JPH109262A

JPH109262A - 直線運動ステージの鋼球ガイド溝加工方法およびその装置

Info

Publication number: JPH109262A
Application number: JP8159744A
Authority: JP
Inventors: Mitsuo Kobayashi; 三生小林
Original assignee: SIGMAKOKI Co Ltd
Current assignee: SIGMAKOKI Co Ltd
Priority date: 1996-06-20
Filing date: 1996-06-20
Publication date: 1998-01-13
Anticipated expiration: 2016-06-20
Also published as: JP3455016B2; US5728990A

Abstract

(57)【要約】【課題】鋼球が介入される両方のガイド溝を高精度に
できる直線運動運動ステージの鋼球ガイド溝加工方法、
その装置を提供すること。【解決手段】直線運動ステージの不動部材である下板
２と可動部材である上板３とをガイドレール部４，５を
向かい合わせてワーク保持体２１の凹部２５に挿入し、
押圧手段３１、押し付け手段３２で下板２と上板３を固
定状態の位置関係とする。そして、ガイドレール部間に
放電加工用のワイヤを挿通し、ワーク保持体２１を二次
元運動装置で水平面において二次元運動させ、ガイドレ
ール部４，５の対向面に鋼球を介入するガイド溝を放電
加工で形成する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、不動部材に対して
可動部材が直線運動する直線運動ステージのガイドレー
ル部に鋼球のガイド溝を加工するための方法、およびそ
の方法を実施するために使用する装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】研究室等において、研究器具や研究対象
物等を正確に直線運動させるための装置として直線運動
ステージが使用されている。この直線運動ステージは、
不動部材である下板に対して可動部材である上板がころ
軸受け手段を構成する鋼球を介して直線運動自在に載置
され、上板に研究器具や研究対象物等を固定するものと
なっている。従来の直線運動ステージでは、鋼球ガイド
溝が形成されたガイドレール部材を上板の下面に間隔を
開けて２個取り付け、これらのガイドレール部材の間に
配置された下板の鋼球ガイド溝とガイドレール部材の鋼
球ガイド溝とを横方向に対向させて両ガイド溝間に鋼球
を介入させている。

【０００３】この従来の直線運動ステージによると、少
なくとも上板、下板、ガイドレール部材の４部材が必要
となり、構造の複雑化、組立作業の煩雑化の問題が生じ
るため、これを解決した直線運動ステージとして、上板
と下板の両方に互いに対向するガイドレール部を設け、
これらのガイドレール部に形成したガイド溝に鋼球を介
入したものが知られている。この直線運動ステージで
は、ガイドレール部同士の対向面にガイド溝を形成する
ために、上板と下板ごとにガイド溝加工を行っていた。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】直線運動ステージは下
板に対して上板が正確かつ円滑に移動することが要求さ
れる精密装置であるため、鋼球に対する両方のガイド溝
の形状や位置関係は高度の精度となっていることが必要
である。しかし、上述の直線運動ステージでは、上板、
下板ごとに行われる加工で形成される両方のガイド溝を
鋼球との関係で高精度の形状、位置関係にすることは難
しかった。

【０００５】本発明の目的は、鋼球が介入される両方の
ガイド溝を高度の精度にできる直線運動ステージの鋼球
ガイド溝加工方法、およびこのガイド溝加工方法を実施
するために使用する装置を提供するところにある。

【０００６】

【課題を解決するための手段】この目的を達成するため
本発明に係る直線運動ステージの鋼球ガイド溝加工方法
は、不動部材と、この不動部材と共に直線運動ステージ
を構成する可動部材とを、これらの不動部材と可動部材
とに設けられて不動部材に対する可動部材の直線運動を
案内するガイドレール部同士を向かい合わせた固定状態
の位置関係とし、ガイドレール部同士の間に挿通させた
ワイヤを放電加工の一方の電極とし不動部材および可動
部材を他方の電極としながら、このワイヤに対して不動
部材および可動部材を前記固定状態の位置関係を維持し
たままワイヤの延び方向と直角の平面において二次元運
動させることにより、ガイドレール部同士の対向面にこ
れらのガイドレール部間に介入される鋼球のガイド溝を
放電加工で形成することを特徴とするものである。

【０００７】この加工方法によると、不動部材と可動部
材は固定状態の位置関係を維持したままワイヤの延び方
向と直角の平面において二次元運動するため、この二次
元運動を鋼球の大きさと対応させることにより、放電加
工でガイドレール部同士の対向面に形成される２個のガ
イド溝の形状や位置関係は、鋼球との関係で高度の精度
のものとなる。このため、２個のガイド溝と鋼球とによ
って構成されるころ軸受け手段は、不動部材に対して可
動部材を正確かつ円滑に直線運動させることができるも
のとなる。

【０００８】以上において、不動部材と可動部材は上下
の関係、言い換えると上下板でもよく、あるいは左右の
関係、言い換えると２個の側板でもよい。

【０００９】また、不動部材と可動部材は板状の部材で
もよく、あるいはブロック状の部材でもよく、その形状
は任意である。

【００１０】さらに、二次元運動は単なる円運動でもよ
く、あるいはガイド溝に潤滑油溜め用の窪み部を設ける
ようにした複雑な二次元運動でもよい。

【００１１】ガイドレール部同士の対向面にこれらのガ
イドレール部間に介入される鋼球のガイド溝を放電加工
で形成した後、ガイド溝をホーニング加工で仕上げる場
合には、不動部材と可動部材との固定状態の前記位置関
係を維持したままホーニング加工することが好ましい。

【００１２】このようにすると、放電加工終了時のガイ
ド溝同士の位置関係がホーニング加工にそのまま持ち込
まれることになり、ホーニング加工で仕上げられたガイ
ド溝は高精度のものとなる。

【００１３】本発明に係る直線運動ステージの鋼球ガイ
ド溝加工装置は、不動部材と、この不動部材と共に直線
運動ステージを構成する可動部材とを、これらの不動部
材と可動部材とに設けられて不動部材に対する可動部材
の直線運動を案内するガイドレール部同士を向かい合わ
せた状態で挿入する凹部が設けられているとともに、こ
の凹部の底部に前記ガイドレール部間に挿通させた放電
加工用のワイヤを貫通させる孔が形成されたワーク保持
体と、このワーク保持体をワイヤの延び方向と直角の平
面において二次元運動させる二次元運動装置と、不動部
材と可動部材との間に介入され、これらの不動部材と可
動部材とを互いに離反する方向に押圧して凹部の対向す
る内壁に押し付ける押し付け手段と、を備えていること
を特徴とするものである。

【００１４】この加工装置によると、不動部材と可動部
材とをワーク保持体の凹部に挿入して押し付け手段でこ
れらの不動部材と可動部材を凹部の対向する内壁に押し
付けると、不動部材と可動部材は固定状態の位置関係と
なり、これにより二次元運動装置でワーク保持体を二次
元運動させると、ワイヤによる放電加工でガイドレール
部同士の対向面に鋼球のガイド溝が形成される。

【００１５】この加工装置では、不動部材と可動部材と
を固定状態の位置関係とするためには、ワーク保持体の
凹部に不動部材と可動部材とを挿入して押し付け手段で
凹部の対向する内壁に押し付ける作業だけを行えばよい
ため、作業の容易化と装置の構造の簡単化とを達成でき
る。

【００１６】ワーク保持体は例えばそれ自体１個のブロ
ックのものでもよく、あるいは複数の部材の組み合わせ
で形成してもよい。

【００１７】また、ワーク保持体の凹部の幅寸法は不動
部材、可動部材の幅寸法と正確に一致していてもよく、
あるいは不動部材、可動部材の幅寸法よりも大きくても
よい。

【００１８】ワーク保持体の凹部の幅寸法が不動部材、
可動部材の幅寸法よりも大きい場合には、ワーク保持体
には、前記凹部に挿入された不動部材と可動部材を幅方
向の一方側から他方側に押圧してこれらの不動部材と可
動部材を凹部の内壁に押し付けるための押圧手段が設け
られことになる。

【００１９】不動部材と可動部材との間に介入され、こ
れらの不動部材と可動部材とを互いに離反する方向に押
圧してワーク保持体の凹部の対向する内壁に押し付ける
ための前記押し付け手段は、例えば楔状部材等の一部品
からなるものでもよく、あるいは二部品等の複数部品か
らなるものでもよい。

【００２０】複数部品からなる押し付け手段の一例は、
ねじ軸部材と、このねじ軸部材が螺入されるナット部材
とを含んで構成され、ねじ軸部材にはねじ軸部材螺進方
向に先細りとなったテーパ部が形成されているととも
に、ナット部材にはねじ軸部材螺進方向に延びる割り溝
が形成されている。

【００２１】この押し付け手段によると、ねじ軸部材を
ナット部材に螺入して螺進させると、テーパ部からナッ
ト部材は押し広げ力を受けて割り溝により拡開変形する
ため、ナット部材は不動部材と可動部材とを互いに離反
する方向に押圧してこれらをワーク保持体の凹部の対向
する内壁に押し付けることになる。そして、ねじ軸部材
の螺進量の調整によって押し付け力を適正な大きさにで
きる。

【００２２】

【発明の実施の形態】以下に本発明の一実施形態を図面
に基づいて説明する。初めに直線運動ステージを説明す
る。図１は、直線運動ステージ１の全体図であり、図２
は、この直線運動ステージ１を構成する主要部材の分解
図である。

【００２３】直線運動ステージ１は、実験机や作業テー
ブル等に固定されて不動部材となる下板２と、この下板
２に対して直線運動自在の可動部材になっている上板３
とを含んで構成され、下板２の上面と上板３の下面には
上板３の直線運動方向に延びる各二条のガイドレール部
４，５が突設されている。下板２のガイドレール部４と
上板３のガイドレール部５は下板２、上板３の幅方向に
向かい合い、図２の通り、これらのガイドレール部４，
５同士の対向面にはガイド溝６が形成され、これらのガ
イド溝６間に鋼球７が介入されている。ガイドレール部
４，５の両端面には押さえねじ８が螺入されるねじ穴９
が設けられ、ねじ穴９に螺入された押さえねじ９の大径
頭部によって鋼球７がガイドレール部４，５の端部から
抜け落ちるのを防止されている。

【００２４】また、下板２と上板３との間はガイドレー
ル部４，５の長さ方向に延びている２本のコイルばね１
０が配設され、これらのコイルばね１０の一端は下板２
に、他端は上板３にそれぞれ結合されているため、コイ
ルばね１０が自然長より延びていると、下板２に対して
上板３がコイルばね１０のばね力で直線運動するように
なっている。

【００２５】図１に示す通り、下板２の前面にはブラケ
ット１１を介してねじ式送り手段１２が取り付けられ、
このねじ式送り手段１２は、回転つまみ１３を正回転、
逆回転すると、上板３の受圧部材１４に当接しているス
ピンドル１５がねじ式送り機構によって前進、後退する
ようになっているものである。下板２の側面にはストッ
パプレート１６が固定され、上板３の側面にはストッパ
ねじ１７の先端のねじ軸部が螺入される図３のねじ穴１
８が設けられ、このねじ軸部をワッシャ１９およびスト
ッパプレート１６の長孔１６Ａに挿入した後、ねじ穴１
８に螺入し、さらにストッパねじ１７を最後まで締め付
けると、ストッパねじ１７の頭部で押圧されるワッシャ
１９とストッパプレート１６との摩擦力により、下板２
に対して上板３はその位置で固定状態となる。

【００２６】以上のことから、ストッパねじ１７を緩め
てから回転つまみ１３を正回転すると、スピンドル１５
の前進で上板３はコイルばね１０を伸張させながら下板
２に対して前進し、一方、回転つまみ１３を逆回転する
と、スピンドル１５の後退に伴って上板３はコイルばね
１０の戻りばね力で下板２に対して後退し、下板２に対
して上板３が所望の位置に達したとき、ストッパねじ１
７を締め付けると、その位置で上板３を固定できる。こ
のため、上板３の上面に形成されているボルト孔２０を
利用して上板２に研究器具や研究対象物等をボルトで取
り付けておくと、この研究器具や研究対象物等を回転つ
まみ１３の目盛り１３Ａで表示される移動距離分だけ移
動させた後に、その位置に停止させることができる。

【００２７】以上の下板２に対する上板３の直線運動
は、前記ガイドレール部４，５のガイド溝６間に介入さ
れている鋼球７が転動することにより行われ、このた
め、これらのガイド溝６の鋼球７に対する精度が上板３
の直線運動精度に影響する重要な要素となっている。

【００２８】図３以降は、下板２と上板３のガイドレー
ル部４，５にガイド溝６を形成するための加工方法、お
よびこの加工方法を実施するために使用する装置を示し
ている。図３の状態になるまでの間に、下板２および上
板３は板状素材からフライス加工によりガイドレール部
４，５を有する形状に成形されているとともに、ボール
盤による孔明け加工、ねじ切り加工により前記ねじ穴
９、ボルト孔２０が形成されており、さらに、下板２、
上板３には焼き入れ、表面研削加工、表面塗装処理が施
されている。

【００２９】図３には、下板２、上板３のガイドレール
部４，５に放電加工でガイド溝６を形成するときに使用
するワーク保持体２１が示されている。このワーク保持
体２１は、底盤２２と、底盤２２に結合された本体２３
と、本体２３上に２個固定された受け台２４とを含んで
構成され、本体２３には図６の通り上下面まで達する貫
通孔２３Ａが設けられ、この貫通孔２３Ａと対応する底
盤２２の箇所には窪み部２２Ａが形成されている。これ
らの貫通孔２３Ａと窪み部２２Ａとにより、ワーク保持
体２１にはワークである下板２、上板３を縦にして（言
い換えると、ガイドレール部４，５の長手方向を上下方
向にして）挿入するための平面細長四角形の凹部２５が
形成されていることになる。

【００３０】図３において、凹部２５の幅寸法Ｗ１は下
板２、上板３の幅寸法Ｗ２よりも少し大きい。また、凹
部２５の幅方向と直角の奥行き寸法Ｔ１は、下板２と上
板３とが所定の隙間分開けて対向しているときの下板２
と上板３との厚さ方向の合計寸法（言い換えると、直線
運動ステージ１の厚さ寸法）Ｔ２と同じである。そし
て、前記２個の受け台２４は凹部２５に両側に配置さ
れ、また、図６に示す通り、ワーク保持体２１の底部に
は孔２６が形成されている。

【００３１】さらに、図５に示す通り、ワーク保持体２
１の側面には押しねじ２７を螺入するねじ孔２８が形成
され、このねじ孔２８の底部には凹部２５まで達してス
ペーサ２９が挿入される小孔３０が穿設されている。こ
れらの押しねじ２７とスペーサ２９は、凹部２５に挿入
された下板２と上板３とをこれらの幅方向の一方側から
他方側へ押圧して下板２、上板３を凹部２５の内壁に押
し付ける押圧手段３１を構成するものとなっている。

【００３２】本実施形態では、下板２と上板３とを互い
に離反する方向に押圧してこれらを凹部２５の対向する
２つの内壁に押し付けるための図４で示す押し付け手段
３２も使用される。この押し付け手段３２は、ねじ軸部
材３３と、ねじ軸部材３３が螺入される細長四角状のナ
ット部材３４とからなり、ねじ軸部材３３の首部はねじ
軸部材３３の螺進方向に先細りとなったテーパ部３３Ａ
となっており、ナット部材３４にはナット部材３４の長
手方向、すなわちねじ軸部材３３の螺進方向に延びる割
り溝３４Ａが形成されている。ナット部材３４に螺入さ
せたねじ軸部材３３を六角レンチ等の工具で螺進させる
と、テーパ部３３Ａから受ける押し広げ力によりナット
部材３４は割り溝３４Ａから拡開変形する下板２と上板
３をワーク保持体２１に保持させるためには、下板２と
上板３を密着させて凹部２５に挿入し、押しねじ２７と
スペーサ２９からなる押圧手段３１で下板２、上板３を
凹部２５の幅方向の内壁に押し付けて位置決めする。ま
た、図３で示されている通り、ねじ軸部材３３を螺入し
た２個のナット部材３４を下板２と上板３との間、具体
的には、上板３の２個のガイドレール部５の中間に形成
された凸条部３Ａの両側に挿入し、工具の回転操作によ
るねじ軸部材３３の螺進でナット部材３４を拡開変形さ
せることにより、下板２と上板３とをナット部材３４で
互いに離反する方向に押圧して凹部２５の対向する２つ
の内壁に押し付ける。

【００３３】これにより、下板２と上板３は、ガイドレ
ール部材４，５同士が下板２、上板３の幅方向に向かい
合わせられた固定状態の位置関係となってワーク保持体
２１の凹部２５に保持されたことになり、この位置関係
は、下板２や上板３等によって直線運動ステージ１が組
み立てられたときにおける下板２と上板３との正しい位
置関係である。

【００３４】次いで、図３で示されているそれぞれの通
電板３５を下板２、上板３と前記受け台２４との間に架
け渡す作業を行う。この作業は、各通電板３５の両端に
設けられている孔に止めねじ３６を挿入し、下板２、上
板３側の止めねじ３６をこれらの下板２、上板３に予め
形成されている前記ねじ穴９に螺入するとともに、受け
台２４側の止めねじ２６をこの受け台２４に形成されて
いるねじ穴３７に螺入することにより行う。これによ
り、下板２および上板３が前述の通り表面塗装さされ、
この結果、下板２と上板３の表面が非導電状態になって
いても、下板２、上板３とワーク保持体２１との間は通
電板３５と止めねじ３６とを介して導電状態となる。

【００３５】以上のように下板２、上板３が凹部２５に
挿入セットされたワーク保持体２１は、図６で示す二次
元運動装置３８の上面に固定される。この二元運動装置
３８はワーク保持体２１を水平面において二次元運動さ
せるためのものであり、上下に積み重ねられた第１、第
２運動手段３９、４０からなる。これらの運動手段３
９，４０は、下側の基板４１と、上側の運動板４２とを
備えており、運動板４２は基板４１に対してモータや送
りねじ機構等からなる駆動手段４３で前進、後退する。
第１運動手段３９の運動板４２と第２運動手段４０の運
動板４２との運動方向は水平面で直角をなす二方向であ
り、第１運動手段３９の運動板４２の上に第２運動手段
４０の基板４１が固定されているため、第１、第２運動
手段３９，４０の駆動手段４３を制御装置で制御しなが
ら駆動させることにより、ワーク保持体２１、言い換え
るとワーク保持体２１に固定状態で保持された下板２、
上板３を水平面で二次元運動させることができる。

【００３６】以上の二次元運動装置３８を図６で示す放
電加工装置の作業テーブル４４にセットする。このセッ
ト後、放電加工装置の放電加工用のワイヤ４５を繰り出
しリールから繰り出して下板２のガイドレール部材４と
上板３のガイドレール部５との間に上下に挿通し、さら
にワイヤ４５をワーク保持体２１の底部に形成されてい
る前記孔２６、二次元運動装置３８の各構成部材に形成
されている孔４６、作業テーブル４４に形成されている
孔４７に挿通し、その先端を巻き取りリールに巻き付け
る。そして、ワイヤ４５にテンション機構で張力を与え
る。

【００３７】この後、ガイドレール部４，５に前記ガイ
ド溝６を放電加工で形成する作業を始める。この放電加
工作業は、ワイヤ４５を一方の電極とし、下板２および
上板３に前記通電板３５等を介して接続されたワーク保
持体２１を他方の電極として行われ、ワイヤ４５を自動
送りしながらワイヤ４５の周辺に加工液を供給し、ま
た、二次元運動装置３８でワーク保持体２１を二次元運
動させる。

【００３８】これにより、図５で示されている下板２の
ガイドレール部４と上板３のガイドレール部５との対向
面には、二次元運動装置３８による二次元運動と対応し
た形状のガイド溝６が形成されることになる。これらの
ガイド溝６はガイド溝６間に介入される前記鋼球７と対
応した大きさとされるとともに、鋼球６に供給する潤滑
油を溜めるための窪み部６Ａを備えたものとされる。こ
のような複雑な形状のガイド溝６は、二次元運動装置３
８の２個の駆動手段４３を制御装置で数値制御駆動する
ことにより正確に加工される。なお、図５に示されてい
る通り、通電板３５、止めねじ３６がワイヤ４５による
加工領域に突出している場合には、通電板３５、止めね
じ３６を切除しながらガイド溝６の加工を行う。

【００３９】以上のワイヤ４５によるガイド溝６の放電
加工は、各１個の下板２、上板３に２個設けられている
ガイドレール部４，５ごとにワイヤ４５をセットし直し
て行う。放電加工装置に２本のワイヤが設けられていれ
ばこれらを同時加工してもよい。また、ワーク保持体を
大型とし、この大型ワーク保持体に複数の凹部２５を設
けることにより、各１個の組み合わせで一組とされた下
板２と上板３との複数組を１個のワーク保持体に保持さ
せ、１本または複数本のワイヤが設けられた放電加工装
置でガイド溝加工するようにしてもよい。

【００４０】この後、通電板３５を取り外して、あるい
は通電板３５をそのまま残して、ワーク保持体２１の凹
部２５に挿入された下板２と上板３とを前記固定状態の
位置関係に維持したまま、ワーク保持体２１を図７で示
すホーニング盤にセットする。そして、ホーニング盤の
回転する加工ヘッド４８をガイドレール部４，５のガイ
ド溝６間に挿入してガイド溝６を仕上げ加工する。

【００４１】以上説明した本実施形態によると、ワーク
保持体２１の凹部２５に挿入された下板２と上板３は、
ガイドレール部４，５同士を向かい合わせた固定状態の
位置関係を維持したまま水平面において二次元運動する
ため、この二次元運動の大きさを鋼球７の大きさと対応
させることにより、放電加工でガイドレール部４，５同
士の対向面に形成される２個のガイド溝６の形状や位置
関係を鋼球７との関係で要求されている高度の精度のも
のとすることができ、このため、２個のガイド溝６と鋼
球７とによって構成される直線運動ステージ１のころ軸
受け手段を不動部材である下板２に対して可動部材であ
る上板３を正確な精度で円滑に直線運動させることがで
きるものとなる。

【００４２】また、本実施形態では、下板２と上板３の
ガイドレール部４，５同士の対向面にガイド溝６を放電
加工で形成した後にガイド溝６をホーニング盤で仕上げ
るとき、放電加工終了時の下板２と上板３との固定状態
の位置関係を維持したままホーニング加工するようにし
たため、放電加工終了時のガイド溝６同士の位置関係が
ホーニング加工にそのまま持ち込まれることになり、こ
のため、ホーニング加工で仕上げられたガイド溝６は高
精度のものとなる。

【００４３】また、下板２と上板３とを放電加工時に固
定状態の位置関係とするためには、ワーク保持体２１の
凹部２５に下板２、上板３を挿入して押圧手段３１でこ
れらの下板２、上板３を凹部２５の幅方向に押し付け位
置決めするとともに、ねじ軸部３３とナット部材３４と
からなる押し付け手段３２で下板２、上板３を互いに離
反する方向に押圧してこれらの下板２、上板３を凹部２
５の対向する内壁に押し付ければよいため、作業を容易
に行え、また、凹部２５を有するワーク保持体２１の他
に押圧手段３１と押し付け手段３２とを用意すればよい
ため、装置の構造の簡単化、製作の容易化を実現でき
る。

【００４４】さらに押し付け手段３２は、テーパ部３３
Ａを備えたねじ軸部材３３と、割り溝３４Ａが形成され
たナット部材３４とからなるため、ねじ軸部材３３をナ
ット部材３４に螺入して螺進させることにより、ナット
部材３４の拡開変形で下板２、上板３を凹部２５の対向
する内壁に確実に押し付けることができるとともに、ね
じ軸部材３３の螺進量の調整でこの押し付け力を適正な
大きさに設定できる。

【００４５】

【発明の効果】本発明によると、不動部材と可動部材と
を固定状態の位置関係にして放電加工でガイドレール部
同士の対向面に鋼球のガイド溝を形成するようにしたた
め、この加工で得られるガイド溝は高精度のものとな
る。

【図面の簡単な説明】

【図１】直線運動ステージの全体を示す斜視図である。

【図２】直線運動ステージの主要部材を示す分解斜視図
である。

【図３】不動部材である下板、可動部材である上板が凹
部に挿入される前のワーク保持体を示す斜視図である。

【図４】押し付け手段の構成部材であるねじ軸部材とナ
ット部材を示す正面図である。

【図５】ワーク保持体の凹部に図３で示された下板、上
板を挿入した後を示す一部拡大の平面図である。

【図６】ワーク保持体を二次元運動装置に取り付けて放
電加工装置の作業テーブルにセットした状態を示す一部
断面の正面図である。

【図７】放電加工後に行うホーニング加工時を示す斜視
図である。

【符号の説明】

１直線運動ステージ２不動部材である下板３可動部材である上板４，５ガイドレール部６ガイド溝７鋼球２１ワーク保持体２５凹部２６孔３１押圧手段３２押し付け手段３３ねじ軸部材３３Ａテーパ部３４ナット部材３４Ａ割り溝３５通電板３８二次元運動装置４４放電加工装置の作業テーブル４５放電加工装置のワイヤ４８ホーニング盤の加工ヘッド

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】不動部材と、この不動部材と共に直線運
動ステージを構成する可動部材とを、これらの不動部材
と可動部材とに設けられて不動部材に対する可動部材の
直線運動を案内するガイドレール部同士を向かい合わせ
た固定状態の位置関係とし、前記ガイドレール部同士の
間に挿通させたワイヤを放電加工の一方の電極とし前記
不動部材および前記可動部材を他方の電極としながら、
このワイヤに対して前記不動部材および前記可動部材を
前記固定状態の位置関係を維持したまま前記ワイヤの延
び方向と直角の平面において二次元運動させることによ
り、前記ガイドレール部同士の対向面にこれらのガイド
レール部間に介入される鋼球のガイド溝を放電加工で形
成することを特徴とする直線運動ステージの鋼球ガイド
溝加工方法。
【請求項２】請求項１の記載のガイド溝形成作業終了
後、前記不動部材と前記可動部材との前記固定状態の位
置関係を維持したまま、前記ガイド溝をホーニング加工
することを特徴とする直線運動ステージの鋼球ガイド溝
加工方法。
【請求項３】不動部材と、この不動部材と共に直線運
動ステージを構成する可動部材とを、これらの不動部材
と可動部材とに設けられて不動部材に対する可動部材の
直線運動を案内するガイドレール部同士を向かい合わせ
た状態で挿入する凹部が設けられているとともに、この
凹部の底部に前記ガイドレール部間に挿通させた放電加
工用のワイヤを貫通させる孔が形成されたワーク保持体
と、このワーク保持体を前記ワイヤの延び方向と直角の平面
において二次元運動させる二次元運動装置と、前記不動部材と前記可動部材との間に介入され、これら
の不動部材と可動部材とを互いに離反する方向に押圧し
て前記凹部の対向する内壁に押し付ける押し付け手段
と、を備えていることを特徴とする直線運動ステージの鋼球
ガイド溝加工装置。
【請求項４】請求項３に記載の直線運動ステージの鋼
球ガイド溝加工装置において、前記凹部の幅寸法は前記
不動部材、可動部材の幅寸法よりも大きく、前記凹部に
挿入されたこれらの不動部材、可動部材を幅方向の一方
側から他方側に押圧して前記凹部の内壁に押し付ける押
圧手段を備えていることを特徴とする直線運動ステージ
の鋼球ガイド溝加工装置。
【請求項５】請求項３または４に記載の直線運動ステ
ージの鋼球ガイド溝加工装置において、前記押し付け手
段は、ねじ軸部材と、このねじ軸部材が螺入されるナッ
ト部材とを含んで構成され、前記ねじ軸部材にはねじ軸
部材螺進方向に先細りとなったテーパ部が形成されてい
るとともに、前記ナット部材にはねじ軸部材螺進方向に
延びる割り溝が形成されていることを特徴とする直線運
動ステージの鋼球ガイド溝加工装置。