JPH1044037A

JPH1044037A - 研削加工装置

Info

Publication number: JPH1044037A
Application number: JP20230696A
Authority: JP
Inventors: Junji Niigata; 順治新潟
Original assignee: Riken Seiko Co Ltd
Current assignee: Riken Seiko Co Ltd
Priority date: 1996-07-31
Filing date: 1996-07-31
Publication date: 1998-02-17

Abstract

(57)【要約】【課題】ＥＬＩＤ研削法を適用した研削加工装置にお
いて、砥石と対向配置される電極板の位置を制御するよ
うにした研削加工装置を提供する。【解決手段】砥石２３を回転させながらワークを研削
すると共に砥石２３と所定の間隔を存して電極板３２を
対向配置し、これら両者間に研削液を供給しながら通電
して砥石２３の目詰まりを解消する研削加工装置におい
て、電極板３２を砥石２３に対して進退可能に移動させ
る送り機構３７と、送り機構３７を制御して砥石２３に
対する電極板３２の位置決め制御を行う制御手段７０と
を備えた構成としたものである。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、脆性材料を超精密
に研削可能な研削加工装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】脆性材料を超精密に研削して鏡面研削を
可能とする研削法として電解インプロセスドレッシング
（Electrolytic In-process Dressing）研削法（以下
「ＥＬＩＤ研削法」という）が提案されている。このＥ
ＬＩＤ研削法は、微細粒子を有するメタルボンド砥石を
用いて脆性材料を能率的に、且つ安定的に鏡面に創成す
ることが可能で、１μｍ以下の超微粒砥石が使用され
る。

【０００３】メタルボンド砥石としては、例えば、鋳鉄
ファイバボンドダイアモンド（CastIron Fiber Bonded-
Diamnd）砥石（以下「CIFB-D砥石」という）がある。こ
のCIFB-D砥石は、鋳鉄ファイバの基材に粒径１μｍ以下
の微細なダイアモンドの砥粒とカーボニル鉄粉とを混合
して成形焼結した繊維強化複合材の一種で、砥粒は、強
い結合力により保持され、セラミックス等の硬い脆性材
料を研削することが可能である。

【０００４】ところで、メタルボンド砥石は、超微細砥
粒であるために目詰まりが発生し、この目詰まりを解消
するために、砥石表面の砥粒を取り巻くボンド（結合
材）だけを取り除き、砥粒の切れ刃を露出させるドレッ
シングが必要である。このドレッシングを、水溶性研削
液を使用して電気的に行う方法が電解ドレッシングとい
われ、更に、研削中に電解ドレッシングを行うものが電
解インプロセスドレッシング（ＥＬＩＤ）といわれる。
この電解インプロセスドレッシングは、導電性を有する
鋳鉄をボンド材とするメタルボンド砥石を使用し、砥石
の研削面と僅かな間隙を存して電極板を対向配置し、こ
の間隙に研削液を供給しながらこれら砥石と電極板間に
通電して行われる。

【０００５】図４及び図５にＥＬＩＤ研削法を適用した
研削加工装置の概要を示す。図４及び図５において、研
削加工装置１は、回転軸２、この回転軸２の先端に固定
されたメタルボンド砥石（以下単に「砥石」という）
３、この砥石３の端面３ａ、外周面３ｂと夫々僅かな間
隙（約 0.1〜0.15 mm）を存して対向配置された電極板
４、５、砥石３の本体部外周面３ｃに摺接するブラシ
６、砥石３の端面３ａ、外周面３ｂと電極板４、５との
間に研削液を供給するノズル７、及び正極端子がブラシ
６に、負極端子が電極板４、５に接続されて砥石３の端
面３ａ、外周面３ｂと電極板４、５との間に研削液を介
して通電する電源８等により構成されている。

【０００６】図４に示すように支持手段１０にワーク１
１を固定し、回転軸２により砥石３を回転させながら端
面３ａをワーク１１に圧接させると共に、砥石３の端面
３ａ、外周面３ｂと電極板４、５との間に研削液を供給
し、電源８により通電する。砥石３は、回転に伴いワー
ク１１を研削する。砥石３は、ワーク１１を研削するに
伴い目詰まりを起こすが、研削液と電極板４、５とによ
り電解ドレッシングされ、目詰まりが解消される。これ
により連続的にワーク１１の研削加工を行うことができ
る。

【０００７】また、図５に示すように砥石３の外周面３
ｂに支持手段１２により矢印のようにワーク１３を水平
面内（又は、垂直面内）で揺動させながら圧接させ、ワ
ーク１３を球面、或いは非球面に研削加工する。そし
て、研削に伴い目詰まりした砥石３の外周面３ｂは、研
削液と電極板５とにより電解ドレッシングされ、目詰ま
りが解消される。これにより連続的にワーク１３の研削
加工を行うことができる。

【０００８】

【発明が解決しようとする課題】ところで、ＥＬＩＤ研
削方法による研削加工装置では、作業後、砥石３の端面
３ａ、外周面３ｂから電極板４、５を離しておくことが
必要である。これは、砥石３の端面３ａ、外周面３ｂと
電極板４、５との間隔が約 0.1〜0.15 mmと極めて狭い
ために砥石３の表面に研削液が付着して残っており、こ
の付着している研削液と残留電力とにより、砥石３の電
極板４、５と対向する面が局部的に電解されて変質し、
砥石３に損傷を与えることによる。作業を再開する場
合、電極板４、５を元の位置に移動させ、砥石３の端面
３ａ、外周面３ｂとの間隙を元の間隙に設定する。

【０００９】また、電極板４、５の砥石３と対向する面
が汚れ、これに伴い通電電流量が低下するために、電極
板４、５を定期的（１回／日程度）に取り外して付着し
ている汚れを除去した後再び装着する。このため砥石３
から電極板４、５を離隔させておいた後作業を再開する
場合、或いは、電極板４、５の汚れを除去するために取
り外した場合等の何れの場合においても、電極板４、５
と砥石３の端面３ａ、外周面３ｂとの間隙を元の間隙に
正確に設定することが必要である。しかしながら、電極
板４、５と砥石３との間の隙間が極めて狭いために隙間
の管理は、非常に手間がかかり、作業能率が著しく低下
する。しかも、砥石３と電極板４、５との間隙が僅かに
異なっても電解条件が微妙に変化してしまうためにＥＬ
ＩＤ効果にバラツキが発生し研削加工精度に影響を及ぼ
す等の問題がある。

【００１０】更に、研削に伴い砥石３が摩耗すると電極
４、５との間の間隙が僅かながら広くなり、これに伴い
通電電流が減少する。このため電解条件が微妙に変化
し、上述したようにＥＬＩＤ効果にバラツキが発生して
研削加工精度に影響する等の問題もある。本発明は、上
述の点に鑑みてなされたもので、ＥＬＩＤ研削法を適用
した研削加工装置において、砥石と対向配置される電極
板の位置を制御するようにした研削加工装置を提供する
ことを目的とする。

【００１１】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に請求項１の発明では、砥石を回転させながらワークを
研削すると共に前記砥石と所定の間隔を存して電極板を
対向配置し、これら両者間に研削液を供給しながら通電
して前記砥石の目詰まりを解消する研削加工装置におい
て、前記電極板を前記砥石に対して進退可能に移動させ
る送り機構と、前記送り機構を制御して前記砥石に対す
る前記電極板の位置決め制御を行う制御手段とを備えた
構成としたものである。

【００１２】研削時に砥石と電極とを僅かな間隔で対向
させて研削液を供給し、砥石と電極板との間に通電して
電解ドレッシングを行う研削加工装置では、砥石と電極
板との間の間隙を一定に制御することが必要である。送
り機構により砥石に対して電極板を進退可能とし、制御
手段により送り機構を制御して砥石に対する電極板の位
置を制御する。

【００１３】請求項２の発明では、前記制御手段は、前
記電極板が前記砥石と前記所定の間隔を存して対向して
いる位置から任意の位置に移動させたときの移動量を記
憶し、この記憶した値により前記任意の位置から前記元
の位置まで移動させる構成としたものである。作業後電
極板を任意の位置まで移動させて砥石から離隔させ、作
業再開時に電極板を元の位置に移動させる場合、或い
は、電極板を清掃或いは交換する際に装置から取り外す
ために任意の位置まで移動させ、再び装置に装着して元
の位置に移動させる場合、制御装置は、元の位置から移
動させた位置までの移動量を記憶しておき、この記憶し
た値に基づいて移動させた位置から元の位置まで移動さ
せて復帰させる。

【００１４】請求項３の発明では、前記制御手段は、研
削加工時に前記電極板と前記砥石との間隔を前記所定の
間隔に制御する構成としたものである。研削加工に伴い
砥石が摩耗し、電極板との間隔が僅かながら変化する。
制御手段は、砥石の摩耗に応じて送り機構を制御し電極
板を移動させて砥石との間隔を一定に保持する。

【００１５】請求項４では、前記制御手段は、研削加工
時に前記砥石と前記電極板との間を流れる電流に基づい
て前記砥石と前記電極板との間隔を制御する構成とした
ものである。制御手段は、研削加工時に砥石と電極板と
の間を流れる電流が一定になるように送り機構を制御す
る。

【００１６】

【発明の実施の形態】以下本発明の実施の態様を実施例
により説明する。図１において研削加工装置２０は、フ
レーム２１に砥石の回転軸２２が水平、且つ回転自在に
軸支されており、当該回転軸２２の一端に円盤状の砥石
２３が装着されている。また、回転軸２２の他端は、図
示しない駆動装置に連結されて回転駆動される。砥石２
３は、メタルボンド砥石で、端面２３ａ、外周面２３ｂ
が夫々研削面とされている。

【００１７】図１乃至図３に示すように電極板制御装置
３０は、研削加工装置２０と一体的に構成されており、
フレーム３１がフレーム２１に固定されている。電極板
制御装置３０は、電極板３２、この電極板３２を回転さ
せる駆動部３３、電極板３２の電極面清掃用のブラシ３
４（図２）、このブラシ３４を回転させる駆動部３５、
駆動部３３及び３５を支持するフレーム３６、このフレ
ーム３６をフレーム３１に水平に且つ進退可能に支持す
る送り機構３７（図１、図３）等により構成されてい
る。

【００１８】図１に示すように駆動部３３の回転軸４１
は、砥石２３の回転軸２２の一側に平行且つ水平に配置
され、フレーム３６に絶縁性を有する例えば、セラミッ
ク軸受４２により回転自在に支持されている。また、回
転軸４１とフレーム３６との間には絶縁性を有するゴム
シール部材が装着されている。回転軸４１の軸心には研
削液を供給するための孔４１ａが設けられている。回転
軸４１の後部にはスリップリング４３、ギヤ４４が装着
固定されており、後端には孔４１ａに連通する回り継手
４５が取り付けられている。回転軸４１は、鉄部材によ
り構成されており、スリップリング４３と電気的に接続
されている。このため回転軸４１は、セラミック軸受４
２によりフレーム３６と電気的に絶縁されている。回り
継手４５は、図示しないホースを介して研削液供給部に
接続される。

【００１９】この回転軸４１の前部は、フレーム３１に
設けられた孔３１ａを僅かな間隙で遊貫しており、先端
に電極板３２が着脱可能に装着されている。この電極板
３２は、円板状の厚板とされ、内部に放射状に小孔３２
ａが多数設けられており、各小孔３２ａの基端は、回転
軸４１の孔４１ａに連通され、各先端は、外周面近傍の
内面（以下「電極面」という）３２ｂに開口している。

【００２０】図２に示すように駆動用モータ４６は、フ
レーム３６に回転軸４１の後部に配設されており、回転
軸に固定されたギヤ４７が回転軸４１のギヤ４４と噛合
している。また、フレーム３６には回転軸４１のスリッ
プリング４３と直交してブラシ４８が装着されており、
先端面がスリップリング４３の外周面に当接して電気的
に接続されている。このブラシ４８は、電線４９を介し
て電源（図示せず）の負極に接続される。砥石２３（図
１）の回転軸２２は、スリップリング２４、ブラシ及び
電線（共に図示せず）を介して前記電源の正極に接続さ
れる。そして、砥石２３は、前記電源の正極に、電極板
３２は、負極に接続される。

【００２１】図２に示すように清掃用のブラシ３４の駆
動部３５の回転軸５０は、電極３２の回転軸４１の下側
に当該回転軸４１と平行且つ水平に配置され、軸受５１
によりフレーム３６に回転自在に支持されている。駆動
用モータ５２は、回転軸５０の後方に配置され、フレー
ム３６に固定されている。このモータ５２の回転軸は、
カップリング５３を介して回転軸５０の後端に接続され
ている。回転軸５０の前部は、フレーム３１に設けられ
た孔３１ｂを僅かな間隙を存して遊貫し、先端に清掃用
のブラシ３４が固定されている。ブラシ３４は、円板に
例えば、ナイロン繊維が植毛されて形成されており、そ
の外径が電極板３２の外周から回転軸４１の外周面まで
の長さ程度とされている。そして、ブラシ３４は、毛先
がナイロンの弾性により電極板３２の電極面３２ｂに適
度な押圧力で圧接している。これらの駆動用モータ４
６、５２は、モータ制御装置（図示せず）により制御さ
れる。

【００２２】図１及び図３に示すように送り機構３７
は、フレーム３１とフレーム３６との間に設けられてお
り、２本のスライドレール６０、６０、送りねじ６１、
送りねじ６１と螺合するナット６２、駆動用モータ６３
等により構成されている。図３に示すようにスライドレ
ール６０、６０は、上下に所定の間隔を存して水平に且
つフレーム３６と平行に配置されてフレーム３１に固定
されている。そして、これらのスライドレール６０、６
０にフレーム３６が水平に摺動可能に装着されている。
図１に示すように駆動用モータ６３は、スライドレール
６０、６０の後方且つこれらの間に水平に配置されてフ
レーム３１に固定されている。この駆動用モータ６３
は、パルスモータ（以下「パルスモータ６３」という）
で、ＮＣ制御装置７０により駆動される。ナット６２
は、スライドレール６０、６０の間に水平に摺動可能に
配置され、一側部がフレーム３６に固定されている。送
りねじ６１は、ナット６２に螺合し、基端がパルスモー
タ６３の回転軸に固定されている。そして、送り機構３
７は、パルスモータ６３の回転によりフレーム３６を水
平に前後方向に駆動する。これにより図１の矢印Ａ又は
Ｂ方向に電極板３２が、砥石２３に対して進退可能とさ
れる。

【００２３】ところで、精密ＮＣ旋盤装置にＥＬＩＤ研
削法を付加することにより、研削加工、ラップ加工をＥ
ＬＩＤ研削加工の１工程で対応することが可能であり、
高精度研削を高能率に、安定的に実現、自動化すること
が可能である。ＮＣ制御装置７０は、前記旋盤装置（図
示せず）を制御するものである。そこで、このＮＣ制御
装置７０を利用して電極板制御装置３０の送り機構を制
御し、砥石２３と電極板３２との間の間隔を制御する。
この制御としては、作業終了後、砥石２３と前記所定の
間隔（0.1〜0.15 mm）で対向している電極板３２を移動
させて当該砥石２３から離隔させておき、作業再開時に
電極板３２を元の位置まで移動させて砥石２３と所定の
間隔を存して対向させる位置決め制御と、研削時に電極
板３２と砥石２３との間隔を常に前記所定の間隔に制御
する間隔制御等がある。

【００２４】ＮＣ装置７０は、電極板制御装置３０の送
り機構３７の駆動用パルスモータ６３を制御して、フレ
ーム３６を駆動し、電極板３２の位置決め制御を行う。
ＮＣ装置７０は、前記前者の制御即ち、位置決め制御を
行う場合、例えば、砥石２３と前記所定の間隔を存して
対向している現在位置（所定位置）にある電極板３２を
任意の位置に移動させた際に、当該現在位置から移動を
終了させた停止位置までのパルスモータ６３のステップ
数を記憶しておく。そして、電極板３２を元の位置に移
動させる際に記憶しておいたステップ数だけパルスモー
タ６３を駆動する。これにより、砥石３２に電極板３２
を前記所定の間隔を存して対向させることができる。

【００２５】また、ＮＣ装置７０は、前記後者の制御即
ち、間隔制御を行う場合、例えば、砥石２３から電極板
３２に流れる電流値を検出し、当該電流値が一定となる
ように前記パルスモータ６３を制御して、砥石２３と電
極板３２との間隙を一定に制御する。尚、砥石２３と電
極板３２との間隙の制御は、前記電流のフィードバック
の他、例えば、フレーム３１とフレーム３６との間に位
置検出センサを設け、砥石２３に対する電極板３２の位
置づれを検出し、その検出値によりパルスモータ６３を
駆動して制御するようにしても良い。また、電極板３２
の駆動用モータ４６、ブラシ３４の駆動用モータ５２も
送り機構３７のパルスモータ６３と同様に前記ＮＣ装置
７０により制御するようにしても良い。

【００２６】以下に作用を説明する。図１おいて、砥石
２３により研削を開始する前に、送り機構３７によりフ
レーム３６を矢印Ｂ方向に後退させ、電極板３２を２点
鎖線で示す所定位置位置まで移動させる。そして、電極
板３２の電極面３２ｂを砥石２３の端面２３ａと所定の
間隙を存して対向させる。次いで、回転軸４１の孔４１
ａに研削液を供給し、電極板３２の各孔３２ａから電極
面３２ｂと砥石２３の端面２３ａとの間に供給すると共
に、前記電源を投入する。この電源から出力される電流
は、スリップリング２４、回転軸２２、砥石２３、研削
液、電極板３２、回転軸４１、スリップリング４３、ブ
ラシ４８、電線４９、電源の経路で流れ電解ドレッシン
グが開始される。

【００２７】また、駆動用モータ４６により電極板３２
を回転させ、駆動用モータ５２により清掃用のブラシ３
４を回転させる。電極板３２は、回転に伴い電極面３２
ｂの砥石２３の端面２３ａと対向する部位が変化する。
また、ブラシ３４は、回転に伴い電極面３２ｂを擦り、
当該電極面３２ｂに付着しているゴミ等を払い落とす。

【００２８】この状態で回転軸２２を所定の回転速度で
駆動し、砥石２３を回転させてワーク（図示せず）の研
削加工を開始する。ワークの研削加工に伴い目詰まりし
た砥石２３の端面２３ａは、研削液により電解ドレッシ
ングされ、目詰まりが解消される。電極板３２は、電極
面３２ｂの砥石２３と対向する部位が電解ドレッシング
伴いゴミ（不純物）が付着して汚れてくる。しかしなが
ら、電極板３２は、回転し、ブラシ３４により電極面３
２ｂに付着しているゴミが払拭される。この結果、電極
面３２ｂは、常時良好な状態に維持される。これにより
電極板３２を取り外すことなく長時間に亘り研削加工を
行うことができる。

【００２９】尚、従来電極板の手入即ち、電極面に付着
したゴミの払拭は、１日１回程度である。従って、電極
板３２は、低速回転例えば、１回／分程度、或いは、こ
れ以下の回転速度でも十分である。また、電極板３２
は、連続的に回転させる必要もなく、間欠的に回転させ
てもよく、ブラシ３４も電極板３２の回転に応じて回転
させてもよい。電極板３２を連続的に回転させる場合に
はブラシ３４も連続的に回転させ、電極板３２を間欠的
に回転させる場合には、回転させた分に応じてブラシ３
４を回転させて払拭した後、次に電極板３２が回転する
までの間ブラシ３４回転を停止させるようにしても良
い。要するに、電極面３２ｂの砥石２３ａと対向する部
位を常に払拭して良好な面にすればよい。これにより電
極板３２を装置から取り外すことなく長期間に亘り使用
することができる。

【００３０】さて、例えば、作業終了後電極板３２を図
１の矢印Ａ方向に実線で示す位置まで移動させて砥石２
３から離隔させる場合、ＮＣ装置７０が送り機構３７の
パルスモータ６３を駆動する。このとき、ＮＣ装置７０
は、電極板３２を２点鎖線で示す現在位置から実線で示
す位置まで移動させためにパルスモータ６３に供給する
パルス電流（駆動電流）のパルス数を記憶する。作業が
再開される場合、ＮＣ装置７０は、前記記憶しておいた
パルス数だけパルスモータ６３にパルス電流を供給す
る。そして、パルスモータ６３即ち、送り機構３７が図
１の矢印Ｂ方向に電極板３２を２点鎖線で示す元の位置
まで移動させる。これにより、電極板３２と砥石２３と
の間隙が元の所定の間隙に、正確に、且つ迅速に設定さ
れる。

【００３１】また、ＮＣ装置７０は、研削時に砥石２３
から電極板３２に流れる電流をフィードバックして、当
該電流が一定となるように送り機構３７のパルスモータ
６３を制御する。これにより砥石２３と電極板３２との
間の間隙が一定に制御される。尚、このような研削時に
おける砥石２３と電極板３２との間の間隙の制御は、必
ずしも必要ではない。また、本実施例では、電極制御装
置を制御する制御手段として研削装置を制御するＮＣ装
置を利用したがこれに限るものではなく、専用の制御装
置を使用しても良い。

【００３２】また、上記実施例においては、作業後電極
板３２を任意の位置まで移動させて砥石２３から離隔さ
せ、作業開始時に元の位置まで移動させて復帰させる場
合について記述したが、電極板３２を清掃或いは交換す
るために任意の位置まで移動させ、当該位置において電
極板３２を取り外し、再び電極板３２を装置に装着して
元の位置に移動させる場合についても同様である。

【００３３】

【発明の効果】以上説明したように請求項１の本発明で
は、ＥＬＩＤ研削法を適用した研削加工装置において、
送り機構により砥石に対して電極板を進退可能とし、制
御手段により送り機構を制御して砥石に対する電極板の
位置を制御することにより、研削により汚れた電極面の
清掃を行う場合、その都度電極板を装置から取り外す必
要が無くなり、また、電極板の位置決めを自動制御する
ことで、砥石に対する電極板の位置を正確に、迅速且つ
容易に設定することができ、作業能率の向上が図られ
る。

【００３４】請求項２の発明では、作業後電極板を任意
の位置まで移動させて砥石から離隔させ、作業再開時に
電極板を元の位置に移動させる場合、或いは、電極板を
清掃或いは交換する際に装置から取り外すために任意の
位置まで移動させ、再び装置に装着して元の位置に移動
させる場合に、電極板と砥石との間隔を迅速に、且つ容
易に行うことができ、作業能率の向上が図られる。

【００３５】請求項３の発明では、研削加工時に研削に
伴い砥石が摩耗し、電極板との間隔が僅かながら変化し
ても、砥石の摩耗に応じて電極板を移動させて砥石との
間隔を一定に保持することにより、電解条件を略一定に
保持することができ、加工精度の向上が図られる。請求
項４では、研削加工時に砥石と電極板との間を流れる電
流が一定になるように砥石と電極板との間隔を制御する
ことにより、制御手段の構成を簡単にすることができ、
コストの低減が図られる。

【図面の簡単な説明】

【図１】ＥＬＩＤ研削法を適用した本発明に係る研削加
工装置の実施例を示す要部切欠平面図である。

【図２】図１の要部切欠側面図である。

【図３】図１の背面図である。

【図４】ＥＬＩＤ研削法の概要を示し、砥石の端面によ
る研削加工を示す説明図である。

【図５】ＥＬＩＤ研削法の概要を示し、砥石の外周面に
よる研削加工を示す説明図である。

【符号の説明】

２０研削加工装置２１、３１、３６フレーム２２、４１、５０回転軸２３砥石３０電極板制御装置３２電極板３３、３５駆動部３７送り機構３４ブラシ４６、５２駆動用モータ６３パルスモータ７０ＮＣ装置

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】砥石を回転させながらワークを研削する
と共に前記砥石と所定の間隔を存して電極板を対向配置
し、これら両者間に研削液を供給しながら通電して前記
砥石の目詰まりを解消する研削加工装置において、前記電極板を前記砥石に対して進退可能に移動させる送
り機構と、前記送り機構を制御して前記砥石に対する前記電極板の
位置決め制御を行う制御手段とを備えたことを特徴とす
る研削加工装置。
【請求項２】前記制御手段は、前記電極板が前記砥石
と前記所定の間隔を存して対向している位置から任意の
位置に移動させたときの移動量を記憶し、この記憶した
値により前記任意の位置から前記元の位置まで移動させ
ることを特徴とする請求項１記載の研削加工装置。
【請求項３】前記制御手段は、研削加工時に前記電極
板と前記砥石との間隔を前記所定の間隔に制御すること
を特徴とする請求項１記載の研削加工装置。
【請求項４】前記制御手段は、研削加工時に前記砥石
と前記電極板との間を流れる電流に基づいて前記砥石と
前記電極板との間隔を制御することを特徴とする請求項
３記載の研削加工装置。