JPS63308264A - 直線運動案内機構の予圧調整装置 - Google Patents

直線運動案内機構の予圧調整装置

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JPS63308264A
JPS63308264A JP62142382A JP14238287A JPS63308264A JP S63308264 A JPS63308264 A JP S63308264A JP 62142382 A JP62142382 A JP 62142382A JP 14238287 A JP14238287 A JP 14238287A JP S63308264 A JPS63308264 A JP S63308264A
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 (産業上の利用分野) 本発明は、使用条件によっで予圧量を無断階に変え得る
ようにした直線運動案内機構の予圧調整装置に関する。
(従来の技術) この種直線運動案内機構は、軌道台にホールを介してス
ライダを移動自在に嵌合保持せしめて構成され、工作機
械のワークテーブルの慴動部等に応用される。
ところで、工作機械のワークテーブル等の48動部に設
けられる直線運動案内機構に軌道台の軸方向ガタや軌道
台と直交する横方向のガタがあると、高精度な機械加工
が望めない。そこで、斯かる直線運動案内機構の軸方向
及び又は横方向のガタを無くして高精度な機械加工を実
現すべく当該直線運動案内機構に予圧を付与することが
行なわれる。而して、この予圧付与の方法としては軌道
台とスライダとの間に大きめのサイズのホールを挿入す
るのが一般的である。
(発明が解決しようとする問題点) しかしながら、従来の上記した予圧の付与方法(定圧予
圧)によれば、切削加工時等の荷重の変化、及び・切削
加工時と切削加工終了後のテーブル移動時の変化に応じ
て予圧量を任意に変えることかできξrいため、一方で
は予圧量の不足によって、切削加工時にワークテーブル
に切削反力や工具側の振動等が作用して切削面のビビリ
現象等を生じ高精度な機械加工を行なえないといった問
題が生じる。他方、過大な予圧量を付与すると、切削加
工終了後のテーブル移動時に、慴動抵抗が異常に増加す
ることによってワークテーブルの早送りや軽快な送りを
行なえないばかりか、発熱や寿命低下の問題を生じてい
た。
そこで本発明は上記事情に鑑みてなされたもので、その
目的とするところは、使用条件によって予圧を任意に調
整できるようになし、これによって一方では加工精度の
向上を図るとともに、他方では軽快な早送りを行なえる
直線運動案内機構を提供するにある。
(問題点を解決するための手段) 上記目的を達成すべく本発明は、鋼球を介して軌道台に
スライダを直線移動可能に嵌合して成る直線運動案内機
構において、その上面中央に長手方向凹溝を形成したス
ライダ上に、当該スライダの長手方向凹溝部の中央位置
で僅かな隙間が形成されるように可動部材をボルト連結
するとともに、当該ボルトの頭部と可動部材の被締付座
面との間に圧電アクチュエータを介設した。
(作 用) 上記の構成を有する本発明において、可動部材の被締付
座面とボルト頭部間に介在する圧電アクチュエータに一
方向の電界を印加すれば圧電気逆効果によって圧電アク
チュエータが伸長するので、軌道台とスライダ間に介在
せしめられたボールに必要量の予圧を付与することがで
きる。この場合、圧電アクチュエータの電極に印加され
る電圧と圧電素子の変位量とは比例関係にあるので、必
要に応じて印加電圧の量を制御することによって予圧量
を無段階に調整することができる。
(実施例) 以下に本発明の一実施例を添付図面に基づいて説明する
。
本発明に係る直線運動案内機構を工作機械の一方向テー
ブルに応用した状態を示す第3図において、1はハウジ
ング本体2の側壁2a、2b間に水平に架設されたねじ
軸であって、該ねじ軸1はボールベアリング3.3にて
側壁2a、2bに回転自在に支承されている。そして、
このねじ軸1の一方側端部にはギヤ4が結着されており
、該ギヤ4はモータ5の出力軸端に結着されたギヤ6に
噛合している。
ところで、前記ねじ軸1には第2図に示す如く一条の連
続した螺旋溝7が形成されており、該ねじ軸1には螺旋
溝7に係合する複数のボール8・・・を介して2つのナ
ツト9,10が所定の間隔を設けて移動自在に螺合して
いる。そして両ダブルナツト9.10間には単一または
二割りの環状圧電素子11が介設されている。この圧電
素子には電圧を印加すると素子が伸縮するという特性が
あるため、本発明においては当該圧電素子の特性を利用
した圧電アクチュエータ(変位素子)として構成してい
る。なお、圧電アクチュエータはねじ軸1に平行状に配
置される複数の棒状圧電素子によって形成してもよいが
、棒状のものに比へて環状のアクチュエータの方が伸長
幅が均一になるので予圧調整量の誤差が少ない。以上の
ねじ軸1、ダブルナツト9.10及び圧電アクチュエー
タ11によりボールねじ機構Aが形成されるようになっ
ている。
また、第3図に示すごとく、両ナツト9.10はワーク
テーブル16に垂設したブラケット15に保持されてお
り、このワークテーブル16は直線運動案内機構Cを介
して紙面垂直方向に互いに平行に敷設された前後一対の
軌道台18.18に沿って軸方向へ移動自在に支持され
、該ワークテーブル16上にはワークWがセットされて
いる。尚、第3図中、19は不図示の駆動源によって回
転駆動されてワークWの上面を機械加工するフライス等
の工真である。
前記スライドガイド機構Cは、第1図(一方の軌道台の
み図示)に示すごとく、紙面垂直方向に敷設された単一
の軌道台18の両斜面に形成された直線状の凹溝18a
、18aに転勤自在に係合して無端状に整列循環する複
数のボール20・・・を介して、前後−組で溝形の断面
形状を有するスライダ21を紙面垂直方向に移動自在に
保持して構成される。又、上記スライダ21の上面中央
部には長手方向凹溝21aが形成されており、当該長手
方向凹溝21aの中央位置において該スライダ21の上
面に前記ワークテーブル16が所定の間隙△Lを設けて
ホルト22により締結されている。即ちスライダの長手
方向凹溝21aの中央位置には長手方向へ所定の間隔を
設けて複数のねじ穴21bが穿設され、他方該凹溝21
aの溝幅の範囲T内において所定の間隙△してスライダ
上面に当接せしめられるワークテーブル16の側縁には
前記スライダのねし穴21bに対応する段付の遊嵌穴1
6aが同数だけ貫通穿設されていて、同軸配置の遊嵌穴
16aとねじ穴21c内にボルト22が螺挿される。尚
第1図中、符号16bはホルト頭部22aを収納する大
径部、16cは被締付座面でボルトを介してスライダ2
1の中央部を上方へ引き上げる際の支点部として機能す
る。最もこの被締付座面は段部に形成される場合に限ら
れるわけではなく、ワークテーブルの上面を用いてもよ
い。そして、ボルト22の頭部22aとワークテーブル
16の被締付座面16cとの間には前記圧電アクチュエ
ータ11・・・と同様に単一または二割りで環状、或は
棒状の圧電アクチュエータ23・・・(実際にはワーク
テーブル16の4隅に総計4ケ所設置される)が介設さ
れている。
ところで、第3図に示す実施例においては前記ホールね
じ機構Aによりワークテーブル16を軌道台18.18
にそってx−X方向に移送せしめるものであるが、第4
図に示す他の実施例においては、ワークテーブル16を
x−X方向のみならずこれと直交するY−Y方向にも移
送せしめる別のボールねし機構Bが設けられている。
第4図に示す実施例について更に詳述するに、第3図に
示す実施例と同一の構成要素については同一の符号を付
して説明すると、第4図の実施例においては、ワークテ
ーブル16を軌道台18゜18に沿ってx−X方向へ移
送させる第一のボールねじ機構A(第3図のボールねじ
機構Aと全く同一のもの)の直下位置に、該第−ボール
ねじ機構Aと直交するように第二のボールねじ機構Bが
設けられており、軌道台18’、18’に沿ってワーク
テーブル16をx−X方向と直交するY−Y方向に移送
せしめるようになっている。而して、この第二ボールね
じ機構Bも第一ボールねじ機構Aと同じくねじ軸、ダブ
ルナツト及び圧電アクチュエータから構成されており、
第一ボールねじ機構Aを保持するハウジング本体2を軌
道台18′、18′沿いにY−Y方向へ移動させること
により、テーブルなY−Y方向へ移送させるものである
。要するに、第4図に示すねじ軸1′と不図示のダブル
ナツト及び圧電アクチュエータが該ボールねじ機構Bを
構成し、このボールねじ機構Bはワークテーブルを軌道
台18′、18′に沿ってY−Y方向へ移送せしめる。
尚、上記ねじ軸1′端部は不図示のギヤを介してモータ
5′に連結されている。
次に、ボールねじ機構A、B及び直線運動案内機構Cの
作用を説明する。
例えば、モータ5を駆動すれば、このモータ5の回転力
はギヤ6.4を経てねじ軸lに伝達され、該ねじ軸1が
定位置で回転駆動される。そして、このねじ軸lの回転
によってこれに螺合するナラh9,10がねじ軸1に沿
って直線移動し、この移動によってワークテーブル16
が軌道台18.18に沿ってx−X方向へ移送される。
同様の操作によってワークテーブル16をY−Y方向へ
移送することもできる。
而して、例えばボールねじ機構Aを構成するナツト9.
10間に介設される圧電アクチュエータ11に必要に応
じて電界を加えれば、この圧電アクチュエータ11は圧
電気逆効果によってねじ軸方向へ伸長し、両ナツト9.
10を互いに離間する方向へ付勢し、当該ホールねじ機
構Aの予圧を任意に変える。そして、該ボールねじ機構
Aの予圧を高めれば、ナツト9,10のねじ軸1に沿う
動き(ガタ)が無くなり、従ってワークテーブル16の
゛X−X方向に沿う軸方向ガタの解消と剛性の向上を図
ることができる。同様にしてホールねじ機構Bの予圧を
必要に応じて高めれば、ワークテーブル16のY−Y方
向に沿う軸方向ガタも無くなるばかりか剛性を高められ
る。
ところで、本発明に係る直線運動案内機構Cに設けられ
る圧電アクチュエータ23にも必要に応じて電界を加え
れば、該圧電アクチュエータ23はボルトの長手方向へ
伸長し、これによってスライダ21が撓み変形し、該ス
ライダ21とボール20との間の隙間が調整されて該直
線運動案内機構Cの予圧が任意に調整される。即ち、圧
電アクチュエータ23をボルトの長手方向へ伸長せしめ
れば、スライダ21の中央部にはボルト22を介して上
方への引張力が作用し、この上方引張力によってスライ
ダ21の中央部は隙間ΔLを挟めるように上方へ撓み変
形し、この結果スライダのスカート部21cが軌道台1
8側へ接近し、スライダ21と軌道台18間のボール2
0を予備圧縮して、ワークテーブルに関する軌道台18
の軸方向及びこれと直交する横方向のガタを解消し得る
ばかりか剛性を高められる。
次に以下の場合の予圧調整について説明する。
(A)一方向テーブルに適用される場合(第3図参照) 例えば、第3図に示す矢印a方向(X−X方向)にワー
クテーブル16を移送させながら定位置の工具19でワ
ークWを切削加工する場合、ボールねじ機構A及び直線
運動案内機構Cの予圧を圧電アクチュエータの作動によ
って高めていくと、ワークテーブル16はX−X方向へ
固定されるので、軸方向ガタを解消し得るのと同時に剛
性を確保し得、これによりワークWの切削面のビビリ現
象が解消されてワークWは高精度に機械加工され得る。
なお、切削加工時の荷重が変化すれば、これに応じて予
圧量を適宜調整することもできる。そして、機械加工の
終了後に圧電アクチュエータに対する電圧の印加量を減
少させることによって予圧量を解消または低減すれば、
ワークテーブル16は慴動抵抗のない状態で軽快に早送
りでき、当該ボールねじ機構A及び直線運動案内機構C
の発熱、寿命低下等の問題を生じることがない。
(B)X−Yテーブルに適用される場合(第4図参照) 例えば、第4図に示す矢印す方向(X−X方向)にテー
ブル16を移送させながら定位置の工具19でワークW
を切削加工する場合を例にとって説明すると、X−X方
向へのワークテーブル16の固定または解放は、第3図
のときと同じくボールねじ機構A及び直線運動案内機構
Cに対する予圧の付与または解放によって行なわれる。
ところで、X−X方向へワークテーブル16を移送させ
ながらワークWの切削加工を行なう際に、当該ワークテ
ーブル16に対してはX−X方向のみならずY−Y方向
にも切削反力や工具側の振動等が作用していることから
、Y−Y方向のガタの解消及び剛性がないと、ワークテ
ーブル16がY−Y方向へ動いたりして加工精度が出な
い。
従って、第4図に示されるようなX−Yテーブルに応用
される場合には、切削加工の際にX−X方向のみならず
Y−Y方向にも二重に固定しておく必要があり、このた
めボールねじ機構B及び直線運動案内機構Cの予圧を調
整することによってY−Y方向のガタの解消と剛性を確
保しておくのである。
尚、ワークテーブル16をX−X方向からY−Y方向へ
方向転換して切削加工する場合や加工終了後にテーブル
移動させる場合には、必要に応じてボールねじ機構B及
び直線運動案内機構Cの予圧量を調整すればよい。
(発明の効果) 以上の説明で明らかな如く本発明によれば、ボールを介
して軌道台に移動自在に保持されるスライダに可動部材
を締結するボルトと該可動部材との間に圧電アクチュエ
ータを介設して、圧電気逆効果による圧電アクチュエー
タの伸縮により直線運動案内機構の予圧を使用条件に応
じて任意に変えることができ、これにより軸方向及びこ
と・直交する水平方向のガタの解消と必要な剛性を保し
得るので、加工精度を向上させられるばかか寿命の低下
、発熱等の問題を解消すること力゛きるという効果が得
られる。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明に係る直線運動案内機構の細面図、第2
図はボールねじ機構の断面図、第3は同直線運動案内機
構を採用して成る工作機柳一方向ワークテーブルの破断
側面図、第4図(=直線運動案内工作機械のX−Yワー
クテーブル平面図である。 符号の説明 C・・・直線運動案内機構  16・・・ワークテーフ
18・・・軌道台      20・・・ホール21・
・・スライダ     22・・・ボルト23・・・圧
電アクチュエータ

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 鋼球を介して軌道台にスライダを直線移動可能に嵌合し
    て成る直線運動案内機構において、その上面中央に長手
    方向凹溝を形成したスライダ上に、当該スライダの長手
    方向凹溝部の中央位置で僅かな隙間が形成されるように
    可動部材をボルト連結するとともに、当該ボルトの頭部
    と可動部材の被締付座面との間に圧電アクチュエータを
    介設したことを特徴とする直線運動案内機構の予圧調整
    装置。
JP62142382A 1987-06-09 1987-06-09 直線運動案内機構の予圧調整装置 Granted JPS63308264A (ja)

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Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0294960U (ja) * 1989-01-13 1990-07-27
JPH03108125A (ja) * 1989-09-21 1991-05-08 Matsushita Electric Ind Co Ltd 磁気記録媒体の製造方法
DE102007045236A1 (de) * 2007-09-21 2009-04-02 Robert Bosch Gmbh Linearwälzlager
JP2010175065A (ja) * 2009-02-02 2010-08-12 Mitsubishi Heavy Ind Ltd ウォームギヤユニット

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0294960U (ja) * 1989-01-13 1990-07-27
JPH03108125A (ja) * 1989-09-21 1991-05-08 Matsushita Electric Ind Co Ltd 磁気記録媒体の製造方法
DE102007045236A1 (de) * 2007-09-21 2009-04-02 Robert Bosch Gmbh Linearwälzlager
JP2010175065A (ja) * 2009-02-02 2010-08-12 Mitsubishi Heavy Ind Ltd ウォームギヤユニット

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JPH0310831B2 (ja) 1991-02-14

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