JPH1054805A5 - - Google Patents
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- JPH1054805A5 JPH1054805A5 JP1997094413A JP9441397A JPH1054805A5 JP H1054805 A5 JPH1054805 A5 JP H1054805A5 JP 1997094413 A JP1997094413 A JP 1997094413A JP 9441397 A JP9441397 A JP 9441397A JP H1054805 A5 JPH1054805 A5 JP H1054805A5
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Description
【００１３】
【課題を係決するための手段】
上記目的を達成するため請求項１記載の発明は、被検査球体の表面性状を光学的に検査する球体表面検査装置において、前記被検査球体を所定位置に保持しながら該被検査球体の中心を通る所定軸線の周りに回転させる被検査球体駆動手段と、前記所定位置で前記所定軸線の周りに回転する前記被検査球体の表面における少なくとも前記所定軸線との各交点を含む略半円周にわたる帯状領域に対し、光源から発せられた光を偏光し、前記被検査球体の中心に向けて照射する光照射手段と、前記被検査球体の表面における検査領域部分で反射された反射光を所定光路に沿って導き、該導いた反射光の光量を検出する光量検出手段と、前記検出された反射光の光量に基づき前記被検査球体の表面における検査領域部分の性状を判定する表面性状判定手段とを備えることを特徴とする。
【課題を係決するための手段】
上記目的を達成するため請求項１記載の発明は、被検査球体の表面性状を光学的に検査する球体表面検査装置において、前記被検査球体を所定位置に保持しながら該被検査球体の中心を通る所定軸線の周りに回転させる被検査球体駆動手段と、前記所定位置で前記所定軸線の周りに回転する前記被検査球体の表面における少なくとも前記所定軸線との各交点を含む略半円周にわたる帯状領域に対し、光源から発せられた光を偏光し、前記被検査球体の中心に向けて照射する光照射手段と、前記被検査球体の表面における検査領域部分で反射された反射光を所定光路に沿って導き、該導いた反射光の光量を検出する光量検出手段と、前記検出された反射光の光量に基づき前記被検査球体の表面における検査領域部分の性状を判定する表面性状判定手段とを備えることを特徴とする。
【００１４】
請求項１記載の球体表面検査装置では、被検査球体駆動手段で、被検査球体を所定位置に保持しながら該被検査球体の中心を通る所定軸線の周りに回転させ、光照射手段により、所定位置で所定軸線の周りに回転する被検査球体の表面における少なくとも所定軸線との各交点を含む略半円周にわたる帯状領域に対し、光源から発せられた光を偏光し、被検査球体の中心に向けて照射し、光量検出手段で被検査球体の表面における検査領域部分で反射された反射光を所定光路に沿って導き、該導いた反射光の光量を検出し、表面性状判定手段で検出された反射光の光量に基づき被検査球体の表面における検査領域部分の性状を判定するので、被検査球体への入射光の立体角は一定となり、被検査球体の鋼球サイズの変化に応じて部品交換等により光学系を変更して被検査球体への入射光の立体角を調整する必要がなくなり、測定準備に手間が掛からなくなるとともに、入射光の光軸を安定に保持した状態で被検査球体の検査を行うことができる。
請求項１記載の球体表面検査装置では、被検査球体駆動手段で、被検査球体を所定位置に保持しながら該被検査球体の中心を通る所定軸線の周りに回転させ、光照射手段により、所定位置で所定軸線の周りに回転する被検査球体の表面における少なくとも所定軸線との各交点を含む略半円周にわたる帯状領域に対し、光源から発せられた光を偏光し、被検査球体の中心に向けて照射し、光量検出手段で被検査球体の表面における検査領域部分で反射された反射光を所定光路に沿って導き、該導いた反射光の光量を検出し、表面性状判定手段で検出された反射光の光量に基づき被検査球体の表面における検査領域部分の性状を判定するので、被検査球体への入射光の立体角は一定となり、被検査球体の鋼球サイズの変化に応じて部品交換等により光学系を変更して被検査球体への入射光の立体角を調整する必要がなくなり、測定準備に手間が掛からなくなるとともに、入射光の光軸を安定に保持した状態で被検査球体の検査を行うことができる。
【００１５】
また、被検査球体を所定位置に保持しながら所定軸の周りに回転させることによって被検査球体の全表面を光が走査するので、被検査球体をスキュー回転させる必要がなくなり、したがって従来のような制御ローラを使用する必要もなく、また回転数の不整が生じる虞のあるスキュー機構を使用する必要もなくなりかつ被検査球体を１回転で検査可能になり、小径の球体の検査を高速にかつ精度良く行うことができ、運転、保守共容易で安価な球体表面検査装置を得ることができる。
また、請求項２記載の球体表面検査装置では、さらに、光量検出手段が、検出する反射光を帯状領域の幅方向に対応する方向に関して規制を行うようにすることにより、傷等による明るさの低下の影響を相対的に上げることができ、検査精度をさらに向上させることができる。
また、請求項３記載の球体表面検査装置では、さらに、光源がレーザダイオードとし、レーザダイオードの光軸が、光の射出点と被検査球体の中心とを結ぶ直線に対して傾きを持たせ、光量検出手段により検出される光の照度むらを低減してなることにより、照度むらに起因する誤判定をより確実になくすことができる。
また、被検査球体を所定位置に保持しながら所定軸の周りに回転させることによって被検査球体の全表面を光が走査するので、被検査球体をスキュー回転させる必要がなくなり、したがって従来のような制御ローラを使用する必要もなく、また回転数の不整が生じる虞のあるスキュー機構を使用する必要もなくなりかつ被検査球体を１回転で検査可能になり、小径の球体の検査を高速にかつ精度良く行うことができ、運転、保守共容易で安価な球体表面検査装置を得ることができる。
また、請求項２記載の球体表面検査装置では、さらに、光量検出手段が、検出する反射光を帯状領域の幅方向に対応する方向に関して規制を行うようにすることにより、傷等による明るさの低下の影響を相対的に上げることができ、検査精度をさらに向上させることができる。
また、請求項３記載の球体表面検査装置では、さらに、光源がレーザダイオードとし、レーザダイオードの光軸が、光の射出点と被検査球体の中心とを結ぶ直線に対して傾きを持たせ、光量検出手段により検出される光の照度むらを低減してなることにより、照度むらに起因する誤判定をより確実になくすことができる。
【００７７】
【発明の効果】
以上説明したように請求項１記載の球体表面検査装置によれば、被検査球体駆動手段で、被検査球体を所定位置に保持しながら該被検査球体の中心を通る所定軸線の周りに回転させ、光照射手段により、所定位置で所定軸線の周りに回転する被検査球体の表面における少なくとも所定軸線との各交点を含む略半円周にわたる帯状領域に対し、光源から発せられた光を偏光し、被検査球体の中心に向けて照射し、光量検出手段で被検査球体の表面における検査領域部分で反射された反射光を所定光路に沿って導き、該導いた反射光の光量を検出し、表面性状判定手段で検出された反射光の光量に基づき被検査球体の表面における検査領域部分の性状を判定するので、被検査球体への入射光の立体角は一定となり、被検査球体の鋼球サイズの変化に応じて部品交換等により光学系を変更して被検査球体への入射光の立体角を調整する必要がなくなり、測定準備に手間が掛からなくなるとともに、入射光の光軸を安定に保持した状態で被検査球体の検査を行うことができる。
【発明の効果】
以上説明したように請求項１記載の球体表面検査装置によれば、被検査球体駆動手段で、被検査球体を所定位置に保持しながら該被検査球体の中心を通る所定軸線の周りに回転させ、光照射手段により、所定位置で所定軸線の周りに回転する被検査球体の表面における少なくとも所定軸線との各交点を含む略半円周にわたる帯状領域に対し、光源から発せられた光を偏光し、被検査球体の中心に向けて照射し、光量検出手段で被検査球体の表面における検査領域部分で反射された反射光を所定光路に沿って導き、該導いた反射光の光量を検出し、表面性状判定手段で検出された反射光の光量に基づき被検査球体の表面における検査領域部分の性状を判定するので、被検査球体への入射光の立体角は一定となり、被検査球体の鋼球サイズの変化に応じて部品交換等により光学系を変更して被検査球体への入射光の立体角を調整する必要がなくなり、測定準備に手間が掛からなくなるとともに、入射光の光軸を安定に保持した状態で被検査球体の検査を行うことができる。
【００７８】
また、被検査球体を所定位置に保持しながら所定軸の周りに回転させることによって被検査球体の全表面を光が走査するので、被検査球体をスキュー回転させる必要がなくなり、したがって従来のような制御ローラを使用する必要もなく、また回転数の不整が生じる虞のあるスキュー機構を使用する必要もなくなり、小径の球体の検査を精度良く行うことができ、運転、保守共容易で安価な球体表面検査装置を得ることができる。
請求項２記載の球体表面検査装置によれば、光量検出手段が、検出する反射光を帯状領域の幅方向に対応する方向に関して規制を行うようにすることにより、傷等による明るさの低下の影響を相対的に上げることができ、検査精度をさらに向上させることができる。
請求項３記載の球体表面検査装置によれば、光源がレーザダイオードとし、レーザダイオードの光軸が、光の射出点と被検査球体の中心とを結ぶ直線に対して傾きを持たせ、光量検出手段により検出される光の照度むらを低減してなることにより、照度むらに起因する誤判定をより確実になくすことができる。
また、被検査球体を所定位置に保持しながら所定軸の周りに回転させることによって被検査球体の全表面を光が走査するので、被検査球体をスキュー回転させる必要がなくなり、したがって従来のような制御ローラを使用する必要もなく、また回転数の不整が生じる虞のあるスキュー機構を使用する必要もなくなり、小径の球体の検査を精度良く行うことができ、運転、保守共容易で安価な球体表面検査装置を得ることができる。
請求項２記載の球体表面検査装置によれば、光量検出手段が、検出する反射光を帯状領域の幅方向に対応する方向に関して規制を行うようにすることにより、傷等による明るさの低下の影響を相対的に上げることができ、検査精度をさらに向上させることができる。
請求項３記載の球体表面検査装置によれば、光源がレーザダイオードとし、レーザダイオードの光軸が、光の射出点と被検査球体の中心とを結ぶ直線に対して傾きを持たせ、光量検出手段により検出される光の照度むらを低減してなることにより、照度むらに起因する誤判定をより確実になくすことができる。
Claims (3)
- 被検査球体の表面性状を光学的に検査する球体表面検査装置において、前記被検査球体を所定位置に保持しながら該被検査球体の中心を通る所定軸線の周りに回転させる被検査球体駆動手段と、前記所定位置で前記所定軸線の周りに回転する前記被検査球体の表面における少なくとも前記所定軸線との各交点を含む略半円周にわたる帯状領域に対し、光源から発せられた光を偏光し、前記被検査球体の中心に向けて照射する光照射手段と、前記被検査球体の表面における検査領域部分で反射された反射光を所定光路に沿って導き、該導いた反射光の光量を検出する光量検出手段と、前記検出された反射光の光量に基づき前記被検査球体の表面における検査領域部分の性状を判定する表面性状判定手段とを備えることを特徴とする球体表面検査装置。
- 前記光量検出手段は、検出する反射光を前記帯状領域の幅方向に対応する方向に関して規制を行うことを特徴とする請求項１記載の球体表面検査装置。
- 前記光源は、レーザダイオードであり、該レーザダイオードの光軸は、光の射出点と前記被検査球体の中心とを結ぶ直線に対して傾きを持たせ、前記光量検出手段により検出される光の照度むらを低減してなる請求項１または２記載の球体表面検査装置。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP09441397A JP3709950B2 (ja) | 1996-04-25 | 1997-03-31 | 球体表面検査装置 |
| US08/845,469 US5905575A (en) | 1996-04-25 | 1997-04-25 | Spherical surface inspection equipment for optically examining the surface of a sphere |
Applications Claiming Priority (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8-127684 | 1996-04-25 | ||
| JP12768496 | 1996-04-25 | ||
| JP09441397A JP3709950B2 (ja) | 1996-04-25 | 1997-03-31 | 球体表面検査装置 |
Publications (3)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH1054805A JPH1054805A (ja) | 1998-02-24 |
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Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP09441397A Expired - Fee Related JP3709950B2 (ja) | 1996-04-25 | 1997-03-31 | 球体表面検査装置 |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5905575A (ja) |
| JP (1) | JP3709950B2 (ja) |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| AU2006262287A1 (en) | 2005-06-21 | 2007-01-04 | Cardiomems, Inc. | Method of manufacturing implantable wireless sensor for in vivo pressure measurement |
| JP2008292218A (ja) * | 2007-05-23 | 2008-12-04 | Nikon Corp | 面形状測定装置、面形状測定方法、および顕微鏡対物光学系 |
| EP3056895B1 (en) * | 2010-01-07 | 2021-06-23 | Nikkato Corporation | Device for inspecting ceramic sphere |
| TWI424145B (zh) * | 2010-12-08 | 2014-01-21 | 財團法人工業技術研究院 | 孔洞底部形貌的量測方法 |
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| KR101399069B1 (ko) * | 2013-11-05 | 2014-05-27 | 주식회사 멥스 | 회전 원판을 이용한 신뢰성 높은 강구 검사장치 |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5327220A (en) * | 1992-06-26 | 1994-07-05 | O.C.A. Applied Optics, Inc. | IR interferometric apparatus and method for determining the thickness variation of an optical part wherein said optical part defines Newton interference fringe patterns |
-
1997
- 1997-03-31 JP JP09441397A patent/JP3709950B2/ja not_active Expired - Fee Related
- 1997-04-25 US US08/845,469 patent/US5905575A/en not_active Expired - Fee Related
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