JPH1029185A - 真空吸着ピンセット - Google Patents

真空吸着ピンセット

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JPH1029185A
JPH1029185A JP18584296A JP18584296A JPH1029185A JP H1029185 A JPH1029185 A JP H1029185A JP 18584296 A JP18584296 A JP 18584296A JP 18584296 A JP18584296 A JP 18584296A JP H1029185 A JPH1029185 A JP H1029185A
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vacuum
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    • B25J—MANIPULATORS; CHAMBERS PROVIDED WITH MANIPULATION DEVICES
    • B25J15/00—Gripping heads and other end effectors
    • B25J15/06—Gripping heads and other end effectors with vacuum or magnetic holding means
    • H—ELECTRICITY
    • H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
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    • H10P72/70—Handling or holding of wafers, substrates or devices during manufacture or treatment thereof for supporting or gripping
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Abstract

(57)【要約】 【課題】大型の半導体ウェーハなどを傷つけることな
く、安定して移送できる真空吸着ピンセットを得る。 【解決手段】被吸着物を真空吸引により吸着する複数の
真空吸着部１１と、これら真空吸着部１１から延長され
かつ中空部をもつ複数のアーム１２と、これらアーム１
２を支持しかつこれら支持部分が可動となるアーム支持
部１３と、このアーム支持部１３に結合され前記各真空
吸着部の真空吸引のオン・オフを制御する本体部１８と
を有する。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は被吸着物を真空によ
り吸引し移送できる真空吸着ピンセットに関し、特に半
導体ウェーハなどを移送できる真空吸着ピンセットに関
する。
【０００２】
【従来の技術】半導体ウェーハの大口径化が進行するに
従い、ウェーハの質量が増加するため、このウェーハを
把持する真空吸着ピンセットにも工夫が必要となる。こ
の真空吸着ピンセットは、複数個の真空吸着部を設け、
これら真空吸着部を支持するアームに可撓性を持たせる
ことで、被吸着物のウェーハの形状に合わせた形での吸
着、移送を行いそれに対応している。
【０００３】図５は従来の半導体ウェーハなどを移送で
きる真空吸着ピンセットの一例を示す平面図であり、実
開平６−２７０８７号公報に示されたものである。これ
は、半導体ウェーハなどを吸着する真空吸着部（ヘッ
ド）１１と、この真空吸着部１１を支持するアーム１２
と、このアーム１２を分岐する分岐部１９と、この分岐
部１９に結合されかつ真空吸引のオン・オフを制御でき
る本体部１８とを含み、この本体部１８は、真空ポンプ
に接続した真空引きチューブ１７と接続され、真空解除
ボタン１４により真空吸引のオン・オフを制御してい
る。
【０００４】なお、特願平２−２２２５５７号公報に
も、同様の複数の真空吸着部を有する真空ピンセットが
示され、また実開平４−８８０４６号公報には、真空吸
着部を支えるアームをモータで回転できる真空ピンセッ
トが示されている。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】上述した従来の真空吸
着ピンセットにおいては、マガジンに充填されたウェー
ハを移送する場合、これらウェーハを吸着するために、
ウェーハ間に真空吸着部を挿入しようとした時、そのウ
ェーハを傷つける恐れが大きい。この場合、安定にウェ
ーハを吸着させるため、真空吸着部をウェーハ径に合わ
せた形に開いた状態にしてウェーハ間に挿入するため、
真空吸着ピンセットの長手方向を回転軸とする角度ずれ
の影響が開いた間隔に比例して大きくなる。そのためウ
ェーハ間に挿入する時点にてウェーハ間とのマージンが
少なくなることにより、ウェーハを傷つけてしまう。
【０００６】本発明の目的は、これらの問題点を解決
し、大口径のウェーハも安定して移送することができる
真空吸着ピンセットを提供することにある。
【０００７】
【課題を解決するための手段】本発明の真空吸着ピンセ
ットの構成は、被吸着物を真空吸引により吸着する複数
の真空吸着部と、これら真空吸着部から延長されかつ中
空部をもつ複数のアームと、これらアームを支持しかつ
これら支持部分が可動となるアーム支持部と、このアー
ム支持部に結合され前記各真空吸着部の真空吸引のオン
・オフを制御する本体部とを有することを特徴とする。
【０００８】本発明の真空吸着ピンセットによれば、マ
ガジンに充填されたウェーハを移送する場合において、
ウェーハ間に真空吸着部を挿入する時はアームは閉じた
状態で行うため、このピンセットの長手方向を回転軸と
する角度のズレの影響を少なくすることができる。ま
た、ピンセットのアームをウェーハ間に挿入後、ウェー
ハ口径に応じてそのアームを開き、ウェーハを吸着する
ため、ウェーハが大口径であっても、安定して移送する
ことができる。
【０００９】
【発明の実施の形態】以下本発明について図面を参照し
て説明する。図１は本発明の一実施の形態の真空吸着ピ
ンセットを示す平面図であり、図２，図３は図１の移動
を説明する斜視図である。
【００１０】本実施形態は、真空吸着部１１を２個装着
し、それぞれの吸着面は同一平面上に配置されるように
している。この真空吸着部１１はアーム１２により支持
され、アーム開閉機構部１３により可動する様になって
おり、アーム開ボタン１５により真空吸着部１１のアー
ム１２間の間隔が広がり、アーム閉ボタン１６によりア
ーム１２の間隔が狭くなる様に動作する。なお、アーム
開ボタン１５，アーム閉ボタン１６は、本体１８に真空
解除ボタン１３と共に取付けられ、この本体１８は従来
例と同様に真空ポンプ等へ真空吸引チューブ１７により
接続されている。
【００１１】次に、本実施形態の動作について図２，図
３を参照して説明する。図２（ａ）はウェーハ間に真空
吸着部１１をウェーハ２０に挿入する前の状態を示す。
この状態のまま本体１８をウェーハ２０の方向に移動さ
せ、真空吸着部１１をウェーハ間に挿入させる（図２
（ｂ））。この挿入により本体１８の長手方向を回転軸
とする角度のずれに対する影響を受けにくくしている。
次に、ウェーハ２０の口径に合わせて、図３（ａ）のよ
うにアーム１２を開き、ウェーハ２０を吸着する。その
ままウェーハを引き、図３（ｂ）のように移送する。こ
のように大口径ウェーハでも安定して移送することがで
きる。
【００１２】図３は本発明の他の実施形態の斜視図であ
る。本実施形態は、真空吸着部１１を３個装着し、左右
外側のアーム１２に可動性を持たせて、より大口径ウェ
ーハでも吸着，移送を安定して行えるようにしたもので
ある。
【００１３】
【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、ウ
ェーハ間に吸着部を挿入後、これら吸着部の間隔を広
げ、ウェーハを吸着することにより、挿入時の真空ピン
セットの長手方向を回転軸とする角度のズレの影響を最
小限に抑えることができるので、強い吸着力を必要とす
る、大口径ウェーハのマガジンからの移送をウェーハに
傷つけることなく安定に行うことができるという効果が
ある。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の真空吸着ピンセットの一実施形態を示
す平面図である。
【図２】本実施形態の動作を説明する斜視図である。
【図３】本実施形態の動作を説明する斜視図である。
【図４】本発明の他の実施形態を示す平面図である。
【図５】従来の真空吸着ピンセットの一例を示す平面図
である。
【符号の説明】
１１ 真空吸着部 １２ アーム １３ アーム開閉機構部 １４ 真空解除ボタン １５ アーム開ボタン １６ アーム閉ボタン １７ 真空引きチューブ １８ 本体 １９ 分岐部 ２０ ウェーハ

Claims (3)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 被吸着物を真空吸引により吸着する複数
    の真空吸着部と、これら真空吸着部から延長されかつ中
    空部をもつ複数のアームと、これらアームを支持しかつ
    これら支持部分が可動となるアーム支持部と、このアー
    ム支持部に結合され前記各真空吸着部の真空吸引のオン
    ・オフを制御する本体部とを有することを特徴とする真
    空吸着ピンセット。
  2. 【請求項２】 アーム支持部が、電動により開閉制御さ
    れるものである請求項１記載の真空吸着ピンセット。
  3. 【請求項３】 複数のアームが、２個または３個である
    請求項１記載の真空吸着ピンセット。
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