JPH10275974A - 微細ボール搭載装置 - Google Patents
微細ボール搭載装置Info
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- JPH10275974A JPH10275974A JP8142897A JP8142897A JPH10275974A JP H10275974 A JPH10275974 A JP H10275974A JP 8142897 A JP8142897 A JP 8142897A JP 8142897 A JP8142897 A JP 8142897A JP H10275974 A JPH10275974 A JP H10275974A
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-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
- H05K3/00—Apparatus or processes for manufacturing printed circuits
- H05K3/30—Assembling printed circuits with electric components, e.g. with resistors
- H05K3/32—Assembling printed circuits with electric components, e.g. with resistors electrically connecting electric components or wires to printed circuits
- H05K3/34—Assembling printed circuits with electric components, e.g. with resistors electrically connecting electric components or wires to printed circuits by soldering
- H05K3/3465—Application of solder
- H05K3/3478—Application of solder preforms; Transferring prefabricated solder patterns
Landscapes
- Electric Connection Of Electric Components To Printed Circuits (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 極めて良好にかつ確実に吸着治具の吸着孔へ
バンプとなる微細ボールを吸着させてワークへの微細ボ
ールの搭載作業を良好に行わせる。 【解決手段】 吸引装置によって吸着治具３１の吸着孔
３１ａに微細ボールＢを吸着させる吸着ヘッド１２と、
微細ボールＢが貯留されたボール供給部１５とから吸着
装置を構成する。吸着ヘッド１２の吸着治具３１ととも
に空間部Ｋを形成するケース２１と、ケース２１内に設
けられた通気性を有するフィルタ２３とからボール供給
部１５を構成する。ケース２１内におけるフィルタ２３
の下方側へ空気を送り込む圧縮空気供給源を設ける。吸
着孔３１ａから空気を吸引して吸着孔３１ａに微細ボー
ルＢを吸着させる際に、圧縮空気供給源から空気を送り
込んで、フィルタ２３の上面に載置させた微細ボールＢ
を空間部Ｋ内にて浮遊させ、吸着孔３１ａへの微細ボー
ルＢの吸着を良好に行わせる。
バンプとなる微細ボールを吸着させてワークへの微細ボ
ールの搭載作業を良好に行わせる。 【解決手段】 吸引装置によって吸着治具３１の吸着孔
３１ａに微細ボールＢを吸着させる吸着ヘッド１２と、
微細ボールＢが貯留されたボール供給部１５とから吸着
装置を構成する。吸着ヘッド１２の吸着治具３１ととも
に空間部Ｋを形成するケース２１と、ケース２１内に設
けられた通気性を有するフィルタ２３とからボール供給
部１５を構成する。ケース２１内におけるフィルタ２３
の下方側へ空気を送り込む圧縮空気供給源を設ける。吸
着孔３１ａから空気を吸引して吸着孔３１ａに微細ボー
ルＢを吸着させる際に、圧縮空気供給源から空気を送り
込んで、フィルタ２３の上面に載置させた微細ボールＢ
を空間部Ｋ内にて浮遊させ、吸着孔３１ａへの微細ボー
ルＢの吸着を良好に行わせる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】この発明は、バンプとなる微
細ボールを吸着して、基板やチップ等のワークへ搭載さ
せる微細ボール搭載装置に関するものである。
細ボールを吸着して、基板やチップ等のワークへ搭載さ
せる微細ボール搭載装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来より、バンプとなる微細ボールを吸
着して、基板やチップ等のワークへ搭載させる微細ボー
ル搭載装置には、ワークへ搭載させる数の微細ボールを
吸着する吸着装置が設けられている。この種の吸着装置
には、図４に示すように、昇降機構（図示略）によって
昇降される吸着ヘッド１が設けられており、この吸着ヘ
ッド１は、流動化して浮遊させた微細ボールＢを真空吸
着するための複数の吸着孔２ａが形成された板状の吸着
治具２を有している。そして、上記吸着ヘッド１を昇降
機構によって下降させて、下方に設けられた金属製のス
トック皿３内に入れられた微細ボールＢに近づけた状態
にて、図示しない吸引装置によって吸引すると、吸着治
具２の吸着孔２ａに微細ボールＢが真空吸着されるよう
になっている。また、この種の吸着装置の吸着治具２に
形成された吸着孔２ａは、極めて小径であるため、吸着
孔２ａから離れると空気の流動が少なく、このため、微
細ボールＢが入れられたストック皿３をパーツフィーダ
等の振動発生器４によって振動させ、その振動によって
ストック皿３内の微細ボールＢを吸着孔２ａ付近まで飛
ばして、その吸着性を高めるようになっている。
着して、基板やチップ等のワークへ搭載させる微細ボー
ル搭載装置には、ワークへ搭載させる数の微細ボールを
吸着する吸着装置が設けられている。この種の吸着装置
には、図４に示すように、昇降機構（図示略）によって
昇降される吸着ヘッド１が設けられており、この吸着ヘ
ッド１は、流動化して浮遊させた微細ボールＢを真空吸
着するための複数の吸着孔２ａが形成された板状の吸着
治具２を有している。そして、上記吸着ヘッド１を昇降
機構によって下降させて、下方に設けられた金属製のス
トック皿３内に入れられた微細ボールＢに近づけた状態
にて、図示しない吸引装置によって吸引すると、吸着治
具２の吸着孔２ａに微細ボールＢが真空吸着されるよう
になっている。また、この種の吸着装置の吸着治具２に
形成された吸着孔２ａは、極めて小径であるため、吸着
孔２ａから離れると空気の流動が少なく、このため、微
細ボールＢが入れられたストック皿３をパーツフィーダ
等の振動発生器４によって振動させ、その振動によって
ストック皿３内の微細ボールＢを吸着孔２ａ付近まで飛
ばして、その吸着性を高めるようになっている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】ところで、上記のよう
に、振動によって微細ボールＢを飛ばす上記構造の吸着
装置を有する微細ボール搭載装置の場合、機械的振動に
よって微細ボールＢ同士が擦れてしまい、その摩擦によ
って金属粉等が生じて悪影響を与えてしまうという問題
があった。また、摩擦によって静電気力が生じ、微細ボ
ールＢ同士が団子状に連なってしまい、吸着ヘッド１へ
の良好な吸着が行われなくなってしまうという問題があ
った。そして、このような場合、特開平７−１５３７６
５号公報に示されているように、吸着時に吸着ヘッド１
側に超音波振動を与えて余分に吸着されている微細ボー
ルＢを落としたり、あるいは特開平８−１６２４９４号
公報、特開平８−１６２４９５号公報に示されているよ
うに、流動させる微細ボールＢを斜めに振動させて、そ
の斜め振動の水平成分により余分な微細ボールＢを振り
落とすことが行われているが、いずれもその構造が大掛
かりとなってしまったり、あるいは振動による金属粉の
発生をなくすことはできないものであった。
に、振動によって微細ボールＢを飛ばす上記構造の吸着
装置を有する微細ボール搭載装置の場合、機械的振動に
よって微細ボールＢ同士が擦れてしまい、その摩擦によ
って金属粉等が生じて悪影響を与えてしまうという問題
があった。また、摩擦によって静電気力が生じ、微細ボ
ールＢ同士が団子状に連なってしまい、吸着ヘッド１へ
の良好な吸着が行われなくなってしまうという問題があ
った。そして、このような場合、特開平７−１５３７６
５号公報に示されているように、吸着時に吸着ヘッド１
側に超音波振動を与えて余分に吸着されている微細ボー
ルＢを落としたり、あるいは特開平８−１６２４９４号
公報、特開平８−１６２４９５号公報に示されているよ
うに、流動させる微細ボールＢを斜めに振動させて、そ
の斜め振動の水平成分により余分な微細ボールＢを振り
落とすことが行われているが、いずれもその構造が大掛
かりとなってしまったり、あるいは振動による金属粉の
発生をなくすことはできないものであった。
【０００４】この発明は、上記事情に鑑みてなされたも
ので、装置の大掛かり化を招くことなく、極めて効率良
く吸着治具の吸着孔へ微細ボールを確実に吸着させるこ
とができる吸着装置を備えた微細ボール搭載装置を提供
することを目的としている。
ので、装置の大掛かり化を招くことなく、極めて効率良
く吸着治具の吸着孔へ微細ボールを確実に吸着させるこ
とができる吸着装置を備えた微細ボール搭載装置を提供
することを目的としている。
【０００５】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、請求項１記載の微細ボール搭載装置は、バンプとな
る微細ボールを吸着し、この吸着した微細ボールをワー
クへ搭載させる微細ボール搭載装置であって、複数の吸
着孔が形成された吸着治具を有し、吸引手段によって前
記吸着孔に前記微細ボールを吸着させる吸着ヘッドと、
該吸着ヘッドへ吸着させる微細ボールが貯留されたボー
ル供給部とを有する吸着装置を具備してなり、前記ボー
ル供給部には、前記吸着ヘッドが設置されることによ
り、この吸着ヘッドの前記吸着治具とともに空間部を形
成するケースと、該ケース内に設けられた通気性を有す
るフィルタと、該ケース内における前記フィルタの下方
側へ空気を送り込む空気供給手段とを有し、該空気供給
手段から空気を送り込むことにより、前記フィルタの上
面に載置させた微細ボールを前記空間部内にて浮遊させ
ることを特徴としている。
に、請求項１記載の微細ボール搭載装置は、バンプとな
る微細ボールを吸着し、この吸着した微細ボールをワー
クへ搭載させる微細ボール搭載装置であって、複数の吸
着孔が形成された吸着治具を有し、吸引手段によって前
記吸着孔に前記微細ボールを吸着させる吸着ヘッドと、
該吸着ヘッドへ吸着させる微細ボールが貯留されたボー
ル供給部とを有する吸着装置を具備してなり、前記ボー
ル供給部には、前記吸着ヘッドが設置されることによ
り、この吸着ヘッドの前記吸着治具とともに空間部を形
成するケースと、該ケース内に設けられた通気性を有す
るフィルタと、該ケース内における前記フィルタの下方
側へ空気を送り込む空気供給手段とを有し、該空気供給
手段から空気を送り込むことにより、前記フィルタの上
面に載置させた微細ボールを前記空間部内にて浮遊させ
ることを特徴としている。
【０００６】請求項２記載の微細ボール搭載装置は、請
求項１記載の微細ボール搭載装置において、前記ケース
内に、前記フィルタの下方側に複数の孔部が形成された
板部が設けられ、該板部の孔部を介して前記空気供給手
段から供給される空気が前記フィルタへ吹き付けられる
ことを特徴としている。請求項３記載の微細ボール搭載
装置は、請求項２記載の微細ボール搭載装置において、
前記板部の孔部が、外方側よりも中央側が大径とされて
いることを特徴としている。
求項１記載の微細ボール搭載装置において、前記ケース
内に、前記フィルタの下方側に複数の孔部が形成された
板部が設けられ、該板部の孔部を介して前記空気供給手
段から供給される空気が前記フィルタへ吹き付けられる
ことを特徴としている。請求項３記載の微細ボール搭載
装置は、請求項２記載の微細ボール搭載装置において、
前記板部の孔部が、外方側よりも中央側が大径とされて
いることを特徴としている。
【０００７】請求項４記載の微細ボール搭載装置は、請
求項１記載の微細ボール搭載装置において、前記ケース
内における前記フィルタの下方側には、前記空気供給手
段として前記フィルタ方向へ向かって空気を送り出すフ
ァンが設けられていることを特徴としている。請求項５
記載の微細ボール搭載装置は、請求項１〜４のいずれか
１項記載の微細ボール搭載装置において、前記空気供給
手段による空気の供給が断続的にまたは強弱をつけて行
われることを特徴としている。請求項６記載の微細ボー
ル搭載装置は、請求項１記載の微細ボール搭載装置にお
いて、正常に吸着した微細ボールに連なって付着する余
剰微細ボールを、前記空気供給手段による空気の流動に
より除去することを特徴としている。
求項１記載の微細ボール搭載装置において、前記ケース
内における前記フィルタの下方側には、前記空気供給手
段として前記フィルタ方向へ向かって空気を送り出すフ
ァンが設けられていることを特徴としている。請求項５
記載の微細ボール搭載装置は、請求項１〜４のいずれか
１項記載の微細ボール搭載装置において、前記空気供給
手段による空気の供給が断続的にまたは強弱をつけて行
われることを特徴としている。請求項６記載の微細ボー
ル搭載装置は、請求項１記載の微細ボール搭載装置にお
いて、正常に吸着した微細ボールに連なって付着する余
剰微細ボールを、前記空気供給手段による空気の流動に
より除去することを特徴としている。
【０００８】
【発明の実施の形態】以下、本発明の微細ボール搭載装
置の実施の形態を図によって説明する。図１において、
符号１１は、微細ボール搭載装置を構成する微細ボール
吸着装置である。この微細ボール吸着装置１１の吸着ヘ
ッド１２は、昇降機構１３を介して移動機構１４に支持
されている。この移動機構１４は、ベースに固定された
支持部１４ａと、この支持部１４ａに対して一方向へ移
動可能に支持されたアーム１４ｂとを有しており、この
アーム１４ｂに、前記昇降機構１３を有する吸着ヘッド
１２が一方向へ移動可能に支持されている。即ち、この
移動機構１４によって吸着ヘッド１２が互いに直交する
２方向へ移動されるようになっている。ベース上には、
ボール供給部１５が設けられており、このボール供給部
１５には、チューブ１６ａを介して圧縮空気源１６が接
続されている。なお、図１中符号２９は、吸着ヘッド１
２にチューブ２９ａを介して接続された吸引装置（吸引
手段）であり、この吸引装置２９によって吸着ヘッド１
２の吸着治具３１に形成された複数の吸着孔３１ａから
空気を吸引させるようになっている。
置の実施の形態を図によって説明する。図１において、
符号１１は、微細ボール搭載装置を構成する微細ボール
吸着装置である。この微細ボール吸着装置１１の吸着ヘ
ッド１２は、昇降機構１３を介して移動機構１４に支持
されている。この移動機構１４は、ベースに固定された
支持部１４ａと、この支持部１４ａに対して一方向へ移
動可能に支持されたアーム１４ｂとを有しており、この
アーム１４ｂに、前記昇降機構１３を有する吸着ヘッド
１２が一方向へ移動可能に支持されている。即ち、この
移動機構１４によって吸着ヘッド１２が互いに直交する
２方向へ移動されるようになっている。ベース上には、
ボール供給部１５が設けられており、このボール供給部
１５には、チューブ１６ａを介して圧縮空気源１６が接
続されている。なお、図１中符号２９は、吸着ヘッド１
２にチューブ２９ａを介して接続された吸引装置（吸引
手段）であり、この吸引装置２９によって吸着ヘッド１
２の吸着治具３１に形成された複数の吸着孔３１ａから
空気を吸引させるようになっている。
【０００９】図２に示すように、ボール供給部１５は、
凹状に形成されたケース２１と、このケース２１内に設
けられた凹状のハウジング２２と、このハウジング２２
の上部を覆うように配設された通気性を有する例えば金
属製金網等からなるフィルタ２３とから構成されてい
る。なお、このフィルタ２３としては、金属製に限らず
合成樹脂製等であっても良い。ケース２１は、下部ケー
ス２１ａと、この下部ケース２１ａの上部にＯリング２
１ｃを介して密閉状態に取り付けられた上部ケース２１
ｂとからなるもので、これら下部ケース２１ａ及び上部
ケース２１ｂには、それぞれ段部２４、２５が形成さ
れ、これら段部２４、２５間の凹所にフィルタ２３が取
り付けられたハウジング２２が収納保持されている。ま
た、下部ケース２１ａには、その底部に孔部２６が形成
されており、この孔部２６には、前述した圧縮空気源
（空気供給手段）１６からのチューブ１６ａが接続され
ている。また、上部ケース２１ｂには、その上端にＯリ
ング２７が設けられており、ボール供給部１５上に吸着
ヘッド１２が設置された際に、ボール供給部１５のケー
ス２１内の凹部と吸着ヘッド１２の吸着治具３１とによ
って囲われた空間部Ｋが密閉されるようになっている。
凹状に形成されたケース２１と、このケース２１内に設
けられた凹状のハウジング２２と、このハウジング２２
の上部を覆うように配設された通気性を有する例えば金
属製金網等からなるフィルタ２３とから構成されてい
る。なお、このフィルタ２３としては、金属製に限らず
合成樹脂製等であっても良い。ケース２１は、下部ケー
ス２１ａと、この下部ケース２１ａの上部にＯリング２
１ｃを介して密閉状態に取り付けられた上部ケース２１
ｂとからなるもので、これら下部ケース２１ａ及び上部
ケース２１ｂには、それぞれ段部２４、２５が形成さ
れ、これら段部２４、２５間の凹所にフィルタ２３が取
り付けられたハウジング２２が収納保持されている。ま
た、下部ケース２１ａには、その底部に孔部２６が形成
されており、この孔部２６には、前述した圧縮空気源
（空気供給手段）１６からのチューブ１６ａが接続され
ている。また、上部ケース２１ｂには、その上端にＯリ
ング２７が設けられており、ボール供給部１５上に吸着
ヘッド１２が設置された際に、ボール供給部１５のケー
ス２１内の凹部と吸着ヘッド１２の吸着治具３１とによ
って囲われた空間部Ｋが密閉されるようになっている。
【００１０】ケース２１内に収納されたハウジング２２
には、その底部からなる板部２２ａに、複数の圧縮空気
供給孔（孔部）２８が形成されている。これら圧縮空気
供給孔２８は、その中央側のものが大径とされ、外方側
のものが小径とされている。
には、その底部からなる板部２２ａに、複数の圧縮空気
供給孔（孔部）２８が形成されている。これら圧縮空気
供給孔２８は、その中央側のものが大径とされ、外方側
のものが小径とされている。
【００１１】次に、上記構成の微細ボール搭載装置によ
ってワークへ微細ボールＢを搭載させる場合について説
明する。移動機構１４によって吸着ヘッド１２がボール
供給部１５の上方位置へ移動され、さらに、昇降機構１
３によって吸着ヘッド１２が下降され、この吸着ヘッド
１２がボール供給部１５の上部に設置される。このよう
に、吸着ヘッド１２がボール供給部１５上に設置される
と、ボール供給部１５のケース２１の上部ケース２１ｂ
上に設けられたＯリング２７によって吸着ヘッド１２と
ボール供給部１５とが密着され、ボール供給部１５のケ
ース２１内の凹部と吸着ヘッド１２の吸着治具３１とに
よって囲われた空間部Ｋが密閉される。この状態にて、
吸引装置２９及び圧縮空気源１６がそれぞれ作動する。
これにより、吸着ヘッド１２の吸着治具３１の吸着孔３
１ａから空気が吸引され、これにともない、ボール供給
部１５のフィルタ２３上に載置された微細ボールＢが吸
引されて吸着孔３１ａに吸着される。
ってワークへ微細ボールＢを搭載させる場合について説
明する。移動機構１４によって吸着ヘッド１２がボール
供給部１５の上方位置へ移動され、さらに、昇降機構１
３によって吸着ヘッド１２が下降され、この吸着ヘッド
１２がボール供給部１５の上部に設置される。このよう
に、吸着ヘッド１２がボール供給部１５上に設置される
と、ボール供給部１５のケース２１の上部ケース２１ｂ
上に設けられたＯリング２７によって吸着ヘッド１２と
ボール供給部１５とが密着され、ボール供給部１５のケ
ース２１内の凹部と吸着ヘッド１２の吸着治具３１とに
よって囲われた空間部Ｋが密閉される。この状態にて、
吸引装置２９及び圧縮空気源１６がそれぞれ作動する。
これにより、吸着ヘッド１２の吸着治具３１の吸着孔３
１ａから空気が吸引され、これにともない、ボール供給
部１５のフィルタ２３上に載置された微細ボールＢが吸
引されて吸着孔３１ａに吸着される。
【００１２】ここで、ボール供給部１５では、圧縮空気
源１６から送り出された圧縮空気が、ハウジング２２の
底部からなる板部２２ａに形成された圧縮空気供給孔２
８を通ってハウジング２２の凹部内に送り出され、さら
に、フィルタ２３を介して吸着ヘッド１２方向へ吹き出
され、これにより、このフィルタ２３上に載置されてい
る微細ボールＢが吸着治具３１方向へ吹き上げられて浮
遊され、さらに、吸着孔３１ａの近傍にて空気が流れる
ため、微細ボールＢが流動することとなり、微細ボール
Ｂを吸着治具３１の全面に沿って浮遊させることがで
き、これにより、各吸着孔３１ａへ微細ボールＢを確実
に吸着させることができる。また、例えば、微細ボール
Ｂに静電気力が発生したときは、正常に吸着した微細ボ
ールＢに連なって付着する余剰微細ボールＢが団子状に
なるが、圧縮空気源１６から供給された圧縮空気が吸着
治具３１にぶつかり平面に沿った水平流が発生して、こ
の空気の流動により、各吸着孔３１ａに吸着されていな
い余剰微細ボールＢは除去される。
源１６から送り出された圧縮空気が、ハウジング２２の
底部からなる板部２２ａに形成された圧縮空気供給孔２
８を通ってハウジング２２の凹部内に送り出され、さら
に、フィルタ２３を介して吸着ヘッド１２方向へ吹き出
され、これにより、このフィルタ２３上に載置されてい
る微細ボールＢが吸着治具３１方向へ吹き上げられて浮
遊され、さらに、吸着孔３１ａの近傍にて空気が流れる
ため、微細ボールＢが流動することとなり、微細ボール
Ｂを吸着治具３１の全面に沿って浮遊させることがで
き、これにより、各吸着孔３１ａへ微細ボールＢを確実
に吸着させることができる。また、例えば、微細ボール
Ｂに静電気力が発生したときは、正常に吸着した微細ボ
ールＢに連なって付着する余剰微細ボールＢが団子状に
なるが、圧縮空気源１６から供給された圧縮空気が吸着
治具３１にぶつかり平面に沿った水平流が発生して、こ
の空気の流動により、各吸着孔３１ａに吸着されていな
い余剰微細ボールＢは除去される。
【００１３】特に、上記ボール供給部１５のハウジング
２２の底部からなる板部２２ａに形成された圧縮空気供
給孔２８が中央側と外方側にて異なっているので、フィ
ルタ２３の上方に吹き出させる空気を良好に流動させる
ことができる。つまり、中心部分の流速がその周囲に比
べて遅くなるため、微細ボールＢを中央に集めて中心部
分における密度を高くするように浮遊させることができ
る。また、圧縮空気源１６からの圧縮空気の供給を断続
的に行ったり、強弱をつけて送り出すことにより、ボー
ル供給部１５と吸着ヘッド１２の吸着治具３１とによっ
て形成された空間部Ｋ内の空気の流速をさらに流動させ
て微細ボールＢを浮遊させることができ、吸着孔３１ａ
へさらに良好に微細ボールＢを吸着させることができ
る。
２２の底部からなる板部２２ａに形成された圧縮空気供
給孔２８が中央側と外方側にて異なっているので、フィ
ルタ２３の上方に吹き出させる空気を良好に流動させる
ことができる。つまり、中心部分の流速がその周囲に比
べて遅くなるため、微細ボールＢを中央に集めて中心部
分における密度を高くするように浮遊させることができ
る。また、圧縮空気源１６からの圧縮空気の供給を断続
的に行ったり、強弱をつけて送り出すことにより、ボー
ル供給部１５と吸着ヘッド１２の吸着治具３１とによっ
て形成された空間部Ｋ内の空気の流速をさらに流動させ
て微細ボールＢを浮遊させることができ、吸着孔３１ａ
へさらに良好に微細ボールＢを吸着させることができ
る。
【００１４】そして、上記のように、吸着治具３１のそ
れぞれの吸着孔３１ａに微細ボールＢが吸着されたら、
圧縮空気供給源１６からの圧縮空気の供給を停止させ、
昇降機構１３によって吸着ヘッド１２を上昇させるとと
もに移動機構１４によって移動させて図示しないワーク
の上方へ配置させ、その後、昇降機構１３によって吸着
ヘッド１２を下降させて、吸着治具３１の吸着孔３１ａ
に吸着された微細ボールＢをワークへ搭載させる。
れぞれの吸着孔３１ａに微細ボールＢが吸着されたら、
圧縮空気供給源１６からの圧縮空気の供給を停止させ、
昇降機構１３によって吸着ヘッド１２を上昇させるとと
もに移動機構１４によって移動させて図示しないワーク
の上方へ配置させ、その後、昇降機構１３によって吸着
ヘッド１２を下降させて、吸着治具３１の吸着孔３１ａ
に吸着された微細ボールＢをワークへ搭載させる。
【００１５】また、上記の例では、圧縮空気供給源１６
によってボール供給部１５内に圧縮空気を送り込む構造
としたが、図３に示すように、圧縮空気供給源１６の代
わりに、ボール供給部１５内におけるフィルタ２３の下
方側に、空気供給手段としてのファン４１を設けて、こ
のファン４１によってフィルタ２３から吸着治具３１方
向へ空気を送り込み、空間部Ｋ内の空気を流動させて微
細ボールＢを浮遊させる構造としても良く、この構造の
場合、空気供給手段としてのファン４１がボール供給部
１５と一体化された簡略的な構造とすることができ、製
造コストを低減させることができる。なお、この場合
も、ファン４１を断続的にあるいは強弱をつけて駆動さ
せることにより、前述したように、空間部Ｋ内の空気を
さらに流動させ微細ボールＢを浮遊させることができ、
吸着孔３１ａへさらに良好に微細ボールＢを吸着させる
ことができる。
によってボール供給部１５内に圧縮空気を送り込む構造
としたが、図３に示すように、圧縮空気供給源１６の代
わりに、ボール供給部１５内におけるフィルタ２３の下
方側に、空気供給手段としてのファン４１を設けて、こ
のファン４１によってフィルタ２３から吸着治具３１方
向へ空気を送り込み、空間部Ｋ内の空気を流動させて微
細ボールＢを浮遊させる構造としても良く、この構造の
場合、空気供給手段としてのファン４１がボール供給部
１５と一体化された簡略的な構造とすることができ、製
造コストを低減させることができる。なお、この場合
も、ファン４１を断続的にあるいは強弱をつけて駆動さ
せることにより、前述したように、空間部Ｋ内の空気を
さらに流動させ微細ボールＢを浮遊させることができ、
吸着孔３１ａへさらに良好に微細ボールＢを吸着させる
ことができる。
【００１６】
【発明の効果】以上、説明したように、本発明の微細ボ
ール搭載装置によれば下記の効果を得ることができる。
請求項１記載の微細ボール搭載装置によれば、ボール供
給部上に吸着ヘッドを設置した状態にて、吸引手段によ
って吸着治具の吸着孔から空気を吸引させて、微細ボー
ルを吸着させる際に、空気供給手段からの空気によって
フィルタ上に載置されている微細ボールが吸着治具方向
へ吹き上げられて浮遊され、さらに、吸着孔の近傍にて
空気が流れるため、微細ボールが流動することとなり、
微細ボールを吸着治具の全面に沿って浮遊させることが
でき、これにより、各吸着孔へ微細ボールを確実に吸着
させることができる。また、例えば、微細ボールに静電
気力が生じたとしても、流動する空気によって微細ボー
ルが団子状に連なって吸着されるような不都合も回避す
ることができる。
ール搭載装置によれば下記の効果を得ることができる。
請求項１記載の微細ボール搭載装置によれば、ボール供
給部上に吸着ヘッドを設置した状態にて、吸引手段によ
って吸着治具の吸着孔から空気を吸引させて、微細ボー
ルを吸着させる際に、空気供給手段からの空気によって
フィルタ上に載置されている微細ボールが吸着治具方向
へ吹き上げられて浮遊され、さらに、吸着孔の近傍にて
空気が流れるため、微細ボールが流動することとなり、
微細ボールを吸着治具の全面に沿って浮遊させることが
でき、これにより、各吸着孔へ微細ボールを確実に吸着
させることができる。また、例えば、微細ボールに静電
気力が生じたとしても、流動する空気によって微細ボー
ルが団子状に連なって吸着されるような不都合も回避す
ることができる。
【００１７】請求項２記載の微細ボール搭載装置によれ
ば、空気供給手段からの空気が板部に形成された複数の
孔部を介してフィルタへ吹き付けられるので、フィルタ
から上方へ吹き出す空気を良好に流動させることがで
き、これにより、吸着治具の吸着孔への微細ボールの吸
着をさらに良好に行わせることができる。請求項３記載
の微細ボール搭載装置によれば、板部に形成された複数
の孔部が、外方側よりも中央側が大径とされているの
で、フィルタの上方に吹き出させる空気をさらに良好に
流動させることができる。つまり、中心部分の流速がそ
の周囲に比べて遅くなるため、微細ボールを中央に集め
て中心部分における密度を高くするように浮遊させるこ
とができる。
ば、空気供給手段からの空気が板部に形成された複数の
孔部を介してフィルタへ吹き付けられるので、フィルタ
から上方へ吹き出す空気を良好に流動させることがで
き、これにより、吸着治具の吸着孔への微細ボールの吸
着をさらに良好に行わせることができる。請求項３記載
の微細ボール搭載装置によれば、板部に形成された複数
の孔部が、外方側よりも中央側が大径とされているの
で、フィルタの上方に吹き出させる空気をさらに良好に
流動させることができる。つまり、中心部分の流速がそ
の周囲に比べて遅くなるため、微細ボールを中央に集め
て中心部分における密度を高くするように浮遊させるこ
とができる。
【００１８】請求項４記載の微細ボール搭載装置によれ
ば、ボール供給部に空気供給手段としてのファンが一体
化された構造であるので、その構造の簡略化を図ること
ができ、製造コストを低減させることができる。請求項
５記載の微細ボール搭載装置によれば、空気供給手段に
よる空気の供給を断続的または強弱をつけて行うことに
より、フィルタから上方へ吹き出させる空気をさらに流
動させ微細ボールを浮遊させることができ、吸着治具の
吸着孔へさらに良好に微細ボールを吸着させることがで
きる。請求項６記載の微細ボール搭載装置によれば、空
気供給手段から供給された圧縮空気が吸着治具にぶつか
り平面に沿った水平流となり、この空気の流動により、
各吸着孔に吸着されていない余剰微細ボールを確実に除
去することができる。
ば、ボール供給部に空気供給手段としてのファンが一体
化された構造であるので、その構造の簡略化を図ること
ができ、製造コストを低減させることができる。請求項
５記載の微細ボール搭載装置によれば、空気供給手段に
よる空気の供給を断続的または強弱をつけて行うことに
より、フィルタから上方へ吹き出させる空気をさらに流
動させ微細ボールを浮遊させることができ、吸着治具の
吸着孔へさらに良好に微細ボールを吸着させることがで
きる。請求項６記載の微細ボール搭載装置によれば、空
気供給手段から供給された圧縮空気が吸着治具にぶつか
り平面に沿った水平流となり、この空気の流動により、
各吸着孔に吸着されていない余剰微細ボールを確実に除
去することができる。
【図１】 本発明の微細ボール搭載装置の実施の形態を
説明する微細ボール搭載装置の斜視図である。
説明する微細ボール搭載装置の斜視図である。
【図２】 本発明の微細ボール搭載装置を構成する吸着
装置の構成及び構造を説明する吸着装置の断面図であ
る。
装置の構成及び構造を説明する吸着装置の断面図であ
る。
【図３】 本発明の微細ボール搭載装置を構成する他の
構造の吸着装置を説明する吸着装置の断面図である。
構造の吸着装置を説明する吸着装置の断面図である。
【図４】 微細ボール搭載装置を構成する吸着装置の従
来技術を説明する吸着装置の断面図である。
来技術を説明する吸着装置の断面図である。
１１ 微細ボール吸着装置 １２ 吸着ヘッド １５ ボール供給部 １６ 圧縮空気供給源（空気供給手段） ２１ ケース ２２ａ 板部 ２３ フィルタ ２８ 孔部（圧縮空気供給孔） ２９ 吸引装置（吸引手段） ３１ 吸着治具 ３１ａ 吸着孔 ４１ ファン Ｂ 微細ボール Ｋ 空間部
Claims (6)
- 【請求項１】 バンプとなる微細ボールを吸着し、この
吸着した微細ボールをワークへ搭載させる微細ボール搭
載装置であって、 複数の吸着孔が形成された吸着治具を有し、吸引手段に
よって前記吸着孔に前記微細ボールを吸着させる吸着ヘ
ッドと、該吸着ヘッドへ吸着させる微細ボールが貯留さ
れたボール供給部とを有する吸着装置を具備してなり、 前記ボール供給部には、前記吸着ヘッドが設置されるこ
とにより、この吸着ヘッドの前記吸着治具とともに空間
部を形成するケースと、該ケース内に設けられた通気性
を有するフィルタと、該ケース内における前記フィルタ
の下方側へ空気を送り込む空気供給手段とを有し、該空
気供給手段から空気を送り込むことにより、前記フィル
タの上面に載置させた微細ボールを前記空間部内にて浮
遊させることを特徴とする微細ボール搭載装置。 - 【請求項２】 前記ケース内には、前記フィルタの下方
側に複数の孔部が形成された板部が設けられ、該板部の
孔部を介して前記空気供給手段から供給される空気が前
記フィルタへ吹き付けられることを特徴とする請求項１
記載の微細ボール搭載装置。 - 【請求項３】 前記板部の孔部は、外方側よりも中央側
が大径とされていることを特徴とする請求項２記載の微
細ボール搭載装置。 - 【請求項４】 前記ケース内における前記フィルタの下
方側には、前記空気供給手段として前記フィルタ方向へ
向かって空気を送り出すファンが設けられていることを
特徴とする請求項１記載の微細ボール搭載装置。 - 【請求項５】 前記空気供給手段による空気の供給が断
続的にまたは強弱をつけて行われることを特徴とする請
求項１〜４のいずれか１項記載の微細ボール搭載装置。 - 【請求項６】 正常に吸着した微細ボールに連なって付
着する余剰微細ボールを、前記空気供給手段による空気
の流動により除去することを特徴とする請求項１記載の
微細ボール搭載装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8142897A JPH10275974A (ja) | 1997-03-31 | 1997-03-31 | 微細ボール搭載装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8142897A JPH10275974A (ja) | 1997-03-31 | 1997-03-31 | 微細ボール搭載装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH10275974A true JPH10275974A (ja) | 1998-10-13 |
Family
ID=13746111
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8142897A Withdrawn JPH10275974A (ja) | 1997-03-31 | 1997-03-31 | 微細ボール搭載装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH10275974A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6919634B2 (en) | 2002-08-02 | 2005-07-19 | Senju Metal Industry Co., Ltd. | Solder ball assembly, a method for its manufacture, and a method of forming solder bumps |
| JP2008517765A (ja) * | 2004-10-25 | 2008-05-29 | パック テック−パッケージング テクノロジーズ ゲーエムベーハー | 所定形状のはんだ物を移動するための方法および装置 |
| JP2010528871A (ja) * | 2007-06-11 | 2010-08-26 | ピーエーシー ティーイーシーエイチ − パッケージング テクノロジーズ ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツング | 半田ボール配列群を取り出して移送するための移送装置 |
| CN116547457A (zh) * | 2020-10-06 | 2023-08-04 | V•拉比 | 具有自由微珠的阀板 |
-
1997
- 1997-03-31 JP JP8142897A patent/JPH10275974A/ja not_active Withdrawn
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6919634B2 (en) | 2002-08-02 | 2005-07-19 | Senju Metal Industry Co., Ltd. | Solder ball assembly, a method for its manufacture, and a method of forming solder bumps |
| JP2008517765A (ja) * | 2004-10-25 | 2008-05-29 | パック テック−パッケージング テクノロジーズ ゲーエムベーハー | 所定形状のはんだ物を移動するための方法および装置 |
| JP2010528871A (ja) * | 2007-06-11 | 2010-08-26 | ピーエーシー ティーイーシーエイチ − パッケージング テクノロジーズ ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツング | 半田ボール配列群を取り出して移送するための移送装置 |
| CN116547457A (zh) * | 2020-10-06 | 2023-08-04 | V•拉比 | 具有自由微珠的阀板 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20040601 |