JPH1054784A - ガスセンサの取付け構造 - Google Patents
ガスセンサの取付け構造Info
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- JPH1054784A JPH1054784A JP22767796A JP22767796A JPH1054784A JP H1054784 A JPH1054784 A JP H1054784A JP 22767796 A JP22767796 A JP 22767796A JP 22767796 A JP22767796 A JP 22767796A JP H1054784 A JPH1054784 A JP H1054784A
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- JP
- Japan
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- gas
- gas sensor
- valve
- corrosive
- pipe
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- Pending
Links
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- 230000007797 corrosion Effects 0.000 abstract description 3
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Landscapes
- Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Electric Means (AREA)
- Sampling And Sample Adjustment (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】腐食性ガスを使用する装置のガスセンシングに
於いて、ガスセンサを腐食から防護する。 【解決手段】ガスセンサ３をバルブ４を介して構造物１
に設け、前記バルブが非腐食性ガスが流通する場合に
開、腐食性ガス流通する場合に閉となる様開閉される構
成とし、腐食性ガスがガスセンサに到達することを防止
する。
於いて、ガスセンサを腐食から防護する。 【解決手段】ガスセンサ３をバルブ４を介して構造物１
に設け、前記バルブが非腐食性ガスが流通する場合に
開、腐食性ガス流通する場合に閉となる様開閉される構
成とし、腐食性ガスがガスセンサに到達することを防止
する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は腐食性ガスを流すこ
とのある配管に設けられるガスセンサの取付け構造に関
するものである。
とのある配管に設けられるガスセンサの取付け構造に関
するものである。
【０００２】
【従来の技術】各種プラント或は処理装置に於いて、配
管にはガス成分の検出、圧力の検出等を行う為の各種セ
ンサが設けられる。
管にはガス成分の検出、圧力の検出等を行う為の各種セ
ンサが設けられる。
【０００３】従来のガスセンサの取付け構造は図２に示
される様に、配管１に分岐管２を介してガス成分検出
器、圧力検出器等のガスセンサ３が設けられたものであ
り、配管１中を流れるガスを前記分岐管２によりガスセ
ンサ３に導きガスセンサ３に於いて、ガスの成分、圧力
等を検出するというものである。
される様に、配管１に分岐管２を介してガス成分検出
器、圧力検出器等のガスセンサ３が設けられたものであ
り、配管１中を流れるガスを前記分岐管２によりガスセ
ンサ３に導きガスセンサ３に於いて、ガスの成分、圧力
等を検出するというものである。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】ところが半導体製造装
置では腐食性ガス、例えばＣｌＦ3 ガスの様に強い腐食
性を有するガスも使用しており、又装置に必要なガスセ
ンサとしてピラニ真空計等腐食性ガスにより腐食される
ガスセンサも取付ける必要がある。上記した従来のガス
センサの取付け構造では、流通する腐食性ガスが前記ガ
スセンサ３に到達し、前記ガスセンサ３が腐食性ガスに
より腐食されるという問題があった。
置では腐食性ガス、例えばＣｌＦ3 ガスの様に強い腐食
性を有するガスも使用しており、又装置に必要なガスセ
ンサとしてピラニ真空計等腐食性ガスにより腐食される
ガスセンサも取付ける必要がある。上記した従来のガス
センサの取付け構造では、流通する腐食性ガスが前記ガ
スセンサ３に到達し、前記ガスセンサ３が腐食性ガスに
より腐食されるという問題があった。
【０００５】本発明は斯かる実情に鑑み、腐食性ガスが
流通する場合は腐食性ガスがガスセンサに到達すること
を防止し、ガスセンサを腐食から防護しようとするもの
である。
流通する場合は腐食性ガスがガスセンサに到達すること
を防止し、ガスセンサを腐食から防護しようとするもの
である。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本発明は、ガスセンサを
バルブを介して構造物に設け、前記バルブが非腐食性ガ
スが流通する場合に開、腐食性ガス流通する場合に閉と
なる様開閉される構成とし、腐食性ガスがガスセンサに
到達することを防止する。
バルブを介して構造物に設け、前記バルブが非腐食性ガ
スが流通する場合に開、腐食性ガス流通する場合に閉と
なる様開閉される構成とし、腐食性ガスがガスセンサに
到達することを防止する。
【０００７】
【発明の実施の形態】以下、図面を参照しつつ本発明の
実施の形態を説明する。
実施の形態を説明する。
【０００８】尚、図１中図２中で示したものと同一のも
のには同符号を付してある。
のには同符号を付してある。
【０００９】配管１より分岐させた分岐管２を介して配
管１にガス成分検出器、圧力検出器等のガスセンサ３を
設け、前記分岐管２にはバルブ４を設け、該バルブ４は
制御器５に接続する。又、前記ガスセンサ３は前記制御
器５に接続され、ガスセンサ３で検出した結果が制御器
５に入力され、ガス成分コントロール或は圧力コントロ
ール等の制御信号として使用される。又、前記制御器５
からは前記バルブ４に開閉信号が出力され、前記バルブ
４の開閉状態がコントロールされる。
管１にガス成分検出器、圧力検出器等のガスセンサ３を
設け、前記分岐管２にはバルブ４を設け、該バルブ４は
制御器５に接続する。又、前記ガスセンサ３は前記制御
器５に接続され、ガスセンサ３で検出した結果が制御器
５に入力され、ガス成分コントロール或は圧力コントロ
ール等の制御信号として使用される。又、前記制御器５
からは前記バルブ４に開閉信号が出力され、前記バルブ
４の開閉状態がコントロールされる。
【００１０】装置の作動シーケンスにより前記配管１に
流されるガスが決定され、ガスの種類に応じて前記制御
器５から前記バルブ４に開閉信号が入力される。即ち、
配管１中を流通するガスが窒素ガス（Ｎ2 ガス）の様に
非腐食性のガスの場合は、前記バルブ４に開信号が入力
され、該バルブ４が開かれ、ガスセンサ３により検出が
行われる。
流されるガスが決定され、ガスの種類に応じて前記制御
器５から前記バルブ４に開閉信号が入力される。即ち、
配管１中を流通するガスが窒素ガス（Ｎ2 ガス）の様に
非腐食性のガスの場合は、前記バルブ４に開信号が入力
され、該バルブ４が開かれ、ガスセンサ３により検出が
行われる。
【００１１】次に、配管１に腐食性ガスを流す場合は、
前記制御器５より前記バルブ４に閉信号が発せられ、バ
ルブ４が閉塞され、ガスセンサ３へ腐食性ガスが到達す
るのを遮断する。而して、ガスセンサ３の腐食が防止さ
れる。
前記制御器５より前記バルブ４に閉信号が発せられ、バ
ルブ４が閉塞され、ガスセンサ３へ腐食性ガスが到達す
るのを遮断する。而して、ガスセンサ３の腐食が防止さ
れる。
【００１２】配管１に非腐食性ガスが流される状態とな
ったら再び前記配管１が開かれ、前記ガスセンサ３によ
りガスに関する情報の検出が行われる。
ったら再び前記配管１が開かれ、前記ガスセンサ３によ
りガスに関する情報の検出が行われる。
【００１３】尚、前記分岐管２に滞留する腐食性ガスに
よるガスセンサ３の腐食を防止する為、配管１を流通す
るガスが腐食性ガスから、非腐食性ガスに切替わった場
合にも直ちにバルブ４を開とすることなく、分岐管２内
のガスが非腐食性ガスに置換される迄時間を考慮したバ
ルブ４の開閉動作とする等してもよい。又、ガスセンサ
３の設けられる構造物は配管１に限らず腐食性ガスが使
用される処理室であっても同様に実施可能であることは
言う迄もない。
よるガスセンサ３の腐食を防止する為、配管１を流通す
るガスが腐食性ガスから、非腐食性ガスに切替わった場
合にも直ちにバルブ４を開とすることなく、分岐管２内
のガスが非腐食性ガスに置換される迄時間を考慮したバ
ルブ４の開閉動作とする等してもよい。又、ガスセンサ
３の設けられる構造物は配管１に限らず腐食性ガスが使
用される処理室であっても同様に実施可能であることは
言う迄もない。
【００１４】
【発明の効果】以上述べた如く本発明によれば、腐食性
ガスによるガスセンサの腐食を防止でき、長期間安定し
てセンシングを行え、ガスセンサの保守点検、或は交換
等の作業間隔が大幅に長期化でき、保守性が向上すると
共に装置全体の稼働率が向上する等の優れた効果を発揮
する。
ガスによるガスセンサの腐食を防止でき、長期間安定し
てセンシングを行え、ガスセンサの保守点検、或は交換
等の作業間隔が大幅に長期化でき、保守性が向上すると
共に装置全体の稼働率が向上する等の優れた効果を発揮
する。
【図１】本発明の実施の形態を示す概略構成図である。
【図２】従来例を示す概略構成図である。
１ 配管 ２ 分岐管 ３ ガスセンサ ４ バルブ ５ 制御器
Claims (1)
- 【請求項１】 ガスセンサをバルブを介して構造物に設
け、前記バルブが非腐食性ガスが流通する場合に開、腐
食性ガス流通する場合に閉となる様開閉される構成とし
たことを特徴とするガスセンサの取付け構造。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP22767796A JPH1054784A (ja) | 1996-08-09 | 1996-08-09 | ガスセンサの取付け構造 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP22767796A JPH1054784A (ja) | 1996-08-09 | 1996-08-09 | ガスセンサの取付け構造 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH1054784A true JPH1054784A (ja) | 1998-02-24 |
| JPH1054784A5 JPH1054784A5 (ja) | 2004-08-19 |
Family
ID=16864608
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP22767796A Pending JPH1054784A (ja) | 1996-08-09 | 1996-08-09 | ガスセンサの取付け構造 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH1054784A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2001214888A (ja) * | 2000-02-01 | 2001-08-10 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 真空排気装置及び方法 |
-
1996
- 1996-08-09 JP JP22767796A patent/JPH1054784A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2001214888A (ja) * | 2000-02-01 | 2001-08-10 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 真空排気装置及び方法 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A977 | Report on retrieval |
Effective date: 20041012 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20041026 |
|
| A02 | Decision of refusal |
Effective date: 20050308 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 |