JPH1074240A - 文字位置検出方法 - Google Patents
文字位置検出方法Info
- Publication number
- JPH1074240A JPH1074240A JP8229140A JP22914096A JPH1074240A JP H1074240 A JPH1074240 A JP H1074240A JP 8229140 A JP8229140 A JP 8229140A JP 22914096 A JP22914096 A JP 22914096A JP H1074240 A JPH1074240 A JP H1074240A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- character
- registered
- wafer
- detection area
- automatically read
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Character Discrimination (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】ウエハに表示されているウエハＩＤ等、自動読
取り対象文字の位置を検出する文字位置検出方法に関
し、傷など、自動読取り対象文字を構成する線分以外の
線分が存在する場合であっても、自動読取り対象文字の
位置を正確に検出できるようにする。 【解決手段】ウエハＩＤ１４を含む一定の領域をウエハ
ＩＤ検出領域２０と設定し、登録文字１２でウエハＩＤ
検出領域２０を順に走査し、登録文字１２の各走査位置
におけるウエハＩＤ検出領域２０内の線分と登録文字１
２との重なり合いの度合を検出し、重なり合いの度合が
最も大きい登録文字１２の走査位置をウエハＩＤ１４の
位置として検出する。
取り対象文字の位置を検出する文字位置検出方法に関
し、傷など、自動読取り対象文字を構成する線分以外の
線分が存在する場合であっても、自動読取り対象文字の
位置を正確に検出できるようにする。 【解決手段】ウエハＩＤ１４を含む一定の領域をウエハ
ＩＤ検出領域２０と設定し、登録文字１２でウエハＩＤ
検出領域２０を順に走査し、登録文字１２の各走査位置
におけるウエハＩＤ検出領域２０内の線分と登録文字１
２との重なり合いの度合を検出し、重なり合いの度合が
最も大きい登録文字１２の走査位置をウエハＩＤ１４の
位置として検出する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、半導体装置の基板
材料であるウエハに表示されている識別文字、いわゆる
ウエハＩＤ等、所定物に表示されている自動読取り対象
文字の位置を検出する文字位置検出方法に関する。
材料であるウエハに表示されている識別文字、いわゆる
ウエハＩＤ等、所定物に表示されている自動読取り対象
文字の位置を検出する文字位置検出方法に関する。
【０００２】近年、半導体装置の製造工程においては、
自動化が進み、ウエハに表示されているウエハＩＤの自
動読取りが必要不可欠なものとなってきており、ウエハ
ＩＤが表示されている部分の傷など、ウエハＩＤを構成
する線分以外の線分の影響を受けることなく、ウエハＩ
Ｄを正確に読取ることができる文字読取り方法が要請さ
れている。
自動化が進み、ウエハに表示されているウエハＩＤの自
動読取りが必要不可欠なものとなってきており、ウエハ
ＩＤが表示されている部分の傷など、ウエハＩＤを構成
する線分以外の線分の影響を受けることなく、ウエハＩ
Ｄを正確に読取ることができる文字読取り方法が要請さ
れている。
【０００３】
【従来の技術】図１１は、ウエハの一例を示す概略的平
面図である。図１１中、１はウエハ、２はウエハ１を他
のウエハから識別するために表示されている数字「１４
９」からなるウエハＩＤであり、このようなウエハＩＤ
２は、一般に、レーザビームを使用して形成される。
面図である。図１１中、１はウエハ、２はウエハ１を他
のウエハから識別するために表示されている数字「１４
９」からなるウエハＩＤであり、このようなウエハＩＤ
２は、一般に、レーザビームを使用して形成される。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】図１２は、図１１にお
けるウエハＩＤ２の部分を拡大して示す概略的平面図で
あり、ウエハＩＤ２の部分には、たとえば、符号３〜７
で示すような傷が存在する場合がある。
けるウエハＩＤ２の部分を拡大して示す概略的平面図で
あり、ウエハＩＤ２の部分には、たとえば、符号３〜７
で示すような傷が存在する場合がある。
【０００５】このように、ウエハＩＤ２の部分に傷３〜
７や、ポリイミドの残膜等、ウエハＩＤ２を構成する線
分以外の線分が存在する場合には、傷３〜７等をウエハ
ＩＤ２の一部と認識し、ウエハＩＤ２の位置を正確に検
出することができず、ウエハＩＤ２を読取る場合に誤読
してしまう場合があるという問題点があった。
７や、ポリイミドの残膜等、ウエハＩＤ２を構成する線
分以外の線分が存在する場合には、傷３〜７等をウエハ
ＩＤ２の一部と認識し、ウエハＩＤ２の位置を正確に検
出することができず、ウエハＩＤ２を読取る場合に誤読
してしまう場合があるという問題点があった。
【０００６】本発明は、かかる点に鑑み、自動読取り対
象文字の部分に傷など、自動読取り対象文字を構成する
線分以外の線分が存在する場合であっても、自動読取り
対象文字の位置を正確に検出することができるように
し、自動読取り対象文字を誤読することなく正確に読取
ることができるようにした文字位置検出方法を提供する
ことを目的とする。
象文字の部分に傷など、自動読取り対象文字を構成する
線分以外の線分が存在する場合であっても、自動読取り
対象文字の位置を正確に検出することができるように
し、自動読取り対象文字を誤読することなく正確に読取
ることができるようにした文字位置検出方法を提供する
ことを目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】本発明中、第１の発明
（請求項１記載の文字位置検出方法）は、所定物に表示
されている自動読取り対象文字の位置を検出する文字位
置検出方法において、自動読取り対象文字として使用さ
れる文字を重ね合わせたものを登録文字として登録する
工程と、自動読取り対象文字を含む一定の領域を文字位
置検出領域とし、登録文字で文字位置検出領域内を順に
走査し、登録文字の各走査位置における文字位置検出領
域内の線分と登録文字との重なり合いの度合を検出する
工程と、文字位置検出領域内の線分と登録文字との重な
り合いの度合が最も大きい登録文字の走査位置を自動読
取り対象文字の位置として検出する工程とを含んでいる
というものである。
（請求項１記載の文字位置検出方法）は、所定物に表示
されている自動読取り対象文字の位置を検出する文字位
置検出方法において、自動読取り対象文字として使用さ
れる文字を重ね合わせたものを登録文字として登録する
工程と、自動読取り対象文字を含む一定の領域を文字位
置検出領域とし、登録文字で文字位置検出領域内を順に
走査し、登録文字の各走査位置における文字位置検出領
域内の線分と登録文字との重なり合いの度合を検出する
工程と、文字位置検出領域内の線分と登録文字との重な
り合いの度合が最も大きい登録文字の走査位置を自動読
取り対象文字の位置として検出する工程とを含んでいる
というものである。
【０００８】この第１の発明で使用する登録文字で文字
位置検出領域内を順に走査した場合において、自動読取
り対象文字の部分に傷など、自動読取り対象文字を構成
する線分以外の線分が存在する場合であっても、文字位
置検出領域内の線分と登録文字との重なり合いの度合が
最も大きくなるのは、登録文字が自動読取り対象文字に
重なった場合である。
位置検出領域内を順に走査した場合において、自動読取
り対象文字の部分に傷など、自動読取り対象文字を構成
する線分以外の線分が存在する場合であっても、文字位
置検出領域内の線分と登録文字との重なり合いの度合が
最も大きくなるのは、登録文字が自動読取り対象文字に
重なった場合である。
【０００９】したがって、第１の発明によれば、自動読
取り対象文字の部分に傷など、自動読取り対象文字を構
成する線分以外の線分が存在する場合であっても、自動
読取り対象文字の位置を正確に検出することができ、し
かも、登録文字として１個の登録文字を登録しておくだ
けで足りる。
取り対象文字の部分に傷など、自動読取り対象文字を構
成する線分以外の線分が存在する場合であっても、自動
読取り対象文字の位置を正確に検出することができ、し
かも、登録文字として１個の登録文字を登録しておくだ
けで足りる。
【００１０】本発明中、第２の発明（請求項２記載の文
字位置検出方法）は、所定物に表示されている自動読取
り対象文字の位置を検出する文字位置検出方法におい
て、自動読取り対象文字として使用される文字をそれぞ
れ個別に登録文字として登録する工程と、自動読取り対
象文字を含む一定の領域を文字位置検出領域とし、登録
文字で文字位置検出領域内を順に走査し、登録文字の各
走査位置における文字位置検出領域内の線分と登録文字
との重なり合いの度合を検出する工程と、文字位置検出
領域内の線分と登録文字との重なり合いの度合が最も大
きい登録文字の走査位置を自動読取り対象文字の位置と
して検出する工程とを含んでいるというものである。
字位置検出方法）は、所定物に表示されている自動読取
り対象文字の位置を検出する文字位置検出方法におい
て、自動読取り対象文字として使用される文字をそれぞ
れ個別に登録文字として登録する工程と、自動読取り対
象文字を含む一定の領域を文字位置検出領域とし、登録
文字で文字位置検出領域内を順に走査し、登録文字の各
走査位置における文字位置検出領域内の線分と登録文字
との重なり合いの度合を検出する工程と、文字位置検出
領域内の線分と登録文字との重なり合いの度合が最も大
きい登録文字の走査位置を自動読取り対象文字の位置と
して検出する工程とを含んでいるというものである。
【００１１】この第２の発明で使用する登録文字で文字
位置検出領域内を順に走査した場合において、自動読取
り対象文字の部分に傷など、自動読取り対象文字を構成
する線分以外の線分が存在する場合であっても、文字位
置検出領域内の線分と登録文字との重なり合いの度合が
最も大きくなるのは、自動読取り対象文字と同一の登録
文字が自動読取り対象文字に重なった場合である。
位置検出領域内を順に走査した場合において、自動読取
り対象文字の部分に傷など、自動読取り対象文字を構成
する線分以外の線分が存在する場合であっても、文字位
置検出領域内の線分と登録文字との重なり合いの度合が
最も大きくなるのは、自動読取り対象文字と同一の登録
文字が自動読取り対象文字に重なった場合である。
【００１２】したがって、第２の発明によれば、登録文
字として複数の登録文字を登録しておく必要があるが、
自動読取り対象文字の部分に傷など、自動読取り対象文
字を構成する線分以外の線分が存在する場合であって
も、自動読取り対象文字の位置を正確に検出することが
できると同時に、自動読取り対象文字を認識することが
できる。
字として複数の登録文字を登録しておく必要があるが、
自動読取り対象文字の部分に傷など、自動読取り対象文
字を構成する線分以外の線分が存在する場合であって
も、自動読取り対象文字の位置を正確に検出することが
できると同時に、自動読取り対象文字を認識することが
できる。
【００１３】本発明中、第３の発明（請求項３記載の文
字位置検出方法）は、第１又は第２の発明において、登
録文字の登録は、文字の数、文字の大きさ、文字間のピ
ッチ、文字フォントを登録することにより行われるとい
うものである。
字位置検出方法）は、第１又は第２の発明において、登
録文字の登録は、文字の数、文字の大きさ、文字間のピ
ッチ、文字フォントを登録することにより行われるとい
うものである。
【００１４】この第３の発明によれば、登録文字の各走
査位置における文字位置検出領域内の線分と登録文字と
の重なり合いの度合の検出を合理的に行うことができ
る。
査位置における文字位置検出領域内の線分と登録文字と
の重なり合いの度合の検出を合理的に行うことができ
る。
【００１５】
【発明の実施の形態】以下、図１〜図１０を参照して、
本発明の実施の第１形態及び第２形態について、自動読
取り対象文字をウエハＩＤとする場合を例にして説明す
る。
本発明の実施の第１形態及び第２形態について、自動読
取り対象文字をウエハＩＤとする場合を例にして説明す
る。
【００１６】第１形態・・図１〜図７ 本発明の実施の第１形態においては、ウエハＩＤを構成
する文字として、文字の幅をＷ、文字の高さをＨ、文字
フォントを図１に示すものとする数字「０、１、２、
３、４、５、６、７、８、９」を使用し、ウエハＩＤ
を、例えば、図２に示すように、数字間のピッチをＰと
する３桁の数字で表示するものとする。
する文字として、文字の幅をＷ、文字の高さをＨ、文字
フォントを図１に示すものとする数字「０、１、２、
３、４、５、６、７、８、９」を使用し、ウエハＩＤ
を、例えば、図２に示すように、数字間のピッチをＰと
する３桁の数字で表示するものとする。
【００１７】そして、図３に示すように、図１に示す数
字「０、１、２、３、４、５、６、７、８、９」を重ね
合わせてなる文字の幅をＷ、文字の高さをＨとする文字
８を登録文字を構成する文字とし、図４に示すように、
文字８、８、８からなる文字を登録文字１２として登録
する。
字「０、１、２、３、４、５、６、７、８、９」を重ね
合わせてなる文字の幅をＷ、文字の高さをＨとする文字
８を登録文字を構成する文字とし、図４に示すように、
文字８、８、８からなる文字を登録文字１２として登録
する。
【００１８】この場合、登録文字１２の登録は、文字の
数（３）、文字の大きさ（Ｗ×Ｈ）、文字間のピッチ
（Ｐ）、文字フォント（文字８）を登録することにより
行うようにする。
数（３）、文字の大きさ（Ｗ×Ｈ）、文字間のピッチ
（Ｐ）、文字フォント（文字８）を登録することにより
行うようにする。
【００１９】図５はウエハに表示されているウエハＩＤ
の部分を示す概略的平面図であり、図５中、１３はウエ
ハ面、１４は図１に示す数字を使用してなる数字「１４
９」からなるウエハＩＤ、１５〜１９はウエハ１３面上
の傷である。
の部分を示す概略的平面図であり、図５中、１３はウエ
ハ面、１４は図１に示す数字を使用してなる数字「１４
９」からなるウエハＩＤ、１５〜１９はウエハ１３面上
の傷である。
【００２０】ここに、本発明の実施の第１形態において
は、ウエハＩＤ１４の位置を検出する場合、図６Ａに示
すように、ウエハＩＤ１４を含む一定の領域をウエハＩ
Ｄ検出領域２０と設定した後、図６Ｂに示すように、ウ
エハＩＤ検出領域２０の左上に登録文字１２の像を位置
させる。
は、ウエハＩＤ１４の位置を検出する場合、図６Ａに示
すように、ウエハＩＤ１４を含む一定の領域をウエハＩ
Ｄ検出領域２０と設定した後、図６Ｂに示すように、ウ
エハＩＤ検出領域２０の左上に登録文字１２の像を位置
させる。
【００２１】そして、図６Ｃに矢印付き二点鎖線２１で
概略的に示すように、登録文字１２の像でウエハＩＤ検
出領域２０内を順に走査し、登録文字１２の像の各走査
位置におけるウエハＩＤ検出領域２０内の線分と登録文
字１２との重なり合いの度合を検出して記憶し、ウエハ
ＩＤ検出領域２０内の線分と登録文字１２との重なり合
いの度合が最も大きい登録文字１２の走査位置をウエハ
ＩＤ１４の位置として検出するようにする。
概略的に示すように、登録文字１２の像でウエハＩＤ検
出領域２０内を順に走査し、登録文字１２の像の各走査
位置におけるウエハＩＤ検出領域２０内の線分と登録文
字１２との重なり合いの度合を検出して記憶し、ウエハ
ＩＤ検出領域２０内の線分と登録文字１２との重なり合
いの度合が最も大きい登録文字１２の走査位置をウエハ
ＩＤ１４の位置として検出するようにする。
【００２２】ここに、ウエハＩＤ１４の部分に傷１５〜
１９等、ウエハＩＤ１４を構成する線分以外の線分が存
在する場合であっても、ウエハＩＤ検出領域２０内の線
分と登録文字１２との重なり合いの度合が最も大きくな
るのは、図７に示すように、登録文字１２がウエハＩＤ
１４に重なった場合である。
１９等、ウエハＩＤ１４を構成する線分以外の線分が存
在する場合であっても、ウエハＩＤ検出領域２０内の線
分と登録文字１２との重なり合いの度合が最も大きくな
るのは、図７に示すように、登録文字１２がウエハＩＤ
１４に重なった場合である。
【００２３】したがって、本発明の実施の第１形態によ
れば、ウエハＩＤ１４の部分に傷１５〜１９等、ウエハ
ＩＤ１４を構成する線分以外の線分が存在する場合であ
っても、ウエハＩＤ１４の位置を正確に検出することが
できるので、その後、ウエハＩＤ１４を切り出して読取
る場合、誤読することなく正確に読取ることができ、し
かも、登録文字として１個の登録文字１２を登録してお
くだけで足りる。
れば、ウエハＩＤ１４の部分に傷１５〜１９等、ウエハ
ＩＤ１４を構成する線分以外の線分が存在する場合であ
っても、ウエハＩＤ１４の位置を正確に検出することが
できるので、その後、ウエハＩＤ１４を切り出して読取
る場合、誤読することなく正確に読取ることができ、し
かも、登録文字として１個の登録文字１２を登録してお
くだけで足りる。
【００２４】第２形態・・図８〜図１０ 本発明の実施の第２形態においては、図８に示すよう
に、図１に示す数字「０、１、２、３、４、５、６、
７、８、９」を使用してなる文字間のピッチをＰとする
３桁の数字「００１」、「００２」・・・「１４９」・
・・「９９９」をそれぞれ個別に登録文字２２−００
１、２２−００２、・・・、２２−１４９、・・・、２
２−９９９として登録しておく。
に、図１に示す数字「０、１、２、３、４、５、６、
７、８、９」を使用してなる文字間のピッチをＰとする
３桁の数字「００１」、「００２」・・・「１４９」・
・・「９９９」をそれぞれ個別に登録文字２２−００
１、２２−００２、・・・、２２−１４９、・・・、２
２−９９９として登録しておく。
【００２５】そして、図５に示すウエハＩＤ１４の位置
を検出する場合、図９Ａに示すように、図６Ａと同様に
ウエハＩＤ１４を含む一定の領域をウエハＩＤ検出領域
２０と設定した後、図９Ｂに示すように、ウエハＩＤ検
出領域２０の左上に登録文字２２−００１を位置させ
る。
を検出する場合、図９Ａに示すように、図６Ａと同様に
ウエハＩＤ１４を含む一定の領域をウエハＩＤ検出領域
２０と設定した後、図９Ｂに示すように、ウエハＩＤ検
出領域２０の左上に登録文字２２−００１を位置させ
る。
【００２６】そして、図９Ｃに矢印付き二点鎖線２３で
概略的に示すように、登録文字２２−００１の像でウエ
ハＩＤ検出領域２０内を順に走査し、登録文字２２−０
０１の像の各走査位置におけるウエハＩＤ検出領域２０
内の線分と登録文字１２との重なり合いの度合を検出し
て記憶する。
概略的に示すように、登録文字２２−００１の像でウエ
ハＩＤ検出領域２０内を順に走査し、登録文字２２−０
０１の像の各走査位置におけるウエハＩＤ検出領域２０
内の線分と登録文字１２との重なり合いの度合を検出し
て記憶する。
【００２７】以後、同様の動作を登録文字２２−００
２、・・・、２２−１４９、・・・、２２−９９９につ
いて行い、ウエハＩＤ検出領域２０内の線分と登録文字
２２−００１、２２−００２、・・・、２２−１４９、
・・・、２２−９９９との重なり合いの度合が最も大き
い登録文字の走査位置をウエハＩＤ１４の位置として検
出するようにする。
２、・・・、２２−１４９、・・・、２２−９９９につ
いて行い、ウエハＩＤ検出領域２０内の線分と登録文字
２２−００１、２２−００２、・・・、２２−１４９、
・・・、２２−９９９との重なり合いの度合が最も大き
い登録文字の走査位置をウエハＩＤ１４の位置として検
出するようにする。
【００２８】ここに、ウエハＩＤ検出領域２０の線分と
登録文字１２との重なり合いの度合が最も大きくなるの
は、図１０に示すように、ウエハＩＤ１４と登録文字２
２−１４９とが重なり合う場合であり、この場合には、
同時に、ウエハＩＤ１４が数字「１４９」であることを
認識することができる。
登録文字１２との重なり合いの度合が最も大きくなるの
は、図１０に示すように、ウエハＩＤ１４と登録文字２
２−１４９とが重なり合う場合であり、この場合には、
同時に、ウエハＩＤ１４が数字「１４９」であることを
認識することができる。
【００２９】したがって、本発明の実施の第１形態によ
れば、登録文字として複数の登録文字２２−００１、２
２−００２、・・・、２２−１４９、・・・、２２−９
９９を登録しておく必要があるが、ウエハＩＤ１４の部
分に傷１５〜１９等、ウエハＩＤ１４を構成する線分以
外の線分が存在する場合であっても、ウエハＩＤ１４の
位置を正確に検出することができると同時に、ウエハＩ
Ｄ１４を正確に読取ることができる。
れば、登録文字として複数の登録文字２２−００１、２
２−００２、・・・、２２−１４９、・・・、２２−９
９９を登録しておく必要があるが、ウエハＩＤ１４の部
分に傷１５〜１９等、ウエハＩＤ１４を構成する線分以
外の線分が存在する場合であっても、ウエハＩＤ１４の
位置を正確に検出することができると同時に、ウエハＩ
Ｄ１４を正確に読取ることができる。
【００３０】なお、本発明の実施の第１形態及び第２形
態においては、ウエハＩＤを数字で構成した場合につい
て説明したが、本発明は、ウエハＩＤを英文字のみ、又
は、数字及び英文字で構成する場合等にも適用すること
ができる。
態においては、ウエハＩＤを数字で構成した場合につい
て説明したが、本発明は、ウエハＩＤを英文字のみ、又
は、数字及び英文字で構成する場合等にも適用すること
ができる。
【００３１】
【発明の効果】以上のように、本発明中、第１の発明
（請求項１記載の文字位置検出方法）によれば、登録文
字として１個の登録文字を登録しておくだけで、自動読
取り対象文字の部分に傷など、自動読取り対象文字を構
成する線分以外の線分が存在する場合であっても、自動
読取り対象文字の位置を正確に検出することができるの
で、その後、自動読取り対象文字を切り出して読取る場
合、誤読することなく正確に読取ることができる。
（請求項１記載の文字位置検出方法）によれば、登録文
字として１個の登録文字を登録しておくだけで、自動読
取り対象文字の部分に傷など、自動読取り対象文字を構
成する線分以外の線分が存在する場合であっても、自動
読取り対象文字の位置を正確に検出することができるの
で、その後、自動読取り対象文字を切り出して読取る場
合、誤読することなく正確に読取ることができる。
【００３２】また、第２の発明（請求項２記載の文字位
置検出方法）によれば、登録文字として複数の登録文字
を登録しておく必要があるが、自動読取り対象文字の部
分に傷など、自動読取り対象文字を構成する線分以外の
線分が存在する場合であっても、自動読取り対象文字の
位置を正確に検出することができると同時に、自動読取
り対象文字を認識することができる。
置検出方法）によれば、登録文字として複数の登録文字
を登録しておく必要があるが、自動読取り対象文字の部
分に傷など、自動読取り対象文字を構成する線分以外の
線分が存在する場合であっても、自動読取り対象文字の
位置を正確に検出することができると同時に、自動読取
り対象文字を認識することができる。
【００３３】また、第３の発明（請求項３記載の文字位
置検出方法）によれば、第１又は第２の発明と同様の効
果を得ることができると共に、登録文字の各走査位置に
おける文字位置検出領域内の線分と登録文字との重なり
合いの度合の検出を合理的に行うことができる。
置検出方法）によれば、第１又は第２の発明と同様の効
果を得ることができると共に、登録文字の各走査位置に
おける文字位置検出領域内の線分と登録文字との重なり
合いの度合の検出を合理的に行うことができる。
【図１】本発明の実施の第１形態が対象とするウエハＩ
Ｄを構成する数字の文字フォントを示す図である。
Ｄを構成する数字の文字フォントを示す図である。
【図２】本発明の実施の第１形態が対象とするウエハＩ
Ｄの構成例を示す図である。
Ｄの構成例を示す図である。
【図３】本発明の実施の第１形態において使用する登録
文字を構成する文字を示す図である。
文字を構成する文字を示す図である。
【図４】本発明の実施の第１形態において使用する登録
文字を示す図である。
文字を示す図である。
【図５】ウエハに表示されているウエハＩＤの部分を示
す概略的平面図である。
す概略的平面図である。
【図６】ウエハＩＤの位置を検出する方法を説明するた
めの図である。
めの図である。
【図７】ウエハＩＤの位置を検出する方法を説明するた
めの図である。
めの図である。
【図８】本発明の実施の第２形態において使用する登録
文字の一部を示す図である。
文字の一部を示す図である。
【図９】ウエハＩＤの位置を検出する方法を説明するた
めの図である。
めの図である。
【図１０】ウエハＩＤの位置を検出する方法を説明する
ための図である。
ための図である。
【図１１】ウエハの一例を示す概略的平面図である。
【図１２】ウエハＩＤの部分を拡大して示す概略的平面
図である。
図である。
１２ 登録文字 １４ ウエハＩＤ ２２−００１、２２−００２、２２−１４９、２２−９
９９ 登録文字
９９ 登録文字
Claims (3)
- 【請求項１】所定物に表示されている自動読取り対象文
字の位置を検出する文字位置検出方法において、 前記自動読取り対象文字として使用される文字を重ね合
わせたものを登録文字として登録する工程と、 前記自動読取り対象文字を含む一定の領域を文字位置検
出領域とし、前記登録文字で前記文字位置検出領域内を
順に走査し、前記登録文字の各走査位置における前記文
字位置検出領域内の線分と前記登録文字との重なり合い
の度合を検出する工程と、 前記文字位置検出領域内の線分と前記登録文字との重な
り合いの度合が最も大きい前記登録文字の走査位置を前
記自動読取り対象文字の位置として検出する工程とを含
むことを特徴とする文字位置検出方法。 - 【請求項２】所定物に表示されている自動読取り対象文
字の位置を検出する文字位置検出方法において、 前記自動読取り対象文字として使用される文字をそれぞ
れ個別に登録文字として登録する工程と、 前記自動読取り対象文字を含む一定の領域を文字位置検
出領域とし、前記登録文字で前記文字位置検出領域内を
順に走査し、前記登録文字の各走査位置における前記文
字位置検出領域内の線分と前記登録文字との重なり合い
の度合を検出する工程と、 前記文字位置検出領域内の線分と前記登録文字との重な
り合いの度合が最も大きい前記登録文字の走査位置を前
記自動読取り対象文字の位置として検出する工程とを含
むことを特徴とする文字位置検出方法。 - 【請求項３】前記登録文字の登録は、文字の数、文字の
大きさ、文字間のピッチ、文字フォントを登録すること
により行われることを特徴とする請求項１又は２記載の
文字位置検出方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8229140A JPH1074240A (ja) | 1996-08-30 | 1996-08-30 | 文字位置検出方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8229140A JPH1074240A (ja) | 1996-08-30 | 1996-08-30 | 文字位置検出方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH1074240A true JPH1074240A (ja) | 1998-03-17 |
Family
ID=16887398
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8229140A Pending JPH1074240A (ja) | 1996-08-30 | 1996-08-30 | 文字位置検出方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH1074240A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7474787B2 (en) | 1999-12-28 | 2009-01-06 | Minolta Co., Ltd. | Apparatus and method of detecting specified pattern |
| WO2019159414A1 (ja) * | 2018-02-16 | 2019-08-22 | 株式会社 東芝 | 読取システム、読取方法、及び記憶媒体 |
| JP2019145182A (ja) * | 2019-06-11 | 2019-08-29 | 株式会社東芝 | 読取システム、読取方法、プログラム、及び記憶媒体 |
| US11694451B2 (en) | 2019-05-27 | 2023-07-04 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Reading system, reading method, storage medium, and moving body |
-
1996
- 1996-08-30 JP JP8229140A patent/JPH1074240A/ja active Pending
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7474787B2 (en) | 1999-12-28 | 2009-01-06 | Minolta Co., Ltd. | Apparatus and method of detecting specified pattern |
| WO2019159414A1 (ja) * | 2018-02-16 | 2019-08-22 | 株式会社 東芝 | 読取システム、読取方法、及び記憶媒体 |
| JP2019144703A (ja) * | 2018-02-16 | 2019-08-29 | 株式会社東芝 | 読取システム、読取方法、プログラム、及び記憶媒体 |
| US11455787B2 (en) | 2018-02-16 | 2022-09-27 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Reading system, reading device, reading method, and storage medium |
| US11900664B2 (en) | 2018-02-16 | 2024-02-13 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Reading system, reading device, reading method, and storage medium |
| US11694451B2 (en) | 2019-05-27 | 2023-07-04 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Reading system, reading method, storage medium, and moving body |
| US12073635B2 (en) | 2019-05-27 | 2024-08-27 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Reading system, reading method, storage medium, and moving body |
| JP2019145182A (ja) * | 2019-06-11 | 2019-08-29 | 株式会社東芝 | 読取システム、読取方法、プログラム、及び記憶媒体 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP2006527922A (ja) | エッジをベースにした識別機能を有する半導体ウエハ | |
| KR970067749A (ko) | 패턴 검사방법과 검사장치 | |
| JPH11288865A (ja) | 半導体装置とそのアライメント装置及びアライメント方法 | |
| JPH1074240A (ja) | 文字位置検出方法 | |
| JP4479999B2 (ja) | パターンマッチング用の図形選択支援装置、図形選択支援方法およびプログラム | |
| JPH05281154A (ja) | パターン欠陥検査装置 | |
| US20010003167A1 (en) | Device for engraving and inspecting a semiconductor wafer indentification mark | |
| JP2595962B2 (ja) | 半導体装置 | |
| JPH04295748A (ja) | パターン検査装置 | |
| JP2604556B2 (ja) | 半導体ウエハおよびその識別方法 | |
| US20040156533A1 (en) | Land appearance inspecting device, and land appearance inspecting method | |
| JP2913177B2 (ja) | デジタルデータ記録紙 | |
| JPH0875432A (ja) | 切断ライン測定装置 | |
| JP2940821B1 (ja) | バーコードの読取方法およびバーコード読取装置 | |
| JPH036409A (ja) | プリント基板の検査方法および装置 | |
| JP3621222B2 (ja) | 半導体基板のパターン配列認識方法 | |
| JPS60205682A (ja) | 認識方法 | |
| JPH0877357A (ja) | パターン位置合わせ装置 | |
| JP4210126B2 (ja) | 画像処理方法および画像処理装置ならびに画像処理プログラムおよび画像処理プログラムを記録した記録媒体 | |
| JP5075306B2 (ja) | ウエハ欠陥検査装置およびそのウエハ欠陥検査方法 | |
| JPH0529410A (ja) | ダイシング装置の検査システム及び検査用規準ウエーハ | |
| JPH0115910B2 (ja) | ||
| JPH05281151A (ja) | ウエハパターン検査装置 | |
| JPH11167641A (ja) | パターン検出装置、パターン検出方法及びコンピュータ読み取り可能な記憶媒体 | |
| JP3541093B2 (ja) | 文書画像の傾き検出方法および装置 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20051018 |
|
| A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20051216 |
|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20060117 |