JPH1015929A

JPH1015929A - セラミックグリーンシート積層方法と装置

Info

Publication number: JPH1015929A
Application number: JP18819396A
Authority: JP
Inventors: Masahiro Tanaka; 巨浩田中; Hiroyuki Moriya; 裕之森谷
Original assignee: Taiyo Yuden Co Ltd
Current assignee: Taiyo Yuden Co Ltd
Priority date: 1996-06-29
Filing date: 1996-06-29
Publication date: 1998-01-20

Abstract

(57)【要約】（修正有）【課題】セラミックグリーンシートａを裁断して積層
し、これを圧着できるようにし、これによってセラミッ
クグリーンシートａの積層体の変形や破損を防止する。【解決手段】第一の裁断ステーション１では、セラミ
ックグリーンシートｂの裁断幅ｗが調整可能であり、そ
の調整された幅で長手方向に送られる長尺なセラミック
グリーンシートｃが裁断される。次に、定量送り機構２
では、そのセラミックグリーンシートｂの送り長さが調
整可能であり、その調整された長さだけセラミックグリ
ーンシートｂを送る。そして、第二の裁断ステーション
３は、前記定量送り機構２により送られた長尺なセラミ
ックグリーンシートｂの先頭部分をその送られた長さ分
だけ裁断する。裁断されたセラミックグリーンシートａ
は、積層ステーション５で積み重ねられ、この積み重ね
られたセラミックグリーンシートａが圧着ステーション
７でその積層方向に加圧される。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、一部に電極パター
ンを有するセラミックグリーンシートを積層して、積層
セラミックコンデンサーや積層セラミックインダクター
等の電子部品を製造するに当り、セラミックグリーンシ
ートを裁断し、積層し、圧着する方法と装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】積層電子部品の最も代表的な例である積
層セラミックコンデンサや積層セラミックインダクター
は、内部電極を有する誘電体或は磁性体セラミック層が
多数積み重ねられ、内部電極が積層体の端面に引き出さ
れている。そして、これらの内部電極が引き出された積
層体の端面に外部電極が形成されている。

【０００３】このような積層電子部品を製造するために
は、まず微細化したセラミック粉末と有機バインダーと
を混練してスラリーを作り、これをドクターブレード法
によって、長尺なポリエチレンテレフタレートフィルム
等からなるキャリアフィルム上に薄く展開し、乾燥し、
セラミックグリーンシートを作る。次に、このセラミッ
クグリーンシートを支持フィルムの上に載ったままスク
リーン印刷法によって導電ペーストを印刷し、乾燥す
る。これにより、内部電極パターンが印刷された長尺な
セラミックグリーンシートが得られる。

【０００４】次に、内部電極パターンを有する長尺なセ
ラミックグリーンシートを、キャリアフィルムから剥離
すると共に、その内部電極パターンの位置を基準として
所定の形状に裁断し、裁断されたセラミックグリーンシ
ートを積層する。この場合、積層するセラミックグリー
ンシートが磁性体を含むセラミックグリーンシートの場
合は、積層ステーションに磁石を埋設してセラミックグ
リーンシートを吸着保持し、積み重ねる方法が用いられ
る。さらに、この積層体をセラミックグリーンシートの
積層方向に加圧し、圧着した後、所望のサイズに切断し
て、積層生チップを製作し、この生チップを焼成する。
こうして得られたチップ状の積層体は、内部電極を有
し、端面にその内部電極の全部または一部が露出した立
方体形のものである。次に、この焼成済みの積層体の両
端に導電ペーストを塗布し、焼付けることにより、両端
に外部電極が形成され、積層電子部品が完成する。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】前述のようにして、積
層ステーションに磁石を埋設し、磁性体を含むセラミッ
クグリーンシートを積層ステーションに吸着し、保持す
る場合、セラミックグリーンシートの積層体を確実に保
持することができる。しかし、セラミックグリーンシー
トの積層体を積層ステーションから取り出す時に、剥離
し難く、無理に剥離すると、積層体に傷を付けたり破損
してしまうという課題があった。また、前記のような従
来のセラミックグリーンシートの積層方法と装置では、
裁断されるセラミックグリーンシートの縦横寸法に対応
した凹部を有するトレイ状のプラテンが使用され、この
プラテンの凹部内で裁断されたセラミックグリーンシー
トが積層され、さらに仮圧着される。

【０００６】ところが、仮圧着時におけるセラミックグ
リーンシートの伸びはそのセラミック成分やバインダー
成分の種類や配合比率等により異なる。そして、このよ
うなセラミックグリーンシートの積層体が、前記プラテ
ンの凹部内で仮圧着されたとき、積層体の伸びによっ
て、その縁がプラテンの凹部内の内壁に強く押し付けら
れると、積層体の縁が変形或は破損したりする。さらに
は積層体の縁が凹部の壁面に密着し、積層体をプラテン
から取り出すのが困難となる。他方、セラミックグリー
ンシートの積層体をプラテンの凹部内で仮圧着すると
き、その積層体がプラテンの凹部の寸法に比して小さす
ぎると、積層体の平面方向の伸びが大きくなりすぎ、内
部電極パターンの寸法精度やその積層精度が悪くなる。

【０００７】本発明は、このような従来のセラミックグ
リーンシート積層装置における課題に鑑み、セラミック
グリーンシートの仮圧着時の伸びに対応して、適切な縦
横寸法にセラミックグリーンシートを裁断して積層し、
これを圧着できるようにし、これによってセラミックグ
リーンシートの積層体の変形や破損を防止すると共に、
内部電極パターンの寸法精度やその積層精度の向上を図
ることを目的とする。

【０００８】

【課題を解決するための手段】本発明では、前記の目的
を達成するため、裁断されたセラミックグリーンシート
ａを積層し、圧着する前の長尺なセラミックグリーンシ
ートｃの裁断工程において、裁断幅ｗ及び裁断長さｌが
適宜に調整できるようにし、これにより最適な縦横寸法
でセラミックグリーンシートａを裁断し、その後この裁
断されたセラミックグリーンシートａを積層し、圧着す
るようにした。

【０００９】すなわち、セラミックグリーンシートの積
層方法は、長尺なセラミックグリーンシートｃを所定の
縦横寸法に裁断し、この裁断したセラミックグリーンシ
ートａを複数枚積層し、その積層体をセラミックグリー
ンシートａの積層方向に加圧してセラミックグリーンシ
ートａを圧着するものである。このようなセラミックグ
リーンシートの積層方法において、本発明では、セラミ
ックグリーンシートの裁断工程を、第一と第二の裁断工
程に分けて行なう。まず、第一の裁断工程においては、
裁断幅ｗを調整可能とし、その調整された幅で長尺なセ
ラミックグリーンシートｃを裁断する。さらに、第二の
裁断工程においては、裁断長さｌを調整可能とし、その
調整された長さで長尺のセラミックグリーンシートｂを
裁断する。その後、積層工程において、裁断されたセラ
ミックグリーンシートａを積み重ね、圧着工程におい
れ、前記積層工程で積み重ねられたセラミックグリーン
シートａをその積層方向に加圧してセラミックグリーン
シートａを圧着する。

【００１０】ここで、第二の裁断工程において、裁断長
さｌを調整可能とし、その調整された長さで長尺のセラ
ミックグリーンシートｂを裁断するより具体的な方法と
しては、送り長さを調整可能とし、その調整された長さ
だけ長尺なセラミックグリーンシートｂを送るセラミッ
クグリーンシートの定量送り工程を行い、その後第二の
裁断工程において、長尺のセラミックグリーンシートｂ
の先頭部分を前記送り工程により送られられた長さ分だ
け裁断する方法があげられる。

【００１１】さらに、このようなセラミックグリーンシ
ート積層方法を実施するための本発明による装置は、前
記セラミックグリーンシート積層方法に対応して、セラ
ミックグリーンシートを裁断する第一の裁断ステーショ
ン１と第二の裁断ステーション３とを備える。まず、第
一の裁断ステーション１では、裁断幅ｗを調整可能と
し、その調整された幅で長手方向に送られる長尺なセラ
ミックグリーンシートｃを裁断する。次に、第二の裁断
ステーション３では、裁断長さｌを調整可能とし、その
調整された長さで長尺のセラミックグリーンシートｂを
裁断する。さらに、積層ステーション５と圧着ステーシ
ョン７とを設け、前記の裁断されたセラミックグリーン
シートａを積み重ね、この積み重ねられたセラミックグ
リーンシートａをその積層方向に加圧してセラミックグ
リーンシートａを圧着する。

【００１２】なお、第二の裁断ステーション３におい
て、長尺なセラミックグリーンシートｂを裁断する都
度、裁断後の個々のセラミックグリーンシートａを積層
ステーション５に搬送して積層してもよいが、第二の裁
断ステーション３で複数枚のセラミックグリーンシート
ａを積み重ねながら裁断し、この複数のセラミックグリ
ーンシートａを一括して積層ステーション５さらには圧
着ステーション７に搬送するようにしてもよい。

【００１３】ここで、第二の裁断ステーション３におい
て、裁断長さｌを調整可能とし、その調整された長さで
長尺のセラミックグリーンシートｂを裁断するために、
例えば定量送り機構２を用いる。すなわち、送り長さが
調整可能な定量送り機構２により、その調整された送り
長さだけセラミックグリーンシートｂを第二の裁断ステ
ーション３へ送る。そして、この第二の裁断ステーショ
ン３において、長尺なセラミックグリーンシートｂの先
頭部分を前記定量送り機構２により送られた長さ分だけ
裁断する。

【００１４】このような定量送り機構２としては、セラ
ミックグリーンシートｂの長手方向に往復移動し、その
移動ストロークが調整可能なセラミックグリーンシート
の保持ヘッド２１を備え、この保持ヘッド２１により保
持されたセラミックグリーンシートｂの先頭部分を、前
記往復移動のストローク分だけ送る機構が採用できる。
前記第一の裁断ステーション１において、長尺なセラミ
ックグリーンシートｃを調整された裁断幅ｗで裁断する
手段としては、例えば、長手方向に送られる長尺なセラ
ミックグリーンシートｃの送り方向と直交する方向に対
向し、間隔調整可能な一対のカッター１０、１０を備え
たものを使用することができる。このカッター１０、１
０により前記セラミックグリーンシートｃを裁断するこ
とにより、調整された裁断幅ｗでセラミックグリーンシ
ートｃを裁断することができる。

【００１５】このようなセラミックグリーンシート積層
装置とそれを使用した積層方法では、まず、前記第一の
裁断ステーション１において、第一の裁断方法を行なう
際に、例えば、一対のカッター１０、１０の間隔を調整
することにより、長尺なセラミックグリーンシートｃを
予め調整された幅で裁断することができる。さらに、前
記第二の裁断ステーション３において第二の裁断工程を
行なう際に、例えば、定量送り機構２によるセラミック
グリーンシートｂの長手方向への往復移動のストローク
を調整することにより、セラミックグリーンシートｂの
先頭部分がその送られた長さ分だけ先頭部分が裁断され
るので、セラミックグリーンシートｂの裁断長さが予め
調整できる。すなわち、セラミックグリーンシートａの
裁断後の縦横寸法が任意に調整できる。

【００１６】これにより、セラミックグリーンシートｃ
の成分の違い等による仮圧着時の伸びの違いを考慮して
臨機にその裁断縦横寸法を調整することが可能となる。
例えば、前記積層ステーション５における積層工程及び
圧着ステーション７における圧着工程では、セラミック
グリーンシートａがトレイ状のプラテン５６の凹部内で
積層され、圧着される。この場合に、前記のようにし
て、セラミックグリーンシートｃ、ｂの裁断幅及び長さ
を適宜変えて、仮圧着時に、プラテン５６の凹部の寸法
に適合した積層体寸法が得られるように、調整すること
が可能となる。

【００１７】

【発明の実施の形態】次に、図面を参照しながら、本発
明の実施の形態について具体的且つ詳細に説明する。図
１は、本発明によるセラミックグリーンシート積層装置
の例の全体的なレイアウトを示している。この図１に示
されたように、セラミックグリーンシート積層装置は、
長尺なセラミックグリーンシートｃを長手方向に送る搬
送手段と、この長尺なセラミックグリーンシートｃを所
定の幅で裁断する第一の裁断ステーション１と、所定の
幅に裁断されたセラミックグリーンシートｂの先頭部分
を所定の長さだけ送る定量送り機構２と、この定量送り
機構２により送られた長尺なセラミックグリーンシート
ｂの先頭部分を裁断する第二の裁断ステーション３と、
その裁断されたセラミックグリーンシートａを積み重ね
る積層ステーション５と、この積層ステーション５で積
み重ねられたセラミックグリーンシートａをその積層方
向に加圧してセラミックグリーンシートａを圧着する圧
着ステーション７とを備える。

【００１８】図２に示すように、セラミックグリーンシ
ートｃは、長尺なポリエチレンテレフタレートフィルム
等のキャリアフィルムｄ上にセラミックスラリーを所定
の幅で均一な厚さに薄く塗布し、乾燥した状態で形成さ
れている。従って、最初のステーションである第一の裁
断ステーション１には、セラミックグリーンシートｃが
キャリアフィルムｄの上に支持された状態でその長手方
向に連続搬送されてくる。図２に示すローラー１８、１
８…は、このセラミックグリーンシートｃを支持したキ
ャリアフィルムｄをその長手方向に連続搬送するもので
ある。

【００１９】この連続搬送により、キャリアフィルムｄ
は、セラミックグリーンシートｃを上に支持した状態
で、前記ローラー１８、１８…により、カッターベース
１４上を通過する。このカッターベース１４の両側に
は、ブラケット１２、１２が取り付けられ、そのブラケ
ット１２、１２のカッターベース１４への取付高さが、
高さ調整ネジ１３、１３により調整される。

【００２０】これらブラケット１２、１２の間には、一
対の平行なロッド状のリニアガイド１１、１１が上下に
平行に架設されている。そして、このリニアガイド１
１、１１にカッター支持部１５、１５が取り付けられて
いる。このカッター支持部１５、１５は、前記リニアガ
イド１１、１１の長手方向にスライド自在に取り付けら
れているが、その取付位置が、固定ネジ１６、１６で固
定できるようになっている。このカッター支持部１５、
１５の両側に円板状のカッター１０、１０が軸支されて
おり、このカッター１０、１０は、図示しないモーター
等の駆動源により回転駆動される。

【００２１】この第一の裁断ステーション１では、前記
カッターベース１４上を連続走行するキャリアフィルム
ｄのセラミックグリーンシートｃに前記カッター１０、
１０を当てながら、そのカッター１０、１０を回転さ
せ、セラミックグリーンシートｃを所定の幅に裁断す
る。図３に示されたように、このときのセラミックグリ
ーンシートｃの裁断幅ｗは、カッター１０、１０の間隔
により決定され、このカッター１０、１０の間隔は、前
記カッター支持部１５、１５のリニアガイド１１、１１
上の位置により決定される。換言すると、固定ネジ１
６、１６を緩め、カッター支持部１５、１５をリニアガ
イド１１、１１の長手方向に沿って移動させながら、カ
ッター１０、１０の間隔を調整し、適当な間隔になった
位置で、固定ネジ１６、１６を締め付けてカッター支持
部１５、１５の位置を固定する。これにより、カッター
１０、１０の間隔を任意に調整することができる。

【００２２】なお、カッター１０、１０のセラミックグ
リーンシートｃへの切込み深さは、前記高さ調整ネジ１
３、１３によりブラケット１２、１２の取付高さを調整
することにより行なう。また、リニアガイド１１、１１
とカッターベース１４の上面との平行出しも、前記高さ
調整ネジ１３、１３により両側のブラケット１２、１２
の取付高さを調整することにより行なう。

【００２３】ここで、両側が互いに逆方向リードのボー
ルネジを使用したスクリュー機構を用い、手動または電
動等の手段で、前記カッター支持部１５、１５の位置を
同時に変えることができるようにしてもよい。すなわ
ち、前記リニアガイド１１、１１と平行に両側が互いに
逆方向リードのボールネジをブラケット１２、１２の間
に回転自在に架設し、このボールネジの両側部分をカッ
ター支持部１５、１５に貫通・螺合し、ネジ対偶させ
る。これにより、ボールネジの端部に設けたハンドルを
手動で回転するか、或はボールネジに連結したモーター
で回転することにより、カッター両側の支持部１５、１
５が互いに反対方向に移動し、その位置を変えることが
できる。

【００２４】このようにして、所定の幅で裁断された長
尺なセラミックグリーンシートｂは、次の裁断工程であ
る第二の裁断工程に送られるが、図示の例では、セラミ
ックグリーンシートｂがキャリアフィルムｄの上に支持
されたままであるため、その前に図２に示されたような
剥離ステーション８を通過させ、セラミックグリーンシ
ートｂからキャリアフィルムｄを剥離する。この剥離ス
テーション８には、先端縁が鋭いナイフエッジ状となっ
た水平なストリップブレード１７を備え、セラミックグ
リーンシートｂを支持したキャリアフィルムｄがその上
を通過させられる。そして、前記ストリップブレード１
７の先端のナイフエッジ部分で、キャリアフィルムｄの
みが下方に鋭角的に折り返され、斜め下方に引き取られ
る。これにより、裁断されたキャリアフィルムｂのみが
キャリアフィルムｄから剥離され、裁断された両側のセ
ラミックグリーンシートの耳部分と共にキャリアフィル
ムｄと斜め下方へ引き取られる。そして、裁断されたセ
ラミックグリーンシートｂは、ローラー１８、バッファ
ーローラー１９及びローラー１８により案内され、次の
第二の裁断ステーション３へと送られる。

【００２５】図４に示すように、第二の裁断ステーショ
ン３には、上面が平坦な裁断テーブル２０が配置され、
この裁断テーブル２０の手前と先の部分の上面は、各々
テーブル面が真空吸引手段により、セラミックグリーン
シートａを吸着できる吸着面となっている。すなわち、
裁断テーブル２０の前後の部分には、微細な連続通孔を
有する多孔質体からなる吸引板４６、３２が張られ、そ
の背後に形成された真空室４７、３１が図示されていな
い真空吸引機構により、負圧とされたり大気圧に戻され
たりする。これにより、前記吸引板４６、３２の上面に
セラミックグリーンシートｃを吸着し、或るはその吸着
を解除することができる。

【００２６】図４及び図５に示すように、この第二の裁
断ステーション３には、前記セラミックグリーンシート
ｂの先頭部分を同裁断ステーション３に定量送りする定
量送り機構２が配置されている。この定量送り機構２
は、前記裁断テーブル２０上に搬送されてきたセラミッ
クグリーンシートｂの先頭部分を保持する保持ヘッド２
１を備えている。保持ヘッド２１は、前記裁断テーブル
２０の全ストロークをカバーするよう移動させられる。
図示の保持ヘッド２１としては、真空吸引手段によりセ
ラミックグリーンシートｂを保持するものが例示されて
いる。すなわち、図４に示されたように、保持ヘッド２
１の下面には、微細な連続的通孔を有する多孔質体から
なる吸引板２２が張られ、その背後に形成された真空室
が図示されていない真空吸引機構により、負圧とされた
り大気圧に戻されたりする。これにより、前記吸引板２
２の下面にセラミックグリーンシートｂを吸着し、或る
はその吸着を解除することができる。

【００２７】なお、この真空吸引手段を使用した保持ヘ
ッド２１は、あらゆるタイプのセラミックグリーンシー
トｂに適用が可能であるが、例えば、セラミックグリー
ンシートｂがフェライト系セラミック等のような磁性体
セラミックグリーンシートの場合、真空吸引手段以外に
磁力吸引手段も使用でき、もちろんそれらを併用するこ
ともできる。

【００２８】図４に示すように、この保持ヘッド２１
は、ブラケットアーム２８を介して移動機構に取り付け
られ、この移動機構により図４において上下及び左右に
移動させられる。すなわち、前記ブラケットアーム２８
の基端となるその下端部が、上下移動ブロック２３に取
り付けられている。この上下移動ブロック２３は、上下
のリニアガイドにより水平移動ブロック２５が取り付け
られ、同水平移動ブロック２５に対して上下にスライド
自在となっている。この上下移動ブロック２３にはエア
シリンダ等の駆動部２４が連結され、この駆動部２４に
より、上下移動ブロック２３が上下に移動させられる。
前記水平移動ブロック２５は、水平リニアガイド２６、
２６に沿って、水平方向にスライド自在に取り付けられ
ている。サーボモーター等の駆動部２９によって回転さ
れる前記リニアガイド２６、２６と平行なボールネジ２
７が前記水平移動ブロック２５に貫通・螺合している。
従って、駆動部２９によりボールネジ２７が回転するこ
とにより、水平移動ブロック２５が水平方向に移動す
る。このように前記保持ヘッド２１は、前記駆動部２
４、２９の駆動により、上下及び左右に移動させられ
る。

【００２９】前記裁断テーブル２０の先の部分は、その
テーブル面が真空吸引手段により、セラミックグリーン
シートａを吸着できる吸着面となっている。すなわち、
裁断テーブル２０の板面は、微細な連続通孔を有する多
孔質体からなる吸引板３２が張られ、その背後に形成さ
れた真空室３１が図示されていない真空吸引機構によ
り、負圧とされたり大気圧に戻されたりする。これによ
り、前記吸引板３２の上面にセラミックグリーンシート
ｃを吸着し、或るはその吸着を解除することができる。

【００３０】この吸引板３２の上に、裁断されたセラミ
ックグリーンシートａを吸着し、保持する保持ヘッド３
３が配置されている。この保持ヘッド３３としては、真
空吸引手段と磁力吸引手段とを併用して裁断されたセラ
ミックグリーンシートａを保持するものが例示されてい
る。すなわち、図４に示されたように、保持ヘッド２１
の下面には、微細な連続的通孔を有する多孔質体からな
る吸引板２２が張られ、その背後に形成された真空室が
図示されていない真空吸引機構により、負圧とされたり
大気圧に戻されたりする。これにより、前記吸引板２２
の下面にセラミックグリーンシートｂの先頭部分を吸着
し、或るはその吸着を解除することができる。この保持
ヘッド３３は、電磁石３５を備えており、セラミックグ
リーンシートａがフェライト系セラミック等のような磁
性体セラミックグリーンシートの場合、この電磁石３５
による磁力も利用して吸着できる。すなわち、電磁石３
５を励磁することにより、磁性体であるセラミックグリ
ーンシートａがその磁力で吸着され、電磁石３５を解磁
することにより、セラミックグリーンシートａの吸着が
解除される。

【００３１】この保持ヘッド３３は、取付板３０に上下
ガイドとエアシリンダ等の上下駆動部３７を介して取り
付けられ、前記駆動部３７により上下動される。さら
に、前記取付板３０は、ブラケット４３を介して図５に
示すスライダー４４により、水平に支持されている。こ
のスライダー４４は、リニア移動機構により、図４にお
いて紙面手前と奥との間、すなわち、図５において左下
と右上との間を移動する。図４及び図５に示された側板
３９と、後述する積層ステーション５側にある側板（図
１参照）との間に平行にリニアガイド４１が架設され、
前記スライダー４４はこのリニアガイド４１に沿ってス
ライド自在に取り付けられている。前記リニアガイド４
１と平行にボールネジ４０が架設され、このボールネジ
４０がスライダー４４に貫通・螺合し、ネジ対偶をなし
ている。そして、このボールネジ４０はサーボモーター
等の駆動部４２により回転される。従って、この駆動部
４２によりボールネジ４０が正逆回転されることによ
り、スライダー４４がリニアガイド４１に沿って往復移
動し、取付板３０に取り付けられた保持ヘッド３３が同
方向に往復移動する。

【００３２】前記保持ヘッド３３の手前側の側面、すな
わち図４において右側の側面に沿って上下動するように
ブレード状のカッター３６が取り付けられている。すな
わち、前記取付板３０の手前の辺部にソレノイドやエア
シリンダー等のアクチュエーター３８が取り付けられ、
このアクチュエーター３８に連結されたブレード状のカ
ッター３６が前記保持ヘッド３３の手前の側面に沿って
昇降する。裁断テーブル２０上には、前記カッター３６
の刃先の延長線部分に、同カッター３６の刃先を逃げる
逃げ溝４４が設けられている。

【００３３】この第二の裁断ステーション３では、保持
ヘッド３３のカッター３６でセラミックグリーンシート
ｂが裁断されるとき、予め定量送り機構２の保持ヘッド
２１の下面と裁断テーブル２０の吸引板４６の上面との
間に、セラミックグリーンシートｂの裁断される位置の
手前の部分が吸着され、保持されている。すなわち、定
量送り機構２の保持ヘッド２１が前記の移動機構により
下降されると共に、、同保持ヘッド２１の下面と裁断テ
ーブル２０の吸引板４６の上面とが負圧とされ、この保
持ヘッド２１の下面と吸引板４６の上面とにセラミック
グリーンシートｂが挟持されると共に、吸着し、保持さ
れている。

【００３４】この状態で、後述するように、保持ヘッド
３３がそのカッター３６でセラミックグリーンシートｂ
を裁断した後、保持ヘッド３３が、その下面に裁断した
セラミックグリーンシートａを吸着し、保持しながら、
上昇する。このように保持ヘッド３３が上昇したとき、
裁断テーブル２０の吸引板４６の上面の負圧が解除さ
れ、同吸引板４６がセラミックグリーンシートｂの吸着
を解除する。続いて、保持ヘッド２１がセラミックグリ
ーンシートｂの裁断された後の部分を吸着したまま、僅
だけ裁断テーブル２０の上から上昇し、裁断テーブル２
０の先方（図４において左方）へ所定の距離ｌだけ移動
する。そこで、保持ヘッド２１が下降すると共に、その
下面の負圧が解除されてセラミックグリーンシートｂの
先頭部分の吸着が解除される。同時に、裁断テーブル２
０の吸引板３２の上面が負圧とされ、セラミックグリー
ンシートｂの先頭部分は、この吸引板３２上に吸着・保
持される。その後、保持ヘッド２１が元の位置に戻る。
そして、この保持ヘッド２１は、前述のようにして、そ
の下面にセラミックグリーンシートｂの次に裁断される
位置の手前の部分を吸着する。このような定量送り機構
２によるセラミックグリーンシートｂの送りに伴うテン
ションの変動は、図２に示す前述のバッファーローラー
１９が吸収する。

【００３５】同時に、カッター３６を備える保持ヘッド
３３が下降すると共に、その下面が負圧にされ、且つ電
磁石３５が励磁される。これにより、保持ヘッド３３の
下面にセラミックグリーンシートｂの先頭部分が吸着・
保持される。ここで、アクチュエーター３８の動作によ
り、カッター３６が保持ヘッド３３の側面に沿って下降
され、セラミックグリーンシートｂの先頭部分を裁断す
る。これにより、セラミックグリーンシートｂは、前記
定量送り機構２の保持ヘッド２１がセラミックグリーン
シートｂを送った長さｌの分だけ、セラミックグリーン
シートｂの先頭部分を裁断する。すなわち、セラミック
グリーンシートｂは、定量送り機構２の保持ヘッド２１
の移動スロークにより決定されるセラミックグリーンシ
ートｂの送り長さに等しい長さｌで裁断される。

【００３６】次に、アクチュエーター３８の動作によ
り、カッター３６が上昇し、その刃先が保持ヘッド３３
の下面より上に後退すると共に、吸引板３２の上面の負
圧が解除され、さらに上下駆動部３７により保持ヘッド
３３が上昇する。これにより、保持ヘッド３３は、その
下面に裁断されたセラミックグリーンシートａを吸着し
たまま上昇する。

【００３７】以下この動作を繰り返すことで、長尺なセ
ラミックグリーンシートｂの先頭部分を所定の長さｌで
裁断し、裁断されたセラミックグリーンシートａが順次
積み重ねられながら、保持ヘッド３３の下面に吸着、保
持される。このようにしてセラミックグリーンシートｂ
の裁断が繰り返され、所定の枚数のセラミックグリーン
シートａが保持ヘッド３３の下面に吸着、保持された
ら、同保持ヘッド３３が前述のリニア移動機構により積
層ステーション５側に移動し、後述するように同ステー
ション５でセラミックグリーンシートａを積層する。

【００３８】なお、前記の工程では、保持ヘッド３３に
保持しながら、セラミックグリーンシートｂの裁断を繰
り返し、複数枚の裁断されたセラミックグリーンシート
ａを保持ヘッド３３の下面で積み重ね、この積み重ねた
セラミックグリーンシートａを一括して同時に次の積層
ステーション５に送るものであった。これに対し、カッ
ター３６によ長尺なりセラミックグリーンシートｂの先
頭部分が裁断される都度、その裁断されたセラミックグ
リーンシートｂを積層ステーション５に搬送しするよう
にしてもよい。

【００３９】このようにしてセラミックグリーンシート
ｂが裁断される長さｌは、前述の定量送り機構２の保持
ヘッド２１により、セラミックグリーンシートｂが送ら
れた長さに等しい。従って、保持ヘッド２１のストロー
クを変えて、セラミックグリーンシートｂの送りの長さ
を変えることにより、カッター３６で裁断される長さが
決定される。換言すると、第二の裁断ステーション３に
おけるセラミックグリーンシートｂの裁断長さは、保持
ヘッド２１の移動ストロークを変えることにより調整で
きることになる。

【００４０】前記第一の裁断ステーション１で、セラミ
ックグリーンシートｂは所定の幅ｗに裁断されているの
で、この第二の裁断ステーション３でセラミックグリー
ンシートｂが長さｌで裁断されることにより、幅ｗ、長
さｌの裁断されたセラミックグリーンシートａが得られ
ることになる。既に述べた通り、第一と第二の裁断ステ
ーション１、３においてセラミックグリーンシートの裁
断幅ｗ及び裁断長さｌを適宜調整することにより、最終
的に裁断されたセラミックグリーンシートａの縦横寸法
を調整することができる。

【００４１】図１に示す通り、積層ステーション５は、
前記第二の裁断ステーション３の側方に設けられ、その
上に前記リニアガイド４１とボールネジ４０の端部が達
している。従って、裁断されたセラミックグリーンシー
トａを吸着・保持する前記保持ヘッド３３は、この積層
ステーション５にまで移動してくる。図６及び図７に示
すように、この積層ステーション５は、前記プラテン５
６を保持するプラテン保持台５７を備えた積層テーブル
５１を備え、プラテン保持台５７上にプラテン５６を搭
載し、固定できるようにしている。前記リニアガイド４
１とボールネジ４０に沿って移動する保持ヘッド３３
は、このプラテン保持台５７の真上に移動してくる。

【００４２】プラテン５６は、図６にその全体形状を、
図７にその断面を示すように、平面が四角形のトレイ状
のもので、上面に四角形の凹部を有する。この凹部の縦
横寸法は、前記セラミックグリーンシートの裁断幅ｗ及
び裁断長さｌより僅かに大きい。図１に示されたよう
に、このプラテン５６は、コンベア５５によって図１の
右側から搬送されてくる。

【００４３】図７に示されたように、プラテン保持台５
７の上面には、プラテン５６を保持して固定する保持手
段が設けられている。図示の例では、コンベア５５で送
られてきたプラテン５６に収納された磁性体を含むセラ
ミックグリーンシートａを吸着して保持するため、プラ
テン保持台５７に電磁石５９が埋設されている。この電
磁石５９を励磁したり、その励磁を解除することによ
り、プラテン保持台５７の上面のプラテン５６に収納さ
れたセラミックグリーンシートａを吸着・保持し、或は
この吸着を解除することができる。

【００４４】このプラテン５６の保持手段としては、例
えばプラテン５６に収納されるセラミックグリーンシー
トａが非磁性体である場合、真空吸引手段を使用するこ
ともできる。例えば、プラテン保持台５７の上面に前記
の裁断テーブル２０と同様の多孔質板を張り、その背後
に真空室を設ける。また、プラテン５６の底壁に通気性
を与えるため、その底壁を多孔質板で形成する。これに
より、真空室を負圧とすることで、多孔質板を介してプ
ラテン５６の底面が負圧となり、そこにセラミックグリ
ーンシートａを真空吸着することができる。

【００４５】このプラテン保持台５７の周囲には、コン
ベア５５で送られてきたプラテン５６を停止させると共
に、その停止位置を決める位置決め手段としての位置決
めピン５２、５３、５８が設けられている。このうち、
位置決めピン５２は、プラテン保持台５７の側方に設け
た固定の位置決めピンであり、プラテン５６の搬送方向
に２つ並んで立設されている。位置決めピン５８は、プ
ラテン保持台５７の前方に設けた上下動される位置決め
ピンであり、新たなプラテン５６が搬送されてくるとき
上昇し、プラテン５６を停止させる。また、プラテン５
６を先に送り出すとき、位置決めピン５８は下降する。
位置決めピン５３は、プラテン保持台５７の後方と他方
の側方に設けられ、駆動部５４により上下動及び前後動
される位置決めピンである。これらの位置決めピン５３
は、新たなプラテン５６が搬送されてくるとき下降し、
後退しているが、プラテン５６が前記位置決めピン５８
により停止されると、上昇すると共に、前進し、プラテ
ン５６の後面と側面に突き当り、プラテン５６を所定の
位置に位置決めする。その後、前記プラテン保持台５７
の上面にプラテン５６の下面が吸着・保持される。

【００４６】この積層テーブル５１の側方には、シート
をストックするシートストックステージ６１が設けら
れ、ストックピン６２に囲まれたエリアに前記のスペー
サーシートｅを重ねて搭載する。このスペーサーシート
ｅとしては、離型性の良好な四塩化弗素樹脂シート等が
使用される。このシートストックステージ６１の上に
は、スペーサーシートｅを吸着して保持する吸着ヘッド
６５が配置され、この吸着ヘッド６５は、駆動ユニット
６３により昇降されると共に、リニアガイド６４に沿っ
て、シートストックステージ６１の真上と前記積層台５
１の真上との間を往復移動する。

【００４７】この積層ステーション５では、プラテン５
６がコンベア５５によって図１の右側から搬送され、図
６及び図７に示されたように、プラテン保持台５７の上
に達する。すると、予め上昇していた位置決めピン５８
によってプラテン５６が停止され、さらに位置決めピン
５３の突き当てにより、プラテン５６が所定の位置に位
置決めされる。その後、前記プラテン保持台５７の上面
にプラテン５６の下面が吸着・保持される。同時に、シ
ートストック台６１側で吸着ヘッド６５がスペーサーシ
ートｅを吸着して保持する。そして、この吸着ヘッド６
５が積層ステーション５側に移動してきて、積み重ねら
れたセラミックグリーンシートａの上にスペーサーシー
トｅを載せる。その後、吸着ヘッド６５はシートストッ
ク台６１側に戻り、待機する。

【００４８】この状態で、前記保持ヘッド３３が、前述
のようにして第二の裁断ステーション３で幅ｗのセラミ
ックグリーンシートｂを所定の長さｌで順次裁断しなが
ら、その下面に複数枚のセラミックグリーンシートａを
積み重ね、所定の枚数のセラミックグリーンシートａが
積み重ねられたとき、第二の裁断ステーション３と積層
ステーション５との間を往復し、裁断され、積み重ねら
れたセラミックグリーンシートａをプラテン５６の凹部
内に置く。

【００４９】そして、所定の枚数のセラミックグリーン
シートａがプラテン５６の凹部内に積み重ねられた後、
シートストック台６１側で吸着ヘッド６５がスペーサー
シートｅを吸着して保持すると共に、この吸着ヘッド６
５が積層ステーション５側に移動してきて、積み重ねら
れたセラミックグリーンシートａの上にスペーサーシー
トｅを載せる。その後、吸着ヘッド６５はシートストッ
ク台６１側に戻り、待機する。次に、前述と同様にし
て、セラミックグリーンシートａのプラテン５６の凹部
内への積み重ねが行なわれ、所定の枚数が積み重ねられ
たところで、その上にスペーサシートａが載せられる。
以下同様にしてスペーサーシートｅを介して所定枚数ず
つのセラミックグリーンシートａがプラテン５６の凹部
内に積み重ねられていく。

【００５０】その後、所定の組数のセラミックグリーン
シートａの積み重ねが終了すると、前記位置決めピン５
８が下降し、コンベア５５でプラテン５６が次の圧着ス
テーション７に搬送される。その後、位置決めピン５８
が再び上昇すると共に、位置決めピン５３が下降し、且
つ後退される。続いて、コンベア５５によって次のプラ
テン５６がプラテン保持台５７上に搬送されてきて、前
述のようにして位置決めされ、保持される。以下、同様
にしてセラミックグリーンシートａの積み重ねが行なわ
れる。

【００５１】図１に示す通り、圧着ステーション７は、
前記コンベア５５によってプラテン５６が搬送される先
側に配置されている。図８及び図９に示すように、この
圧着ステーション７は、前記プラテン５６を保持するプ
ラテン保持台７６を備えた圧着テーブル７７を備え、プ
ラテン保持台７６上にプラテン５６を搭載できるように
している。既に述べた通り、このプラテン５６は、コン
ベア５５によって手前の積層ステーション５から搬送さ
れてくる。

【００５２】図９に示されたように、プラテン保持台７
６の内部には、その上面を加熱するヒーター７９が内蔵
されている。このプラテン保持台７６の周囲には、コン
ベア５５で送られてきたプラテン５６を停止させると共
に、その停止位置を決める位置決め手段としての位置決
めピン７２、７３、７８が設けられている。このうち、
位置決めピン７２は、プラテン保持台７６の側方に設け
た固定の位置決めピンであり、プラテン５６の搬送方向
に２つ並んで立設されている。位置決めピン７８は、プ
ラテン保持台５７の前方に設けた位置決めピンであり、
搬送されてくるプラテン５６を停止させる。位置決めピ
ン７３は、プラテン保持台７６の後方と他方の側方に設
けられ、駆動部７４により上下動及び前後動される位置
決めピンである。これらの位置決めピン７３は、新たな
プラテン５６が搬送されてくるとき下降し、後退してい
るが、プラテン５６が前記位置決めピン７８により停止
されると、上昇すると共に、前進し、プラテン５６の後
面と側面に突き当り、プラテン５６を所定の位置に位置
決めする。

【００５３】このプラテン保持台７６の上方には、押圧
金型８１が配置されている。この押圧金型８１は、図示
してない油圧プレス機により、保持台７６の上に搭載さ
れたプラテン５６の凹部に向けて昇降する。これによ
り、プラテン５６の凹部内に積み重ねられたセラミック
グリーンシートａを加圧して圧着する。この押圧金型８
１の内部には、その下面を加熱するヒーター８２が内蔵
されている。

【００５４】この圧着ステーションでは、プラテン５６
がコンベア５５で送られてくると、位置決めピン７８で
搬送されてくるプラテン５６が停止される。さらに、位
置決めピン７３が駆動部７４により上昇すると共に前進
し、プラテン５６の後面と側面に突き当り、他の位置決
めピン７２、７８と共にプラテン５６を所定の位置に位
置決めし、プラテン保持台７６上に固定する。

【００５５】その後、プラテン保持台７６の上方の押圧
金型８１が油圧プレス機により下降され、保持台７６の
上に搭載されたプラテン５６の凹部内のセラミックグリ
ーンシートａがその積層方向に加圧される。このとき、
押圧金型８１の内部のヒーター８２と、プラテン保持台
７６の内部のヒーター７９の発熱により、前記セラミッ
クグリーンシートａが加熱されながら加圧される。これ
により、スペーサーシートｅを介して所定枚数毎積層さ
れたセラミックグリーンシートａが圧着される。

【００５６】この圧着工程では、プラテン５６の凹部内
のセラミックグリーンシートａがその面方向に延びる
が、その延びたときのセラミックグリーンシートａの積
層体の縁がプラテン５６の凹部の壁面に強く当たらず、
しかもその凹部より極端に小さくないのが望ましい。そ
のためには、この圧着ステーション７における圧着工程
の結果を前記第一の裁断ステーション１と第二の裁断ス
テーション３における第一と第二の裁断工程にフィード
バックし、各々の工程における裁断幅ｗと裁断長さｌを
適宜調整するのがよい。この積層装置と方法では、この
ような裁断幅ｗと裁断長さｌに調整が容易に行える。

【００５７】また、積層工程から圧着工程への移動、圧
着工程での圧着及び圧着後の取り出しが容易になり、セ
ラミックグリーンシートａの積層体ｅを損傷することが
ない。なお、前記圧着ステーション７において行なわれ
る圧着工程は、その後の工程でのセラミックグリーンシ
ートａの剥がれを防止するための圧着であり、いわゆる
仮圧着と呼ばれる。通常は、その後より高い圧力で本圧
着がなされる。

【００５８】

【発明の効果】以上説明した通り、本発明によれば、圧
着工程におけるセラミックグリーンシートａの圧着時の
伸びに応じて、第一の裁断ステーション１と第二の裁断
ステーション３における第一と第二の裁断工程における
セラミックグリーンシートｂ、ａの裁断幅ｗと裁断長さ
ｌを適宜調整することができるので、適切な縦横寸法に
セラミックグリーンシートａを裁断して積層し、これを
圧着できるようになる。これにより、セラミックグリー
ンシートａの積層体の周辺部の変形や破損が防止できる
と共に、内部電極パターンの寸法精度やその積層精度の
向上を図ることができる。また、セラミックグリーンシ
ートａの積層体ｅを、プラテン５６に収納したまま、積
層ステーション５及び圧着ステーション７に順次移動さ
せ、積層工程及び圧着工程を順次行なうので、この間で
セラミックグリーンシートａの積層体ｅを剥離する必要
がなく、その積層体ｅが損傷されない。このため、歩留
りが向上し、生産性の向上を図ることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明によるセラミックグリーンシート積層装
置の例の全体を示す概略斜視図である。

【図２】同セラミックグリーンシート積層装置の例の第
一の裁断ステーションと剥離ステーションを示す概略斜
視図である。

【図３】同セラミックグリーンシート積層装置の例の第
一の裁断ステーションを示す概略正面図である。

【図４】同セラミックグリーンシート積層装置の例の第
二の裁断ステーションを示す概略側面図である。

【図５】同セラミックグリーンシート積層装置の例の第
二の裁断ステーションを示す概略斜視図である。

【図６】同セラミックグリーンシート積層装置の例の積
層ステーションとその側方のシートストックステージを
示す概略斜視図である。

【図７】同セラミックグリーンシート積層装置の例の積
層ステーションを、プラテンの一部を破断して示した概
略斜視図である。

【図８】同セラミックグリーンシート積層装置の例の圧
着ステーションを示す概略斜視図である。

【図９】同セラミックグリーンシート積層装置の例の圧
着ステーションを示す概略縦断側面図である。

【符号の説明】

１第一の裁断ステーション２定量送り機構３第二の裁断ステーション５積層ステーション７圧着する圧着ステーション１０第一の裁断ステーションのカッター２１保持ヘッド３３保持ヘッド３６第二の裁断ステーションのカッター５６プラテン６１シートストックステージａ個々の裁断されたセラミックグリーンシートｂ所定の幅に裁断されたセラミックグリーンシートｃ裁断前の長尺なセラミックグリーンシートｅスペーサーシート

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】長尺なセラミックグリーンシート（ｃ）
を所定の縦横寸法に裁断し、この裁断したセラミックグ
リーンシート（ａ）を複数枚積層し、その積層体をセラ
ミックグリーンシート（ａ）の積層方向に加圧してセラ
ミックグリーンシート（ａ）を圧着するセラミックグリ
ーンシート積層方法において、裁断幅（ｗ）を調整可能
とし、その調整された幅で長尺なセラミックグリーンシ
ート（ｃ）を裁断する第一の裁断工程と、裁断長さ
（ｌ）を調整可能とし、その調整された長さで長尺のセ
ラミックグリーンシート（ｂ）を裁断する第二の裁断工
程と、裁断されたセラミックグリーンシート（ａ）を積
み重ねる積層工程と、この積層工程で積み重ねられたセ
ラミックグリーンシート（ａ）をその積層方向に加圧し
てセラミックグリーンシート（ａ）を圧着する圧着工程
とを有することを特徴とするセラミックグリーンシート
積層方法。
【請求項２】長尺なセラミックグリーンシート（ｃ）
を所定の縦横寸法に裁断し、この裁断したセラミックグ
リーンシート（ａ）を複数枚積層し、その積層体をセラ
ミックグリーンシート（ａ）の積層方向に加圧してセラ
ミックグリーンシート（ａ）を圧着するセラミックグリ
ーンシート積層方法において、裁断幅を調整可能とし、
その調整された幅で長尺なセラミックグリーンシート
（ｃ）を裁断する第一の裁断工程と、送り長さを調整可
能とし、その調整された長さだけ長尺なセラミックグリ
ーンシート（ｂ）を送るセラミックグリーンシートの定
量送り工程と、この送り工程により送られられた長尺の
セラミックグリーンシート（ｂ）の先頭部分をその送ら
れた長さ分だけ裁断する第二の裁断工程と、裁断された
セラミックグリーンシート（ａ）を積み重ねる積層工程
と、この積層工程で積み重ねられたセラミックグリーン
シート（ａ）をその積層方向に加圧してセラミックグリ
ーンシート（ａ）を圧着する圧着工程とを有することを
特徴とするセラミックグリーンシート積層方法。
【請求項３】積層工程及び圧着工程では、セラミック
グリーンシートａがトレイ状のプラテン（５６）の凹部
内で積層され、圧着されることを特徴とする請求項１ま
たは２に記載のセラミックグリーンシート積層方法。
【請求項４】積層工程では、複数枚ずつのセラミック
グリーンシートａの積層体が、離型性のあるスペーサー
シート（ｅ）を介して積層されることを特徴とする請求
項１〜３の何れかに記載のセラミックグリーンシート積
層方法。
【請求項５】長尺なセラミックグリーンシート（ｃ）
を所定の縦横寸法に裁断し、この裁断したセラミックグ
リーンシート（ａ）を複数枚積層し、その積層体をセラ
ミックグリーンシート（ａ）の積層方向に加圧してセラ
ミックグリーンシート（ａ）を圧着するセラミックグリ
ーンシート積層方法において、裁断幅（ｗ）を調整可能
とし、その調整された幅で長尺なセラミックグリーンシ
ート（ｃ）を裁断する第一の裁断工程と、裁断長さ
（ｌ）を調整可能とし、その調整された長さで長尺のセ
ラミックグリーンシート（ｂ）を裁断すると共に、裁断
されたセラミックグリーンシート（ａ）を積み重ねる第
二の裁断工程と、積み重ねられたセラミックグリーンシ
ート（ａ）をその積層方向に加圧してセラミックグリー
ンシート（ａ）を圧着する圧着工程とを有することを特
徴とするセラミックグリーンシート積層方法。
【請求項６】長尺なセラミックグリーンシート（ｃ）
を所定の縦横寸法に裁断し、この裁断したセラミックグ
リーンシート（ａ）を複数枚積層し、その積層体をセラ
ミックグリーンシート（ａ）の積層方向に加圧してセラ
ミックグリーンシート（ａ）を圧着するセラミックグリ
ーンシート積層方法において、裁断幅を調整可能とし、
その調整された幅で長尺なセラミックグリーンシート
（ｃ）を裁断する第一の裁断工程と、送り長さを調整可
能とし、その調整された長さだけ長尺なセラミックグリ
ーンシート（ｂ）を送るセラミックグリーンシートの定
量送り工程と、この送り工程により送られられた長尺の
セラミックグリーンシート（ｂ）の先頭部分をその送ら
れた長さ分だけ裁断すると共に、裁断されたセラミック
グリーンシート（ａ）を積み重ねる第二の裁断工程と、
積み重ねられたセラミックグリーンシート（ａ）をその
積層方向に加圧してセラミックグリーンシート（ａ）を
圧着する圧着工程とを有することを特徴とするセラミッ
クグリーンシート積層方法。
【請求項７】長尺なセラミックグリーンシート（ｃ）
を所定の縦横寸法に裁断し、この裁断したセラミックグ
リーンシート（ａ）を複数枚積層し、その積層体をセラ
ミックグリーンシート（ａ）の積層方向に加圧してセラ
ミックグリーンシート（ａ）を圧着するセラミックグリ
ーンシート積層装置において、裁断幅（ｗ）を調整可能
とし、その調整された幅で長手方向に送られる長尺なセ
ラミックグリーンシート（ｃ）を裁断する第一の裁断ス
テーション（１）と、裁断長さ（ｌ）を調整可能とし、
その調整された長さで長尺のセラミックグリーンシート
（ｂ）を裁断する第二の裁断ステーション（３）と、そ
の裁断されたセラミックグリーンシート（ａ）を積み重
ねる積層ステーション（５）と、この積層ステーション
（５）で積み重ねられたセラミックグリーンシート
（ａ）をその積層方向に加圧してセラミックグリーンシ
ート（ａ）を圧着する圧着ステーション（７）とを有す
ることを特徴とするセラミックグリーンシート積層装
置。
【請求項８】長尺なセラミックグリーンシート（ｃ）
を所定の縦横寸法に裁断し、この裁断したセラミックグ
リーンシート（ａ）を複数枚積層し、その積層体をセラ
ミックグリーンシート（ａ）の積層方向に加圧してセラ
ミックグリーンシート（ａ）を圧着するセラミックグリ
ーンシート積層装置において、裁断幅（ｗ）を調整可能
とし、その調整された幅で長手方向に送られる長尺なセ
ラミックグリーンシート（ｃ）を裁断する第一の裁断ス
テーション（１）と、送り長さを調整可能とし、その調
整された長さだけセラミックグリーンシート（ｂ）を送
る定量送り機構（２）と、この定量送り機構（２）によ
り送られた長尺なセラミックグリーンシート（ｂ）の先
頭部分をその送られた長さ分だけ裁断する第二の裁断ス
テーション（３）と、その裁断されたセラミックグリー
ンシート（ａ）を積み重ねる積層ステーション（５）
と、この積層ステーション（５）で積み重ねられたセラ
ミックグリーンシート（ａ）をその積層方向に加圧して
セラミックグリーンシート（ａ）を圧着する圧着ステー
ション（７）とを有することを特徴とするセラミックグ
リーンシート積層装置。
【請求項９】長尺なセラミックグリーンシート（ｃ）
を所定の縦横寸法に裁断し、この裁断したセラミックグ
リーンシート（ａ）を複数枚積層し、その積層体をセラ
ミックグリーンシート（ａ）の積層方向に加圧してセラ
ミックグリーンシート（ａ）を圧着するセラミックグリ
ーンシート積層装置において、長手方向に送られる長尺
なセラミックグリーンシート（ｃ）の送り方向と直交す
る方向に対向し、間隔調整可能な一対のカッター（１
０）、（１０）を備え、このカッター（１０）、（１
０）により前記セラミックグリーンシートｃを所定の幅
で裁断する第一の裁断ステーション（１）と、送り長さ
を調整可能とし、その調整された長さだけセラミックグ
リーンシート（ｂ）を送る定量送り機構（２）と、この
定量送り機構（２）により送られた長尺なセラミックグ
リーンシート（ｂ）の先頭部分をその送られた長さ分だ
け裁断する第二の裁断ステーション（３）と、その裁断
されたセラミックグリーンシート（ａ）を積み重ねる積
層ステーション（５）と、この積層ステーション（５）
で積み重ねられたセラミックグリーンシート（ａ）をそ
の積層方向に加圧してセラミックグリーンシート（ａ）
を圧着する圧着ステーション（７）とを有することを特
徴とするセラミックグリーンシート積層装置。
【請求項１０】長尺なセラミックグリーンシート
（ｃ）を所定の縦横寸法に裁断し、この裁断したセラミ
ックグリーンシート（ａ）を複数枚積層し、その積層体
をセラミックグリーンシート（ａ）の積層方向に加圧し
てセラミックグリーンシート（ａ）を圧着するセラミッ
クグリーンシート積層装置において、裁断幅（ｗ）を調
整可能とし、その調整された幅で長手方向に送られる長
尺なセラミックグリーンシート（ｃ）を裁断する第一の
裁断ステーション（１）と、裁断されたセラミックグリ
ーンシート（ｂ）の長手方向に往復移動し、その移動ス
トロークが調整可能なセラミックグリーンシートの保持
ヘッド（２１）を備え、この保持ヘッド（２１）により
保持されたセラミックグリーンシートｂの先頭部分を、
前記往復移動のストローク分だけ送る定量送り機構
（２）と、この定量送り機構（２）により送られた長尺
なセラミックグリーンシート（ｂ）の先頭部分をその送
られた長さ分だけ裁断する第二の裁断ステーション
（３）と、その裁断されたセラミックグリーンシート
（ａ）を積み重ねる積層ステーション（５）と、この積
層ステーション（５）で積み重ねられたセラミックグリ
ーンシート（ａ）をその積層方向に加圧してセラミック
グリーンシート（ａ）を圧着する圧着ステーション
（７）とを有することを特徴とするセラミックグリーン
シート積層装置。
【請求項１１】積層ステーション（５）から圧着ステ
ーション（７）にわたって、凹部を有するトレイ状のプ
ラテン（５６）が搬送され、このプラテン（５６）の凹
部内でセラミックグリーンシートａが積層され、圧着さ
れることを特徴とする請求項７〜１０の何れかに記載の
セラミックグリーンシート積層装置。
【請求項１２】積層ステーション（５）にプラテン
（５６）を載せるプラテン保持台（５７）が配置され、
このプラテン保持台（５７）が磁力吸引手段によりプラ
テン（５６）に収納されたセラミックグリーンシート
（ａ）を吸着保持することを特徴とする請求項１１に記
載のセラミックグリーンシート積層装置。
【請求項１３】積層ステーション（５）にプラテン
（５６）を載せるプラテン保持台（５７）が配置され、
このプラテン保持台（５７）が真空吸引手段によりプラ
テン（５６）に収納されたセラミックグリーンシート
（ａ）を吸着保持することを特徴とする請求項１１に記
載のセラミックグリーンシート積層装置。
【請求項１４】プラテン（５６）の底部が、セラミッ
クグリーンシートａを真空吸引するため多孔質体からな
ることを特徴とする請求項１３に記載のセラミックグリ
ーンシート積層装置。
【請求項１５】積層ステーション（５）の近傍に、ス
ペーサーシート（ｅ）をストックしたシートストックス
テージ（６１）に備えると共に、このシートストックス
テージ（６１）から積層ステーション（５）に離型性の
あるスペーサーシート（ｅ）を搬送する搬送機構を備え
ることを特徴とする請求項７〜１４の何れかに記載のセ
ラミックグリーンシート積層装置。
【請求項１６】長尺なセラミックグリーンシート
（ｃ）を所定の縦横寸法に裁断し、この裁断したセラミ
ックグリーンシート（ａ）を複数枚積層し、その積層体
をセラミックグリーンシート（ａ）の積層方向に加圧し
てセラミックグリーンシート（ａ）を圧着するセラミッ
クグリーンシート積層装置において、裁断幅（ｗ）を調
整可能とし、その調整された幅で長手方向に送られる長
尺なセラミックグリーンシート（ｃ）を裁断する第一の
裁断ステーション（１）と、裁断長さ（ｌ）を調整可能
とし、その調整された長さで長尺のセラミックグリーン
シート（ｂ）を裁断すると共に、その裁断されたセラミ
ックグリーンシート（ａ）を積み重ねる第二の裁断ステ
ーション（３）と、積み重ねられたセラミックグリーン
シート（ａ）をその積層方向に加圧してセラミックグリ
ーンシート（ａ）を圧着する圧着ステーション（７）と
を有することを特徴とするセラミックグリーンシート積
層装置。
【請求項１７】長尺なセラミックグリーンシート
（ｃ）を所定の縦横寸法に裁断し、この裁断したセラミ
ックグリーンシート（ａ）を複数枚積層し、その積層体
をセラミックグリーンシート（ａ）の積層方向に加圧し
てセラミックグリーンシート（ａ）を圧着するセラミッ
クグリーンシート積層装置において、裁断幅（ｗ）を調
整可能とし、その調整された幅で長手方向に送られる長
尺なセラミックグリーンシート（ｃ）を裁断する第一の
裁断ステーション（１）と、送り長さを調整可能とし、
その調整された長さだけセラミックグリーンシート
（ｂ）を送る定量送り機構（２）と、この定量送り機構
（２）により送られた長尺なセラミックグリーンシート
（ｂ）の先頭部分をその送られた長さ分だけ裁断すると
共に、その裁断されたセラミックグリーンシート（ａ）
を積み重ねる第二の裁断ステーション（３）と、積み重
ねられたセラミックグリーンシート（ａ）をその積層方
向に加圧してセラミックグリーンシート（ａ）を圧着す
る圧着ステーション（７）とを有することを特徴とする
セラミックグリーンシート積層装置。
【請求項１８】長尺なセラミックグリーンシート
（ｃ）を所定の縦横寸法に裁断し、この裁断したセラミ
ックグリーンシート（ａ）を複数枚積層し、その積層体
をセラミックグリーンシート（ａ）の積層方向に加圧し
てセラミックグリーンシート（ａ）を圧着するセラミッ
クグリーンシート積層装置において、長手方向に送られ
る長尺なセラミックグリーンシート（ｃ）の送り方向と
直交する方向に対向し、間隔調整可能な一対のカッター
（１０）、（１０）を備え、このカッター（１０）、
（１０）により前記セラミックグリーンシートｃを所定
の幅で裁断する第一の裁断ステーション（１）と、送り
長さを調整可能とし、その調整された長さだけセラミッ
クグリーンシート（ｂ）を送る定量送り機構（２）と、
この定量送り機構（２）により送られた長尺なセラミッ
クグリーンシート（ｂ）の先頭部分をその送られた長さ
分だけ裁断すると共に、その裁断されたセラミックグリ
ーンシート（ａ）を積み重ねる第二の裁断ステーション
（３）と、積み重ねられたセラミックグリーンシート
（ａ）をその積層方向に加圧してセラミックグリーンシ
ート（ａ）を圧着する圧着ステーション（７）とを有す
ることを特徴とするセラミックグリーンシート積層装
置。
【請求項１９】長尺なセラミックグリーンシート
（ｃ）を所定の縦横寸法に裁断し、この裁断したセラミ
ックグリーンシート（ａ）を複数枚積層し、その積層体
をセラミックグリーンシート（ａ）の積層方向に加圧し
てセラミックグリーンシート（ａ）を圧着するセラミッ
クグリーンシート積層装置において、裁断幅（ｗ）を調
整可能とし、その調整された幅で長手方向に送られる長
尺なセラミックグリーンシート（ｃ）を裁断する第一の
裁断ステーション（１）と、裁断されたセラミックグリ
ーンシート（ｂ）の長手方向に往復移動し、その移動ス
トロークが調整可能なセラミックグリーンシートの保持
ヘッド（２１）を備え、この保持ヘッド（２１）により
保持されたセラミックグリーンシートｂの先頭部分を、
前記往復移動のストローク分だけ送る定量送り機構
（２）と、この定量送り機構（２）により送られた長尺
なセラミックグリーンシート（ｂ）の先頭部分をその送
られた長さ分だけ裁断すると共に、その裁断されたセラ
ミックグリーンシート（ａ）を積み重ねる第二の裁断ス
テーション（３）と、積み重ねられたセラミックグリー
ンシート（ａ）をその積層方向に加圧してセラミックグ
リーンシート（ａ）を圧着する圧着ステーション（７）
とを有することを特徴とするセラミックグリーンシート
積層装置。