JPH1089357A - 直動案内装置用の制動装置 - Google Patents

直動案内装置用の制動装置

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JPH1089357A
JPH1089357A JP8261393A JP26139396A JPH1089357A JP H1089357 A JPH1089357 A JP H1089357A JP 8261393 A JP8261393 A JP 8261393A JP 26139396 A JP26139396 A JP 26139396A JP H1089357 A JPH1089357 A JP H1089357A
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JP
Japan
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linear motion
guide device
braking
motion guide
braking device
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Application number
JP8261393A
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English (en)
Inventor
Osamu Ito
修 伊藤
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Nippon Thompson Co Ltd
Original Assignee
Nippon Thompson Co Ltd
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Publication date
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Pending legal-status Critical Current

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    • F16CSHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
    • F16C29/00Bearings for parts moving only linearly
    • F16C29/10Arrangements for locking the bearings
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23QDETAILS, COMPONENTS, OR ACCESSORIES FOR MACHINE TOOLS, e.g. ARRANGEMENTS FOR COPYING OR CONTROLLING; MACHINE TOOLS IN GENERAL CHARACTERISED BY THE CONSTRUCTION OF PARTICULAR DETAILS OR COMPONENTS; COMBINATIONS OR ASSOCIATIONS OF METAL-WORKING MACHINES, NOT DIRECTED TO A PARTICULAR RESULT
    • B23Q1/00Members which are comprised in the general build-up of a form of machine, particularly relatively large fixed members
    • B23Q1/25Movable or adjustable work or tool supports
    • B23Q1/26Movable or adjustable work or tool supports characterised by constructional features relating to the co-operation of relatively movable members; Means for preventing relative movement of such members
    • B23Q1/28Means for securing sliding members in any desired position
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
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    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
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    • H02GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
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    • H02K41/02Linear motors; Sectional motors
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    • H02GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
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    • H02K7/102Structural association with clutches, brakes, gears, pulleys or mechanical starters with friction brakes
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    • F16CSHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
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    • F16C2322/39General buildup of machine tools, e.g. spindles, slides, actuators
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 可動部を所望の位置に完全に停止させること
ができる直動案内装置用の制動装置を提供すること。 【解決手段】 圧電アクチュエータ等からなる直動アク
チュエータ47を使用して摩擦部材48、49を作動さ
せて制動作用をなさせめる構成を採用し、以て上記の効
果を得ている。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、例えば工作機械や
産業用ロボットなどに装備されて物体を高精度に案内す
る直動案内装置用の制動装置に関する。
【0002】
【従来の技術】従来、この種の直動案内装置の一例とし
て、図8に示すものがある。
【0003】図示のように、この直動案内装置は、ベッ
ドである長尺のベース部材101と、該ベース部材10
1上を移動するテーブルとしての可動体102とからな
る案内手段を有している。該可動体102には複数のロ
ーラ(図示せず)が設けられており、ベース部材101
に長手方向に沿って形成された軌道(図示せず)に沿っ
てこれらのローラが転動する。
【0004】ベース部材101の一側部には張出部10
1aが形成されており、該張出部101aにはリニアス
ケール104が設けられている。これに対し、可動体1
02の側部に、発光素子105a及び受光素子105b
がブラケット102を介して取り付けられている。これ
らリニアスケール104、発光素子105a及び受光素
子105bにより、ベース部材101に対する可動体1
02の位置を検知するための検知手段が構成されてい
る。
【0005】前記案内手段と共に当該直動案内装置を構
成するリニア直流モータが設けられており、該リニア直
流モータは次のように構成されている。
【0006】すなわち、ベース部材101上に該ベース
部材101の長手方向に並設された複数の電機子コイル
107を具備する一次側と、該電機子コイル107各々
と対向すべく可動体102の下面側に取り付けられた界
磁マグネット(図示せず)を有する二次側とからなる。
各電機子コイル107は、コイル基板108に貼着さ
れ、ねじ109によってベース部材101に該コイル基
板108と共締めされている。
【0007】上記界磁マグネットは、可動体102が移
動すべき方向、すなわち、ベース部材101の長手方向
に沿ってN及びSの複数の磁極が交互に並ぶように着磁
されている。
【0008】上述の構成において、各電機子コイル10
7に所定のタイミングで給電することにより、上記一次
側及び二次側の両者間にフレミングの左手の法則に基づ
く推力が生じ、二次側と一体の可動体102が移動し、
位置決めされる。そして、前述した検知手段によって、
可動体102の位置が検知される。
【0009】
【発明が解決しようとする課題】上述した従来の直動案
内装置では、位置決めされる可動部は磁力を制動力とし
て停止するだけであるから、外部より振動等が加わる条
件下では不安定であり、又、停電など何等かの原因によ
って給電が断たれた場合には制動力は全く作用せず、当
該直動案内装置を立軸(作動方向が鉛直)又はそれに近
い状態で使用しているときには該可動部が落下する事態
を招くという問題がある。
【0010】本発明は、前記従来技術の欠点に鑑みてな
されたものであって、その目的とするところは、可動部
を所望の位置に完全に停止させることができる直動案内
装置用の制動装置を提供することである。
【0011】また、本発明は、更に他の効果をも奏し得
る制動装置を提供する。
【0012】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明による制動装置は、相対運動自在なベッド及
びテーブルを有して物体を直線運動で案内する直動案内
装置に配設され、給電により直動に変位する直動アクチ
ュエータと、相対運動の方向に延在する相手部材と、該
相手部材に接触して制動をなす摩擦部材を可動に支持す
ると共に前記直動アクチュエータの変位を拡大して該摩
擦部材の前記可動をなす切り欠き拡大機構部材とからな
る。
【0013】また、同じく、本発明による制動装置は、
相対運動自在なベッド及びテーブルとリニアモータの一
次側及び二次側の一方ずつとを互いに結合してなる直動
案内装置に配設され、給電により直動に変位する直動ア
クチュエータと、相対運動の方向に延在する相手部材
と、該相手部材に接触して制動をなす摩擦部材を可動に
支持すると共に前記直動アクチュエータの変位を拡大し
て該摩擦部材の前記可動をなす切り欠き拡大機構部材と
からなる。
【0014】加えて、更に他の種々の効果を得るために
下記の構成が採用されている。
【0015】すなわち、前記切り欠き拡大機構部材は、
前記給電がないときに自らの弾性復元力によって前記摩
擦部材を前記相手部部材に接触させて制動をなし、前記
給電により前記直動アクチュエータが作動して前記摩擦
部材を前記相手部材から離して制動を解除する。
【0016】また、前記制動装置では、前記相手部材が
帯状部材である。
【0017】また、前記制動装置においては、前記直動
アクチュエータが積層型圧電アクチュエータからなる。
【0018】更に、前記制動装置では、前記摩擦部材と
前記切り欠き拡大機構部材が一体でなる。
【0019】
【発明の実施の形態】次に、本発明の実施例としての制
動装置を装備した直動案内装置を、添付図面を参照しつ
つ説明する。
【0020】なお、当該直動案内装置が駆動力発生手段
として含むリニアモータはリニア直流モータであり、こ
の場合可動マグネット型のものとなっている。そして、
本実施例においては、該リニア直流モータの一次側を給
電側にしてしかも固定とし、二次側を可動側として説明
する。
【0021】まず、これら一次側及び二次側の相互の案
内をなす案内手段から説明する。
【0022】この案内手段は、図1乃至図3に示す略矩
形板状のベッド1と、該ベッド1の長手方向に移動する
テーブル2とを有している。図1に示すように、該ベッ
ド1の上面にはコイルヨーク3が設けられており、かつ
該ベッド1に締結されている。該コイルヨーク3は略矩
形板状に形成されており、ベッド1とほぼ同じ長さを有
する。
【0023】前記コイルヨーク3の上面側であって左右
両側部には、2本のトラックレール5が設けられてい
る。該トラックレール5は、コイルヨーク3の長手方向
に沿って配置されており、かつ、該コイルヨーク3に締
結されている。
【0024】図4に示すように、上記トラックレール5
の外側部には、断面形状が略半円状の軌道溝5aが1条
形成されている。そして、図1及び図2にも示すよう
に、該トラックレール5の外側には該トラックレール5
に対して相対運動自在なスライドメンバー7が配置され
ている。該スライドメンバー7は、ボルト(六角穴付
き)9によってテーブル2の下面側に締結されている。
図2から、該スライドメンバー7は、1本のトラックレ
ール5につき2つずつ設けられている。
【0025】図4において、スライドメンバー7にはト
ラックレール5の軌道溝5aに対応する転動体循環路が
形成されており、該転動体循環路には転動体としての多
数のボール11が配列収容されている。これらのボール
11は、トラックレール5に対するスライドメンバー7
の移動に伴ってトラックレール5の軌道溝5a上を転動
しつつ循環してトラックレール5及びスライドメンバー
7の間で荷重を受ける。
【0026】スライドメンバー7は、ケーシング13
と、該ケーシング13の両端部に小ねじ15によって締
結された一対のエンドキャップ16a、16bと、該エ
ンドキャップ16a,16bの外面に共締めされたシー
ル17a、17bとを有している。
【0027】前記転動体循環路は、ケーシング13を直
線的に貫くようにかつ互いに平行に形成された負荷軌道
溝13a及びリターン路13bと、各エンドキャップ1
6a、16bに形成されて該負荷軌道溝13a及びリタ
ーン路13bの端部同士を連通させる一対の略半環状の
方向転換路(図示せず)とからなる。該負荷軌道溝13
aがトラックレール5の軌道溝5aと対向している。よ
って、ベッド1の長手方向に相対運動自在なテーブル2
が構成され、物体を直線運動で案内する直動転がり案内
の案内手段でなっている。
【0028】上述した構成の案内手段は、例えば工作機
械が装備する平坦な取付面に複数のボルト(図示せず)
によって締結されるため、図1及び図2に示すように、
ベッド1の両端部には該ベッド1を該取付面に締結する
ための該ボルトが挿通する挿通孔1bが形成されてい
る。
【0029】続いて、上記した構成の案内手段によって
相互の案内がなされるリニア直流モータの一次側及び二
次側について説明する。
【0030】まず、リニア直流モータの一次側は前記ベ
ッド1に結合されている。つまり、図1に示すように、
ベッド1上に搭載された前述のコイルヨーク3と、該コ
イルヨーク3の上面側に該コイルヨーク3の長手方向に
沿って配置されたコイル基板20(図2にも示す)と、
該コイル基板20の下面側に前記テーブル2が移動すべ
き方向に沿って一列に並べて貼着された例えば14個の
電機子コイル22とを有している。図示してはいない
が、これら電機子コイル22各々に対応してホール効果
素子が配設されている。
【0031】上記各電機子コイル22及びコイル基板2
0は、各電機子コイル22の個々について例えば2本ず
つ挿通された小ねじ24によりコイルヨーク3に共締め
されている。
【0032】図1に示すように、ベッド1の下面側に、
各電機子コイル22に対する給電等を行うための回路基
板26が配設されている。
【0033】一方、リニア直流モータの二次側は前記テ
ーブル2に結合され、下記のように構成されている。
【0034】図1に示すように、該二次側は、テーブル
2の下面側に固着されたマグネットヨーク28と、前記
一次側の電機子コイル22の各々と対向すべく該マグネ
ットヨーク28の下面に固設された界磁マグネット29
(図2、図3にも示す)とを有している。
【0035】図5に示すように、この界磁マグネット2
9は矩形板状に形成され、一次側、二次側の相対運動が
なされる方向DにおいてN及びSの磁極が複数、例えば
5極が交互に並ぶように着磁されている。
【0036】当該直動案内装置においては、前記ベッド
1及びテーブル2の相対位置を検知するための位置検知
手段として、下記の構成のものが設けられている。
【0037】すなわち、該位置検知手段は、図1及び図
2に示すリニア磁気スケール31と、センサ部32とか
らなる。該リニア磁気スケール31は、前記テーブル2
の移動方向に延在せられ、その長手方向に沿ってN、S
の磁極が交互に微細なピッチで多極着磁されると共に、
一端に原点信号用の磁極が形成されている。そして、セ
ンサ部32には、原点検出用の磁気抵抗素子(MR素
子)を設けると共に、A相及び及びB相用の2つの磁電
変換素子を互いに上記着磁ピッチの2分の1だけずらせ
て配置している。この構成により、A相、B相の信号が
得られ、相対位置の検知と共に移動方向の判別ができ
る。
【0038】図1及び図2に示すように、上記センサ部
32からの信号の取出しをなすためのフレキシブル基板
34と、該フレキシブル基板を覆うカバー35とが設け
られている。
【0039】前述した構成において、各電機子コイル2
2に所定のタイミングにて電流を供給することにより、
一次側及び二次側の両者間にフレミングの左手の法則に
基づく推力が生じ、例えば一次側が結合したベッド1固
定とすれば、二次側と一体のテーブル2がこの推力によ
って移動する。そして、前記位置検知手段により、相対
位置が検知される。
【0040】当該直動案内装置では、前記ベッド1及び
テーブル2の相対運動を減速・停止せしめる制動装置が
設けられており、以下、この制動装置について説明す
る。
【0041】図2及び図3において、参照符号41がこ
の制動装置を示している。
【0042】図6に、該制動装置41の要部を示す。図
6の(a)、(b)、(c)及び(d)は各々、該要部
の平面図、右側面図、左側面図及び正面図である。
【0043】図6から、該制動装置41はブレーキ本体
である切り欠き拡大機構部材43を有している。該切り
欠き拡大機構部材43の材質としては金属等が選定さ
れ、例えばワイヤカット等によって素材を切り欠くよう
に加工して形成される。この切り欠き拡大機構部材43
の一側には張出部43aが形成されており、該張出部4
3aには2つのねじ孔43bが設けられている。これら
ねじ孔43bには図1乃至図3に示すボルト(六角穴付
き)45が螺合し、これによって該切り欠き拡大機構部
材43がテーブル2に固定されている。
【0044】図6の(a)から、上記切り欠き拡大機構
部材43は、中空部43dが形成されており、該中空部
43dを囲むように、底部43m、該底部43mから直
角に連なる両側の基部43f、43g、該基部43f、
43gの端部にあるくびれ部43f1 、43g1 、該く
びれ部43f1 、43g1 に連なる取付部43f2 、4
3g2 、該取付部43f2 、43g2 に連なり前記くび
れ部43f1 、43g1 と平行でなる他のくびれ部43
3 、43g3 、該他のくびれ部43f3 、43g3
連なり連結してなる当接部43hとが一体に形成されて
いる。
【0045】また、前記張出部43aも、一方の前記基
部43gに一体に形成されている。
【0046】また、前記取付部43f2 と取付部43g
2 との間には、把握部となる開口部43kが形成されて
いる。
【0047】前記切り欠き拡大機構部材43の前記中空
部43a内に、一端を当接部43hに他端を底部43m
に固着して直動アクチュエータとしての圧電アクチュエ
ータ47が配設されている。該圧電アクチュエータ47
は、これに電圧を印加するとその電圧に比例して直動の
変位を生ずる。
【0048】図6の(a)乃至(d)に示すように、前
記取付部43f2 及び43g2 には摩擦部材としてのブ
レーキパッド48及び49が前記開口部43kにのぞく
ようにしてボルト48a、49aにより締結されてい
る。これらブレーキパッド48、49は同形状であり、
一方のブレーキパッド48の平面図及び左側面図を図7
の(a)及び(b)に示している。該ブレーキパッド4
8、49は金属など摩擦材を素材として形成される。
【0049】前記ブレーキパッド48及び49は前記切
り欠き拡大機構部材43によって可動に支持される。詳
しくは、切り欠き拡大機構部材43の中空部43d内に
配設された作用力を発生する圧電アクチュエータ47が
給電することで直動に変位、すなわち、伸びると、切り
欠き拡大機構部材43の底部43mに対して当接部43
hが変位し、当接部43hに連なる他のくびれ部43f
3 、43g3 が力点となって取付部43f2 、43g2
に変位が伝達され、取付部43f2 、43g2が基部4
3f、43gの端部にあるくびれ部43f1 、43g1
を支点としてそれぞれのくびれ部43f1 、43g1
43f3 、43g3 の曲げ変形をともなって角度変位す
る。そうすると、取付部43f2 と取付部43g2 との
間の開口部43kの口が開くことになる。
【0050】次に、前記圧電アクチュエータ47の給電
が断つと、圧電アクチュエータ47は元に戻り作用力が
無くなると、曲げ変形されていたくびれ部43f1 、4
3g1 、43f3 、43g3 などが元にもどろうとす
る、すなわち、自らの弾性復元力が働き前記取付部43
2 、43g2 の前記角度変位が元にもどされる。そう
すると、取付部43f2 と取付部43g2 との間の開口
部43kの口が閉まることになる。このように切り欠き
拡大機構部材43の前記開口部43kの口が開閉される
ことによって、前記取付部43f2 、43g2 に締結さ
れている前記ブレーキパッド48、49が可動されるこ
とになる。
【0051】図1乃至図3に示すように、前記ブレーキ
パッド48、49に対応して相手部材としての帯状部材
であるスチールベルト53が設けられている。該スチー
ルベルト53は、前記テーブル2の作動ストロークにわ
たって延在し、その両端部を固定ブロック55及び56
によって挟まれ、ボルト57で該固定ブロック55、5
6を締結することによってベッド1に装着されている。
【0052】図2及び図3から、前記ブレーキパッド4
8及び49がこのスチールベルト53を両側から挟み込
むようになされている。
【0053】なお、前記制動装置41を保護するカバー
58が設けられており、ベッド1に締結されている。
【0054】上述した構成の制動装置41では、前記圧
電アクチュエータ47に電圧が印加されていないときに
は、ブレーキパッド48、49は前記切り欠き拡大機構
部材43のくびれ部43f1 、43g1 、43f3 、4
3g3 (図6の[a]参照)の弾性復元力によって制動
方向に付勢され、スチールベルト53を強く挟み、制動
がなされる。そして、該圧電アクチュエータ47への給
電がなされて伸びると、各ブレーキパッド48、49は
この弾性復元力に抗して非制動方向に移動せしめられ、
制動状態が解除される。
【0055】当該直動案内駆動ユニットにおいては、か
かる制動装置41を装備している故に、外部振動が加わ
る条件下においてもテーブル2を含む可動部を所望の位
置に完全に停止させることができる。
【0056】特に、上述のように、ブレーキパッド4
8、49をくびれ部43f1 、43g1 、43f3 、4
3g3 の弾性復元力を以て制動方向に付勢してスチール
ベルト53に接触させておき、圧電アクチュエータ47
に給電することで該ブレーキパッド48、49を非制動
方向に移動させて該接触を解除するようにしておけば、
停電時など、給電が急に断たれた場合でも必ず制動がな
される。よって、当該直動案内装置が立軸(作動方向が
鉛直)又はこれに近い状態で使用されようとも、可動部
(テーブル2等)が不用意に移動することが防止され、
有効である。
【0057】なお、本実施例では圧電アクチュエータ4
7への給電を断つことで制動がなされるが、逆に、圧電
アクチュエータ47に給電したときに制動作用がなされ
るようにすることもできる。
【0058】ところで、前記制動装置41においては、
前記直動アクチュエータ47の変位を拡大して各ブレー
キパッド48、49の可動をなす手段が設けられてい
る。この手段は切り欠き拡大機構部材43自体が有す
る。
【0059】すなわち、図6の(a)において、例えば
一方のブレーキパッド48に関して、その作動の支点、
力点、作用点は各々、くびれ部43f1 、くびれ部43
3、該ブレーキパッド48の接触面48aと考えられ
る。この場合、該支点から力点、作用点までの距離をそ
れぞれr1 、r2 で表すと、変位拡大比はr2 /r1
なる。本実施例の場合、この変位拡大比は約2に設定さ
れている。他方のブレーキパッド49に関しても同様に
設定されている。
【0060】前記圧電アクチュエータ47はその作動に
より生ずる変位量が例えば最大で数十μmと比較的小さ
い。かかる変位拡大の手段を有することにより、この小
さな変位量を各ブレーキパッド48、49が必要とする
作動量に拡大することができるのである。
【0061】ここで、前記圧電アクチュエータ47とし
て積層型のものが使用されている。積層型圧電アクチュ
エータは、単層のもにに比して変位量が大きく、上記変
位拡大の機構と併せて使用することはブレーキパッド4
8、49の作動ストロークを大きくする上で有用であ
る。
【0062】また、本実施例においては、前記ブレーキ
パッド48、49が接触すべき相手部材として、帯状部
材であるスチールベルト53が採用されているが、この
構成に限るものではない。例えば、線状の相手部材とし
てもよい。但し、相手部材を帯状とすることでブレーキ
パッドとの接触面積が大きくなり、制動力が増大する。
【0063】また、相手部材として前記スチールベルト
等を特別に設けることをせず。例えばトラックレール5
やカバー58を相手部材として兼用してその側面に接触
させて制動しもよい。
【0064】また、本実施例では前記制動装置41にお
いて、切り欠き拡大機構部材43と摩擦部材であるブレ
ーキパッド47、48が個別に形成されてボルトにて互
いに結合されているが、これら両者を一体に形成しても
よい。そうすれば、部品点数が少なくなり、コストの低
減、組立性の観点から有用である。
【0065】また、本実施例では、テーブル2の駆動及
び位置決めをなす手段としてリニアモータが採用されて
いるが、例えば送りねじ機構など、他の種々の駆動手段
が適用可能である。
【0066】また、本実施例においては、前記制動装置
41が具備する直動アクチュエータが圧電アクチュエー
タからなるが、電磁アクチュエータ等の採用も可能であ
る。
【0067】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
外部振動等が加わる条件下においても可動部を所望の位
置に完全に停止させることができる。特に、摩擦部材を
相手部材に接触するように弾性復元力を以て付勢してお
き、直動アクチュエータに給電することでこの接触が解
除されるようにしておけば、停電時などに必ず制動がな
される。よって、直動案内装置が立軸(作動方向が鉛
直)又はこれに近い状態で使用されていようとも、可動
部が不用意に移動することが防止され、有効である。
【図面の簡単な説明】
【図1】図1は、本発明に係る直動案内装置の斜視図で
ある。
【図2】図2は、図1に示した直動案内装置の平面図で
ある。
【図3】図3は、図2に関するA−A矢視図である。
【図4】図4は、図1乃至図3に示した直動案内装置が
具備するトラックレールとスライドメンバーを示す、一
部断面を含む斜視図である。
【図5】図5は、図1乃至図3に示した直動案内装置が
有するリニア直流モータの二次側である界磁マグネット
の斜視図である。
【図6】図6は、図1乃至図3に示した直動案内装置が
装備する制動装置を示す図である。
【図7】図7は、図6に示した制動装置が備える摩擦部
材としてのブレーキパッドを示す図である。
【図8】図8は、従来の直動案内装置の要部を示す斜視
図である。
【符号の説明】
1 ベッド 2 テーブル 3 コイルヨーク 5 トラックレール 7 スライドメンバー 11 ボール(転動体) 20 コイル基板 22 電機子コイル 26 回路基板 28 マグネットヨーク 29 界磁マグネット 31 リニア磁気スケール 32 センサ部 41 制動装置 43 切り欠き拡大機構部材 47 圧電アクチュエータ(直動アクチュ
エータ) 48、49 ブレーキパッド(摩擦部材) 53 スチールベルト(相手部材)

Claims (6)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 相対運動自在なベッド及びテーブルを有
    して物体を直線運動で案内する直動案内装置に配設さ
    れ、前記相対運動を減速・停止せしめる制動装置であっ
    て、 給電により直動に変位する直動アクチュエータと、 相対運動の方向に延在する相手部材と、 該相手部材に接触して制動をなす摩擦部材を可動に支持
    すると共に前記直動アクチュエータの変位を拡大して該
    摩擦部材の前記可動をなす切り欠き拡大機構部材とから
    なることを特徴とする直動案内装置用の制動装置。
  2. 【請求項2】 相対運動自在なベッド及びテーブルとリ
    ニアモータの一次側及び二次側の一方ずつとを互いに結
    合してなる直動案内装置に配設され、前記相対運動を減
    速・停止せしめる制動装置であって、 給電により直動に変位する直動アクチュエータと、 相対運動の方向に延在する相手部材と、 該相手部材に接触して制動をなす摩擦部材を可動に支持
    すると共に前記直動アクチュエータの変位を拡大して該
    摩擦部材の前記可動をなす切り欠き拡大機構部材とから
    なることを特徴とする直動案内装置用の制動装置。
  3. 【請求項3】 前記切り欠き拡大機構部材は、前記給電
    がないときに自らの弾性復元力によって前記摩擦部材を
    前記相手部材に接触させて制動をなし、前記給電により
    前記直動アクチュエータが作動して前記摩擦部材を前記
    相手部材から離して制動を解除することを特徴とする請
    求項1又は請求項2記載の直動案内装置用の制動装置。
  4. 【請求項4】 前記相手部材が帯状部材であることを特
    徴とする請求項1乃至請求項3のうちいずれか1記載の
    記載の直動案内装置用の制動装置。
  5. 【請求項5】 前記直動アクチュエータが積層型圧電ア
    クチュエータからなることを特徴とする請求項1乃至請
    求項4のうちいずれか1記載の直動案内装置用の制動装
    置。
  6. 【請求項6】前記摩擦部材と前記切り欠き拡大機構部材
    が一体でなることを特徴とする請求項1乃至請求項5の
    うちいずれか1記載の直動案内装置用の制動装置。
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Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2000024547A1 (en) * 1998-10-27 2000-05-04 Nexen Group, Inc. Linear motion brake
US7770700B2 (en) 2005-04-26 2010-08-10 Smc Kabushiki Kaisha Brake apparatus for linear motor and method for positioning movable section of linear motor
CN103522079A (zh) * 2013-09-29 2014-01-22 天津大学 双弹簧预紧柔性解耦直线电机定位平台
CN109617358A (zh) * 2019-01-28 2019-04-12 东莞倍胜智能科技有限公司 一种动子固定座拼接式直线电机模组
JP2020002983A (ja) * 2018-06-27 2020-01-09 日本トムソン株式会社 固定治具を備えた位置決め装置

Families Citing this family (19)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP4248695B2 (ja) * 1999-07-26 2009-04-02 東京エレクトロン株式会社 ウェハ移載装置の緊急停止装置
US6446769B1 (en) 2000-10-02 2002-09-10 Gregory A. Kangiser Braking apparatus for a linear motor driven load
US6460678B1 (en) * 2000-10-24 2002-10-08 Nexen Group, Inc. Linear motion brake
JP3704294B2 (ja) * 2001-04-25 2005-10-12 Smc株式会社 ベルト固定機構
DE10207697A1 (de) * 2002-02-22 2003-09-04 Ina Schaeffler Kg Linearantrieb
DE10232243B4 (de) * 2002-07-17 2011-03-03 Ortlinghaus-Werke Gmbh Bremssystem für einen Linearantrieb
DE10252915B3 (de) * 2002-11-12 2004-04-08 Zimmer GmbH, Technische Werkstätten Reibgehemme mit Notbremsfunktion
DE10256761B4 (de) * 2002-11-20 2009-05-07 Sew-Eurodrive Gmbh & Co. Kg Schienenfahrzeug und eine Loslagerstelle
US7124861B2 (en) 2004-02-20 2006-10-24 Nexen Group, Inc. Motion control apparatus
US8434946B2 (en) * 2008-10-29 2013-05-07 Bishop-Wisecarver Corporation System, method, and apparatus for holding a track to a base
US8608383B2 (en) * 2008-10-29 2013-12-17 Bishop-Wisecarver Corporation System for holding a linear motion guide track to a support base and method therefor
US8491193B2 (en) * 2008-10-29 2013-07-23 Bishop-Wisecarver Corporation Press fitting interface for holding a track to an extrusion without the use of fasteners; and methods for using the same
CN102298351B (zh) * 2010-06-25 2012-11-28 鞍钢股份有限公司 一种提高带钢跟踪精确度的方法
SG190737A1 (en) * 2011-01-21 2013-07-31 Univ Nanyang Tech Apparatus and an assembly for emulating an impulse force exerted by a skeletal muscle.
US9270155B2 (en) 2012-05-20 2016-02-23 Mts Systems Corporation Linear actuator assembly
CN102928440A (zh) * 2012-10-30 2013-02-13 鞍钢股份有限公司 一种镀锌成品钢板漏眼缺陷监控方法
JP6619656B2 (ja) * 2016-01-22 2019-12-11 Thk株式会社 運動案内装置の荷重計測システム及び運動案内装置の寿命算出方法
NL2022467B1 (en) * 2019-01-28 2020-08-18 Prodrive Tech Bv Position sensor for long stroke linear permanent magnet motor
IT202000030296A1 (it) * 2020-12-10 2022-06-10 Mondial Spa Sistema di trasporto a più carrelli in struttura lineare aperta

Family Cites Families (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
SE464534B (sv) * 1987-11-11 1991-05-06 Bo Granbom Bromsanordning vid en anordning foer linjaer roerelse
JP3005783B2 (ja) * 1993-03-09 2000-02-07 株式会社新川 ワイヤクランパ
JPH06351219A (ja) * 1993-06-08 1994-12-22 Nippon Thompson Co Ltd 制動装置並びに該装置及びリニアモータを具備した駆動ユニット
JPH08121476A (ja) * 1994-10-27 1996-05-14 Nippon Thompson Co Ltd 制止装置及びこれを具備した転がり案内ユニット
JP3398238B2 (ja) * 1994-11-17 2003-04-21 日本トムソン株式会社 制止装置及びこれを具備した転がり案内ユニット

Cited By (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2000024547A1 (en) * 1998-10-27 2000-05-04 Nexen Group, Inc. Linear motion brake
AU755504B2 (en) * 1998-10-27 2002-12-12 Nexen Group, Inc Linear motion brake
US7770700B2 (en) 2005-04-26 2010-08-10 Smc Kabushiki Kaisha Brake apparatus for linear motor and method for positioning movable section of linear motor
CN103522079A (zh) * 2013-09-29 2014-01-22 天津大学 双弹簧预紧柔性解耦直线电机定位平台
JP2020002983A (ja) * 2018-06-27 2020-01-09 日本トムソン株式会社 固定治具を備えた位置決め装置
CN109617358A (zh) * 2019-01-28 2019-04-12 东莞倍胜智能科技有限公司 一种动子固定座拼接式直线电机模组

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