JPH1038823A - 蛍光ｘ線分析装置 - Google Patents
蛍光ｘ線分析装置Info
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- JPH1038823A JPH1038823A JP8208931A JP20893196A JPH1038823A JP H1038823 A JPH1038823 A JP H1038823A JP 8208931 A JP8208931 A JP 8208931A JP 20893196 A JP20893196 A JP 20893196A JP H1038823 A JPH1038823 A JP H1038823A
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- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 abstract description 14
- 238000004458 analytical method Methods 0.000 abstract description 8
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- 238000000354 decomposition reaction Methods 0.000 description 3
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 description 3
- RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N Titanium Chemical compound [Ti] RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
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- 229910052719 titanium Inorganic materials 0.000 description 2
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Landscapes
- Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 試料に１次Ｘ線を照射して、試料から発生す
る２次Ｘ線を検出するＸ線分析において、試料に応じ
て、幅広い分解能および感度を容易に選択できる蛍光Ｘ
線分析装置を提供する。 【解決手段】 発散側のみならず受光側においても、開
き角の相異なる複数の受光側ソーラスリット１２Ａ，１
２Ｂ，１２Ｃと、分光器５で分光された２次Ｘ線８を分
光器５と検出器９との間で通過させる受光側ソーラスリ
ット１２を選択する受光側選択手段１３とを備える。
る２次Ｘ線を検出するＸ線分析において、試料に応じ
て、幅広い分解能および感度を容易に選択できる蛍光Ｘ
線分析装置を提供する。 【解決手段】 発散側のみならず受光側においても、開
き角の相異なる複数の受光側ソーラスリット１２Ａ，１
２Ｂ，１２Ｃと、分光器５で分光された２次Ｘ線８を分
光器５と検出器９との間で通過させる受光側ソーラスリ
ット１２を選択する受光側選択手段１３とを備える。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、試料に１次Ｘ線を
照射して、試料から発生する２次Ｘ線を検出するＸ線分
析において、試料に応じて、幅広い分解能および感度を
容易に選択できる蛍光Ｘ線分析装置に関する。
照射して、試料から発生する２次Ｘ線を検出するＸ線分
析において、試料に応じて、幅広い分解能および感度を
容易に選択できる蛍光Ｘ線分析装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来の蛍光Ｘ線分析装置として、図３に
示すように、１次Ｘ線２を発生するＸ線源１と、その１
次Ｘ線２が照射された試料３から発生する蛍光Ｘ線（２
次Ｘ線）４を分光する分光器５と、開き角の相異なる複
数の発散側ソーラスリット６（６Ａ，６Ｂ，６Ｃ）と、
試料３から発生する蛍光Ｘ線４を試料３と分光器５との
間で通過させる発散側ソーラスリット６を選択する発散
側選択手段７と、分光器５で分光された蛍光Ｘ線８が入
射される検出器９と、分光器５で分光された蛍光Ｘ線８
を分光器５と検出器９との間で通過させる受光側ソーラ
スリット１０とを備えた装置がある（特公平２−５０４
２０号参照）。
示すように、１次Ｘ線２を発生するＸ線源１と、その１
次Ｘ線２が照射された試料３から発生する蛍光Ｘ線（２
次Ｘ線）４を分光する分光器５と、開き角の相異なる複
数の発散側ソーラスリット６（６Ａ，６Ｂ，６Ｃ）と、
試料３から発生する蛍光Ｘ線４を試料３と分光器５との
間で通過させる発散側ソーラスリット６を選択する発散
側選択手段７と、分光器５で分光された蛍光Ｘ線８が入
射される検出器９と、分光器５で分光された蛍光Ｘ線８
を分光器５と検出器９との間で通過させる受光側ソーラ
スリット１０とを備えた装置がある（特公平２−５０４
２０号参照）。
【０００３】このような装置の光学系の分解能と感度と
は、いわゆるトレードオフの関係にあり、発散側ソーラ
スリット６および受光側ソーラスリット１０の開き角で
決まる。ソーラスリット６，１０は、図３の紙面に垂直
な多数の箔（平板）６Ａａ，６Ｂａ，６Ｃａ，１０ａを
一定間隔で平行に並べてその間にＸ線４，８を通過さ
せ、所望の方向（箔６Ａａ，６Ｂａ，６Ｃａ，１０ａの
長さ方向、図３では４，８の方向）のＸ線を得ようとす
るもので、ソーラスリット６，１０の開き角すなわちソ
ーラスリット６，１０を通過するＸ線４，８の開き角
は、ソーラスリット６，１０を構成する箔６Ａａ，６Ｂ
ａ，６Ｃａ，１０ａの間隔と長さによって決まる。
は、いわゆるトレードオフの関係にあり、発散側ソーラ
スリット６および受光側ソーラスリット１０の開き角で
決まる。ソーラスリット６，１０は、図３の紙面に垂直
な多数の箔（平板）６Ａａ，６Ｂａ，６Ｃａ，１０ａを
一定間隔で平行に並べてその間にＸ線４，８を通過さ
せ、所望の方向（箔６Ａａ，６Ｂａ，６Ｃａ，１０ａの
長さ方向、図３では４，８の方向）のＸ線を得ようとす
るもので、ソーラスリット６，１０の開き角すなわちソ
ーラスリット６，１０を通過するＸ線４，８の開き角
は、ソーラスリット６，１０を構成する箔６Ａａ，６Ｂ
ａ，６Ｃａ，１０ａの間隔と長さによって決まる。
【０００４】そこで、平行光を得るという意味ではより
試料３に近い発散側ソーラスリット６の方が効果が大き
い等の理由から、受光側ソーラスリット１０は標準的な
単一のものに固定し、発散側ソーラスリット６におい
て、波長の近接する蛍光Ｘ線４を発生する成分を含有す
る試料について妨害線の重なり等を避けて精密な分析を
する場合には、標準的な箔間隔の発散側標準ソーラスリ
ット６Ｂに代えて、発散側選択手段７によって箔間隔の
より狭い発散側高分解能ソーラスリット６Ｃを選択して
使用し、分析すべき成分の含有量が少ない試料について
微弱な強度の蛍光Ｘ線４を分析する場合には、発散側選
択手段７によって箔間隔のより広い発散側高感度ソーラ
スリット６Ａを選択して使用する。これにより、ある程
度の範囲で、試料に応じて、適切な分解能および感度を
選択できる。
試料３に近い発散側ソーラスリット６の方が効果が大き
い等の理由から、受光側ソーラスリット１０は標準的な
単一のものに固定し、発散側ソーラスリット６におい
て、波長の近接する蛍光Ｘ線４を発生する成分を含有す
る試料について妨害線の重なり等を避けて精密な分析を
する場合には、標準的な箔間隔の発散側標準ソーラスリ
ット６Ｂに代えて、発散側選択手段７によって箔間隔の
より狭い発散側高分解能ソーラスリット６Ｃを選択して
使用し、分析すべき成分の含有量が少ない試料について
微弱な強度の蛍光Ｘ線４を分析する場合には、発散側選
択手段７によって箔間隔のより広い発散側高感度ソーラ
スリット６Ａを選択して使用する。これにより、ある程
度の範囲で、試料に応じて、適切な分解能および感度を
選択できる。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】しかし、例えば、より
いっそう高分解能な分析が求められた場合に、発散側ソ
ーラスリット６を、よりいっそう箔間隔のより狭いもの
にしたとしても、感度（検出器９へ入射する蛍光Ｘ線の
強度）が落ちるばかりで、分解能がほとんど向上しない
という限界がある。これは、ソーラスリット６の入射面
において、箔の端面の占める割合が大きくなり、実際上
の開口面積が減少するからと考えられる。したがって、
それ以上正確な分析ができない。
いっそう高分解能な分析が求められた場合に、発散側ソ
ーラスリット６を、よりいっそう箔間隔のより狭いもの
にしたとしても、感度（検出器９へ入射する蛍光Ｘ線の
強度）が落ちるばかりで、分解能がほとんど向上しない
という限界がある。これは、ソーラスリット６の入射面
において、箔の端面の占める割合が大きくなり、実際上
の開口面積が減少するからと考えられる。したがって、
それ以上正確な分析ができない。
【０００６】本発明は前記従来の問題に鑑みてなされた
もので、試料に１次Ｘ線を照射して、試料から発生する
２次Ｘ線を検出するＸ線分析において、試料に応じて、
幅広い分解能および感度を容易に選択できる蛍光Ｘ線分
析装置を提供することを目的とする。
もので、試料に１次Ｘ線を照射して、試料から発生する
２次Ｘ線を検出するＸ線分析において、試料に応じて、
幅広い分解能および感度を容易に選択できる蛍光Ｘ線分
析装置を提供することを目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】前記目的を達成するため
に、請求項１の蛍光Ｘ線分析装置は、発散側のみならず
受光側においても、開き角の相異なる複数の受光側ソー
ラスリットと、分光器で分光された２次Ｘ線を分光器と
検出器との間で通過させる受光側ソーラスリットを選択
する受光側選択手段とを備えている。
に、請求項１の蛍光Ｘ線分析装置は、発散側のみならず
受光側においても、開き角の相異なる複数の受光側ソー
ラスリットと、分光器で分光された２次Ｘ線を分光器と
検出器との間で通過させる受光側ソーラスリットを選択
する受光側選択手段とを備えている。
【０００８】請求項１の装置によれば、発散側のみなら
ず受光側においても、開き角の相異なる複数のソーラス
リットのうちから、適切なものを容易に選択できるの
で、発散側ソーラスリットと受光側ソーラスリットの適
切な組合せにより、発散側ソーラスリットのみの選択で
は得られなかった広い範囲で、試料に応じて、適切な分
解能および感度を容易に選択できる。したがって、より
正確な分析ができる。
ず受光側においても、開き角の相異なる複数のソーラス
リットのうちから、適切なものを容易に選択できるの
で、発散側ソーラスリットと受光側ソーラスリットの適
切な組合せにより、発散側ソーラスリットのみの選択で
は得られなかった広い範囲で、試料に応じて、適切な分
解能および感度を容易に選択できる。したがって、より
正確な分析ができる。
【０００９】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施形態である蛍
光Ｘ線分析装置を図面にしたがって説明する。まず、こ
の蛍光Ｘ線分析装置の構成について説明する。図１に示
すように、本装置は、試料３が固定される試料台１１
と、試料３に１次Ｘ線２を照射するＸ線源１と、試料３
から発生する蛍光Ｘ線（２次Ｘ線）４を分光する分光器
５と、開き角の相異なる複数の発散側ソーラスリット６
（６Ａ，６Ｂ，６Ｃ）と、試料３から発生する蛍光Ｘ線
４を試料３と分光器５との間で通過させる発散側ソーラ
スリット６を選択する発散側選択手段７と、分光器５で
分光された蛍光Ｘ線８が入射される検出器９とを備えて
いる。さらに、本装置は、開き角の相異なる複数の受光
側ソーラスリット１２（１２Ａ，１２Ｂ，１２Ｃ）と、
分光器５で分光された蛍光Ｘ線８を分光器５と検出器９
との間で通過させる受光側ソーラスリット１２を選択す
る受光側選択手段１３とを備えている。
光Ｘ線分析装置を図面にしたがって説明する。まず、こ
の蛍光Ｘ線分析装置の構成について説明する。図１に示
すように、本装置は、試料３が固定される試料台１１
と、試料３に１次Ｘ線２を照射するＸ線源１と、試料３
から発生する蛍光Ｘ線（２次Ｘ線）４を分光する分光器
５と、開き角の相異なる複数の発散側ソーラスリット６
（６Ａ，６Ｂ，６Ｃ）と、試料３から発生する蛍光Ｘ線
４を試料３と分光器５との間で通過させる発散側ソーラ
スリット６を選択する発散側選択手段７と、分光器５で
分光された蛍光Ｘ線８が入射される検出器９とを備えて
いる。さらに、本装置は、開き角の相異なる複数の受光
側ソーラスリット１２（１２Ａ，１２Ｂ，１２Ｃ）と、
分光器５で分光された蛍光Ｘ線８を分光器５と検出器９
との間で通過させる受光側ソーラスリット１２を選択す
る受光側選択手段１３とを備えている。
【００１０】ここで、標準的な箔間隔の受光側標準ソー
ラスリット１２Ｂと、箔間隔のより狭い受光側高分解能
ソーラスリット１２Ｃと、箔間隔のより広い受光側高感
度ソーラスリット１２Ａとは、Ｘ線８を通過させる通路
方向の長さは同一で、通路と垂直方向に連結されてい
る。受光側選択手段１３は、連結された受光側ソーラス
リット１２を、分光器５で分光された蛍光Ｘ線８の光路
に垂直に進退させることにより、任意の受光側ソーラス
リット１２Ａ，１２Ｂ，１２Ｃを選択するものである。
なお、発散側ソーラスリット６Ａ，６Ｂ，６Ｃおよび発
散側選択手段７も同様の構成である。
ラスリット１２Ｂと、箔間隔のより狭い受光側高分解能
ソーラスリット１２Ｃと、箔間隔のより広い受光側高感
度ソーラスリット１２Ａとは、Ｘ線８を通過させる通路
方向の長さは同一で、通路と垂直方向に連結されてい
る。受光側選択手段１３は、連結された受光側ソーラス
リット１２を、分光器５で分光された蛍光Ｘ線８の光路
に垂直に進退させることにより、任意の受光側ソーラス
リット１２Ａ，１２Ｂ，１２Ｃを選択するものである。
なお、発散側ソーラスリット６Ａ，６Ｂ，６Ｃおよび発
散側選択手段７も同様の構成である。
【００１１】次に、本装置の作用について、試料３中の
バナジウムおよびチタンについて分析する場合を例にと
って説明する。今、発散側選択手段７により発散側標準
ソーラスリット６Ｂを選択し、受光側選択手段１３によ
り受光側標準ソーラスリット１２Ｂを選択したとする。
この場合の検出器９に入射した蛍光Ｘ線の波長と強度の
測定結果を、図２中の曲線Ｂ−Ｂで示す。バナジウムの
Ｖ−Ｋα線と、チタンのＴi −Ｋβ1 線は、波長が近接
しているため、この結果では両ピーク間の谷が浅く、分
解が十分でない。そこで、発散側選択手段７により発散
側高分解能ソーラスリット６Ｃを選択すると、感度（測
定強度）は落ちるものの、分解能が向上し、図２中の曲
線Ｃ−Ｂで示す測定結果が得られた。ここまでは、受光
側が標準ソーラスリット１０（図３）に固定されている
従来の装置でも達成可能である。しかし、両ピーク間の
谷がいまだ浅く、分解が十分でない。また、従来の装置
であれば、たとえ、発散側ソーラスリット６を、よりい
っそう箔間隔のより狭いものにしたとしても、感度が落
ちるばかりで、分解能がほとんど向上しない。
バナジウムおよびチタンについて分析する場合を例にと
って説明する。今、発散側選択手段７により発散側標準
ソーラスリット６Ｂを選択し、受光側選択手段１３によ
り受光側標準ソーラスリット１２Ｂを選択したとする。
この場合の検出器９に入射した蛍光Ｘ線の波長と強度の
測定結果を、図２中の曲線Ｂ−Ｂで示す。バナジウムの
Ｖ−Ｋα線と、チタンのＴi −Ｋβ1 線は、波長が近接
しているため、この結果では両ピーク間の谷が浅く、分
解が十分でない。そこで、発散側選択手段７により発散
側高分解能ソーラスリット６Ｃを選択すると、感度（測
定強度）は落ちるものの、分解能が向上し、図２中の曲
線Ｃ−Ｂで示す測定結果が得られた。ここまでは、受光
側が標準ソーラスリット１０（図３）に固定されている
従来の装置でも達成可能である。しかし、両ピーク間の
谷がいまだ浅く、分解が十分でない。また、従来の装置
であれば、たとえ、発散側ソーラスリット６を、よりい
っそう箔間隔のより狭いものにしたとしても、感度が落
ちるばかりで、分解能がほとんど向上しない。
【００１２】ここで、本装置によれば、受光側選択手段
１３により受光側高分解能ソーラスリット１２Ｃを選択
できる。そうすると、感度は落ちるものの、分解能がよ
り向上し、図２中の曲線Ｃ−Ｃで示すような、測定結果
が得られる。この結果では、必要な測定強度が維持され
つつ、両ピーク間の谷が深く、分解が十分である。ま
た、本装置によれば、分析すべき成分の含有量が少ない
試料３について微弱な強度の蛍光Ｘ線４を分析する場合
には、前述したのとは逆に、感度を重視して、例えば、
発散側選択手段７により発散側高感度ソーラスリット６
Ａを選択し、受光側選択手段１３により受光側高感度ソ
ーラスリット１２Ａを選択することにより、必要な波長
の分解を維持しつつ、十分な測定強度を得ることができ
る。
１３により受光側高分解能ソーラスリット１２Ｃを選択
できる。そうすると、感度は落ちるものの、分解能がよ
り向上し、図２中の曲線Ｃ−Ｃで示すような、測定結果
が得られる。この結果では、必要な測定強度が維持され
つつ、両ピーク間の谷が深く、分解が十分である。ま
た、本装置によれば、分析すべき成分の含有量が少ない
試料３について微弱な強度の蛍光Ｘ線４を分析する場合
には、前述したのとは逆に、感度を重視して、例えば、
発散側選択手段７により発散側高感度ソーラスリット６
Ａを選択し、受光側選択手段１３により受光側高感度ソ
ーラスリット１２Ａを選択することにより、必要な波長
の分解を維持しつつ、十分な測定強度を得ることができ
る。
【００１３】すなわち、本装置によれば、発散側のみな
らず受光側においても、開き角の相異なる複数のソーラ
スリット１２Ａ，１２Ｂ，１２Ｃのうちから、適切なも
のを容易に選択できるので、発散側ソーラスリット６
Ａ，６Ｂ，６Ｃと受光側ソーラスリット１２Ａ，１２
Ｂ，１２Ｃの適切な組合せにより、発散側ソーラスリッ
ト６Ａ，６Ｂ，６Ｃのみの選択では得られなかった広い
範囲で、試料３に応じて、適切な分解能および感度を容
易に選択できる。したがって、より正確な分析ができ
る。なお、本実施形態においては、発散側および受光側
において、選択できるソーラスリットの数をそれぞれ３
としたが、３に限らず複数であればよい。
らず受光側においても、開き角の相異なる複数のソーラ
スリット１２Ａ，１２Ｂ，１２Ｃのうちから、適切なも
のを容易に選択できるので、発散側ソーラスリット６
Ａ，６Ｂ，６Ｃと受光側ソーラスリット１２Ａ，１２
Ｂ，１２Ｃの適切な組合せにより、発散側ソーラスリッ
ト６Ａ，６Ｂ，６Ｃのみの選択では得られなかった広い
範囲で、試料３に応じて、適切な分解能および感度を容
易に選択できる。したがって、より正確な分析ができ
る。なお、本実施形態においては、発散側および受光側
において、選択できるソーラスリットの数をそれぞれ３
としたが、３に限らず複数であればよい。
【００１４】また、本装置によれば、分光器５から発生
した蛍光Ｘ線や散乱Ｘ線に対しても、受光側選択手段１
３により受光側高分解能ソーラスリット１２Ｃを選択す
ることにより、必要な分析線８の測定強度を維持しつ
つ、それらの蛍光Ｘ線や散乱Ｘ線が検出器９へ入射する
のを低減させることができる。すなわち、従来の装置で
は対応できなかった、分光器５が原因であるバックグラ
ウンドを低減させるということを重視した選択も可能と
なる。
した蛍光Ｘ線や散乱Ｘ線に対しても、受光側選択手段１
３により受光側高分解能ソーラスリット１２Ｃを選択す
ることにより、必要な分析線８の測定強度を維持しつ
つ、それらの蛍光Ｘ線や散乱Ｘ線が検出器９へ入射する
のを低減させることができる。すなわち、従来の装置で
は対応できなかった、分光器５が原因であるバックグラ
ウンドを低減させるということを重視した選択も可能と
なる。
【００１５】
【発明の効果】以上説明したように、本発明の装置によ
れば、発散側のみならず受光側においても、開き角の相
異なる複数のソーラスリットのうちから、適切なものを
容易に選択できるので、発散側ソーラスリットと受光側
ソーラスリットの適切な組合せにより、発散側ソーラス
リットのみの選択では得られなかった広い範囲で、試料
に応じて、適切な分解能および感度を容易に選択でき
る。したがって、より正確な分析ができる。
れば、発散側のみならず受光側においても、開き角の相
異なる複数のソーラスリットのうちから、適切なものを
容易に選択できるので、発散側ソーラスリットと受光側
ソーラスリットの適切な組合せにより、発散側ソーラス
リットのみの選択では得られなかった広い範囲で、試料
に応じて、適切な分解能および感度を容易に選択でき
る。したがって、より正確な分析ができる。
【図１】本発明の実施形態である蛍光Ｘ線分析装置を示
す正面図である。
す正面図である。
【図２】前記装置による測定結果を示す図である。
【図３】従来の装置を示す正面図である。
１…Ｘ線源、２…１次Ｘ線、３…試料、４…試料から発
生する２次Ｘ線、５…分光器、６Ａ，６Ｂ，６Ｃ…発散
側ソーラスリット、７…発散側選択手段、８…分光器で
分光された２次Ｘ線、９…検出器、１２Ａ，１２Ｂ，１
２Ｃ…受光側ソーラスリット、１３…受光側選択手段。
生する２次Ｘ線、５…分光器、６Ａ，６Ｂ，６Ｃ…発散
側ソーラスリット、７…発散側選択手段、８…分光器で
分光された２次Ｘ線、９…検出器、１２Ａ，１２Ｂ，１
２Ｃ…受光側ソーラスリット、１３…受光側選択手段。
Claims (1)
- 【請求項１】 １次Ｘ線を発生するＸ線源と、 その１次Ｘ線が照射された試料から発生する２次Ｘ線を
分光する分光器と、 開き角の相異なる複数の発散側ソーラスリットと、 前記試料から発生する２次Ｘ線を前記試料と前記分光器
との間で通過させる発散側ソーラスリットを選択する発
散側選択手段と、 前記分光器で分光された２次Ｘ線が入射される検出器と
を備えたＸ線分析装置において、 開き角の相異なる複数の受光側ソーラスリットと、 前記分光器で分光された２次Ｘ線を前記分光器と前記検
出器との間で通過させる受光側ソーラスリットを選択す
る受光側選択手段とを備えたことを特徴とするＸ線分析
装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8208931A JPH1038823A (ja) | 1996-07-19 | 1996-07-19 | 蛍光ｘ線分析装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8208931A JPH1038823A (ja) | 1996-07-19 | 1996-07-19 | 蛍光ｘ線分析装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH1038823A true JPH1038823A (ja) | 1998-02-13 |
Family
ID=16564507
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8208931A Pending JPH1038823A (ja) | 1996-07-19 | 1996-07-19 | 蛍光ｘ線分析装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH1038823A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007139754A (ja) * | 2005-10-19 | 2007-06-07 | Rigaku Industrial Co | 蛍光ｘ線分析装置およびそれに用いるプログラム |
| DE10035917B4 (de) * | 1999-07-23 | 2008-07-31 | Panalytical B.V. | Gerät zur Strahlungsanalyse mit variablem Kollimator sowie variabler Kollimator |
-
1996
- 1996-07-19 JP JP8208931A patent/JPH1038823A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE10035917B4 (de) * | 1999-07-23 | 2008-07-31 | Panalytical B.V. | Gerät zur Strahlungsanalyse mit variablem Kollimator sowie variabler Kollimator |
| JP2007139754A (ja) * | 2005-10-19 | 2007-06-07 | Rigaku Industrial Co | 蛍光ｘ線分析装置およびそれに用いるプログラム |
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