JPH1064784A - 回転式塗布装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 上部回転板が浮いた状態での回転を防止する
ことで、回転で上部回転板が外れて装置が破損すること
を防止する。 【解決手段】 光センサの投光部２４と受光部２５によ
って上部回転板５の装着状態を、上部回転板５がノブボ
ルト１５上に乗り上げて浮いているかどうかを検出する
ことで監視している。リングプレート１４に対して上部
回転板５が載置されてセットされたにもかかわらず、リ
ングプレート１４のノブボルト１５に上部回転板５の孔
部１６が嵌合せずに浮き上がっていると光センサが検出
したときには、回転制御手段９を介して回転台１１およ
び上部回転板５を回転させないようにすれば、回転始め
や回転中に一体的に回転する上部回転板５が飛んで各部
に当たり装置がその衝撃で破損することが防止される。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、例えば半導体製造
装置および液晶表示基板製造装置における基板処理装置
などに用いられ、液晶表示器用角形ガラス基板、カラー
フィルタ用ガラス基板、フォトマスク用基板、サーマル
ヘッド用セラミック基板、プリント基板および半導体ウ
エハなどの基板を保持して回転させ、遠心力を利用して
フォトレジスト液などの処理液を薄膜状に塗布する回転
式塗布装置に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】従来、例えば半導体基板や液晶表示器用
角形ガラス基板などの製造工程において、フォトプロセ
スでパターンを形成する際には、基板にフォトレジスト
液を塗布する工程や、基板に現像液を塗布する工程な
ど、各種の処理液を塗布する塗布工程が不可欠である。
このような回転式塗布工程に用いられる回転式塗布装置
には、図６に示すように、内部に基板５１を水平状態に
保持して回転する基板載置部５２が設けられている。こ
の基板載置部５２の上方を上部回転板５３で開閉自在に
構成し、基板載置部５２の上方を上部回転板５３と嵌合
させて蓋をすることで、その保持された基板５１の周辺
を半密閉空間ａとして、基板５１上の中央部に処理液が
乗せられた状態で、その半密閉空間内の空気といっしょ
に基板載置部５２および上部回転板５３と共に基板５１
を回転させることにより、その遠心力で均一に処理液を
基板５１の上面に薄膜状に塗布するものである。このと
き、基板載置部５２のノブボルト５４が上部回転板５３
の孔部５５に嵌入しており、このノブボルト５４で上部
回転板５３の孔部５５をひっかけて基板載置部５２と上
部回転板５３を一体的に回転させている。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】上記従来の構成では、
基板５１上の中央部に処理液が塗布された後に、基板載
置部５２の上方開口部を上部回転板５３で蓋をすべく基
板載置部５２上に上部回転板５３を装着した場合であっ
ても、図７に示すようにノブボルト５４が上部回転板５
３の孔部５５に正確に嵌入されているとは限らず、例え
ば基板載置部５２と上部回転板５３が位置ずれを起こし
たときには上部回転板５３がノブボルト５４に乗り上げ
て傾斜して浮いた状態となる。このような上部回転板５
３が浮いて傾斜した状態で基板載置部５２と共に上部回
転板５３が回転するという事態も発生する。このような
場合、互いに嵌合している他の上部回転板５３の孔部５
５とノブボルト５４も外れて上部回転板５３が飛んで各
部に当たることになり、その衝撃で装置が破損して使用
できなくなるという問題が発生する。さらに、この破損
した装置の修復のために装置の可動率が低下して生産性
が大幅に低下してしまい、生産コストを上昇させてしま
うという問題も発生する。

【０００４】本発明は、上記従来の問題を解決するもの
で、上部回転板が浮いた状態での回転を防止すること
で、回転中の上部回転板の外れによる装置の破損を防止
することができる回転式塗布装置を提供することを目的
とする。

【０００５】

【課題を解決するための手段】本発明の回転式塗布装置
は、回転支持手段上に支持された基板を回転手段で回転
させることによって基板の表面に供給された処理液を遠
心力を用いて薄膜状に塗布する回転式塗布装置におい
て、回転支持手段上に装着可能な上部回転板と、回転支
持手段に対して上部回転板を着脱させる着脱手段と、こ
の着脱手段によって回転支持手段に上部回転板を装着さ
せた状態で、回転支持手段に対する上部回転板の装着状
態を検出する装着状態検出手段と、この装着状態検出手
段による上部回転板の装着状態に応じて回転手段を制御
する回転制御手段とを備えたことを特徴とするものであ
る。この着脱手段は、好ましくは、上部回転板と回転支
持手段の何れかを昇降させて上部回転板と回転支持手段
の嵌合を着脱させる構成とし、装着状態検出手段は、回
転支持手段に対する上部回転板の浮き上がりを検出する
ものである。

【０００６】このように、本発明においては、装着状態
検出手段で上部回転板の装着状態を検出し、この検出し
た装着状態に応じて回転手段を制御している。例えば回
転支持手段に対して上部回転板が載置されてセットされ
たにもかかわらず、回転支持手段に上部回転板が嵌合せ
ずに浮き上がっているような場合には、これを、装着状
態検出手段が検出して回転制御手段で回転支持手段およ
び上部回転板を回転させないように制御すれば、回転始
めや回転中に一体的に回転する上部回転板が飛んで装置
に当たりその衝撃で破損するようなことはなくなる。ま
た、この破損した装置の修復のために装置の可動率が大
幅に低下してしまうという事態も防止されることにな
る。

【０００７】また、好ましくは、本発明の回転式塗布装
置における装着状態検出手段は、回転支持手段に対する
上部回転板の浮き上がりを光学的に検知する投光部と受
光部を有し、上部回転板が浮き上がらずに装着されてい
る場合は上部回転板が投光部から受光部への光軸を遮る
ことなく、上部回転板が浮き上がって装着されている場
合は上部回転板がその光軸を少なくとも一部遮るような
高さ位置に投光部と受光部が互いに対向して配設されて
いることを特徴とする。この場合、より好ましくは、投
光部から受光部への光軸を少なくとも２ライン有するこ
とを特徴としている。

【０００８】この構成により、装着状態検出手段を、投
光部と受光部とを有する透過型の光学的検出手段で構成
すれば、上部回転板の浮き上がりを容易に検出すること
が可能となる。また、投光部から受光部への検出用の光
軸を２ライン以上設ければ、回転支持手段に対する上部
回転板の嵌合不良による浮き上がりを確実に検出するこ
とが可能となる。

【０００９】

【発明の実施の形態】以下、本発明に係る回転式塗布装
置の実施形態について図面を参照して説明する。

【００１０】図１は本発明の一実施形態における回転式
塗布装置の正面概略構成を示す一部断面図であり、図２
は図１の回転式塗布装置の平面図である。

【００１１】図１において、この回転式塗布装置１は、
内部に基板２を水平に支持する基板載置部である円形の
回転支持手段３と、この回転支持手段３を回転駆動させ
る回転手段としての駆動モータ４と、この回転支持手段
３上に載置された基板２の上面と所定の間隔をもって平
行に配設されていると共に回転支持手段３と一体に回転
する円形の上部回転板５と、この上部回転板５上に固定
された係合部材６と係合可能に構成され、この係合部材
６と係合させて上部回転板５を昇降させることで、回転
支持手段３の上方開口部を開閉する着脱手段７と、この
着脱手段７によって回転支持手段３に上部回転板５を装
着させた状態で、回転支持手段３に対する上部回転板５
の装着状態を検出する装着状態検出手段８と、この装着
状態検出手段８による上部回転板５の装着状態に応じて
駆動モータ４をオンオフ制御する回転制御手段９と、図
示していないが、回転台３の近傍位置に配設され回転台
３上に保持された基板２上に処理液を供給する処理液供
給ノズルとを備えている。

【００１２】この回転支持手段３は、多数の基板支持ピ
ン１０が立設され、これらの基板支持ピン１０上に基板
２が載置されて水平に支持する回転台１１と、この回転
台１１上に、基板２の４角にそれぞれ１対ずつ立設され
て基板２が位置決めされ回転台１１と共に一体に回転可
能に保持する位置決めピン１２と、この回転台１１の外
周上面に、回転台１１と同心円状に固定されると共に回
転台１１と同外径のリング状のスペーサリング１３と、
このスペーサリング１３と同心円状に固定されると共に
回転台１１と同外径のリング状のリングプレート１４と
を有している。このリングプレート１４上の外周縁に沿
った等間隔の適所（３個所〜１２個所程度）にノブボル
ト１５が立設されている。

【００１３】また、上部回転板５は、リングプレート１
４上のノブボルト１５に対応した外周縁にノブボルト１
５と嵌合可能な孔部１６がノブボルト１５と同数だけ設
けられている。また、この上部回転板５の下面は、回転
したときにノブボルト１５と孔部１６の嵌合で外れにく
くするために重心を下にすべく、リングプレート１４の
内径よりも若干小径の中央範囲を板厚部１７としてい
る。このように、ノブボルト１５と上部回転板５の孔部
１６とが嵌合することで、リングプレート１４に上部回
転板５がノブボルト１６を介して着脱自在でかつ一体的
に回転可能に取り付けられてリングプレート１４の中央
開口部を覆う構成となっている。また、この上部回転板
５の孔部１６をリングプレート１４上のノブボルト１５
との嵌合から取り外せば、リングプレート１４の中央開
口部から基板２を取り出したり、回転台１１上に保持さ
れた基板２の中央部上に処理液を供給することができる
ようになっている。

【００１４】さらに、係合部材６は、上部回転板５上に
は、円筒状の取付部材１８を介して鍔状の環状プレート
である上部プレート１９が取り付けられていると共に、
この上部プレート１９の周方向所定の４個所それぞれに
嵌合孔２０が等間隔に配設されている。また、着脱手段
７は、上部プレート１９の外側に配設され上下に移動自
在に構成された支持部材２１の下端部にそれぞれ、環状
プレートであるフックプレート２２が、上部回転板５と
上部プレート１９の間に位置するように水平に取り付け
られている。このフックプレート２２の内径内に、円筒
状の取付部材１８がそれぞれ配設されるように構成され
ており、回転中に取付部材１８がその内径縁部に当たら
ないようになっている。また、このフックプレート２２
上には、上部プレート１９の嵌合孔２０に対応した位置
にその嵌合孔２０と嵌合可能なフックピン２３がそれぞ
れ配設されている。

【００１５】さらに、装着状態検出手段８は、上部回転
板５の装着状態として上部回転板５の高さ位置が正常な
高さ位置よりも高くなっているかどうかを光学的に検知
する光学的検知手段としての光ファイバセンサなどの光
センサの投光部２４と受光部２５とで構成されている。
これらの投光部２４および受光部２５を、互いに対向し
て配設された支持部材２１にそれぞれ配設し、一方の支
持部材２１の投光部２４が他方の支持部材２１の受光部
２５に上部プレート１９の上端（上部プレート１９上の
各構成部材の上端）から０．５ｍｍ〜３ｍｍ程度（より
好ましくは１ｍｍ）上の位置を介して対向するように配
設されていると共に、一方の支持部材２１の受光部２５
が他方の支持部材２１の投光部２４に上部プレート１９
の上端（上部プレート１９上の各構成部材の上端）から
０．５ｍｍ〜３ｍｍ程度（より好ましくは１ｍｍ）上の
位置を介して対向するように配設されている。これらの
投光部２４と受光部２５とは、着脱手段７によってリン
グプレート１４に上部回転板５を装着させた状態で、そ
のリングプレート１４のノブボルト１５に対して上部回
転板５の孔部１６が嵌まり合っているかどうかの装着状
態を検出するように構成している。即ち、図３に示すよ
うに、上部回転板５の孔部１６とノブボルト１５との嵌
合がなされず上部回転板５がノブボルト１５上に乗り上
げて浮き上がっていると、上部回転板５と共に上部プレ
ート１９が傾くが、この浮き上がった状態を、対向して
配設された投光部２４から受光部２５への光軸が少なく
とも一部遮られることで検知することができ、上部回転
板５の装着状態、つまり、全ての孔部１６とノブボルト
１５が確実に嵌合して上部回転板５を回転させても問題
がないかどうかを検出している。つまり、これらの光セ
ンサの対向した投光部２４と受光部２５はそれぞれ、リ
ングプレート１４のノブボルト１５に嵌合するように降
ろされた上部回転板５の浮き上がった水平状態や傾斜状
態を検知する構成である。これらの光センサの投光部２
４と受光部２５とがそれぞれ接続される回転制御手段９
は回転手段としての駆動モータ４に接続され、着脱手段
７による上部回転板５のリングプレート１４への装着状
態が確実であるかどうかに応じて駆動モータ４のオン、
オフを制御する構成となっている。

【００１６】また、これらの光センサは、互いに対向し
て配設された投光部２４から受光部２５への光学的検知
ライン２６，２７である光軸を平行に２ライン有してい
る。これらの投光部２４および受光部２５は、上部回転
板５が確実に嵌合して浮くこと無く水平に装着されてい
る場合は、この光軸を上部プレート１９が遮ることな
く、また、上部回転板５が確実に嵌合せず上部回転板５
が浮き上がって装着されている場合は、この光軸を上部
プレート１９が遮るように高さ調整されて支持されてい
る。これらの投光部２４から受光部２５への光学的検知
ライン２６，２７は、上部プレート１９の中心点に対し
て対称な位置上を通るように２ライン有しており、リン
グプレート１４に対する上部回転板５の浮き上がりを、
上部プレート１９が光学的検知ライン２６，２７の光軸
の少なくとも何れかを遮るか否かで確実に検知すること
が可能となる。このとき、受光部２５での検出は、投光
部２４からの光量が殆ど全て到達したかどうかで上部回
転板５の浮き上がりを検出することもできるが、例えば
５０パーセントの光量以上を受光部２５が受光するかど
うかで上部回転板５の浮き上がりを検出することもでき
る。この投光部２４からの光量の受光割合を低く設定す
ればするほど僅かな上部回転板５の浮き上がりをも検出
することができる。また、図２および図４（ａ）に示す
ように、光学的検知ライン２６，２７の光軸の進行方向
を互いに逆にしていることで、一方の投光部２４から他
方の受光部２５が受光しない構成、つまり、一方の投光
部２４に対応した受光部２５以外の他方の受光部２５が
一方の投光部２４からの光を受光しない構成とすること
により、光学的検知ライン２６，２７のうちの一つの光
軸を遮蔽する度合を誤動作無く正確に検知することがで
きる。

【００１７】上記構成により、まず、上部回転板５を着
脱手段７を介して上昇させて回転台１１上を開放させた
状態で、回転台１１上に載置させた基板２上の中央部に
塗布液供給ノズル（図示せず）からフォトレジスト液な
どの塗布液を供給する。次に、この着脱手段７によって
上部回転板５を支持部材６およびフックプレート２２と
共に下降させて、上部回転板５をリングプレート１４上
に載置すると共に、このリングプレート１４上のノブボ
ルト１５を上部回転板５の孔部１６にそれぞれ嵌入して
上部回転板５でリングプレート１４の中央開口部を閉止
する。さらに、着脱手段７を介して支持部材６と共にフ
ックプレート２２を下降させて、上部プレート１９の周
方向所定位置の嵌合孔２０とフックピン２３による嵌合
を解除し、フックプレート２２の内径内で、円筒状の取
付部材１８が回転可能な状態になっている。

【００１８】このとき、光センサの投光部２４から受光
部２５に光学的検知ラインである光軸が形成されて、上
部回転板５がリングプレート１４に対して浮いているが
どうかを監視しており、例えば、上部回転板５の孔部１
６がリングプレート１４のノブボルト１５に対して確実
に嵌合せず上部回転板５がノブボルト１５上に乗り上げ
るなどして浮き上がって装着されている場合には、光学
的検知ライン２６，２７の光軸のうち少なくとも何れか
を上部プレート１９の上端部が遮ることになる。これら
の光軸を上部プレート１９が遮ったことを光センサが検
知した場合には、回転制御手段９が駆動モータ４を制御
して回転させないように制御する。この場合には、ラン
プやブザーなどによる警報を出力するようにしておけ
ば、上部回転板５の浮き上がりをその回転に先立って直
すことができる。

【００１９】また、上部回転板５の孔部１６がリングプ
レート１４のノブボルト１５に対して確実に嵌合して浮
くこと無く水平に装着されている場合には、光学的検知
ライン２６，２７の光軸を上部プレート１９の上端部が
遮ることがない。このような場合には、駆動モータ４に
よって、基板２上の中央部に処理液が乗せられた状態で
半密閉空間内の空気といっしょに基板２を上部回転板５
および回転台１１と共に一体に回転させて基板２上の処
理液を遠心力によって拡散させ、基板２上に処理液を薄
膜状に均一に塗布することができる。このとき、これら
の光軸のうち少なくとも何れかを上部プレート１９の上
端部が少なくとも一部遮ったことを光センサが検知した
場合にはノブボルト１５と孔部１６の嵌合が何処かで外
れたと判断して、回転の途中であってもその回転を停止
させるように回転制御手段９が駆動モータ４を制御す
る。

【００２０】この回転塗布終了後に、着脱手段７によっ
て支持部材６と共にフックプレート２２を上昇させて、
フックプレート２２のフックピン２３を上部プレート１
９の嵌合孔２０に嵌合させて、リングプレート１４上に
載置された上部回転板５を上昇させ、上部回転板５の外
周縁部の孔部１６からノブボルト１５を離脱させ、リン
グプレート１４の中央開口部を開放して基板２を取り出
す。

【００２１】したがって、本発明においては、光センサ
の投光部２４と受光部２５によって上部回転板５の装着
状態を、上部回転板５がノブボルト１５上に乗り上げて
浮いているかどうかを検出することで監視している。リ
ングプレート１４に対して上部回転板５が載置されてセ
ットされたにもかかわらず、リングプレート１４のノブ
ボルト１５に上部回転板５が嵌合せず浮き上がっている
と光センサが検出したときには、回転制御手段９を介し
て回転台１１と共に上部回転板５を回転させないように
すれば、回転始めや回転中に一体的に回転する上部回転
板５が飛んで各部に当たりその衝撃で装置が破損するこ
とを未然に防止することができる。

【００２２】なお、本実施形態では、装着状態検知手段
として透過型の光センサを用いたが、これに限らず、反
射型の光センサや近接センサを用いてもよく、また、機
械式のスイッチなども用いることができる。この機械式
のスイッチの場合にはその取付が複雑になると共にその
取付精度も必要になるという問題を有している。

【００２３】また、本実施形態では、図４（ａ）に示す
ように、投光部２４から受光部２５への光学的検知ライ
ン２６，２７は、環状で鍔状の上部プレート１９の中心
点に対して対称な位置上を平行に通るように２ラインと
し、これらの光学的検知ライン２６，２７の光軸のうち
少なくとも何れかを上部プレート１９の上端部が少なく
とも一部遮ったことを検知した場合に、ノブボルト１５
と孔部１６の嵌合が何処かで外れていると判断して、上
部回転板５を回転させないように回転制御手段９が駆動
モータ４を制御する構成としたが、図４（ｂ）に示すよ
うに、投光部２４から受光部２５への光学的検知ライン
２８，２９が互いに直交するように投光部２４および受
光部２５の組みを２組み配設することもでき、このよう
な光学的検知ライン２８，２９の直交する場合を含め
て、回転中心またはその近傍位置で所定角度でクロスす
るように、対向した投光部２４および受光部２５の組み
を２組みそれぞれ配設することもできて、ノブボルト１
５と上部回転板５の孔部１６の嵌合不良による浮き上が
りを確実に検出することができる。

【００２４】さらに、本実施形態では、互いに対向して
配設された支持部材２１にそれぞれ、光センサの投光部
２４および受光部２５を配設したが、図５に示すよう
に、フックプレート２２上にスタッドボルトを介してフ
レーム３１を取り付け、このフレーム３１の両端部の正
面側にそれぞれ、センサ取付板３２がその上下方向の長
穴を介して固定ねじ３３で取り付けられている。また、
フレーム３１の両端部の上面側にそれぞれ、センサ高さ
調整用の調整ねじ３４を持った支持板３５がそれぞれ取
り付けられており、この調整ねじ３４の先端部をセンサ
取付板３２の上端部に螺合して吊り下げるように構成し
ている。これらのセンサ取付板３２の一方には光センサ
の投光部３６が取り付けられ、他方には光センサの受光
部３７が取り付けられている。これらの投光部３６およ
び受光部３７の配置高さを調整するときには、固定ねじ
３３を緩めて調整ねじ３４を右回転させればセンサ取付
板３２が上下方向の長穴に沿って上方向に移動し、調整
ねじ３４を左回転させればセンサ取付板３２が上下方向
の長穴に沿って下方向に移動することになり、センサ高
さを精度良く調整することができる。この調整後に固定
ねじ３３を締め付けてセンサ取付板３２を固定する。以
上のようにしてフレーム３１の両端部にそれぞれ投光部
３６と受光部３７がそれぞれ取り付けられたセンサ部３
８が環状のフックプレート２２上に固定され、このセン
サ部３８と上部プレート１９を介して対向するフックプ
レート２２上の位置に別のセンサ部３８が固定される。
これらの対向した一方のセンサ部３８の投光部３６が他
方のセンサ部３８の受光部３７に光軸が一致するように
対向し、かつ、一方のセンサ部３８の受光部３７が他方
のセンサ部３８の投光部３６に光軸が一致するように対
向して配置されている。その他は、上記実施形態と同様
に、所定ピッチで平行な光学的検知ライン２６，２７の
光軸のうち少なくとも何れかを上部プレート１９の上端
部が少なくとも一部遮ったことを検知した場合に、ノブ
ボルト１５と上部回転板５の孔部１６の嵌合が何処かで
外れていると判断して、上部回転板５を回転させないよ
うに回転制御手段９が駆動モータ４を制御するようにす
ればよい。このように構成すれば、光センサの投光部３
６および受光部３７を容易に精度良く取り付けることが
でき、その高さ調整も容易に行うことができる。また、
これらの１組みの光学的検知ライン２６，２７を２組み
互いにクロスするように設けて、ノブボルト１５と上部
回転板５の孔部１６の嵌合不良による上部回転板５の浮
き上がりをより正確に検出するようにしてもよい。

【００２５】

【発明の効果】以上のように本発明によれば、装着状態
検出手段で上部回転板の装着状態を検出し、この検出し
た装着状態に応じて回転手段を制御している。例えば回
転支持手段に対して上部回転板が載置されてセットされ
たにもかかわらず、回転支持手段に上部回転板が嵌合せ
ず浮き上がっているような場合には、これを、装着状態
検出手段が検出して回転制御手段で回転支持手段と共に
上部回転板を回転させないようにすれば、回転始めや回
転中に一体的に回転する上部回転板が飛んで各部に当た
って装置が衝撃で破損するようなことを防止することが
できる。また、この破損した装置の修復のために装置の
可動率が大幅に低下してしまうという事態も防止するこ
とができる。

【００２６】また、装着状態検出手段を、投光部と受光
部とを有する透過型の光学的検出手段で構成すれば、上
部回転板の浮き上がりを容易に検出することができる。
また、投光部から受光部への検出用の光軸を２ライン以
上設ければ、回転支持手段に対する上部回転板の嵌合不
良による浮き上がりを確実に検出することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施形態における回転式塗布装置の
正面概略構成を示す一部断面図である。

【図２】図１の回転式塗布装置の平面図である。

【図３】図１の回転式塗布装置の上部回転板が傾斜して
装着された場合の正面概略構成を示す一部断面図であ
る。

【図４】光学的検知ラインの光軸位置関係を示す模式図
であって、（ａ）は平行光軸の場合を示す図、（ｂ）は
クロス光軸の場合を示す図である。

【図５】光センサの他の取付例を示す要部構成図であ
る。

【図６】従来の回転式塗布装置の上部回転板が装着され
る前の概略構成を示す要部正面図である。

【図７】従来の回転式塗布装置の上部回転板が傾斜して
装着された場合の概略構成を示す要部正面図である。

【符号の説明】

１ 回転式塗布装置 ２ 基板 ３ 回転支持手段 ４ 駆動モータ（回転手段） ５ 上部回転板 ６ 係合部材 ７ 着脱手段 ８ 装着状態検出手段 ９ 回転制御手段 １１ 回転台 １４ リングプレート １５ ノブボルト １６ 孔部 １９ 上部プレート ２０ 嵌合孔 ２２ フックプレート ２３ フックピン ２４，３６ 投光部 ２５，３７ 受光部 ２６，２７，２８，２９ 光学的検知ライン ３１ フレーム ３２ センサ取付板 ３４ 調整ねじ ３５ 支持板 ３８ センサ部

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 回転支持手段上に支持された基板を回転
   手段で回転させることによって前記基板の表面に供給さ
   れた塗布液を遠心力を用いて薄膜状に塗布する回転式塗
   布装置において、 前記回転支持手段上に装着可能であり、回転支持手段に
   装着された状態で、回転手段によって回転支持手段と一
   体に回転する上部回転板と、 前記回転支持手段に対して前記上部回転板を着脱させる
   着脱手段と、 前記着脱手段によって前記回転支持手段に前記上部回転
   板を装着させた状態で、前記回転支持手段に対する前記
   上部回転板の装着状態を検出する装着状態検出手段と、 前記装着状態検出手段による前記上部回転板の装着状態
   に応じて前記回転手段を制御する回転制御手段とを備え
   たことを特徴とする回転式塗布装置。
2. 【請求項２】 前記着脱手段は、前記上部回転板と回転
   支持手段の何れかを昇降させて前記上部回転板と回転支
   持手段の嵌合を着脱させる構成とし、前記装着状態検出
   手段は、前記回転支持手段に対する前記上部回転板の浮
   き上がりを検出する構成としたことを特徴とする請求項
   １記載の回転式塗布装置。
3. 【請求項３】 前記装着状態検出手段は、前記回転支持
   手段に対する前記上部回転板の浮き上がりを光学的に検
   知する投光部と受光部とを有し、前記上部回転板が浮き
   上がらず装着されている場合は前記上部回転板が前記投
   光部から前記受光部への光軸を遮ることなく、前記上部
   回転板が浮き上がって装着されている場合は前記上部回
   転板が前記光軸を少なくとも一部遮るような高さ位置に
   前記投光部と受光部が互いに対向して配設されているこ
   とを特徴とする請求項１または２記載の回転式塗布装
   置。
4. 【請求項４】 前記装着状態検出手段は、投光部から受
   光部への光軸を少なくとも２ライン有したことを特徴と
   する請求項１〜３の何れかに記載の回転式塗布装置。