
表わす(ただしw+z=3である)]。
【0014】ガスバリア用組成物は、さらに、アミノ基
と反応し得る官能基を分子内に有する化合物(V) を含有
していてもよく、一層ガスバリア性が向上する。透明導
電性物質としては、電気伝導性に優れたITO(indium
tin oxide) 、スズドープインジウム酸化物系化合物を
用いることが好ましい。
と反応し得る官能基を分子内に有する化合物(V) を含有
していてもよく、一層ガスバリア性が向上する。透明導
電性物質としては、電気伝導性に優れたITO(indium
tin oxide) 、スズドープインジウム酸化物系化合物を
用いることが好ましい。
【0015】本発明には、上記ガスバリア用組成物を、
プラスチックフィルム基材の少なくとも片面にコーティ
ングすることによりガスバリア性の薄膜を形成した後、
透明導電性物質の薄膜を前記ガスバリア性の薄膜上に形
成することを特徴とする液晶表示デバイス用基板の製法
も含まれる。
プラスチックフィルム基材の少なくとも片面にコーティ
ングすることによりガスバリア性の薄膜を形成した後、
透明導電性物質の薄膜を前記ガスバリア性の薄膜上に形
成することを特徴とする液晶表示デバイス用基板の製法
も含まれる。
【0016】
【発明の実施の形態】本発明者らは、液晶表示デバイス
用のプラスチックフィルム基板にガスバリア性を付与す
るため、本発明において使用されるガスバリア性組成物
が極めて有用であることを見出し、既に出願した(特願
平7−169807号)。しかし、さらなるデバイスの
薄型化、小型化を課題として検討を続けた結果、上記ガ
スバリア層とITO膜の密着性が非常に優れていること
を見出し、本発明に想到した。本発明では、基板上に設
けたガスバリア層の上に、透明導電性膜を直接設けるこ
とにより、透明導電性物質用の支持体が不要となったの
で、デバイス自体の薄型化を達成することができた上
に、液晶表示デバイス用基板として必要な特性、すなわ
ち耐熱性、可撓性、透明性、耐湿性、耐溶剤性等にも優
れており、工業上極めて有用な発明である。以下詳細に
説明する。
用のプラスチックフィルム基板にガスバリア性を付与す
るため、本発明において使用されるガスバリア性組成物
が極めて有用であることを見出し、既に出願した(特願
平7−169807号)。しかし、さらなるデバイスの
薄型化、小型化を課題として検討を続けた結果、上記ガ
スバリア層とITO膜の密着性が非常に優れていること
を見出し、本発明に想到した。本発明では、基板上に設
けたガスバリア層の上に、透明導電性膜を直接設けるこ
とにより、透明導電性物質用の支持体が不要となったの
で、デバイス自体の薄型化を達成することができた上
に、液晶表示デバイス用基板として必要な特性、すなわ
ち耐熱性、可撓性、透明性、耐湿性、耐溶剤性等にも優
れており、工業上極めて有用な発明である。以下詳細に
説明する。
【0017】本発明は、液晶表示デバイスの液晶セルを
挟持する基板およびその製法を開示するものであり、こ
の基板は、プラスチックフィルム基材表面にガスバリア
性の薄膜と透明導電性物質の薄膜が順次形成されている
ところに最大のポイントを有する。ガスバリア性の薄膜
(以下ガスバリア層ということがある)および透明導電
性物質の薄膜(以下透明導電層ということがある)は、
プラスチックフィルム基材の片面だけに設けられても、
両面に設けられてもよいが、透明導電層は電極として一
対存在していればよく、本発明の基板はデバイス中少な
くとも2枚は使用されるので、特に必要がない以上、片
面にだけ設ければよい。
挟持する基板およびその製法を開示するものであり、こ
の基板は、プラスチックフィルム基材表面にガスバリア
性の薄膜と透明導電性物質の薄膜が順次形成されている
ところに最大のポイントを有する。ガスバリア性の薄膜
(以下ガスバリア層ということがある)および透明導電
性物質の薄膜(以下透明導電層ということがある)は、
プラスチックフィルム基材の片面だけに設けられても、
両面に設けられてもよいが、透明導電層は電極として一
対存在していればよく、本発明の基板はデバイス中少な
くとも2枚は使用されるので、特に必要がない以上、片
面にだけ設ければよい。
【0018】本発明において、ガスバリア層の上に直接
透明導電層を形成することができたのは、下記一般式で
示される有機金属化合物(I) および/またはその加水分
解縮合物 R1 mM(OR2 )n …(I) (ただし、M、R1 、R2 、m、nの意味は前記した通
り)を必須成分として含有するガスバリア用組成物でガ
スバリア層を形成したことによる。すなわち、このガス
バリア用組成物からなるガスバリア層は透明導電層との
密着性に極めて優れており、ガスバリア層の上に、直
接、透明導電層を形成しても透明導電層の剥離や脱落等
の問題が起こらないのである。本発明者らの検討によれ
ば、例えば、ポリ塩化ビニリデンやその他のガスバリア
用組成物からなる層は、透明導電層との密着性が悪く、
透明電極として使用することができないことが見出され
ている。本発明で用いられるガスバリア用組成物が、透
明導電層と密着性がよいのは、必須成分として含まれる
上記有機金属化合物中に金属元素が含まれており、透明
導電層膜との親和性がよいためではないかと考えられ
る。
透明導電層を形成することができたのは、下記一般式で
示される有機金属化合物(I) および/またはその加水分
解縮合物 R1 mM(OR2 )n …(I) (ただし、M、R1 、R2 、m、nの意味は前記した通
り)を必須成分として含有するガスバリア用組成物でガ
スバリア層を形成したことによる。すなわち、このガス
バリア用組成物からなるガスバリア層は透明導電層との
密着性に極めて優れており、ガスバリア層の上に、直
接、透明導電層を形成しても透明導電層の剥離や脱落等
の問題が起こらないのである。本発明者らの検討によれ
ば、例えば、ポリ塩化ビニリデンやその他のガスバリア
用組成物からなる層は、透明導電層との密着性が悪く、
透明電極として使用することができないことが見出され
ている。本発明で用いられるガスバリア用組成物が、透
明導電層と密着性がよいのは、必須成分として含まれる
上記有機金属化合物中に金属元素が含まれており、透明
導電層膜との親和性がよいためではないかと考えられ
る。
【0019】本発明のガスバリア用組成物の必須成分と
して用いられる有機金属化合物(I)は、下記一般式で表
されるものである。 R1 mM(OR2 )n …(I) (ただし、M、R1 、R2 、m、nの意味は前記した通
り)
して用いられる有機金属化合物(I)は、下記一般式で表
されるものである。 R1 mM(OR2 )n …(I) (ただし、M、R1 、R2 、m、nの意味は前記した通
り)
【0020】具体的には、テトラメトキシシラン、テト
ラエトキシシラン、テトライソプロポキシシラン、テト
ラブトキシシラン、メチルトリメトキシシラン、メチル
トリエトキシシラン、メチルトリイソプロポキシシラ
ン、メチルトリブトキシシラン、エチルトリメトキシシ
ラン、エチルトリエトキシシラン、エチルトリイソプロ
ポキシシラン、エチルトリブトキシシラン、ジメチルジ
メトキシシラン、ジメチルジエトキシシラン、ジメチル
ジイソプロポキシシラン、ジメチルジブトキシシラン、
ジエチルジメトキシシラン、ジエチルジエトキシシラ
ン、ジエチルジイソプロポキシシラン、ジエチルジブト
キシシラン、ビニルトリメトキシシラン、ビニルトリエ
トキシシラン、ビニルトリイソプロポキシシラン、ビニ
ルトリブトキシシラン、γ−メルカプトプロピルトリメ
トキシシラン、γ−メルカプトプロピルトリエトキシシ
ラン、γ−メタクリロキシプロピルトリメトキシシラ
ン、γ−メタクリロキシプロピルトリエトキシシラン等
のアルコキシシラン類、チタニウムテトラエトキシド、
チタニウムテトライソプロポキシド、チタニウムテトラ
ブトキシド等のチタニウムアルコキシド類、ジルコニウ
ムテトラエトキシド、ジルコニウムテトライソプロポキ
シド、ジルコニウムテトラブトキシド等のジルコニウム
アルコキシド類、アルミニウムトリエトキシド、アルミ
ニウムトリイソプロポキシド、アルミニウムトリブトキ
シド等のアルミニウムアルコキシド類、テトラアセトキ
シシラン、メチルトリアセトキシシラン等のアシロキシ
シラン類、トリメチルシラノール等のシラノール類等が
挙げられ、これらの1種または2種以上を用いることが
できる。中でも、ガスバリア特性の湿度依存性(高湿度
下でガスバリア性が悪化すること)を小さくする点から
は、特に、テトラメトキシシラン、テトラエトキシシラ
ンが好ましい。
ラエトキシシラン、テトライソプロポキシシラン、テト
ラブトキシシラン、メチルトリメトキシシラン、メチル
トリエトキシシラン、メチルトリイソプロポキシシラ
ン、メチルトリブトキシシラン、エチルトリメトキシシ
ラン、エチルトリエトキシシラン、エチルトリイソプロ
ポキシシラン、エチルトリブトキシシラン、ジメチルジ
メトキシシラン、ジメチルジエトキシシラン、ジメチル
ジイソプロポキシシラン、ジメチルジブトキシシラン、
ジエチルジメトキシシラン、ジエチルジエトキシシラ
ン、ジエチルジイソプロポキシシラン、ジエチルジブト
キシシラン、ビニルトリメトキシシラン、ビニルトリエ
トキシシラン、ビニルトリイソプロポキシシラン、ビニ
ルトリブトキシシラン、γ−メルカプトプロピルトリメ
トキシシラン、γ−メルカプトプロピルトリエトキシシ
ラン、γ−メタクリロキシプロピルトリメトキシシラ
ン、γ−メタクリロキシプロピルトリエトキシシラン等
のアルコキシシラン類、チタニウムテトラエトキシド、
チタニウムテトライソプロポキシド、チタニウムテトラ
ブトキシド等のチタニウムアルコキシド類、ジルコニウ
ムテトラエトキシド、ジルコニウムテトライソプロポキ
シド、ジルコニウムテトラブトキシド等のジルコニウム
アルコキシド類、アルミニウムトリエトキシド、アルミ
ニウムトリイソプロポキシド、アルミニウムトリブトキ
シド等のアルミニウムアルコキシド類、テトラアセトキ
シシラン、メチルトリアセトキシシラン等のアシロキシ
シラン類、トリメチルシラノール等のシラノール類等が
挙げられ、これらの1種または2種以上を用いることが
できる。中でも、ガスバリア特性の湿度依存性(高湿度
下でガスバリア性が悪化すること)を小さくする点から
は、特に、テトラメトキシシラン、テトラエトキシシラ
ンが好ましい。
【0021】ガスバリア用組成物をコーティングした後
の乾燥の際に有機金属化合物(I) の蒸発を防ぐために
は、有機金属化合物(I) を予め加水分解縮合して高分子
量化しておくことが好ましい。後述する有機化合物(II
I) と、あるいは化合物(VI)と共加水分解縮合を行って
もよい。この(共)加水分解縮合反応は公知の触媒を用
いることができ、また後述の溶媒中で反応させるのが有
利である。
の乾燥の際に有機金属化合物(I) の蒸発を防ぐために
は、有機金属化合物(I) を予め加水分解縮合して高分子
量化しておくことが好ましい。後述する有機化合物(II
I) と、あるいは化合物(VI)と共加水分解縮合を行って
もよい。この(共)加水分解縮合反応は公知の触媒を用
いることができ、また後述の溶媒中で反応させるのが有
利である。
【0022】本発明のガスバリア用組成物には、分子内
に1級および/または2級アミノ基を有する有機化合物
(II)が含まれていてもよい。有機化合物(II)の使用は、
ガスバリア層を形成する際の成膜性を良好にし、また得
られるガスバリア層の可撓性やガスバリア性等の物性を
向上させる働きを有する。この有機化合物(II)は、1級
および/または2級アミノ基をその分子内に少なくとも
1個有する化合物であればよく、低分子化合物であって
も高分子化合物であってもよい。
に1級および/または2級アミノ基を有する有機化合物
(II)が含まれていてもよい。有機化合物(II)の使用は、
ガスバリア層を形成する際の成膜性を良好にし、また得
られるガスバリア層の可撓性やガスバリア性等の物性を
向上させる働きを有する。この有機化合物(II)は、1級
および/または2級アミノ基をその分子内に少なくとも
1個有する化合物であればよく、低分子化合物であって
も高分子化合物であってもよい。
【0023】有機化合物(II)は、上記アミノ基と共に加
水分解性基を有する有機シラン化合物(III) である場合
と、加水分解性基であるSi(OR6 )基(ただしR6
の意味は前記した通り)を持たない有機化合物(IV)とに
分けられるが、有機シラン化合物(III) と有機化合物(I
V)を併用してもよい。有機シラン化合物(III) は、下記
一般式で示される。
水分解性基を有する有機シラン化合物(III) である場合
と、加水分解性基であるSi(OR6 )基(ただしR6
の意味は前記した通り)を持たない有機化合物(IV)とに
分けられるが、有機シラン化合物(III) と有機化合物(I
V)を併用してもよい。有機シラン化合物(III) は、下記
一般式で示される。
【0024】
【化3】 (式中A1 、R3 、R4 、R5 、R6 、w、zの意味は
前記の通り)
前記の通り)
【0025】上記(III) の具体例としては、N−β−
(アミノエチル)−γ−アミノプロピルトリメトキシシ
ラン、N−β−(アミノエチル)−γ−アミノプロピル
トリエトキシシラン、N−β−(アミノエチル)−γ−
アミノプロピルトリイソプロポキシシラン、N−β−
(アミノエチル)−γ−アミノプロピルトリブトキシシ
ラン、N−β−(アミノエチル)−γ−アミノプロピル
メチルジメトキシシラン、N−β−(アミノエチル)−
γ−アミノプロピルメチルジエトキシシラン、N−β−
(アミノエチル)−γ−アミノプロピルメチルジイソプ
ロポキシシラン、N−β−(アミノエチル)−γ−アミ
ノプロピルメチルジブトキシシラン、N−β−(アミノ
エチル)−γ−アミノプロピルエチルジメトキシシラ
ン、N−β−(アミノエチル)−γ−アミノプロピルエ
チルジエトキシシラン、N−β−(アミノエチル)−γ
−アミノプロピルエチルジイソプロポキシシラン、N−
β−(アミノエチル)−γ−アミノプロピルエチルジブ
トキシシラン、N−β−(N−ビニルベンジルアミノエ
チル)−γ−アミノプロピルトリメトキシシラン、N−
β−(N−ビニルベンジルアミノエチル)−γ−アミノ
プロピルトリエトキシシラン、N−β−(N−ビニルベ
ンジルアミノエチル)−γ−アミノプロピルトリイソプ
ロポキシシラン、N−β−(N−ビニルベンジルアミノ
エチル)−γ−アミノプロピルトリブトキシシラン、N
−β−(N−ビニルベンジルアミノエチル)−γ−アミ
ノプロピルメチルジメトキシシラン、N−β−(N−ビ
ニルベンジルアミノエチル)−γ−アミノプロピルメチ
ルジエトキシシラン、N−β−(N−ビニルベンジルア
ミノエチル)−γ−アミノプロピルメチルジイソプロポ
キシシラン、N−β−(N−ビニルベンジルアミノエチ
ル)−γ−アミノプロピルメチルジブトキシシラン、N
−β−(N−ビニルベンジルアミノエチル)−γ−アミ
ノプロピルエチルジメトキシシラン、N−β−(N−ビ
ニルベンジルアミノエチル)−γ−アミノプロピルエチ
ルジエトキシシラン、N−β−(N−ビニルベンジルア
ミノエチル)−γ−アミノプロピルエチルジイソプロポ
キシシラン、N−β−(N−ビニルベンジルアミノエチ
ル)−γ−アミノプロピルエチルジブトキシシラン、γ
−アミノプロピルトリメトキシシラン、γ−アミノプロ
ピルトリエトキシシラン、γ−アミノプロピルトリイソ
プロポキシシラン、γ−アミノプロピルトリブトキシシ
ラン、γ−アミノプロピルメチルジメトキシシラン、γ
−アミノプロピルメチルジエトキシシラン、γ−アミノ
プロピルメチルジイソプロポキシシラン、γ−アミノプ
ロピルメチルジブトキシシラン、γ−アミノプロピルエ
チルジメトキシシラン、γ−アミノプロピルエチルジエ
トキシシラン、γ−アミノプロピルエチルジイソプロポ
キシシラン、γ−アミノプロピルエチルジブトキシシラ
ン、γ−アミノプロピルトリアセトキシシラン等が挙げ
られ、これらの1種または2種以上を用いることができ
る。
(アミノエチル)−γ−アミノプロピルトリメトキシシ
ラン、N−β−(アミノエチル)−γ−アミノプロピル
トリエトキシシラン、N−β−(アミノエチル)−γ−
アミノプロピルトリイソプロポキシシラン、N−β−
(アミノエチル)−γ−アミノプロピルトリブトキシシ
ラン、N−β−(アミノエチル)−γ−アミノプロピル
メチルジメトキシシラン、N−β−(アミノエチル)−
γ−アミノプロピルメチルジエトキシシラン、N−β−
(アミノエチル)−γ−アミノプロピルメチルジイソプ
ロポキシシラン、N−β−(アミノエチル)−γ−アミ
ノプロピルメチルジブトキシシラン、N−β−(アミノ
エチル)−γ−アミノプロピルエチルジメトキシシラ
ン、N−β−(アミノエチル)−γ−アミノプロピルエ
チルジエトキシシラン、N−β−(アミノエチル)−γ
−アミノプロピルエチルジイソプロポキシシラン、N−
β−(アミノエチル)−γ−アミノプロピルエチルジブ
トキシシラン、N−β−(N−ビニルベンジルアミノエ
チル)−γ−アミノプロピルトリメトキシシラン、N−
β−(N−ビニルベンジルアミノエチル)−γ−アミノ
プロピルトリエトキシシラン、N−β−(N−ビニルベ
ンジルアミノエチル)−γ−アミノプロピルトリイソプ
ロポキシシラン、N−β−(N−ビニルベンジルアミノ
エチル)−γ−アミノプロピルトリブトキシシラン、N
−β−(N−ビニルベンジルアミノエチル)−γ−アミ
ノプロピルメチルジメトキシシラン、N−β−(N−ビ
ニルベンジルアミノエチル)−γ−アミノプロピルメチ
ルジエトキシシラン、N−β−(N−ビニルベンジルア
ミノエチル)−γ−アミノプロピルメチルジイソプロポ
キシシラン、N−β−(N−ビニルベンジルアミノエチ
ル)−γ−アミノプロピルメチルジブトキシシラン、N
−β−(N−ビニルベンジルアミノエチル)−γ−アミ
ノプロピルエチルジメトキシシラン、N−β−(N−ビ
ニルベンジルアミノエチル)−γ−アミノプロピルエチ
ルジエトキシシラン、N−β−(N−ビニルベンジルア
ミノエチル)−γ−アミノプロピルエチルジイソプロポ
キシシラン、N−β−(N−ビニルベンジルアミノエチ
ル)−γ−アミノプロピルエチルジブトキシシラン、γ
−アミノプロピルトリメトキシシラン、γ−アミノプロ
ピルトリエトキシシラン、γ−アミノプロピルトリイソ
プロポキシシラン、γ−アミノプロピルトリブトキシシ
ラン、γ−アミノプロピルメチルジメトキシシラン、γ
−アミノプロピルメチルジエトキシシラン、γ−アミノ
プロピルメチルジイソプロポキシシラン、γ−アミノプ
ロピルメチルジブトキシシラン、γ−アミノプロピルエ
チルジメトキシシラン、γ−アミノプロピルエチルジエ
トキシシラン、γ−アミノプロピルエチルジイソプロポ
キシシラン、γ−アミノプロピルエチルジブトキシシラ
ン、γ−アミノプロピルトリアセトキシシラン等が挙げ
られ、これらの1種または2種以上を用いることができ
る。
【0026】また有機化合物(IV)は、加水分解性基であ
るSi(OR6)基(ただしR6 の意味は前記した通り)
を持たず、1級および/または2級アミノ基を有する有
機化合物である。具体的には、アリルアミン、ジアリル
アミン、イソプロピルアミン、ジイソプロピルアミン、
イミノビスプロピルアミン、エチルアミン、ジエチルア
ミン、2−エチルヘキシルアミン、3−エトキシプロピ
ルアミン、ジイソブチルアミン、3−ジエチルアミノプ
ロピルアミン、ジ−2−エチルヘキシルアミン、ジブチ
ルアミノプロピルアミン、プロピルアミン、ジメチルア
ミノプロピルアミン、メチルイミノビスプロピルアミ
ン、3−メトキシプロピルアミン、エチレンジアミン、
1,4−ジアミノブタン、1,2−ジアミノプロパン、
1,3−ジアミノプロパン、ヘキサメチレンジアミン、
エタノールアミン、ジエタノールアミン等の低分子有機
化合物、ポリエチレンイミン類、例えば日本触媒社製エ
ポミンシリーズ(エポミンSP−003、エポミンSP
−006、エポミンSP−012、エポミンSP−01
8、エポミンSP−103、エポミンSP−110、エ
ポミンSP−200、エポミンSP−300、エポミン
SP−1000、エポミンSP−1020等)、ポリア
リルアミン類(例えば日東紡績社製PAA−L、PAA
−H等)、ジメチルアミノエチル(メタ)アクリレー
ト、ジエチルアミノエチル(メタ)アクリレート等のア
ミノ基含有(メタ)アクリレートのホモポリマーや、こ
れらのアミノ基含有(メタ)アクリレートと他の(メ
タ)アクリレート類や(メタ)アクリル酸とのコポリマ
ー、ポリオキシエチレンアルキルアミン類等の高分子有
機化合物が挙げられる。
るSi(OR6)基(ただしR6 の意味は前記した通り)
を持たず、1級および/または2級アミノ基を有する有
機化合物である。具体的には、アリルアミン、ジアリル
アミン、イソプロピルアミン、ジイソプロピルアミン、
イミノビスプロピルアミン、エチルアミン、ジエチルア
ミン、2−エチルヘキシルアミン、3−エトキシプロピ
ルアミン、ジイソブチルアミン、3−ジエチルアミノプ
ロピルアミン、ジ−2−エチルヘキシルアミン、ジブチ
ルアミノプロピルアミン、プロピルアミン、ジメチルア
ミノプロピルアミン、メチルイミノビスプロピルアミ
ン、3−メトキシプロピルアミン、エチレンジアミン、
1,4−ジアミノブタン、1,2−ジアミノプロパン、
1,3−ジアミノプロパン、ヘキサメチレンジアミン、
エタノールアミン、ジエタノールアミン等の低分子有機
化合物、ポリエチレンイミン類、例えば日本触媒社製エ
ポミンシリーズ(エポミンSP−003、エポミンSP
−006、エポミンSP−012、エポミンSP−01
8、エポミンSP−103、エポミンSP−110、エ
ポミンSP−200、エポミンSP−300、エポミン
SP−1000、エポミンSP−1020等)、ポリア
リルアミン類(例えば日東紡績社製PAA−L、PAA
−H等)、ジメチルアミノエチル(メタ)アクリレー
ト、ジエチルアミノエチル(メタ)アクリレート等のア
ミノ基含有(メタ)アクリレートのホモポリマーや、こ
れらのアミノ基含有(メタ)アクリレートと他の(メ
タ)アクリレート類や(メタ)アクリル酸とのコポリマ
ー、ポリオキシエチレンアルキルアミン類等の高分子有
機化合物が挙げられる。
【0027】特にガスバリア性に優れているのは、上記
有機シラン化合物(III) として例示した化合物全て、有
機化合物(IV)の中のエタノールアミン、および高分子有
機化合物である。成膜性をさらに良好にするためには、
加水分解性基を有する有機化合物(III) として例示した
化合物を予め(共)加水分解縮合させて高分子量化して
用いるか、有機化合物(IV)の中の高分子有機化合物を用
いることが推奨される。
有機シラン化合物(III) として例示した化合物全て、有
機化合物(IV)の中のエタノールアミン、および高分子有
機化合物である。成膜性をさらに良好にするためには、
加水分解性基を有する有機化合物(III) として例示した
化合物を予め(共)加水分解縮合させて高分子量化して
用いるか、有機化合物(IV)の中の高分子有機化合物を用
いることが推奨される。
【0028】高分子有機化合物の中では、得られるガス
バリア層のガスバリア性やその他の特性が良好であるポ
リエチレンイミン類の使用が特に好ましい。有機化合物
(IV)として高分子有機化合物を用いる場合の好ましい分
子量は250〜20万である。より好ましくは250〜
10万の範囲である。分子量が250より小さいと形成
された塗膜の可撓性に劣り、逆に20万より大きいと透
明性が劣り、液晶表示デバイス用基板としては好ましく
ないためである。
バリア層のガスバリア性やその他の特性が良好であるポ
リエチレンイミン類の使用が特に好ましい。有機化合物
(IV)として高分子有機化合物を用いる場合の好ましい分
子量は250〜20万である。より好ましくは250〜
10万の範囲である。分子量が250より小さいと形成
された塗膜の可撓性に劣り、逆に20万より大きいと透
明性が劣り、液晶表示デバイス用基板としては好ましく
ないためである。
【0029】有機金属化合物(I) と有機化合物(II)[以
下特に限定しない限り、有機化合物(III) および(IV)が
含まれる。]の使用量は、有機金属化合物(I) に対し
て、有機化合物(II)を5〜200重量%であることが好
ましい。有機化合物(II)の使用量が5重量%より少ない
とガスバリア層の可撓性が悪化する。200重量%を超
えて使用すると、透明導電層との密着性が劣る傾向にあ
る。より好ましい有機化合物(II)の使用量は有機化合物
(I) に対して7〜200重量%であり、最も好ましい範
囲は7〜125重量%である。
下特に限定しない限り、有機化合物(III) および(IV)が
含まれる。]の使用量は、有機金属化合物(I) に対し
て、有機化合物(II)を5〜200重量%であることが好
ましい。有機化合物(II)の使用量が5重量%より少ない
とガスバリア層の可撓性が悪化する。200重量%を超
えて使用すると、透明導電層との密着性が劣る傾向にあ
る。より好ましい有機化合物(II)の使用量は有機化合物
(I) に対して7〜200重量%であり、最も好ましい範
囲は7〜125重量%である。
【0030】本発明では、ガスバリア用組成物中に、有
機化合物(II)のアミノ基と反応し得る官能基を有する化
合物(V) を存在させることが好ましい。化合物(V) は架
橋剤として働き、より緻密でガスバリア性に優れた層を
得ることができる。化合物(V) 中のアミノ基と反応し得
る官能基とは、エポキシ基、カルボキシル基、イソシア
ネート基、オキサゾリニル基、ヒドロキシル基、アルコ
キシシリル基等である。この官能基は、化合物(V) 中複
数である方が好ましく、その場合の官能基は同一であっ
ても異なっていてもよい。上記官能基中最も反応性の良
いのはエポキシ基である。塗膜の耐水性をより向上させ
るためには、化合物(V) が芳香環またはその水素添加環
を有していることが好ましい。
機化合物(II)のアミノ基と反応し得る官能基を有する化
合物(V) を存在させることが好ましい。化合物(V) は架
橋剤として働き、より緻密でガスバリア性に優れた層を
得ることができる。化合物(V) 中のアミノ基と反応し得
る官能基とは、エポキシ基、カルボキシル基、イソシア
ネート基、オキサゾリニル基、ヒドロキシル基、アルコ
キシシリル基等である。この官能基は、化合物(V) 中複
数である方が好ましく、その場合の官能基は同一であっ
ても異なっていてもよい。上記官能基中最も反応性の良
いのはエポキシ基である。塗膜の耐水性をより向上させ
るためには、化合物(V) が芳香環またはその水素添加環
を有していることが好ましい。
【0031】なお、前記有機化合物(II)として、加水分
解性基を持たない有機化合物(IV)を用いる場合には、化
合物(V) の全部または一部として、アミノ基と反応し得
る上記官能基と共に、下記加水分解性基
解性基を持たない有機化合物(IV)を用いる場合には、化
合物(V) の全部または一部として、アミノ基と反応し得
る上記官能基と共に、下記加水分解性基
【0032】
【化4】
【0033】(ただしR5,R6,w,zの意味は前記した
通り)を有する化合物(VI)を用いることが好ましい。化
合物(VI)は、有機化合物(IV)中のアミノ基と反応すると
共に、単独であるいは有機金属化合物(I) との(共)加
水分解縮重合反応も起こすため、(I) と(IV)と(VI)が結
合した緻密でかつ可撓性等に優れたガスバリア層を形成
し得るためである。有機化合物(II)が、有機シラン化合
物(III) である場合には、有機化合物(III) が上記加水
分解性基を有しているので、化合物(V) が化合物(VI)で
ある必要はなく、有機化合物(III) 単独または有機金属
化合物(I) との(共)加水分解縮合反応と、(III) と化
合物(V) の架橋剤的反応によって高性能なガスバリア層
を形成し得る。もちろん化合物(VI)を併用しても構わな
い。
通り)を有する化合物(VI)を用いることが好ましい。化
合物(VI)は、有機化合物(IV)中のアミノ基と反応すると
共に、単独であるいは有機金属化合物(I) との(共)加
水分解縮重合反応も起こすため、(I) と(IV)と(VI)が結
合した緻密でかつ可撓性等に優れたガスバリア層を形成
し得るためである。有機化合物(II)が、有機シラン化合
物(III) である場合には、有機化合物(III) が上記加水
分解性基を有しているので、化合物(V) が化合物(VI)で
ある必要はなく、有機化合物(III) 単独または有機金属
化合物(I) との(共)加水分解縮合反応と、(III) と化
合物(V) の架橋剤的反応によって高性能なガスバリア層
を形成し得る。もちろん化合物(VI)を併用しても構わな
い。
【0034】本発明で利用できる化合物(V) の具体例と
しては、エチレングリコールジグリシジルエーテル、ジ
エチレングリコールジグリシジルエーテル、トリエチレ
ングリコールジグリシジルエーテル、テトラエチレング
リコールジグリシジルエーテル、ノナエチレングリコー
ルジグリシジルエーテル、プロピレングリコールジグリ
シジルエーテル、ジプロピレングリコールジグリシジル
エーテル、トリプロピレングリコールジグリシジルエー
テル、1,6−ヘキサンジオールジグリシジルエーテ
ル、ネオペンチルグリコールジグリシジルエーテル、グ
リセロールジグリシジルエーテル等の脂肪族ジグリシジ
ルエーテル類;グリセロールトリグリシジルエーテル、
ジグリセロールトリグリシジルエーテル、トリグリシジ
ルトリス(2−ヒドロキシエチル)イソシアヌレート、
トリメチロールプロパントリグリシジルエーテル、ペン
タエリスリトールテトラグリシジルエーテル等のポリグ
リシジルエーテル類;アジピン酸ジグリシジルエステ
ル、o−フタル酸ジグリシジルエステル等の脂肪族およ
び芳香族ジグリシジルエステル類;ビスフェノールAジ
グリシジルエーテル、レゾルシンジグリシジルエーテ
ル、ヒドロキノンジグリシジルエーテル、ビスフェノー
ルSジグリシジルエーテル、ビスフェノールFジグリシ
ジルエーテル、および次式で表される化合物類
しては、エチレングリコールジグリシジルエーテル、ジ
エチレングリコールジグリシジルエーテル、トリエチレ
ングリコールジグリシジルエーテル、テトラエチレング
リコールジグリシジルエーテル、ノナエチレングリコー
ルジグリシジルエーテル、プロピレングリコールジグリ
シジルエーテル、ジプロピレングリコールジグリシジル
エーテル、トリプロピレングリコールジグリシジルエー
テル、1,6−ヘキサンジオールジグリシジルエーテ
ル、ネオペンチルグリコールジグリシジルエーテル、グ
リセロールジグリシジルエーテル等の脂肪族ジグリシジ
ルエーテル類;グリセロールトリグリシジルエーテル、
ジグリセロールトリグリシジルエーテル、トリグリシジ
ルトリス(2−ヒドロキシエチル)イソシアヌレート、
トリメチロールプロパントリグリシジルエーテル、ペン
タエリスリトールテトラグリシジルエーテル等のポリグ
リシジルエーテル類;アジピン酸ジグリシジルエステ
ル、o−フタル酸ジグリシジルエステル等の脂肪族およ
び芳香族ジグリシジルエステル類;ビスフェノールAジ
グリシジルエーテル、レゾルシンジグリシジルエーテ
ル、ヒドロキノンジグリシジルエーテル、ビスフェノー
ルSジグリシジルエーテル、ビスフェノールFジグリシ
ジルエーテル、および次式で表される化合物類
【0035】
【化5】
【0036】等の芳香環またはその水素添加環(核置換
誘導体も含む)を有するグリシジル類;あるいはグリシ
ジル基を官能基として有するオリゴマー類(例えばビス
フェノールAジグリシジルエーテルオリゴマーの場合は
下式の様に表せる);
誘導体も含む)を有するグリシジル類;あるいはグリシ
ジル基を官能基として有するオリゴマー類(例えばビス
フェノールAジグリシジルエーテルオリゴマーの場合は
下式の様に表せる);
【0037】
【化6】
【0038】ヘキサメチレンジイソシアネート、トリレ
ンジイソシアネート、1,4−ジフェニルメタンジイソ
シアネート、1,5−ナフタレンジイソシアネート、ト
リフェニルメタントリイソシアネート、トリジンジイソ
シアネート、キシリレンジイソシアネート、ジシクロヘ
キシルメタンジイソシアネート等のイソシアネート類;
酒石酸、アジピン酸等のジカルボン酸類;ポリアクリル
酸等の含カルボキシル基重合体;オキサゾリニル基含有
重合体等が挙げられ、これらのうち1種または2種以上
を用いることができる。なお、上記例示した化合物(V)
の中でも芳香環またはその水素添加環(核置換誘導体も
含む)を有する化合物は、ガスバリア層の耐水性を一層
向上させる作用がある。
ンジイソシアネート、1,4−ジフェニルメタンジイソ
シアネート、1,5−ナフタレンジイソシアネート、ト
リフェニルメタントリイソシアネート、トリジンジイソ
シアネート、キシリレンジイソシアネート、ジシクロヘ
キシルメタンジイソシアネート等のイソシアネート類;
酒石酸、アジピン酸等のジカルボン酸類;ポリアクリル
酸等の含カルボキシル基重合体;オキサゾリニル基含有
重合体等が挙げられ、これらのうち1種または2種以上
を用いることができる。なお、上記例示した化合物(V)
の中でも芳香環またはその水素添加環(核置換誘導体も
含む)を有する化合物は、ガスバリア層の耐水性を一層
向上させる作用がある。
【0039】化合物(VI)の具体例としては、β−(3,
4−エポキシシクロヘキシル)エチルトリメトキシシラ
ン、β−(3,4−エポキシシクロヘキシル)エチルト
リエトキシシラン、β−(3,4−エポキシシクロヘキ
シル)エチルトリイソプロポキシシラン、β−(3,4
−エポキシシクロヘキシル)エチルメチルジメトキシシ
ラン、β−(3,4−エポキシシクロヘキシル)エチル
メチルジエトキシシラン、γ−グリシドキシプロピルト
リメトキシシラン、γ−グリシドキシプロピルトリエト
キシシラン、γ−グリシドキシプロピルトリイソプロポ
キシシシラン、γ−グリシドキシプロピルメチルジメト
キシシラン、γ−グリシドキシプロピルメチルジエトキ
シシラン等(以下エポキシ基含有シランカップリング剤
と省略することがある);γ−イソシアノプロピルトリ
メトキシシラン、γ−イソシアノプロピルトリエトキシ
シラン、γ−イソシアノプロピルメチルジメトキシシラ
ン、γ−イソシアノプロピルメチルジエトキシシラン等
(以下イソシアネート基含有シランカップリング剤と省
略することがある)が挙げられ、これらの1種または2
種以上を用いることができる。
4−エポキシシクロヘキシル)エチルトリメトキシシラ
ン、β−(3,4−エポキシシクロヘキシル)エチルト
リエトキシシラン、β−(3,4−エポキシシクロヘキ
シル)エチルトリイソプロポキシシラン、β−(3,4
−エポキシシクロヘキシル)エチルメチルジメトキシシ
ラン、β−(3,4−エポキシシクロヘキシル)エチル
メチルジエトキシシラン、γ−グリシドキシプロピルト
リメトキシシラン、γ−グリシドキシプロピルトリエト
キシシラン、γ−グリシドキシプロピルトリイソプロポ
キシシシラン、γ−グリシドキシプロピルメチルジメト
キシシラン、γ−グリシドキシプロピルメチルジエトキ
シシラン等(以下エポキシ基含有シランカップリング剤
と省略することがある);γ−イソシアノプロピルトリ
メトキシシラン、γ−イソシアノプロピルトリエトキシ
シラン、γ−イソシアノプロピルメチルジメトキシシラ
ン、γ−イソシアノプロピルメチルジエトキシシラン等
(以下イソシアネート基含有シランカップリング剤と省
略することがある)が挙げられ、これらの1種または2
種以上を用いることができる。
【0040】化合物(V) [以下特に限定しない場合、化
合物(VI)も含まれる]を用いる場合には、有機化合物(I
I)中のアミノ基の官能基当量(X)に対して、化合物
(V) 中の官能基当量(Y)が、Y/Xとして0.01〜
1.0となる様に使用することが推奨される。好ましく
はY/Xが0.05〜0.7の範囲、より好ましくは
0.05〜0.3である。Y/Xが0.01より小さい
とガスバリア層の可撓性が不充分となりやすく、Y/X
が1.0を超えると、ガスバリア性や耐熱性が低下する
ことがある。
合物(VI)も含まれる]を用いる場合には、有機化合物(I
I)中のアミノ基の官能基当量(X)に対して、化合物
(V) 中の官能基当量(Y)が、Y/Xとして0.01〜
1.0となる様に使用することが推奨される。好ましく
はY/Xが0.05〜0.7の範囲、より好ましくは
0.05〜0.3である。Y/Xが0.01より小さい
とガスバリア層の可撓性が不充分となりやすく、Y/X
が1.0を超えると、ガスバリア性や耐熱性が低下する
ことがある。
【0041】ガスバリア用組成物は、溶媒によって溶液
状態としておくことが好ましい。コーティングしやすい
し、また加水分解縮合反応を行うを提供する作用もある
ためである。溶媒としては特に限定されないが、ガスバ
リア用組成物の構成成分を溶解する、もしくは分散させ
得る溶媒が好ましい。例えば、メタノール、エタノー
ル、2−プロパノール、ブタノール、エチレングリコー
ル等のアルコール類、アセトン、メチルエチルケトン、
メチルイソブチルケトン等のケトン類、トルエン、ベン
ゼン、キシレン等の芳香族炭化水素類、ヘキサン、ヘプ
タン、オクタン等の炭化水素類、酢酸エチル、酢酸ブチ
ル等のエステル類、その他、テトラヒドロフラン、プロ
ピルエーテル、水等があげられ、これらの1種または2
種以上を混合して用いることができる。
状態としておくことが好ましい。コーティングしやすい
し、また加水分解縮合反応を行うを提供する作用もある
ためである。溶媒としては特に限定されないが、ガスバ
リア用組成物の構成成分を溶解する、もしくは分散させ
得る溶媒が好ましい。例えば、メタノール、エタノー
ル、2−プロパノール、ブタノール、エチレングリコー
ル等のアルコール類、アセトン、メチルエチルケトン、
メチルイソブチルケトン等のケトン類、トルエン、ベン
ゼン、キシレン等の芳香族炭化水素類、ヘキサン、ヘプ
タン、オクタン等の炭化水素類、酢酸エチル、酢酸ブチ
ル等のエステル類、その他、テトラヒドロフラン、プロ
ピルエーテル、水等があげられ、これらの1種または2
種以上を混合して用いることができる。
【0042】本発明における基板にガスバリア性の薄膜
を形成するためのガスバリア用組成物は、以上説明した
ように、有機金属化合物(I) を必須成分とし、有機化合
物(II)と化合物(V) および溶媒を必要に応じて含むもの
である。有機化合物(II)が有機シラン化合物(III) であ
る場合、また化合物(V) が化合物(VI)である場合、有機
金属化合物(I) も含め、いずれも加水分解性基を有して
いるので、それぞれ単独で、もしくはこれらの2種以上
を用いて、予め(共)加水分解縮合反応を進行させてお
くことが推奨される。これらの化合物を加水分解縮合に
よって高分子量化しておけば、成膜性が良好になり、得
られるガスバリア層の均一性、平滑性がより一層向上す
るので、ガスバリア層の上に直接形成される透明導電層
の均一性も高まり、透明性・低抵抗といった特性をさら
に良好にすることができる。
を形成するためのガスバリア用組成物は、以上説明した
ように、有機金属化合物(I) を必須成分とし、有機化合
物(II)と化合物(V) および溶媒を必要に応じて含むもの
である。有機化合物(II)が有機シラン化合物(III) であ
る場合、また化合物(V) が化合物(VI)である場合、有機
金属化合物(I) も含め、いずれも加水分解性基を有して
いるので、それぞれ単独で、もしくはこれらの2種以上
を用いて、予め(共)加水分解縮合反応を進行させてお
くことが推奨される。これらの化合物を加水分解縮合に
よって高分子量化しておけば、成膜性が良好になり、得
られるガスバリア層の均一性、平滑性がより一層向上す
るので、ガスバリア層の上に直接形成される透明導電層
の均一性も高まり、透明性・低抵抗といった特性をさら
に良好にすることができる。
【0043】(共)加水分解縮合反応は、空気中の水分
でも進行するが、前記溶媒中で行うことが、これをその
ままガスバリア用組成物としてコーティング工程に利用
できるため好ましい。また反応触媒として公知の酸や塩
基を添加して行っても良い。
でも進行するが、前記溶媒中で行うことが、これをその
ままガスバリア用組成物としてコーティング工程に利用
できるため好ましい。また反応触媒として公知の酸や塩
基を添加して行っても良い。
【0044】ガスバリア用組成物の調製方法は特に限定
されないが、化合物(V) を用いる場合には、有機化合物
(II)のアミノ基と化合物(V) 中の官能基を反応させてか
ら、有機金属化合物(I) またはその加水分解縮合物を添
加すると、組成物の安定性が良好となる。有機化合物(I
I)が(III) であるか、化合物(V) が(VI)であるときは、
アミノ基の架橋反応の後、有機金属化合物(I) を加える
前か、加えてから加水分解縮合反応を行うと良い。
されないが、化合物(V) を用いる場合には、有機化合物
(II)のアミノ基と化合物(V) 中の官能基を反応させてか
ら、有機金属化合物(I) またはその加水分解縮合物を添
加すると、組成物の安定性が良好となる。有機化合物(I
I)が(III) であるか、化合物(V) が(VI)であるときは、
アミノ基の架橋反応の後、有機金属化合物(I) を加える
前か、加えてから加水分解縮合反応を行うと良い。
【0045】上記ガスバリア用組成物には、本発明の効
果を損なわない範囲で、硬化触媒、濡れ性改良剤、可塑
剤、消泡剤、増粘剤等の無機・有機系各種添加剤を必要
に応じて添加してもよい。
果を損なわない範囲で、硬化触媒、濡れ性改良剤、可塑
剤、消泡剤、増粘剤等の無機・有機系各種添加剤を必要
に応じて添加してもよい。
【0046】本発明の液晶表示デバイス用基板は、上記
ガスバリア用組成物をプラスチックフィルム基材表面に
コーティングしてガスバリア性の薄膜を形成した後、こ
の薄膜上に透明導電性の薄膜を形成することにより製造
される。プラスチックフィルム基材として利用できる樹
脂は、特に限定されないが、例えばポリエチレンテレフ
タレート、ポリエチレンイソフタレート、ポリエチレン
−2,6−ナフタレート、ポリブチレンテレフタレート
やこれらの共重合体等のポリエステル、ポリカーボネー
ト、ポリエーテルサルホン、ポリサルホン、ポリエーテ
ルエーテルケトン、ポリイミド、ポリエーテルイミド、
ポリアリレート等の耐熱性に優れた透明の樹脂が好まし
く使用できる。耐熱性、光学特性、透明性の点では、ポ
リカーボネート、ポリエーテルサルホン、ポリアリレー
トが最も好ましいものとして挙げられる。フィルム基材
の厚みは特に限定されないが、10〜500μmが好ま
しい。薄過ぎると液晶組成物の支持体としての強度に劣
り、厚過ぎると、液晶表示デバイスの薄型化の目的に反
する。
ガスバリア用組成物をプラスチックフィルム基材表面に
コーティングしてガスバリア性の薄膜を形成した後、こ
の薄膜上に透明導電性の薄膜を形成することにより製造
される。プラスチックフィルム基材として利用できる樹
脂は、特に限定されないが、例えばポリエチレンテレフ
タレート、ポリエチレンイソフタレート、ポリエチレン
−2,6−ナフタレート、ポリブチレンテレフタレート
やこれらの共重合体等のポリエステル、ポリカーボネー
ト、ポリエーテルサルホン、ポリサルホン、ポリエーテ
ルエーテルケトン、ポリイミド、ポリエーテルイミド、
ポリアリレート等の耐熱性に優れた透明の樹脂が好まし
く使用できる。耐熱性、光学特性、透明性の点では、ポ
リカーボネート、ポリエーテルサルホン、ポリアリレー
トが最も好ましいものとして挙げられる。フィルム基材
の厚みは特に限定されないが、10〜500μmが好ま
しい。薄過ぎると液晶組成物の支持体としての強度に劣
り、厚過ぎると、液晶表示デバイスの薄型化の目的に反
する。
【0047】ガスバリア用組成物を上記フィルム基材に
塗布する方法は特に限定されず、例えばロールコーティ
ング法、ディップコーティング法、バーコーティング
法、ダイコーティング法等やこれらを組み合わせた方法
を採用できる。中でも、ダイコーティング法は、ガスバ
リア用組成物の安定性を維持できる理由で好ましい。
塗布する方法は特に限定されず、例えばロールコーティ
ング法、ディップコーティング法、バーコーティング
法、ダイコーティング法等やこれらを組み合わせた方法
を採用できる。中でも、ダイコーティング法は、ガスバ
リア用組成物の安定性を維持できる理由で好ましい。
【0048】ガスバリア層(ガスバリア性薄膜)の厚み
は、乾燥後で0.1〜10μmの範囲が適している。好
ましくは0.3〜5μm、さらに好ましくは0.5〜3
μmである。ガスバリア層が0.1μmより薄いと基板
のガスバリア性が不充分となって本発明の目的を達成で
きない。逆に10μmより厚いとガスバリア層にクラッ
クが生じ、やはり優れたガスバリア性を基板に付与する
ことができない。
は、乾燥後で0.1〜10μmの範囲が適している。好
ましくは0.3〜5μm、さらに好ましくは0.5〜3
μmである。ガスバリア層が0.1μmより薄いと基板
のガスバリア性が不充分となって本発明の目的を達成で
きない。逆に10μmより厚いとガスバリア層にクラッ
クが生じ、やはり優れたガスバリア性を基板に付与する
ことができない。
【0049】ガスバリア層を形成した後は、透明導電性
物質の薄膜(透明導電層)をガスバリア層の上に直接形
成する。透明導電性物質としては、現在ITOが一般的
であるが、SnO2 系やZnO系等であってもよく、基
板の形成に際して不都合がなければ、特に限定されな
い。
物質の薄膜(透明導電層)をガスバリア層の上に直接形
成する。透明導電性物質としては、現在ITOが一般的
であるが、SnO2 系やZnO系等であってもよく、基
板の形成に際して不都合がなければ、特に限定されな
い。
【0050】透明導電性物質の薄膜の形成方法は、蒸
着、スパッタリング、コーティング等の公知の方法が利
用され、なるべくプラスチックフィルム基板に負担をか
けないように低温で行える薄膜形成方法(例えば、低電
圧スパッタ法等)を利用することが推奨される。透明導
電層の厚みは、200〜2000Åが好ましい。
着、スパッタリング、コーティング等の公知の方法が利
用され、なるべくプラスチックフィルム基板に負担をか
けないように低温で行える薄膜形成方法(例えば、低電
圧スパッタ法等)を利用することが推奨される。透明導
電層の厚みは、200〜2000Åが好ましい。
【0051】フィルム基材上にガスバリア層および透明
導電層をこの順序で設けた後は、保護層を透明導電層の
上に設けてもよい。また、フィルム基材の片面にのみガ
スバリア層と透明導電層を設けた場合には、これらの層
が設けられていないフィルム基材面に、ガスバリア層を
単独で設けたり、ウレタン樹脂系等のアンカーコート層
を介してガスバリア層を設け、必要に応じてこれらの上
に保護層を設ける等、種々の応用が可能である。
導電層をこの順序で設けた後は、保護層を透明導電層の
上に設けてもよい。また、フィルム基材の片面にのみガ
スバリア層と透明導電層を設けた場合には、これらの層
が設けられていないフィルム基材面に、ガスバリア層を
単独で設けたり、ウレタン樹脂系等のアンカーコート層
を介してガスバリア層を設け、必要に応じてこれらの上
に保護層を設ける等、種々の応用が可能である。
【0052】本発明の基板は、液晶セルの挟持に使用さ
れる。本発明の基板を適用した液晶表示デバイスの一例
を図2に示す。もちろん、この図例以外の使用例も存在
する。図2の液晶表示デバイスLにおいて、基板71
は、フィルム基材8の片面にガスバリア層9が形成さ
れ、このガスバリア層9に隣接して透明導電層10が設
けられ、さらに配向膜3が設けられた構成となってい
る。一方、基板72はフィルム基材8の両面にガスバリ
ア層91,92が形成され、ガスバリア層91に隣接し
て透明導電層10が設けられ、さらに配向膜3が設けら
れた構成となっている。両方の基板71,72によって
作られる液晶セル中に液晶組成物5を入れてエポキシ樹
脂6等で基板71,72を貼り合わせ、補償板11と偏
光板12,12および対向基板13で全体を挟持すれ
ば、液晶表示デバイスLとなる。
れる。本発明の基板を適用した液晶表示デバイスの一例
を図2に示す。もちろん、この図例以外の使用例も存在
する。図2の液晶表示デバイスLにおいて、基板71
は、フィルム基材8の片面にガスバリア層9が形成さ
れ、このガスバリア層9に隣接して透明導電層10が設
けられ、さらに配向膜3が設けられた構成となってい
る。一方、基板72はフィルム基材8の両面にガスバリ
ア層91,92が形成され、ガスバリア層91に隣接し
て透明導電層10が設けられ、さらに配向膜3が設けら
れた構成となっている。両方の基板71,72によって
作られる液晶セル中に液晶組成物5を入れてエポキシ樹
脂6等で基板71,72を貼り合わせ、補償板11と偏
光板12,12および対向基板13で全体を挟持すれ
ば、液晶表示デバイスLとなる。
【0053】
【実施例】以下実施例によって本発明をさらに詳述する
が、下記実施例は本発明を制限するものではなく、前・
後記の趣旨を逸脱しない範囲で変更実施することは全て
本発明の技術範囲に包含される。
が、下記実施例は本発明を制限するものではなく、前・
後記の趣旨を逸脱しない範囲で変更実施することは全て
本発明の技術範囲に包含される。
【0054】なお実施例で用いた特性の評価方法は、下
記の通りである。 [酸素透過度]MOCON社製の酸素透過率測定装置に
用いて、20℃、90%RHで測定した。 [透明性]ガスバリア層および透明導電層形成後の基板
の全光線透過の濁度が、プラスチックフィルム基材と比
べて、低下率が10%以内のものを○とした。
記の通りである。 [酸素透過度]MOCON社製の酸素透過率測定装置に
用いて、20℃、90%RHで測定した。 [透明性]ガスバリア層および透明導電層形成後の基板
の全光線透過の濁度が、プラスチックフィルム基材と比
べて、低下率が10%以内のものを○とした。
【0055】[密着性]セロハンテープによる碁盤目剥
離試験によって、剥離のないものを○、剥離があったも
のを×とした。 [耐溶剤性]γ−ブチロラクトンに20℃で1分間浸漬
し、外観に変化がないものを○、白濁等の変化があるも
のを×とした。
離試験によって、剥離のないものを○、剥離があったも
のを×とした。 [耐溶剤性]γ−ブチロラクトンに20℃で1分間浸漬
し、外観に変化がないものを○、白濁等の変化があるも
のを×とした。
【0056】実施例1 50.0kgのγ−アミノプロピルトリメトキシシラン
に、レゾルシノールジグリシジルエーテル15.0kg
と、メタノール50.0kgを加え、窒素雰囲気下で撹
拌しながら65℃で2時間反応させた。反応液に、メタ
ノール70.0kgと水7.0kgの混合液を30分か
けて滴下して室温に冷却した後、メタノール20.0k
gとテトラメトキシシランのオリゴマーである「M−シ
リケート51」30.0kgをさらに30分かけて滴下
して加え、ガスバリア用組成物1を得た。
に、レゾルシノールジグリシジルエーテル15.0kg
と、メタノール50.0kgを加え、窒素雰囲気下で撹
拌しながら65℃で2時間反応させた。反応液に、メタ
ノール70.0kgと水7.0kgの混合液を30分か
けて滴下して室温に冷却した後、メタノール20.0k
gとテトラメトキシシランのオリゴマーである「M−シ
リケート51」30.0kgをさらに30分かけて滴下
して加え、ガスバリア用組成物1を得た。
【0057】上記ガスバリア用組成物を乾燥後の厚みが
1.5μmになるように、厚さ100μmのポリカーボ
ネートフィルム(以下PCフィルムという)の両面にコ
ーティングし、次いで、片面のガスバリア層の上に直
接、スパッタ法で、透明導電性物質ITOを厚さ100
0Åに成膜した。得られた基板の特性評価結果を表1に
示した。
1.5μmになるように、厚さ100μmのポリカーボ
ネートフィルム(以下PCフィルムという)の両面にコ
ーティングし、次いで、片面のガスバリア層の上に直
接、スパッタ法で、透明導電性物質ITOを厚さ100
0Åに成膜した。得られた基板の特性評価結果を表1に
示した。
【0058】実施例2〜4および比較例1〜3 表1に示したように、プラスチックフィルム基材の種
類、ガスバリア用組成物の組成、透明導電性物質の膜厚
を代えた以外は、実施例1と同様にして液晶表示デバイ
ス用基板を作製した。評価結果を表1に併記した。
類、ガスバリア用組成物の組成、透明導電性物質の膜厚
を代えた以外は、実施例1と同様にして液晶表示デバイ
ス用基板を作製した。評価結果を表1に併記した。
【0059】なお表1において、酸素透過度の単位はc
c/m2 ・24hrs・atmであり、ガスバリア用組
成物の表現には、下記の略号を用いた。 M−51 :M−シリケート51(テトラメトキシシラ
ンオリゴマー) ES :テトラエトキシシラン APTMS:γ−アミノプロピルトリメトキシシラン APTES:γ−アミノプロピルトリエトキシシラン GTMOS:γ−グリシドキシプロピルトリメトキシシ
ラン RDGE :レゾルシノールジグリシジルエーテル PEI :ポリエチレンイミン(日本触媒社製「SP
081」)
c/m2 ・24hrs・atmであり、ガスバリア用組
成物の表現には、下記の略号を用いた。 M−51 :M−シリケート51(テトラメトキシシラ
ンオリゴマー) ES :テトラエトキシシラン APTMS:γ−アミノプロピルトリメトキシシラン APTES:γ−アミノプロピルトリエトキシシラン GTMOS:γ−グリシドキシプロピルトリメトキシシ
ラン RDGE :レゾルシノールジグリシジルエーテル PEI :ポリエチレンイミン(日本触媒社製「SP
081」)
【0060】
【表1】
【0061】
【発明の効果】本発明の液晶表示デバイス用基板は、プ
ラスチックフィルム基材の表面にガスバリア層と透明導
電層を設けた構成であるので、液晶セルをこの基板で挟
持して真空状態で液晶組成物を封入しても、セル内で気
泡等が発生することはなく、またガスバリア層と透明導
電層の密着性にも優れている。さらに、透明導電層をガ
スバリア層の上に直接設ける構成によって、他の支持体
の上にアンダーコート層を介して透明導電層を形成し、
必要に応じて保護層等も設けてからガラス基板と積層し
なければならなかった従来の液晶表示デバイスに比べ、
極めて薄型なものを低コストで製造することができるよ
うになった。
ラスチックフィルム基材の表面にガスバリア層と透明導
電層を設けた構成であるので、液晶セルをこの基板で挟
持して真空状態で液晶組成物を封入しても、セル内で気
泡等が発生することはなく、またガスバリア層と透明導
電層の密着性にも優れている。さらに、透明導電層をガ
スバリア層の上に直接設ける構成によって、他の支持体
の上にアンダーコート層を介して透明導電層を形成し、
必要に応じて保護層等も設けてからガラス基板と積層し
なければならなかった従来の液晶表示デバイスに比べ、
極めて薄型なものを低コストで製造することができるよ
うになった。
【図1】従来の液晶表示デバイスの概略図である。
【図2】本発明の液晶表示デバイス用基板を用いた液晶
表示デバイスの説明図である。
表示デバイスの説明図である。
1 液晶パネル L 液晶表示デバイス 2 ガラス基板 3 配向膜 4 透明電極 5 液晶組成物 6 エポキシ樹脂 71,72 液晶表示デバイス用基板 8 フィルム基材 9,91,92 ガスバリア層 10 透明導電層 11 補償板 12 偏光板 13 対向基板
Claims (4)
- 【請求項1】 液晶表示デバイスの液晶セルを挟持する
ための基板であって、 基板が、プラスチックフィルム基材の少なくとも片面
に、ガスバリア性の薄膜と透明導電性物質の薄膜が順次
形成されてなり、 かつ、前記ガスバリア性の薄膜が、下記一般式で示され
る有機金属化合物(I)および/またはその加水分解縮合
物、 R1 mM(OR2 )n …(I) (式中Mは金属元素、R1 は同一または異なっていても
よく、水素原子、低級アルキル基、アリール基、ビニル
基または炭素鎖に直結したメルカプト基、または(メ
タ)アクリロイル基を表し、R2 は同一または異なって
いてもよく、水素原子、低級アルキル基またはアシル基
を表し、mは0または正の整数、nは1以上の整数でか
つm+nは金属元素Mの原子価と一致する)を必須成分
として含有するガスバリア用組成物を前記プラスチック
フィルム基材にコーティングすることにより形成された
ものであることを特徴とする液晶表示デバイス用基板。 - 【請求項2】 ガスバリア用組成物に、さらに、分子内
に1級および/または2級アミノ基を有する有機化合物
(II)が含まれているものである請求項1に記載の液晶表
示デバイス用基板。 - 【請求項3】 ガスバリア用組成物が、さらに、アミノ
基と反応し得る官能基を分子内に有する化合物(V) を含
有する請求項2に記載の液晶表示デバイス用基板。 - 【請求項4】 液晶表示デバイスの液晶セルを挟持する
ための基板を製造する方法であって、下記一般式で示さ
れる有機金属化合物(I) および/またはその加水分解縮
合物 R1 mM(OR2 )n …(I) (式中Mは金属元素、R1 は同一または異なっていても
よく、水素原子、低級アルキル基、アリール基、ビニル
基または炭素鎖に直結したメルカプト基、または(メ
タ)アクリロイル基を表し、R2 は同一または異なって
いてもよく、水素原子、低級アルキル基またはアシル基
を表し、mは0または正の整数、nは1以上の整数でか
つm+nは金属元素Mの原子価と一致する)を必須成分
として含有するガスバリア用組成物を、プラスチックフ
ィルム基材の少なくとも片面にコーティングすることに
よりガスバリア性の薄膜を形成した後、透明導電性物質
の薄膜を前記ガスバリア性の薄膜上に形成することを特
徴とする液晶表示デバイス用基板の製法。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8134897A JPH10274944A (ja) | 1997-03-31 | 1997-03-31 | 液晶表示デバイス用基板およびその製法 |
| US08/935,109 US6010757A (en) | 1997-03-31 | 1997-09-29 | Surface coating composition |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8134897A JPH10274944A (ja) | 1997-03-31 | 1997-03-31 | 液晶表示デバイス用基板およびその製法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH10274944A true JPH10274944A (ja) | 1998-10-13 |
Family
ID=13743873
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8134897A Pending JPH10274944A (ja) | 1997-03-31 | 1997-03-31 | 液晶表示デバイス用基板およびその製法 |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US6010757A (ja) |
| JP (1) | JPH10274944A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2004025732A (ja) * | 2002-06-27 | 2004-01-29 | Fuji Photo Film Co Ltd | ガスバリア性フィルム |
Families Citing this family (19)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6312085B1 (en) * | 1997-06-26 | 2001-11-06 | Pelikan Produktions Ag | Ink jet printing head with elements made of organosilicic compounds |
| JPH11261676A (ja) * | 1998-03-10 | 1999-09-24 | Toshiba Corp | 液晶表示器および液晶表示器を備えた小型電子機器 |
| US6908955B2 (en) * | 1999-07-09 | 2005-06-21 | Construction Research & Technology Gmbh | Oligomeric dispersant |
| US7279205B2 (en) * | 2001-02-07 | 2007-10-09 | Sonoco Development, Inc. | Packaging material |
| US6926951B2 (en) * | 2001-04-04 | 2005-08-09 | Sonoco Development, Inc. | Laminate for gum packaging |
| US20060022309A1 (en) * | 2002-12-12 | 2006-02-02 | Denki Kagaku Kogyo Kabushiki Kaisha | Surface protective film |
| US7294400B2 (en) * | 2003-03-17 | 2007-11-13 | Hewlett-Packard Development Company, L.P. | Flexible barrier film structure |
| US20040244907A1 (en) * | 2003-06-06 | 2004-12-09 | Huffer Scott W. | Methods of making printed labels and labeling articles |
| US20050100753A1 (en) * | 2003-11-07 | 2005-05-12 | Reese Barry R. | Mono-web directional tear packaging film |
| US20050274933A1 (en) * | 2004-06-15 | 2005-12-15 | Peng Chen | Formulation for printing organometallic compounds to form conductive traces |
| US7371459B2 (en) | 2004-09-03 | 2008-05-13 | Tyco Electronics Corporation | Electrical devices having an oxygen barrier coating |
| US20060078740A1 (en) * | 2004-10-07 | 2006-04-13 | Zern John R | Barrier coatings |
| WO2008042408A2 (en) * | 2006-10-03 | 2008-04-10 | Wyeth | Lyophilization methods and apparatuses |
| JP4671050B2 (ja) * | 2006-11-27 | 2011-04-13 | 信越化学工業株式会社 | 含ケイ素水溶性高分子化合物及びその製造方法、プライマー組成物、コーティング剤組成物、並びに該組成物が被覆・処理された物品 |
| JP4998702B2 (ja) * | 2007-01-17 | 2012-08-15 | 信越化学工業株式会社 | コーティング剤組成物で被覆又は表面処理されてなる物品 |
| US8236203B2 (en) * | 2009-04-15 | 2012-08-07 | Hihara Lloyd H | Corrosion protection coatings and methods of making the same |
| US8525809B2 (en) * | 2009-07-02 | 2013-09-03 | Applied Vacuum Coating Technologies Co., Ltd. | Digital capacitive touch panel structure |
| EP2521755B1 (en) * | 2010-01-07 | 2016-10-26 | The University Of Hawaii | Corrosion protection coatings and methods of making the same |
| MX2022007808A (es) | 2019-12-23 | 2022-07-19 | Sonoco Dev Inc | Hoja y charola reciclable de alta barrera. |
Family Cites Families (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US3166527A (en) * | 1960-10-03 | 1965-01-19 | Union Carbide Corp | Anti-corrosion, amino-organosiliconepoxy finishing compositions |
| US3287160A (en) * | 1962-07-12 | 1966-11-22 | Union Carbide Corp | Tetrafunctional silyl-oxymethylene compounds as curing agents for epoxy resins |
| US3271331A (en) * | 1963-10-10 | 1966-09-06 | Union Carbide Corp | Phenolic foams stabilized by siloxane-oxyalkylene copolymers |
| JPH0719079B2 (ja) * | 1983-06-03 | 1995-03-06 | 富士ゼロックス株式会社 | 静電荷像現像用キャリヤ粒子 |
| WO1995009211A1 (en) * | 1993-09-29 | 1995-04-06 | Nippon Shokubai Co., Ltd. | Surface treatment composition and surface-treated resin molding |
| JP3162887B2 (ja) * | 1993-10-01 | 2001-05-08 | パウダーテック株式会社 | 電子写真現像剤用樹脂コートキャリアおよびその製造方法、並びに該キャリアを用いた現像剤 |
| JPH07160058A (ja) * | 1993-12-07 | 1995-06-23 | Mitsubishi Chem Corp | 静電荷像現像用キャリアおよび現像剤 |
-
1997
- 1997-03-31 JP JP8134897A patent/JPH10274944A/ja active Pending
- 1997-09-29 US US08/935,109 patent/US6010757A/en not_active Expired - Fee Related
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2004025732A (ja) * | 2002-06-27 | 2004-01-29 | Fuji Photo Film Co Ltd | ガスバリア性フィルム |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| US6010757A (en) | 2000-01-04 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JPH10274944A (ja) | 液晶表示デバイス用基板およびその製法 | |
| EP0726579B1 (en) | Transparent conductive sheet | |
| KR100763780B1 (ko) | 투명 적층체, 안경용 플라스틱 렌즈 및 프라이머 조성물 | |
| TWI845660B (zh) | 離型膜、膜積層體、彼等之製造方法 | |
| US20120263947A1 (en) | Pressure-sensitive adhesive layer-attached transparent resin film, laminated film, and touch panel | |
| US20180243789A1 (en) | Method for preparing a barrier film | |
| CN112094422B (zh) | 一种高透光性阻隔膜及其应用 | |
| JP4952707B2 (ja) | ガスバリア性シート、ガスバリア性シートの製造方法、及び製品 | |
| JP2023073287A (ja) | 光拡散性バリアフィルム | |
| EP3718763B1 (en) | Barrier film | |
| JP2003297556A (ja) | 表示素子用基材、表示パネル、表示装置及び表示素子用基材の製造方法 | |
| JP2015059215A (ja) | 光学フィルム用接着剤、積層光学フィルムおよびその製造方法 | |
| JP3403880B2 (ja) | 透明ガスバリアー性積層フィルムおよびその製造方法 | |
| JPH1016142A (ja) | 透明ガスバリアー性積層フィルムおよびその製造方法 | |
| CN103249767B (zh) | 成形体、其制备方法、电子装置用部件及电子装置 | |
| JP7537210B2 (ja) | 離型フィルム | |
| JPH1052876A (ja) | 透明導電性積層体 | |
| JP3060903B2 (ja) | 液晶表示装置 | |
| JP2013091290A (ja) | 透明ガスバリア積層体 | |
| KR20110057723A (ko) | 내수성 및 표면경도가 우수한 대전방지 폴리에스테르 이접착필름 | |
| JP2002287129A (ja) | カラーフィルター基板 | |
| JP3781181B2 (ja) | ガスバリア用包装材料 | |
| JPH1166969A (ja) | 透明導電フィルム | |
| JPH10111500A (ja) | 透明電極基板及びそれを用いた液晶表示素子 | |
| JP2002347161A (ja) | 粒子分散系樹脂シートおよび液晶表示装置 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20040609 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20050830 |
|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20060110 |