JPH1091911A - 磁気ヘッドの製造方法 - Google Patents
磁気ヘッドの製造方法Info
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- JPH1091911A JPH1091911A JP8242795A JP24279596A JPH1091911A JP H1091911 A JPH1091911 A JP H1091911A JP 8242795 A JP8242795 A JP 8242795A JP 24279596 A JP24279596 A JP 24279596A JP H1091911 A JPH1091911 A JP H1091911A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 積層型磁気ヘッドの製造工程に於いて、両コ
アプレートのギャップ面を研磨する際、研磨面積の異な
る二つのプレートを、同時に研磨する場合、硬度差より
生じる、非磁性基板／金属磁気コア間の段差によって、
高精度なギャップが得られない。また、二つのプレート
を別々に研磨するためには、切断されたプレートのペア
管理が必要となる。 【解決手段】 最上面に、インゴット切断ライン５に交
差する方向に向かって非平行な二本のマーカーライン４
を形成したダミー基板１を置載する事によって、切断さ
れたプレートのペア管理が容易にでき、したがって、二
つのコアプレートを、それぞれの最適条件でギャップ面
を研磨できるため、非磁性基板／金属磁気コアの段差も
少なく、接合ガラスによる浸食を防ぎ、より高精度な、
量産性に優れたヘッドが得られる。
アプレートのギャップ面を研磨する際、研磨面積の異な
る二つのプレートを、同時に研磨する場合、硬度差より
生じる、非磁性基板／金属磁気コア間の段差によって、
高精度なギャップが得られない。また、二つのプレート
を別々に研磨するためには、切断されたプレートのペア
管理が必要となる。 【解決手段】 最上面に、インゴット切断ライン５に交
差する方向に向かって非平行な二本のマーカーライン４
を形成したダミー基板１を置載する事によって、切断さ
れたプレートのペア管理が容易にでき、したがって、二
つのコアプレートを、それぞれの最適条件でギャップ面
を研磨できるため、非磁性基板／金属磁気コアの段差も
少なく、接合ガラスによる浸食を防ぎ、より高精度な、
量産性に優れたヘッドが得られる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、磁気ヘッドの製造
方法、特に磁気記録再生装置に使用される磁気ヘッドの
製造方法に関するものである。
方法、特に磁気記録再生装置に使用される磁気ヘッドの
製造方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】近年、ＶＴＲ等の磁気記録再生装置にお
いて、高画質化に伴い、磁気ヘッドに於いても高性能
化、高精度化が要求されている。また、記録密度の向上
に伴い、記録波長の短波長化が進み、磁気ヘッドにおい
ても、高精度で狭ギャップが要求されている。
いて、高画質化に伴い、磁気ヘッドに於いても高性能
化、高精度化が要求されている。また、記録密度の向上
に伴い、記録波長の短波長化が進み、磁気ヘッドにおい
ても、高精度で狭ギャップが要求されている。
【０００３】以下、図面を参照しながら、従来の磁気ヘ
ッドの製造方法について説明する。図４に従来の磁気ヘ
ッドの製造工程を示す。
ッドの製造方法について説明する。図４に従来の磁気ヘ
ッドの製造工程を示す。
【０００４】従来の磁気ヘッドの製造方法は、図４に示
すように、また、特開平６−１２４４１２号公報に開示
されているように、まず、最上面に非磁性のダミー基板
１を置載し、金属磁気コア２が形成された非磁性基板３
を複数枚積層接着し、積層インゴットＡを作成。切断ラ
イン５にそって切断し、切断されたプレートＢを得る。
すように、また、特開平６−１２４４１２号公報に開示
されているように、まず、最上面に非磁性のダミー基板
１を置載し、金属磁気コア２が形成された非磁性基板３
を複数枚積層接着し、積層インゴットＡを作成。切断ラ
イン５にそって切断し、切断されたプレートＢを得る。
【０００５】次に、隣り合ったプレートをペアとして、
一方のプレートに巻線窓６を加工（Ｃコアプレート）し
た後、もう一方のコアプレート（Ｉコアプレート）と共
に、ギャップ面７を鏡面研摩後非磁性薄膜を所定膜厚形
成し、それを突き合わせて接着して、ギャップドプレー
トＤを形成する。このギャップドプレートＤを切断ライ
ン１０で切断し、ギャップドバーＥを得る。図４では、
省略するが、その後、各金属磁気コア２を中央に残すよ
う非磁性基板部３を切断して、ヘッドチップを完成させ
る。
一方のプレートに巻線窓６を加工（Ｃコアプレート）し
た後、もう一方のコアプレート（Ｉコアプレート）と共
に、ギャップ面７を鏡面研摩後非磁性薄膜を所定膜厚形
成し、それを突き合わせて接着して、ギャップドプレー
トＤを形成する。このギャップドプレートＤを切断ライ
ン１０で切断し、ギャップドバーＥを得る。図４では、
省略するが、その後、各金属磁気コア２を中央に残すよ
う非磁性基板部３を切断して、ヘッドチップを完成させ
る。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】このような積層接着さ
れたインゴッドから、プレートを切り出して作成する磁
気ヘッドの製造方法では、積層インゴットＡの切断時
の、直線性、平行性が微妙に異なるため、突き合わせて
接着する際に、ピッチのずれが生じ、より精度を高める
ためには、隣り合ったプレートをペアにしなければなら
ない。そのため、製造工程の管理上の問題から、ギャッ
プ面研磨の際、研磨面積の異なるＣコアプレートとＩコ
アプレートを同時に研磨している。
れたインゴッドから、プレートを切り出して作成する磁
気ヘッドの製造方法では、積層インゴットＡの切断時
の、直線性、平行性が微妙に異なるため、突き合わせて
接着する際に、ピッチのずれが生じ、より精度を高める
ためには、隣り合ったプレートをペアにしなければなら
ない。そのため、製造工程の管理上の問題から、ギャッ
プ面研磨の際、研磨面積の異なるＣコアプレートとＩコ
アプレートを同時に研磨している。
【０００７】図１に、Ｃコアプレート及び、Ｉコアプレ
ートの研摩時間とギャップ面段差の関係を示す。段差
は、図４Ｃの金属磁気コア２と非磁性基板３を含む線８
部を測定したものである。ギャップ面は、材質の異なる
金属とセラミックスで構成されているため、図３に示す
ように、研磨条件によって金属磁気コア２が非磁性基板
３よりも凹み、段差１１が生じる。ＣコアプレートとＩ
コアプレートでは、ギャップ面の面積が異なるため、図
１のように段差１１の最小となる研摩時間が異なる。こ
のように、段差１１が出来ると、ギャップ突き合わせ時
に、隙間にガラスが浸透し、ギャップ長が広がるという
欠点があった。
ートの研摩時間とギャップ面段差の関係を示す。段差
は、図４Ｃの金属磁気コア２と非磁性基板３を含む線８
部を測定したものである。ギャップ面は、材質の異なる
金属とセラミックスで構成されているため、図３に示す
ように、研磨条件によって金属磁気コア２が非磁性基板
３よりも凹み、段差１１が生じる。ＣコアプレートとＩ
コアプレートでは、ギャップ面の面積が異なるため、図
１のように段差１１の最小となる研摩時間が異なる。こ
のように、段差１１が出来ると、ギャップ突き合わせ時
に、隙間にガラスが浸透し、ギャップ長が広がるという
欠点があった。
【０００８】本発明の目的は、これらの課題を解決す
る、高精度で、しかも量産性に優れた磁気ヘッドの製造
方法を提供するものである。
る、高精度で、しかも量産性に優れた磁気ヘッドの製造
方法を提供するものである。
【０００９】
【課題を解決するための手段】この課題を解決するため
に本発明は、隣り合ったプレートを管理するため、金属
磁性膜の形成された非磁性基板を複数枚積み重ねる際、
最上面に非磁性のダミー基板を置載し、ダミー基板に
は、その後の切断工程の切断面と交差する方向に向かっ
て、非平行な二本のマーカーラインを形成した。このマ
−カ−ラインによって、プレートに切断されても、二本
のマーカーラインの間隔により、隣り合ったプレート
は、すぐに判別できる。故に、製造上のペア管理が必要
ないため、ＣコアプレートとＩコアプレートを異なった
条件でギャップ面の研磨が行なえる。
に本発明は、隣り合ったプレートを管理するため、金属
磁性膜の形成された非磁性基板を複数枚積み重ねる際、
最上面に非磁性のダミー基板を置載し、ダミー基板に
は、その後の切断工程の切断面と交差する方向に向かっ
て、非平行な二本のマーカーラインを形成した。このマ
−カ−ラインによって、プレートに切断されても、二本
のマーカーラインの間隔により、隣り合ったプレート
は、すぐに判別できる。故に、製造上のペア管理が必要
ないため、ＣコアプレートとＩコアプレートを異なった
条件でギャップ面の研磨が行なえる。
【００１０】したがって、Ｃコアプレート及びＩコアプ
レートは、最適条件でギャップ面研磨が行なえ、段差が
最小限に押さえられ、精度のよいギャップが得られる。
レートは、最適条件でギャップ面研磨が行なえ、段差が
最小限に押さえられ、精度のよいギャップが得られる。
【００１１】
【発明の実施の形態】本発明の請求項１に記載の発明
は、非磁性基板上に金属磁気コアを形成した後に、複数
枚積み重ねて接着し切断する事によって、金属磁気コア
と非磁性基板が、交互に積層された一対のコアプレート
を作成し、一対のコアプレートの内一方のコアプレート
に巻線窓を形成した後、両コアプレートのギャップ面を
鏡面に研磨し、そのギャップ面に非磁性薄膜を所定膜厚
形成した後、突き合わせて接着する方法で作成する積層
型磁気ヘッドの製造方法において、両コアプレートのギ
ャップ面の研磨は、巻線窓の形成されたＣコアプレート
ともう一方の巻線窓の形成されていないＩコアプレート
とをそれぞれ異なった条件で行う事を特徴としたもので
あり、Ｃコアプレート及びＩコアプレートは、最適な条
件で研磨が行なえるため、高精度なギャップが得られ
る。
は、非磁性基板上に金属磁気コアを形成した後に、複数
枚積み重ねて接着し切断する事によって、金属磁気コア
と非磁性基板が、交互に積層された一対のコアプレート
を作成し、一対のコアプレートの内一方のコアプレート
に巻線窓を形成した後、両コアプレートのギャップ面を
鏡面に研磨し、そのギャップ面に非磁性薄膜を所定膜厚
形成した後、突き合わせて接着する方法で作成する積層
型磁気ヘッドの製造方法において、両コアプレートのギ
ャップ面の研磨は、巻線窓の形成されたＣコアプレート
ともう一方の巻線窓の形成されていないＩコアプレート
とをそれぞれ異なった条件で行う事を特徴としたもので
あり、Ｃコアプレート及びＩコアプレートは、最適な条
件で研磨が行なえるため、高精度なギャップが得られ
る。
【００１２】請求項２に記載の発明は、非磁性基板上に
金属磁気コアを形成した後に、複数枚積み重ねて接着し
切断する事によって、金属磁気コアと非磁性基板が、交
互に積層された一対のコアプレートを作成し、一対のコ
アプレートの内一方のコアプレートに巻線窓を形成した
後、両コアプレートのギャップ面を鏡面に研磨し、その
ギャップ面に非磁性薄膜を所定膜厚形成した後、突き合
わせて接着する方法で作成する積層型磁気ヘッドの製造
方法において、金属磁気コアの形成された非磁性基板を
複数枚積み重ねる際、その最上面に非磁性のダミー基板
を置載し、かつダミー基板に、その後の切断工程の切断
面と交差する方向に向かって、非平行な二本のマーカー
ラインを形成した事を特徴とする磁気ヘッドの製造方法
であり、マーカーラインを形成する事によって、プレー
トに切断された後も、二本のマーカーラインの間隔によ
り、隣り合ったプレートをすぐ判別でき、製造上のペア
管理が必要がなく、Ｃコアプレート、とＩコアプレート
をそれぞれの最適条件で、研磨できるため、高性能で、
精度の高い磁気ヘッドの製造が可能となる。
金属磁気コアを形成した後に、複数枚積み重ねて接着し
切断する事によって、金属磁気コアと非磁性基板が、交
互に積層された一対のコアプレートを作成し、一対のコ
アプレートの内一方のコアプレートに巻線窓を形成した
後、両コアプレートのギャップ面を鏡面に研磨し、その
ギャップ面に非磁性薄膜を所定膜厚形成した後、突き合
わせて接着する方法で作成する積層型磁気ヘッドの製造
方法において、金属磁気コアの形成された非磁性基板を
複数枚積み重ねる際、その最上面に非磁性のダミー基板
を置載し、かつダミー基板に、その後の切断工程の切断
面と交差する方向に向かって、非平行な二本のマーカー
ラインを形成した事を特徴とする磁気ヘッドの製造方法
であり、マーカーラインを形成する事によって、プレー
トに切断された後も、二本のマーカーラインの間隔によ
り、隣り合ったプレートをすぐ判別でき、製造上のペア
管理が必要がなく、Ｃコアプレート、とＩコアプレート
をそれぞれの最適条件で、研磨できるため、高性能で、
精度の高い磁気ヘッドの製造が可能となる。
【００１３】以下、本発明の実施形態について、図１〜
図３を用いて、説明する。 （実施の形態１）図１は、研摩時間と、金属磁気コアと
非磁性基板の硬度差より生じる非磁性基板／金属磁気コ
ア間の段差を表わした図である。
図３を用いて、説明する。 （実施の形態１）図１は、研摩時間と、金属磁気コアと
非磁性基板の硬度差より生じる非磁性基板／金属磁気コ
ア間の段差を表わした図である。
【００１４】研摩面積の異なるＣコアプレートとＩコア
プレートを同時に研摩する場合、その研摩時間の決定
は、Ｃコアプレート、Ｉコアプレートの両方が、同等に
段差の少ない点ａで妥協しなくてはならない。しかし、
段差が、ある値を境にギャップ長が広がる現象がある。
この段差は、実験の結果約１５０Åである事が判った。
そのため、ギャップの段差は、約１５０Å以下にしなけ
ればならない。したがって、より高精度の磁気ヘッドを
製造するためには、図１に示すとおり、Ｃコアプレート
はＣコアプレートの最適条件で段差の最も小さいｂ位
置、Ｉコアプレートは、Ｉコアプレートの最適条件で段
差の最も小さいｃ位置までの研摩時間で、別々に研摩さ
れるのが望ましい。しかしながら、このような個別研磨
は、製造上、隣り合ったプレートのペア管理が、困難で
あるが、この課題を以下に詳述する実施の形態２によっ
て解決した。
プレートを同時に研摩する場合、その研摩時間の決定
は、Ｃコアプレート、Ｉコアプレートの両方が、同等に
段差の少ない点ａで妥協しなくてはならない。しかし、
段差が、ある値を境にギャップ長が広がる現象がある。
この段差は、実験の結果約１５０Åである事が判った。
そのため、ギャップの段差は、約１５０Å以下にしなけ
ればならない。したがって、より高精度の磁気ヘッドを
製造するためには、図１に示すとおり、Ｃコアプレート
はＣコアプレートの最適条件で段差の最も小さいｂ位
置、Ｉコアプレートは、Ｉコアプレートの最適条件で段
差の最も小さいｃ位置までの研摩時間で、別々に研摩さ
れるのが望ましい。しかしながら、このような個別研磨
は、製造上、隣り合ったプレートのペア管理が、困難で
あるが、この課題を以下に詳述する実施の形態２によっ
て解決した。
【００１５】（実施の形態２）図２は本発明の製造工程
を説明するための工程図である。
を説明するための工程図である。
【００１６】図２のＡの通り、インゴット積層時に、最
上面に非磁性のダミー基板１を同時に接着する。ダミー
基板には、インゴット切断ライン５に交差する方向に向
かって、非平行な二本のマーカーライン４を形成する事
によって、プレートＢに切断されても、二本のマーカー
ラインの間隔により、隣り合ったプレートは、すぐに判
別でき、故に、製造上のペア管理が必要ないため、Ｃコ
アプレートとＩコアプレートは、異なった条件でのギャ
ップ面の研摩が可能である。また、Ｃコアプレート、Ｉ
コアプレート共、最適条件でのギャップ面の研摩である
ため、非磁性基板３と金属磁気コア２間の段差は少な
く、接合ガラスによる浸食はなく、高精度なギャップが
得られる。
上面に非磁性のダミー基板１を同時に接着する。ダミー
基板には、インゴット切断ライン５に交差する方向に向
かって、非平行な二本のマーカーライン４を形成する事
によって、プレートＢに切断されても、二本のマーカー
ラインの間隔により、隣り合ったプレートは、すぐに判
別でき、故に、製造上のペア管理が必要ないため、Ｃコ
アプレートとＩコアプレートは、異なった条件でのギャ
ップ面の研摩が可能である。また、Ｃコアプレート、Ｉ
コアプレート共、最適条件でのギャップ面の研摩である
ため、非磁性基板３と金属磁気コア２間の段差は少な
く、接合ガラスによる浸食はなく、高精度なギャップが
得られる。
【００１７】
【実施例】図２に示すように、プレート切断面と交差す
る方向に向かって、非平行なマーカーライン４の入った
ダミー基板１を最上面にし、セラミックスの非磁性基板
３にＣｏ系の金属磁気コア２を形成した基板を、結晶化
ガラスにより２０枚積層接着し、インゴットを切断ライ
ン５より切断し、プレートＢを得る。マーカーラインの
連続性によって判別した隣り合ったプレートを組み合わ
せ、一方のプレートに巻線窓６を加工し、巻線窓の加工
されたＣコアプレートと、もう一方のＩコアプレートの
ギャップ面７を最適条件で研磨した。最終研磨条件は、
０．５μｍ粒径のダイヤモンド砥粒を使用し、Ｃコアプ
レートは５０分間、Ｉコアプレートは１００分の研磨を
行なった結果、図３に示す段差１１はそれぞれ、≦８０
Å程度であった。
る方向に向かって、非平行なマーカーライン４の入った
ダミー基板１を最上面にし、セラミックスの非磁性基板
３にＣｏ系の金属磁気コア２を形成した基板を、結晶化
ガラスにより２０枚積層接着し、インゴットを切断ライ
ン５より切断し、プレートＢを得る。マーカーラインの
連続性によって判別した隣り合ったプレートを組み合わ
せ、一方のプレートに巻線窓６を加工し、巻線窓の加工
されたＣコアプレートと、もう一方のＩコアプレートの
ギャップ面７を最適条件で研磨した。最終研磨条件は、
０．５μｍ粒径のダイヤモンド砥粒を使用し、Ｃコアプ
レートは５０分間、Ｉコアプレートは１００分の研磨を
行なった結果、図３に示す段差１１はそれぞれ、≦８０
Å程度であった。
【００１８】その後、Ｃコアプレート及び、Ｉコアプレ
ートのギャップ面７に、Ｓｉｏ２をスパッタリングで約
１５００Å形成し、ＣコアプレートとＩコアプレートを
接合した。その後、図２のＤに示す切断ライン１０で切
断し、ギャップドバーＥを得た。出来上がったギャップ
ドプレ−トＥのヘッドギャップ９のギャップ長は、０．
３２±０．０２μｍであった。
ートのギャップ面７に、Ｓｉｏ２をスパッタリングで約
１５００Å形成し、ＣコアプレートとＩコアプレートを
接合した。その後、図２のＤに示す切断ライン１０で切
断し、ギャップドバーＥを得た。出来上がったギャップ
ドプレ−トＥのヘッドギャップ９のギャップ長は、０．
３２±０．０２μｍであった。
【００１９】
【発明の効果】以上のように本発明は、Ｃコアプレー
ト、Ｉコアプレートを、それぞれ異なった最適条件で研
磨する事により、非磁性基板と金属磁気コアの段差は、
８０Å以下となり、良好なギャップが得られた。
ト、Ｉコアプレートを、それぞれ異なった最適条件で研
磨する事により、非磁性基板と金属磁気コアの段差は、
８０Å以下となり、良好なギャップが得られた。
【００２０】また、マーカーラインの入った、ダミー基
板により、ペアプレートの確認が容易に行なえるため、
量産性に優れ、高精度なギャップの磁気ヘッドが得られ
る。
板により、ペアプレートの確認が容易に行なえるため、
量産性に優れ、高精度なギャップの磁気ヘッドが得られ
る。
【図面の簡単な説明】
【図１】研磨時間と非磁性基板／金属磁気コア間の段差
の関係を示す図
の関係を示す図
【図２】本発明の製造工程を説明するための工程図
【図３】ギャップ面の非磁性基板／金属磁気コア間段差
を説明する図
を説明する図
【図４】従来の製造工程を説明するための工程図
１ ダミー非磁性基板 ２ 金属磁気コア ３ 非磁性基板 ４ マーカーライン ５ インゴット切断ライン ６ 巻線窓 ７ ギャップ面 ８ 段差測定部 ９ ギャップ １０ プレート切断ライン １１ 段差 Ａ 積層インゴット Ｂ 切断されたプレート Ｃ 巻線溝加工済みペアプレート Ｄ ギャップドプレート Ｅ ギャップドバー ａ Ｉコアプレート／Ｃコアプレート同時研磨時の段差 ｂ Ｃコアプレート最適研磨条件での段差 ｃ Ｉコアプレート最適研磨条件での段差
Claims (2)
- 【請求項１】 非磁性基板上に金属磁気コアを形成した
後に、複数枚積み重ねて接着し切断する事によって、前
記金属磁気コアと前記非磁性基板が、交互に積層された
一対のコアプレートを作成し、前記一対のコアプレート
の内一方のコアプレートに巻線窓を形成した後、前記両
コアプレートのギャップ面を鏡面に研磨し、そのギャッ
プ面に非磁性薄膜を所定膜厚形成した後、突き合わせて
接着する方法で作成する積層型磁気ヘッドの製造方法に
おいて、前記両コアプレートのギャップ面の研磨は、前
記巻線窓の形成されたコアプレートともう一方の巻線窓
の形成されていないコアプレートとをそれぞれ異なった
条件で行う事を特徴とする磁気ヘッドの製造方法。 - 【請求項２】 非磁性基板上に金属磁気コアを形成した
後に、複数枚積み重ねて接着し切断する事によって、前
記金属磁気コアと前記非磁性基板が、交互に積層された
一対のコアプレートを作成し、前記一対のコアプレート
の内一方のコアプレートに巻線窓を形成した後、前記両
コアプレートのギャップ面を鏡面に研磨し、そのギャッ
プ面に非磁性薄膜を所定膜厚形成した後、突き合わせて
接着する方法で作成する積層型磁気ヘッドの製造方法に
おいて、前記金属磁気コアの形成された前記非磁性基板
を複数枚積み重ねる際、その最上面に非磁性のダミー基
板を置載し、かつ前記ダミー基板に、その後の切断工程
の切断面と交差する方向に向かって、非平行な二本のマ
ーカーラインを形成した事を特徴とする磁気ヘッドの製
造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24279596A JP3718916B2 (ja) | 1996-09-13 | 1996-09-13 | 磁気ヘッドの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24279596A JP3718916B2 (ja) | 1996-09-13 | 1996-09-13 | 磁気ヘッドの製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH1091911A true JPH1091911A (ja) | 1998-04-10 |
| JP3718916B2 JP3718916B2 (ja) | 2005-11-24 |
Family
ID=17094413
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP24279596A Expired - Fee Related JP3718916B2 (ja) | 1996-09-13 | 1996-09-13 | 磁気ヘッドの製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3718916B2 (ja) |
-
1996
- 1996-09-13 JP JP24279596A patent/JP3718916B2/ja not_active Expired - Fee Related
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| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3718916B2 (ja) | 2005-11-24 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
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