JPH1064773A - セラミックグリーンシートの剥離方法とその装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】製造工程が多く、接着剤や治具等の多くの器材
を必要とするうえ、セラミックグリーンシートに変形や
歪みを生じやすかった。 【解決手段】キャリアシート30上に形成されたセラミッ
クグリーンシート40を所定の寸法形状に切り取ってキャ
リアシート30から剥離する方法において、セラミックグ
リーンシート40に所定の寸法形状の切れ目45を形成した
後、セラミックグリーンシート40の切れ目45近くの内側
を、空気室11を有する保持体10で吸着して固定した状態
で、セラミックグリーンシート40の端部からキャリアシ
ート30を引き剥がす。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は積層型のセラミック
コンデンサや積層インダクタ等のチップ部品の製造方法
に係り、特にキャリアシート上に形成されたセラミック
グリーンシートをキャリアシートから剥離する方法とそ
の装置に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】セラミックグリーンシートは、たとえば
フェライト材料にバインダ等を加えて得られたスラリー
をポリエチレンなどのキャリアシート上に膜状に成形す
ることにより作られる。積層インダクタや積層コンデン
サの製造工程において、セラミックグリーンシートは複
数枚が金型内に積層されて熱圧着等の手段で一体化され
る。したがって、この積層工程の前にセラミックグリー
ンシートを所定の寸法形状に切断してキャリアシートか
ら剥がすとともに、剥がしたセラミックグリーンシート
を正しく平面状態に保持して金型内に収納する必要があ
る。

【０００３】従来は図11〜図13に示すような方法で、セ
ラミックグリーンシートをキャリアシートから剥がして
いた。図11において、１は下面にセラミックグリーンシ
ート２を形成したキャリアシートであり、セラミックグ
リーンシート２には四角形に切り取る切れ目３が設けて
ある。４はセラミックグリーンシート２の切れ目３の入
った部分よりも小さな四角形の貫通孔５を有する枠状の
治具である。まず、治具４の上面に接着剤６を塗布した
後、セラミックグリーンシート２をキャリアシート１と
共に治具４の上に配置し、図12のようにセラミックグリ
ーンシート２側を治具４に接着する。そして図13のよう
に、キャリアシート１の一隅をめくるように徐々に引き
上げてセラミックグリーンシート２からキャリアシート
１を剥がしていた。この後、治具４上のセラミックグリ
ーンシート２は、電極の印刷や孔明け加工が施されてか
ら貫通孔５の内側で切り取って使用される。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】従来は接着剤６を塗布
した治具４を繰り返し使用するため治具４の洗浄と精度
管理が必要なうえ、接着剤６の乾燥工程も必要となって
いた。また、治具４に貼られたセラミックグリーンシー
ト２に局部的な変形や歪みを生じやすい問題があった。
そこで本発明は作業工程を減らし接着剤や治具等の器材
を削減するとともに、セラミックグリーンシートの歪み
不良の低減を図ることを目的としたものである。

【０００５】

【課題を解決するための手段】本発明は、キャリアシー
ト上に形成されたセラミックグリーンシートを所定の寸
法形状に切り取ってキャリアシートから剥離するセラミ
ックグリーンシートの剥離方法において、セラミックグ
リーンシートを貫通して所定の寸法形状に切り取る切れ
目を、キャリアシート上のセラミックグリーンシートに
形成した後、セラミックグリーンシートの切れ目直近の
内側の部分を、空気室を有する保持体で吸着して固定し
た状態で、セラミックグリーンシートの端部からキャリ
アシートを徐々に引き剥がすことを特徴とする。また本
発明は、キャリアシート上に形成されたセラミックグリ
ーンシートが供給され、キャリアシートから所定の寸法
形状のセラミックグリーンシートを切り取って剥離する
装置において、セラミックグリーンシートを貫通して所
定の寸法形状に切り取る切れ目を、キャリアシート上の
セラミックグリーンシートに形成する手段と、真空ポン
プに導かれた空気室を内部に有し、セラミックグリーン
シートの切れ目の内側に対応して並び且つ空気室に繋が
った多数の孔を一表面に有する保持体を備え、真空ポン
プを動作させることによりセラミックグリーンシートの
切れ目直近の内側を孔の部分で吸着して保持体の一表面
に保持可能とした構成を特徴とする。

【０００６】

【実施例】図１〜図５は本発明の一実施例を示してい
る。図１における10は内部に空気室11が設けられた保持
体である。図２からも明らかなように、保持体10の上面
の中央部には、空気が通過できる多数の微細な孔を全体
に有する微細孔板12が取付けてある。微細孔板12として
は多孔質フィルタ等が適している。保持体10の上面には
微細孔板12を囲むように多数の孔13を形成してある。孔
13と微細孔板12は空気室11に繋がっており、孔13及び微
細孔板12以外の空気室11を囲む部分は密閉された状態に
ある。そして、空気室11の一端に取付けた真空ポンプ20
を動作させたとき、空気室11の内部が負圧になり、孔13
及び微細孔板12から外部の空気が空気室11内に吸引され
るようにしてある。

【０００７】キャリアシート30の一表面に形成されたセ
ラミックグリーンシート40には、図３に示すように、あ
らかじめセラミックグリーンシート40を四角形に切り取
る切れ目45を設けてある。切れ目45はセラミックグリー
ンシート40を貫通し、キャリアシート30の途中まで切れ
込みが入っている。切れ目45が設けられたセラミックグ
リーンシート40は、図４に示すようにキャリアシート30
と共に保持体10上に載置される。セラミックグリーンシ
ート40の切れ目45は、このとき保持体10に設けられた孔
13の外側に位置する大きさに形成されている。

【０００８】次いで、真空ポンプ20を動作させると、空
気室11の内部が負圧になり、セラミックグリーンシート
40は切れ目45直近の内側の部分が孔13の部分で強力に吸
引されて吸着し固定される。同時に、微細孔板12の部分
ではセラミックグリーンシート40の広い面全体を弱い力
で吸着して保持する。この状態で図５のようにキャリア
シート30の一端をめくるように徐々に引き上げると、キ
ャリアシート30はセラミックグリーンシート40から剥が
れて、切れ目45の内側の四角形のセラミックグリーンシ
ート40だけが保持体10上に残る。

【０００９】保持体10上に残ったセラミックグリーンシ
ート40は周辺を除く広い部分が微細孔板12における弱い
吸引力で吸着されているので、周辺部以外の部分にしわ
等の変形や歪みを起こすことがない。なお、切り取られ
たセラミックグリーンシート40は、孔13で吸引された周
辺部を除いた部分が積層インダクタや積層コンデンサの
素材として使用される。

【００１０】図６〜図10は本発明の他の実施例を示すも
ので、セラミックグリーンシート40に切れ目45を設ける
ための切断刃を保持体に取付けた例である。すなわち、
図６における保持体50は、刃先が下方に突出した切断刃
55を周囲に取付けてある点が保持体10とは異なってい
る。保持体50の残りの部分の構造は保持体10と同様であ
り、保持体50の下面には微細孔板52を取付け、微細孔板
52を囲む多数の孔53が形成してある。そして、微細孔板
52及び孔53に繋がった空気室51を保持体50の内部に設
け、真空ポンプ20を動作させたとき、負圧になった空気
室51の内部に孔53及び微細孔板52から外部の空気が吸引
されるようにしてある。

【００１１】セラミックグリーンシート40は長尺のキャ
リアシート30上に連続して形成されている。切断刃55の
刃先に対向する位置にはキャリアシート30の一部を載置
可能なベース60が設けてある。互いに密着したセラミッ
クグリーンシート40とキャリアシート30は、その一部が
図６に示すようにセラミックグリーンシート40を上にし
て、平らなベース60の上に載置される。この状態で保持
体50を下降させ、図７のように切断刃55をセラミックグ
リーンシート40に貫通させて、キャリアシート30の途中
まで達する切れ目45を形成する。切断刃55は保持体50の
周囲に取付けてあり、セラミックグリーンシート40を四
角形に切り取る形の切れ目45が形成される。なお、保持
体50を下降させる代わりにベース60を上昇させてもよ
い。

【００１２】次いで、図７の状態で真空ポンプ20による
吸引を開始する。この吸引状態のまま保持体50を上昇さ
せると、セラミックグリーンシート40及びキャリアシー
ト30は、図８のようにベース60から離れて保持体50と共
に上昇する。この後、保持体50を停止させ、図９に示す
ようにキャリアシート30を端部から引き下げてセラミッ
クグリーンシート40から引き剥がす。

【００１３】図10に拡大して示すように、孔53に対向し
た部分のセラミックグリーンシート40ａは、すぐ近くが
切断刃55で押し切られているのに加え、孔53を通じて作
用する強力な吸引力のために、各孔53の部分ではキャリ
アシート30の表面から空気室51側にドーム形に浮き上が
った状態となる。このため、端部から引き下げられるこ
とによってキャリアシート30はセラミックグリーンシー
ト40から簡単に剥がれ、切れ目45の内側の四角形のセラ
ミックグリーンシート40だけが保持体50の下面に残る。
このときも、保持体50の下面に残ったセラミックグリー
ンシート40は、周辺以外の部分が微細孔板12でやや弱く
吸着されているので、しわ等の変形や歪みを起こすこと
なく平面を保った状態で保持体50に保持される。

【００１４】保持体50に吸着されたこの四角形のセラミ
ックグリーンシート40は、この後、次工程まで保持体50
によって運ばれ、空気室51内を逆に加圧して微細孔板12
から排気するなどして保持体50から解放される。そし
て、セラミックグリーンシート40が表面に形成されたキ
ャリアシート30を保持体50の位置まで間欠的に送りなが
ら、以上の動作が繰り返される。

【００１５】所定の寸法のセラミックグリーンシート40
が一定間隔で切り取られた後のキャリアシート30は図示
しない巻枠に順次巻き取られる。キャリアシート30を巻
枠に巻き取るときの力を利用して、キャリアシート30を
セラミックグリーンシート40から剥がす際のキャリアシ
ート30端部の引き下げを行うようにするとよい。

【００１６】

【発明の効果】本発明によれば、所定の形状に切り取っ
た部分のセラミックグリーンシートは周辺部が強力に吸
引されて保持されるので、周辺部を除いた部分にはしわ
等の変形や歪みを起こさずにキャリアシートから剥離す
ることができる。また、このセラミックグリーンシート
の周辺部を除く広い部分を微細孔板で弱く吸着すること
により、セラミックグリーンシートに内部歪みが発生す
るのを一層確実に防止することができる。さらに、本発
明によれば工程が簡略化され、自動化が容易で生産性を
向上しうる効果がある。

【図面の簡単な説明】

【図１】 本発明の第１実施例の第１の工程を示す部分
断面正面図

【図２】 保持体の平面図

【図３】 セラミックグリーンシートが設けられたキャ
リアシートの下面図

【図４】 本発明の第１実施例の第２の工程を示す部分
断面正面図

【図５】 本発明の第１実施例の第３の工程を示す正面
断面図

【図６】 本発明の第２実施例の第１の工程を示す部分
断面正面図

【図７】 本発明の第２実施例の第２の工程を示す部分
断面正面図

【図８】 本発明の第２実施例の第３の工程を示す部分
断面正面図

【図９】 本発明の第２実施例の第４の工程を示す部分
断面正面図

【図10】 図８における要部の拡大断面図

【図11】 従来例の第１の工程を示す正面断面図

【図12】 従来例の第２の工程を示す正面断面図

【図13】 従来例の第３の工程を示す正面断面図

【符号の説明】

10・50 保持体 11・51 空気室 12・52 微細孔板 13・53 孔 30 キャリアシート 40 セラミックグリーンシート 45 切れ目 55 切断刃 60 ベース

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 永島 幸雄 埼玉県鶴ケ島市大字五味ケ谷18番地 東光 株式会社埼玉事業所内

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】キャリアシート上に形成されたセラミック
   グリーンシートを所定の寸法形状に切り取って該キャリ
   アシートから剥離するセラミックグリーンシートの剥離
   方法において、セラミックグリーンシートを貫通して所
   定の寸法形状に切り取る切れ目を、キャリアシート上の
   セラミックグリーンシートに形成した後、セラミックグ
   リーンシートの該切れ目直近の内側の部分を、空気室を
   有する保持体で吸着して固定した状態で、該セラミック
   グリーンシートの端部からキャリアシートを徐々に引き
   剥がすことを特徴とするセラミックグリーンシートの剥
   離方法。
2. 【請求項２】キャリアシート上に形成されたセラミック
   グリーンシートが供給され、該キャリアシートから所定
   の寸法形状のセラミックグリーンシートを切り取って剥
   離する装置において、セラミックグリーンシートを貫通
   して所定の寸法形状に切り取る切れ目を、キャリアシー
   ト上のセラミックグリーンシートに形成する手段と、真
   空ポンプに導かれた空気室を内部に有し、セラミックグ
   リーンシートの切れ目の内側に対応して並び且つ該空気
   室に繋がった多数の孔を一表面に有する保持体を備え、
   真空ポンプを動作させることによりセラミックグリーン
   シートの該切れ目直近の内側を該孔の部分で吸着して保
   持体の一表面に保持可能に構成したことを特徴とするセ
   ラミックグリーンシート剥離装置。
3. 【請求項３】保持体の多数の孔で囲まれた内側に、該空
   気室に繋がった多数の微細な孔を全体に有する微細孔板
   を取付けた請求項２のセラミックグリーンシート剥離装
   置。
4. 【請求項４】キャリアシート上のセラミックグリーンシ
   ートに切れ目を形成する手段が、保持体の一表面側に突
   出させて設けた切断刃と、該切断刃の刃先に対向する位
   置に設けたベースからなり、ベースにキャリアシートの
   一部を載置可能とし、保持体またはベースの少なくとも
   一方を互いに近づく方向及び離れる方向に移動自在に構
   成した請求項２のセラミックグリーンシート剥離装置。