JPH1038980A - 回路基板プロービング装置及び方法 - Google Patents
回路基板プロービング装置及び方法Info
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- JPH1038980A JPH1038980A JP8198804A JP19880496A JPH1038980A JP H1038980 A JPH1038980 A JP H1038980A JP 8198804 A JP8198804 A JP 8198804A JP 19880496 A JP19880496 A JP 19880496A JP H1038980 A JPH1038980 A JP H1038980A
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- Measurement Of Length, Angles, Or The Like Using Electric Or Magnetic Means (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Measuring Leads Or Probes (AREA)
- Testing Of Short-Circuits, Discontinuities, Leakage, Or Incorrect Line Connections (AREA)
- Tests Of Electronic Circuits (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】フレキシブル回路基板（ＦＰＣ）に変形があっ
ても、電気的接続不良をおこすこと無くプロービングを
行う。 【解決手段】まず、ＦＰＣ１のリード上を静電容量型変
位センサ８が横切るようにしてリード１１部分が山の頂
点で基材１２部分が谷の底となるような周期性を持つ波
形となる静電容量センサ８の出力信号からリードの位置
及び高さの位置データを求め、得られた位置データに基
づいて、プロービングすべきリード１１をプローブ４の
真下に位置決めし、リード１１の高さデータに基づい
て、支え６をＦＰＣ１の裏面に近接させる。最後に、プ
ローブ４をリード１１に接触させるが、このとき、プロ
ーブ４の押し込みが所定量になるように、リード１１の
高さデータに基づいてプローブ４の押込み量を制御す
る。
ても、電気的接続不良をおこすこと無くプロービングを
行う。 【解決手段】まず、ＦＰＣ１のリード上を静電容量型変
位センサ８が横切るようにしてリード１１部分が山の頂
点で基材１２部分が谷の底となるような周期性を持つ波
形となる静電容量センサ８の出力信号からリードの位置
及び高さの位置データを求め、得られた位置データに基
づいて、プロービングすべきリード１１をプローブ４の
真下に位置決めし、リード１１の高さデータに基づい
て、支え６をＦＰＣ１の裏面に近接させる。最後に、プ
ローブ４をリード１１に接触させるが、このとき、プロ
ーブ４の押し込みが所定量になるように、リード１１の
高さデータに基づいてプローブ４の押込み量を制御す
る。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、回路基板プロービ
ング装置及び方法に関し、特に不良フレキシブル回路基
板の解析に適用し得るフレキシブル回路基板プロービン
グ装置に関する。
ング装置及び方法に関し、特に不良フレキシブル回路基
板の解析に適用し得るフレキシブル回路基板プロービン
グ装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来の技術としては、例えば、特開昭５
８−０５２５７６号公報に記載の回路基板のプロービン
グ装置がある。
８−０５２５７６号公報に記載の回路基板のプロービン
グ装置がある。
【０００３】図４は、従来の回路基板のプロービング装
置を示す構成図である。図４に示す回路基板プロービン
グ装置は、プロービング対象であるフレキシブル回路基
板（以下ＦＰＣという）１を載せるベース２と、ベース
２の下側にあってベース２をＦＰＣ１ごと水平面内で移
動させる移動ステージ３と、ベース２の上側に配置され
ＦＰＣ１の上面に設けられたリード１１と電気的な接続
を行うプローブ４と、プローブ４を上下させるプローブ
ステージ５と、ベース２の上側に移動ステージ３の移動
方向にプローブ４と重ならないように所定量離して配置
され、リード１１を撮像して画像信号ｄを出力するカメ
ラ１９と、カメラ１９に接続され、画像信号ｄを受け
て、画像処理によりリード１１の水平面内での位置を検
出してリード位置データｅを出力する画像処理部２０
と、移動ステージ３とプローブステージ５と画像処理部
２０とに接続され、リード位置データｅを基に、リード
１１をプローブ４の真下に位置決めするように移動ステ
ージ３を制御する制御部１０とを備えている。ＦＰＣ１
は矩形で、リード１１は多数がＦＰＣ１の一辺（または
複数辺）に沿って列設されている。また、ＦＰＣ１には
搭載される集積回路装置等の端子との接続用のリード１
１もこれらの端子に対応して列設されている。
置を示す構成図である。図４に示す回路基板プロービン
グ装置は、プロービング対象であるフレキシブル回路基
板（以下ＦＰＣという）１を載せるベース２と、ベース
２の下側にあってベース２をＦＰＣ１ごと水平面内で移
動させる移動ステージ３と、ベース２の上側に配置され
ＦＰＣ１の上面に設けられたリード１１と電気的な接続
を行うプローブ４と、プローブ４を上下させるプローブ
ステージ５と、ベース２の上側に移動ステージ３の移動
方向にプローブ４と重ならないように所定量離して配置
され、リード１１を撮像して画像信号ｄを出力するカメ
ラ１９と、カメラ１９に接続され、画像信号ｄを受け
て、画像処理によりリード１１の水平面内での位置を検
出してリード位置データｅを出力する画像処理部２０
と、移動ステージ３とプローブステージ５と画像処理部
２０とに接続され、リード位置データｅを基に、リード
１１をプローブ４の真下に位置決めするように移動ステ
ージ３を制御する制御部１０とを備えている。ＦＰＣ１
は矩形で、リード１１は多数がＦＰＣ１の一辺（または
複数辺）に沿って列設されている。また、ＦＰＣ１には
搭載される集積回路装置等の端子との接続用のリード１
１もこれらの端子に対応して列設されている。
【０００４】次に動作を説明する。まず、移動ステージ
３により、所定の列設されたリード１１をカメラ１９の
下に位置決めし、撮像を行う。次に画像信号ｄを画像処
理部２０で処理し、リード１１の位置を検出する。具体
的には、画像信号ｄを２値化してリード１１の領域のみ
を抽出し、画像上の所定ライン（リード１１が並べられ
た列の方向の各リード１１上を通る直線）におけるその
抽出領域の中心座標と移動ステージ３の位置座標から、
個々のリード１１の位置を算出する。次に、上記動作で
得られたリード位置データｅに基づいて移動ステージ３
により位置補正を行い、リード１１をプローブ４の真下
に位置決めする。最後に、プローブステージ５にてプロ
ーブ４をＦＰＣ１側に所定量押込むことでプロービング
が完了する。
３により、所定の列設されたリード１１をカメラ１９の
下に位置決めし、撮像を行う。次に画像信号ｄを画像処
理部２０で処理し、リード１１の位置を検出する。具体
的には、画像信号ｄを２値化してリード１１の領域のみ
を抽出し、画像上の所定ライン（リード１１が並べられ
た列の方向の各リード１１上を通る直線）におけるその
抽出領域の中心座標と移動ステージ３の位置座標から、
個々のリード１１の位置を算出する。次に、上記動作で
得られたリード位置データｅに基づいて移動ステージ３
により位置補正を行い、リード１１をプローブ４の真下
に位置決めする。最後に、プローブステージ５にてプロ
ーブ４をＦＰＣ１側に所定量押込むことでプロービング
が完了する。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】液晶表示装置などで装
置基板に貼着されたＦＰＣに故障が生じるとＦＰＣをそ
の装置基板から引き剥がし解析することがあるが、この
ように装置基板から引き剥がすとＦＰＣには波打つよう
な変形が生じてしまう。
置基板に貼着されたＦＰＣに故障が生じるとＦＰＣをそ
の装置基板から引き剥がし解析することがあるが、この
ように装置基板から引き剥がすとＦＰＣには波打つよう
な変形が生じてしまう。
【０００６】上述した従来の回路基板プロービング装置
では、解析のために引き剥した場合のようにＦＰＣに波
打つような変形があると、カメラ１９の焦点が定らずに
撮像ができず、さらに、変形が大きい箇所ではプローブ
荷重が増加するため、ＦＰＣやプローブの破損が発生
し、またプローブを押し付けるとＦＰＣが変形しプロー
ブとリードとの位置ずれによる接触不良が発生するとい
う欠点があった。
では、解析のために引き剥した場合のようにＦＰＣに波
打つような変形があると、カメラ１９の焦点が定らずに
撮像ができず、さらに、変形が大きい箇所ではプローブ
荷重が増加するため、ＦＰＣやプローブの破損が発生
し、またプローブを押し付けるとＦＰＣが変形しプロー
ブとリードとの位置ずれによる接触不良が発生するとい
う欠点があった。
【０００７】
【課題を解決するための手段】本発明の回路基板プロー
ビング装置は、回路基板を載置し、この回路基板のプロ
ービング領域の下方は開放されているベースと、前記回
路基板のリードが設けられた面側に配置され前記回路基
板のリードと電気的な接続を行うためのブローブと、前
記プローブを上下させるプローブステージと、前記回路
基板のリードが設けられた面とは反対の面側であって前
記プローブと対向する位置に配置された支えと、前記支
えを上下させる支えステージと、前記プローブ及び前記
支えに対し前記ベースを水平面内で相対的に移動させる
移重ステージと、前記回路基板のリードの位置及び高さ
を検出するリード位置検出手段と、前記リード位置検出
手段が検出した前記回路基板のリードの位置及び高さに
応じて前記回路基板のリードを前記プローブの真下に位
置決めするよう前記移動ステージを制御し、前記支えの
先端が前記回路基板に近接するように前記支えステージ
を制御し、前記プローブの荷重が適切になるように前記
プローブステージを制御する制御部とを含むことを特徴
とし、リード位置検出手段は、前記回路基板のリードが
設けられた面に対向するように設けられた静電容量型変
位センサ、または前記回路基板のリードが設けられた面
に光ビームを照射する光源と前記光ビームに対し傾いた
光軸上にあって前記光ビームの前記回路基板からの反射
光を受光する光位置検出素子との組合わせによる三角測
量方式の測距センサを用いることができ、さらに、回路
基板としてＦＰＣを対象としてもよい。
ビング装置は、回路基板を載置し、この回路基板のプロ
ービング領域の下方は開放されているベースと、前記回
路基板のリードが設けられた面側に配置され前記回路基
板のリードと電気的な接続を行うためのブローブと、前
記プローブを上下させるプローブステージと、前記回路
基板のリードが設けられた面とは反対の面側であって前
記プローブと対向する位置に配置された支えと、前記支
えを上下させる支えステージと、前記プローブ及び前記
支えに対し前記ベースを水平面内で相対的に移動させる
移重ステージと、前記回路基板のリードの位置及び高さ
を検出するリード位置検出手段と、前記リード位置検出
手段が検出した前記回路基板のリードの位置及び高さに
応じて前記回路基板のリードを前記プローブの真下に位
置決めするよう前記移動ステージを制御し、前記支えの
先端が前記回路基板に近接するように前記支えステージ
を制御し、前記プローブの荷重が適切になるように前記
プローブステージを制御する制御部とを含むことを特徴
とし、リード位置検出手段は、前記回路基板のリードが
設けられた面に対向するように設けられた静電容量型変
位センサ、または前記回路基板のリードが設けられた面
に光ビームを照射する光源と前記光ビームに対し傾いた
光軸上にあって前記光ビームの前記回路基板からの反射
光を受光する光位置検出素子との組合わせによる三角測
量方式の測距センサを用いることができ、さらに、回路
基板としてＦＰＣを対象としてもよい。
【０００８】本発明の回路基板プロービング方法は、ベ
ースに回路基板を載置し、前記回路基板上のリードの位
置及び高さを測定し、この位置及び高さに従って前記回
路基板の当該リードの反対側の部分に支えを近接させ、
前記位置及び高さに従って当該リードの真上に位置させ
たプローブを適切な接触荷重となるように当該リードの
押し付けることを特徴とする。
ースに回路基板を載置し、前記回路基板上のリードの位
置及び高さを測定し、この位置及び高さに従って前記回
路基板の当該リードの反対側の部分に支えを近接させ、
前記位置及び高さに従って当該リードの真上に位置させ
たプローブを適切な接触荷重となるように当該リードの
押し付けることを特徴とする。
【０００９】
【発明の実施の形態】次に、本発明について図面を参照
して詳細に説明する。
して詳細に説明する。
【００１０】図１は、本発明の第１の実施の形態を示す
構成図である。
構成図である。
【００１１】図１に示す回路基板プロービング装置は、
ＦＰＣ１のプロービング領域に開口部２１を有しＦＰＣ
１を載せＦＰＣ１の一部を接着して固定するベース２
と、ベース２の下側にあってベース２をＦＰＣ１ごと水
平面内で移動させる移動ステージ３と、ベース２の上側
に配置されＦＰＣ１の上面に設けられたリード１１と電
気的な接続を行うプローブ４と、プローブ４を上下させ
るプローブステージ５と、ベース２の下側であってプロ
ーブ４と対向する位置に配置された支え６と、支え６を
上下させる支えステージ７と、ベース２の上側であって
移動ステージ３の移動方向にプローブ４と重ならないよ
うに所定量離して配置され、ＦＰＣ１のリード１１の位
置と高さを検出するリード位置検出手段としての、静電
容量型変位センサ８および静電容量型変位センサ８の出
力ａを増幅してリード検出信号ｂを出力するアンプ９
と、移動ステージ３プローブステージ５、支えステージ
７及びアンプ９とに接続され、リード検出信号ｂを基
に、リード１１をプローブ４の真下に位置決めするよう
移動ステージ３を制御し、プローブ４の荷重が一定にな
るようにプローブステージ５の移動量を制御し、支え６
の高さ位置がＦＰＣ１の裏面に近接するように支えステ
ージ７の移動量を制御する制御部１０とを備えている。
静電容量型変位センサ８は先端に金属面が接近するほど
大きな出力を発生するセンサである。
ＦＰＣ１のプロービング領域に開口部２１を有しＦＰＣ
１を載せＦＰＣ１の一部を接着して固定するベース２
と、ベース２の下側にあってベース２をＦＰＣ１ごと水
平面内で移動させる移動ステージ３と、ベース２の上側
に配置されＦＰＣ１の上面に設けられたリード１１と電
気的な接続を行うプローブ４と、プローブ４を上下させ
るプローブステージ５と、ベース２の下側であってプロ
ーブ４と対向する位置に配置された支え６と、支え６を
上下させる支えステージ７と、ベース２の上側であって
移動ステージ３の移動方向にプローブ４と重ならないよ
うに所定量離して配置され、ＦＰＣ１のリード１１の位
置と高さを検出するリード位置検出手段としての、静電
容量型変位センサ８および静電容量型変位センサ８の出
力ａを増幅してリード検出信号ｂを出力するアンプ９
と、移動ステージ３プローブステージ５、支えステージ
７及びアンプ９とに接続され、リード検出信号ｂを基
に、リード１１をプローブ４の真下に位置決めするよう
移動ステージ３を制御し、プローブ４の荷重が一定にな
るようにプローブステージ５の移動量を制御し、支え６
の高さ位置がＦＰＣ１の裏面に近接するように支えステ
ージ７の移動量を制御する制御部１０とを備えている。
静電容量型変位センサ８は先端に金属面が接近するほど
大きな出力を発生するセンサである。
【００１２】次に、動作を説明する。図２（ａ）は、Ｆ
ＰＣ１上のリード１１に対する静電容量型変位センサ８
の位置を示し、図２（ｂ）は図２（ａ）に示す位置と検
出信号ｂの関係を示す模式図である。
ＰＣ１上のリード１１に対する静電容量型変位センサ８
の位置を示し、図２（ｂ）は図２（ａ）に示す位置と検
出信号ｂの関係を示す模式図である。
【００１３】図２（ａ）に示すようにＦＰＣ１の端辺に
沿ってリード１１が列設されている場合について説明す
ると、移動ステージ３で、ＦＰＣ１の端辺から少し内側
の線上に静電容量型変位センサ８を位置決め後、静電容
量型変位センサ８がＦＰＣ１の側辺から対向する側辺ま
でリード１１を横切るようにベース２を移動させる。こ
のとき、ＦＰＣ１上のリード１１は金属でありＦＰＣ１
のリード１１以外の部分の基材１２は絶縁体であるた
め、アンプ９から得られるリード検出信号ｂは、図２
（ｂ）に示すように静電容量型変位センサ８がリード１
１上にある時に山の頂点で基材１２上にある時に谷の底
となるような周期性を持つ波形となる。よって、この波
形の山の頂点に対応する位置がリード１１の位置とな
る。また、ＦＰＣ１は波うつような変形を有しており、
波形の各山の頂点での出力値はリード１１と静電容量セ
ンサ８の距離に応じて変化する。よって、この山の頂点
での出力値から、その対応する位置でのリード１１の高
さを求めることができる。すなわち、検出信号ｂからリ
ード１１各々の位置と高さのデータが得られる。
沿ってリード１１が列設されている場合について説明す
ると、移動ステージ３で、ＦＰＣ１の端辺から少し内側
の線上に静電容量型変位センサ８を位置決め後、静電容
量型変位センサ８がＦＰＣ１の側辺から対向する側辺ま
でリード１１を横切るようにベース２を移動させる。こ
のとき、ＦＰＣ１上のリード１１は金属でありＦＰＣ１
のリード１１以外の部分の基材１２は絶縁体であるた
め、アンプ９から得られるリード検出信号ｂは、図２
（ｂ）に示すように静電容量型変位センサ８がリード１
１上にある時に山の頂点で基材１２上にある時に谷の底
となるような周期性を持つ波形となる。よって、この波
形の山の頂点に対応する位置がリード１１の位置とな
る。また、ＦＰＣ１は波うつような変形を有しており、
波形の各山の頂点での出力値はリード１１と静電容量セ
ンサ８の距離に応じて変化する。よって、この山の頂点
での出力値から、その対応する位置でのリード１１の高
さを求めることができる。すなわち、検出信号ｂからリ
ード１１各々の位置と高さのデータが得られる。
【００１４】次に、制御部１０により、移動ステージ
３、プローブステージ５及び支えステージ７の移動を制
御し、所定のリード１１に対してプロービングを行う。
すなわち、上記動作で得られたリード１１の位置データ
の基づき、移動ステージ３によりプロービングすべきリ
ード１１をプローブ４の真下に位置決めする。次に、上
記動作で得られたリード１１の高さデータに基づき、支
えステージ７により支え６の先端をＦＰＣ１の裏面に近
接させる。最後に、プローブステージ５にてプローブ４
をリード１１に接触させるが、このとき、プローブ４の
押し込みが所定量になるように、すなわちプロービング
荷重が一定量になるように、リード１１の高さデータに
基づいてプローブ４の移動量を制御する。
３、プローブステージ５及び支えステージ７の移動を制
御し、所定のリード１１に対してプロービングを行う。
すなわち、上記動作で得られたリード１１の位置データ
の基づき、移動ステージ３によりプロービングすべきリ
ード１１をプローブ４の真下に位置決めする。次に、上
記動作で得られたリード１１の高さデータに基づき、支
えステージ７により支え６の先端をＦＰＣ１の裏面に近
接させる。最後に、プローブステージ５にてプローブ４
をリード１１に接触させるが、このとき、プローブ４の
押し込みが所定量になるように、すなわちプロービング
荷重が一定量になるように、リード１１の高さデータに
基づいてプローブ４の移動量を制御する。
【００１５】なお、静電容量型変位センサ８は、変位検
出方向と垂直な方向の計測領域がリード１１のピッチの
１／２以下であるものを使用する。
出方向と垂直な方向の計測領域がリード１１のピッチの
１／２以下であるものを使用する。
【００１６】リード１１がＦＰＣ１の端辺に沿って並設
されていない場合でも、静電容量型変位センサ８がリー
ド１１上を横切るようにベース２を移動させることによ
りリード１１の位置及び高さを求めることができる。静
電容量型変位センサ８をリード１１上を横切るようにベ
ース２を移動させる方法は、作業者がＦＰＣ１を見て制
御部１０を指令するようにしてもできるし、ＦＰＣ１を
ベース２上に正確に位置決めして固定し、ＦＰＣ１上の
リード１１の位置の設計データに基づいて制御部１０が
自動的に移動ステージ３を駆動するようにして行っても
よい。
されていない場合でも、静電容量型変位センサ８がリー
ド１１上を横切るようにベース２を移動させることによ
りリード１１の位置及び高さを求めることができる。静
電容量型変位センサ８をリード１１上を横切るようにベ
ース２を移動させる方法は、作業者がＦＰＣ１を見て制
御部１０を指令するようにしてもできるし、ＦＰＣ１を
ベース２上に正確に位置決めして固定し、ＦＰＣ１上の
リード１１の位置の設計データに基づいて制御部１０が
自動的に移動ステージ３を駆動するようにして行っても
よい。
【００１７】なお、ベース２を固定し、静電容量型変位
センサ８，プローブステージ５及び支えステージ７を水
平方向に移動させるようにしても本発明は可能である。
センサ８，プローブステージ５及び支えステージ７を水
平方向に移動させるようにしても本発明は可能である。
【００１８】図３は、本発明の第２の実施の形態を示す
構成図である。
構成図である。
【００１９】図３に示すフレキシブル回路基板プロービ
ング装置は、図１に示したフレキシブル回路基板プロー
ビング装置と、リード検出手段の構成と動作が異なる以
外は、構成、動作とも同一である。よって、以下には、
図３のフレキシブル回路基板プロービング装置のリード
検出手段の構成と、リード１１の位置および高さ検出動
作のみを説明する。
ング装置は、図１に示したフレキシブル回路基板プロー
ビング装置と、リード検出手段の構成と動作が異なる以
外は、構成、動作とも同一である。よって、以下には、
図３のフレキシブル回路基板プロービング装置のリード
検出手段の構成と、リード１１の位置および高さ検出動
作のみを説明する。
【００２０】図３のフレキシブル回路基板プロービング
装置に使用するリード検出手段は、レーザ光１３をＦＰ
Ｃ１に対して垂直に照射するレーザダイオード（以下Ｌ
Ｄという）１４と、レーザ光１３の照射光軸上にあっ
て、レーザ光１３をＦＰＣ１上にてリード１１の幅寸法
程度に集光する投光レンズ１５と、レーザ光１３の光軸
から所定量傾いた光軸上にあってＦＰＣ１上にできたレ
ーザ光１３のスポット像の変位を検出する光位置検出素
子（以下ＰＳＤという）１６及びその結像レンズである
受光レンズ１７と、ＰＳＤ１６の出力ｃを受けてリード
検出信号ｂを出力するＰＳＤアンプ１８とで構成され
る。
装置に使用するリード検出手段は、レーザ光１３をＦＰ
Ｃ１に対して垂直に照射するレーザダイオード（以下Ｌ
Ｄという）１４と、レーザ光１３の照射光軸上にあっ
て、レーザ光１３をＦＰＣ１上にてリード１１の幅寸法
程度に集光する投光レンズ１５と、レーザ光１３の光軸
から所定量傾いた光軸上にあってＦＰＣ１上にできたレ
ーザ光１３のスポット像の変位を検出する光位置検出素
子（以下ＰＳＤという）１６及びその結像レンズである
受光レンズ１７と、ＰＳＤ１６の出力ｃを受けてリード
検出信号ｂを出力するＰＳＤアンプ１８とで構成され
る。
【００２１】ＬＤ１４からＦＰＣ１に向けて照射された
レーザ光１３は、投光レンズ１５でＦＰＣ１上に集光さ
れた後、その反射光が受講レンズ１７でＰＳＤ１６の受
光面上に結像される。レーザ光１３がＦＰＣ１上のリー
ド１１を横切るようにベース２を移動させた時のレーザ
光１３がリード１１を横切る線上のリード１１の位置
は、リード１１と基材１２ではレーザ光１３の散乱反射
率が異なるため、ＰＳＤ１６に入射するレーザ光１３の
光量から検出できる。また、ＰＳＤ１６は受光面上の入
射光点の位置を検出できるのでＦＰＣ１の高さは、三角
測量の原理によって、ＰＳＤ１６でのレーザ光１３の結
像位置から算出できる。
レーザ光１３は、投光レンズ１５でＦＰＣ１上に集光さ
れた後、その反射光が受講レンズ１７でＰＳＤ１６の受
光面上に結像される。レーザ光１３がＦＰＣ１上のリー
ド１１を横切るようにベース２を移動させた時のレーザ
光１３がリード１１を横切る線上のリード１１の位置
は、リード１１と基材１２ではレーザ光１３の散乱反射
率が異なるため、ＰＳＤ１６に入射するレーザ光１３の
光量から検出できる。また、ＰＳＤ１６は受光面上の入
射光点の位置を検出できるのでＦＰＣ１の高さは、三角
測量の原理によって、ＰＳＤ１６でのレーザ光１３の結
像位置から算出できる。
【００２２】なお、ベース２の下側にプローブ４を配置
し、上側に支え６を配置してＦＰＣ１をリード１１が設
けられた面が下に向くようにベース２に載置するように
してもよい。また、ＦＰＣ１の両面にリード１１が設け
られている場合にプローブ４をベース２の上側にも下側
にも配置し、支え６もベース２の上側にも下側にも配置
するようにしてもよい。
し、上側に支え６を配置してＦＰＣ１をリード１１が設
けられた面が下に向くようにベース２に載置するように
してもよい。また、ＦＰＣ１の両面にリード１１が設け
られている場合にプローブ４をベース２の上側にも下側
にも配置し、支え６もベース２の上側にも下側にも配置
するようにしてもよい。
【００２３】また、本発明はフレキシブル回路基板のみ
にかかわらずガラスエポキシ製のプリント基板に対して
も適用でき、このようなプリント基板でも反りが大きい
場合に本発明は特に有効である。
にかかわらずガラスエポキシ製のプリント基板に対して
も適用でき、このようなプリント基板でも反りが大きい
場合に本発明は特に有効である。
【００２４】
【発明の効果】本発明の回路基板プロービング装置及び
方法は、リード位置検出手段により検出したリードの位
置と高さのデータに基づいてリードの位置決めとプロー
ブの押し込み量を制御する。そのため、ＦＰＣに変形が
あってもプローブ荷重が一定にできるので、ＦＰＣがプ
ローブを破損することがなく、またプローブの位置ずれ
が発生することがないので電気的接続を確実に行うこと
ができる、という効果がある。
方法は、リード位置検出手段により検出したリードの位
置と高さのデータに基づいてリードの位置決めとプロー
ブの押し込み量を制御する。そのため、ＦＰＣに変形が
あってもプローブ荷重が一定にできるので、ＦＰＣがプ
ローブを破損することがなく、またプローブの位置ずれ
が発生することがないので電気的接続を確実に行うこと
ができる、という効果がある。
【図１】本発明の第１の実施の形態を示す構成図であ
る。
る。
【図２】図１に示すＦＰＣ１上のリード１１上を横切る
静電容量変位センサ８の位置とリード検出信号ｂとの関
係を示す模式図である。
静電容量変位センサ８の位置とリード検出信号ｂとの関
係を示す模式図である。
【図３】本発明の第２の実施の形態を示す構成図であ
る。
る。
【図４】従来の回路基板プロービング装置を示す構成図
である。
である。
１ ＦＰＣ ２ ベース ３ 移動ステージ ４ プローブ ５ プローブステージ ６ 支え ７ 支えステージ ８ 静電容量型変位センサ ９ アンプ １０ 制御部 １１ リード １３ レーザ光 １４ ＬＤ １５ 投光レンズ １６ ＰＳＤ １７ 受光レンズ １８ ＰＳＤアンプ １９ カメラ ２０ 画像処理部 ａ 静電容量センサ出力 ｂ リード検出信号 ｃ ＰＳＤ出力 ｄ 画像信号 ｅ リード位置データ
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 庁内整理番号 ＦＩ 技術表示箇所 Ｈ０５Ｋ 3/00 Ｈ０５Ｋ 3/00 Ｔ
Claims (5)
- 【請求項１】 回路基板を載置し、この回路基板のプロ
ービング領域の下方は開放されているベースと、前記回
路基板のリードが設けられた面側に配置され前記回路基
板のリードと電気的な接続を行うためのプローブと、前
記プローブを上下させるプローブステージと、前記回路
基板のリードが設けられた面とは反対の面側であって前
記プローブと対向する位置に配置された支えと、前記支
えを上下させる支えステージと、前記プローブ及び前記
支えに対し前記ベースを水平面内で相対的に移動させる
移動ステージと、前記回路基板のリードの位置及び高さ
を検出するリード位置検出手段と、前記リード位置検出
手段が検出した前記回路基板のリードの位置及び高さに
応じて前記回路基板のリードを前記プローブの真下に位
置決めするよう前記移動ステージを制御し、前記支えの
先端が前記回路基板に近接するように前記支えステージ
を制御し、前記プローブの荷重が適切になるように前記
プローブステージを制御する制御部とを含むことを特徴
とする回路基板プロービング装置。 - 【請求項２】 リード位置検出手段は、前記回路基板の
リードが設けられた面に対向するように設けられた静電
容量型変位センサからなることを特徴とする請求項１記
載の回路基板プロービング装置。 - 【請求項３】 リード位置検出手段は、前記回路基板の
リードが設けられた面に光ビームを照射する光源と前記
光ビームに対し傾いた光軸上にあって前記光ビームの前
記回路基板からの反射光を受光する光位置検出素子との
組合わせによる三角測量方式の測距センサからなること
を特徴とする請求項１記載の回路基板プロービング装
置。 - 【請求項４】 回路基板はフレキシブル回路基板である
ことを特徴とする請求項１，２または３記載の回路基板
プロービング装置。 - 【請求項５】 ベースに回路基板を載置し、前記回路基
板上のリードの位置及び高さを測定し、この位置及び高
さに従って前記回路基板の当該リードの反対側の部分に
支えを近接させ、前記位置及び高さに従って当該リード
の真上に位置させたプローブを適切な接触荷重となるよ
うに当該リードの押し付けることを特徴とする回路基板
のプロービング方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8198804A JP2870496B2 (ja) | 1996-07-29 | 1996-07-29 | 回路基板プロービング装置及び方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8198804A JP2870496B2 (ja) | 1996-07-29 | 1996-07-29 | 回路基板プロービング装置及び方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH1038980A true JPH1038980A (ja) | 1998-02-13 |
| JP2870496B2 JP2870496B2 (ja) | 1999-03-17 |
Family
ID=16397197
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8198804A Expired - Lifetime JP2870496B2 (ja) | 1996-07-29 | 1996-07-29 | 回路基板プロービング装置及び方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2870496B2 (ja) |
Cited By (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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-
1996
- 1996-07-29 JP JP8198804A patent/JP2870496B2/ja not_active Expired - Lifetime
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| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2870496B2 (ja) | 1999-03-17 |
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Legal Events
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|---|---|---|---|
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
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