JPH1070001A - 低抵抗チップ抵抗器及びその製造方法 - Google Patents
低抵抗チップ抵抗器及びその製造方法Info
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Abstract
る安価な低抵抗チップ抵抗器を提供すること、その低抵
抗チップ抵抗器を簡易に効率良く製造することができる
製造方法を提供することにある。 【解決手段】 絶縁基板と、スクリーン印刷法によって
印刷焼成される少なくとも一対の電極部と、スクリーン
印刷法によって印刷焼成され、電気鍍金法及び/又は無
電解鍍金法によって鍍着形成され、面積抵抗率が下層抵
抗膜より低い上層抵抗膜からなる抵抗部と、を備えてな
ることを特徴とする低抵抗チップ抵抗器。絶縁基板上
に、少なくとも一対の電極部をスクリーン印刷法によっ
て印刷焼成する工程と、絶縁基板上に、各対電極部間に
亘る下層抵抗膜をスクリーン印刷法によって印刷焼成す
る工程と、下層抵抗膜上に、面積抵抗率が下層抵抗膜よ
り低い上層抵抗膜を電気鍍金法及び/又は無電解鍍金法
によって鍍着形成する工程と、を含むことを特徴とする
低抵抗チップ抵抗器の製造方法。
Description
及びその製造方法、特に過電流を精度良く検出し得る安
価な低抵抗チップ抵抗器及びその低抵抗チップ抵抗器を
簡易に製造し得る製造方法に関する。
おいては、絶縁基板上に抵抗部を蒸着法やスパッタ法に
よって形成すると共に、電極部以外の部分を保護コート
し、電極部を鍍金処理した低抵抗チップ抵抗器(イ)
や、絶縁基板上に金属抵抗箔を接着剤で貼着し、フォト
エッチング法によりパターンニングすると共に、保護コ
ート、電極を成形した低抵抗チップ抵抗器(ロ)が、そ
の過電流を検出するために採用されている。
た抵抗器(イ)における抵抗部を形成するあたって、真
空技術を利用するため生産性が低下するといった欠点が
あり、また抵抗器(ロ)における金属抵抗箔を貼着する
にあたって、貼着工程が手作業であるため均一性及び生
産性が低下するといった欠点がある。従って、現在、最
も生産性に富むとされているスクリーン印刷法において
も、Pd−Ag系ペースト、Pd−Ag−RuO2 系ペ
ースト等の一般的に使用される抵抗ペーストを用いて単
に抵抗部を形成するのみでは、低抵抗(例えば100m
Ω/□以下)の抵抗膜を備える良好な低抵抗チップ抵抗
器を効率良く生産し、安価で提供することは極めて困難
であり、高い過電流を精度良く検出することもできな
い。更に、従来の低抵抗チップ抵抗器においては、単に
低抵抗を得るためにグレーズ系導電ペーストが採用され
ているに過ぎず、抵抗部のTCR(抵抗温度係数、以下
同じ)を小さく(約500ppm/℃以下)することに
ついては、殆ど考慮されていないのが実情である。この
ような状況のもと、小型電子機器のメーカーにおいて
は、小型電子機器の過電流保護回路において採用でき、
過電流を精度良く検出し得る安価な低抵抗チップ抵抗器
の開発が切望されている。
し、これを解決せんとしたものであり、その目的は、過
電流を精度良く検出し得る安価な低抵抗チップ抵抗器を
提供することにある。
く検出し得る安価な低抵抗チップ抵抗器を簡易に効率良
く製造することができる製造方法を提供することにあ
る。
みてなされたものであり、その要旨とするところは、絶
縁基板と、絶縁基板上にスクリーン印刷法によって印刷
焼成される少なくとも一対の電極部と、絶縁基板上にス
クリーン印刷法によって印刷焼成され、各対電極部間に
亘る下層抵抗膜、並びに下層抵抗膜上に電気鍍金法及び
/又は無電解鍍金法によって鍍着形成され、面積抵抗率
が下層抵抗膜より低い上層抵抗膜からなる抵抗部と、を
備えてなることを特徴とする低抵抗チップ抵抗器にあ
る。この態様によれば、絶縁基板上の各対電極部間に亘
るように、下層抵抗膜がスクリーン印刷法によって印刷
焼成され、また上層抵抗膜が電気鍍金法及び/又は無電
解鍍金法によって鍍着形成されており、従って低抵抗化
を簡易にしかも確実に図った安価な低抵抗チップ抵抗器
を提供することができ、これによって過電流を精度良く
検出することができる。特に、上記上層抵抗膜として、
面積抵抗率が下層抵抗膜よりも低く、且つTCRが小さ
い上層抵抗膜を採用すれば、低抵抗チップ抵抗器におけ
る過電流の検出精度を更に高めることができる。
d−Ag系抵抗膜とし、且つ上記上層抵抗膜をNi系抵
抗膜としたことを特徴とする上述の低抵抗チップ抵抗器
にあり、この態様によれば、スクリーン印刷法によって
印刷焼成される比較的安価なPd−Ag系抵抗膜を下層
抵抗膜として採用すると共に、電気鍍金法及び/又は無
電解鍍金法によって鍍着形成される比較的TCRが小さ
いNi系抵抗膜を上層抵抗膜として採用したので、上述
したように、低抵抗チップ抵抗器における過電流の検出
精度を更に高めることができるうえ、低抵抗チップ抵抗
器の低廉化をも可能にする。
極部及び抵抗部を備えてなる低抵抗チップ抵抗器の製造
方法であって、絶縁基板上に、少なくとも一対の電極部
をスクリーン印刷法によって印刷焼成する工程と、絶縁
基板上に、各対電極部間に亘る下層抵抗膜をスクリーン
印刷法によって印刷焼成する工程と、下層抵抗膜上に、
面積抵抗率が下層抵抗膜より低い上層抵抗膜を電気鍍金
法及び/又は無電解鍍金法によって鍍着形成する工程
と、を含むことを特徴とする低抵抗チップ抵抗器の製造
方法にある。この態様によれば、絶縁基板上の各対電極
部間に亘るように、下層抵抗膜をスクリーン印刷法によ
って印刷焼成し、また上層抵抗膜を電気鍍金法及び/又
は無電解鍍金法によって鍍着形成するようにしたので、
低抵抗チップ抵抗器の低抵抗化を簡易にしかも確実に図
ることができ、過電流を精度良く検出し得る安価な低抵
抗チップ抵抗器を効率良く製造することができる。特
に、上層抵抗膜として、面積抵抗率が下層抵抗膜よりも
低く、且つTCRが小さいものを採用すれば、過電流の
検出精度が更に良好な低抵抗チップ抵抗器を効率良く製
造することができる。
g系抵抗膜をスクリーン印刷法によって印刷焼成し、且
つ上層抵抗膜としてNi系抵抗膜を電気鍍金法及び/又
は無電解鍍金法によって鍍着形成することを特徴とする
上述の低抵抗チップ抵抗器の製造方法にあり、この態様
によれば、下層抵抗膜として比較的安価なPd−Ag系
抵抗膜をスクリーン印刷法によって印刷焼成すると共
に、上層抵抗膜として比較的TCRが小さいNi系抵抗
膜を電気鍍金法及び/又は無電解鍍金法によって鍍着形
成するようにしたので、上述したように、低抵抗チップ
抵抗器における過電流の検出精度が更に良好で、しかも
安価な低抵抗チップ抵抗器を効率良く製造することがで
きる。
その製造方法において、下層抵抗膜は、上層抵抗膜を電
気鍍金法及び/又は無電解鍍金法によって鍍着形成する
ために、それに先立って絶縁基板上にスクリーン印刷法
によって印刷焼成される抵抗膜である。他方、上層抵抗
膜は、電気鍍金法及び/又は無電解鍍金法によって絶縁
基板上の下層抵抗膜に鍍着形成される抵抗膜であり、面
積抵抗率が下層抵抗膜より低いことを要する。特に、上
層抵抗膜は、過電流の検出精度を高めるために、低抵抗
チップ抵抗器における抵抗部のTCRは小さいことが望
ましく、具体的には低抵抗領域として小さい0〜250
ppm/℃程度のTCRであることが望ましい。
刷焼成される下層抵抗膜としては、例えばPd−Ag系
抵抗膜(Pd−Ag−RuO2 抵抗膜等を含む)を掲げ
ることができ、また下層抵抗膜上に電気鍍金法及び/又
は無電解鍍金法によって鍍着形成される上層抵抗膜とし
ては、例えばNi系抵抗膜(Ni−P抵抗膜、Ni−C
u−P抵抗膜、Ni−W−P抵抗膜、Ni−Cr−P抵
抗膜、Ni−Re−P抵抗膜等を含む)を掲げることが
できる。
□以下の抵抗値、特に22〜47mΩ/□の抵抗値をい
う。このような抵抗値の低抵抗チップ抵抗器は、小型電
子機器の過電流保護回路において最適な抵抗器として採
用され、過電流を精度良く検出することができる。
法においては、上述した工程のほか、保護膜を形成する
工程や、端面電極を形成する工程や、鍍金電極を鍍着形
成する工程等、任意の工程を付加してもよく、従ってこ
れらの他の工程を付加した場合には、その工程に伴う他
の構成が本発明の低抵抗チップ抵抗器においても付加さ
れた態様となることはいうまでもない。
説明するが、本発明はこれに限定されるものではない。
ここで、図1は本発明の低抵抗チップ抵抗器の実施例を
示す概略縦断面図である。
は、アルミナセラミックス基板11と、この基板11上
に形成されるPd−Ag下層抵抗膜12及びNi−Cu
−P上層抵抗膜13と、Ag表裏電極膜14,15と、
保護膜16と、端面電極17と、鍍金電極膜18と、を
備えて構成されている。
電極膜14,15、及び保護膜16は、スクリーン印刷
法によって形成されたものであり、また上記Ni−Cu
−P上層抵抗膜13は、無電解鍍金法によって形成され
たものである。このNi−Cu−P上層抵抗膜13は、
TCRに大幅な変化を来すことなく抵抗値を下げるため
に、下層抵抗膜12の全面に形成される。
印刷焼成されており、保護膜16は、Ni−Cu−P上
層抵抗膜13上に印刷焼成されている。また、鍍金電極
膜18は、露出した状態にあるNi−Cu−P上層抵抗
膜13、Ag裏電極膜15、及び端面電極17上に形成
されている。
っては、アルミナセラミックス基板11上に、一対のA
g表電極膜14をスクリーン印刷法によって印刷焼成す
ると共に、各対Ag電極膜14間に亘るようにPd−A
g下層抵抗膜12をスクリーン印刷法によって印刷焼成
し、次いでPd−Ag下層抵抗膜12上に、面積抵抗率
がPd−Ag下層抵抗膜12より低いNi−Cu−P上
層抵抗膜13を無電解鍍金法によって鍍着形成する。そ
して、スクリーン印刷法によってAg裏電極膜15及び
保護膜16を印刷焼成した後、端面電極17を塗布焼成
し、更にAg裏電極膜15、端面電極17、及び端部付
近のNi−Cu−P上層抵抗膜13上に鍍金電極膜18
を鍍着形成し、その製造を完了する。
上層抵抗膜としては、無電解鍍金法によって形成される
上記Ni−Cu−P上層抵抗膜13に代えて、電気鍍金
法及び/又は無電解鍍金法によって形成されるNi単独
の上層抵抗膜のほか、Ni−P、Ni−W−P、Ni−
Cr−P、Ni−Re−P等といった他のNi系の上層
抵抗膜を採用することもできる。特に、上述した無電解
鍍金法による場合にあっては、その前処理として活性化
液(例えば、塩化パラジウム溶液)を用いないで、Pd
−Ag系の下層抵抗膜に負の電荷を帯電させ(電気鍍金
法)、無電解鍍金反応のトリガとして作用させる。ここ
で、活性化液を用いないで負の電荷を帯電させることと
したのは、一般に活性化液は強酸(pH1以下)であ
り、TCRを大きくし、且つ過負荷に対する抗力を弱め
てしまう、即ちPd−Ag系の下層抵抗膜の抵抗膜とし
ての機能を低減させてしまうといった欠点があり、これ
を防止するためである。
3.2mm×2.5mmのチップにおいて、33mΩ、22
mΩ、またそれ以下の抵抗値を有する抵抗膜を形成する
ことができた。また、それらのTCRは、低抵抗領域と
して小さい0〜300ppm/℃を示した。
板上の各対電極部間に亘るように、下層抵抗膜がスクリ
ーン印刷法によって印刷焼成され、また上層抵抗膜が電
気鍍金法及び/又は無電解鍍金法によって鍍着形成され
る構成を採用したことにより、従って低抵抗化を簡易に
しかも確実に図った安価な低抵抗チップ抵抗器を提供す
ることができ、これによって過電流を精度良く検出する
ことができるといった顕著な効果を奏する。特に、上記
上層抵抗膜として、面積抵抗率が下層抵抗膜よりも低
く、且つTCRが小さい上層抵抗膜を採用することによ
り、低抵抗チップ抵抗器における過電流の検出精度を更
に高めることができるといった顕著な効果を奏する。
リーン印刷法によって印刷焼成される比較的安価なPd
−Ag系抵抗膜を下層抵抗膜とすると共に、電気鍍金法
及び/又は無電解鍍金法によって鍍着形成される比較的
TCRが小さいNi系抵抗膜を上層抵抗膜とする構成を
採用したことにより、上述したように、低抵抗チップ抵
抗器における過電流の検出精度を更に高めることができ
るうえ、低抵抗チップ抵抗器の低廉化をも可能にすると
いった効果を奏する。
は、絶縁基板上の各対電極部間に亘るように、下層抵抗
膜をスクリーン印刷法によって印刷焼成し、また上層抵
抗膜を電気鍍金法及び/又は無電解鍍金法によって鍍着
形成する方法を採用したことにより、低抵抗チップ抵抗
器の低抵抗化を簡易にしかも確実に図ることができ、過
電流を精度良く検出し得る安価な低抵抗チップ抵抗器を
効率良く製造することができる。特に、上層抵抗膜とし
て、面積抵抗率が下層抵抗膜よりも低く、且つTCRが
小さいものを採用すれば、過電流の検出精度が更に良好
な低抵抗チップ抵抗器を効率良く製造することができ
る。
Pd−Ag系抵抗膜をスクリーン印刷法によって印刷焼
成すると共に、上層抵抗膜として比較的TCRが小さい
Ni系抵抗膜を電気鍍金法及び/又は無電解鍍金法によ
って鍍着形成する方法を採用したことにより、上述した
ように、低抵抗チップ抵抗器における過電流の検出精度
が更に良好で、しかも安価な低抵抗チップ抵抗器を効率
良く製造することができる。
略縦断面図である。
Claims (4)
- 【請求項1】 絶縁基板と、 絶縁基板上にスクリーン印刷法によって印刷焼成される
少なくとも一対の電極部と、 絶縁基板上にスクリーン印刷法によって印刷焼成され、
各対電極部間に亘る下層抵抗膜、並びに下層抵抗膜上に
電気鍍金法及び/又は無電解鍍金法によって鍍着形成さ
れ、面積抵抗率が下層抵抗膜より低い上層抵抗膜からな
る抵抗部と、を備えてなることを特徴とする低抵抗チッ
プ抵抗器。 - 【請求項2】 上記下層抵抗膜をPd−Ag系抵抗膜と
し、且つ上記上層抵抗膜をNi系抵抗膜としたことを特
徴とする請求項1に記載の低抵抗チップ抵抗器。 - 【請求項3】 絶縁基板上に電極部及び抵抗部を備えて
なる低抵抗チップ抵抗器の製造方法であって、 絶縁基板上に、少なくとも一対の電極部をスクリーン印
刷法によって印刷焼成する工程と、 絶縁基板上に、各対電極部間に亘る下層抵抗膜をスクリ
ーン印刷法によって印刷焼成する工程と、 下層抵抗膜上に、面積抵抗率が下層抵抗膜より低い上層
抵抗膜を電気鍍金法及び/又は無電解鍍金法によって鍍
着形成する工程と、を含むことを特徴とする低抵抗チッ
プ抵抗器の製造方法。 - 【請求項4】 上記下層抵抗膜としてPd−Ag系抵抗
膜をスクリーン印刷法によって印刷焼成し、且つ上層抵
抗膜としてNi系抵抗膜を電気鍍金法及び/又は無電解
鍍金法によって鍍着形成することを特徴とする請求項3
に記載の低抵抗チップ抵抗器の製造方法。
Priority Applications (4)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8225545A JP2896996B2 (ja) | 1996-08-27 | 1996-08-27 | 低抵抗チップ抵抗器及びその製造方法 |
| DE19780905T DE19780905C2 (de) | 1996-08-27 | 1997-08-26 | Widerstand und Verfahren zu seiner Herstellung |
| GB9807983A GB2321558B (en) | 1996-08-27 | 1997-08-26 | Chip resistor and method for producing the same |
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Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8225545A JP2896996B2 (ja) | 1996-08-27 | 1996-08-27 | 低抵抗チップ抵抗器及びその製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH1070001A true JPH1070001A (ja) | 1998-03-10 |
| JP2896996B2 JP2896996B2 (ja) | 1999-05-31 |
Family
ID=16830979
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8225545A Expired - Lifetime JP2896996B2 (ja) | 1996-08-27 | 1996-08-27 | 低抵抗チップ抵抗器及びその製造方法 |
Country Status (4)
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| DE (1) | DE19780905C2 (ja) |
| GB (1) | GB2321558B (ja) |
| WO (1) | WO1998009298A1 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002064002A (ja) * | 2000-06-05 | 2002-02-28 | Rohm Co Ltd | チップ抵抗器およびその製法 |
| JP2015521802A (ja) * | 2012-06-29 | 2015-07-30 | イザベレンヒュッテ ホイスラー ゲー・エム・ベー・ハー ウント コンパニー コマンデイトゲゼルシャフト | 抵抗器、特に低抵抗電流測定抵抗器 |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE102006060634A1 (de) | 2006-12-21 | 2008-06-26 | Robert Bosch Gmbh | Verfahren zur Herstellung eines elektrischen Widerstands auf einem Substrat |
Family Cites Families (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS584486B2 (ja) * | 1973-10-15 | 1983-01-26 | 三菱電機株式会社 | センタクサドウカイロ |
| JPS5678506U (ja) * | 1979-11-20 | 1981-06-25 | ||
| JPH0567501A (ja) * | 1991-05-23 | 1993-03-19 | Mitsubishi Electric Corp | チツプ抵抗器 |
-
1996
- 1996-08-27 JP JP8225545A patent/JP2896996B2/ja not_active Expired - Lifetime
-
1997
- 1997-08-26 WO PCT/JP1997/002955 patent/WO1998009298A1/ja not_active Ceased
- 1997-08-26 GB GB9807983A patent/GB2321558B/en not_active Expired - Lifetime
- 1997-08-26 DE DE19780905T patent/DE19780905C2/de not_active Expired - Lifetime
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002064002A (ja) * | 2000-06-05 | 2002-02-28 | Rohm Co Ltd | チップ抵抗器およびその製法 |
| JP2015521802A (ja) * | 2012-06-29 | 2015-07-30 | イザベレンヒュッテ ホイスラー ゲー・エム・ベー・ハー ウント コンパニー コマンデイトゲゼルシャフト | 抵抗器、特に低抵抗電流測定抵抗器 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| WO1998009298A1 (fr) | 1998-03-05 |
| DE19780905T1 (de) | 1998-10-15 |
| DE19780905C2 (de) | 2003-03-20 |
| GB2321558B (en) | 1999-10-27 |
| JP2896996B2 (ja) | 1999-05-31 |
| GB9807983D0 (en) | 1998-06-17 |
| GB2321558A (en) | 1998-07-29 |
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