JPH1079540A - 軸流型ガスレーザ装置の制御方法および軸流型ガスレーザ装置 - Google Patents
軸流型ガスレーザ装置の制御方法および軸流型ガスレーザ装置Info
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- JPH1079540A JPH1079540A JP25226596A JP25226596A JPH1079540A JP H1079540 A JPH1079540 A JP H1079540A JP 25226596 A JP25226596 A JP 25226596A JP 25226596 A JP25226596 A JP 25226596A JP H1079540 A JPH1079540 A JP H1079540A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 所要数の管状部を有する放電手段を接地され
ている保持金具により保持しているガスレーザ装置にお
ける異常放電が解消されてなるガスレーザ装置の制御方
法およびガスレーザ装置を提供する。 【解決手段】 主放電電源ＳMと微弱電流の放電をなす
補助放電電源ＳSと、主放電電源用パルス発生手段Ｃ
Mと、補助放電電源用パルス発生手段ＣSと、両パルス発
生手段ＣM，ＣSのパルス発生タイミングを調整するタイ
ミング調整手段ＣTとを備えるとともに、所要数の管状
部を有する放電手段１０，１０，１０，…を接地されて
いる保持金具１８，１８，１８，…により保持している
軸流型ガスレーザ装置Ｌにおいて、主放電と補助放電と
を若干重複させてなすものである。
ている保持金具により保持しているガスレーザ装置にお
ける異常放電が解消されてなるガスレーザ装置の制御方
法およびガスレーザ装置を提供する。 【解決手段】 主放電電源ＳMと微弱電流の放電をなす
補助放電電源ＳSと、主放電電源用パルス発生手段Ｃ
Mと、補助放電電源用パルス発生手段ＣSと、両パルス発
生手段ＣM，ＣSのパルス発生タイミングを調整するタイ
ミング調整手段ＣTとを備えるとともに、所要数の管状
部を有する放電手段１０，１０，１０，…を接地されて
いる保持金具１８，１８，１８，…により保持している
軸流型ガスレーザ装置Ｌにおいて、主放電と補助放電と
を若干重複させてなすものである。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は軸流型ガスレーザ装
置の制御方法および軸流型ガスレーザ装置に関する。さ
らに詳しくは、所要数の管状部を有する放電手段を光学
的に直列接続してなる軸流型ガスレーザ装置における異
常放電を防止する制御方法および軸流型ガスレーザ装置
に関する。
置の制御方法および軸流型ガスレーザ装置に関する。さ
らに詳しくは、所要数の管状部を有する放電手段を光学
的に直列接続してなる軸流型ガスレーザ装置における異
常放電を防止する制御方法および軸流型ガスレーザ装置
に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来より、図５に示すように、一方の端
部にカソード１が設けられ、中央部の突出している個所
にアノード２が設けられている変形Ｔ字状の放電管１０
を所要数光学的に直列接続して高出力のガスレーザを発
生させる軸流型ガスレーザ装置（以下、特に誤解が生じ
ない場合には単にガスレーザ装置という）Ｌ´が知られ
ている。このガスレーザ装置Ｌ´は、限られたスペース
内に所要数の放電管１０，１０，１０，…を配置しなけ
ればならないところから、図６および図７に示すよう
に、中央部に両端にカソード１，１が装着された中間ブ
ロック１２を配置し、この中間ブロック１２の各カソー
ド１に放電管１０を装着し、さらにこの放電管１０の他
端にミラー３が取付けられた反射ブロック１４を装着
し、この反射ブロック１４を利用して所要数の放電管１
０，１０，１０，…を並列状に配置し、放電管１０の一
方の端部にレーザ光を折り返しさせて次の放電管１０に
導入することがなされ、そしてこのようにしてエネルギ
ーが高められたレーザ光は、最終段の放電管１０の出力
端に装着された出力ブロック１６により放射されるよう
にされている。
部にカソード１が設けられ、中央部の突出している個所
にアノード２が設けられている変形Ｔ字状の放電管１０
を所要数光学的に直列接続して高出力のガスレーザを発
生させる軸流型ガスレーザ装置（以下、特に誤解が生じ
ない場合には単にガスレーザ装置という）Ｌ´が知られ
ている。このガスレーザ装置Ｌ´は、限られたスペース
内に所要数の放電管１０，１０，１０，…を配置しなけ
ればならないところから、図６および図７に示すよう
に、中央部に両端にカソード１，１が装着された中間ブ
ロック１２を配置し、この中間ブロック１２の各カソー
ド１に放電管１０を装着し、さらにこの放電管１０の他
端にミラー３が取付けられた反射ブロック１４を装着
し、この反射ブロック１４を利用して所要数の放電管１
０，１０，１０，…を並列状に配置し、放電管１０の一
方の端部にレーザ光を折り返しさせて次の放電管１０に
導入することがなされ、そしてこのようにしてエネルギ
ーが高められたレーザ光は、最終段の放電管１０の出力
端に装着された出力ブロック１６により放射されるよう
にされている。
【０００３】しかしながら、このガスレーザ装置Ｌ´に
おいては、並列状に配設された放電管１０，１０，１
０，…、反射ブロック１４，１４，１４，…および出力
ブロック１６を所定の位置関係で保持しなければならな
いため、反射ブロック１４，１４相互および反射ブロッ
ク１４と出力ブロック１６とは、保持金具１８により保
持されている。そして、この保持金具１８およびミラー
３による感電事故を防止するため、この保持金具１８お
よびミラー３は接地されている。そのため、アノード２
からカソード１への放電が起こらず、保持金具１８がカ
ソード的に作用し、カソード１とは反対側の方のミラー
３あるいは保持金具１８に向けてアノード１から放電が
なされることがある。いわゆる、異常放電がなされるこ
とがある。そのため、この従来のガスレーザ装置Ｌ´に
おいては、放電が不安定であるため加工機の性能低下や
部品を損傷するという問題があるとともに、エネルギ効
率を損なっているという問題もある。
おいては、並列状に配設された放電管１０，１０，１
０，…、反射ブロック１４，１４，１４，…および出力
ブロック１６を所定の位置関係で保持しなければならな
いため、反射ブロック１４，１４相互および反射ブロッ
ク１４と出力ブロック１６とは、保持金具１８により保
持されている。そして、この保持金具１８およびミラー
３による感電事故を防止するため、この保持金具１８お
よびミラー３は接地されている。そのため、アノード２
からカソード１への放電が起こらず、保持金具１８がカ
ソード的に作用し、カソード１とは反対側の方のミラー
３あるいは保持金具１８に向けてアノード１から放電が
なされることがある。いわゆる、異常放電がなされるこ
とがある。そのため、この従来のガスレーザ装置Ｌ´に
おいては、放電が不安定であるため加工機の性能低下や
部品を損傷するという問題があるとともに、エネルギ効
率を損なっているという問題もある。
【０００４】ところで、特開昭６３ー２３３５８０号公
報には、小型で高効率にパルスガスレーザ光を発振でき
るガスレーザ発振方法を提供することを目的として、ガ
スレーザ媒質が所定圧に保たれかつ少なくとも一対の主
放電電極をもつ放電管からパルスガスレーザ光を発振す
るガスレーザ発振方法において、前記放電管の各放電電
極間に電流値が小さくかつ連続的でない補助放電電流を
供給し、この直後前記補助放電電流に続いて電流値の大
きな主放電電流を供給してピークエネルギーの高いパル
スガスレーザ光を発振することを特徴とするガスレーザ
発振方法が提案されている。
報には、小型で高効率にパルスガスレーザ光を発振でき
るガスレーザ発振方法を提供することを目的として、ガ
スレーザ媒質が所定圧に保たれかつ少なくとも一対の主
放電電極をもつ放電管からパルスガスレーザ光を発振す
るガスレーザ発振方法において、前記放電管の各放電電
極間に電流値が小さくかつ連続的でない補助放電電流を
供給し、この直後前記補助放電電流に続いて電流値の大
きな主放電電流を供給してピークエネルギーの高いパル
スガスレーザ光を発振することを特徴とするガスレーザ
発振方法が提案されている。
【０００５】しかしながら、特開昭６３ー２３３５８０
号公報の提案にかかわるガスレーザ発振方法において
は、前記放電管の各放電電極間に電流値が小さくかつ連
続的でない補助放電電流を供給し、この直後前記補助放
電電流に続いて電流値の大きな主放電電流を供給してピ
ークエネルギーの高いパルスガスレーザ光を発振させる
ようにしているから、主放電が終了して次の補助放電を
なす際に異常放電が発生するおそれがあり、またカソー
ド側に放電のオン・オフ用真空管回路があるため、アノ
ードには常時高電圧がかかることになり、主放電および
補助放電をオフする際に、アノードからミラーや保持金
具への異常放電が発生するおそれがあるため、前記構成
とされているガスレーザ装置Ｌ´のガスレーザ発振方法
あるいは制御方法に直接適用できない。
号公報の提案にかかわるガスレーザ発振方法において
は、前記放電管の各放電電極間に電流値が小さくかつ連
続的でない補助放電電流を供給し、この直後前記補助放
電電流に続いて電流値の大きな主放電電流を供給してピ
ークエネルギーの高いパルスガスレーザ光を発振させる
ようにしているから、主放電が終了して次の補助放電を
なす際に異常放電が発生するおそれがあり、またカソー
ド側に放電のオン・オフ用真空管回路があるため、アノ
ードには常時高電圧がかかることになり、主放電および
補助放電をオフする際に、アノードからミラーや保持金
具への異常放電が発生するおそれがあるため、前記構成
とされているガスレーザ装置Ｌ´のガスレーザ発振方法
あるいは制御方法に直接適用できない。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】本発明はかかる従来技
術の課題に鑑みなされたものであって、所要数の管状部
を有する放電手段を接地されている保持金具により保持
しているガスレーザ装置における異常放電が解消されて
なるガスレーザ装置の制御方法およびガスレーザ装置を
提供することを目的としている。
術の課題に鑑みなされたものであって、所要数の管状部
を有する放電手段を接地されている保持金具により保持
しているガスレーザ装置における異常放電が解消されて
なるガスレーザ装置の制御方法およびガスレーザ装置を
提供することを目的としている。
【０００７】
【課題を解決するための手段】本発明の軸流型ガスレー
ザ装置の制御方法は、主放電電源と微弱電流の放電をな
す補助放電電源とを備えるとともに、所要数の管状部を
有する放電手段を接地されている保持金具により保持し
ている軸流型ガスレーザ装置の制御方法であって、主放
電と補助放電との切り替え時間を所定時間重複させるこ
とを特徴とする。
ザ装置の制御方法は、主放電電源と微弱電流の放電をな
す補助放電電源とを備えるとともに、所要数の管状部を
有する放電手段を接地されている保持金具により保持し
ている軸流型ガスレーザ装置の制御方法であって、主放
電と補助放電との切り替え時間を所定時間重複させるこ
とを特徴とする。
【０００８】本発明の軸流型ガスレーザ装置の制御方法
においては、例えば前記所定時間が０．０５ミリ秒間程
度とされる。
においては、例えば前記所定時間が０．０５ミリ秒間程
度とされる。
【０００９】一方、本発明の軸流型ガスレーザ装置は、
主放電電源と、微弱電流の放電をなす補助放電電源と、
主放電電源用パルス発生手段と、補助放電電源用パルス
発生手段と、前記両パルス発生手段のパルス発生のタイ
ミングを調整するタイミング調整手段とを備えるととも
に、所要数の管状部を有する放電手段を接地されている
保持金具により保持してなることを特徴とする。
主放電電源と、微弱電流の放電をなす補助放電電源と、
主放電電源用パルス発生手段と、補助放電電源用パルス
発生手段と、前記両パルス発生手段のパルス発生のタイ
ミングを調整するタイミング調整手段とを備えるととも
に、所要数の管状部を有する放電手段を接地されている
保持金具により保持してなることを特徴とする。
【００１０】
【作用】本発明の軸流型ガスレーザ装置においては、主
放電と補助放電とが所定時間重複させてなされるので、
異常放電が防止される。そのため、安定したレーザ出力
が得られ、加工品質が向上する。
放電と補助放電とが所定時間重複させてなされるので、
異常放電が防止される。そのため、安定したレーザ出力
が得られ、加工品質が向上する。
【００１１】
【発明の実施の形態】以下、添付図面を参照しながら本
発明を実施の形態に基づいて説明するが、本発明はかか
る実施の形態のみに限定されるものではない。なお、図
１において図５と同一または類似の構成要素については
同一の符号が付されている。
発明を実施の形態に基づいて説明するが、本発明はかか
る実施の形態のみに限定されるものではない。なお、図
１において図５と同一または類似の構成要素については
同一の符号が付されている。
【００１２】本発明の制御方法が適用されるガスレーザ
装置Ｌの概略図を図１に示す。このガスレーザ装置Ｌ
は、図５に示す従来のガスレーザ装置Ｌ´を改良したも
のであって、図１に示すように、主放電をなすための主
放電電源（ＭＰＳＵ）ＳMと、異常放電を防止するため
にシマー放電（補助放電）をなすシマー放電電源（ＳＰ
ＳＵ）ＳSと、主放電電源用パルス発生回路ＣMと、シマ
ー放電電源用パルス発生回路ＣSと、両パルス発生回路
におけるパルス発生のタイミングを調整するパルスタイ
ミング回路ＣTとを備え、図２に示すように主放電終了
直前にシマー放電電源ＳSをオンするとともに、次の主
放電開始直後にシマー放電電源ＳSをオフするように制
御してなるものである。つまり、主放電とシマー放電と
を若干重複させてなすものである。
装置Ｌの概略図を図１に示す。このガスレーザ装置Ｌ
は、図５に示す従来のガスレーザ装置Ｌ´を改良したも
のであって、図１に示すように、主放電をなすための主
放電電源（ＭＰＳＵ）ＳMと、異常放電を防止するため
にシマー放電（補助放電）をなすシマー放電電源（ＳＰ
ＳＵ）ＳSと、主放電電源用パルス発生回路ＣMと、シマ
ー放電電源用パルス発生回路ＣSと、両パルス発生回路
におけるパルス発生のタイミングを調整するパルスタイ
ミング回路ＣTとを備え、図２に示すように主放電終了
直前にシマー放電電源ＳSをオンするとともに、次の主
放電開始直後にシマー放電電源ＳSをオフするように制
御してなるものである。つまり、主放電とシマー放電と
を若干重複させてなすものである。
【００１３】主放電電源ＳMとシマー放電電源ＳSとをか
かる関係において切り替えることにより、主放電がなさ
れる時点において放電管１０内のガスの負性抵抗特性に
より放電管１０内のガス抵抗が低下するため、主放電が
円滑になされ異常放電が防止される（図３および図４参
照）。また、主放電開始直後あるいは終了直前にシマー
放電電源ＳSをオフあるいはオンしているので、シマー
放電によるレーザ出力への悪影響が最小限に抑えられ
る。
かる関係において切り替えることにより、主放電がなさ
れる時点において放電管１０内のガスの負性抵抗特性に
より放電管１０内のガス抵抗が低下するため、主放電が
円滑になされ異常放電が防止される（図３および図４参
照）。また、主放電開始直後あるいは終了直前にシマー
放電電源ＳSをオフあるいはオンしているので、シマー
放電によるレーザ出力への悪影響が最小限に抑えられ
る。
【００１４】この場合、シマー放電電源ＳSのオンは、
主放電の終了前約０．０５ｍｓｅｃ前になされるのが好
ましく、またシマー放電電源ＳSのオフは、主放電開始
後約０．０５ｍｓｅｃ後になされるのが好ましい。シマ
ー放電電源ＳSと主放電電源ＳMとの切り替えをこのよう
にすることにより、周波数１ｋＨｚにおいてデューティ
比５０％が達成される。そのため、良好なレーザ光を得
ることができ、加工品質が向上する。なお、これ以上両
放電を重複させて行うと、シマー放電による悪影響が出
るので好ましくなく、またこれよりも短いと異常放電が
発生するおそれがあるので好ましくない。
主放電の終了前約０．０５ｍｓｅｃ前になされるのが好
ましく、またシマー放電電源ＳSのオフは、主放電開始
後約０．０５ｍｓｅｃ後になされるのが好ましい。シマ
ー放電電源ＳSと主放電電源ＳMとの切り替えをこのよう
にすることにより、周波数１ｋＨｚにおいてデューティ
比５０％が達成される。そのため、良好なレーザ光を得
ることができ、加工品質が向上する。なお、これ以上両
放電を重複させて行うと、シマー放電による悪影響が出
るので好ましくなく、またこれよりも短いと異常放電が
発生するおそれがあるので好ましくない。
【００１５】
【発明の効果】以上詳述したように、本発明によれば、
レーザ出力に実質上悪影響を与えることなく放電管にお
ける異常放電が防止されるという優れた効果が得られ
る。そのため、レーザ光が安定し、加工品質が向上する
という優れた効果も得らる。
レーザ出力に実質上悪影響を与えることなく放電管にお
ける異常放電が防止されるという優れた効果が得られ
る。そのため、レーザ光が安定し、加工品質が向上する
という優れた効果も得らる。
【図１】本発明の軸流型ガスレーザ装置の概略図であ
る。
る。
【図２】シマー放電と主放電とのタイミングチャートで
ある。
ある。
【図３】同軸流型ガスレーザ装置におけるカソード電流
の模式図である。
の模式図である。
【図４】同軸流型ガスレーザ装置におけるアノード電圧
の模式図である。
の模式図である。
【図５】従来の軸流型レーザ装置の概略図である。
【図６】同装置の反射ブロック部近傍の断面図である。
【図７】同装置の中間ブロック部近傍の断面図である。
１ カソード ２ アノード ３ ミラー １０ 放電管 １８ 保持金具 Ｌ ガスレーザ装置 ＳM 主放電電源 ＳS シマー放電電源 ＣM 主放電電源用パルス発生回路 ＣS シマー放電電源用パルス発生回路 ＣT パルスタイミング回路
Claims (3)
- 【請求項１】 主放電電源と微弱電流の放電をなす補助
放電電源とを備えるとともに、所要数の管状部を有する
放電手段を接地されている保持金具により保持している
軸流型ガスレーザ装置の制御方法であって、 主放電と補助放電との切り替え時間を所定時間重複させ
ることを特徴とする軸流型ガスレーザ装置の制御方法。 - 【請求項２】 前記所定時間が０．０５ミリ秒間程度と
されてなることを特徴とする請求項１記載の軸流型ガス
レーザ装置の制御方法。 - 【請求項３】 主放電電源と、微弱電流の放電をなす補
助放電電源と、主放電電源用パルス発生手段と、補助放
電電源用パルス発生手段と、前記両パルス発生手段のパ
ルス発生のタイミングを調整するタイミング調整手段と
を備えるとともに、所要数の管状部を有する放電手段を
接地されている保持金具により保持してなることを特徴
とする軸流型ガスレーザ装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP25226596A JP3218559B2 (ja) | 1996-09-02 | 1996-09-02 | 軸流型ガスレーザ装置の制御方法および軸流型ガスレーザ装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP25226596A JP3218559B2 (ja) | 1996-09-02 | 1996-09-02 | 軸流型ガスレーザ装置の制御方法および軸流型ガスレーザ装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH1079540A true JPH1079540A (ja) | 1998-03-24 |
| JP3218559B2 JP3218559B2 (ja) | 2001-10-15 |
Family
ID=17234839
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP25226596A Expired - Fee Related JP3218559B2 (ja) | 1996-09-02 | 1996-09-02 | 軸流型ガスレーザ装置の制御方法および軸流型ガスレーザ装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3218559B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP4392089B2 (ja) | 1999-05-27 | 2009-12-24 | 株式会社デンソー | ニューロン、当該ニューロンを用いて構成された階層型ニューラルネットワーク及び当該ニューロン内部での乗算処理に用いられる乗算回路 |
-
1996
- 1996-09-02 JP JP25226596A patent/JP3218559B2/ja not_active Expired - Fee Related
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| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3218559B2 (ja) | 2001-10-15 |
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Legal Events
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|---|---|---|---|
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
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