JPH10311808A - Ｘ線分析装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 Ｘ線源から試料に１次Ｘ線を照射して、試料
から発生した２次Ｘ線の強度を測定するＸ線分析におい
て、１次Ｘ線の試料への入射角が大きくなっても、正確
な測定ができるＸ線分析装置を提供する。 【解決手段】 １次Ｘ線２が通過する多数の空隙１４
Ａ，１４Ｂを形成した板状の少なくとも１つの減衰器９
Ａ，９Ｂと、減衰器９Ａ，９ＢをＸ線源１と試料５との
間の１次Ｘ線２の通路に進退させる進退手段１０とを備
える。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、Ｘ線源から試料に
１次Ｘ線を照射して、試料から発生した２次Ｘ線の強度
を測定するＸ線分析において、１次Ｘ線の試料への入射
角が大きくなっても、正確な測定ができるＸ線分析装置
に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来より、いわゆる全反射蛍光Ｘ線分析
においては、図７に示すように、Ｘ線源であるＸ線管１
から発生させた１次Ｘ線２Ａをモノクロメータ３で分
光、単色化し、その分光された１次Ｘ線２Ｂを試料台４
に固定された試料５の表面に入射角θで入射させ、全反
射したＸ線６を検出器７に入射させないように図面右方
向へ逃がしつつ、試料５から発生した蛍光Ｘ線７を検出
器８に入射させ、分析を行っている。ここで、入射角θ
は、通常例えば０．０５度程度の微小な角度に設定され
るが、試料５上の不純物の元素の形態を知りたいような
場合や、試料５の臨界角の値を知りたいような場合に
は、入射角θを小さい角度から大きい角度まで変化させ
て、試料５から発生する蛍光Ｘ線７の強度変化を測定す
る。ところが、入射角θが大きくなると、発生する蛍光
Ｘ線７の強度も大きくなり、検出器８のいわゆる不感時
間も大きくなるので、正確な測定ができなくなる。そこ
で、従来は、Ｘ線管１の電流値を下げて１次Ｘ線２Ａの
強度を小さくし、発生する蛍光Ｘ線７の強度を小さくす
ることにより、対処していた。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】ところが、電流値を下
げると熱収縮によりＸ線管１において光源の位置が移動
する。この移動量は、例えば電流値を４００ｍＡから４
０ｍＡに下げたときには、２０〜３０μｍと推定され
る。一方、かかる分析装置の光学系は数μｍオーダーの
精度で調整されているので、電流値が下がると光学系の
寸法精度に影響が及び、正確な測定ができなくなる。Ｘ
線管１の電流値を下げる代わりに、１次Ｘ線２Ａ，２Ｂ
の通路に、フィルム等を減衰器として挿入することも考
えられるが、このような材料のＸ線透過特性による減衰
器すなわちフィルターは、入射するＸ線の波長によって
減衰率が異なるので、１次Ｘ線２Ｂが十分単色化されて
いない場合には、減衰器の有無によって試料５に照射さ
れる１次Ｘ線２Ｂのスペクトルが変化することになり、
やはり正確な測定ができない。また、十分単色化されて
いても、複数種類の波長の１次Ｘ線２Ｂを切り替えて用
いる場合には、用いる１次Ｘ線２Ｂの波長によって減衰
率が異なった値となるという不都合もある。

【０００４】本発明は前記従来の問題に鑑みてなされた
もので、Ｘ線源から試料に１次Ｘ線を照射して、試料か
ら発生した２次Ｘ線の強度を測定するＸ線分析におい
て、１次Ｘ線の試料への入射角が大きくなっても、正確
な測定ができるＸ線分析装置を提供することを目的とす
る。

【０００５】

【課題を解決するための手段】前記目的を達成するため
に、請求項１のＸ線分析装置では、１次Ｘ線が通過する
多数の空隙を形成した板状の少なくとも１つの減衰器
と、減衰器をＸ線源と試料との間の１次Ｘ線の通路に進
退させる進退手段とを備える。

【０００６】請求項１の装置によれば、１次Ｘ線の試料
への入射角が大きくなっても、減衰器に形成された多数
の空隙に、１次Ｘ線を通過させて減衰させるので、光学
系の寸法精度に影響を与えず、１次Ｘ線が単色化されて
いなくてもそのスペクトルを変化させず、１次Ｘ線の波
長に関係なく減衰率は一定である。したがって、正確な
測定ができる。

【０００７】請求項２の装置では、請求項１の装置にお
いて、前記減衰器に、多数の孔により空隙を形成した孔
形減衰器が含まれる。

【０００８】請求項２の装置によれば、多数の孔により
空隙を形成した孔形減衰器を用いるので、請求項１の装
置と同様の作用効果を維持しつつ、減衰器ひいては装置
全体の作製が容易である。

【０００９】請求項３の装置では、請求項１の装置にお
いて、前記減衰器に、所定幅の歯を所定間隔で多数設け
ることにより空隙を形成したくし形減衰器が含まれる。

【００１０】請求項３の装置によれば、所定幅の歯を所
定間隔で多数設けることにより空隙を形成したくし形減
衰器を用いるので、請求項１の装置と同様の作用効果を
維持しつつ、減衰器ひいては装置全体の作製がさらに容
易である。

【００１１】請求項４の装置では、請求項１または３の
装置において、前記減衰器に、所定幅の歯を共通の所定
間隔で多数設けた２枚の板を、それぞれの歯を幅方向に
ずらせて重ね合わせることにより、空隙を形成した２重
くし形減衰器が含まれる。

【００１２】請求項４の装置によれば、前記くし形減衰
器を２つ幅方向にずらせて重ね合わせることにより、よ
り狭い空隙を形成した２重くし形減衰器を用いるので、
請求項１または３の装置と同様の作用効果を維持しつ
つ、より減衰率の高い減衰器ひいては装置全体の作製が
容易である。

【００１３】請求項５の装置は、請求項１ないし４のい
ずれかの装置において、１次Ｘ線の試料への入射角に応
じて、所定の減衰器をＸ線源と試料との間の１次Ｘ線の
通路に進入させるように前記進退手段を制御する制御手
段を備える。

【００１４】請求項５の装置によれば、制御手段が適切
に所定の減衰器を１次Ｘ線の通路に進入させるので、操
作が複雑化することなく、請求項１ないし４のいずれか
の装置と同様の作用効果が得られる。

【００１５】請求項６の装置は、請求項１ないし４のい
ずれかの装置において、前記検出手段の出力値に応じ
て、所定の減衰器をＸ線源と試料との間の１次Ｘ線の通
路に進入させるように前記進退手段を制御する制御手段
を備える。

【００１６】請求項６の装置によっても、やはり制御手
段が適切に所定の減衰器を１次Ｘ線の通路に進入させる
ので、操作が複雑化することなく、請求項１ないし４の
いずれかの装置と同様の作用効果が得られる。

【００１７】

【発明の実施の形態】以下、本発明の第１実施形態であ
るＸ線分析装置を図面にしたがって説明する。まず、こ
の装置の構成について説明する。図１の側面図に示すよ
うに、この装置は、試料５が固定される試料台４と、試
料５に１次Ｘ線２を照射するＸ線源たるＸ線管１と、Ｘ
線管１から発生した１次Ｘ線２Ａを分光、単色化するモ
ノクロメータ（分光器）３と、試料５から発生した２次
Ｘ線である蛍光Ｘ線７の強度を測定する検出手段たるＳ
ＳＤ等の検出器８とを備えている。

【００１８】また、この装置は、モノクロメータ３で分
光された１次Ｘ線２Ｂが通過する多数の空隙１４Ａ，１
４Ｂを形成した２つの板状の減衰器９Ａ，９Ｂと、これ
らの減衰器９Ａ，９Ｂをモノクロメータ３と試料５との
間の１次Ｘ線２Ｂの通路に進退させる進退手段１０とを
備えている。この進退手段１０は、例えば、モータ駆動
のスライダで構成される。さらに、この装置は、１次Ｘ
線２Ｂ，２Ｃの試料５への入射角θを調整する例えばス
イベルステージのような入射角調整手段１１と、その入
射角θが所定の第１または第２の値θ₁ ，θ₂ に達する
と、それぞれの場合に所定の第１または第２の減衰器９
Ａ，９Ｂをモノクロメータ３と試料５との間の１次Ｘ線
２Ｂの通路に進入させるように進退手段１０を制御する
制御手段１２とを備えている。なお、１次Ｘ線２Ａ，２
Ｂは紙面垂直方向に帯状に広がっており、高さ方向にも
ある程度厚さをもっている。

【００１９】ここで、第１の減衰器９Ａは、図２の正面
図に示すように、例えば活字合金からなる厚さ１ｍｍの
板に、所定幅Ｗ₁ の歯１３を所定間隔Ｌ₁ で多数設ける
ことにより、所定幅Ｗ₂ の空隙１４Ａを所定間隔Ｌ₁ で
多数形成したくし形減衰器９Ａであり、減衰率は、Ｗ₂
／（Ｗ₁ ＋Ｗ₂ ）で表され、例えば１／１０である。な
お、Ｗ₁ ＋Ｗ₂ ＝Ｌ₁ の関係がある。

【００２０】また、第２の減衰器９Ｂは、図３の正面図
に示すように、前記くし形減衰器９Ａである減衰板２枚
９Ａ1 ，９Ａ2 を、それぞれの歯１３を幅Ｗ₁ 方向にず
らせて重ね合わせることにより、より狭い幅Ｗ₃ の空隙
１４Ｂを所定間隔Ｌ₁ で多数形成した２重くし形減衰器
９Ｂである。この２重くし形減衰器９Ｂの減衰率は、例
えば、前記のずらせる距離をＷ₂ ×９／１０とすれば、
くし形減衰器９Ａの１／１０、すなわち１／１００とな
る。このようにくし形減衰器９Ａを２枚重ねて２重くし
形減衰器９Ｂを形成するのは、１枚の活字合金等の板で
あるくし形減衰器９Ａでは、減衰器上で均一に１／１０
程度よりも小さい減衰率を得るために、空隙１４Ａの所
定間隔Ｌ₁ および所定幅Ｗ₂ をともに小さく正確に形成
することが、加工の点で実際上困難だからである。第１
実施形態の装置では、第１の減衰器９Ａと第２の減衰器
９Ｂとは、歯１３の長さ方向に連結されており、図１に
おいては、空隙１４Ａ，１４Ｂを含む断面で表されてい
る。

【００２１】第１実施形態の装置で、減衰器９を２つ備
えるのは、異なる２つの減衰率を得るためであり、本発
明では、くし形減衰器９Ａと２重くし形減衰器９Ｂの組
合せに限らず、得るべき減衰率の値によっては、２つと
もくし形減衰器９Ａであってもよいし、２つとも２重く
し形減衰器９Ｂであってもよい。さらに、くし形減衰器
９Ａや２重くし形減衰器９Ｂに代えて、図４に示すよう
な、例えば活字合金からなる厚さ１ｍｍの板に、縦横に
所定間隔Ｌ₃ で直径Ｄ₁ の孔１４Ｃを多数配列して、多
数の空隙１４Ｃを形成した孔形減衰器９Ｃを用いてもよ
い。

【００２２】ただし、孔形減衰器９Ｃにおいては、図５
の側面断面拡大図に示すように、１次Ｘ線２Ｂの波長を
変えるためにモノクロメータ３（図１）を交換した場合
等に、分光された１次Ｘ線２Ｂが減衰器９Ｃに入射する
角度が変化すると、減衰率も変化してしまう。例えば、
分光された１次Ｘ線２Ｂが減衰器９Ｃに垂直に入射する
場合、すなわち、図５において破線で示す場合では、減
衰器９Ｃに入射する厚さＤ₂ の１次Ｘ線２Ｂに対し、空
隙すなわち孔１４Ｃを通過した１次Ｘ線２Ｃの厚さは総
和で２×Ｄ₁ であり、一方、１次Ｘ線２Ｂが減衰器９Ｃ
に斜めに入射する場合、すなわち、図５において２点破
線で示す場合では、同じ厚さＤ₂ の１次Ｘ線２Ｂに対
し、孔１４Ｃを通過した１次Ｘ線２Ｃの厚さは総和で２
×Ｄ₃ である。ここで明らかにＤ₃ ＜Ｄ₁ であるから、
これら２つの場合において高さ方向の減衰率、ひいては
全体の減衰率が異なる。

【００２３】これに対し、くし形減衰器９Ａや２重くし
形減衰器９Ｂでは、高さ方向には１次Ｘ線２Ｂを絞って
いないので、そのような問題は発生しない。また、同じ
減衰率を得るには、孔１４Ｃを形成するよりも歯１３を
形成する方が、加工が容易であり、減衰率と寸法形状と
の関係も、くし形減衰器９Ａや２重くし形減衰器９Ｂの
方が簡明であるから、本発明では、減衰器９としては、
孔形減衰器９Ｃよりも、くし形減衰器９Ａや２重くし形
減衰器９Ｂを用いるのが好ましい。第１実施形態の装置
によれば、くし形減衰器９Ａと２重くし形減衰器９Ｂを
用いるので、減衰器９、より減衰率の高い減衰器９Ｂ、
ひいては装置全体の作製が容易である。

【００２４】また、本発明では、得るべき減衰率の数に
よって、減衰器９は１つであってもよいし、３つ以上で
あってもよい。さらに、減衰器９は、Ｘ線管１から発生
しモノクロメータ３で分光される前の１次Ｘ線２Ａを通
過させるものであって、進退手段１０は、減衰器９をＸ
線管１とモノクロメータ３との間の１次Ｘ線２Ａの通路
に進退させるものであってもよい。

【００２５】次に、第１実施形態の装置の動作につい
て、試料５上の不純物の元素の形態を知りたいような場
合を例にとって、説明する。まず、試料台４に試料５が
固定され、周知の方法により、入射角調整手段１１を用
い、試料への１次Ｘ線２Ｂの入射角θが、全反射蛍光Ｘ
線分析に適した角度θ_A になるように調整される。この
状態では、減衰器９は、１次Ｘ線２Ｂの通路外にある。
次に、Ｘ線管１から１次Ｘ線２Ａを発生させ、モノクロ
メータ３で分光された１次Ｘ線２Ｂが試料５に入射され
ると、試料５から蛍光Ｘ線７が発生する。そこで、入射
角調整手段１１を用い、入射角θを徐々に大きく変化さ
せて、検出器８で蛍光Ｘ線７の強度変化を測定する。こ
のとき、入射角θが大きくなると、発生する蛍光Ｘ線７
の強度、ひいては検出器８で測定される蛍光Ｘ線７の強
度Ｉも大きくなる。

【００２６】その強度Ｉが、正確な測定ができなくなる
ほど検出器８において不感時間が大きくなるような強度
Ｉ₁ に最初に達するのが、入射角においてはθ₁ である
とする。このθ₁ は、入射角の所定の第１の値θ₁ とし
て、あらかじめ制御手段１２に入力されており、入射角
がθ₁ に達した旨が、入射角調整手段１１から制御手段
１２に入力されると、制御手段１２は進退手段１０を制
御して、所定の第１の減衰器９Ａを、モノクロメータ３
と試料５との間の１次Ｘ線２Ｂの通路に進入させる（図
１の状態）。これにより、試料５へ入射される１次Ｘ線
２Ｃの強度は、モノクロメータ３で分光された１次Ｘ線
２Ｂの強度の１／１０になり、検出器８で測定される蛍
光Ｘ線７の強度もＩ₁ ／１０にまで減衰されるので、不
感時間が限度以上に大きくなることなく、正確な測定が
続けられる。

【００２７】さらに、入射角θが大きくなり、減衰器９
Ａを用いても、検出器８で測定される蛍光Ｘ線７の強度
が、再度、正確な測定ができなくなるほど検出器８にお
いて不感時間が大きくなるような強度Ｉ₁ に達するの
が、入射角においてはθ₂ であるとする。このθ₂ も、
入射角の所定の第２の値θ₂ として、あらかじめ制御手
段１２に入力されており、入射角がθ₂ に達した旨が、
入射角調整手段１１から制御手段１２に入力されると、
制御手段１２は進退手段１０を制御して、第１の減衰器
９Ａに代えて、所定の第２の減衰器９Ｂを、モノクロメ
ータ３と試料５との間の１次Ｘ線２Ｂの通路に進入させ
る。

【００２８】これにより、試料５へ入射される１次Ｘ線
２Ｂの強度は、さらに１／１０に、すなわち、モノクロ
メータ３で分光された１次Ｘ線２Ｂの強度からみれば１
／１００になり、検出器８で測定される蛍光Ｘ線７の強
度もＩ₁ ／１０にまで減衰されるので、やはり、不感時
間が限度以上に大きくなることなく、正確な測定を続
け、終えることができる。なお、本発明において、大き
い入射角での測定値が重要視されるような場合には、入
射角の小さい測定開始当初から、減衰器をＸ線源と試料
との間の１次Ｘ線の通路に進入させておいてもよい。

【００２９】このように、第１実施形態の装置によれ
ば、入射角θが大きくなっても、減衰器９に形成された
多数の空隙に、１次Ｘ線２を通過させて減衰させるの
で、光学系の寸法精度に影響を与えず、１次Ｘ線２が十
分単色化されていなくてもそのスペクトルを変化させ
ず、１次Ｘ線２の波長に関係なく減衰率は一定である。
したがって、正確な測定ができる。また、制御手段１２
が適切に所定の減衰器９Ａ，９Ｂを１次Ｘ線２Ｂの通路
に進入させるので、操作が複雑化することもない。な
お、本発明で、減衰器９を３つ以上用いるときには、前
述したのと同様の動作を繰り返し、測定を終える。ま
た、第１実施形態の装置の場合でいえば、検出器８での
蛍光Ｘ線７の強度Ｉの測定結果において、入射角θ₁ か
らθ₂ に達する前までは測定値を１０倍し、入射角θ₂
からは測定値を１００倍したものが、真の値であること
はいうまでもない。

【００３０】また、本発明では、制御手段１２による進
退手段１０の制御は、入射角θが所定の値θ₁ ，θ₂ に
達したことによらず、検出器８の測定値（出力値）が、
前記の値Ｉ₁ に達したことによってもよい。この場合
は、前述した、正確な測定ができなくなるほど検出器８
において不感時間が大きくなるような強度値Ｉ₁ を、検
出器８の所定の出力値Ｉ₁ として、あらかじめ制御手段
１２に入力しておく。そして、入射角θが大きくなり、
検出器８の出力値が所定の値Ｉ₁ に達すると、その旨が
検出器８から制御手段１２に入力され、制御手段１２は
進退手段１０を制御して、所定の第１の減衰器９Ａを、
モノクロメータ３と試料５との間の１次Ｘ線２Ｂの通路
に進入させる。さらに、入射角θが大きくなり、検出器
８の出力値が、再度所定の値Ｉ₁ に達すると、その旨が
検出器８から制御手段１２に入力され、制御手段１２は
進退手段１０を制御して、第１の減衰器９Ａに代えて、
所定の第２の減衰器９Ｂを、モノクロメータ３と試料５
との間の１次Ｘ線２Ｂの通路に進入させる。

【００３１】なお、進退手段１０の制御は、以上のよう
に制御手段１２によって自動的に行うことに限らず、入
射角θや検出器８の出力値に応じて、操作者が、進退手
段１０のモータに接続されたコンピュータを操作するこ
とによってもよいし、直接進退手段１０を手動で制御し
てもよい。

【００３２】次に、本発明の第２実施形態であるＸ線分
析装置を図面にしたがって説明する。まず、この装置の
構成について説明する。第２実施形態の装置では、第１
実施形態の装置が備えたような減衰器９Ａ，９Ｂ，９Ｃ
ではなく、図６の正面図に示すような可変くし形減衰器
９Ｄを備えている。可変くし形減衰器９Ｄでは、前記く
し形減衰器９Ａである減衰板２枚９Ａ3 ，９Ａ4 を重ね
合わせて用いるが、前記２重くし型減衰器９Ｂとは異な
り、２枚の減衰板９Ａ3 ，９Ａ4 は互いに固着されてい
ない。すなわち、可変くし形減衰器９Ｄは、所定幅Ｗ₁
の歯１３を共通の所定間隔Ｌ₁ で多数設けた２枚の板９
Ａ3 ，９Ａ4 を、それぞれの歯１３が幅方向Ｗ₁ にずれ
得るように重ね合わせることにより、空隙１４Ｄを所定
間隔Ｌ₁で多数形成したものであって、前記２枚の板の
一方の移動減衰板９Ａ3 は、枠体１５の上下の内側の溝
に摺動可能に嵌合され、枠体１５に固定された他方の固
定減衰板９Ａ4 に対し、歯の幅Ｗ₁ 方向に移動自在に設
定されている。

【００３３】また、第２実施形態の装置は、この移動減
衰板９Ａ3 を移動させることによって、前記空隙１４Ｄ
の幅Ｗ₄ を変更する空隙幅調整手段１６を備えている。
この空隙幅調整手段１６は、例えば、モータ駆動のスラ
イダで構成され、本体１６ａは、枠体１５に固定され、
スライドシャフト１６ｂは、枠体１５を貫通して、移動
減衰板９Ａ3 に連結されており、スライドシャフト１６
ｂの動作により、前記空隙の幅Ｗ₄ が、最大Ｗ₂ から最
小０まで可変である。第２実施形態の装置では、可変く
し形減衰器９Ｄおよび空隙幅調整手段１６を備える点、
制御手段１２が空隙幅調整手段１６をも制御する点にお
いて、第１実施形態の装置と構成が異なり、他の点では
同様であるので説明を省略する。

【００３４】次に、第２実施形態の装置の動作について
説明する。動作についても、例えば入射角θを徐々に大
きくしていく場合、入射角θまたは検出器８の出力値に
応じて、第１実施形態の装置では、所定の減衰器９Ａ，
９Ｂを１次Ｘ線２Ｂの通路に順次交替して進入させた
が、第２実施形態の装置では、まず空隙の幅Ｗ₄ を最大
Ｗ₂ にした可変くし形減衰器９Ｄを１次Ｘ線２Ｂの通路
に進入させ、その後は、空隙幅調整手段１６を制御し
て、空隙の幅Ｗ₄ を小さくすなわち減衰率を小さくする
点で異なるのみで、他の点では同様である。なお、前述
したように、大きい入射角での測定値が重要視されるよ
うな場合には、入射角の小さい測定開始当初から、可変
くし形減衰器９Ｄを１次Ｘ線の通路２Ｂに進入させてお
いてもよく、この場合には、進退手段１０は不要とな
る。第２実施形態の装置によれば、第１実施形態の装置
と同様の作用効果がある他、減衰器９Ｄが単一で、場合
によっては進退手段１０を備えなくてもよいので、装置
全体の構成を簡単なものとし得る。

【００３５】

【発明の効果】以上説明したように、本願発明の装置に
よれば、１次Ｘ線の試料への入射角が大きくなっても、
減衰器に形成された多数の空隙に、１次Ｘ線を通過させ
て減衰させるので、光学系の寸法精度に影響を与えず、
１次Ｘ線が単色化されていなくてもそのスペクトルを変
化させず、１次Ｘ線の波長に関係なく減衰率は一定であ
る。したがって、正確な測定ができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の第１実施形態であるＸ線分析装置を示
す側面図である。

【図２】同装置が備えるくし形減衰器を示す正面図であ
る。

【図３】同装置が備える２重くし形減衰器を示す正面図
である。

【図４】本発明の装置が備える他の減衰器である孔形減
衰器を示す正面図である。

【図５】同孔形減衰器の置が備える２重くし形減衰器を
示す側面断面拡大図である。

【図６】本発明の第２実施形態が備える可変くし形減衰
器および空隙幅調整手段を示す正面図である。

【図７】従来の全反射蛍光Ｘ線分析装置を示す側面図で
ある。

【符号の説明】

１…Ｘ線源（Ｘ線管）、2, 2A, 2B, 2C …１次Ｘ線、４
…試料台、５…試料、７…試料から発生した２次Ｘ線
（蛍光Ｘ線）、８…検出手段（検出器）、９…減衰器、
９Ａ…くし形減衰器、９Ｂ…２重くし形減衰器、９Ｃ…
孔形減衰器、１０…進退手段、１１…入射角調整手段、
１２…制御手段、１３…歯、14A, 14B…空隙、１４Ｃ…
空隙（孔）、Ｗ₁ …所定幅、Ｌ₁ …所定間隔、θ…入射
角。

Claims (6)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 試料が固定される試料台と、 試料に１次Ｘ線を照射するＸ線源と、 試料から発生した２次Ｘ線の強度を測定する検出手段と
   を備えたＸ線分析装置において、 １次Ｘ線が通過する多数の空隙を形成した板状の少なく
   とも１つの減衰器と、 減衰器をＸ線源と試料との間の１次Ｘ線の通路に進退さ
   せる進退手段とを備えたことを特徴とするＸ線分析装
   置。
2. 【請求項２】 請求項１において、 前記減衰器には、多数の孔により空隙を形成した孔形減
   衰器を含むＸ線分析装置。
3. 【請求項３】 請求項１において、 前記減衰器には、所定幅の歯を所定間隔で多数設けるこ
   とにより空隙を形成したくし形減衰器を含むＸ線分析装
   置。
4. 【請求項４】 請求項１または３において、 前記減衰器には、所定幅の歯を共通の所定間隔で多数設
   けた２枚の板を、それぞれの歯を幅方向にずらせて重ね
   合わせることにより、空隙を形成した２重くし形減衰器
   を含むＸ線分析装置。
5. 【請求項５】 請求項１ないし４のいずれかにおいて、 １次Ｘ線の試料への入射角に応じて、所定の減衰器をＸ
   線源と試料との間の１次Ｘ線の通路に進入させるように
   前記進退手段を制御する制御手段を備えたＸ線分析装
   置。
6. 【請求項６】 請求項１ないし４のいずれかにおいて、 前記検出手段の出力値に応じて、所定の減衰器をＸ線源
   と試料との間の１次Ｘ線の通路に進入させるように前記
   進退手段を制御する制御手段を備えたＸ線分析装置。