JPH1071611A

JPH1071611A - セラミックグリーンシート積層方法及び装置

Info

Publication number: JPH1071611A
Application number: JP8248931A
Authority: JP
Inventors: Naoyuki Ishizaka; 尚之石坂; Yoshiji Sekiguchi; 義二関口; Yoshiaki Koike; 義明小池
Original assignee: Taiyo Yuden Co Ltd
Current assignee: Taiyo Yuden Co Ltd
Priority date: 1996-08-31
Filing date: 1996-08-31
Publication date: 1998-03-17

Abstract

(57)【要約】【課題】セラミックグリーンシートｂの積層枚数が多
くても、短時間で且つ精度よくセラミックグリーンシー
トｂの積層を可能とすると共に、誘電体セラミックグリ
ーンシートと磁性体セラミックグリーンシートのような
異種材料からなるセラミックグリーンシートｂの積層に
おいても、最適な積層条件にて簡便に積層が行えるよう
にする。【解決手段】セラミックグリーンシート積層装置は、
長尺なセラミックグリーンシートａを所定の形状に裁断
すると共に、これらセラミックグリーンシートａを積み
重ね、搬送する複数のカッター１１と、これらカッター
１１に裁断すべき長尺なセラミックグリーンシートａを
供給するセラミックグリーンシートの供給機構と、前記
複数のカッター１１により裁断され、積層されたセラミ
ックグリーンシートａの供給を受け、それらセラミック
グリーンシートａを積層方向に加圧するプレス機２３と
を有する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】本発明は、一部に電極パターンを有するセ
ラミックグリーンシートを積層して、積層セラミックコ
ンデンサーや積層セラミックインダクター等の電子部品
を製造するに当り、セラミックグリーンシートを裁断
し、積層し、圧着する方法と装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】積層電子部品の最も代表的な例である積
層セラミックコンデンサは、内部電極を有する誘電体か
らなるセラミック層が多数層に積層され、この積層体の
互いに対向する端面に内部電極が交互に引き出されてい
る。そして、これらの内部電極が引き出された積層体の
端面に外部電極が形成され、この外部電極が各々前記内
部電極に接続されている。

【０００３】このような積層セラミックコンデンサの前
記積層体３は、例えば、図５示すような層構造を有す
る。すなわち、内部電極５、６を有する誘電体からなる
セラミック層７、７…が図５に示す順序に積層され、さ
らにその両側に内部電極５、６が形成されてないセラミ
ック層７、７…が各々複数層積み重ねられる。そして、
このような層構造を有する積層体３の端面には、内部電
極５、６が露出しており、この積層体３の端部に前記の
外部電極が形成される。

【０００４】このような積層電子部品は、通常図５に示
すような部品１個単位が個々に製造される訳ではなく、
実際は次に示すような製造方法がとられる。まず微細化
したセラミック粉末と有機バインダーとを混練してスラ
リーを作り、これをドクターブレード法によってポリエ
チレンテレフタレートフィルム等からなるキャリアフィ
ルム上に薄く展開し、乾燥し、セラミックグリーンシー
トを作る。次に、このセラミックグリーンシートを支持
フィルムの上に載ったままカッティングヘッドで所望の
大きさに切断し、その片面にスクリーン印刷法によって
導電ペーストを印刷し、乾燥する。これにより、図６で
示すように、縦横に複数組分の内部電極パターン２ａ、
２ｂが配列されたセラミックグリーンシート１ａ、１ｂ
が得られる。

【０００５】次に、図６に示すように、前記内部電極パ
ターン２ａ、２ｂを有する複数枚のセラミックグリーン
シート１ａ、１ｂを積層し、さらに、内部電極パターン
２ａ、２ｂを有しない何枚かのセラミックグリーンシー
ト１、１を上下に積み重ね、さらにこれらを圧着し、積
層体を作る。ここで、前記セラミックグリーンシート１
ａ、１ｂは、内部電極パターン２ａ、２ｂが長手方向に
半分の長さ分だけずれたもの１ａ、１ｂを交互に積み重
ねる。その後、この積層体を所望のサイズに切断して、
積層生チップを製作し、この生チップを焼成する。こう
して図５に示すような層構造を有する積層体が得られ
る。次に、この焼成済みの積層体３の両端に導電ペース
トを塗布し、焼付けることにより、両端に外部電極２、
２が形成された積層電子部品である積層セラミックコン
デンサが完成する。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】近年、このような積層
電子部品について、高機能化が要求されるようになって
きている。例えば、積層セラミックコンデンサーの小型
化、大容量化、或は積層ＬＣ部品のような複合化等が進
められている。そのため、セラミックグリーンシートの
積層枚数の著しい増加や、誘電体セラミックグリーンシ
ートと磁性体セラミックグリーンシート等の異種材料か
らなるセラミックグリーンシートの積層が行なわれるよ
うになってきている。

【０００７】セラミックグリーンシートに積層枚数が増
大すると、１層当りの積層精度の誤差が小さくても、こ
れが蓄積されて誤差が大きくなり、全体としての積層精
度が低下してしまう。さらに、セラミックグリーンシー
トの積層枚数が多くなることで、１つの積層体を作る工
程に多くの時間がかかるようにもなる。また、誘電体セ
ラミックグリーンシートと磁性体セラミックグリーンシ
ートの積層のような異種材料からなるセラミックグリー
ンシートの積層の場合、各々のセラミックグリーンシー
トの密度や伸び等の性質が違うため、積層時の加熱温度
や加圧圧力等の条件を各々の材料に応じて最適に設定し
なおす必要がある。このため、積層工程に面倒な積層条
件の設定変えが必要となる。

【０００８】本発明は、前記のようなセラミックグリー
ンシート積層工程における従来の課題に鑑み、セラミッ
クグリーンシートの積層枚数が多くても、短時間で且つ
精度よくセラミックグリーンシートの積層を可能とする
と共に、誘電体セラミックグリーンシートと磁性体セラ
ミックグリーンシートのような異種材料からなるセラミ
ックグリーンシートの積層においても、最適な積層条件
にて簡便に積層が行えるセラミックグリーンシート積層
方法と装置を提供することを目的とする。

【０００９】

【課題を解決するための手段】本発明では、前記の目的
を達成するため、長尺なセラミックグリーンシートａを
カッター１１で所定の形状に裁断しながら、積層し、こ
れを積層方向に加圧して圧着するに当り、複数のカッタ
ー１１で所定の形状に裁断しながら、積層し、これら積
層された複数組の積層体をさらに積み重ねて圧着するよ
うにした。これにより、多くの枚数のセラミックグリー
ンシートｂを全体として短い時間で裁断し、積層するこ
とが出来るようにすると共に、各カッター１１におい
て、積層条件を各々のセラミックグリーンシートの種類
等に合わせて各別に設定することが出来るようにした。

【００１０】すなわち、本発明によるセラミックグリー
ンシート積層方法は、長尺なセラミックグリーンシート
ａを所定の形状に裁断すると共に、裁断されたセラミッ
クグリーンシートａを順次積み重ねる裁断積層工程と、
積層されたセラミックグリーンシートａをその積層方向
に加圧して圧着する圧着工程とを有し、前記裁断積層工
程が複数個所で同時に行なわれ、これら複数個所で積層
されたセラミックグリーンシートａが１個所の圧着工程
において加圧され、圧着されることを特徴とする。

【００１１】さらに、本発明によるセラミックグリーン
シート積層装置は、長尺なセラミックグリーンシートａ
を所定の形状に裁断すると共に、これらセラミックグリ
ーンシートａを積み重ね、搬送する複数のカッター１１
と、これらカッター１１に裁断すべき長尺なセラミック
グリーンシートａを供給するセラミックグリーンシート
の供給機構と、前記複数のカッター１１により裁断さ
れ、積層されたセラミックグリーンシートａの供給を受
け、それらセラミックグリーンシートａを積層方向に加
圧するプレス機２３とを有することを特徴とする。ここ
で、プレス機２３は、加圧すべきセラミックグリーンシ
ートａの積層体を収納する下金型２２を有する。

【００１２】このような本発明によるセラミックグリー
ンシートの積層方法と装置では、複数個所の裁断積層工
程或は複数のカッター１１により長尺なセラミックグリ
ーンシートａを所定の形状に裁断すると共に、積層し、
これらを１個所の圧着工程或は１つのプレス機２３で加
圧し、圧着するため、時間がかかる裁断積層工程の時間
を全体として短縮することができる。これにより、多量
枚数のセラミックグリーンシートを全体として短時間に
裁断し、積層することができる。また、各々の裁断積層
工程或はカッター１１では、比較的少ない枚数のセラミ
ックグリーンシートｂを裁断し、積層すればよいので、
積層誤差の累積が小さく、全体として積層誤差を小さく
抑えることが出来る。

【００１３】さらに、各々の裁断積層工程或はカッター
１１において、各々のセラミックグリーンシートの種類
に応じて独自に積層条件を設定することができるため、
裁断積層工程の最中に、積層条件の設定変えを行なう必
要も無くなる。従って、前記カッター１１は、セラミッ
クグリーンシートａの積層時の積層条件を各々各別に調
整、設定可能であることが好ましい。前記の積層装置に
おいて、アンダーシート供給部２９から下金型２２の型
内にアンダーシートｃを供給することもできる。このア
ンダーシートｃは、その表面が粗面であったり、或はそ
の表面が粘着面であると、セラミックグリーンシートｂ
の圧着時の滑りを防止することができ、セラミックグリ
ーンシートｂの延び等の圧着誤差を最小限に抑えること
ができる。

【００１４】

【発明の実施の形態】次に、図面を参照しながら、本発
明の実施の形態について具体的且つ詳細に説明する。図
１は、本発明によるセラミックグリーンシート積層装置
の例であって、長尺なセラミックグリーンシートａを所
定の形状に裁断し、積層する工程部分の側面図であり、
図２は、同積層装置の例の全体的なレイアウトを示して
いる。

【００１５】セラミックグリーンシートａは、長尺なポ
リエチレンテレフタレートフィルム等のキャリアフィル
ム上にセラミックスラリーを所定の幅で均一な厚さに薄
く塗布し、乾燥した状態で形成されている。このような
キャリアフィルム上に形成された長尺なセラミックグリ
ーンシートａは、各々ロール１６に巻かれ、このロール
１６から繰り出されて供給される。

【００１６】長尺なセラミックグリーンシートａを巻い
たロール１６は、図１及び図２において左右に２つ設け
られている。ここで、積層セラミックコンデンサーを製
造するためのセラミックグリーンシートの積層体を作る
場合を例とすると、図１及び図２において左側のロール
１６から供給されるセラミックグリーンシートａには、
その上に所定の内部電極パターンが印刷され、図１及び
図２において右側のロール１６から供給されるセラミッ
クグリーンシートａには、そのような内部電極パターン
は印刷されていない。

【００１７】ロール１６から繰り出されたセラミックグ
リーンシートａは、ローラー１８を含む送り機構によ
り、テンションを調整されながら、カッターベース１７
上を通過するように送られる。この送りに際しては、カ
ッターベース１４の下に設けられたセンサー１９によ
り、キャリアフィルムの下面に設けた位置決めマークが
検知され、セラミックグリーンシートａの表面に印刷さ
れた内部電極パターンを基準としてセラミックグリーン
シートａが位置決めされながら搬送、停止される。

【００１８】前記カッターベース１７の上には、セラミ
ックグリーンシートａを所定の形状に裁断し、これをキ
ャリアフィルムから剥離して積層するカッター１１が各
々設けられている。このカッター１１は、下面に裁断し
たセラミックグリーンシートｂを吸着し、保持する吸着
ヘッド１２と、その吸着ヘッド１２の周囲を囲むように
配置されたカッターブレード１３とを有する。吸着ヘッ
ド１２は、底壁に多数の吸引孔を設け、図示してない真
空源から空気を吸引することで底面を負圧とし、そこに
裁断したセラミックグリーンシートｂを吸着し、保持す
る。この吸着ヘッド１２は、エアシリンダー１４により
上下動され、その内部には図示していないヒーターが内
蔵されている。カッターブレード１３は、吸着ヘッド１
２を囲んでその４つの側面に配置され、エアシリンダー
１５により上下動される。

【００１９】このカッター１１は、駆動部２０によって
その全体が図１において左右及び前後方向、すなわちＸ
−Ｙ方向に移動すると共に、水平方向にその角度を変え
ることができる。さらに、このカッター１１の上には、
ＣＣＤカメラ等の撮像器２１が各々配置され、これによ
ってカッターベース１７上に搬送されてきたセラミック
グリーンシートａの電極パターン等が撮像され、画像処
理によりその位置が認識される。

【００２０】前記ロール１６からローラー１８を含む送
り機構により、長尺なキャリアフィルム上に保持された
セラミックグリーンシートａがカッターベース１７上に
搬送されてくる。そして、センサー１９によりセラミッ
クグリーンシートａの位置が認識され、停止される。ま
た、前記の撮像器２１により、内部電極パターンと共に
セラミックグリーンシートａに印刷されたマークが撮像
され、これを画像処理することにより、セラミックグリ
ーンシートａ上の内部電極パターンの位置ずれなどが認
識される。

【００２１】このようにして認識された内部電極パター
ンのずれにより、前記カッター１１のＸ−Ｙ方向の位置
及び角度が調整され、内部電極パターンに対してカッタ
ー１１による切断位置が決められる。これにより、セラ
ミックグリーンシートａの微細な蛇行送り等に伴う位置
ずれが補正される。その後、吸着ヘッド１２が下降し、
その下面が負圧とされてセラミックグリーンシートａが
吸着され、保持される。次に、カッターブレード１３が
下降され、その刃先でセラミックグリーンシートａが裁
断される。その後、カッター１１が上昇することで、裁
断されたセラミックグリーンシートｂが吸着ヘッド１２
に下面に保持されたままキャリアフィルムから剥離され
る。次に、キャリアフィルムが所定の長さ分だけ送ら
れ、以下同様にしてセラミックグリーンシートａの位置
決め、カッター１１の位置決め、セラミックグリーンシ
ートａの裁断、裁断されたセラミックグリーンシートｂ
のキャリアフィルムからの剥離が繰り返される。この動
作を繰り返すことで、カッターブレード１３の間に複数
枚のセラミックグリーンシートｂが積み重ねられてい
く。

【００２２】このようなセラミックグリーンシートａの
裁断と裁断されたセラミックグリーンシートｂの積み重
ねとは、２つのカッター１１により同時に並行して行な
われ、その後、所定枚数のセラミックグリーンシートｂ
が積層されると、カッター１１が所定の順序で移動し、
後述するように積層されたセラミックグリーンシートｂ
を、２つのカッター１１の間に搬送されてきた下金型２
２の型内に加圧、加熱しながら押し込み、収納する。

【００２３】このようにして２つのカッター１１で同時
にセラミックグリーンシートａが裁断され、積層され、
それらが１つの下金型２２に送られるので、単位時間に
裁断、積層されるセラミックグリーンシートｂの枚数
は、１つのカッター１１でセラミックグリーンシートｂ
を裁断し、積層する場合に比べて２倍となる。また、２
つのカッター１１における積層条件、例えば、積層する
ときの吸着ヘッド１２の温度の設定等を、裁断するセラ
ミックグリーンシートｃに応じて違わせることもでき
る。カッター１１を３つ以上使用することで、単位時間
に裁断、積層できるセラミックグリーンシートｂの枚数
をさらに増やすこともできる。

【００２４】下金型２２は、図２に示されたコンベア２
４により、搬送され、圧着されたセラミックグリーンシ
ートｂの積層体を取り出す取出ステージ２７、プレス機
２３及びカッター１１の間の位置を往復移動される。後
述するように、取出ステージ２７側で下金型２２の型内
の底面にアンダーシートｃが予め敷かれる。その後、下
金型２２はカッター１１の間に搬送され、図１に示すよ
うに、仮圧着台３１の上に載せられ、位置決めピン２５
により固定される。ここで、前述のようにしてカッター
１１で裁断され、積層された所定枚数のセラミックグリ
ーンシートｂが下金型２２内に収納され、前記のアンダ
ーシートｃの上に載せられ、加圧される。このとき、吸
着ヘッド１２に内蔵したヒーターにより、セラミックグ
リーンシートｂが所定の温度で加熱される。

【００２５】例えば、積層セラミックコンデンサーを得
るためのセラミックグリーンシートｂの積層体を得る場
合、まず図１において右側のカッター１１が裁断し、積
層したセラミックグリーンシートｂが下金型２２内に押
し込まれ、次に図１において左側のカッター１１が裁断
し、積層したセラミックグリーンシートｂが下金型２２
内に押し込まれ、さらに図１において右側のカッター１
１が裁断し、積層したセラミックグリーンシートｂが下
金型２２内に押し込まれる。これにより、内部電極パタ
ーンを有しないセラミックグリーンシートｂの層、内部
電極パターンを有するセラミックグリーンシートｂの層
及び内部電極パターンを有しないセラミックグリーンシ
ートｂの層が下金型２２内で順次積み重ねられ、仮圧着
されることになる。

【００２６】その後、この下金型２２は、コンベア２４
により油圧プレス等のプレス機２３側に搬送される。図
３は、このプレス機２３の部分を示しており、プレス機
２３は上金型の部分のみを示している。コンベア２４で
搬送されてきた下金型２２は、位置決めピン２６により
位置決めされ、加圧テーブル３３上に固定される。ここ
で、加圧テーブル３３及びプレス機２３の上金型に内蔵
したヒーターでそれらを所定の温度に加熱しながら、プ
レス機２３の上金型を下降させ、下金型２２の型内に積
み重ねられたセラミックグリーンシートｂをその積層方
向に加圧し、圧着する。その後、プレス機２３の上金型
が上昇し、下金型２２は、次の取出ステージ２７へと移
動する。

【００２７】この取出ステージ２７に移動した下金型２
２から、前述のようにして圧着されたセラミックグリー
ンシートｂの積層体が取り出されるが、その両側にアン
ダーシート供給部２９と使用済みのアンダーシートｃを
保管するアンダーシート回収部３１が配置されている。
図４では、取出ステージ２７とその片側のアンダーシー
ト供給部２９のみが示されている。このアンダーシート
供給部２９には、前述のようにして下金型２２の型内底
面に敷かれるアンダーシートｃがストックされ、このア
ンダーシートｃがシートチャック３０により搬送され
る。他方、図２にのみ示したアンダーシート保管部３１
には、前述のようにして下金型２２の型内底面に敷かれ
た使用済みのアンダーシートｃがストックされ、このア
ンダーシートｃがシートチャック３２により搬送され
る。

【００２８】取出ステーション２７に下金型２２が到着
すると、その型内からセラミックグリーンシートｂの積
層体が取り出され、図示してない次の工程或は一時保管
場所に保管される。さらに、下金型２２の型内に残った
使用済みのアンダーシートｃがシートチャック３２で取
り出され、アンダーシート保管部３１にストックされ
る。同時に、アンダーシート供給部２９からシートチャ
ック３０によってアンダーシートが取り出され、下金型
２２の型内底面に敷かれる。その後、下金型２２が前記
カッター１１の間の積層位置へと戻り、以下同様の動作
を繰り返す。

【００２９】アンダーシートｃは、下金型２２の型内底
面へのセラミックグリーンシートｂの材料の付着を防止
し、常に下金型２２の型面の清浄性を保つものである
が、セラミックグリーンシートｂの積層時や圧着時の滑
りや延びを防止する機能を有する。そのため、粗面のも
のや粘着面のものなど、摩擦係数が大きいものが使用さ
れる。なお、以上の例では、セラミックグリーンシート
ｂを四角形に裁断したが、その裁断形状は特に四角形に
限定されず、円形等に裁断してもよい。

【００３０】また以上の例は、積層セラミックコンデン
サーを製造するためのセラミックグリーンシートの積層
を主として説明したが、本発明によるセラミックグリー
ンシート積層方法と装置は、例えば、ＬＣ複合部品を製
造するためのセラミックグリーンシートを積層するのに
も好適である。このような複合部品では、誘電体セラミ
ックグリーンシートと磁性体セラミックグリーンシート
とを積層するため、各々で積層条件を異ならせる必要が
ある。このような場合は、一方のカッター１１で誘電体
セラミックグリーンシートを積層し、他方のカッター１
１で磁性体セラミックグリーンシートを積層し、各々で
積層条件を異ならせる。例えば、前者の誘電体セラミッ
クグリーンシートを積層する側のカッター１１では、積
層したセラミックグリーンシートｂを下金型２２内に収
納し、加圧するときの加熱温度を７０℃とし、加圧圧力
を０．６Ｋｇ／ｍｍ² とする。また、後者の磁性体セラ
ミックグリーンシートを積層する側のカッター１１で
は、加熱温度を６０℃とし、加圧圧力を０．４Ｋｇ／ｍ
ｍ² とする。

【００３１】

【発明の効果】以上説明した通り、本発明によるセラミ
ックグリーンシート積層方法と装置では、セラミックグ
リーンシートの積層枚数が多くても、短時間で且つ精度
よくセラミックグリーンシートの積層を可能とすると共
に、誘電体セラミックグリーンシートと磁性体セラミッ
クグリーンシートの積層のような異種材料からなるセラ
ミックグリーンシートの積層においても、最適な積層条
件にて簡便に積層が行える。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明によるセラミックグリーンシート積層装
置の例を示す積層工程部分の概略側面図である。

【図２】同セラミックグリーンシート積層装置の例を示
す概略平面図である。

【図３】同セラミックグリーンシート積層装置の例を示
す圧着工程部分の概略斜視図である。

【図４】同セラミックグリーンシート積層装置の例を示
す積層体取出工程部分の概略斜視図である。

【図５】セラミックグリーンシートを積層して作られる
部品の例としての積層セラミックコンデンサーの積層体
の各層を分離して示した分解斜視図である。

【図６】同積層セラミックコンデンサーの積層体を得る
ためのセラミックグリーンシートの積層体の各層を分離
して示した斜視図である。

【符号の説明】

１１カッター２２金型２３プレス機２９アンダーシート供給部ａ長尺なセラミックグリーンシートｂ裁断されたセラミックグリーンシートｃアンダーシート

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】裁断された複数枚のセラミックグリーン
シート（ｂ）を積み重ね、これらセラミックグリーンシ
ート（ｂ）をその積層方向に加圧して圧着させるセラミ
ックグリーンシート積層方法において、長尺なセラミッ
クグリーンシート（ａ）を所定の形状に裁断すると共
に、裁断されたセラミックグリーンシート（ａ）を順次
積み重ねる裁断積層工程と、積層されたセラミックグリ
ーンシート（ａ）をその積層方向に加圧して圧着する圧
着工程とを有し、前記裁断積層工程が複数個所で同時に
行なわれ、これら複数個所で積層されたセラミックグリ
ーンシート（ａ）が１個所の圧着工程において加圧さ
れ、圧着されることを特徴とするセラミックグリーンシ
ート積層方法。
【請求項２】裁断された複数枚のセラミックグリーン
シート（ｂ）を積み重ね、これらセラミックグリーンシ
ート（ｂ）をその積層方向に加圧して圧着させるセラミ
ックグリーンシート積層装置において、長尺なセラミッ
クグリーンシート（ａ）を所定の形状に裁断すると共
に、これらセラミックグリーンシート（ａ）を積み重
ね、搬送する複数のカッター（１１）と、これらカッタ
ー（１１）に裁断すべき長尺なセラミックグリーンシー
ト（ａ）を供給するセラミックグリーンシートの供給機
構と、前記複数のカッター（１１）により裁断され、積
層されたセラミックグリーンシート（ａ）の供給を受
け、それらセラミックグリーンシート（ａ）を積層方向
に加圧するプレス機（２３）とを有することを特徴とす
るセラミックグリーンシート積層装置。
【請求項３】プレス機（２３）は、加圧すべきセラミ
ックグリーンシート（ａ）の積層体を収納する下金型
（２２）を有することを特徴とする請求項２に記載のセ
ラミックグリーンシート積層装置。
【請求項４】下金型（２２）の型内にアンダーシート
（ｃ）を供給するアンダーシート供給部（２９）を有す
ることを特徴とする請求項３に記載のセラミックグリー
ンシート積層装置。
【請求項５】アンダーシート（ｃ）は、その表面が粗
面であることを特徴とする請求項４に記載のセラミック
グリーンシート積層装置。
【請求項６】アンダーシート（ｃ）は、その表面が粘
着面であることを特徴とする請求項４に記載のセラミッ
クグリーンシート積層装置。
【請求項７】カッター（１１）は、セラミックグリー
ンシート（ａ）の積層時の積層条件を各々各別に調整、
設定可能であることを特徴とする請求項２〜６の何れか
に記載のセラミックグリーンシート積層装置。
【請求項８】カッター（１１）は、水平方向にその角
度が調整可能であることを特徴とする請求項２〜７の何
れかに貴台のセラミックグリーンシート積層装置。