JPH1034919A

JPH1034919A - インクジェットヘッド

Info

Publication number: JPH1034919A
Application number: JP19311196A
Authority: JP
Inventors: Tsutomu Sasaki; 勉佐々木; Michio Umezawa; 道夫梅沢; Osamu Naruse; 修成瀬; Masayuki Iwase; 政之岩瀬; Hideyuki Makita; 秀行牧田; Yoichiro Miyaguchi; 耀一郎宮口; Kunio Ikeda; 邦夫池田
Original assignee: Ricoh Co Ltd
Current assignee: Ricoh Co Ltd
Priority date: 1996-07-23
Filing date: 1996-07-23
Publication date: 1998-02-10

Abstract

(57)【要約】【課題】接合信頼性を向上する。【解決手段】振動板１２の圧電素子４、フレーム５と
の接合面を粗面化する表面処理を施した。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明はインクジェットヘッ
ドに関し、特にインクジェットヘッドの振動板に関す
る。

【０００２】

【従来の技術】インクジェット記録装置は、記録時の振
動、騒音が殆どなく、特にカラー化が容易なことから、
コンピュータ等のデジタル処理装置のデータを出力する
プリンタの他、ファクシミリやコピー機等にも用いられ
るようになっている。このようなインクジェット記録装
置に用いられるインクジェットヘッドは、圧電素子、発
熱抵抗体等のアクチュエータ素子を記録信号に応じて駆
動することによってノズルからインク滴を吐出飛翔させ
ることによって記録媒体上に画像記録を行なうものであ
る。

【０００３】インクジェットヘッドは、構造上、ヘッド
構成部材の積層の端面側よりインク滴を吐出するエッジ
シュータ方式のものと、ノズル形成部材に円形のノズル
を形成するサイドシュータ方式のものとに大別すること
ができる。このサイドシュータ方式のインクジェットヘ
ッドとしては、従来、例えば特開平６−２５５０９９号
公報に記載されているように、圧電素子上に、ダイアフ
ラム部を有する振動板を積層し、この振動板上に圧電素
子でダイアフラム部を介して加圧される液室及びこの液
室にインクを供給するインク供給路を形成する流路形成
部材を積層し、更にこの流路形成部材上にノズルを形成
したノズル形成部材を積層したものが知られている。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】ところで、インクジェ
ット記録装置に対する高速、高画質化の要求に伴ってイ
ンクジェットヘッドは多数のノズルを高密度に配列する
ようにしているので、ノズルのみならず、各ノズルが連
通する液室、液室にインクを供給するインク供給路、振
動板のダイアフラム部、各液室を加圧する圧電素子等も
高密度配列化している。

【０００５】そのため、圧電素子、振動板、流路形成部
材、ノズル形成部材等の個々の構成部品をそれぞれ高精
度に形成し、高精度に組立てるとともに、各構成部品の
接合面での剥離等が生じないように接合信頼性を向上す
ることが不可欠になっている。

【０００６】本発明は上記の点に鑑みてなされたもので
あり、インクジェットヘッドの接合信頼性を向上するこ
とを目的とする。

【０００７】

【課題を解決するための手段】上記の課題を解決するた
め、請求項１のインクジェットヘッドは、圧電素子で変
形される振動板を有するインクジェットヘッドにおい
て、前記振動板の他の部材との接合面を粗面化する表面
処理を施した構成とした。

【０００８】請求項２のインクジェットヘッドは、上記
請求項１のインクジェットヘッドにおいて、前記圧電素
子を有するアクチュエータユニットと前記振動板を有す
る液室ユニットとを接合して構成した。

【０００９】請求項３のインクジェットヘッドは、上記
請求項１又は２のインクジェットヘッドにおいて、前記
振動板の接合面が前記圧電素子である構成とした。

【００１０】請求項４のインクジェットヘッドは、上記
請求項１乃至３のいずれかのインクジェットヘッドにお
いて、前記表面処理をケミカル処理で行った構成とし
た。

【００１１】請求項５のインクジェットヘッドは、上記
請求項１乃至３のいずれかのインクジェットヘッドにお
いて、前記表面処理を電気化学的処理で行った構成とし
た。

【００１２】請求項６のインクジェットヘッドは、上記
請求項１乃至３のいずれかのインクジェットヘッドにお
いて、前記表面処理を電気的処理で行った構成とした。

【００１３】請求項７のインクジェットヘッドは、上記
請求項１乃至６のいずれかのインクジェットヘッドにお
いて、前記振動板の接合面は表面処理後の表面粗度がＲ
ｍａ×０．２以上である構成とした。

【００１４】

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を添付
図面を参照して説明する。図１は本発明を適用したイン
クジェットヘッドの一例を示す外観斜視図、図２は同イ
ンクジェットヘッドの分解斜視図、図３は図１のＡ−Ａ
線に沿う要部拡大断面図、図４は図１のＢ−Ｂ線に沿う
要部拡大断面図である。

【００１５】このインクジェットヘッドは、アクチュエ
ータユニット１と、このアクチュエータユニット１上に
接合した液室ユニット２とからなる。アクチュエータユ
ニット１は、絶縁性の基板３上に２つの積層型圧電素子
４，４と、これら２列の圧電素子４，４の周囲を取り囲
む絶縁性材料からなるフレーム５を接着剤６によって接
合している。圧電素子４は、インクを液滴化して飛翔さ
せるための駆動パルスが与えられる複数のアクチュエー
タ素子となる駆動部７，７…と、これらの駆動部７，７
間に位置して、駆動パルスが与えられない支柱部となる
複数の非駆動部８，８…とを交互に配置してなる。

【００１６】液室ユニット２は、ダイアフラム部１１を
有する振動板１２上に感光性樹脂フィルム（ドライフィ
ルムレジスト）で形成した流路形成部となる第１感光性
樹脂層１３、第２感光性樹脂層１４、第３感光性樹脂層
１５及びノズル孔１６を有するノズル形成部材であるノ
ズルプレート１７を順次積層して各駆動部７，７…に対
応するインク流路である複数の加圧液室１８，１８…、
各加圧液室１８，１８…にインクを供給する複数の共通
液室（共通インク流路）１９，１９、共通液室１９と加
圧液室１８を連通するインク供給路をなすインク流路で
ある流体抵抗部を兼ねたインク供給路２０，２０をそれ
ぞれ形成している。この液室ユニット２はアクチュエー
タユニット１に接合剤２１で強固に接合している。

【００１７】ここで、アクチュエータユニット１の基板
３は、厚さ０．５〜５mm程度で、しかも圧電素子に似た
材質のものからなり、圧電素子と共に例えばダイヤモン
ド砥石による切削が可能なものであることが好ましく、
この実施例ではセラミックス基板を用いている。また、
基板３の圧電素子４，４間には駆動部７の配列方向に沿
って溝２５を形成している。

【００１８】圧電素子４は、図３及び図４に示すように
積層型圧電素子からなり、厚さ２０〜５０μｍ／１層の
ＰＺＴ（＝Ｐb（Ｚr・Ｔi）Ｏ₃）２７と、厚さ数μｍ／
１層の銀・パラジューム（ＡgＰd）からなる内部電極２
８とを交互に積層したものである。圧電素子を、厚さ２
０〜５０μｍ／１層の積層型とすることによって駆動電
圧の低電圧化を図れ、例えば２０〜５０Ｖのパルス電圧
で圧電素子の電界強度１０００Ｖ／mmを得ることができ
る。なお、圧電素子として用いる材料は上記に限られる
ものでない。

【００１９】この圧電素子４の各内部電極２８は１層お
きにＡgＰdからなる左右の外部電極３０，３１に接続し
ている。一方、基板３上には、積層型圧電素子４，４間
に位置して駆動部７に対して駆動波形を印加するための
共通電極パターン３２を形成すると共に、駆動部７に対
して選択信号を与えるための個別電極パターン３３を設
けている。

【００２０】そして、各駆動部７の外部電極３０を銀ペ
ースト等の導電性接着剤３４を介して共通電極パターン
３２に接続し、外部電極３１を同じく導電性接着剤３４
を介して個別電極パターン３３に接続している。なお、
共通電極パターン３２は基板３の中央部に形成した前記
溝部２５表面に形成することで各駆動部７と導通を取る
ようにしている。そして、共通電極パターン３２及び個
別電極パターン３３にはそれぞれＦＰＣケーブル３５を
接続する。

【００２１】一方、液室ユニット２の振動板１２は、圧
電素子４の駆動部７に対応する独立した島状凸部１２ａ
と、この島状凸部１２ａの周囲に位置して圧電素子４の
駆動部７の変位で変形する前記ダイヤフラム部１１と、
このダイヤフラム部１１の周囲に位置する厚肉剛体部１
２ｂが形成されている。ダイアフラム部１１は、最も厚
みの薄い領域（薄肉部）であって、厚さを３〜１０μｍ
程度にしている。また、島状凸部１２ａは、厚みの厚い
領域であり、駆動部７との接合領域であると共に、チャ
ンネル方向（図４に示す方向）では厚肉剛体部となる。
厚肉剛体部１２ｂは液室ユニット２をフレーム５に接合
するための領域である。ここでは、島状凸部１２ａと厚
肉剛体部１２ｂの表面が他の部材である圧電素子４、フ
レーム５と接合する接合面となる。

【００２２】この振動板１２を形成する材料は、駆動部
７による加圧力を加圧液室１８に伝搬できる弾性部分を
形成でき、インクに対する耐液性がよく、低透湿性のも
のであればよい。ただし、この振動板１２としては、非
駆動部８と高い剛性で接合する上で、ヤング率を１００
Ｋg／mm²以上とした非弾性材料を用いることが好まし
い。ここでは、上述したようにエレクトロンフォーミン
グ工法（電鋳）によって製造したＮi（ニッケル）の金
属プレートを用いているが、この他ＳＵＳ等の金属膜、
非常に薄い低透湿性の樹脂膜、例えばポリフェニレンサ
ルファイド、ポリイミド、ポリエーテルサルフォン、ポ
リクロロトリフルオロエチレン、アラミド等の樹脂膜を
用いることもできる。

【００２３】また、ノズルプレート１７にはインク滴を
飛翔させるための微細孔である多数のノズル１６を形成
しており、このノズル１６の径はインク滴出口側の直径
で３５μｍ以下に形成している。このノズルプレート１
７はエレクトロンフォーミング工法（電鋳）によって製
造したＮi（ニッケル）の金属プレートを用いている
が、Ｓi、その他の金属材料を用いることもできる。な
お、実際には、１列３２〜６４個以上のノズル１６を２
列配列した６４〜１２８個以上の構成で１つのインクジ
ェットヘッドを製作するが、この多数のノズル１６を有
するノズルプレート１７の品質は、インクの滴形状、飛
翔特性を決定し、画像品質に大きな影響を与えるもので
あり、より高品位の画像品質を得る上で表面の均一化処
理が不可欠であるので、インク吐出側面に撥水層１７ａ
を成膜している。

【００２４】さらに、基板３、フレーム５及び振動板１
２には、外部から供給されるインクを共通液室１９に供
給するためのインク供給孔３７，３８，３９をそれぞれ
形成し、基板３のインク供給孔３７に接続したインク供
給パイプ４０を介してインクが供給される。

【００２５】次に、このインクジェットヘッドの製造工
程について説明する。このインクジェットヘッドは、予
めアクチュエータユニット１と液室ユニット２とを別々
に組付けた後、両ユニット１，２を接着接合して製造し
ている。このような製造工程を採用することによって、
両ユニット１，２の良品同士を選んで組み付けることが
できて歩留りが向上すると共に、加工組付け工程で塵埃
が発生しやすいアクチュエータユニット１と、塵埃の付
着を完全に避けたい液室ユニット２とを別々の工程で組
付けることができるので、完成したインクジェットヘッ
ドの品質自体が向上する。以下、具体的に説明する。

【００２６】先ず、アクチュエータユニット１の加工及
び組付け工程は、次のとおりである。すなわち、絶縁性
の基板３に予め個別電極用のＮi・Ａu蒸着電極パターン
及び共通電極用のＮi・Ａu蒸着電極パターンを大まかに
パターニングした後、プレート状の積層型圧電素子を位
置決め治具を使用して接着接合し、各積層型圧電素子の
両端面に形成した端面電極と基板３の個別電極用及び共
通電極用の電極パターンとを導電性接着剤で電気的に接
続する。

【００２７】その後、ダイヤモンド砥石をセットしたダ
イサー等によって、例えば１ピッチ当たり１００μｍ程
度の幅で積層型圧電素子をスリット加工して駆動部７及
び非駆動部８となる個々の圧電素子に分割し、次いで、
基板３上にフレーム５を接着接合する。その後、ＦＰＣ
ケーブル３５を基板３の電極パターンに熱と加圧で接合
する。このＦＰＣケーブル３５は駆動部７となる圧電素
子を選択的に駆動できるパターンを有し、その接合部に
は予め半田メッキを施している。最後に、各圧電素子の
容量を測定する。

【００２８】一方、液室ユニット２の加工・組付け工程
について説明すると、予めエレクトロンフォーミング工
法（電鋳）を用いてＮi（ニッケル）の金属プレートか
らなるダイアフラム部１１を有する振動板１２及びノズ
ル１６を有するノズルプレート１７を製造する。

【００２９】そして、振動板１２上に感光性樹脂フィル
ム（ドライフィルムレジスト）を用いて、流路パターン
に応じたマスクを用いて紫外線露光をして、露光部分を
硬化させ、未露光部分を除去できる溶剤を用いて、未露
光部分を除去して現像することで所要の流路パターンを
形成し、水洗い、乾燥の後、再度紫外線露光と熱によっ
て本硬化して第１感光性樹脂層１３を形成する。他方ノ
ズルプレート１７上に同じく感光性樹脂フィルム（ドラ
イフィルムレジスト）を用いて所要の液室パターンを形
成する第３感光性樹脂層１５及び第２感光性樹脂層１４
を順次形成する。

【００３０】そして、このようにして振動板１２とノズ
ルプレート１６に形成されたドライフィルムレジストか
らなる第１感光性樹脂層１３と第２感光性樹脂層１４と
を接合する。この接合は位置合わせ治具を用いて行い、
加圧及び前記本硬化のときより高い温度での加熱を行
う。なお、実際には、以上の工程は、複数個分のヘッド
面積のプレートにて組付けを行うようにしている。

【００３１】最後に、上述のようにして完成したアクチ
ュエータユニット１と液室ユニット２とを組み付ける。
この接合は、アクチュエータ１にスクリーン印刷によっ
て接着剤を塗布して接合装置にセットした後、同接合装
置に液室ユニット２をセットする。そして、接合装置に
よってアクチュエータ１と液室ユニット２との相対位置
（Ｘ，Ｙ方向）をミクロンオーダーレベルで位置合せを
行ない、位置関係を維持した状態で双方のユニットを接
触させて接合する。次に、接合装置上で紫外線硬化（Ｕ
Ｖ）接着剤により仮接合を行ない、完了後接合物を接合
装置から取り出して加圧装置にセットする。その後、加
圧状態で加圧装置ごと恒温層に入れて熱硬化させて完了
とする。

【００３２】そこで、このようなインクジェットヘッド
におけるユニット間接合と液室ユニット２を構成してい
る振動板１２の粗面化処理について説明する。上述した
アクチュエータユニット１と液室ユニット２間の接合に
用いている接着剤としては、例えば９７５２Ｌ−ＺｎＯ
（商品名、株式会社日本エイブルスティック製）を上げ
ることができる。ユニット間接合で被着体となる材料は
液室ユニット接合面である振動板１２（例えば、Ｎｉ金
属）とアクチュエータユニット接合面である圧電素子４
（例えば、ＰＺＴ）とフレーム５（例えば、熱硬化性樹
脂）である。

【００３３】ここで、ユニット間接合に用いる接着剤の
接合引張り強度が弱いと、例えば駆動部である圧電素子
と振動板との接着剤界面で剥離等の不良が発生して非噴
射ノズルが発生し、画像品質が低下する。例えば、上記
の接着剤９７５２Ｌ−ＺｎＯは電鋳Ｎｉ金属との接合引
張り強度が弱く、実験によれば約７ｋｇｆ／ｃｍ²程度
であり、この程度の接合強度では剥離等の不良が発生す
る。そこで、評価試験を行ったところ、引張り強度１０
ｋｇｆ／ｃｍ²未満で剥離が発生することを確認した。

【００３４】そのため、本発明では、液室ユニット接合
面である振動板の接合面に粗面化する表面処理を行うよ
うにして、接着剤との接合力を向上している。ここで、
振動板の粗面化表面処理としては、例えば、塩化鉄、塩
酸、クロム酸などの水溶液への浸漬などのケミカル処
理、クロム酸被膜を形成するなどの電気化学的処理、コ
ロナ放電などの電気処理、ドライエッチングなどの物理
的処理、サンドブラストなどの機械的処理を挙げること
ができる。

【００３５】この表面処理の具体例について説明する。
ここでは、振動板部品接合面を塩化鉄水溶液に浸漬して
表面粗さを粗くした。Ｎｉ振動板接合面に対する塩化鉄
水溶液浸漬条件の一例は、次に示すとおりである。処理サンプル：Ｎｉ振動板水溶液濃度：５〜５０％ｗｔ塩化鉄水溶液水溶液温度：２２〜５０℃ 浸漬時間：３〜２０秒

【００３６】このような条件で表面処理を行ったとこ
ろ、振動板接合面の表面粗度（表面粗さ）をＲｍａ×
０．２以上にすることによって、使用接着剤９７５２Ｌ
−ＺｎＯと電鋳Ｎｉ振動板との引張り強度を５０ｋｇｆ
／ｃｍ²以上にすることができ、剥離を防止することが
できた。

【００３７】次に、このような塩化鉄水溶液浸漬工程を
有する振動板の製造工程について図５及び図６を参照し
て説明する。先ず、図５（ａ）に示すように電鋳支持基
板としての洗浄したガラス基板５１に、同図（ｂ）に示
すように約８００オングストロームの厚さでＮｉスパッ
タして導体膜５２を成膜し、図示しないフォトリソ工程
で振動板を形成しない部分にマスキングする。なお、図
では振動板を形成する部分の一部のみを図示する。

【００３８】その後、同図（ｃ）に示すように、この導
体膜５２上にＮｉ電鋳でダイヤフラム部１１を形成する
第１Ｎｉ層５３を形成する。次いで、同図（ｄ）に示す
ように、この第１Ｎｉ層５３上にフォトリソ工程で所定
のレジストパターン５４を形成し、第１Ｎｉ層５３表面
の活性化処理を行った後、同図（ｅ）に示すように第１
Ｎｉ層５３上にＮｉ電鋳で厚肉剛体部１２ｂ及び島状凸
部１２ａを形成する第２Ｎｉ層５５を形成する。

【００３９】さらに、図６（ａ）に示すようにフォトリ
ソ工程でレジストパターン５４上に所定のレジストパタ
ーン５６を形成し、第２Ｎｉ層５５表面の活性化処理を
行った後、同図（ｂ）に示すように第２Ｎｉ層５５上に
Ｎｉ電鋳で厚肉剛体部１２ｂ及び島状凸部１２ａを形成
する第３Ｎｉ層５７を形成する。そして、同図（ｃ）に
示すように塩化鉄水溶液浸漬処理を行い、第３Ｎｉ層５
７表面に粗面化した粗面５８を形成する。次いで、同図
（ｄ）に示すようにレジストパターン５４，５６を剥離
しガラス基板５１から分離することで接合面を粗面化し
た振動板１２を得る。

【００４０】つまり、図７に示すように振動板１２のダ
イアフラム部１１がレジストパターン６１（上記のレジ
ストパターン５４，５６）で被覆されている状態で塩化
鉄水溶液浸漬処理を行った後、図８に示すようにレジス
トパターン６１を除去する。このように特定の範囲にの
み粗面化の表面処理を施すことによって、例えば、塩化
鉄水溶液浸漬処理においてダイアフラム部１１がレジス
トパターンのマスクで保護された状態になるので、ダイ
アフラム部１１が塩化鉄水溶液で浸食されてピンホール
等が発生することを防止することができる。

【００４１】なお、上記実施例においては、予め振動板
を有する液室ユニットと圧電素子を有するアクチュエー
タユニットとを別途製作して、両ユニットを接合するこ
とによってインクジェットヘッドを組み付ける例で説明
したが、圧電素子上に振動板を接合し、振動板上に流路
形成部材を接合して組み付ける構造のインクジェットヘ
ッドにも同様に適用することができる。さらに、サイド
シュータ構造のインクジェットヘッドだけでなく、エッ
ジシュータ構造のインクジェットヘッドにも適用するこ
とができる。さらに、振動板は電鋳以外のものでもよい
ことは前述したとおりである。

【００４２】

【発明の効果】以上説明したように、請求項１のインク
ジェットヘッドによれば、圧電素子で変形される振動板
を有するインクジェットヘッドにおいて、振動板の他の
部材との接合面を粗面化する表面処理を施した構成とし
たので、振動板と他の部材との接合信頼性を向上するこ
とができる。

【００４３】請求項２のインクジェットヘッドによれ
ば、上記請求項１のインクジェットヘッドにおいて、圧
電素子を有するアクチュエータユニットと振動板を有す
る液室ユニットとを接合して構成したので、ユニット間
接合における接合信頼性を向上することができる。

【００４４】請求項３のインクジェットヘッドによれ
ば、上記請求項１又は２のインクジェットヘッドにおい
て、振動板の接合面が圧電素子である構成としたので、
振動板と圧電素子との接合信頼性を向上することができ
る。。

【００４５】請求項４のインクジェットヘッドによれ
ば、上記請求項１乃至３のいずれかのインクジェットヘ
ッドにおいて、表面処理をケミカル処理で行った構成と
したので、振動板と他の部材との接合信頼性を向上する
ことができる。

【００４６】請求項５のインクジェットヘッドによれ
ば、上記請求項１乃至３のいずれかのインクジェットヘ
ッドにおいて、表面処理を電気化学的処理で行った構成
としたので、振動板と他の部材との接合信頼性を向上す
ることができる。

【００４７】請求項６のインクジェットヘッドによれ
ば、上記請求項１乃至３のいずれかのインクジェットヘ
ッドにおいて、表面処理を電気的処理で行った構成とし
たので、振動板と他の部材との接合信頼性を向上するこ
とができる。

【００４８】請求項７のインクジェットヘッドによれ
ば、上記請求項１乃至６のいずれかのインクジェットヘ
ッドにおいて、振動板の接合面は表面処理後の表面粗度
がＲｍａ×０．２以上である構成としたので、接合引張
り強度を１０ｋｇｆ／ｃｍ²以上にすることができて、
振動板と他の部材との接合信頼性を向上することができ
る。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明を適用するインクジェットヘッドの一例
を示す外観斜視図

【図２】同インクジェットヘッドの分解斜視図

【図３】図１のＡ−Ａ線に沿う要部拡大断面図

【図４】図１のＢ−Ｂ線に沿う要部拡大断面図

【図５】振動板の製造工程の説明に供する工程説明図

【図６】振動板の製造工程の説明に供する工程説明図

【図７】振動板の表面処理の説明に供する説明図であ
り、（ａ）は模式的側面図、（ｂ）は要部平面図

【図８】振動板の表面処理の説明に供する説明図であ
り、（ａ）は模式的側面図、（ｂ）は要部平面図

【符号の説明】

１…アクチュエータユニット、２…液室ユニット、３…
フレーム、４…圧電素子、７…駆動部、８…非駆動部、
１１…ダイヤフラム部、１２…振動板、１２ａ…島状凸
部、１２ｂ…厚肉剛体部、１３，１４，１５…感光性樹
脂層、１６…ノズル、１７…ノズルプレート、１８…加
圧液室、１９…共通液室、２０…インク供給路、５８…
粗面化された接合面。

フロントページの続き (72)発明者岩瀬政之東京都大田区中馬込１丁目３番６号株式会社リコー内 (72)発明者牧田秀行東京都大田区中馬込１丁目３番６号株式会社リコー内 (72)発明者宮口耀一郎東京都大田区中馬込１丁目３番６号株式会社リコー内 (72)発明者池田邦夫東京都大田区中馬込１丁目３番６号株式会社リコー内

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】圧電素子で変形される振動板を有するイ
ンクジェットヘッドにおいて、前記振動板の他の部材と
の接合面を粗面化する表面処理を施したことを特徴とす
るインクジェットヘッド。
【請求項２】請求項１に記載のインクジェットヘッド
において、このヘッドは前記圧電素子を有するアクチュ
エータユニットと前記振動板を有する液室ユニットとを
接合して構成することを特徴とするインクジェットヘッ
ド。
【請求項３】請求項１又は２に記載のインクジェット
ヘッドにおいて、前記振動板の接合面が前記圧電素子で
あることを特徴とするインクジェットヘッド。
【請求項４】請求項１乃至３のいずれかに記載のイン
クジェットヘッドにおいて、前記表面処理をケミカル処
理で行ったことを特徴とするインクジェットヘッド。
【請求項５】請求項１乃至３のいずれかに記載のイン
クジェットヘッドにおいて、前記表面処理を電気化学的
処理で行ったことを特徴とするインクジェットヘッド。
【請求項６】請求項１乃至３のいずれかに記載のイン
クジェットヘッドにおいて、前記表面処理を電気的処理
で行ったことを特徴とするインクジェットヘッド。
【請求項７】請求項１乃至６のいずれかに記載のイン
クジェットヘッドにおいて、前記振動板の接合面は表面
処理後の表面粗度がＲｍａ×０．２以上であることを特
徴とするインクジェットヘッド。