JPH1095507A - 物品積載容器移載装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 恒温槽やＩＣ挿抜機間でボードキャリアを容
易、迅速、確実に移載する。 【解決手段】 ＡＧＶ１の上構造体１１ａからリニアガ
イド２２を介して下板２を移動可能に支持し、これにロ
ーラ２５を設け、モータ４１とピニオン４２とラック４
３で下板を移動可能にし、下板に上板３を移動自在に支
持し、モータ５１やラックとピニオンで上板を下板上で
移動できるようにし、先端にキャリアの穴６ａ内に嵌脱
する昇降爪を設ける。 【効果】 下板を本体から突出させ、この上で上板及び
爪を移動させ、爪とキャリアとを嵌合させ、ＡＧＶのロ
ーラ上と恒温槽等に設けられるローラ上でキャリアのや
り取りができる。簡単な直線動作で移載でき、移載が迅
速、確実で自動化等に適する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、物品を積載した容
器を収容できる複数の収容装置間で前記容器を移載する
ための物品積載容器移載装置であって本体部分と車輪と
を備えたものに関し、特に半導体製品のバーンイン工場
においてバーンインボードを搭載したボードキャリアの
移載用に好都合に利用される。

【０００２】

【従来の技術】集積回路素子（以下「ＩＣ」という）等
の半導体製品については、不良製品を早期に製造過程か
ら排除するスクリーニングのためにバーンイン試験が実
施される。この試験のための設備は、通常、バーンイン
ボードをボードキャリア（以下単に「キャリア」とい
う）に着脱すると共にバーンインボード上のＩＣを挿抜
して交換するＩＣ挿抜機、ＩＣが装着されたバーンイン
ボードを積載したキャリアを収容してＩＣのバーンイン
試験を行うための恒温槽、更にキャリアを中間的に貯蔵
してＩＣ挿抜機と恒温槽との処理タイミングのずれを吸
収するバッファー的機能を持つストッカ等によって構成
されている。

【０００３】このようなＩＣ挿抜機、恒温槽及びストッ
カから成る収容装置間ではキャリアを移載する必要が生
ずるが、従来では、人がＩＣ挿抜機からキャリアを引き
出し、適当な運搬台車に載せて恒温槽まで運んでその中
に入れたり、フォークリフト等の運搬車両を用いて、１
つの収容装置からキャリアをフォークに載せて引出し、
そのまま搬送して他の収容装置に挿入するような方法を
用いていた。しかしながら、前者の方法では、収容装置
と運搬台車との間のキャリアの積み替え操作が難しく、
又、バーンイン試験における省力化を図る余地がない。

【０００４】後者の方法では、キャリアの下にフォーク
を入れて持ち上げて恒温槽等の内部に挿入するため、恒
温槽等の高さを、キャリアの下に挿入されるフォークの
寸法、フォークで持ち上げたときの揺れ、フォークの傾
斜によるキャリア高さの増加等を考慮して余裕をもって
定めなければならないため、その高さが高くなる。又、
フォークリフトの停止位置の誤差が避けられないので、
収容装置に対してフォークが正確に対向せず、フォーク
を差し入れるために、装置の幅方向の寸法にも余裕を持
たせる必要がある。その結果、収容装置が大型化すると
いう問題がある。特にバーンイン用の恒温槽では、装置
コストが高いためその大型化は大きなコスト上昇を伴う
と共に、ヒータや送風機等の装備機器の能力にも影響を
与え、熱効率を低下させることにもなる。更に、フォー
クリフト方式では、遠隔操作や無人化が困難である。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】本発明は従来技術に於
ける上記問題を解決し、収容装置間における容器の移載
が容易で、移載のために収容装置を大型化させることな
く、移載作業の省力化が可能で、遠隔操作又は自動化の
容易な物品積載容器移載装置を提供することを課題とす
る。

【０００６】

【課題を解決するための手段】本発明は上記課題を解決
するために、請求項１の発明は、物品を積載した容器を
収容できる複数の収容装置間で前記容器を移載するため
の物品積載容器移載装置であって本体部分と車輪とを備
えたものにおいて、前記本体部分から一方向に突出する
ように該一方向及びその反対方向に移動可能に支持され
前記容器を前記方向に移動容易に支持できる支持部材
と、前記容器と結合される結合部を備え前記支持部材に
前記方向に移動可能に支持される移動体と、前記支持部
材を移動させる第１移動手段と、前記移動体を移動させ
る第２移動手段と、を有することを特徴とする。

【０００７】請求項２の発明は、上記に加えて、前記物
品は半導体製品を搭載した複数のバーンインボードであ
り、前記収容装置は少なくとも複数のバーンイン装置と
複数の半導体製品着脱装置とで構成されていることを特
徴とする。

【０００８】請求項３の発明は、上記に加えて、前記車
輪を駆動する駆動手段と、該駆動手段を所定の信号によ
って制御する走行制御手段と、前記移動手段と前記第２
移動手段とが所定の時期に作動するように制御する移載
制御手段と、を有することを特徴とする。

【０００９】

【発明の実施の形態】図１、２は本発明を適用した物品
積載容器移載装置の一例である自動走行式ボードキャリ
ア搬送装置（以下「ＡＧＶ」という）の全体構造の一例
を示し、図３及び図４はボードキャリア積載部分の構造
例を示す。ＡＧＶ１は、本体部分１１、車輪１２、支持
部材としての下板２、移動体としての上板３、下板２を
移動させる第１移動手段としての下板移動機構４、上板
３を移動させる第２移動手段としての上板移動機構５、
等を備えていて、容器としてのボードキャリア６（以下
「キャリア６」という）を収容装置でありバーンイン装
置である図６等に示す恒温槽７、中間収容装置であるス
トッカ８及び半導体製品着脱装置であるＩＣ挿抜機９の
間で移載するための装置である。キャリア６は、物品と
しての多数の半導体製品であるＩＣ６１ａを装着したバ
ーンインボード６１（図９参照）を多数枚積載してい
る。

【００１０】下板２は、図３、４にも示すように、本体
部分１１の上構造体１１ａから、取付板２１、これに取
り付けられたリニアガイド２２、その移動体に取り付け
られた中間板２３を介して吊り下げ支持されている。そ
して、リニアガイド２２によって一方向であるＸ方向及
びその反対のＸ´方向に移動可能になっていて、図３に
おいて二点鎖線で示すように、上構造体１１ａから一方
向であるＸ方向に突出できるようになっている。又、下
板２はＸ−Ｘ´方向に延設された軸支持板２４を備えて
いて、この板と中間板２３とによってローラ２５を支持
することにより、ローラ２５を介してキャリア６をその
方向に移動容易に支持できる。

【００１１】下板移動機構４は、減速歯車部分４１ａを
備え取付板２１に固定されたモータ４１、その出力軸の
先端に固定されたピニオン４２、中間板２３に固定され
Ｘ−Ｘ´方向に延設されたラック４３等によって構成さ
れていて、下板２をその方向に移動させることができ
る。

【００１２】上板３は、下板２に固定されたガイドレー
ル２７に上板３に固定されたガイドブロック３１が摺動
自在に嵌合することにより、下板２にＸ−Ｘ´方向に移
動可能に支持されている。又、図５にも示すようにキャ
リア６と結合される結合部としての爪３２を備えてい
る。

【００１３】上板移動機構５は、減速歯車部分５１ａを
備え上板３に固定されたモータ５１、その出力軸の先端
に固定されたピニオン５２、下板２に固定されＸ−Ｘ´
方向に延設されたラック５３等によって構成されてい
て、モータ５１やガイドブロック３１等と共に上板３を
その方向に移動させることができる。

【００１４】本体部分１１は、前記上構造体１１ａとこ
れを支持する下構造体１１ｂとによって構成されてい
て、これらの内部には、図１２にも示す如く、車輪１２
を駆動する駆動手段としての走行機構１３、これを後述
する所定の信号によって制御する走行制御手段としての
走行制御部１４、上下移動機構４、５を構成するモータ
４１、５１が所定の時期に作動するように制御する移載
制御手段としての移載制御部１５、等が配設されてい
る。又、本体部分１１には操作部や表示等が適当に設け
られると共に、制御信号を受信するためのアンテナ１
６、走行表示ランプ１７、位置センサ１８、恒温槽７等
の状態を確認するためにそれらと対話をするための空間
光伝送器のＡＧＶ側部分１０ａ等が設けられている。走
行機構１３の詳細は図示していないが、例えばバッテリ
ーで駆動される直流モータや減速機等で構成される。走
行機構１３が作動すると、ＡＧＶ１は床に敷設された誘
導ケーブル等に従って定められた軌道上を走行する。

【００１５】図５は爪昇降機構の構造例を示す。爪３２
は、駆動原とを用いないでロック及びロック解除の可能
な適当な機構により、キャリア６を結合及び結合解除で
きるものでもよいが、本例では、モータを用いて爪３２
を昇降させる機構を用いている。爪昇降機構３３は、上
板３に固定された取付板３４、これに取り付けられ減速
歯車部分３５ａを備えたモータ３５、その出力軸の先端
に固定された中間ピン３６、これに回転自在に取り付け
られたローラ３７、これを水平方向に移動自在に嵌合し
た長穴３８ａの開けられた昇降板３８、これと取付板３
４との間に介在して昇降板３８を昇降方向に案内するリ
ニアガイド３９、昇降板３８と爪３２との間を結合する
結合部材４０等によって構成されている。爪３２はキャ
リア６の穴６ａ内に出入りする。

【００１６】なお本例では、図１（ｂ）に示す如く、下
板２等を上下２段に設けてＡＧＶ１にキャリア６を上下
２段に搭載できるようにしているが、下板２等のＡＧＶ
荷台部分を１つにして、これを昇降可能な構造にしても
よい。その場合には、上記の爪昇降機構３３を省略し、
荷台の昇降機構を利用して爪３２を昇降させ、キャリア
の穴６ａ内に嵌脱させることができる。又、恒温槽等の
キャリア搭載部分が１段のときには、ＡＧＶの荷台も当
然１段でよい。

【００１７】図６は、本発明のＡＧＶ１を用いたＩＣバ
ーンイン設備の一部分の構成例を示す。本設備は、１台
のＡＧＶ１、３０台の恒温槽７（図では一部分のみを示
している）、６台のストッカ８及び７台のＩＣ挿抜機９
から成るラインを多数列併設し、これらに操作制御室に
配置されるコンピュータ１００等を加えて構成されてい
る。このシステムでは、１ライン当たり最大１４４台の
キャリア６が使用される。コンピュータ１００は、ＡＧ
Ｖ１、恒温槽７やＩＣ挿抜機９に無線又は配線によって
接続された複数台のパソコンから成り、それぞれの運行
や稼動のスケジュールを管理したりそれぞれに動作指令
を発する。ＡＧＶ１はその指令によって所定の軌道上を
走行する。恒温槽７、ストッカ８及びＩＣ挿抜機９の個
々の装置に対して、装置自体又はＡＧＶの軌道上にその
位置を示すための図示しない位置表示が設けられてい
る。ＡＧＶ１は、これに装着された位置センサ１８が前
記位置表示を計数走行し、出発時に指令を受けた計数値
を検知すると、その位置に停止する。

【００１８】図７は恒温槽等の外形の一部分及びこれら
とＡＧＶとの位置関係を示し、図８はローラ部分の構造
例、図９は恒温槽内におけるバーンインボードの配置、
図１０はバーンインボードの一部分及びそのコネクタ着
脱爪の形状を示す。恒温槽７は、バーンインボード６１
を積載したキャリア６を２段２列に収納し断熱壁７１及
び扉７２で囲われた試験室７３、この中に熱風を循環さ
せる図示しない送風機やヒータ等を備えていて、バーン
イン試験に用いられる通常の構造のものであるが、キャ
リア６を支持するローラ構造部７４とコネクタ挿抜機構
７５とを備え、更に、扉７２は巻き込み式の鎧戸やスラ
イド戸等から成る自動開閉式扉になっていて、自動運転
の可能な装置である。又、空間光伝送器のＡＧＶ側部分
１０ａに対応して、扉の開閉、試験室内におけるキャリ
ア６の在否、コネクタの挿抜等のキャリアの移載に関連
する状態についてＡＧＶ１と対話するための空間光伝送
器の恒温槽側部分１０ｂを備えている。

【００１９】ローラ構造部７４は、本例では６個設けら
れたローラ７４ａ及びガイドリング７４ｂ（図７（ｂ）
では図示を省略している）、これらを支持する軸７４ｃ
（図８）、この軸を嵌入して固定支持し図示しない恒温
槽の構造体に取り付けられる支持板７４ｄ等によって構
成されている。ローラ７４ａには図示しないベアリング
が設けられていて、キャリア６が載った状態でも抵抗ト
ルクが少なく回転容易になっている。ガイドリング７４
ｂも回転自在に支持されている。ローラ７４ａのうち恒
温槽の入口側端のものは、他のローラより直径が大きく
なっている。恒温槽のローラ７４ａとＡＧＶのローラ２
５とは同じ高さになるように設計されるが、このように
恒温槽入口ローラの直径を大きくすれば、恒温槽のロー
ラがＡＧＶのローラより多少高い位置になっていても、
ＡＧＶから恒温槽に移載されるキャリア６の受ける衝撃
力を小さくすることができる。

【００２０】バーンインボード６１は、図９に示す如
く、恒温槽７の奥側に配設されたエッジコネクタ７６に
挿抜されるエッジ６１ｂ及びこれとプリント配線で結合
されたＩＣ装着用ソケット６１ｃを備えている。エッジ
コネクタ７６は恒温槽の構造体に固定されるコネクタ取
付棒７７に取り付けられていて、バーンイン試験のため
の図示しないドライバーボードやテストボードに接続さ
れる中継ボード２００と電気的に結合されている。この
ような配置により、ＩＣソケット６１ｃに装着されたＩ
Ｃ６１ａはドライバーボード等と接続される。

【００２１】恒温槽７の奥側には前記コネクタ挿抜機構
７５が配設されている。バーンインボード６１は、図１
０に示す如くその奥側の両サイドにコネクタ挿抜にも用
いられる枠６１ｄ及び穴６１ｅを備えている。挿抜機構
７５は、図示しない駆動装置によってロの字状に動かさ
れる爪部材７５ａを備えていて、爪部材が上昇してその
爪部分７５ａ−１が穴６１ｅ内に入り、その縁を引っ掛
けて矢印Ａ方向に引っ張ることによってエッジ６１ｂを
エッジコネクタ７６に挿入し、下降して矢印Ｂ方向に移
動することによって元の位置に復帰すると共に、その位
置から矢印Ｂ方向に更に移動することにより、爪間の溝
部分７５ａ−２が枠６１ｄを押し、エッジをエッジコネ
クタから抜き出すように作動する。以上のような構成に
より恒温槽７は自動運転が可能なようになっている。

【００２２】ストッカ８も、ＩＣのバーンイン工程に通
常用いられる装置であり、図示しないが恒温槽７と同様
に２段で多列のキャリア積載スペースを備えている。ス
トッカ８はキャリア６を一次的に預かり、キャリアの在
席をコンピュータ１００に報告する機能を有する。又、
空間光伝送器のＡＧＶ側部分１０ａに対応してキャリア
の在否等を伝えるための空間光伝送器のストッカ側部分
を備えている。そのローラ装置は、恒温槽のものと同じ
構造になっている。

【００２３】ＩＣ挿抜機９は、ＩＣのバーンインに用い
られる通常の構造の装置であり、図１１に示す如くキャ
リア６を２段に積載できると共に、図示していないがこ
れに隣接してキャリアを移動して昇降できるスペースを
備えている。このため、各段のキャリアを昇降部分に、
又昇降部分のキャリアを各段目に横移動できるようにな
っている。そして、隣接スペースでキャリアが下降又は
上昇する間に、これからバーンインボードが１枚づつ抜
き差しされ、バーンイン試験を終了したＩＣがＩＣソケ
ットから取り外され、新たなＩＣが装着されるようにな
っている。この装置は、通常、バーンイン済みのＩＣの
良否を分類する機能も備えている。なお、ＩＣ挿抜機９
にも、空間光伝送器のＡＧＶ側部分１０ａに対応してキ
ャリアの在否等を伝えるための空間光伝送器のＩＣ挿抜
機側部分１０ｃが取り付けられている。

【００２４】図１２は以上のようなバーンイン設備にお
けるＡＧＶの制御系の構成を示す。ＡＧＶの制御系は、
前記コンピュータ１００から発信される動作指令信号を
受信するアンテナ１６、受信した指令に従ってＡＧＶ１
の走行を制御する走行制御部１４、これと関連して、下
板移動用のモータ４１、上板移動用のモータ５１、更に
本例では爪昇降用のモータ３５の駆動も制御する移載制
御部１５、空間光伝送器のＡＧＶ側部分１０ａ等によっ
て構成されている。バーンイン設備側では、コンピュー
タ１００の指令が恒温槽７及びＩＣ挿抜機９に発信さ
れ、又、これら及びスタッカ８の動作状態や積載状態が
必要に応じてコンピュータ１００にフィードバックされ
る。

【００２５】以上のように本発明を適用したＡＧＶはバ
ーンイン設備において次のように使用される。例えば何
れかの恒温槽７ｉ（図６）でバーンイン試験が終了して
その扉７２が自動的に開かれると、コンピュータ１００
がこれを認知してＡＧＶ１に走行指令を発信する。ＡＧ
Ｖ１はアンテナ１６でこれを受信し、走行制御部１４を
介して走行機構１３を作動させる。これによりＡＧＶ１
は矢印で示す走行軌道に従って位置表示を計数しながら
走行し、恒温槽７ｉの位置表示の計数値を検知するとそ
の位置で停止する。

【００２６】恒温槽７ｉでは、図９に示すコネクタ挿抜
機構７５によって図１０に示す爪部材７５ａが矢印Ｂ方
向に動かされ、その溝部分７５ａ−２が枠６１ｄを押
し、キャリア６上の全てのバーンインボード６１のエッ
ジ６１ｂをエッジコネクタ７６から抜き出し、キャリア
６が恒温槽から取り出し可能な状態になる。ＡＧＶ１
は、走行を停止すると、空間光伝送装置のＡＧＶ部分１
０ａと恒温槽側部分１０ｂとの間でキャリア移載に関す
る必要事項の確認等の対話をしながら、その移載制御部
１５が移載機構を構成するモータ類を駆動制御し、恒温
槽７ｉ内のキャリア６をＡＧＶ１側に移載する。

【００２７】移載の動作は、下板及び上板の前進による
爪移動動作、爪上昇動作、並びに上板及び下板の後退に
よるキャリア引込み動作から成る。まずモータ４１を駆
動してピニオン４２を回転させ、これに噛み合ったラッ
ク４３を送ってリニアガイド２２に沿って下板２及びこ
れに支持されたローラ２５を移動させ、ＡＧＶの本体部
分１１より突出した一定位置で停止させる。この停止位
置は、モータ４１の回転数を制御したりリミットスイッ
チや光センサ等の位置センサを検知することにより定め
られる。

【００２８】これにより、下板２はリニアガイド２２に
よって突出した状態で支持され、ローラ２５も下板と共
に２点鎖線で示す位置まで突出する（図３、図７（図７
はキャリア６をＡＧＶ１から恒温槽７方向に移載すると
きの状態を示すが、恒温槽からＡＧＶに移載するときに
も下板は同じ位置になる））。その結果、恒温槽７のロ
ーラ７４ａとＡＧＶのローラ２５との間隔が狭まり（図
７）、キャリア６の移載が可能になる。このように、下
板２を本体部分から突出するように移動させると、キャ
リア６の移載を容易且つ安全に行うことができる。

【００２９】次にモータ５１を駆動してピニオン５２を
回転させ、これを下板２に固定されたラック５３と噛み
合わせることにより、ピニオン５２、モータ５１及びこ
れらの取り付けられた上板３が下板２に対して相対的に
移動する。上板３は、これに固定されたガイドブロック
３１が下板２に固定されたガイドレール２７に摺動案内
されることによりＸ方向に移動され、その先端部分に取
り付けられている爪３２が下板２から突出した所定の位
置になると停止する。

【００３０】下板３の停止位置は、爪３２の位置とキャ
リアの係合用穴６ａの位置とが一致する位置でなければ
ならない。このためには、ＡＧＶ側及びキャリア６側に
リミットスイッチや光センサ等の適当な位置センサを設
けて、爪と係合用穴とが一致するとセンサがオンになる
ようにする方法を用いることができる。しかし、ＡＧＶ
１と恒温槽７との間隔及び恒温槽内におけるキャリア６
の位置はほぼ一定しているので、係合用穴６ａを少し大
きくしておき、爪３２の位置とキャリアの係合用穴６ａ
の位置とがほぼ一致するように、上板３を予め定めた一
定距離だけ移動させるようにしてもよい。

【００３１】このように、下板２を本体部分１１から突
出させ、更にその下板２から爪３２をキャリアの方向に
突出させることにより、図３の二点鎖線で示すように爪
３２がＡＧＶの本体部分から大きく突出し、図７の二点
鎖線で示すように爪３２がキャリアの係合用穴６ａの下
に位置するようになる（図７はキャリア６をＡＧＶ１か
ら恒温槽７方向に移載した状態を示すが、恒温槽からＡ
ＧＶに移載するときにも爪３２は同じ位置になる）。そ
の結果、爪３２とキャリア６とを容易に係合させること
ができる。

【００３２】なお、上記の爪移動動作では、下板を前進
させた後に上板を前進させているが、これらを並行して
前進させたり、上板を先に前進させた後下板を前進させ
るような方法を用いてもよい。

【００３３】爪３２が係合用穴６ａと一致してモータ５
１が停止すると、図５に示すモータ３５を駆動してその
出力軸に取り付けられた中間ピン３６を回転させ、これ
に取り付けられたローラ３７を矢印で示す如く上方に１
８０°回転させ、この動きとリニアガイド３９による案
内とによって長穴３８ａを介して昇降板３８を真上に二
点鎖線の位置まで上昇させ、これに伴って爪３２を上昇
させてキャリア６の係合穴６ａ内に挿入する。これによ
り、爪とキャリアとが係合して、キャリアを恒温槽から
引き出せる状態になる。

【００３４】キャリア６の引出しは、上記の爪３２を送
り込む動作の反対の動作になる。即ち、モータ５１を逆
転させ、爪３２及びこれに係止されたキャリア６を下板
２の上に引き込み、モータ４１を逆転させて下板２をＡ
ＧＶの中に引き込む。このときにも、モータの回転数や
適当に設けたセンサ等によってそれぞれの移動停止位置
が定められる。

【００３５】以上の動作で１台のキャリアの恒温槽から
ＡＧＶへの移載工程が完了する。ＡＧＶ１には上下２段
にキャリアを積載できるので、通常上下２台を同時に移
載する。但し、キャリア移載時にＡＧＶに掛かる反力等
を考慮して、ＡＧＶの安定性を維持しつつ１台づつ順次
移載するようにしてもよい。

【００３６】ＡＧＶ１が２台のキャリア６の搭載を完了
すると、走行制御部１４が再びＡＧＶ１を走行させ、Ａ
ＧＶは定められた軌道を通ってコンピュータ１００で指
示されている例えばＩＣ挿抜機９ｉの位置で停止する
（図６）。このような移動、停止は恒温槽の場合と同じ
方法で行われる。ＡＧＶが停止すると、恒温槽からＡＧ
Ｖへの移載時の爪移動動作と同様の動作によって、キャ
リアを結合した爪をＩＣ挿抜機上まで前進させる。但
し、この場合には必ず下板２を先に前進させ、その後上
板２と共に爪及びキャリアを前進させる。

【００３７】この場合にも、図１１に示す如く、下板２
の移動によってＡＧＶ側のローラ２５が二点鎖線で示す
位置まで突出し、ＩＣ挿抜機９上のローラ９１に橋渡し
するので、キャリア６は容易に安全且つ確実にＩＣ挿抜
機上に移載される。キャリアの移載が完了すると、モー
タ３５を駆動して爪３２を下降させ、爪をキャリアの係
合用穴６ａから抜き出す。その後は、モータ５１を駆動
して上板を後退させた後モータ４１を駆動して下板を後
退させ、爪を初期位置に戻す。

【００３８】ＩＣ挿抜機７ｉでは、まず２段に積載され
たキャリアのうちの上のものが横移動され、多段に積載
されたバーンインボード６１の１段づつキャリアが停止
−下降を繰り返して下降する。このとき、一定の位置
で、まず第１段のバーンインボードがキャリアから抜き
出され、そのＩＣソケット６１ｃ（図９）に装着されバ
ーンイン試験の終了したＩＣ６１ａがソケットから取り
外され、新たに試験するＩＣがソケットに装着される。
このとき、欠陥の発見されたＩＣはバーンイン試験前に
除外される。新たなＩＣを装着したバーンインボード
は、再びキャリアに積載される。第１段のバーンインボ
ードのＩＣ交換が終了すると、キャリアを１段下降さ
せ、同様の方法で第２段のバーンインボードのＩＣを交
換する。

【００３９】全段のバーンインボードのＩＣ交換が終了
すると、キャリアを再上昇させた後横移動させ、次のバ
ーンイン試験用に恒温槽に運び出し可能な状態にする。
上段のキャリアの処理が終了すると、下段のキャリアを
横移動させて同様に処理する。この場合には、キャリア
は１段づつ上昇し、最上段のバーンインボードからＩＣ
の交換が始まる。上下２段にキャリア６が積載されたと
きや、ＩＣの交換が完了したとき等には、ＩＣ挿抜機が
これを検知し、その信号をコンピュータ１００に送る。

【００４０】恒温槽７ｉには、４段のキャリアのうち２
台が運び出され２台が残留しているので、ＡＧＶ１は、
コンピュータ１００からの再度の指令又は予め定められ
た動作シーケンスによって、再び恒温槽７ｉの位置に移
動し、残りの２台のキャリアをＡＧＶ上に移載する。こ
のときの移載も、最初の２台のときと同じ方法で行われ
る。

【００４１】例えばＩＣ挿抜機におけるＩＣ交換作業は
１時間程度で行われ、恒温槽におけるバーンイン試験は
１０数時間乃至数１０時間を必要とする。このため、バ
ーンイン設備としてはこのような使用時間の差やばらつ
きを考慮して装置台数等が定められるが、ＩＣの種類や
試験内容その他によって所要時間が大幅に異なるため、
図６に示すようにバーンイン試験済みのキャリア又は試
験前のキャリアを一次的にストックするスタッカ８が設
けられている。

【００４２】例えば前記ＩＣ挿抜機９ｉに２台のキャリ
アが積載されると、７台のＩＣ挿抜機の全てにキャリア
が積載されている状態が発生する可能性がある。このよ
うなときには、恒温槽から移載したキャリアを一次的に
スタッカ８に積み込む。恒温槽から最初の２台のキャリ
アを引き出したときに受け入れ可能なＩＣ挿抜機がない
場合にも同様にする。スタッカ８は、扉を備えず又断熱
構造にはなっていないが、キャリアの収容部分の構造は
恒温槽と同じである。従って、スタッカ８とＡＧＶ１と
の間におけるキャリアの移載は、恒温槽とＡＧＶ間での
移載と同じになるから、スタッカへの移載については説
明を省略する。

【００４３】バーンイン試験が終了し全てのキャリアが
取り出された恒温槽には、適当な時間間隔をおいて、新
たなＩＣを装着したバーンインボードを積載したキャリ
アが入れられる。一方、ＩＣ挿抜機９では常時自動的に
ＩＣの交換作業が行われていて、交換を終了したキャリ
アは直接恒温槽に運ばれるか、又は、受け入れ可能な恒
温槽が無い場合にはスタッカ８に収容される。従って、
恒温槽７ｉには、スタッカ８又はＩＣ挿抜機９の何れか
からキャリアが移載される。このような指示はコンピュ
ータ１００から発信される。

【００４４】スタッカ８又はＩＣ挿抜機９からのキャリ
ア取り出しは、恒温槽７ｉで説明した方法と同じ方法で
行われる。これによりＡＧＶ１に搭載されたキャリアの
恒温槽７ｉへの移載は、ＡＧＶ１からＩＣ挿抜機９ｉへ
の移載で説明した方法と同じ方法で行われる。この場
合、図１１では図示を省略しているが、図７及び図８に
示すように、図７のローラ７４ａ及び図１１のローラ９
１に対して、その両外側にガイドリング７４が設けられ
ているので、恒温槽等のローラ位置に対してＡＧＶに搭
載されたキャリアの位置が多少ずれていても、キャリア
が進入したときにガイドリング７４で案内されて確実に
ローラ上に乗り、以後もこれによって案内されて進み、
傾斜した方向に進むことはない。従って、移載操作が容
易であると共に、恒温槽等の幅方向の寸法を最小にする
ことができる。

【００４５】図６のようなバーンイン設備を持った工場
では、ＩＣ挿抜機９を基準にして、仮に１時間毎に新た
なＩＣを装着したバーンインボードを積載したキャリア
が２台づつできるとすれば、スタッカ８を使用しない最
も効率的な装置運用がなされたとしても、ＡＧＶ１は、
１時間当たりに、ＩＣ挿抜機及び恒温槽との間で７２台
のキャリアの移載をしなければならないことになる。こ
の場合には毎分１台以上のペースになり、従来のよう
に、この作業を人が適当な運搬車両等を用いて行うとす
れば、極めて多人数の作業員が必要になり、又運搬車両
の台数も多くなり、混乱が生じたり能率が低下すること
にもなる。

【００４６】又、無人フォークリフトを用いる場合に
は、既述の如く恒温槽等が大型化すると共に、車両の方
向転換やフォークの高さ方向の位置決め等の余分な工程
によって移載時間が長くなり、更に、フォークの動作ス
ペースのために工場面積を大幅に広くする必要がある。
本発明のＡＧＶを用いれば、最小の工場面積で、容易、
迅速、安全且つ確実にキャリアの移載ができ、上記のよ
うなキャリア移載のハードスケジュールも実行すること
ができる。そして、１台のＡＧＶで多数の恒温槽等の装
置に対応できるので、事故や渋滞等を起こすことなくＡ
ＧＶの交通が円滑になり、一層能率良く移載作業を行う
ことができる。

【００４７】一方、ＡＧＶを通常の構造のキャリア搭載
スペースのみを有するものとし、恒温槽やＩＣ挿抜機に
移載のための装置を設けるとすれば、多数台から成るこ
れらの装置のそれぞれに駆動装置を設けなければならな
い。これに対して、本発明によれば、移動や昇降のため
の駆動装置を１台のＡＧＶのみに設ければよいので、大
幅なコスト低減が図られる。即ち、本発明のＡＧＶと恒
温槽等の通常の自動化技術とを組み合わせることによ
り、高度・高能率の自動化を最低のコストで達成するこ
とができる。

【００４８】以上のように、ＡＧＶを自動走行可能にす
ると共に、下板移動機構４、上板移動機構５及び爪昇降
機構３３を自動化し、ＡＧＶを自動化されたＩＣのバー
ンイン設備に使用すれば極めて大きな効果を発揮する。
しかし、小規模で全自動でないバーンイン設備や、その
他の電気・電子製品等の製造工場等では、ＡＧＶの運行
や上記諸機構を人が機側又は遠隔で操作するような装置
であってもよい。この場合でも、下板及び上板をＡＧＶ
の本体部分から突出させ、爪を引っ掛けてキャリア等の
容器を移載する装置により、従来の方法よりも高能率で
容易且つ安全に容器の移載作業を行うことができる。

【００４９】

【発明の効果】以上の如く本発明によれば、請求項１の
発明においては、物品積載容器移載装置の支持部材は、
本体部分から一方向に突出するように一方向として例え
ば前進方向及びその反対方向として後退方向に移動可能
に支持されていて、これを移動させる第１移動手段が設
けられているので、支持部材を前進させて本体部分から
突出させることができる。一方、移動体は、支持部材の
移動方向と同じ方向に移動可能なように支持部材に支持
されていて、移動体を前後進させる第２移動手段が設け
られているので、移動体を支持部材に対して相対的に前
後進させることができる。更に、支持部材は容器を前後
進容易なように支持でき、又、移動体は容器と結合され
る結合部を備えている。

【００５０】その結果、例えば容器が支持部材上にあ
り、移動体と容器とが結合されると、支持部材を前進さ
せて本体部分から突出させ、移載装置を収容装置に対向
させたときに収容装置との間に不可避的に生ずる間隔を
詰めて支持部材を収容装置に近づけ、移動体を前進させ
て支持部材上で容器を更に前進させ、これを支持部材か
ら収容装置に移載することができる。この場合、支持部
材の容器支持面と収容装置の容器支持面とはほぼ同レベ
ルになっている。

【００５１】一方、支持部材上に容器がない場合には、
上記と同様の動作で移動体を移動させることにより、収
容装置に収容されている容器と移動体の結合部とを結合
させることができる。この結合はロック装置等の種々の
公知の方法によって可能である。結合後、移動体を後退
させて支持部材を後退させることにより、容器を収容装
置から移載装置側に移載することができる。

【００５２】このような装置によれば、支持部材と移動
体とを同じ方向又は反対方向に移動させるだけの１方向
の基本動作によって収容装置と移載装置との間で物品を
移載することができるので、移載動作が極めて容易で、
安全、確実且つ迅速に行われる。又、支持部材及び移動
体を前後進方向から異なった方向に動かす必要がないの
で、そのような動きに対する収容装置の高さ方向及び幅
方向の寸法余裕が不要になり、装置を小型化することが
できる。更に、これらの動作が単純であるため、移動手
段の操作も容易になり、省力化を図ることができ、又移
載装置が遠隔操作や自動運転に適したものになる。

【００５３】請求項２の発明においては、物品積載容器
移載装置が複数のバーンイン装置と複数の半導体製品着
脱装置とを備えたバーンイン設備に用いられる。このよ
うなバーンイン設備では、極めて頻繁且つ高能率に物品
を装置間で移載する必要があるので、上記のような容
易、安全、確実且つ迅速な移載動作や、操作の容易性、
遠隔操作や自動運転への適性が一層有効に利用される。

【００５４】請求項３の発明においては、車輪を駆動手
段で駆動し、これを走行制御手段で制御し、更に移動手
段と第２移動手段とを制御する移載制御手段を設けるの
で、バーンイン装置や半導体製品着脱装置等を通常の技
術によって自動化し、これに通常の制御技術を加えるこ
とにより、容易に自動化されたバーンイン設備を実現す
ることができる。そして、生産能率の向上や無人化乃至
大幅な省人化を図ることができる。この場合、移動手段
や第２移動手段の動作が単純であるため、バーンインボ
ードを搭載した容器の迅速、確実な移載が可能になり、
高能率で信頼性の高いバーンイン試験自動化工場を実現
することができる。

【００５５】なお、バーンイン装置等自体に移載のため
の駆動装置や制御装置を設けるとすれば、それらの数が
非常に多くなり、全体的設備費用が極めて高くなる。従
って、請求項３の発明によれば、バーンイン試験設備の
自動化費用を大幅に低減することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明を適用した物品積載容器移載装置の一例
であるＡＧＶの全体構造を示し、（ａ）は平面図で
（ｂ）は正面図である。

【図２】上記ＡＧＶの側面図である。

【図３】上記ＡＧＶのキャリア搭載部分の構造を示す平
面図である。

【図４】（ａ）は上記ＡＧＶのキャリア搭載部分の構造
を示す正面図で、（ｂ）のその部分拡大図である。

【図５】上記ＡＧＶの爪昇降部分の構造を示し、（ａ）
は平面図で（ｂ）は正面図である。

【図６】上記ＡＧＶを利用したバーンイン試験設備の構
成を示す説明図である。

【図７】上記バーンイン試験設備に用いられるＡＧＶと
恒温槽との間におけるキャリア移載状態を示し、（ａ）
は平面図で（ｂ）は側面図である。

【図８】上記恒温槽のローラ部分の構造を示す側面図で
ある。

【図９】上記恒温槽の一部分におけるバーンインボード
の配置を示す平面図である。

【図１０】（ａ）は上記恒温槽のコネクタ挿抜用爪部材
の斜視図、（ｂ）はバーンインボードの一部分を示す斜
視図である。

【図１１】上記バーンイン試験設備に用いられるＡＧＶ
とＩＣ挿抜機との間におけるキャリア移載状態を示す側
面図である。

【図１２】上記バーンイン試験設備におけるＡＧＶを中
心とした制御系の説明図である。

【符号の説明】

１ ＡＧＶ（物品積載容器移載装置） ２ 下板（支持部材） ３ 上板（移動体） ４ 下板移動機構（第１移動手段） ５ 上板移動機構（第２移動手段） ６ ボードキャリア、キャリア（容器） ７ 恒温槽（収容容器、バーンイン装置） ９ ＩＣ挿抜機（収容容器、半導体製品着脱装
置） １１ 本体部分 １２ 車輪 １３ 走行機構（駆動手段） １４ 走行制御部（走行制御手段） １５ 移載制御部（移載制御手段） ３２ 爪（結合部） ６１ バーンインボード（物品） Ｘ、Ｘ´ 一方向、反対の方向

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 物品を積載した容器を収容できる複数の
   収容装置間で前記容器を移載するための物品積載容器移
   載装置であって本体部分と車輪とを備えたものにおい
   て、 前記本体部分から一方向に突出するように該一方向及び
   その反対方向に移動可能に支持され前記容器を前記方向
   に移動容易に支持できる支持部材と、前記容器と結合さ
   れる結合部を備え前記支持部材に前記方向に移動可能に
   支持される移動体と、前記支持部材を移動させる第１移
   動手段と、前記移動体を移動させる第２移動手段と、を
   有することを特徴とする物品積載容器移載装置。
2. 【請求項２】 前記物品は半導体製品を搭載した複数の
   バーンインボードであり、前記収容装置は少なくとも複
   数のバーンイン装置と複数の半導体製品着脱装置とで構
   成されていることを特徴とする請求項１に記載の物品積
   載容器移載装置。
3. 【請求項３】 前記車輪を駆動する駆動手段と、該駆動
   手段を所定の信号によって制御する走行制御手段と、前
   記移動手段と前記第２移動手段とが所定の時期に作動す
   るように制御する移載制御手段と、を有することを特徴
   とする請求項２に記載の物品積載容器移載装置。