JPH1079464A - 半導体装置 - Google Patents
半導体装置Info
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- JPH1079464A JPH1079464A JP8232962A JP23296296A JPH1079464A JP H1079464 A JPH1079464 A JP H1079464A JP 8232962 A JP8232962 A JP 8232962A JP 23296296 A JP23296296 A JP 23296296A JP H1079464 A JPH1079464 A JP H1079464A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- heat spreader
- semiconductor chip
- tape
- inner lead
- lead
- Prior art date
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-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10W—GENERIC PACKAGES, INTERCONNECTIONS, CONNECTORS OR OTHER CONSTRUCTIONAL DETAILS OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
- H10W74/00—Encapsulations, e.g. protective coatings
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10W—GENERIC PACKAGES, INTERCONNECTIONS, CONNECTORS OR OTHER CONSTRUCTIONAL DETAILS OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
- H10W90/00—Package configurations
- H10W90/701—Package configurations characterised by the relative positions of pads or connectors relative to package parts
- H10W90/751—Package configurations characterised by the relative positions of pads or connectors relative to package parts of bond wires
- H10W90/756—Package configurations characterised by the relative positions of pads or connectors relative to package parts of bond wires between a chip and a stacked lead frame, conducting package substrate or heat sink
Landscapes
- Lead Frames For Integrated Circuits (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 ヒートスプレッダーを用いた半導体装置に関
し、インナーリードと半導体チップとの電気的な接続を
簡単且つ確実に行うことができ、且つ使用時にインナー
リードとヒートスプレッダーとの間のショートが生じな
いようにしたことを目的とする。 【解決手段】 半導体チップを支持するヒートスプレッ
ダー14と、ヒートスプレッダーを支持するリードフレ
ームのサポートバー20と、半導体チップに接続される
リードフレームのインナーリード22と、インナーリー
ドを互いに連結する絶縁材のテープ18と、封止手段と
からなり、絶縁材のテープはインナーリードの内端部よ
りも外寄りの位置でインナーリードを連結し、絶縁材の
テープはヒートスプレッダーよりも外側の位置にあって
インナーリードの内端部がヒートスプレッダーを含む領
域内にある構成とする。
し、インナーリードと半導体チップとの電気的な接続を
簡単且つ確実に行うことができ、且つ使用時にインナー
リードとヒートスプレッダーとの間のショートが生じな
いようにしたことを目的とする。 【解決手段】 半導体チップを支持するヒートスプレッ
ダー14と、ヒートスプレッダーを支持するリードフレ
ームのサポートバー20と、半導体チップに接続される
リードフレームのインナーリード22と、インナーリー
ドを互いに連結する絶縁材のテープ18と、封止手段と
からなり、絶縁材のテープはインナーリードの内端部よ
りも外寄りの位置でインナーリードを連結し、絶縁材の
テープはヒートスプレッダーよりも外側の位置にあって
インナーリードの内端部がヒートスプレッダーを含む領
域内にある構成とする。
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は低熱抵抗タイプのプ
ラスチックIC等の半導体装置に関する。
ラスチックIC等の半導体装置に関する。
【0002】
【従来の技術】従来の低熱抵抗タイプのプラスチックI
Cにおいては、半導体パッケージ内の熱を逃がすため
に、半導体チップをヒートスプレッダーに取りつけて樹
脂封止している。例えば、図10に示す従来の半導体装
置1では、半導体チップ(図示せず)がヒートスプレッ
ダー2に支持され、半導体チップはリードフレームのイ
ンナーリード3にワイヤボンディングされるようになっ
ている。
Cにおいては、半導体パッケージ内の熱を逃がすため
に、半導体チップをヒートスプレッダーに取りつけて樹
脂封止している。例えば、図10に示す従来の半導体装
置1では、半導体チップ(図示せず)がヒートスプレッ
ダー2に支持され、半導体チップはリードフレームのイ
ンナーリード3にワイヤボンディングされるようになっ
ている。
【0003】インナーリード3を半導体チップにワイヤ
ボンディングする前に、図2に示されるように、ヒート
スプレッダー2の表面の4辺部には3層構造のテープ
(両面テープ)4が貼りつけられ、インナーリード3の
内端部が同テープ4の上面に接着される。従って、全て
のインナーリード3がテープ4によって互いに連結さ
れ、ヒートスプレッダー2上で所定の位置に保持され
る。従って、その後でワイヤボンディングを行うことが
できる。
ボンディングする前に、図2に示されるように、ヒート
スプレッダー2の表面の4辺部には3層構造のテープ
(両面テープ)4が貼りつけられ、インナーリード3の
内端部が同テープ4の上面に接着される。従って、全て
のインナーリード3がテープ4によって互いに連結さ
れ、ヒートスプレッダー2上で所定の位置に保持され
る。従って、その後でワイヤボンディングを行うことが
できる。
【0004】また、図12に示されるように、テープ4
はインナーリード3の内端部よりも外寄りの位置でイン
ナーリード3を連結するように配置されることもある。
この場合にも、全てのインナーリード3がテープ4によ
って互いに連結され、ヒートスプレッダー2上で所定の
位置に保持される。従って、その後でワイヤボンディン
グを行うことができる。
はインナーリード3の内端部よりも外寄りの位置でイン
ナーリード3を連結するように配置されることもある。
この場合にも、全てのインナーリード3がテープ4によ
って互いに連結され、ヒートスプレッダー2上で所定の
位置に保持される。従って、その後でワイヤボンディン
グを行うことができる。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】テープ4がヒートスプ
レッダー2とインナーリード3との間に介在された状態
で、インナーリード3と半導体チップとの間でワイヤボ
ンディングを行うと、ワイヤボンディング中にテープ4
からガスが発生し、ワイヤボンディングを行いにくく、
それを改善するためには特殊の洗浄を行うことが必要に
なる。
レッダー2とインナーリード3との間に介在された状態
で、インナーリード3と半導体チップとの間でワイヤボ
ンディングを行うと、ワイヤボンディング中にテープ4
からガスが発生し、ワイヤボンディングを行いにくく、
それを改善するためには特殊の洗浄を行うことが必要に
なる。
【0006】また、図12のように、インナーリード3
の内端部がテープ4よりも内側に延びていると、ワイヤ
ボンディングを行うとき及びその後の樹脂封止のとき
に、インナーリード3の内端部が矢印Aで示されるよう
にヒートスプレッダー2に向かって押しつけられる傾向
がある。このため、インナーリード3の内端部がヒート
スプレッダー2に接触しやすくなる。ヒートスプレッダ
ー2は銅等の熱伝導率の高い材料で作られ、通常は電気
導体であるので、インナーリード3の内端部がヒートス
プレッダー2に接触するとショートする危険がある。
の内端部がテープ4よりも内側に延びていると、ワイヤ
ボンディングを行うとき及びその後の樹脂封止のとき
に、インナーリード3の内端部が矢印Aで示されるよう
にヒートスプレッダー2に向かって押しつけられる傾向
がある。このため、インナーリード3の内端部がヒート
スプレッダー2に接触しやすくなる。ヒートスプレッダ
ー2は銅等の熱伝導率の高い材料で作られ、通常は電気
導体であるので、インナーリード3の内端部がヒートス
プレッダー2に接触するとショートする危険がある。
【0007】本発明の目的は、ヒートスプレッダーを用
いた半導体装置においてインナーリードと半導体チップ
との電気的な接続を簡単且つ確実に行うことができ、且
つ使用時にインナーリードとヒートスプレッダーとの間
のショートが生じないようにした半導体装置を提供する
ことである。
いた半導体装置においてインナーリードと半導体チップ
との電気的な接続を簡単且つ確実に行うことができ、且
つ使用時にインナーリードとヒートスプレッダーとの間
のショートが生じないようにした半導体装置を提供する
ことである。
【0008】
【課題を解決するための手段】本発明による半導体装置
は、半導体チップと、該半導体チップを支持するヒート
スプレッダーと、該ヒートスプレッダーを支持するリー
ドフレームのサポートバーと、該半導体チップに接続さ
れるリードフレームのインナーリードと、該インナーリ
ードを互いに連結する絶縁材のテープと、該ヒートスプ
レッダーと該半導体チップとを封止する封止手段とから
なり、該絶縁材のテープは該インナーリードの内端部よ
りも外寄りの位置で該インナーリードを連結し、該絶縁
材のテープは該ヒートスプレッダーよりも外側の位置に
あって該インナーリードの内端部が該ヒートスプレッダ
ーを含む領域内にあることを特徴とするものである。
は、半導体チップと、該半導体チップを支持するヒート
スプレッダーと、該ヒートスプレッダーを支持するリー
ドフレームのサポートバーと、該半導体チップに接続さ
れるリードフレームのインナーリードと、該インナーリ
ードを互いに連結する絶縁材のテープと、該ヒートスプ
レッダーと該半導体チップとを封止する封止手段とから
なり、該絶縁材のテープは該インナーリードの内端部よ
りも外寄りの位置で該インナーリードを連結し、該絶縁
材のテープは該ヒートスプレッダーよりも外側の位置に
あって該インナーリードの内端部が該ヒートスプレッダ
ーを含む領域内にあることを特徴とするものである。
【0009】上記構成においては、複数のインナーリー
ドを連結する絶縁材のテープはヒートスプレッダーより
も外側の位置にあり、そして、インナーリードの内端部
が該ヒートスプレッダーで覆われる領域内にある。そこ
で、インナーリードの内端部と半導体チップとをワイヤ
ボンディング等によって電気的に接続し、このときに、
絶縁材のテープがワイヤボンディング性に悪影響をしな
い。
ドを連結する絶縁材のテープはヒートスプレッダーより
も外側の位置にあり、そして、インナーリードの内端部
が該ヒートスプレッダーで覆われる領域内にある。そこ
で、インナーリードの内端部と半導体チップとをワイヤ
ボンディング等によって電気的に接続し、このときに、
絶縁材のテープがワイヤボンディング性に悪影響をしな
い。
【0010】また、この場合、該ヒートスプレッダーは
該絶縁材のテープと接触可能な位置に設けられる弾性変
形可能なアーム部分を有する構成とすることができる。
また、該弾性変形可能なアームは該ヒートスプレッダー
から外側に延び且つ該ヒートスプレッダーの表面よりも
該半導体チップ側に突出する構成とすることができる。
こうすることにより、インナーリードはワイヤボンディ
ングの間以外はヒートスプレッダーに対して離れるよう
に持ち上げられ、ヒートスプレッダーに対して接触する
ことがなく、ショートすることがなくなる。
該絶縁材のテープと接触可能な位置に設けられる弾性変
形可能なアーム部分を有する構成とすることができる。
また、該弾性変形可能なアームは該ヒートスプレッダー
から外側に延び且つ該ヒートスプレッダーの表面よりも
該半導体チップ側に突出する構成とすることができる。
こうすることにより、インナーリードはワイヤボンディ
ングの間以外はヒートスプレッダーに対して離れるよう
に持ち上げられ、ヒートスプレッダーに対して接触する
ことがなく、ショートすることがなくなる。
【0011】さらに、本発明は、半導体チップを支持す
るヒートスプレッダーであって、ほぼ矩形状の本体部分
と、該本体部分から外側に延び且つ半導体チップを支持
すべき表面側に突出する弾性変形可能なアーム部分とか
らなることを特徴とするヒートスプレッダーを提供する
ものである。この構成は、上記半導体装置のヒートスプ
レッダーとして適したものである。
るヒートスプレッダーであって、ほぼ矩形状の本体部分
と、該本体部分から外側に延び且つ半導体チップを支持
すべき表面側に突出する弾性変形可能なアーム部分とか
らなることを特徴とするヒートスプレッダーを提供する
ものである。この構成は、上記半導体装置のヒートスプ
レッダーとして適したものである。
【0012】
【発明の実施の形態】図1から図6を参照すると、本発
明による半導体装置10は、半導体チップ12と、半導
体チップ12を支持するヒートスプレッダー14と、リ
ードフレーム16と、絶縁材のテープ18とからなる。
リードフレーム16はサポートバー20とインナーリー
ド22とを有する。
明による半導体装置10は、半導体チップ12と、半導
体チップ12を支持するヒートスプレッダー14と、リ
ードフレーム16と、絶縁材のテープ18とからなる。
リードフレーム16はサポートバー20とインナーリー
ド22とを有する。
【0013】ヒートスプレッダー14は、熱伝導の優れ
た銅等の金属板で作られ、図5及び図6に示されるよう
に、ほぼ矩形状の本体部分24と、この本体部分24か
ら外側に延び且つ半導体チップ12を支持すべき表面側
に突出する弾性変形可能なアーム部分26とからなる。
つまり、アーム部分26は半導体チップ12を支持すべ
き表面側に曲げられている。図5においては、各アーム
部分26の根元に位置する本体部分24に切欠き28を
設け、各アーム部分26の長さを長くして弾力性を増す
ようになっている。アーム部分26は本体部分24の各
辺と平行に延びるフラップ30によって連結される。
た銅等の金属板で作られ、図5及び図6に示されるよう
に、ほぼ矩形状の本体部分24と、この本体部分24か
ら外側に延び且つ半導体チップ12を支持すべき表面側
に突出する弾性変形可能なアーム部分26とからなる。
つまり、アーム部分26は半導体チップ12を支持すべ
き表面側に曲げられている。図5においては、各アーム
部分26の根元に位置する本体部分24に切欠き28を
設け、各アーム部分26の長さを長くして弾力性を増す
ようになっている。アーム部分26は本体部分24の各
辺と平行に延びるフラップ30によって連結される。
【0014】図1に示されるように、リードフレーム1
6のサポートバー20はヒートスプレッダー14に固定
され、ヒートスプレッダー14を所定の位置関係で支持
し、そこで、インナーリード22の内端部がヒートスプ
レッダー14(の本体部分24)を含む領域内にある。
言い換えれば、インナーリード22の内端部がヒートス
プレッダー14(の本体部分24)の表面と接触可能な
領域内にある。
6のサポートバー20はヒートスプレッダー14に固定
され、ヒートスプレッダー14を所定の位置関係で支持
し、そこで、インナーリード22の内端部がヒートスプ
レッダー14(の本体部分24)を含む領域内にある。
言い換えれば、インナーリード22の内端部がヒートス
プレッダー14(の本体部分24)の表面と接触可能な
領域内にある。
【0015】絶縁材のテープ18はヒートスプレッダー
14のフラップ30上の位置にある。すなわち、絶縁材
のテープ18はヒートスプレッダー14(の本体部分2
4)よりも外側の位置にある。従って、絶縁材のテープ
18はリードフレーム16のインナーリード22の内端
部よりも外寄りの位置で複数のインナーリード22を互
いに連結する。
14のフラップ30上の位置にある。すなわち、絶縁材
のテープ18はヒートスプレッダー14(の本体部分2
4)よりも外側の位置にある。従って、絶縁材のテープ
18はリードフレーム16のインナーリード22の内端
部よりも外寄りの位置で複数のインナーリード22を互
いに連結する。
【0016】図2に示されるように、絶縁材のテープ1
8は一方の面のみが接着層となっており、絶縁材のテー
プ18はインナーリード22に接着されている。絶縁材
のテープ18は他方の面はヒートスプレッダー14のフ
ラップ30に接触してもそれと接着しない。絶縁材のテ
ープ18は他方の面はヒートスプレッダー14のフラッ
プ30の表面とはわずかに離れている。
8は一方の面のみが接着層となっており、絶縁材のテー
プ18はインナーリード22に接着されている。絶縁材
のテープ18は他方の面はヒートスプレッダー14のフ
ラップ30に接触してもそれと接着しない。絶縁材のテ
ープ18は他方の面はヒートスプレッダー14のフラッ
プ30の表面とはわずかに離れている。
【0017】図3に示されるように、ヒートスプレッダ
ー14の各辺の全てのインナーリード22を絶縁材のテ
ープ18によって一体化したら、ワイヤボンディグを行
い、インナーリード22と半導体チップ12とをボンデ
ィングワイヤ32によって電気的に接続する。
ー14の各辺の全てのインナーリード22を絶縁材のテ
ープ18によって一体化したら、ワイヤボンディグを行
い、インナーリード22と半導体チップ12とをボンデ
ィングワイヤ32によって電気的に接続する。
【0018】ワイヤボンディグを行うときには、インナ
ーリード22の内端部近くを治具(図示せず)によって
押さえつける。すなと、ヒートスプレッダー14のフラ
ップ30は絶縁材のテープ18を介してインナーリード
22によって下に押され、ヒートスプレッダー14のア
ーム部分26は弾性変形してヒートスプレッダー14の
フラップ30が下に押されるのを許容する。インナーリ
ード22の内端部がヒートスプレッダー14(の本体部
分24)の表面と接触する。
ーリード22の内端部近くを治具(図示せず)によって
押さえつける。すなと、ヒートスプレッダー14のフラ
ップ30は絶縁材のテープ18を介してインナーリード
22によって下に押され、ヒートスプレッダー14のア
ーム部分26は弾性変形してヒートスプレッダー14の
フラップ30が下に押されるのを許容する。インナーリ
ード22の内端部がヒートスプレッダー14(の本体部
分24)の表面と接触する。
【0019】こうして、絶縁材のテープ18はヒートス
プレッダー14(の本体部分24)の上になく、インナ
ーリード22の内端部がヒートスプレッダー14(の本
体部分24)の上にあるので、安定な状態で絶縁材のテ
ープ18に影響されることなくワイヤボンディグを行う
ことができる。
プレッダー14(の本体部分24)の上になく、インナ
ーリード22の内端部がヒートスプレッダー14(の本
体部分24)の上にあるので、安定な状態で絶縁材のテ
ープ18に影響されることなくワイヤボンディグを行う
ことができる。
【0020】次に治具を取り除くと、ヒートスプレッダ
ー14のアーム部分26は弾性的に初期の形状に戻り、
インナーリード22と、絶縁材のテープ18と、ヒート
スプレッダー14(の本体部分24)とは図2の位置関
係になる。ここでは、絶縁材のテープ18はヒートスプ
レッダー14のフラップ30に対してわずかに離れてお
り、インナーリード22の内端部はヒートスプレッダー
14(の本体部分24)から離れている。
ー14のアーム部分26は弾性的に初期の形状に戻り、
インナーリード22と、絶縁材のテープ18と、ヒート
スプレッダー14(の本体部分24)とは図2の位置関
係になる。ここでは、絶縁材のテープ18はヒートスプ
レッダー14のフラップ30に対してわずかに離れてお
り、インナーリード22の内端部はヒートスプレッダー
14(の本体部分24)から離れている。
【0021】それから、図4に示すように、樹脂34の
パッケージングを行う。インナーリード22の内端部が
ヒートスプレッダー14(の本体部分24)から確実に
離れている状態で樹脂34のパッケージングを行うと、
完成したパッケージ内でも、インナーリード22の内端
部はヒートスプレッダー14(の本体部分24)から離
れている。従って、使用時に、インナーリード22が銅
等の導体であるヒートスプレッダー14に対してショー
トすることがない。
パッケージングを行う。インナーリード22の内端部が
ヒートスプレッダー14(の本体部分24)から確実に
離れている状態で樹脂34のパッケージングを行うと、
完成したパッケージ内でも、インナーリード22の内端
部はヒートスプレッダー14(の本体部分24)から離
れている。従って、使用時に、インナーリード22が銅
等の導体であるヒートスプレッダー14に対してショー
トすることがない。
【0022】図7及び図8は ヒートスプレッダー14
の他の例を示す図である。このヒートスプレッダー14
は、ほぼ矩形状の本体部分24と、この本体部分24か
ら外側に延び且つ半導体チップ12を支持すべき表面側
に突出する弾性変形可能なアーム部分26とからなる。
この例でも、アーム部分26は半導体チップ12を支持
すべき表面側に曲げられている。また、各アーム部分2
6の根元に位置する本体部分24に切欠き28を設け、
各アーム部分26の長さを長くして弾力性を増すように
なっている。ただし、アーム部分26の先端のフラップ
30は、図5のものと比べて短く、複数のアーム部分2
6を連結していない。
の他の例を示す図である。このヒートスプレッダー14
は、ほぼ矩形状の本体部分24と、この本体部分24か
ら外側に延び且つ半導体チップ12を支持すべき表面側
に突出する弾性変形可能なアーム部分26とからなる。
この例でも、アーム部分26は半導体チップ12を支持
すべき表面側に曲げられている。また、各アーム部分2
6の根元に位置する本体部分24に切欠き28を設け、
各アーム部分26の長さを長くして弾力性を増すように
なっている。ただし、アーム部分26の先端のフラップ
30は、図5のものと比べて短く、複数のアーム部分2
6を連結していない。
【0023】図9は ヒートスプレッダー14のさらに
他の例を示す図である。このヒートスプレッダー14
は、ほぼ矩形状の本体部分24と、この本体部分24か
ら外側に延び且つ半導体チップ12を支持すべき表面側
に突出する弾性変形可能なアーム部分26とからなる。
この例では、アーム部分26は半導体チップ12を支持
すべき表面側に曲げ加工して形成されたものではなく、
ポンチを使用したつぶしによる突起状に形成される。
他の例を示す図である。このヒートスプレッダー14
は、ほぼ矩形状の本体部分24と、この本体部分24か
ら外側に延び且つ半導体チップ12を支持すべき表面側
に突出する弾性変形可能なアーム部分26とからなる。
この例では、アーム部分26は半導体チップ12を支持
すべき表面側に曲げ加工して形成されたものではなく、
ポンチを使用したつぶしによる突起状に形成される。
【0024】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
インナーリードと半導体チップとの電気的な接続を簡単
且つ確実に行うことができ、且つ使用時にインナーリー
ドとヒートスプレッダーとの間のショートが生じないよ
うにすることができる。
インナーリードと半導体チップとの電気的な接続を簡単
且つ確実に行うことができ、且つ使用時にインナーリー
ドとヒートスプレッダーとの間のショートが生じないよ
うにすることができる。
【図1】本発明の実施例の半導体装置を示す図である。
【図2】図1の半導体装置のインナーリードとヒートス
プレッダーとの関係を示す図である。
プレッダーとの関係を示す図である。
【図3】図1の半導体装置のワイヤボンディングを行う
ところを示す図である。
ところを示す図である。
【図4】図1の半導体装置の樹脂のパッケージングを行
うところを示す図である。
うところを示す図である。
【図5】図1のヒートスプレッダーの平面図である。
【図6】図5のヒートスプレッダーの線VI─VIに沿った
断面図である。
断面図である。
【図7】ヒートスプレッダーの他の例を示す平面図であ
る。
る。
【図8】図7のヒートスプレッダーの線VIII─VIIIに沿
った断面図である。
った断面図である。
【図9】ヒートスプレッダーのさらに他の例を示す断面
図である。
図である。
【図10】従来の半導体装置を示す図である。
【図11】図10の半導体装置のインナーリードとヒー
トスプレッダーとの関係を示す図である。
トスプレッダーとの関係を示す図である。
【図12】従来のインナーリードとヒートスプレッダー
との他の関係を示す図である。
との他の関係を示す図である。
10…半導体 12…半導体チップ 14…ヒートスプレッダー 16…リードフレーム 18…テープ 20…サポートバー 22…インナーリード 24…本体部分 26…アーム部分
Claims (4)
- 【請求項1】 半導体チップと、該半導体チップを支持
するヒートスプレッダーと、該ヒートスプレッダーを支
持するリードフレームのサポートバーと、該半導体チッ
プに接続されるリードフレームのインナーリードと、該
インナーリードを互いに連結する絶縁材のテープと、該
ヒートスプレッダーと該半導体チップとを封止する封止
手段とからなり、該絶縁材のテープは該インナーリード
の内端部よりも外寄りの位置で該インナーリードを連結
し、該絶縁材のテープは該ヒートスプレッダーよりも外
側の位置にあって該インナーリードの内端部が該ヒート
スプレッダーを含む領域内にあることを特徴とする半導
体装置。 - 【請求項2】 該ヒートスプレッダーは該絶縁材のテー
プと接触可能な位置に設けられる弾性変形可能なアーム
部分を有することを特徴とする請求項1に記載の半導体
装置。 - 【請求項3】 該弾性変形可能なアームは該ヒートスプ
レッダーから外側に延び且つ該ヒートスプレッダーの表
面よりも該半導体チップ側に突出することを特徴とする
請求項2に記載の半導体装置。 - 【請求項4】 半導体チップを支持するヒートスプレッ
ダーであって、ほぼ矩形状の本体部分と、該本体部分か
ら外側に延び且つ半導体チップを支持すべき表面側に突
出する弾性変形可能なアーム部分とからなることを特徴
とするヒートスプレッダー。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8232962A JPH1079464A (ja) | 1996-09-03 | 1996-09-03 | 半導体装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8232962A JPH1079464A (ja) | 1996-09-03 | 1996-09-03 | 半導体装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH1079464A true JPH1079464A (ja) | 1998-03-24 |
Family
ID=16947609
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8232962A Withdrawn JPH1079464A (ja) | 1996-09-03 | 1996-09-03 | 半導体装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH1079464A (ja) |
-
1996
- 1996-09-03 JP JP8232962A patent/JPH1079464A/ja not_active Withdrawn
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Application deemed to be withdrawn because no request for examination was validly filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20031104 |