JPH10289848A - 移動ステージ及びこれを用いた荷電粒子ビーム露光装置 - Google Patents
移動ステージ及びこれを用いた荷電粒子ビーム露光装置Info
- Publication number
- JPH10289848A JPH10289848A JP9094205A JP9420597A JPH10289848A JP H10289848 A JPH10289848 A JP H10289848A JP 9094205 A JP9094205 A JP 9094205A JP 9420597 A JP9420597 A JP 9420597A JP H10289848 A JPH10289848 A JP H10289848A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- feed rod
- roller
- moving stage
- fixed
- stage
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Withdrawn
Links
Landscapes
- Machine Tool Units (AREA)
- Electron Beam Exposure (AREA)
- Exposure And Positioning Against Photoresist Photosensitive Materials (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】送り棒を側方から突出させないことにより作業
性を向上させ、かつ、摺動部に無理な力が加わって直線
移動が不安定になるのを低減する。 【解決手段】基台１０に形成された一対のガイド棒１１
Ｙ、１２ＹにＹステージ１０Ｙが案内される。Ｙステー
ジ１０Ｙの基台１０側の面の、ガイド棒１１Ｙと１２Ｙ
の中間に、Ｙ方向に延びた送り棒１３ＹＢが固定されて
いる。送り棒１３ＹＢは、駆動ローラ１７ＹＡと自由ロ
ーラ１８ＹＡとで挟持され、駆動ローラ用モータ１６Ｙ
は、試料室の底板１４Ｚの下面に固定されている。ブロ
ック２０に切り欠き２０ａが形成され、ブロック２０
の、切り欠き２０ａの一方側２０ｂが基台１０に固定さ
れ、他方側が自由になっており、この他方側がベローズ
２１内に供給される圧縮空気で押圧されて、自由ローラ
１８ＹＡが送り棒１３ＹＢに押接される。
性を向上させ、かつ、摺動部に無理な力が加わって直線
移動が不安定になるのを低減する。 【解決手段】基台１０に形成された一対のガイド棒１１
Ｙ、１２ＹにＹステージ１０Ｙが案内される。Ｙステー
ジ１０Ｙの基台１０側の面の、ガイド棒１１Ｙと１２Ｙ
の中間に、Ｙ方向に延びた送り棒１３ＹＢが固定されて
いる。送り棒１３ＹＢは、駆動ローラ１７ＹＡと自由ロ
ーラ１８ＹＡとで挟持され、駆動ローラ用モータ１６Ｙ
は、試料室の底板１４Ｚの下面に固定されている。ブロ
ック２０に切り欠き２０ａが形成され、ブロック２０
の、切り欠き２０ａの一方側２０ｂが基台１０に固定さ
れ、他方側が自由になっており、この他方側がベローズ
２１内に供給される圧縮空気で押圧されて、自由ローラ
１８ＹＡが送り棒１３ＹＢに押接される。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、移動ステージ及び
これを用いた荷電粒子ビーム露光装置に関する。
これを用いた荷電粒子ビーム露光装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】図３は、従来の移動ステージを示す一部
切り欠き斜視図である。この移動ステージは、Ｘ−Ｙス
テージであり、高精度の位置決めが要求される半導体製
造装置、例えば荷電粒子ビーム露光装置のウェーハ搭載
用として用いられる。基台１０の上面両縁部には、ガイ
ド棒１１Ｙとガイド棒１２Ｙとが図示Ｙ方向にされて固
定されている。Ｙステージ１０Ｙは、ガイド棒１１Ｙと
ガイド棒１２Ｙとに案内されて図示Ｙ方向へ移動自在と
なっている。Ｙステージ１０Ｙの上面の両縁部には、ガ
イド棒１１Ｘとガイド棒１２Ｘとが図示Ｘ方向にされて
固定されている。Ｘステージ１０Ｘは、ガイド棒１１Ｘ
とガイド棒１２Ｘとに案内されて図示Ｘ方向へ移動自在
となっている。
切り欠き斜視図である。この移動ステージは、Ｘ−Ｙス
テージであり、高精度の位置決めが要求される半導体製
造装置、例えば荷電粒子ビーム露光装置のウェーハ搭載
用として用いられる。基台１０の上面両縁部には、ガイ
ド棒１１Ｙとガイド棒１２Ｙとが図示Ｙ方向にされて固
定されている。Ｙステージ１０Ｙは、ガイド棒１１Ｙと
ガイド棒１２Ｙとに案内されて図示Ｙ方向へ移動自在と
なっている。Ｙステージ１０Ｙの上面の両縁部には、ガ
イド棒１１Ｘとガイド棒１２Ｘとが図示Ｘ方向にされて
固定されている。Ｘステージ１０Ｘは、ガイド棒１１Ｘ
とガイド棒１２Ｘとに案内されて図示Ｘ方向へ移動自在
となっている。
【０００３】Ｙステージ１０Ｙの、Ｘ方向に延びた側面
の中央部には、送り棒１３Ｙがこの側面に垂直に固定さ
れている。Ｘステージ１０Ｘの上面端部中央には、送り
棒１３ＸがＸ方向にされて固定されている。送り棒１３
Ｘ及び１３Ｙはぞれぞれ、試料室の壁板１４Ｘ及び１４
Ｙに形成された不図示の孔を貫通している。試料室は真
空にされ、この孔を密閉するために、壁板１４Ｘ及び１
４Ｙの外面にそれぞれサブチャンバ１５Ｘ及び１５Ｙが
取り付けられている。
の中央部には、送り棒１３Ｙがこの側面に垂直に固定さ
れている。Ｘステージ１０Ｘの上面端部中央には、送り
棒１３ＸがＸ方向にされて固定されている。送り棒１３
Ｘ及び１３Ｙはぞれぞれ、試料室の壁板１４Ｘ及び１４
Ｙに形成された不図示の孔を貫通している。試料室は真
空にされ、この孔を密閉するために、壁板１４Ｘ及び１
４Ｙの外面にそれぞれサブチャンバ１５Ｘ及び１５Ｙが
取り付けられている。
【０００４】サブチャンバ１５Ｙの外面にはモータ１６
Ｙが固定され、その駆動軸がサブチャンバ１５Ｙの壁面
を貫通し、この駆動軸の先端部に駆動ローラ１７Ｙが固
定されている。この駆動軸は、該壁面の貫通部におい
て、例えば磁性流体でシールドされている。サブチャン
バ１５Ｙの内面には、駆動ローラ１７Ｙに送り棒１３Ｙ
を押しつけるようにして、自由ローラ１８Ｙが軸支され
ている。駆動ローラ１７Ｙと自由ローラ１８Ｙの外周面
は、その幅方向が円弧になっており、断面円形の送り棒
１３Ｙが、駆動ローラ１７Ｙと自由ローラ１８Ｙとに嵌
合されて挟持されている。
Ｙが固定され、その駆動軸がサブチャンバ１５Ｙの壁面
を貫通し、この駆動軸の先端部に駆動ローラ１７Ｙが固
定されている。この駆動軸は、該壁面の貫通部におい
て、例えば磁性流体でシールドされている。サブチャン
バ１５Ｙの内面には、駆動ローラ１７Ｙに送り棒１３Ｙ
を押しつけるようにして、自由ローラ１８Ｙが軸支され
ている。駆動ローラ１７Ｙと自由ローラ１８Ｙの外周面
は、その幅方向が円弧になっており、断面円形の送り棒
１３Ｙが、駆動ローラ１７Ｙと自由ローラ１８Ｙとに嵌
合されて挟持されている。
【０００５】モータ１６Ｙで駆動ローラ１７Ｙを回転駆
動させると、送り棒１３ＹがＹ方向に駆動され、Ｙステ
ージ１０Ｙがガイド棒１１Ｙとガイド棒１２Ｙとに案内
されてＹ方向へ移動する。断面円形の送り棒１３Ｙが駆
動ローラ１７Ｙと自由ローラ１８Ｙとに嵌合されている
ので、この移動の際、Ｙステージ１０ＹがＺ軸の周りに
揺動（ヨーイング）するのが防止される。
動させると、送り棒１３ＹがＹ方向に駆動され、Ｙステ
ージ１０Ｙがガイド棒１１Ｙとガイド棒１２Ｙとに案内
されてＹ方向へ移動する。断面円形の送り棒１３Ｙが駆
動ローラ１７Ｙと自由ローラ１８Ｙとに嵌合されている
ので、この移動の際、Ｙステージ１０ＹがＺ軸の周りに
揺動（ヨーイング）するのが防止される。
【０００６】Ｘ方向の移動についても同様であり、モー
タ１６Ｘ、駆動ローラ１７Ｘ及び自由ローラ１８Ｘはそ
れぞれモータ１６Ｙ、駆動ローラ１７Ｙ及び自由ローラ
１８Ｙに対応している。このような構成の移動ステージ
は、サブチャンバ１５Ｘ及び１５Ｙがそれぞれ壁板１４
Ｘ及び１４Ｙの外面から突出しているので、作業性が悪
く、また、装置の小型化が妨げられる。
タ１６Ｘ、駆動ローラ１７Ｘ及び自由ローラ１８Ｘはそ
れぞれモータ１６Ｙ、駆動ローラ１７Ｙ及び自由ローラ
１８Ｙに対応している。このような構成の移動ステージ
は、サブチャンバ１５Ｘ及び１５Ｙがそれぞれ壁板１４
Ｘ及び１４Ｙの外面から突出しているので、作業性が悪
く、また、装置の小型化が妨げられる。
【０００７】図４は、従来の他の移動ステージを示す。
この移動ステージでは、Ｙステージ１０Ｙの、Ｘ方向に
延びた側面の一端部に、送り棒１３ＹＡがＹ方向にして
固定されている。試料室の底面に固定されたブラケット
１５ＹＡに、モータ１６Ｙの駆動軸１６ａが軸支され、
駆動軸１６ａの先端部に駆動ローラ１７Ｙが固定されて
いる。モータ１６Ｙは、壁板１４Ｘの外部に配置され、
駆動軸１６ａが壁板１４Ｘを貫通し、その貫通部が磁性
流体でシールドされている。ブラケット１５ＹＡには、
駆動ローラ１７Ｙに送り棒１３Ｙを押しつけるようにし
て、自由ローラ１８Ｙが軸支されている。
この移動ステージでは、Ｙステージ１０Ｙの、Ｘ方向に
延びた側面の一端部に、送り棒１３ＹＡがＹ方向にして
固定されている。試料室の底面に固定されたブラケット
１５ＹＡに、モータ１６Ｙの駆動軸１６ａが軸支され、
駆動軸１６ａの先端部に駆動ローラ１７Ｙが固定されて
いる。モータ１６Ｙは、壁板１４Ｘの外部に配置され、
駆動軸１６ａが壁板１４Ｘを貫通し、その貫通部が磁性
流体でシールドされている。ブラケット１５ＹＡには、
駆動ローラ１７Ｙに送り棒１３Ｙを押しつけるようにし
て、自由ローラ１８Ｙが軸支されている。
【０００８】他の点は、図３と同一構成である。この移
動ステージでは、図３に示すサブチャンバ１５Ｙがな
く、モータ１６Ｙが壁板１４Ｘ側に突出しているので、
図３の移動ステージよりも作業性がよい。
動ステージでは、図３に示すサブチャンバ１５Ｙがな
く、モータ１６Ｙが壁板１４Ｘ側に突出しているので、
図３の移動ステージよりも作業性がよい。
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】しかし、図４の移動ス
テージでは、Ｙステージ１０Ｙの重心が、送り棒１３Ｙ
Ａの軸心を通る直線から大きく離れているので、送り棒
１３ＹＡを直線駆動したときにＹステージ１０ＹにＺ軸
の回りのモーメントが働く。このため、ガイド棒１１Ｙ
及び１２ＹとＹステージ１０Ｙとの摺動部において、Ｙ
ステージ１０ＹのＹ方向への移動を妨げる力が働き、Ｙ
ステージ１０Ｙの円滑な直線移動が妨げられ、移動ステ
ージの位置決め精度が低下する。また、この摺動部での
磨耗が大きくなり、結果として、移動ステージの位置決
め精度がさらに低下する。
テージでは、Ｙステージ１０Ｙの重心が、送り棒１３Ｙ
Ａの軸心を通る直線から大きく離れているので、送り棒
１３ＹＡを直線駆動したときにＹステージ１０ＹにＺ軸
の回りのモーメントが働く。このため、ガイド棒１１Ｙ
及び１２ＹとＹステージ１０Ｙとの摺動部において、Ｙ
ステージ１０ＹのＹ方向への移動を妨げる力が働き、Ｙ
ステージ１０Ｙの円滑な直線移動が妨げられ、移動ステ
ージの位置決め精度が低下する。また、この摺動部での
磨耗が大きくなり、結果として、移動ステージの位置決
め精度がさらに低下する。
【００１０】図３及び図４の移動ステージでは、送り
棒、駆動ローラ及び自由ローラの材料として超硬合金が
用いられ、送り棒、又は、駆動ローラ及び自由ローラの
一方に、固体潤滑膜形成のために金メッキが施されてい
た。しかし、経年変化により金メッキが剥離すると、超
硬合金どうしが接触して磨耗が大きくなり、送り棒にそ
の軸心の回りの回転モーメントが働き、送り棒の直線動
作中に送り棒の回りの微小回転が生ずる。
棒、駆動ローラ及び自由ローラの材料として超硬合金が
用いられ、送り棒、又は、駆動ローラ及び自由ローラの
一方に、固体潤滑膜形成のために金メッキが施されてい
た。しかし、経年変化により金メッキが剥離すると、超
硬合金どうしが接触して磨耗が大きくなり、送り棒にそ
の軸心の回りの回転モーメントが働き、送り棒の直線動
作中に送り棒の回りの微小回転が生ずる。
【００１１】このような直線移動の不安定化は、特に荷
電粒子ビーム露光装置において、露光位置精度の低下を
もたらし、描画パターンの微細化が妨げられる。本発明
の目的は、このような問題点に鑑み、送り棒を側方から
突出させないことにより作業性を向上させることがで
き、かつ、摺動部に無理な力が加わって直線移動が不安
定になるのを低減することができる移動ステージ及びこ
れを用いた荷電粒子ビーム露光装置を提供することにあ
る。
電粒子ビーム露光装置において、露光位置精度の低下を
もたらし、描画パターンの微細化が妨げられる。本発明
の目的は、このような問題点に鑑み、送り棒を側方から
突出させないことにより作業性を向上させることがで
き、かつ、摺動部に無理な力が加わって直線移動が不安
定になるのを低減することができる移動ステージ及びこ
れを用いた荷電粒子ビーム露光装置を提供することにあ
る。
【００１２】
【課題を解決するための手段及びその作用効果】請求項
１の移動ステージでは、一方向に延びた一対の案内部が
形成された基台と、該案内部に案内されて該一方向へ移
動自在であり、該基台の側の面の、該一対の案内部の中
間に、該一方向に延びた送り棒が固定されたステージ
と、該送り棒の一方の側面に当接される駆動ローラと、
該駆動ローラとで該送り棒を挟むようにして、該送り棒
の他方の側面に当接される自由ローラと、該駆動ローラ
を回転駆動するモータとを有する。
１の移動ステージでは、一方向に延びた一対の案内部が
形成された基台と、該案内部に案内されて該一方向へ移
動自在であり、該基台の側の面の、該一対の案内部の中
間に、該一方向に延びた送り棒が固定されたステージ
と、該送り棒の一方の側面に当接される駆動ローラと、
該駆動ローラとで該送り棒を挟むようにして、該送り棒
の他方の側面に当接される自由ローラと、該駆動ローラ
を回転駆動するモータとを有する。
【００１３】この移動ステージによれば、一対の案内部
の中間において送り棒がステージに固定されており、ス
テージの重心が送り棒の軸心に近いので、ステージの移
動の際にステージに働くモーメントは小さく、案内部と
ステージとの摺動部に無理な力が加わるのが防止され
る。これにより、この摺動部の磨耗が低減され、安定し
た直線駆動が得られるという効果を奏する。
の中間において送り棒がステージに固定されており、ス
テージの重心が送り棒の軸心に近いので、ステージの移
動の際にステージに働くモーメントは小さく、案内部と
ステージとの摺動部に無理な力が加わるのが防止され
る。これにより、この摺動部の磨耗が低減され、安定し
た直線駆動が得られるという効果を奏する。
【００１４】また基台に形成された一対の案内部の中間
において送り棒が駆動ローラと自由ローラとで挟持され
ているので、送り棒に対してさらにガイドローラを備え
ることなく、送り棒が安定して直線駆動されるという効
果を奏し、また、移動ステージ側方の収容室壁面から送
り棒が突出しないので、作業性が向上し、装置がコンパ
クト化されるという効果を奏する。
において送り棒が駆動ローラと自由ローラとで挟持され
ているので、送り棒に対してさらにガイドローラを備え
ることなく、送り棒が安定して直線駆動されるという効
果を奏し、また、移動ステージ側方の収容室壁面から送
り棒が突出しないので、作業性が向上し、装置がコンパ
クト化されるという効果を奏する。
【００１５】請求項２の移動ステージでは、請求項１に
おいて、上記モータは、その駆動軸が上記基台を貫通
し、該駆動軸に上記駆動ローラが固定されている。この
移動ステージによれば、モータを基台の下方に配置する
ことができ、さらに作業性の向上及び装置のコンパクト
化が図られるという効果を奏する。請求項３の移動ステ
ージでは、請求項１又は２において、上記自由ローラが
取り付けられる弾性部材と、該弾性部材の弾性力に抗し
て該弾性部材を押圧することにより該自由ローラを上記
送り棒に押し当てさせる押圧手段とを有する。
おいて、上記モータは、その駆動軸が上記基台を貫通
し、該駆動軸に上記駆動ローラが固定されている。この
移動ステージによれば、モータを基台の下方に配置する
ことができ、さらに作業性の向上及び装置のコンパクト
化が図られるという効果を奏する。請求項３の移動ステ
ージでは、請求項１又は２において、上記自由ローラが
取り付けられる弾性部材と、該弾性部材の弾性力に抗し
て該弾性部材を押圧することにより該自由ローラを上記
送り棒に押し当てさせる押圧手段とを有する。
【００１６】この移動ステージによれば、送り棒に対す
る自由ローラの押接力の微調整ができるという効果を奏
する。請求項４の移動ステージでは、請求項３におい
て、上記弾性部材は、ブロックに切り欠きが形成され、
該ブロックの、該切り欠きの一方側が固定部として上記
基台に固定され、該ブロックの、該切り欠きの他方側が
自由部として自由になっており、上記自由ローラは、該
ブロックの自由部に取り付けられている。
る自由ローラの押接力の微調整ができるという効果を奏
する。請求項４の移動ステージでは、請求項３におい
て、上記弾性部材は、ブロックに切り欠きが形成され、
該ブロックの、該切り欠きの一方側が固定部として上記
基台に固定され、該ブロックの、該切り欠きの他方側が
自由部として自由になっており、上記自由ローラは、該
ブロックの自由部に取り付けられている。
【００１７】この移動ステージによれば、弾性部材の構
成及び取付が簡単になるという効果を奏する。請求項５
の移動ステージでは、請求項４において、上記押圧手段
は、一端が上記ブロックの自由部に固定され、他端が上
記基台に固定されたベローズであり、該ベローズ内に圧
縮流体が供給される。
成及び取付が簡単になるという効果を奏する。請求項５
の移動ステージでは、請求項４において、上記押圧手段
は、一端が上記ブロックの自由部に固定され、他端が上
記基台に固定されたベローズであり、該ベローズ内に圧
縮流体が供給される。
【００１８】この移動ステージによれば、移動ステージ
を真空室内に配置した場合に、押圧力が調整自在な押圧
手段も真空室内に配置することができるという効果を奏
する。請求項６の移動ステージでは、請求項１乃至５の
いずれか１つにおいて、上記ステージには、上記一方向
と直角な他方向に延びた第２の案内部が形成され、該第
２の案内部に案内されて該他方向へ移動自在であり、該
他方向に延びた第２の送り棒が固定された第２のステー
ジと、該第２の送り棒の一方の側面に当接される第２の
駆動ローラと、第２の駆動ローラとで該第２の送り棒を
挟むようにして、該第２の送り棒の他方の側面に当接さ
れる第２の自由ローラと、該第２の駆動ローラを回転駆
動する第２のモータとを有する。
を真空室内に配置した場合に、押圧力が調整自在な押圧
手段も真空室内に配置することができるという効果を奏
する。請求項６の移動ステージでは、請求項１乃至５の
いずれか１つにおいて、上記ステージには、上記一方向
と直角な他方向に延びた第２の案内部が形成され、該第
２の案内部に案内されて該他方向へ移動自在であり、該
他方向に延びた第２の送り棒が固定された第２のステー
ジと、該第２の送り棒の一方の側面に当接される第２の
駆動ローラと、第２の駆動ローラとで該第２の送り棒を
挟むようにして、該第２の送り棒の他方の側面に当接さ
れる第２の自由ローラと、該第２の駆動ローラを回転駆
動する第２のモータとを有する。
【００１９】この移動ステージは、Ｘ−Ｙステージであ
る。請求項７の移動ステージでは、請求項６において、
上記第２の送り棒は断面が矩形であり、上記第２の駆動
ローラの位置を基準として該第２の送り棒の長手方向一
方側及び他方側のそれぞれに、該第２の駆動ローラと該
第２の自由ローラとで該第２の送り棒を挟持する方向と
直角な方向から該第２の送り棒を挟持するようにガイド
ローラが配置されている。
る。請求項７の移動ステージでは、請求項６において、
上記第２の送り棒は断面が矩形であり、上記第２の駆動
ローラの位置を基準として該第２の送り棒の長手方向一
方側及び他方側のそれぞれに、該第２の駆動ローラと該
第２の自由ローラとで該第２の送り棒を挟持する方向と
直角な方向から該第２の送り棒を挟持するようにガイド
ローラが配置されている。
【００２０】この移動ステージによれば、第２のステー
ジが直線移動する際に第２のステージのヨーイングが防
止され、第２のステージの摺動部に無理な力が加わるの
が防止されて、この摺動部での摩耗が低減されるという
効果を奏する。請求項８の荷電粒子ビーム露光装置で
は、請求項１乃至７のいずれか１つに記載の移動ステー
ジが試料室内に配置され、上記基台は該試料室内の底面
に固定され、上記モータは該底面の下方に固定され、該
モータの駆動軸が該底面を貫通している。
ジが直線移動する際に第２のステージのヨーイングが防
止され、第２のステージの摺動部に無理な力が加わるの
が防止されて、この摺動部での摩耗が低減されるという
効果を奏する。請求項８の荷電粒子ビーム露光装置で
は、請求項１乃至７のいずれか１つに記載の移動ステー
ジが試料室内に配置され、上記基台は該試料室内の底面
に固定され、上記モータは該底面の下方に固定され、該
モータの駆動軸が該底面を貫通している。
【００２１】この荷電粒子ビーム露光装置によれば、上
記移動ステージの効果により、露光位置精度が向上し、
より微細なパターンの描画が可能になるという効果を奏
する。
記移動ステージの効果により、露光位置精度が向上し、
より微細なパターンの描画が可能になるという効果を奏
する。
【００２２】
【発明の実施の形態】以下、図面に基づいて本発明の一
実施形態を説明する。図１は、移動ステージの一部切り
欠き斜視部である。図１において、図３及び図４と同一
構成要素には、同一符号を付して重複説明を省略する。
この移動ステージは、Ｘ−Ｙステージであり、半導体製
造装置、例えば荷電粒子ビーム露光装置の試料室内に備
えられる。
実施形態を説明する。図１は、移動ステージの一部切り
欠き斜視部である。図１において、図３及び図４と同一
構成要素には、同一符号を付して重複説明を省略する。
この移動ステージは、Ｘ−Ｙステージであり、半導体製
造装置、例えば荷電粒子ビーム露光装置の試料室内に備
えられる。
【００２３】Ｘステージ１０Ｘの上面端部の中央に固定
された送り棒１３ＸＡは、その断面が矩形であり、これ
に対応して、駆動ローラ１７ＸＡ及び自由ローラ１８Ｘ
Ａは、その外周面の幅方向が平坦になっている。自由ロ
ーラ１８ＸＡは、不図示の弾性部材で送り棒１３ＸＡに
押し当てられている。また、駆動ローラ１７ＸＡの位置
を基準とし送り棒１３ＸＡの長手方向一方側及び他方側
において、送り棒１３ＸＡを挟持するように、ガイドロ
ーラ１９Ａとガイドローラ１９Ｂとの対及びガイドロー
ラ１９Ｃと１９Ｄとの対がサブチャンバ１５Ｘに取り付
けられている。この挟持する方向は、駆動ローラ１７Ｘ
Ａと自由ローラ１８ＸＡとで送り棒１３ＸＡを挟持する
方向と直角な方向になっている。
された送り棒１３ＸＡは、その断面が矩形であり、これ
に対応して、駆動ローラ１７ＸＡ及び自由ローラ１８Ｘ
Ａは、その外周面の幅方向が平坦になっている。自由ロ
ーラ１８ＸＡは、不図示の弾性部材で送り棒１３ＸＡに
押し当てられている。また、駆動ローラ１７ＸＡの位置
を基準とし送り棒１３ＸＡの長手方向一方側及び他方側
において、送り棒１３ＸＡを挟持するように、ガイドロ
ーラ１９Ａとガイドローラ１９Ｂとの対及びガイドロー
ラ１９Ｃと１９Ｄとの対がサブチャンバ１５Ｘに取り付
けられている。この挟持する方向は、駆動ローラ１７Ｘ
Ａと自由ローラ１８ＸＡとで送り棒１３ＸＡを挟持する
方向と直角な方向になっている。
【００２４】これにより、モータ１６Ｘで駆動ローラ１
７Ｘを回転駆動して送り棒１３ＸＡをＸ方向に駆動した
ときに、Ｘステージ１０ＸがＺ方向の回りに揺動（ヨー
イング）するのが防止され、Ｘステージ１０Ｘの摺動部
に無理な力が加わるのが防止されて、摺動部での摩耗が
低減される。モータ１６Ｙは、試料室の底板１４Ｚの下
面に固定され、その駆動軸１６ｂは、基台１０の中央部
に形成された孔を貫通している。底板１４Ｚの下面に
は、例えばその四隅に高さ６０ｃｍのエアーダンパーが
取り付けられており、モータ１６Ｙの取り付けスペース
は確保されている。基台１０の下面は、底板１４Ｚの上
面に固定され、基台１０の上面には、ブロック２０の一
部が固定されている。
７Ｘを回転駆動して送り棒１３ＸＡをＸ方向に駆動した
ときに、Ｘステージ１０ＸがＺ方向の回りに揺動（ヨー
イング）するのが防止され、Ｘステージ１０Ｘの摺動部
に無理な力が加わるのが防止されて、摺動部での摩耗が
低減される。モータ１６Ｙは、試料室の底板１４Ｚの下
面に固定され、その駆動軸１６ｂは、基台１０の中央部
に形成された孔を貫通している。底板１４Ｚの下面に
は、例えばその四隅に高さ６０ｃｍのエアーダンパーが
取り付けられており、モータ１６Ｙの取り付けスペース
は確保されている。基台１０の下面は、底板１４Ｚの上
面に固定され、基台１０の上面には、ブロック２０の一
部が固定されている。
【００２５】ブロック２０には、図２にも示す如く、ブ
ロック２０を横切るように切り欠き２０ａが形成され、
切り欠き２０ａの位置を基準として、一方側の固定部２
０ｂは基台１０の上面に固定され、他方側の自由部２０
ｃは固定されずに自由になっている。駆動軸１６ｂは、
固定部２０ｂを貫通し、駆動軸１６ｂの先端部に駆動ロ
ーラ１７ＹＡが固定されている。
ロック２０を横切るように切り欠き２０ａが形成され、
切り欠き２０ａの位置を基準として、一方側の固定部２
０ｂは基台１０の上面に固定され、他方側の自由部２０
ｃは固定されずに自由になっている。駆動軸１６ｂは、
固定部２０ｂを貫通し、駆動軸１６ｂの先端部に駆動ロ
ーラ１７ＹＡが固定されている。
【００２６】他方、Ｙステージ１０Ｙの下面のＸ方向中
央部には、断面矩形の送り棒１３ＹＢがＹ方向にされて
固定されている。駆動ローラ１７ＹＡの外周面は、幅方
向が平坦であり、この送り棒１３ＹＢの側面に当接して
いる。自由部２０ｃの上面には、自由ローラ１８ＹＡが
そのＺ方向の回りに回転自在に取り付けられ、自由ロー
ラ１８ＹＡの外周面が送り棒１３ＹＢの他方の側面に当
接している。自由部２０ｃの端面にベローズ２１の一端
面が固定され、ベローズ２１の他端面が基台１０に固定
されている。
央部には、断面矩形の送り棒１３ＹＢがＹ方向にされて
固定されている。駆動ローラ１７ＹＡの外周面は、幅方
向が平坦であり、この送り棒１３ＹＢの側面に当接して
いる。自由部２０ｃの上面には、自由ローラ１８ＹＡが
そのＺ方向の回りに回転自在に取り付けられ、自由ロー
ラ１８ＹＡの外周面が送り棒１３ＹＢの他方の側面に当
接している。自由部２０ｃの端面にベローズ２１の一端
面が固定され、ベローズ２１の他端面が基台１０に固定
されている。
【００２７】ベローズ２１には、試料室の外部から底板
１４Ｚ及び基台１０を通った配管が接続され、この配管
を介してベローズ２１内に、例えば３ｋｇ／ｃｍ2 の圧
縮空気を供給することにより、弾性力に抗して自由部２
０ｃが切り欠き２０ａ側へ接近し、自由ローラ１８ＹＡ
の外周面が送り棒１３ＹＢの側面に押し当てられる。上
記構成において、モータ１６Ｙにより駆動ローラ１７Ｙ
Ａを回転駆動させると、送り棒１３ＹＢがＹステージ１
０Ｙと一体的にＹ方向へ移動する。Ｙステージ１０Ｙの
重心は、送り棒１３ＹＢの軸心に接近しているので、こ
の移動の際にＹステージ１０Ｙに働くモーメントは小さ
く、ガイド棒１１Ｙ及び１２ＹとＹステージ１０Ｙとの
摺動部にＸ方向への無理な力が加わるのが防止される。
これにより、この摺動部の磨耗が低減され、安定した直
線駆動が得られる。
１４Ｚ及び基台１０を通った配管が接続され、この配管
を介してベローズ２１内に、例えば３ｋｇ／ｃｍ2 の圧
縮空気を供給することにより、弾性力に抗して自由部２
０ｃが切り欠き２０ａ側へ接近し、自由ローラ１８ＹＡ
の外周面が送り棒１３ＹＢの側面に押し当てられる。上
記構成において、モータ１６Ｙにより駆動ローラ１７Ｙ
Ａを回転駆動させると、送り棒１３ＹＢがＹステージ１
０Ｙと一体的にＹ方向へ移動する。Ｙステージ１０Ｙの
重心は、送り棒１３ＹＢの軸心に接近しているので、こ
の移動の際にＹステージ１０Ｙに働くモーメントは小さ
く、ガイド棒１１Ｙ及び１２ＹとＹステージ１０Ｙとの
摺動部にＸ方向への無理な力が加わるのが防止される。
これにより、この摺動部の磨耗が低減され、安定した直
線駆動が得られる。
【００２８】また、ガイド棒１１Ｙとガイド棒１２Ｙと
の間において、駆動ローラ１７ＹＡと自由ローラ１８Ｙ
Ａとで送り棒１３ＹＢが挟持されているので、ガイドロ
ーラ１９Ａ〜１９Ｃのようなものを送り棒１３ＹＢに対
して備えることなく、送り棒１３ＹＢがＹ方向へ安定し
て直線駆動される。さらに、モータ１６Ｙが底板１４Ｚ
の下面に固定されているので、作業性が向上すると共
に、装置が従来よりもコンパクトになる。
の間において、駆動ローラ１７ＹＡと自由ローラ１８Ｙ
Ａとで送り棒１３ＹＢが挟持されているので、ガイドロ
ーラ１９Ａ〜１９Ｃのようなものを送り棒１３ＹＢに対
して備えることなく、送り棒１３ＹＢがＹ方向へ安定し
て直線駆動される。さらに、モータ１６Ｙが底板１４Ｚ
の下面に固定されているので、作業性が向上すると共
に、装置が従来よりもコンパクトになる。
【００２９】なお、本発明には外にも種々の変形例が含
まれる。例えば、ブロック２０及びベローズ２１と同様
の構成を用いて、自由ローラ１８ＸＡを送り棒１３ＸＡ
に押し当てるように構成してもよい。ステージ間の案内
手段は、ガイド棒の替わりに溝や孔やボールねじ等を用
いることができ、また、その取付位置は、基板側面であ
ってもよい。
まれる。例えば、ブロック２０及びベローズ２１と同様
の構成を用いて、自由ローラ１８ＸＡを送り棒１３ＸＡ
に押し当てるように構成してもよい。ステージ間の案内
手段は、ガイド棒の替わりに溝や孔やボールねじ等を用
いることができ、また、その取付位置は、基板側面であ
ってもよい。
【００３０】また、本発明の移動ステージは、Ｘステー
ジ１０Ｘ上、又は、基台１０とＹステージ１０Ｙとの間
に、Ｚステージを備えたＸ−Ｙ−Ｚステージであっても
よく、また、Ｘステージ１０Ｘをｒステージで置き換え
たｒθステージであってもよい。本発明の移動ステージ
は、露光装置などの製造装置やＮＣ加工機などの加工装
置に限らず、高精度な位置決め精度が要求される各種装
置に適用可能である。
ジ１０Ｘ上、又は、基台１０とＹステージ１０Ｙとの間
に、Ｚステージを備えたＸ−Ｙ−Ｚステージであっても
よく、また、Ｘステージ１０Ｘをｒステージで置き換え
たｒθステージであってもよい。本発明の移動ステージ
は、露光装置などの製造装置やＮＣ加工機などの加工装
置に限らず、高精度な位置決め精度が要求される各種装
置に適用可能である。
【図１】本発明の一実施形態の移動ステージを示す一部
切り欠き斜視図である。
切り欠き斜視図である。
【図２】図１中の、送り棒へのローラ押接機構を示す平
面図である。
面図である。
【図３】従来の移動ステージを示す一部切り欠き斜視図
である。
である。
【図４】従来の他の移動ステージを示す一部切り欠き斜
視図である。
視図である。
１０ 基台 １０Ｘ Ｘステージ １０Ｙ Ｙステージ １１Ｘ、１２Ｘ、１１Ｙ、１２Ｙ ガイド棒 １３Ｘ、１３ＸＡ、１３Ｙ、１３ＹＡ、１３ＹＢ 送り
棒 １４Ｘ、１４Ｙ 壁板 １４Ｚ 底板 １５Ｘ、１５Ｙ サブチャンバ １６Ｘ、１６Ｙ モータ １６ａ、１６ｂ 駆動軸 １７Ｘ、１７ＸＡ、１７Ｙ、１７ＹＡ 駆動ローラ １８Ｘ、１８ＸＡ、１８Ｙ、１８ＹＡ 自由ローラ １９Ａ〜１９Ｃ ガイドローラ ２０ ブロック ２０ａ 切り欠き ２０ｂ 固定部 ２０ｃ 自由部 ２１ ベローズ
棒 １４Ｘ、１４Ｙ 壁板 １４Ｚ 底板 １５Ｘ、１５Ｙ サブチャンバ １６Ｘ、１６Ｙ モータ １６ａ、１６ｂ 駆動軸 １７Ｘ、１７ＸＡ、１７Ｙ、１７ＹＡ 駆動ローラ １８Ｘ、１８ＸＡ、１８Ｙ、１８ＹＡ 自由ローラ １９Ａ〜１９Ｃ ガイドローラ ２０ ブロック ２０ａ 切り欠き ２０ｂ 固定部 ２０ｃ 自由部 ２１ ベローズ
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 池田 徹 神奈川県川崎市中原区上小田中４丁目１番 １号 富士通株式会社内 (72)発明者 津田 章義 東京都練馬区旭町１丁目32番１号 株式会 社アドバンテスト内 (72)発明者 信沢 孝男 東京都練馬区旭町１丁目32番１号 株式会 社アドバンテスト内
Claims (8)
- 【請求項１】 一方向に延びた一対の案内部が形成され
た基台と、 該案内部に案内されて該一方向へ移動自在であり、該基
台の側の面の、該一対の案内部の中間に、該一方向に延
びた送り棒が固定されたステージと、 該送り棒の一方の側面に当接される駆動ローラと、 該駆動ローラとで該送り棒を挟むようにして、該送り棒
の他方の側面に当接される自由ローラと、 該駆動ローラを回転駆動するモータと、 を有することを特徴とする移動ステージ。 - 【請求項２】 上記モータは、その駆動軸が上記基台を
貫通し、該駆動軸に上記駆動ローラが固定されているこ
とを特徴とする請求項１記載の移動ステージ。 - 【請求項３】 上記自由ローラが取り付けられる弾性部
材と、 該弾性部材の弾性力に抗して該弾性部材を押圧すること
により該自由ローラを上記送り棒に押し当てさせる押圧
手段と、 を有することを特徴とする請求項１又は２記載の移動ス
テージ。 - 【請求項４】 上記弾性部材は、ブロックに切り欠きが
形成され、該ブロックの、該切り欠きの一方側が固定部
として上記基台に固定され、該ブロックの、該切り欠き
の他方側が自由部として自由になっており、 上記自由ローラは、該ブロックの自由部に取り付けられ
ている、 ことを特徴とする請求項３記載の移動ステージ。 - 【請求項５】 上記押圧手段は、一端が上記ブロックの
自由部に固定され、他端が上記基台に固定されたベロー
ズであり、該ベローズ内に圧縮流体が供給される、 ことを特徴とする請求項４記載の移動ステージ。 - 【請求項６】 上記ステージには、上記一方向と直角な
他方向に延びた第２の案内部が形成され、 該第２の案内部に案内されて該他方向へ移動自在であ
り、該他方向に延びた第２の送り棒が固定された第２の
ステージと、 該第２の送り棒の一方の側面に当接される第２の駆動ロ
ーラと、 第２の駆動ローラとで該第２の送り棒を挟むようにし
て、該第２の送り棒の他方の側面に当接される第２の自
由ローラと、 該第２の駆動ローラを回転駆動する第２のモータと、 を有することを特徴とする請求項１乃至５のいずれか１
つに記載の移動ステージ。 - 【請求項７】 上記第２の送り棒は断面が矩形であり、 上記第２の駆動ローラの位置を基準として該第２の送り
棒の長手方向一方側及び他方側のそれぞれ、該第２の駆
動ローラと該第２の自由ローラとで該第２の送り棒を挟
持する方向と直角な方向から該第２の送り棒を挟持する
ようにガイドローラが配置されている、 ことを特徴とする請求項６記載の移動ステージ。 - 【請求項８】 請求項１乃至７のいずれか１つに記載の
移動ステージが試料室内に配置され、上記基台は該試料
室内の底面に固定され、上記モータは該底面の下方に固
定され、該モータの駆動軸が該底面を貫通している、 ことを特徴とする荷電粒子ビーム露光装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9094205A JPH10289848A (ja) | 1997-04-11 | 1997-04-11 | 移動ステージ及びこれを用いた荷電粒子ビーム露光装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9094205A JPH10289848A (ja) | 1997-04-11 | 1997-04-11 | 移動ステージ及びこれを用いた荷電粒子ビーム露光装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH10289848A true JPH10289848A (ja) | 1998-10-27 |
Family
ID=14103814
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9094205A Withdrawn JPH10289848A (ja) | 1997-04-11 | 1997-04-11 | 移動ステージ及びこれを用いた荷電粒子ビーム露光装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH10289848A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2010157395A (ja) * | 2008-12-26 | 2010-07-15 | Jeol Ltd | ステージの位置決め装置 |
-
1997
- 1997-04-11 JP JP9094205A patent/JPH10289848A/ja not_active Withdrawn
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2010157395A (ja) * | 2008-12-26 | 2010-07-15 | Jeol Ltd | ステージの位置決め装置 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US5760564A (en) | Dual guide beam stage mechanism with yaw control | |
| US4766465A (en) | Carry device for fine movement | |
| JPH0719693Y2 (ja) | 移動テーブル | |
| EP0244012B1 (en) | Positioning device | |
| JP2631485B2 (ja) | 位置決め装置 | |
| JPS60140722A (ja) | 精密移動装置 | |
| US6161294A (en) | Overhead scanning profiler | |
| US5438206A (en) | Positioning device | |
| US4739545A (en) | Composite movement table apparatus | |
| JPH02297004A (ja) | 試料ステージの位置を調節するための支持構造体及びその調節装置 | |
| JPH0986888A (ja) | Ｚ移動ステージ機構 | |
| US5055680A (en) | Scanning tunneling microscope | |
| EP3921598B1 (en) | Positioning system for positioning an object | |
| JP2705785B2 (ja) | ステージ装置 | |
| JP3641131B2 (ja) | Ｘｙステージ | |
| JPH01169394A (ja) | 真空容器用ｘｙステージ | |
| US6307284B1 (en) | Positioning apparatus, information recording/reproducing apparatus, and inspection apparatus | |
| JPH02225857A (ja) | ボールネジ装置 | |
| JPH0125475Y2 (ja) | ||
| JPS63158494A (ja) | ステ−ジ移動機構 | |
| JP2899250B2 (ja) | 半導体製造装置 | |
| JP2814401B2 (ja) | 縮小投影機構 | |
| JP3313530B2 (ja) | ステージ移動機構 | |
| KR900011182Y1 (ko) | 부품삽입장치 | |
| JPH0323649Y2 (ja) |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Application deemed to be withdrawn because no request for examination was validly filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20040706 |