JPH1064992A - ウエハケース - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 ケース同士の嵌合状態を保持（ロック）する
ための係合突起部に思わぬ外力が加えられる虞れがあっ
た。 【解決手段】 インナーケース１とその外側に嵌合可能
なアウターケース２とによって構成されたウエハケース
において、インナーケース１の開口周縁部８に所定個数
の係合突起部９を設けるとともに、その係合突起部９に
係脱可能な係止部１３をアウターケース２側に設け、イ
ンナーケース１にアウターケース２を嵌合して係合突起
部９と係止部１３とを係止することにより両ケースの嵌
合状態を保持するロック機構を備えたものであって、係
合突起部９と係止部１３との係止状態において係合突起
部９の突端と同一又はそれよりも大きくケース外方に突
出する張出保護部１４，１５を、係合突起部９と係止部
１３との係止位置に近接してアウターケース２に設けた
ものである。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、所定枚数のウエハ
を収納するウエハケースに関するものである。

【０００２】

【従来の技術】一般に、半導体ウエハを収納するウエハ
ケースとして、所定枚数のウエハを重ねて収納可能な筒
状のケース本体に、その開口部を塞ぐように蓋体を被せ
て嵌合する、タッパー方式と呼ばれるものが公知となっ
ている。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら上記タッ
パー方式のウエハケースでは、ケース本体から蓋体が外
れやすいために、ウエハの飛び出し事故を招く危険があ
り、ウエハ搬送時において製品の保護に万全を期し得な
い状況であった。また従来においては、ケース本体と蓋
体との嵌合部分に雄雌の螺子を形成し、ケース本体に蓋
体をねじ込むことで両者の嵌合状態を保持（ロック）す
る形式のものも提案されているが、この方式では蓋体の
着脱が面倒になるという別の問題があった。

【０００４】そこで本出願人は、ウエハケースの嵌合ロ
ックを簡易に行い得るケース構造を特願平８−１１３１
４号明細書の中で開示している。この先願技術では、イ
ンナー側のケース（以下、インナーケース）とアウター
側のケース（以下、アウターケース）で構成されてお
り、インナーケースに設けた係合突起部をアウターケー
ス側の係止部に係止することで、ケース同士の嵌合状態
を簡易に保持（ロック）できるようになっている。とこ
ろが上記先願技術においては、インナーケースの係合突
起部をアウターケースの係止部に係止させたときに、係
合突起部がアウターケースから突出した状態となるた
め、そこに物がぶつかるなどして、係合突起部に思わぬ
外力が加えられる虞れがあった。

【０００５】

【課題を解決するための手段】本発明は、上記問題を解
決するためになされたもので、所定枚数のウエハを収納
可能なケース本体を、ウエハの外径に対応した筒状のイ
ンナーケースと該インナーケースの外側に嵌合可能な筒
状のアウターケースとによって構成してなるウエハケー
スにおいて、インナーケースの外周部に所定個数の係合
突起部を設けるとともに、その係合突起部に係脱可能な
係止部をアウターケース側に設け、インナーケースにア
ウターケースを嵌合して係合突起部と係止部とを係止す
ることにより両ケースの嵌合状態を保持するロック機構
を備えたものであって、係合突起部と係止部との係止状
態において係合突起部の突端と同一又はそれよりも大き
くケース外方に突出する張出保護部を、係合突起部と係
止部との係止位置に近接してアウターケースに設けた構
成となっている。

【０００６】この構成においては、インナーケースに設
けた係合突起部をアウターケース側の係止部に係止し、
これによってケース同士の嵌合状態を保持（ロック）し
た状態でも、係合突起部がアウターケースから突出せず
に張出保護部によって保護されるため、不用意な外力が
係合突起部に加えられることが皆無となる。

【０００７】

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態につい
て図面を参照しつつ詳細に説明する。図１は、本発明に
係るウエハケースの第１実施形態を示す分解斜視図であ
り、図２及び図３は、ケース本体を構成するインナーケ
ースとアウターケースの構造を示す三面図（（ａ）平面
図、（ｂ）側断面図、（ｃ）底面図）である。

【０００８】図示のように本第１実施形態のウエハケー
スは、主として、インナーケース１とアウターケース２
とから構成されており、収納物品として略円板状のウエ
ハ３を対象としている。このうち、インナーケース１
は、円形の底板４と、この底板４の周縁部から起立した
周壁５とによって筒状に形成されている。このインナー
ケース１の内径は、収納すべきウエハ３の外径よりも僅
かに（例えば０．２〜１．５ｍｍ程度）大きく設定され
ている。また底板４の下面側には、ケース中心から同心
円状に底尻６ａ，６ｂが突出形成されている。この底尻
６ａ，６ｂは、底板４の下面を基準に互いの突出量が均
一になるように形成されている。

【０００９】一方、底板４の反対側には、ウエハ３を出
し入れするための開口部７が設けられている。さらに、
その開口周縁部８には所定個数（図例では４個）の係合
突起部９，９，・・が設けられている。各々の係合突起
部９は、インナーケース１の周壁５に沿って上方に突出
し、その先端側が開口周縁部８に沿って曲げられること
で、開口周縁部８に略平行な切溝９ａを有している。こ
の切溝９ａの上下幅は、インナーケース１に嵌合される
アウターケース２の厚みと略同一寸法に設定されてい
る。さらに、各係合突起部９の先端には、切溝９ａ側に
凸となる突部９ｂが一体形成されている。この突部９ｂ
については、図示のように１個だけでなく、切溝９ａの
奥側に向けて複数個形成するようにしてもよい。

【００１０】なお、上述した係合突起部９については、
その強度を上げるために、インナーケース１の肉厚より
も厚く形成するようにしてもよく、また周壁５よりもケ
ース内方又はケース外方に位置をずらして形成するよう
にしてもよい。

【００１１】アウターケース２は、上述したインナーケ
ース１の開口部７を閉塞する円形の天板１０と、この天
板１０の周縁部から垂下した周壁１１とによって筒状に
形成されている。このアウターケース２の内径は、嵌合
対象となるインナーケース１の外径よりも僅かに（例え
ば０．２〜１．５ｍｍ程度）大きく設定されている。ま
た、天板１０の周縁部には、インナーケース１側の係合
突起部９を挿通可能な透孔１２，１２，・・が穿設され
ており、各透孔１２の一端側に位置する天板１０の一部
が上記係合突起部９に係脱可能な係止部１３を構成して
いる。

【００１２】さらにアウターケース２の天板１０上に
は、その周縁部から起立するかたちで第１の張出保護部
１４が突出形成され、その内側に上記透孔１２を介して
第２の張出保護部１５が突出形成されている。これらの
張出保護部１４，１５は、上記係合突起部９と係止部１
３との係止位置（図例では係止部１３の位置がそのまま
係止位置となる）に出来るだけ近接するよう、互いの間
隔が極力狭く設定されている。また、天板１０を基準と
した各張出保護部１４，１５の突出寸法は、天板１０の
透孔１２にインナーケース１側の係合突起部９を挿通
し、この係合突起９を係止部１３に係止した状態の下
で、天板１０から突出する係合突起部９の突端と同一又
はそれよりも大きくケース外方（この場合はケース上
方）に突出するように設定されている。

【００１３】これに加えてアウターケース２の天板１０
上には、第２の張出保護部１５の内側にそれと同心円状
の張出部１６が突出形成されている。また、ケース外筒
となる周壁１１には、互いに対向するかたちで４つの切
欠部１７が形成されている。これらの切欠部１７は、ア
ウターケース２でのウエハ３の出し入れに際して、ウエ
ハ３の移載に用いられる簡易治具（ピンセット等）や移
載用ロボットのアーム等を通すためのものである。

【００１４】ちなみに、インナーケース１に設けた底尻
６ａ，６ｂとアウターケース２に設けた張出保護部１
４，１５及び張出部１６は、それぞれのケースを補強す
る機能も兼ねている。また、インナーケース１及びアウ
ターケース２の材料としては、いずれも適度な弾性を有
しかつウエハ３に影響のないピュアな合成樹脂、例えば
ポリプロピレン等が好適である。

【００１５】続いて、上記構成からなるウエハケースの
使用形態について説明する。先ず、インナーケース１の
底板４上に、必要に応じてスポンジ等の緩衝材を置き、
インナーケース１の内部に所定枚数（例えば２５枚ある
いは５０枚）のウエハ３を積層して収納する。このと
き、ウエハ３の最上面に上記同様の緩衝材を置いてもよ
い。

【００１６】次に、インナーケース１の上方からアウタ
ーケース２を被せて押し込み、これによってインナーケ
ース１とアウターケース２とを嵌合させる。その際、イ
ンナーケース１の周壁５とアウターケース２の周壁１１
とが、互いに圧縮・拡開しながら嵌め込まれるように、
両ケースの開口部分を若干外開き状に形成しておくこと
により、インナーケース１とアウターケース２とをガタ
ツキなく嵌合させることができる。また、上述のように
アウターケース２の周壁１１に適宜切欠部１７を設ける
ようにすれば、特に無理な力を加えなくても、両ケース
をよりスムーズに嵌合させることができる。

【００１７】このケース同士の嵌合に際しては、図４に
示すように、インナーケース１の係合突起部９をアウタ
ーケース２の透孔１２に挿通させるとともに、インナー
ケース１の周壁５上端をアウターケース２の天板２に突
き当てる。これにより図５（ａ）に示すように、インナ
ーケース１の係合突起部９が透孔１２を通してアウター
ケース２の天板２上に突出した状態となる。

【００１８】続いて、アウターケース２を時計方向に回
転させ、これによって図５（ｂ）に示すように、透孔１
２脇の係止部１３を係合突起部９の切溝９ａに嵌め込ん
で係止させる。このとき、先にも述べたように、係合突
起部９の切溝９ａの上下幅を、アウターケース２の肉厚
分に相当する係止部３の厚み寸法と略同一に設定してお
けば、係合突起部９に形成した突部９ｂの存在によって
切溝９ａが係止部１３により拡開され、これによる反力
（挟持力）が係止部１３に加えられるため、両者の間に
より確実な係止状態を得ることができる。

【００１９】この状態ではインナーケース１側の係合突
起部９とアウターケース２側の係止部１３との係止状態
により、インナーケース１とアウターケース２との嵌合
状態が保持（ロック）されるため、ケース同士が外れる
ことに起因したウエハ３の飛び出し事故や、これに伴う
ウエハ３の破損事故等を防止することができる。また、
上記係止状態においては、係合突起部９と係止部１３と
の係止位置に対して、その両側に張出保護部１４，１５
が近接配置されることから、アウターケース２の上端か
ら係合突起部９が突出せず、その係合突起部９が張出保
護部１４，１５によって保護される。したがって、不用
意な外力が係合突起部９に加えられることが皆無となる
ため、両ケースの嵌合状態をより確実に保持することが
できる。さらに、アウターケース２の天板１０上に張出
保護部１４，１５を一体形成しただけの簡単な構造であ
るため、きわめて低コストにて実施することができる。

【００２０】ちなみに、目的場所等に搬送されたウエハ
ケースからウエハ３を取り出す場合は、アウターケース
２が下側となるようにケース本体を所定箇所に置き、こ
の状態のままインナーケース１を反時計方向に回転させ
る。これにより、係合突起部９と係止部１３との係止状
態、つまり嵌合ロック状態が解除されるため、そのまま
係合突起部９を透孔１２に通すようにインナーケース１
を真上に引き抜くと、所定枚数のウエハ３はアウターケ
ース２側に収納されたかたちで残る。このとき、アウタ
ーケース２の周壁１１とウエハ３との間には、両ケース
間の内径差によって必要かつ十分なクリアランスが確保
されるため、ウエハ３を取り出すにあたって、周壁１１
との衝突を確実に回避することができる。

【００２１】ところで、上述のように係合突起部９と係
止部１３との係止位置に近接して張出保護部１４，１５
を設けるようにすると、張出保護部１４，１５が邪魔に
なって両者の係止状態が外部から見えにくくなることが
懸念される。そこで本実施形態では、以下の構成を採用
することで上述の懸念を解消するようにした。

【００２２】すなわち、係止部１３が係合突起部９に係
止されている嵌合ロック状態と、係止部１３が係合突起
部９に係止されていない嵌合アンロック状態とを目視確
認するための目印として、例えばアウターケース２の天
板１０上面でかつ係止部１３に相当する部分に、その周
辺部分とは異なる警告色（赤色等）のマークを設けるよ
うにする。そして、係止部１３が係合突起部９に係止さ
れた状態では上記マークが係合突起部９によって隠れ、
係止状態が解除（不完全も含む）された状態でのみ上記
マークが見えるようにする。

【００２３】これにより、上述のように係止位置に近接
して張出保護部１４，１５を設けた場合でも、上記マー
クが見えるか否かによって、嵌合ロック状態か嵌合アン
ロック状態かを外部からでも容易に目視確認できるよう
になる。その結果、嵌合アンロック状態であるのに嵌合
ロック状態であると誤認してウエハケースを持ち上げて
しまい、これによってケース同士が外れてウエハ３が飛
散するという重大事故を未然に防止することが可能とな
る。

【００２４】なお、上記第１実施形態においては、イン
ナーケース１の開口周縁部８に係合突起部９を設け、こ
れに対応してアウターケース２の天板１０周縁部に透孔
１２を設けた構成を例に挙げて説明したが、本発明に係
るウエハケースはこれに限定されるものではない。例え
ば図６（ａ），（ｂ）に示すように、インナーケース１
の周壁５の外周面に所定個数の係合突起部１８（切溝付
き）を設けるとともに、その係合突起部１８に対応して
アウターケース２の切欠部１７の縦辺にスリット１７ａ
を形成し、このスリット１７ａの部分を上記係合突起部
１８に係脱可能に構成したものに対し、その係止位置に
近接したかたちでアウターケース２の周壁１１の外周面
につば状の張出保護部１９ａ，１９ｂを設けるようにし
てもよい。

【００２５】この構成においては、アウターケース２の
周壁１１から突出する係合突起部１８を張出保護部１９
ａ，１９ｂで保護できるうえに、つば状の張出保護部１
９ａ，１９ｂを引っ掛かり部分としてウエハケースを持
ち上げることができるため、ケース運搬時の安全性も確
保される。

【００２６】図７は、本発明に係るウエハケースの第２
実施形態を示す分解斜視図であり、図８及び図９は、ケ
ース本体を構成するインナーケースとアウターケースの
構造を示す三面図（（ａ）平面図、（ｂ）側断面図、
（ｃ）底面図）、さらに図１０は、アウターケース上に
装着されるロックキーの構造を示す三面図（（ａ）平面
図、（ｂ）側断面図、（ｃ）底面図）である。

【００２７】図示のように本第２実施形態のウエハケー
スは、主として、インナーケース２０とアウターケース
２１とロックキー２２とから構成されており、収納物品
として略円板状のウエハ２３を対象としている。このう
ち、インナーケース２０は、円形の底板２４と、この底
板２４の周縁部から起立した周壁２５とによって筒状に
形成されている。このインナーケース２０の内径は、収
納すべきウエハ２３の外径よりも僅かに（例えば０．２
〜１．５ｍｍ程度）大きく設定されている。また底板２
４の下面側には、ケース中心から同心円状に底尻２６
ａ，２６ｂが突出形成されている。この底尻２６ａ，２
６ｂは、底板２４の下面を基準に互いの突出量が均一に
なるように形成されている。

【００２８】一方、底板２４の反対側には、ウエハ２３
を出し入れするための開口部２７が設けられている。さ
らに、その開口周縁部２８には所定個数（図例では４
個）の係合突起部２９，２９，・・が設けられている。
各々の係合突起部２９は、インナーケース２０の周壁２
５に沿って上方に突出し、その先端側が開口周縁部２８
に沿って曲げられることで、開口周縁部２８に略平行な
切溝２９ａを有している。この切溝２９ａの上下幅は、
アウターケース２１上に装着されるロックキー２２の厚
みと略同一寸法に設定されている。また、係合突起部２
９の切溝２９ａと開口周縁部２８との間には段差Ｈ（図
８）が設けられており、この段差Ｈがアウターケース２
１の肉厚分と略同一寸法に設定されている。なお、図示
はしないが、上記第１実施形態と同様に、各係合突起部
２９の先端位置において、切溝２９ａ側に凸となる突部
を設けるようにしてもよい。

【００２９】アウターケース２１は、上述したインナー
ケース２０の開口部２７を閉塞する円形の天板３０と、
この天板３０の周縁部から垂下した周壁３１とによって
筒状に形成されている。このアウターケース２１の内径
は、嵌合対象となるインナーケース２０の外径よりも僅
かに（例えば０．２〜１．５ｍｍ程度）大きく設定され
ている。また、天板３０の周縁部には、インナーケース
２０側の係合突起部２９を挿通可能な透孔３２，３２，
・・が穿設されている。

【００３０】さらにアウターケース２１の天板３０上に
は、その周縁部から起立するかたちで、先述の張出保護
部に相当する張出縁３３が突出形成されている。この張
出縁３３は、上記係合突起部２とこれに係止されるアウ
ターケース２１側の係止部（後述）との係止位置に近接
するかたちで設けられている。また、天板３０を基準と
した張出縁３３の突出寸法は、天板３０の透孔３２にイ
ンナーケース２０側の係合突起部２９を挿通して上記係
止部と係止させた際に、天板３０から突出する係合突起
部２９の突端と同一又はそれよりも大きくケース外方
（この場合はケース上方）に突出するように設定されて
いる。

【００３１】これに加えてアウターケース２１の天板３
０上には、張出縁３３の内側にそれと同心円状の張出部
３４が突出形成されている。また、張出縁３３の内周面
には、上述した透孔３２，３２，・・の相互間に位置し
て、一対の押え片３５，３５と一対の操作支持片３６，
３６とがそれぞれ対向する状態で形成されている。この
うち、一対の押え片３５は、天板３０上でのロックキー
２２の浮き上がりを規制するもので、天板１０の上面か
らロックキー２２の厚み分の距離を隔てた高さに、上記
張出縁３３の内周面から僅か（１〜２ｍｍ程度）に突出
する状態で形成され、その真下に係合スリット３７が設
けられている。加えて、ケース外筒となる周壁３１に
は、互いに対向するかたちで４つの切欠部３８が形成さ
れている。これらの切欠部３８は、先にも述べた通り、
アウターケース２１でのウエハ２３の出し入れに際し
て、ウエハ２３の移載に用いられる簡易治具（ピンセッ
ト等）や移載用ロボットのアーム等を通すためのもので
ある。

【００３２】ロックキー２２は、薄板状のリング構造を
なすもので、アウターケース２１の天板３０上に、上述
の張出縁３３をガイドとして回動自在に装着される。こ
のロックキー２２は、張出縁３３の代わりに、その内側
の張出部４をガイドとしてアウターケース２１上に回動
自在に装着してもよく、また単に孔無しの円板状に形成
してもよい。このロックキー２２の周縁部には、上記ア
ウターケース２１側の透孔３２，３２，・・に対応する
切欠３９，３９，・・と、操作支持片３５，３５に対応
する切欠凹部４０，４０が形成されている。さらにロッ
クキー２２の下面周縁部には、アウターケース２１側の
係合スリット３７，３７に対応する微小突部４１，４１
が設けられている。

【００３３】このうち、切欠３９は、透孔３２を挿通し
た係合突起部２９をアウターケース２１の天板３０上に
突出させるためのもので、その切欠３９の一端側に位置
するロックキー２２の一部が上記係合突起部２９に係脱
可能な係止部４２を構成している。一方、切欠凹部４０
は、操作支持片３５を収容可能な大きさを有し、その操
作支持片３５を収容した状態では、ロックキー２２を所
定の角度範囲で回動し得るようになっている。また各々
の切欠凹部４０の両端からは、ロックキー２２を回動操
作するための手懸かり部４３，４３が起立状態に形成さ
れ、その間を連結部４４にて連結している。微小突起３
１は、ロックキー２２をアウターケース２１に装着した
状態で上記係合スリット３７に嵌め込まれるもので、ケ
ース同士の嵌合ロック状態を解除すべくロックキー２２
を反時計方向に回転させた際、上記係合スリット３７の
エッジ部分に突き当たってロックキー２２の回動停止位
置を規制する。

【００３４】続いて、上記構成からなるウエハケースの
使用形態について説明する。先ず、インナーケース２０
の底板２４上に、必要に応じてスポンジ等の緩衝材を置
き、インナーケース２０の内部にウエハ２３を積層して
収納する。このとき、ウエハ２３の最上面に上記同様の
緩衝材を置いてもよい。

【００３５】次に、アウターケース２１の透孔３２とロ
ックキー２２の切欠３９とを位置合わせした状態で、イ
ンナーケース２０の上方からロックキー２２付きのアウ
ターケース２１を被せて押し込み、これによってインナ
ーケース２０とアウターケース２１とを嵌合させる。そ
の際、上記第１実施形態と同様に、インナーケース２０
の周壁２５とアウターケース２１の周壁３１とが、互い
に圧縮・拡開しながら嵌め込まれるように、両ケースの
開口部分を若干外開き状に形成しておくことにより、イ
ンナーケース２０とアウターケース２１とをガタツキな
く嵌合させることができる。また、上述のようにアウタ
ーケース２１の周壁１１に適宜切欠部３８を設けるよう
にすれば、特に無理な力を加えなくても、両ケースをよ
りスムーズに嵌合させることができる。

【００３６】このケース同士の嵌合に際しては、図１１
に示すように、インナーケース２０の係合突起部２９を
アウターケース２１の透孔３２に挿通させるとともに、
インナーケース２９の周壁２５上端をアウターケース２
１の天板３０に突き当てる。これにより図１２（ａ）に
示すように、インナーケース２０の係合突起部２９が透
孔３２を挿通し、さらにロックキー２２の切欠３９を通
してアウターケース２の天板２上に突出した状態とな
る。この状態では、図１３（ａ）に示すように、ロック
キー２２を後述のごとく時計方向に回動し得るように、
ロックキー２２の切欠凹部４０内でアウターケース２１
の操作支持片３５が一方向に偏って配置される。

【００３７】続いて、ロックキー２２を時計方向に回転
させ、これによって図１２（ｂ）及び図１３（ｂ）に示
すように、切欠３９脇の係止部４２を係合突起部２９の
切溝２９ａに嵌め込んで係止させる。このとき、アウタ
ーケース２１側の操作支持片３５とロックキー２２側の
手懸かり部４３とに指先（例えば親指と人指し指）を引
っ掛け、これを挟み込むようにすれば、アウターケース
２１上でロックキー２２をスムーズに回動させることが
できる。また、係合突起部２９を係止部４２に係止させ
る際に、係合突起部２９の切溝２９ａが係止部４２によ
って拡開されるように各部の寸法を適宜設定しておけ
ば、これによる反力（挟持力）が係止部４２に加えられ
るため、両者の間により確実な係止状態を得ることがで
きる。

【００３８】この状態ではインナーケース２０の係合突
起部２９とロックキー２２の係止部４２との係止状態に
より、インナーケース２０とアウターケース２１との嵌
合状態が保持（ロック）されるため、ケース同士が外れ
ることに起因したウエハ２３の飛び出し事故や、これに
伴うウエハ２３の破損事故等を防止することができる。
また、上記係止状態においては、係合突起部２９と係止
部４２との係止位置に対して、張出保護部に相当する張
出縁３３が近接配置されることから、アウターケース２
１の上端から係合突起部２９が突出せず、その係合突起
部２９が張出縁３３によって保護される。したがって、
不用意な外力が係合突起部２９に加えられることが皆無
となるため、両ケースの嵌合状態をより確実に保持する
ことができる。さらに、アウターケース２１の天板３０
上にロックキー２２を回動自在に装着し、このロックキ
ー２２を回動操作するだけで嵌合ロック状態が得られる
構成としたので、ウエハケース自体の取り扱いもきわめ
て簡便なものとなる。

【００３９】加えて、本第２実施形態においても、係止
部４２が係合突起部２９に係止されている嵌合ロック状
態と、係止部４２が係合突起部２９に係止されていない
嵌合アンロック状態とを目視確認するための目印とし
て、例えばアウターケース２１の天板３０上面でかつ操
作支持辺３６の近傍か、あるいはロックキー２２の上面
でかつ係止部４２に相当する部分に、その周辺部分とは
異なる警告色（赤色等）のマークを設け、係止部４２が
係合突起部２９に係止された状態では上記マークがロッ
クキー２２又は係合突起部２９によって隠れ、係止状態
が解除（不完全も含む）された状態でのみ上記マークが
見えるようにすることで、嵌合ロック状態か嵌合アンロ
ック状態かを外部からでも容易に目視確認できるように
なる。

【００４０】ちなみに、目的場所等に搬送されたウエハ
ケースからウエハ２３を取り出す場合は、先程と逆の手
順でロックキー２２を反時計方向に回転させ、これによ
り嵌合ロック状態を解除してから、アウターケース２１
が下側となるようにケース本体を所定箇所に置く。この
とき、アウターケース２１の張出縁３３の内周面に押え
片３５が設けられていることから、この押え片３５に引
っ掛かったかたちでロックキー２２の脱落が阻止され
る。

【００４１】次に、係合突起部２９を透孔３２に通すよ
うにしてインナーケース２０を真上に引き抜くと、所定
枚数のウエハ２３はアウターケース２１側に収納された
かたちで残る。このとき、アウターケース２１の周壁３
１とウエハ２３との間には、先の第１実施形態と同様
に、必要かつ十分なクリアランスが確保されるため、ウ
エハ２３を取り出すにあたって、周壁３１との衝突を確
実に回避することができる。

【００４２】

【発明の効果】以上説明したように本発明のウエハケー
スによれば、インナーケースの係合突起部とアウターケ
ース側の係止部との係止状態において、係合突起部の突
端と同一又はそれよりも大きくケース外方に突出する張
出保護部を、係合突起部と係止部との係止位置に近接し
て設けるようにしたので、ケース同士の嵌合状態を保持
（ロック）した状態でも、係合突起部がアウターケース
から突出せずに張出保護部によって保護される。これに
より、不用意な外力が係合突起部に加えられることが皆
無となるため、インナーケースとアウターケースとの嵌
合状態をより確実に保持することができる。また、アウ
ターケースに張出保護部を設けただけの簡単な構造であ
るため、きわめて低コストにて実施することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係るウエハケースの第１実施形態を示
す分解斜視図である。

【図２】第１実施形態におけるインナーケースの構造説
明図である。

【図３】第１実施形態におけるアウターケースの構造説
明図である。

【図４】第１実施形態でのケース嵌合状態を示す側断面
図である。

【図５】第１実施形態での係止／離脱状態を示す要部断
面図である。

【図６】第１実施形態の変形例を説明する図である。

【図７】本発明に係るウエハケースの第２実施形態を示
す分解斜視図である。

【図８】第２実施形態におけるインナーケースの構造説
明図である。

【図９】第２実施形態におけるアウターケースの構造説
明図である。

【図１０】第２実施形態におけるロックキーの構造説明
図である。

【図１１】第２実施形態でのケース嵌合状態を示す側断
面図である。

【図１２】第２実施形態での係止／離脱状態を示す要部
断面図である。

【図１３】第２実施形態での係止／離脱状態を示す斜視
図である。

【符号の説明】

１，２０ インナーケース ２，２１ アウターケー
ス ３，２３ ウエハ ４，２４ 底板 ５，２５ 周
壁 ７，２７ 開口部 ８，２８ 開口周縁部 ９，１
８，２９ 係合突起部 １０，３０ 天板 １１，３１ 周壁 １２，３２
透孔 １３，４２ 係止部 １４，１５，１９ａ，１９ｂ
張出保護部 ２２ ロックキー ３３ 張出縁 ３５ 押え片
３６ 操作支持片 ４０ 切欠凹部 ４３ 手懸かり部

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 渋谷 美乃利 東京都品川区北品川６丁目７番35号 ソニ ー株式会社内 (72)発明者 風間 均 埼玉県比企郡玉川村日野原42 東洋樹脂株 式会社埼玉工場内 (72)発明者 建部 春二 東京都江東区南砂２丁目10番12号 ヤマト 硝子株式会社内

Claims (8)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 所定枚数のウエハを収納可能なケース本
   体を、前記ウエハの外径に対応した筒状のインナーケー
   スと該インナーケースの外側に嵌合可能な筒状のアウタ
   ーケースとによって構成してなるウエハケースにおい
   て、 前記インナーケースの外周部に所定個数の係合突起部を
   設けるとともに、その係合突起部に係脱可能な係止部を
   前記アウターケース側に設け、前記インナーケースに前
   記アウターケースを嵌合して前記係合突起部と前記係止
   部とを係止することにより両ケースの嵌合状態を保持す
   るロック機構を備えたものであって、 前記係合突起部と前記係止部との係止状態において前記
   係合突起部の突端と同一又はそれよりも大きくケース外
   方に突出する張出保護部を、前記係合突起部と前記係止
   部との係止位置に近接して前記アウターケースに設けて
   なることを特徴とするウエハケース。
2. 【請求項２】 前記係止位置の両側に前記張出保護部を
   設けてなることを特徴とする請求項１記載のウエハケー
   ス。
3. 【請求項３】 前記係止部が前記係合突起部に係止され
   ている嵌合ロック状態と、前記係止部が前記係合突起部
   に係止されていない嵌合アンロック状態とを目視確認す
   るための目印を設けてなることを特徴とする請求項１記
   載のウエハケース。
4. 【請求項４】 円形の底板と該底板の周縁部から起立し
   た周壁とによって所定枚数のウエハを収納可能に形成さ
   れるとともに、前記底板の反対側に開口部を有し、かつ
   該開口周縁部に所定個数の係合突起部を設けてなる筒状
   のインナーケースと、 前記インナーケースの開口部を閉塞する円形の天板と該
   天板の周縁部から垂下した周壁とによって前記インナー
   ケースの外側に嵌合可能に形成されるとともに、前記イ
   ンナーケースとの嵌合時に前記係合突起部が挿通される
   透孔を前記天板の周縁部に設けてなる筒状のアウターケ
   ースと、 前記アウターケースの天板上に回動自在に装着されると
   ともに、前記透孔を挿通して前記天板上に突出した前記
   係合突起部に係脱可能な係止部を有し、この係止部を前
   記係合突起部に係止することによって前記インナーケー
   スと前記アウターケースとの嵌合状態を保持するロック
   キーとを備えたことを特徴とするウエハケース。
5. 【請求項５】 前記アウターケースの天板上にその周縁
   部に沿って張出縁を形成し、この張出縁内に前記ロック
   キーを回動自在に装着してなることを特徴とする請求項
   ４記載のウエハケース。
6. 【請求項６】 前記ロックキーに回動操作用の手懸かり
   部を設けてなることを特徴とする請求項４記載のウエハ
   ケース。
7. 【請求項７】 前記アウターケースの張出縁の内周面に
   前記ロックキーの浮き上がりを規制する押え片を設けて
   なることを特徴とする請求項５記載のウエハケース。
8. 【請求項８】 前記アウターケースの天板の周縁部に操
   作支持片を突出形成するとともに、 前記ロックキーの周縁部に前記操作支持片を収容可能な
   切欠凹部を形成し、かつ該切欠凹部の両端から起立する
   状態で前記手懸かり部を形成してなることを特徴とする
   請求項６記載のウエハケース。