JPH1069857A - シャドーマスク検査装置 - Google Patents
シャドーマスク検査装置Info
- Publication number
- JPH1069857A JPH1069857A JP8228276A JP22827696A JPH1069857A JP H1069857 A JPH1069857 A JP H1069857A JP 8228276 A JP8228276 A JP 8228276A JP 22827696 A JP22827696 A JP 22827696A JP H1069857 A JPH1069857 A JP H1069857A
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- mask
- mask surface
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- Testing Of Optical Devices Or Fibers (AREA)
- Manufacture Of Electron Tubes, Discharge Lamp Vessels, Lead-In Wires, And The Like (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 成形済シャドーマスクのフレームの影響を受
けず、マスク面全面の欠陥検査をすることができるシャ
ドーマスク検査装置を提供する。 【解決手段】 マスク面２に対向する位置に配設された
ミラー３と、前記マスク面２から前記ミラー３を介して
ラインセンサカメラ５に入射する光の光路がマスク面２
全面を走査するように前記ミラー３を回動させる回動手
段９とを有する。
けず、マスク面全面の欠陥検査をすることができるシャ
ドーマスク検査装置を提供する。 【解決手段】 マスク面２に対向する位置に配設された
ミラー３と、前記マスク面２から前記ミラー３を介して
ラインセンサカメラ５に入射する光の光路がマスク面２
全面を走査するように前記ミラー３を回動させる回動手
段９とを有する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、ＣＲＴ等の成形済
シャドーマスクのマスク面を撮像し、マスク面の欠陥検
査を行うシャドーマスク検査装置に関するものである。
シャドーマスクのマスク面を撮像し、マスク面の欠陥検
査を行うシャドーマスク検査装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】ＣＲＴ等のシャドーマスクは、そのマス
ク面の孔詰まりや孔径異常等の欠陥を自動検査装置によ
り検査されるようになってきた。そして、特にＣＲＴの
ガラスに組み込む直前の、図４に示すような、マスク面
２の周囲にフレーム４が形成された成形済シャドーマス
ク１のマスク面２の欠陥検査の重要性が増してきた。
ク面の孔詰まりや孔径異常等の欠陥を自動検査装置によ
り検査されるようになってきた。そして、特にＣＲＴの
ガラスに組み込む直前の、図４に示すような、マスク面
２の周囲にフレーム４が形成された成形済シャドーマス
ク１のマスク面２の欠陥検査の重要性が増してきた。
【０００３】従来のシャドーマスク検査装置は、図４〜
図６に示すように、２台のラインセンサカメラ５、５
と、成形済シャドーマスク１を載せそのマスク面２の長
手方向Ｘへ一定速度で搬送する搬送ステージ３１と、マ
スク面２の撮像部を下方から透過光を照射するバックラ
イト３２と、画像処理手段３３とを有する。
図６に示すように、２台のラインセンサカメラ５、５
と、成形済シャドーマスク１を載せそのマスク面２の長
手方向Ｘへ一定速度で搬送する搬送ステージ３１と、マ
スク面２の撮像部を下方から透過光を照射するバックラ
イト３２と、画像処理手段３３とを有する。
【０００４】２台のラインセンサカメラ５、５は、搬送
ステージ３１の上方に固定され、受光部を下方に向け、
搬送ステージ３１で搬送される成形済シャドーマスク１
のマスク面２をそのマスク面２の全幅（Ｙ方向）に渡る
ライン状の視野で撮像するように調整されている。この
とき画像処理手段３３は、搬送ステージ３１の搬送位置
と２台のラインセンサカメラ５、５の撮像信号とから得
られた画像を処理して、マスク面２の欠陥検査を行う。
ステージ３１の上方に固定され、受光部を下方に向け、
搬送ステージ３１で搬送される成形済シャドーマスク１
のマスク面２をそのマスク面２の全幅（Ｙ方向）に渡る
ライン状の視野で撮像するように調整されている。この
とき画像処理手段３３は、搬送ステージ３１の搬送位置
と２台のラインセンサカメラ５、５の撮像信号とから得
られた画像を処理して、マスク面２の欠陥検査を行う。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記従
来のシャドーマスク検査装置では、図５に示すように、
ラインセンサカメラ５、５が固定され成形済シャドーマ
スク１の移動が直線的であるので、ラインセンサカメラ
５、５から見たときの成形済シャドーマスク１のフレー
ム４に隠れたマスク面２の長手方向Ｘの両端部６、６の
撮像ができないという問題があった。又、成形済シャド
ーマスク１のマスク面２は球面の一部であるのに、ライ
ンセンサカメラ５が固定されているため、マスク面２の
撮像部位によりラインセンサカメラ５との間の光路長が
変化して特にマスク面２の長手方向Ｘの両端部６、６近
傍のピントがボケ易いという問題があった。
来のシャドーマスク検査装置では、図５に示すように、
ラインセンサカメラ５、５が固定され成形済シャドーマ
スク１の移動が直線的であるので、ラインセンサカメラ
５、５から見たときの成形済シャドーマスク１のフレー
ム４に隠れたマスク面２の長手方向Ｘの両端部６、６の
撮像ができないという問題があった。又、成形済シャド
ーマスク１のマスク面２は球面の一部であるのに、ライ
ンセンサカメラ５が固定されているため、マスク面２の
撮像部位によりラインセンサカメラ５との間の光路長が
変化して特にマスク面２の長手方向Ｘの両端部６、６近
傍のピントがボケ易いという問題があった。
【０００６】本発明は、かかる問題に鑑み、成形済シャ
ドーマスクのフレームの影響を受けず、マスク面全面の
欠陥検査をすることができるシャドーマスク検査装置を
提供することを目的とする。
ドーマスクのフレームの影響を受けず、マスク面全面の
欠陥検査をすることができるシャドーマスク検査装置を
提供することを目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】本発明は、上記目的を達
成するため、成形済シャドーマスクのマスク面の欠陥検
査を行うシャドーマスク検査装置において、前記マスク
面に対向する位置に配設されたミラーと、前記マスク面
から前記ミラーを介してラインセンサカメラに入射する
光の光路がマスク面全面を走査するように前記ミラーを
回動させる回動手段とを有することを特徴とする。
成するため、成形済シャドーマスクのマスク面の欠陥検
査を行うシャドーマスク検査装置において、前記マスク
面に対向する位置に配設されたミラーと、前記マスク面
から前記ミラーを介してラインセンサカメラに入射する
光の光路がマスク面全面を走査するように前記ミラーを
回動させる回動手段とを有することを特徴とする。
【０００８】本発明によれば、マスク面からラインセン
サカメラに入射する光の光路が成形済シャドーマスクの
フレームの背後に位置するマスク面をも走査するように
前記ミラーを回動させるので、マスク面全面を撮像する
ことができる。
サカメラに入射する光の光路が成形済シャドーマスクの
フレームの背後に位置するマスク面をも走査するように
前記ミラーを回動させるので、マスク面全面を撮像する
ことができる。
【０００９】本発明において、マスク面とラインセンサ
カメラ間の光路長を一定に保つようにミラーの回動に同
期して前記ラインセンサカメラをその光軸方向に駆動す
る駆動手段を有するように構成すると、前記駆動手段に
よりマスク面全面とラインセンサカメラ間の光路長がほ
ぼ一定に保たれるので、マスク面全面に渡ってシャープ
に撮像することができる。
カメラ間の光路長を一定に保つようにミラーの回動に同
期して前記ラインセンサカメラをその光軸方向に駆動す
る駆動手段を有するように構成すると、前記駆動手段に
よりマスク面全面とラインセンサカメラ間の光路長がほ
ぼ一定に保たれるので、マスク面全面に渡ってシャープ
に撮像することができる。
【００１０】本発明において、駆動手段を、ミラーと共
に回動するカムと、このカム面に導かれてラインセンサ
カメラをその光軸方向に駆動する連結手段とを有するよ
うに構成すると、ミラーを回動させる動力手段一つでラ
インセンサカメラを駆動することができ、部品コストを
抑えることができる。
に回動するカムと、このカム面に導かれてラインセンサ
カメラをその光軸方向に駆動する連結手段とを有するよ
うに構成すると、ミラーを回動させる動力手段一つでラ
インセンサカメラを駆動することができ、部品コストを
抑えることができる。
【００１１】本発明において、駆動手段を、ミラーの回
動位置を読み取るセンサと、このセンサで読み取った回
動位置に対応した距離だけ前記ラインセンサカメラをそ
の光軸方向に駆動するカメラ移動手段とを有するように
構成すると、回動手段と駆動手段とを機械的に連結する
連結手段を必要としないので、組立と調整とを容易にす
ることができる。
動位置を読み取るセンサと、このセンサで読み取った回
動位置に対応した距離だけ前記ラインセンサカメラをそ
の光軸方向に駆動するカメラ移動手段とを有するように
構成すると、回動手段と駆動手段とを機械的に連結する
連結手段を必要としないので、組立と調整とを容易にす
ることができる。
【００１２】本発明において、回動手段を、マスク面上
の光路が一定速度で走査されるようにミラーを回動させ
るように構成すると、マスク面全面に渡ってほぼ同じ感
度で撮像することができ、好適である。
の光路が一定速度で走査されるようにミラーを回動させ
るように構成すると、マスク面全面に渡ってほぼ同じ感
度で撮像することができ、好適である。
【００１３】
【発明の実施の形態】本発明の実施形態を図面に基づい
て以下に説明する。
て以下に説明する。
【００１４】本発明の第１の実施形態は、図１、図２に
示すように、成形済シャドーマスク１のマスク面２をラ
イン状の視野で撮像するラインセンサカメラ５と、マス
ク面２全面を下方から透過照射するバックライト１２を
備え成形済シャドーマスク１を固定するステージ１１
と、マスク面２に対向する位置に配設されたミラー３
と、ラインセンサカメラ５をマスク面２の長手方向Ｘに
平行な光軸Ａ方向に移動可能に搭載するカメラステージ
１３と、ラインセンサカメラ５を光軸Ａ方向へ移動させ
るカム７と、ミラー３とカム７とを回転させるステップ
モータ９と、ステップモータ９の回転位置とラインセン
サカメラ５の撮像動作とを制御する制御手段８と、得ら
れた画像を処理してマスク面２の欠陥検査を行う画像処
理手段１０とを有する。
示すように、成形済シャドーマスク１のマスク面２をラ
イン状の視野で撮像するラインセンサカメラ５と、マス
ク面２全面を下方から透過照射するバックライト１２を
備え成形済シャドーマスク１を固定するステージ１１
と、マスク面２に対向する位置に配設されたミラー３
と、ラインセンサカメラ５をマスク面２の長手方向Ｘに
平行な光軸Ａ方向に移動可能に搭載するカメラステージ
１３と、ラインセンサカメラ５を光軸Ａ方向へ移動させ
るカム７と、ミラー３とカム７とを回転させるステップ
モータ９と、ステップモータ９の回転位置とラインセン
サカメラ５の撮像動作とを制御する制御手段８と、得ら
れた画像を処理してマスク面２の欠陥検査を行う画像処
理手段１０とを有する。
【００１５】ラインセンサカメラ５は、図２に示すよう
に、マスク面２をそのマスク面２の全幅（Ｙ方向）に渡
るライン状の視野でできる限りシャープに撮像できるよ
うに配置し調整されている。
に、マスク面２をそのマスク面２の全幅（Ｙ方向）に渡
るライン状の視野でできる限りシャープに撮像できるよ
うに配置し調整されている。
【００１６】ミラー３は、ベルト１９を介してステップ
モータ９の回転軸９ａに連結され、回動軸３ａ回りに回
動し、このマスク面２からこのミラー３を介してライン
センサカメラ５に入射する光の光路がマスク面２全面を
Ｘ方向に走査するように配置される。
モータ９の回転軸９ａに連結され、回動軸３ａ回りに回
動し、このマスク面２からこのミラー３を介してライン
センサカメラ５に入射する光の光路がマスク面２全面を
Ｘ方向に走査するように配置される。
【００１７】カム７は、ベルト１８を介してステップモ
ータ９の回転軸９ａに連結され、ミラー３と連動して回
動軸７ａ回りに回動し、常にカメラステージ１３の当接
部１５を押動し、マスク面２からラインセンサカメラ５
に入射する光の光路がマスク面２全面を走査する間、マ
スク面２の幅方向Ｙの中心線上におけるマスク面２とラ
インセンサカメラ５との間の光路長を一定に保つように
調整されている。
ータ９の回転軸９ａに連結され、ミラー３と連動して回
動軸７ａ回りに回動し、常にカメラステージ１３の当接
部１５を押動し、マスク面２からラインセンサカメラ５
に入射する光の光路がマスク面２全面を走査する間、マ
スク面２の幅方向Ｙの中心線上におけるマスク面２とラ
インセンサカメラ５との間の光路長を一定に保つように
調整されている。
【００１８】カメラステージ１３は、カム７に当接する
当接部１５を有しラインセンサカメラ５を取り付けた可
動ステージ１４と、この可動ステージ１４を常にカム７
側へ押し付けるバネ１７と、バネ１７を内蔵し可動ステ
ージ１４を光軸Ａ方向移動可能に嵌合した固定ステージ
１６とからなる。
当接部１５を有しラインセンサカメラ５を取り付けた可
動ステージ１４と、この可動ステージ１４を常にカム７
側へ押し付けるバネ１７と、バネ１７を内蔵し可動ステ
ージ１４を光軸Ａ方向移動可能に嵌合した固定ステージ
１６とからなる。
【００１９】本実施形態のシャドーマスク検査装置によ
れば、図１、図２に示すように、マスク面２からライン
センサカメラ５に入射する光の光路が成形済シャドーマ
スク１のフレーム４の背後に位置するマスク面２をも走
査するように前記ミラー３を回動させるので、成形済シ
ャドーマスク１のフレーム４の影響を受けず、マスク面
２の両端部６、６を検査することができる。又、ライン
センサカメラ５がマスク面２を走査するとき、マスク面
２とラインセンサカメラ５間の光路長がほぼ一定に保た
れるので、マスク面２全面に渡ってシャープに撮像する
ことができる。
れば、図１、図２に示すように、マスク面２からライン
センサカメラ５に入射する光の光路が成形済シャドーマ
スク１のフレーム４の背後に位置するマスク面２をも走
査するように前記ミラー３を回動させるので、成形済シ
ャドーマスク１のフレーム４の影響を受けず、マスク面
２の両端部６、６を検査することができる。又、ライン
センサカメラ５がマスク面２を走査するとき、マスク面
２とラインセンサカメラ５間の光路長がほぼ一定に保た
れるので、マスク面２全面に渡ってシャープに撮像する
ことができる。
【００２０】本発明によれば、マスク面からラインセン
サカメラに入射する光の光路が成形済シャドーマスクの
フレームの背後に位置するマスク面をも走査するように
前記ミラーを回動させるので、マスク面全面を撮像する
ことができる。
サカメラに入射する光の光路が成形済シャドーマスクの
フレームの背後に位置するマスク面をも走査するように
前記ミラーを回動させるので、マスク面全面を撮像する
ことができる。
【００２１】本発明の第２の実施形態は、図３に示すよ
うに、成形済シャドーマスク１のマスク面２をライン状
の視野で撮像するラインセンサカメラ５と、マスク面２
全面を下方から透過照射するバックライト１２を備え成
形済シャドーマスク１を固定するステージ１１と、マス
ク面２に対向する位置に配設されたミラー３と、ミラー
３を回転させるステップモータ９と、ラインセンサカメ
ラ５を光軸Ａ方向移動可能に搭載するリニアサーボモー
タ２０と、ステップモータ９の回転とリニアサーボモー
タ２０の駆動とラインセンサカメラ５の撮像動作とを制
御する制御手段２２と、得られた画像を処理してマスク
面２の欠陥検査を行う画像処理手段１０とを有する。
うに、成形済シャドーマスク１のマスク面２をライン状
の視野で撮像するラインセンサカメラ５と、マスク面２
全面を下方から透過照射するバックライト１２を備え成
形済シャドーマスク１を固定するステージ１１と、マス
ク面２に対向する位置に配設されたミラー３と、ミラー
３を回転させるステップモータ９と、ラインセンサカメ
ラ５を光軸Ａ方向移動可能に搭載するリニアサーボモー
タ２０と、ステップモータ９の回転とリニアサーボモー
タ２０の駆動とラインセンサカメラ５の撮像動作とを制
御する制御手段２２と、得られた画像を処理してマスク
面２の欠陥検査を行う画像処理手段１０とを有する。
【００２２】ミラー３の回動軸３ａには、ミラー３の回
動位置を読み取り、制御手段２２へその信号を送るエン
コーダ２４が取り付けられている。
動位置を読み取り、制御手段２２へその信号を送るエン
コーダ２４が取り付けられている。
【００２３】制御手段２２は、ミラー３の回動位置とリ
ニアサーボモータ２０の可動ステータ２０ａの駆動位置
とが対応したデータ表を記憶した記憶手段２３を有し、
エンコーダ２４から送られて来るミラー３の回動位置を
引数として前記のデータ表からリニアサーボモータ２０
の駆動位置を検索し、その検索結果に基づいてリニアサ
ーボモータ２０を制御することにより、マスク面からラ
インセンサカメラに入射する光の光路がマスク面２全面
を走査する間、マスク面２の幅方向Ｙの中心線上におけ
るマスク面２とラインセンサカメラ５との間の光路長を
一定に保つよう構成されている。
ニアサーボモータ２０の可動ステータ２０ａの駆動位置
とが対応したデータ表を記憶した記憶手段２３を有し、
エンコーダ２４から送られて来るミラー３の回動位置を
引数として前記のデータ表からリニアサーボモータ２０
の駆動位置を検索し、その検索結果に基づいてリニアサ
ーボモータ２０を制御することにより、マスク面からラ
インセンサカメラに入射する光の光路がマスク面２全面
を走査する間、マスク面２の幅方向Ｙの中心線上におけ
るマスク面２とラインセンサカメラ５との間の光路長を
一定に保つよう構成されている。
【００２４】上記実施形態においては、１台のラインセ
ンサカメラを配設したが、本発明はこれに限定されず、
マスク面の全面をシャープに撮像できればよく、従来例
で示したように２台以上のラインセンサカメラを配設し
てもよい。
ンサカメラを配設したが、本発明はこれに限定されず、
マスク面の全面をシャープに撮像できればよく、従来例
で示したように２台以上のラインセンサカメラを配設し
てもよい。
【００２５】
【発明の効果】本発明によれば、マスク面からラインセ
ンサカメラに入射する光の光路が成形済シャドーマスク
のフレームの背後に位置するマスク面をも走査するよう
に前記ミラーを回動させるので、マスク面全面を撮像す
ることができる。従って、成形済シャドーマスクのフレ
ームの影響を受けず、マスク面全面の欠陥検査をするこ
とができる。
ンサカメラに入射する光の光路が成形済シャドーマスク
のフレームの背後に位置するマスク面をも走査するよう
に前記ミラーを回動させるので、マスク面全面を撮像す
ることができる。従って、成形済シャドーマスクのフレ
ームの影響を受けず、マスク面全面の欠陥検査をするこ
とができる。
【００２６】又、本発明において、マスク面とラインセ
ンサカメラ間の光路長を一定に保つようにミラーの回動
に同期して前記ラインセンサカメラをその光軸方向に駆
動する駆動手段を有するように構成すると、前記駆動手
段によりマスク面全面とラインセンサカメラ間の光路長
がほぼ一定に保たれるので、マスク面全面に渡ってシャ
ープに撮像することができる。従って、マスク面全面に
渡ってほぼ同じ感度で欠陥検査をすることができる。
ンサカメラ間の光路長を一定に保つようにミラーの回動
に同期して前記ラインセンサカメラをその光軸方向に駆
動する駆動手段を有するように構成すると、前記駆動手
段によりマスク面全面とラインセンサカメラ間の光路長
がほぼ一定に保たれるので、マスク面全面に渡ってシャ
ープに撮像することができる。従って、マスク面全面に
渡ってほぼ同じ感度で欠陥検査をすることができる。
【図１】本発明の第１の実施形態を示す長手方向断面概
略図。
略図。
【図２】本発明の第１の実施形態を示す幅方向断面概略
図。
図。
【図３】本発明の第２の実施形態を示す長手方向断面概
略図。
略図。
【図４】従来例を示す概略斜視図。
【図５】従来例を示す長手方向断面概略図。
【図６】従来例を示す幅方向断面概略図。
１ 成形済シャドーマスク ２ マスク面 ３ ミラー ５ ラインセンサカメラ ７ カム ９ ステップモータ １３ カメラステージ Ａ 光軸方向
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 野村 剛 大阪府門真市大字門真1006番地 松下電器 産業株式会社内
Claims (5)
- 【請求項１】 成形済シャドーマスクのマスク面の欠陥
検査を行うシャドーマスク検査装置において、前記マス
ク面に対向する位置に配設されたミラーと、前記マスク
面から前記ミラーを介してラインセンサカメラに入射す
る光の光路がマスク面全面を走査するように前記ミラー
を回動させる回動手段とを有することを特徴とするシャ
ドーマスク検査装置。 - 【請求項２】 マスク面とラインセンサカメラ間の光路
長を一定に保つようにミラーの回動に同期して前記ライ
ンセンサカメラをその光軸方向に駆動する駆動手段を有
する請求項１記載のシャドーマスク検査装置。 - 【請求項３】 駆動手段が、ミラーと共に回動するカム
と、このカム面に導かれてラインセンサカメラをその光
軸方向に駆動する連結手段とを有する請求項２記載のシ
ャドーマスク検査装置。 - 【請求項４】 駆動手段が、ミラーの回動位置を読み取
るセンサと、このセンサで読み取った回動位置に対応し
た距離だけ前記ラインセンサカメラをその光軸方向に駆
動するカメラ移動手段とを有する請求項２記載のシャド
ーマスク検査装置。 - 【請求項５】 回動手段が、マスク面上の光路が一定速
度で走査されるようにミラーを回動させるように構成さ
れたものである請求項１、２、３又は４記載のシャドー
マスク検査装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8228276A JPH1069857A (ja) | 1996-08-29 | 1996-08-29 | シャドーマスク検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8228276A JPH1069857A (ja) | 1996-08-29 | 1996-08-29 | シャドーマスク検査装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH1069857A true JPH1069857A (ja) | 1998-03-10 |
Family
ID=16873950
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8228276A Pending JPH1069857A (ja) | 1996-08-29 | 1996-08-29 | シャドーマスク検査装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH1069857A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007093428A (ja) * | 2005-09-29 | 2007-04-12 | Toyo Glass Kikai Kk | 非円形容器検査装置 |
-
1996
- 1996-08-29 JP JP8228276A patent/JPH1069857A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007093428A (ja) * | 2005-09-29 | 2007-04-12 | Toyo Glass Kikai Kk | 非円形容器検査装置 |
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