JPH10307397A5

JPH10307397A5 -

Info

Publication number: JPH10307397A5
Application number: JP1997119772A
Authority: JP
Filing date: 1997-05-09
Publication date: 2004-10-14
Anticipated expiration: 2017-05-09

Claims

（Ａ）活性光線又は放射線の照射により酸を発生する化合物、（Ｂ）（イ）多環型の脂環式基、（ロ）下記一般式（Ｉ）で表される酸の作用により分解してアルカリ現像液中での溶解性を増大させる基及び（ハ）下記一般式（II）で表される酸の作用により分解してアルカリ現像液中での溶解性を増大させる基をそれぞれ少なくとも１つ有する樹脂を含有することを特徴とするポジ型感光性組成物。
一般式（Ｉ）及び（II) において、Ｒ₁〜Ｒ₅は同じでも異なっていてもよく、水素原子、又は置換基を有していてもよい、アルキル基、シクロアルキル基、アルケニル基、アシル基、もしくはアルコキシカルボニル基を表し、Ｒ₆は置換基を有していてもよい、アルキル基、シクロアルキル基、アルケニル基を表す。ただし、式（Ｉ）のＲ₁〜Ｒ₃の内の２つ、又は式（II）のＲ₄〜Ｒ₆の内の２つが結合して３〜８個の炭素原子又はヘテロ環原子からなる環構造を形成してもよい。
（Ｂ）の樹脂が、（イ）多環型の脂環式基を有する繰り返し構造単位、（ロ）下記一般式（III)、(IV)及び（Ｖ）で表される繰り返し構造単位の少なくとも一つ及び（ハ）下記一般式（VI）、(VII）及び（VIII）で表される繰り返し構造単位の少なくとも一つを有する樹脂であることを特徴とする請求項１に記載のポジ型感光性組成物。
式（III) 〜（VIII）中、Ｒ₇及びＲ₉は、同じでも異なってもよく、水素原子、ハロゲン原子、シアノ基、アルキル基又はハロアルキル基を表し、Ｒ₈は、シアノ基、−ＣＯ−ＯＲ₁₀，又は−ＣＯ−ＮＲ₁₁Ｒ₁₂を表す。Ｒ₁₀〜Ｒ₁₂は、同じでも異なってもよく、水素原子、置換基を有してもよい、アルキル基、シクロアルキル基、アルケニル基を表す。また、Ｒ₁₁とＲ₁₂が結合して環を形成してもよい。Ｘ₀〜Ｘ₂は同じでも異なってもよく、単結合であるか、置換基を有していてもよい２価のアルキレン基、アルケニレン基、シクロアルキレン基、−Ｏ−、−ＳＯ₂−、−Ｏ−ＣＯ−Ｒ₁₃−、−ＣＯ−Ｏ−Ｒ₁₄−、又は−ＣＯ−ＮＲ₁₅−Ｒ₁₆−を表す。ここに、Ｒ₁₃、Ｒ₁₄及びＲ₁₆は同じでも異なってもよく、単結合もしくは、２価のアルキレン基、アルケニレン基又はシクロアルキレン基を表し、更にこれらの基は、エーテル基、エステル基、アミド基、ウレタン基あるいはウレイド基とともに２価の基を形成しても良い。また、Ｒ₁₅は水素原子、置換基を有していても良い、アルキル基、シクロアルキル基又はアルケニル基を表す。Ｒ₁〜Ｒ₆は請求項１に記載のものと同義である。
（Ｂ）の樹脂が、更にカルボキシル基を有することを特徴とする請求項１又は２に記載のポジ型感光性組成物。
（Ｂ）の樹脂が、更にカルボキシル基を有する下記一般式（IX) 、（Ｘ）又は（XI) で表される繰り返し構造単位の少なくとも一つを含有する樹脂であることを特徴とする請求項３に記載のポジ型感光性組成物。
一般式（IX) 〜（XI) において、Ｒ₁₇、Ｒ₁₈、Ｒ₂₀〜Ｒ₂₂は同じでも異なってもよく、水素原子、ハロゲン原子、シアノ基、アルキル基又はハロアルキル基を表す。Ｒ₁₉はシアノ基、カルボキシル基、−ＣＯ−ＯＲ₂₃又は−ＣＯ−ＮＲ₂₄Ｒ₂₅を表す。Ｘ₃〜Ｘ₅は同じでも異なってもよく、単結合、置換基を有していてもよい、２価のアルキレン基、アルケニレン基もしくはシクロアルキレン基、−Ｏ−、−ＳＯ₂−、−Ｏ−ＣＯ−Ｒ₂₆−、−ＣＯ−Ｏ−Ｒ₂₇−又は−ＣＯ−ＮＲ₂₈−Ｒ₂₉−を表す。Ｒ₂₃は置換基を有していても良い、アルキル基、シクロアルキル基、アルケニル基を表す。Ｒ₂₄、Ｒ₂₅、Ｒ₂₈は同じでも異なってもよく、水素原子、置換基を有していてもよい、アルキル基、シクロアルキル基又はアルケニル基を表し、Ｒ₂₄とＲ₂₅が結合して環を形成してもよい。Ｒ₂₆、Ｒ₂₇、Ｒ₂₉は同じでも異なってもよく、単結合あるいは、２価のアルキレン基、アルケニレン基、シクロアルキレン基を表し、更にこれらの基は、エーテル基、エステル基、アミド基、ウレタン基又はウレイド基とともに２価の基を形成してもよい。
酸の作用により分解し得る基を有し、アルカリ現像液中での溶解性が酸の作用により増大する、分子量３，０００以下の低分子酸分解性溶解阻止化合物を含有することを特徴とする請求項１〜４のいずれかに記載のポジ型感光性組成物。
露光光源として、２５０ｎｍ以下の遠紫外光を使用することを特徴とする請求項１〜５のいずれかに記載のポジ型感光性組成物。
露光光源として、２２０ｎｍ以下の遠紫外光を使用することを特徴とする請求項７に記載のポジ型感光性組成物。
請求項１〜７のいずれかに記載のポジ型感光性組成物により膜を形成し、該膜を露光、現像することを特徴とするポジ型パターン形成方法。