JPH1097070A - 樹脂組成物、永久レジスト樹脂組成物及びこれらの硬化物 - Google Patents
樹脂組成物、永久レジスト樹脂組成物及びこれらの硬化物Info
- Publication number
- JPH1097070A JPH1097070A JP8269171A JP26917196A JPH1097070A JP H1097070 A JPH1097070 A JP H1097070A JP 8269171 A JP8269171 A JP 8269171A JP 26917196 A JP26917196 A JP 26917196A JP H1097070 A JPH1097070 A JP H1097070A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- epoxy
- resin
- resin composition
- polycarboxylic acid
- molecule
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 239000011342 resin composition Substances 0.000 title claims description 16
- 239000004593 Epoxy Substances 0.000 claims abstract description 23
- 239000002253 acid Substances 0.000 claims abstract description 21
- 229920005989 resin Polymers 0.000 claims abstract description 20
- 239000011347 resin Substances 0.000 claims abstract description 20
- 125000003700 epoxy group Chemical group 0.000 claims abstract description 16
- 239000003085 diluting agent Substances 0.000 claims abstract description 9
- 125000002887 hydroxy group Chemical group [H]O* 0.000 claims abstract description 9
- 239000003999 initiator Substances 0.000 claims abstract description 9
- 125000003178 carboxy group Chemical group [H]OC(*)=O 0.000 claims abstract description 7
- 150000007519 polyprotic acids Polymers 0.000 claims abstract description 7
- 150000008065 acid anhydrides Chemical class 0.000 claims abstract description 6
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 claims description 18
- 239000000047 product Substances 0.000 claims description 17
- 238000012663 cationic photopolymerization Methods 0.000 claims description 7
- 239000007795 chemical reaction product Substances 0.000 claims description 7
- 239000002904 solvent Substances 0.000 abstract description 15
- 238000007747 plating Methods 0.000 abstract description 14
- TZCXTZWJZNENPQ-UHFFFAOYSA-L barium sulfate Chemical compound [Ba+2].[O-]S([O-])(=O)=O TZCXTZWJZNENPQ-UHFFFAOYSA-L 0.000 abstract description 4
- 239000003513 alkali Substances 0.000 abstract description 2
- 229910002113 barium titanate Inorganic materials 0.000 abstract description 2
- JRPBQTZRNDNNOP-UHFFFAOYSA-N barium titanate Chemical compound [Ba+2].[Ba+2].[O-][Ti]([O-])([O-])[O-] JRPBQTZRNDNNOP-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract description 2
- 125000002091 cationic group Chemical group 0.000 abstract 2
- 239000000945 filler Substances 0.000 abstract 1
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 20
- 238000000034 method Methods 0.000 description 16
- 239000003822 epoxy resin Substances 0.000 description 14
- 229920000647 polyepoxide Polymers 0.000 description 14
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 13
- 239000000654 additive Substances 0.000 description 9
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 9
- 238000003786 synthesis reaction Methods 0.000 description 9
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 8
- 230000004907 flux Effects 0.000 description 8
- 229920003986 novolac Polymers 0.000 description 8
- 239000000243 solution Substances 0.000 description 8
- RIOQSEWOXXDEQQ-UHFFFAOYSA-N triphenylphosphine Chemical compound C1=CC=CC=C1P(C=1C=CC=CC=1)C1=CC=CC=C1 RIOQSEWOXXDEQQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 8
- 238000011161 development Methods 0.000 description 7
- 239000003208 petroleum Substances 0.000 description 7
- 229910000679 solder Inorganic materials 0.000 description 7
- QTWJRLJHJPIABL-UHFFFAOYSA-N 2-methylphenol;3-methylphenol;4-methylphenol Chemical compound CC1=CC=C(O)C=C1.CC1=CC=CC(O)=C1.CC1=CC=CC=C1O QTWJRLJHJPIABL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- XEKOWRVHYACXOJ-UHFFFAOYSA-N Ethyl acetate Chemical compound CCOC(C)=O XEKOWRVHYACXOJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- -1 PB-13 and EPB-27 Chemical compound 0.000 description 6
- YXFVVABEGXRONW-UHFFFAOYSA-N Toluene Chemical compound CC1=CC=CC=C1 YXFVVABEGXRONW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 230000000996 additive effect Effects 0.000 description 6
- 229930003836 cresol Natural products 0.000 description 6
- VNWKTOKETHGBQD-UHFFFAOYSA-N methane Chemical compound C VNWKTOKETHGBQD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- FPZWZCWUIYYYBU-UHFFFAOYSA-N 2-(2-ethoxyethoxy)ethyl acetate Chemical compound CCOCCOCCOC(C)=O FPZWZCWUIYYYBU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-M Acrylate Chemical compound [O-]C(=O)C=C NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 5
- 239000007864 aqueous solution Substances 0.000 description 5
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 5
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 5
- LYCAIKOWRPUZTN-UHFFFAOYSA-N ethylene glycol Natural products OCCO LYCAIKOWRPUZTN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- LNEPOXFFQSENCJ-UHFFFAOYSA-N haloperidol Chemical compound C1CC(O)(C=2C=CC(Cl)=CC=2)CCN1CCCC(=O)C1=CC=C(F)C=C1 LNEPOXFFQSENCJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 239000000376 reactant Substances 0.000 description 5
- 238000005476 soldering Methods 0.000 description 5
- MOBNLCPBAMKACS-UHFFFAOYSA-N 2-(1-chloroethyl)oxirane Chemical compound CC(Cl)C1CO1 MOBNLCPBAMKACS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- ZWEHNKRNPOVVGH-UHFFFAOYSA-N 2-Butanone Chemical compound CCC(C)=O ZWEHNKRNPOVVGH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- CSCPPACGZOOCGX-UHFFFAOYSA-N Acetone Chemical compound CC(C)=O CSCPPACGZOOCGX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- RTZKZFJDLAIYFH-UHFFFAOYSA-N Diethyl ether Chemical compound CCOCC RTZKZFJDLAIYFH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- BRLQWZUYTZBJKN-UHFFFAOYSA-N Epichlorohydrin Chemical compound ClCC1CO1 BRLQWZUYTZBJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- QIGBRXMKCJKVMJ-UHFFFAOYSA-N Hydroquinone Chemical compound OC1=CC=C(O)C=C1 QIGBRXMKCJKVMJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- IISBACLAFKSPIT-UHFFFAOYSA-N bisphenol A Chemical compound C=1C=C(O)C=CC=1C(C)(C)C1=CC=C(O)C=C1 IISBACLAFKSPIT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- PXKLMJQFEQBVLD-UHFFFAOYSA-N bisphenol F Chemical compound C1=CC(O)=CC=C1CC1=CC=C(O)C=C1 PXKLMJQFEQBVLD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 239000003054 catalyst Substances 0.000 description 4
- JHIVVAPYMSGYDF-UHFFFAOYSA-N cyclohexanone Chemical compound O=C1CCCCC1 JHIVVAPYMSGYDF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- DIOQZVSQGTUSAI-UHFFFAOYSA-N decane Chemical compound CCCCCCCCCC DIOQZVSQGTUSAI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 238000007772 electroless plating Methods 0.000 description 4
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 4
- 239000003960 organic solvent Substances 0.000 description 4
- 229920002120 photoresistant polymer Polymers 0.000 description 4
- UOHMMEJUHBCKEE-UHFFFAOYSA-N prehnitene Chemical compound CC1=CC=C(C)C(C)=C1C UOHMMEJUHBCKEE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 4
- KMOUUZVZFBCRAM-OLQVQODUSA-N (3as,7ar)-3a,4,7,7a-tetrahydro-2-benzofuran-1,3-dione Chemical compound C1C=CC[C@@H]2C(=O)OC(=O)[C@@H]21 KMOUUZVZFBCRAM-OLQVQODUSA-N 0.000 description 3
- VPWNQTHUCYMVMZ-UHFFFAOYSA-N 4,4'-sulfonyldiphenol Chemical class C1=CC(O)=CC=C1S(=O)(=O)C1=CC=C(O)C=C1 VPWNQTHUCYMVMZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- YMWUJEATGCHHMB-UHFFFAOYSA-N Dichloromethane Chemical compound ClCCl YMWUJEATGCHHMB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- WSFSSNUMVMOOMR-UHFFFAOYSA-N Formaldehyde Chemical compound O=C WSFSSNUMVMOOMR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- KFZMGEQAYNKOFK-UHFFFAOYSA-N Isopropanol Chemical compound CC(C)O KFZMGEQAYNKOFK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- DNIAPMSPPWPWGF-UHFFFAOYSA-N Propylene glycol Chemical compound CC(O)CO DNIAPMSPPWPWGF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 150000008064 anhydrides Chemical class 0.000 description 3
- 229920001577 copolymer Polymers 0.000 description 3
- 238000002845 discoloration Methods 0.000 description 3
- NWVVVBRKAWDGAB-UHFFFAOYSA-N hydroquinone methyl ether Natural products COC1=CC=C(O)C=C1 NWVVVBRKAWDGAB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- RAXXELZNTBOGNW-UHFFFAOYSA-N imidazole Natural products C1=CNC=N1 RAXXELZNTBOGNW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 238000007654 immersion Methods 0.000 description 3
- 239000000843 powder Substances 0.000 description 3
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 3
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 3
- ZIKLJUUTSQYGQI-UHFFFAOYSA-N 1-ethoxy-2-(2-ethoxypropoxy)propane Chemical compound CCOCC(C)OCC(C)OCC ZIKLJUUTSQYGQI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- PTBDIHRZYDMNKB-UHFFFAOYSA-N 2,2-Bis(hydroxymethyl)propionic acid Chemical compound OCC(C)(CO)C(O)=O PTBDIHRZYDMNKB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- TXBCBTDQIULDIA-UHFFFAOYSA-N 2-[[3-hydroxy-2,2-bis(hydroxymethyl)propoxy]methyl]-2-(hydroxymethyl)propane-1,3-diol Chemical compound OCC(CO)(CO)COCC(CO)(CO)CO TXBCBTDQIULDIA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- NQBXSWAWVZHKBZ-UHFFFAOYSA-N 2-butoxyethyl acetate Chemical compound CCCCOCCOC(C)=O NQBXSWAWVZHKBZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910002019 Aerosil® 380 Inorganic materials 0.000 description 2
- 229930185605 Bisphenol Natural products 0.000 description 2
- DKPFZGUDAPQIHT-UHFFFAOYSA-N Butyl acetate Natural products CCCCOC(C)=O DKPFZGUDAPQIHT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- VTYYLEPIZMXCLO-UHFFFAOYSA-L Calcium carbonate Chemical compound [Ca+2].[O-]C([O-])=O VTYYLEPIZMXCLO-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 2
- LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N Ethanol Chemical compound CCO LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- UFWIBTONFRDIAS-UHFFFAOYSA-N Naphthalene Chemical compound C1=CC=CC2=CC=CC=C21 UFWIBTONFRDIAS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- CTQNGGLPUBDAKN-UHFFFAOYSA-N O-Xylene Chemical compound CC1=CC=CC=C1C CTQNGGLPUBDAKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- ISWSIDIOOBJBQZ-UHFFFAOYSA-N Phenol Chemical compound OC1=CC=CC=C1 ISWSIDIOOBJBQZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- CDBYLPFSWZWCQE-UHFFFAOYSA-L Sodium Carbonate Chemical compound [Na+].[Na+].[O-]C([O-])=O CDBYLPFSWZWCQE-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 2
- PPBRXRYQALVLMV-UHFFFAOYSA-N Styrene Chemical compound C=CC1=CC=CC=C1 PPBRXRYQALVLMV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- MPIAGWXWVAHQBB-UHFFFAOYSA-N [3-prop-2-enoyloxy-2-[[3-prop-2-enoyloxy-2,2-bis(prop-2-enoyloxymethyl)propoxy]methyl]-2-(prop-2-enoyloxymethyl)propyl] prop-2-enoate Chemical compound C=CC(=O)OCC(COC(=O)C=C)(COC(=O)C=C)COCC(COC(=O)C=C)(COC(=O)C=C)COC(=O)C=C MPIAGWXWVAHQBB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 150000001252 acrylic acid derivatives Chemical class 0.000 description 2
- 150000001338 aliphatic hydrocarbons Chemical class 0.000 description 2
- 150000004945 aromatic hydrocarbons Chemical class 0.000 description 2
- 230000003197 catalytic effect Effects 0.000 description 2
- YCIMNLLNPGFGHC-UHFFFAOYSA-N catechol Chemical compound OC1=CC=CC=C1O YCIMNLLNPGFGHC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 description 2
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 2
- GYZLOYUZLJXAJU-UHFFFAOYSA-N diglycidyl ether Chemical compound C1OC1COCC1CO1 GYZLOYUZLJXAJU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- ZUOUZKKEUPVFJK-UHFFFAOYSA-N diphenyl Chemical compound C1=CC=CC=C1C1=CC=CC=C1 ZUOUZKKEUPVFJK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000007598 dipping method Methods 0.000 description 2
- 238000001035 drying Methods 0.000 description 2
- 150000002148 esters Chemical class 0.000 description 2
- 238000011156 evaluation Methods 0.000 description 2
- 238000007667 floating Methods 0.000 description 2
- VOZRXNHHFUQHIL-UHFFFAOYSA-N glycidyl methacrylate Chemical compound CC(=C)C(=O)OCC1CO1 VOZRXNHHFUQHIL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 2
- FUZZWVXGSFPDMH-UHFFFAOYSA-N hexanoic acid Chemical compound CCCCCC(O)=O FUZZWVXGSFPDMH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- WGCNASOHLSPBMP-UHFFFAOYSA-N hydroxyacetaldehyde Natural products OCC=O WGCNASOHLSPBMP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 description 2
- 150000002576 ketones Chemical class 0.000 description 2
- 238000002156 mixing Methods 0.000 description 2
- TVMXDCGIABBOFY-UHFFFAOYSA-N octane Chemical compound CCCCCCCC TVMXDCGIABBOFY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000007254 oxidation reaction Methods 0.000 description 2
- 150000002989 phenols Chemical class 0.000 description 2
- IEQIEDJGQAUEQZ-UHFFFAOYSA-N phthalocyanine Chemical compound N1C(N=C2C3=CC=CC=C3C(N=C3C4=CC=CC=C4C(=N4)N3)=N2)=C(C=CC=C2)C2=C1N=C1C2=CC=CC=C2C4=N1 IEQIEDJGQAUEQZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000003505 polymerization initiator Substances 0.000 description 2
- 238000006116 polymerization reaction Methods 0.000 description 2
- RUOJZAUFBMNUDX-UHFFFAOYSA-N propylene carbonate Chemical compound CC1COC(=O)O1 RUOJZAUFBMNUDX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- WQGWDDDVZFFDIG-UHFFFAOYSA-N pyrogallol Chemical compound OC1=CC=CC(O)=C1O WQGWDDDVZFFDIG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- CYIDZMCFTVVTJO-UHFFFAOYSA-N pyromellitic acid Chemical compound OC(=O)C1=CC(C(O)=O)=C(C(O)=O)C=C1C(O)=O CYIDZMCFTVVTJO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000011541 reaction mixture Substances 0.000 description 2
- 230000035484 reaction time Effects 0.000 description 2
- 229910052814 silicon oxide Inorganic materials 0.000 description 2
- CNHDIAIOKMXOLK-UHFFFAOYSA-N toluquinol Chemical compound CC1=CC(O)=CC=C1O CNHDIAIOKMXOLK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- ARCGXLSVLAOJQL-UHFFFAOYSA-N trimellitic acid Chemical compound OC(=O)C1=CC=C(C(O)=O)C(C(O)=O)=C1 ARCGXLSVLAOJQL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000008096 xylene Substances 0.000 description 2
- MUTGBJKUEZFXGO-OLQVQODUSA-N (3as,7ar)-3a,4,5,6,7,7a-hexahydro-2-benzofuran-1,3-dione Chemical compound C1CCC[C@@H]2C(=O)OC(=O)[C@@H]21 MUTGBJKUEZFXGO-OLQVQODUSA-N 0.000 description 1
- UOCLXMDMGBRAIB-UHFFFAOYSA-N 1,1,1-trichloroethane Chemical compound CC(Cl)(Cl)Cl UOCLXMDMGBRAIB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- OUPZKGBUJRBPGC-UHFFFAOYSA-N 1,3,5-tris(oxiran-2-ylmethyl)-1,3,5-triazinane-2,4,6-trione Chemical compound O=C1N(CC2OC2)C(=O)N(CC2OC2)C(=O)N1CC1CO1 OUPZKGBUJRBPGC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- QWOZZTWBWQMEPD-UHFFFAOYSA-N 1-(2-ethoxypropoxy)propan-2-ol Chemical compound CCOC(C)COCC(C)O QWOZZTWBWQMEPD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ARXJGSRGQADJSQ-UHFFFAOYSA-N 1-methoxypropan-2-ol Chemical compound COCC(C)O ARXJGSRGQADJSQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- JVYDLYGCSIHCMR-UHFFFAOYSA-N 2,2-bis(hydroxymethyl)butanoic acid Chemical compound CCC(CO)(CO)C(O)=O JVYDLYGCSIHCMR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- TXSZYEYDDYBUSU-UHFFFAOYSA-N 2,2-bis(hydroxymethyl)hexanoic acid Chemical compound CCCCC(CO)(CO)C(O)=O TXSZYEYDDYBUSU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- UHAMPPWFPNXLIU-UHFFFAOYSA-N 2,2-bis(hydroxymethyl)pentanoic acid Chemical compound CCCC(CO)(CO)C(O)=O UHAMPPWFPNXLIU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- OAYXUHPQHDHDDZ-UHFFFAOYSA-N 2-(2-butoxyethoxy)ethanol Chemical compound CCCCOCCOCCO OAYXUHPQHDHDDZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- FALRKNHUBBKYCC-UHFFFAOYSA-N 2-(chloromethyl)pyridine-3-carbonitrile Chemical compound ClCC1=NC=CC=C1C#N FALRKNHUBBKYCC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- XNWFRZJHXBZDAG-UHFFFAOYSA-N 2-METHOXYETHANOL Chemical compound COCCO XNWFRZJHXBZDAG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- POAOYUHQDCAZBD-UHFFFAOYSA-N 2-butoxyethanol Chemical compound CCCCOCCO POAOYUHQDCAZBD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- VEORPZCZECFIRK-UHFFFAOYSA-N 3,3',5,5'-tetrabromobisphenol A Chemical compound C=1C(Br)=C(O)C(Br)=CC=1C(C)(C)C1=CC(Br)=C(O)C(Br)=C1 VEORPZCZECFIRK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- FRIBMENBGGCKPD-UHFFFAOYSA-N 3-(2,3-dimethoxyphenyl)prop-2-enal Chemical compound COC1=CC=CC(C=CC=O)=C1OC FRIBMENBGGCKPD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- UJTRCPVECIHPBG-UHFFFAOYSA-N 3-cyclohexylpyrrole-2,5-dione Chemical compound O=C1NC(=O)C(C2CCCCC2)=C1 UJTRCPVECIHPBG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- RDFQSFOGKVZWKF-UHFFFAOYSA-N 3-hydroxy-2,2-dimethylpropanoic acid Chemical compound OCC(C)(C)C(O)=O RDFQSFOGKVZWKF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ULMZOZMSDIOZAF-UHFFFAOYSA-N 3-hydroxy-2-(hydroxymethyl)propanoic acid Chemical compound OCC(CO)C(O)=O ULMZOZMSDIOZAF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- VATRWWPJWVCZTA-UHFFFAOYSA-N 3-oxo-n-[2-(trifluoromethyl)phenyl]butanamide Chemical compound CC(=O)CC(=O)NC1=CC=CC=C1C(F)(F)F VATRWWPJWVCZTA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- JLBJTVDPSNHSKJ-UHFFFAOYSA-N 4-Methylstyrene Chemical compound CC1=CC=C(C=C)C=C1 JLBJTVDPSNHSKJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229940090248 4-hydroxybenzoic acid Drugs 0.000 description 1
- YXALYBMHAYZKAP-UHFFFAOYSA-N 7-oxabicyclo[4.1.0]heptan-4-ylmethyl 7-oxabicyclo[4.1.0]heptane-4-carboxylate Chemical compound C1CC2OC2CC1C(=O)OCC1CC2OC2CC1 YXALYBMHAYZKAP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- RSWGJHLUYNHPMX-UHFFFAOYSA-N Abietic-Saeure Natural products C12CCC(C(C)C)=CC2=CCC2C1(C)CCCC2(C)C(O)=O RSWGJHLUYNHPMX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910002012 Aerosil® Inorganic materials 0.000 description 1
- RWSOTUBLDIXVET-UHFFFAOYSA-N Dihydrogen sulfide Chemical class S RWSOTUBLDIXVET-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- YCKRFDGAMUMZLT-UHFFFAOYSA-N Fluorine atom Chemical compound [F] YCKRFDGAMUMZLT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- LGRFSURHDFAFJT-UHFFFAOYSA-N Phthalic anhydride Natural products C1=CC=C2C(=O)OC(=O)C2=C1 LGRFSURHDFAFJT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- JUJWROOIHBZHMG-UHFFFAOYSA-N Pyridine Chemical class C1=CC=NC=C1 JUJWROOIHBZHMG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- KHPCPRHQVVSZAH-HUOMCSJISA-N Rosin Natural products O(C/C=C/c1ccccc1)[C@H]1[C@H](O)[C@@H](O)[C@@H](O)[C@@H](CO)O1 KHPCPRHQVVSZAH-HUOMCSJISA-N 0.000 description 1
- 239000006087 Silane Coupling Agent Substances 0.000 description 1
- FZWLAAWBMGSTSO-UHFFFAOYSA-N Thiazole Chemical compound C1=CSC=N1 FZWLAAWBMGSTSO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- GWEVSGVZZGPLCZ-UHFFFAOYSA-N Titan oxide Chemical compound O=[Ti]=O GWEVSGVZZGPLCZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- XSTXAVWGXDQKEL-UHFFFAOYSA-N Trichloroethylene Chemical group ClC=C(Cl)Cl XSTXAVWGXDQKEL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ZJCCRDAZUWHFQH-UHFFFAOYSA-N Trimethylolpropane Chemical compound CCC(CO)(CO)CO ZJCCRDAZUWHFQH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000002378 acidificating effect Effects 0.000 description 1
- 239000012790 adhesive layer Substances 0.000 description 1
- 150000001298 alcohols Chemical class 0.000 description 1
- 125000002723 alicyclic group Chemical group 0.000 description 1
- WNROFYMDJYEPJX-UHFFFAOYSA-K aluminium hydroxide Chemical compound [OH-].[OH-].[OH-].[Al+3] WNROFYMDJYEPJX-UHFFFAOYSA-K 0.000 description 1
- 239000010425 asbestos Substances 0.000 description 1
- 239000002585 base Substances 0.000 description 1
- 239000011230 binding agent Substances 0.000 description 1
- 239000004305 biphenyl Substances 0.000 description 1
- 235000010290 biphenyl Nutrition 0.000 description 1
- 238000009835 boiling Methods 0.000 description 1
- JHIWVOJDXOSYLW-UHFFFAOYSA-N butyl 2,2-difluorocyclopropane-1-carboxylate Chemical compound CCCCOC(=O)C1CC1(F)F JHIWVOJDXOSYLW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910000019 calcium carbonate Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000006229 carbon black Substances 0.000 description 1
- 150000001732 carboxylic acid derivatives Chemical class 0.000 description 1
- 238000010538 cationic polymerization reaction Methods 0.000 description 1
- 239000007809 chemical reaction catalyst Substances 0.000 description 1
- RPBPCPJJHKASGQ-UHFFFAOYSA-K chromium(3+);octanoate Chemical compound [Cr+3].CCCCCCCC([O-])=O.CCCCCCCC([O-])=O.CCCCCCCC([O-])=O RPBPCPJJHKASGQ-UHFFFAOYSA-K 0.000 description 1
- 239000004927 clay Substances 0.000 description 1
- 229910052570 clay Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 description 1
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 1
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 1
- 239000003086 colorant Substances 0.000 description 1
- 239000011889 copper foil Substances 0.000 description 1
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 1
- GUJOJGAPFQRJSV-UHFFFAOYSA-N dialuminum;dioxosilane;oxygen(2-);hydrate Chemical compound O.[O-2].[O-2].[O-2].[Al+3].[Al+3].O=[Si]=O.O=[Si]=O.O=[Si]=O.O=[Si]=O GUJOJGAPFQRJSV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 125000000664 diazo group Chemical group [N-]=[N+]=[*] 0.000 description 1
- XXJWXESWEXIICW-UHFFFAOYSA-N diethylene glycol monoethyl ether Chemical class CCOCCOCCO XXJWXESWEXIICW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000010790 dilution Methods 0.000 description 1
- 239000012895 dilution Substances 0.000 description 1
- XXBDWLFCJWSEKW-UHFFFAOYSA-N dimethylbenzylamine Chemical compound CN(C)CC1=CC=CC=C1 XXBDWLFCJWSEKW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000009713 electroplating Methods 0.000 description 1
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 1
- 239000012467 final product Substances 0.000 description 1
- 229910052731 fluorine Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011737 fluorine Substances 0.000 description 1
- XMBWDFGMSWQBCA-UHFFFAOYSA-N hydrogen iodide Chemical class I XMBWDFGMSWQBCA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000003112 inhibitor Substances 0.000 description 1
- 239000011256 inorganic filler Substances 0.000 description 1
- 229910003475 inorganic filler Inorganic materials 0.000 description 1
- FRCAGVUKJQCWBD-UHFFFAOYSA-L iodine green Chemical compound [Cl-].[Cl-].C1=CC(N(C)C)=CC=C1C(\C=1C=CC(=CC=1)[N+](C)(C)C)=C/1C=C(C)C(=[N+](C)C)C=C\1 FRCAGVUKJQCWBD-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 1
- ZLNQQNXFFQJAID-UHFFFAOYSA-L magnesium carbonate Chemical compound [Mg+2].[O-]C([O-])=O ZLNQQNXFFQJAID-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 1
- 239000001095 magnesium carbonate Substances 0.000 description 1
- 229910000021 magnesium carbonate Inorganic materials 0.000 description 1
- FPYJFEHAWHCUMM-UHFFFAOYSA-N maleic anhydride Chemical compound O=C1OC(=O)C=C1 FPYJFEHAWHCUMM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- QSHDDOUJBYECFT-UHFFFAOYSA-N mercury Chemical compound [Hg] QSHDDOUJBYECFT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052753 mercury Inorganic materials 0.000 description 1
- VYKXQOYUCMREIS-UHFFFAOYSA-N methylhexahydrophthalic anhydride Chemical compound C1CCCC2C(=O)OC(=O)C21C VYKXQOYUCMREIS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000010445 mica Substances 0.000 description 1
- 229910052618 mica group Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000002763 monocarboxylic acids Chemical class 0.000 description 1
- 229910052901 montmorillonite Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000001451 organic peroxides Chemical class 0.000 description 1
- 230000003647 oxidation Effects 0.000 description 1
- TWNQGVIAIRXVLR-UHFFFAOYSA-N oxo(oxoalumanyloxy)alumane Chemical compound O=[Al]O[Al]=O TWNQGVIAIRXVLR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- FJKROLUGYXJWQN-UHFFFAOYSA-N papa-hydroxy-benzoic acid Natural products OC(=O)C1=CC=C(O)C=C1 FJKROLUGYXJWQN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000000206 photolithography Methods 0.000 description 1
- 239000000049 pigment Substances 0.000 description 1
- 229920000728 polyester Polymers 0.000 description 1
- 239000004645 polyester resin Substances 0.000 description 1
- 229920001225 polyester resin Polymers 0.000 description 1
- 229920000642 polymer Polymers 0.000 description 1
- 229920001296 polysiloxane Polymers 0.000 description 1
- 239000004814 polyurethane Substances 0.000 description 1
- 229920002635 polyurethane Polymers 0.000 description 1
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 1
- BDERNNFJNOPAEC-UHFFFAOYSA-N propan-1-ol Chemical compound CCCO BDERNNFJNOPAEC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- LLHKCFNBLRBOGN-UHFFFAOYSA-N propylene glycol methyl ether acetate Chemical compound COCC(C)OC(C)=O LLHKCFNBLRBOGN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229940079877 pyrogallol Drugs 0.000 description 1
- 239000007870 radical polymerization initiator Substances 0.000 description 1
- 239000002994 raw material Substances 0.000 description 1
- 229910052895 riebeckite Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000007650 screen-printing Methods 0.000 description 1
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 1
- 239000000377 silicon dioxide Substances 0.000 description 1
- 239000011734 sodium Substances 0.000 description 1
- 229910052708 sodium Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910000029 sodium carbonate Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000007921 spray Substances 0.000 description 1
- 229940014800 succinic anhydride Drugs 0.000 description 1
- 150000005846 sugar alcohols Polymers 0.000 description 1
- 239000000454 talc Substances 0.000 description 1
- 229910052623 talc Inorganic materials 0.000 description 1
- CIHOLLKRGTVIJN-UHFFFAOYSA-N tert‐butyl hydroperoxide Chemical compound CC(C)(C)OO CIHOLLKRGTVIJN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000010998 test method Methods 0.000 description 1
- 238000012360 testing method Methods 0.000 description 1
- 239000002562 thickening agent Substances 0.000 description 1
- OGIDPMRJRNCKJF-UHFFFAOYSA-N titanium oxide Inorganic materials [Ti]=O OGIDPMRJRNCKJF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- KHPCPRHQVVSZAH-UHFFFAOYSA-N trans-cinnamyl beta-D-glucopyranoside Natural products OC1C(O)C(O)C(CO)OC1OCC=CC1=CC=CC=C1 KHPCPRHQVVSZAH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000012546 transfer Methods 0.000 description 1
- 150000003852 triazoles Chemical class 0.000 description 1
- UBOXGVDOUJQMTN-UHFFFAOYSA-N trichloroethylene Natural products ClCC(Cl)Cl UBOXGVDOUJQMTN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- NIUZJTWSUGSWJI-UHFFFAOYSA-M triethyl(methyl)azanium;chloride Chemical compound [Cl-].CC[N+](C)(CC)CC NIUZJTWSUGSWJI-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- FIQMHBFVRAXMOP-UHFFFAOYSA-N triphenylphosphane oxide Chemical compound C=1C=CC=CC=1P(C=1C=CC=CC=1)(=O)C1=CC=CC=C1 FIQMHBFVRAXMOP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- HVYVMSPIJIWUNA-UHFFFAOYSA-N triphenylstibine Chemical compound C1=CC=CC=C1[Sb](C=1C=CC=CC=1)C1=CC=CC=C1 HVYVMSPIJIWUNA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000005406 washing Methods 0.000 description 1
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
Landscapes
- Materials For Photolithography (AREA)
- Non-Metallic Protective Coatings For Printed Circuits (AREA)
- Production Of Multi-Layered Print Wiring Board (AREA)
- Manufacturing Of Printed Wiring (AREA)
Abstract
であり耐溶剤性、耐メット液性にも優れ、更には、はん
だ付け工程の温度に耐える耐熱性をもそなえたプリント
配線板の製造に特に適した樹脂組成物及びその硬化物を
提供する。 【解決手段】特定の構造を有するエポキシ基含有ポリカ
ルボン酸樹脂(A)、光カチオン重合開始剤(B)及び
希釈剤(C)を含有することを特徴とする樹脂組成物及
びその硬化物。
Description
板用永久レジストとして有用な樹脂組成物及びその硬化
物に関する。
い、銅箔の回路に不要な部分をエッチングにより除去す
るサブトラクテイブ法によって製造されているが、この
サブトラクテイブ法は、ファインパターン、高密度配線
板を形成するのが困難であること、また、小径スルーホ
ール、バイアホールが電気メッキでは均一に行えないこ
となどの欠点を有し、電子機器の高密度化に対応しきれ
なくなっているのが現状である。
板に接着剤層を形成し、そこへ無電解メッキにより回路
及びスルホールを形成するフルアデイテイブ法が注目さ
れている。この方法では導体パターン精度はメッキレジ
ストの転写精度のみで決定され、また導体部分が無電解
メッキのみで形成されるため、高アスペクト比スルホー
ルを有する基板においても、スローイングパワーの高い
均一なスルホールメッキを行うことが可能である。これ
までは一般民生用に適するとされてきたアデイテイブ法
であるが、産業用、高密度、高多層基板製造プロセスと
して実用され始めている。
製造のためのアデイテイブ法では、メッキレジストパタ
ーンはスクリーン印刷法によって転写されているが、高
密度配線を有するプリント配線板を製造するためには、
メッキレジストパターンを写真製板によって形成するこ
と、すなわちフォトレジストを用いたフォトアデイテイ
ブ法を採用することが必要となってくる。フォトアデイ
テイブ法に適したフォトレジストには、感度や解像度、
現像性のようなフォトレジスト本来の特性のほかに、次
のような特性が要求される。現像は、1,1,1−トリ
クロロエタン系有機溶剤又はアルカリ水溶液に限定され
るため、いずれかで現像可能であること、高温、高アル
カリ性条件下で長時間行われる無電解メッキに耐えるこ
と、メッキ処理後、永久レジストとして優れたソルダー
レジスト特性を有すること、はんだ付け工程での260
℃前後の温度にも耐える耐熱性、及びはんだ付け時に用
いるフラックスを洗浄する有機溶剤に対する耐溶剤を有
すること、更には、積層されても基板全体の熱的信頼性
を低下させないことなどである。現在、このアデイテイ
ブ法に使用可能なフォトレジストも市販されているが未
だ十分であるとはいえない。
真法によりパターン精度の良いレジスト形成がアルカリ
水溶液を用いた現像で可能であり、フルアデイテイブ法
の無電解銅メッキ液に十分に耐え、また、はんだ付け工
程の260℃前後の温度にも耐える耐熱性、及びはんだ
付け時に用いるフラックスを洗浄する有機溶剤に対する
耐溶剤性を備えていて、最終製品まで除去することなく
使用される永久レジスト機能組成物及びその硬化物を提
供するところにある。
めに、本発明による樹脂組成物、プリント配線板用永久
レジスト樹脂組成物及びその硬化物は、下記の組成を有
し、永久レジストとしての優れた特性とこのレジスト樹
脂組成物を用いたプリント配線板を製造し得ることを性
能上の特長とするものである。
以上のエポキシ基を有するエポキシ化合物(a)と1分
子中に少なくとも1個以上の水酸基と1個のカルボキシ
ル基を有する化合物(b)の反応物(I)と多塩基酸無
水物(c)との反応物であるエポキシ基含有ポリカルボ
ン酸樹脂(A)、光カチオン重合開始剤(B)及び希釈
剤(C)を含有することを特徴とする樹脂組成物、永久
レジスト樹脂組成物及びその硬化物に関する。
酸樹脂(A)を使用する。(A)成分の具体例として
は、例えば、1分子中に少なくとも2個以上のエポキシ
基を有するエポキシ化合物(a)と1分子中に少なくと
も1個以上の水酸基と1個のカルボキシル基を有する化
合物(b)の反応物(I)と多塩基酸無水物(c)との
反応物等を挙げることができる。(A)成分は、1分子
中に少なくとも2個以上のエポキシ基を有するエポキシ
化合物(a)と1分子中に少なくとも1個以上の水酸基
と1個のカルボキシル基を有する化合物(b)を反応さ
せ、次いでこの反応物(I)と多塩基酸無水物(c)を
反応させることにより得ることができる。
個以上のエポキシ基を有するエポキシ化合物(a)と1
分子中に少なくとも1個以上の水酸基と1個のカルボキ
シル基を有する化合物(b)を反応させることにより得
ることができる。1分子中に少なくとも2個以上のエポ
キシ基を有するエポキシ化合物(a)の具体例として
は、例えば、ノボラック型エポキシ樹脂(例えば、フェ
ノール、クレゾール、ハロゲン化フェノールおよびアル
キルフェノールなどのフェノール類とホルムアルデヒド
とを酸性触媒下で反応して得られるノボラック類とエピ
クロルヒドリンおよび/またはメチルエピクロルヒドリ
ンとを反応させて得られるもの等。市販品としては、日
本化薬(株)製、EOCN−103、EOCN−104
S、EOCN−102、EOCN−1027、EPPN
−201、BREN−S;ダウ・ケミカル社製、DEN
−431、DEN−439;大日本インキ化学工業
(株)製、N−730、N−770、N−865、N−
665、N−673、VH−4150等)、ビスフェノ
ール型エポキシ樹脂(例えば、ビスフェノールA、ビス
フェノールF、ビスフェノールSおよびテトラブロムビ
スフェノールA等のビスフェノール類とエピクロルヒド
リンおよび/またはメチルエピクロルヒドリンとを反応
させて得られるものや、ビスフェノールAあるいはビス
フェノールFのジグリシジルエーテルと前記ビスフェー
ノル類の縮合物とエピクロルヒドリンおよび/またはメ
チルエピクロルヒドリンとを反応させ得られるもの等。
市販品としては、油化シェルエポキシ(株)製、エピコ
ート1004、エピコート1002、エピコート400
2、エピコート4004等。)、トリスフェノールメタ
ン型エポキシ樹脂(例えば、トリスフェノールメタン、
トリスクレゾールメタン等とエピクロルヒドリンおよび
/またはメチルエピクロルヒドリンとを反応させて得ら
れるもの等。市販品としては、日本化薬(株)製、EP
PN−501、EPPN−502等。)、トリス(2,
3−エポキシプロピル)イソシアヌレート、ビフェニル
ジグリシジルエーテル、その他、ダイセル化学工業
(株)製、セロキサイド2021; 三井石油化学工業
(株)製、エポミックVG−3101; 油化シェルエポ
キシ(株)製、E−1031S;日本曹達(株)製、E
PB−13、EPB−27等の脂環式エポキシ樹脂、共
重合型エポキシ樹脂(例えば、グリシジルメタクリレー
トとスチレンとメチルスチレンの共重合体である日本油
脂(株)製、CP−50M、CP−50S、あるいは、
グリシジルメタクリレートとシクロヘキシルマレイミド
などとの共重合体等)。あるいはその他、特殊構造を有
するエポキシ樹脂等を挙げることができる。特に好まし
いものとしては、例えば、クレゾール・ノボラック型エ
ポキシ樹脂、フェノール・ノボラック型エポキシ樹脂等
を挙げることができる。
の水酸基と1個のカルボキシル基を有する化合物(b)
の具体例としては、例えば、ジメチロールプロピオン
酸、ジメチロール酢酸、ジメチロール酪酸、ジメチロー
ル吉草酸、ジメチロールカプロン酸等のポリヒドロキシ
含有モノカルボン酸類、ヒドロキシピバリン酸、p−ヒ
ドロキシ安息香酸等のモノヒドロキシ含有モノカルボン
酸類等を挙げることができる。
(b)の反応は、エポキシ化合物(a)のエポキシ基の
1当量に対して、化合物(b)のカルボン酸0.01〜
0.5モルが好ましく、特に好ましくは、0.1〜0.
3モルである。
トン、シクロヘキサノンなどのケトン類、トルエン、キ
シレン、テトラメチルベンゼンなどの芳香族炭化水素
類、ジプロピレングリコールジメチルエーテル、ジプロ
ピレングリコールジエチルエーテルなどのグリコールエ
ーテル類、酢酸エチル、酢酸ブチル、ブチルセロソルブ
アセテート、カルビトールアセテートなどのエステル
類、オクタン、デカンなどの脂肪族炭化水素、石油エー
テル、石油ナフサ、水添石油ナフサ、ソルベントナフサ
などの石油系溶剤等の有機溶剤類を使用するのが好まし
い。更に、反応を促進させるために触媒(例えば、トリ
フェニルフォスフィン、ベンジルジメチルアミン、メチ
ルトリエチルアンモニウムクロライド、トリフェニルス
チビン、オクタン酸クロム等)を使用することが好まし
く、特に好ましくは、反応終了後、有機過酸化物等を使
用することにより、使用した触媒を酸化処理することに
より、触媒活性を実質的に不活性にする。該触媒の使用
量は、反応原料混合物に対して好ましくは0.1〜10
重量%である。反応中の重合を防止するために、重合防
止剤(例えば、ハイドロキノン、メチルハイドロキノ
ン、p−メトキシフェノール、カテコール、ピロガロー
ル等)を使用するのが好ましく、その使用量は、反応原
料混合物に対して、好ましくは0.01〜1重量%であ
る。反応温度は、60〜150℃である。又、反応時間
は好ましくは5〜30時間である。このようにして反応
物(I)を得ることができる。
(c)(例えば、無水コハク酸、無水マレイン酸、無水
フタル酸、テトラヒドロ無水フタル酸、ヘキサヒドロ無
水フタル酸、メチルヘキサヒドロ無水フタル酸、メチル
エンドメチレンテトラヒドロ無水フタル酸、トリメリッ
ト酸、ピロメリット酸等)の反応は、前記反応物(I)
中の水酸基に対して、水酸基1当量あたり前記の多塩基
酸無水物(c)を0.1〜1.0当量反応させるのが好
ましい。反応温度は60〜150℃が好ましい。反応時
間は、1〜10時間が好ましい。
ポリカルボン酸樹脂(A)の量は、組成物中10〜80
重量%が好ましく、特に15〜60重量%が好ましい。
としては、例えば、
いは、ピリジニウム塩等を挙げることができる。これら
光カチオン重合開始剤(B)は、単独あるいは2種以上
を組合せて用いることができる。
は、本発明の組成物中、0.5〜20重量%が好まし
く、特に好ましくは、1〜10重量%である。
ば、エチルメチルケトン、シクロヘキサノン等のケトン
類、トルエン、キシレン、テトラメチルベンゼン等の芳
香族炭化水素類、メチルセロソルブ、ブチルセロソル
ブ、メチルカルビトール、ブチルカルビトール、プロピ
レングリコールモノメチルエーテル,ジプロピレングリ
コールモノエチルエーテル、ジプロピレングリコールジ
エチルエーテル等のグリコールエーテル類、酢酸エチ
ル、酢酸ブチル、ブチルセロソルブアセテート、カルビ
トールアセテート等のエステル類、エタノール、プロパ
ノール、エチレングリコール、プロピレングリコールな
どのアルコール類、オクタン、デカンなどの脂肪族炭化
水素、石油エーテル、石油ナフサ、水添石油ナフサ、ソ
ルベントナフサ等の石油系溶剤等を挙げることができ
る。
の混合物として用いられ、本発明の組成物に含まれる希
釈剤(C)の量は、組成物中、5〜80重量%が好まし
く10〜70重量%である。
どの特性を向上する目的で必要に応じて、硫酸バリウ
ム、チタン酸バリウム、酸化ケイ素粉、微粉状酸化ケイ
素、無定形シリカ、タルク、クレー、炭酸マグネシウ
ム、炭酸カルシウム、酸化アルミニウム、水酸化アルミ
ニウム、雲母粉等の公知慣用の無機充填剤が使用でき
る。その使用量は、本発明の組成物中の0〜60重量%
が好ましく、特に好ましくは5〜40重量%である。
ー、フタロシアニン・グリーン、アイオジン・グリー
ン、ジスアゾイエロー、クリスタルバイオレット、酸化
チタン、カーボンブラック、ナフタレンブラックなどの
公知慣用の着色剤、ハイドロキノン、ハイドロキノンモ
ノメチルエーテル等の公知慣用の重合禁止剤、アスベス
ト、ベントン、モンモリロナイト等の公知慣用の増粘
剤、シリコーン系、フッ素系高分子系等の消泡剤および
/または、レベリング剤、イミダゾール系、チアゾール
系、トリアゾール系、シランカップリング剤等の密着性
付与剤のような公知慣用の添加剤類を用いることができ
る。
性不飽和化合物の共重合体類や、多価アルコール類と多
塩基酸化合物から合成されるポリエステル樹脂類等の公
知慣用のバインダー樹脂および、エポキシ(メタ)アク
リレート、エポキシ(メタ)アクリレートの多塩基酸無
水物の反応物、ポリエステル(メタ)アクリレート、ポ
リウレタン(メタ)アクリレート等の光重合性オリゴマ
ー類、トリメチロールプロパントリ(メタ)アクリレー
ト,ジペンタエリスリトールペンタ及びヘキサ(メタ)
アクリレート等の光重合性モルマー類、エポキシ樹脂類
もレジストとしての諸特性に影響を及ぼさない範囲で用
いることができる。
前記の割合で配合し、ロールミル等で均一に混合するこ
とにより得られる。
ば次のようにして硬化し、硬化物を得る。即ち、積層板
上に10〜160μmの膜厚で塗布し、塗膜を60〜1
10℃で乾燥させた後、ネガフィルムを塗膜に直接に接
触させ、次いで紫外線を照射し、未露光部分を希アルカ
リ水溶液(例えば、0.5〜2%炭酸ソーダ水溶液等)
で溶解除去(現像)した。水洗乾燥後、全面に紫外線を
照射した後、150℃で30分間加熱硬化し硬化物を得
る。
明する。
(A)の合成例) 合成例1 クレゾール・ノボラック型エポキシ樹脂(日本化薬
(株)製、EOCN−104S、軟化点92℃、エポキ
シ当量220)2200g(10当量)、ジメチロール
プロピオン酸402g(3モル)カルビトールアセテー
ト983.8g及びソルベントナフサ421.6gを仕
込み、90℃に加熱攪拌し、反応混合物を溶解した。次
いで反応液を60℃まで冷却し、トリフェノールフォス
フィン8.0g(0.03モル)を仕込み、100℃に
加熱し、約10時間反応し、酸価(mgKOH/g)が
0.5mgKOH/g以下になったら次いで、50℃ま
で冷却し、ターシャリーブチルハイドロパーオキサイド
2.7g(0.03モル)を仕込み、約1時間反応し反
応触媒であるトリフェニルフォスフィンを酸化し、触媒
としての活性を不活性化した。次いで、テトラヒドロ無
水フタオ酸317.2g(2.09モル)、カルビトー
ルアセテート119.7g及びソルベントナフサ51.
1gを仕込み、95℃で10時間反応を行ないエポキシ
基含有ポリカルボン酸樹脂(A−1)を得た。生成物
(固形分)のエポキシ当量は418で酸価(mgKOH
/g)は40であった。
(株)製、EOCN−104S、軟化点92℃、エポキ
シ当量220)2200g(10当量)、ジメチロール
プロピオン268g(2モル)、カルビトール933.
1g及びソルベントナフサ399.9gを仕込み、90
℃に加熱攪拌、反応混合物を溶解した。次いで反応液を
60℃まて冷却し、トリフェニルフォスフィン7.6g
(0.029モル)を仕込み、100℃に加熱し、約1
0時間反応し、酸価(mgKOH/g)が0.5mgK
OH/g以下になったら、次いで、80℃まで冷却しク
メンハイドロパーオキサイド4.46g(0.029モ
ル)を仕込み、80℃で3時間反応させトリフェニルフ
ォスフィンのトリフェニルフォスフィンオキサイドへの
酸化反応を行ない触媒活性を不活性化した。次いでテト
ラヒドロ無水フタル酸387.8g(2.55モル)、
カルビトールアセテート146.2g及びソルベントナ
フサ62.6gを仕込み、95℃で10時間反応を行な
い、エポキシ基含有ポリカルボン酸樹脂(A−2)を得
た。生成物(固形分)のエポキシ当量は357.9で、
酸価(mgKOH/g)は50であった。
(日本化薬(株)製、EOCN−104S、軟化点92
℃、エポキシ当量220)2200gをフェノール・ノ
ボラック型エポキシ樹脂(日本化薬(株)製、EPPN
−201、軟化点67℃、エポキシ当量200)200
0g(10当量)に変えた以外、合成例1と同一にし
て、反応を行ない、エポキシ基含有ポリカルボン酸樹脂
(A−3)を得た。生成物(固形分)のエポキシ当量
は、390で、酸価(mgKOH/g)は、43であっ
た。
て、永久レジスト樹脂組成物を混合、分散、混練し調製
した。得られた組成物を積層板上に30μmの厚みで塗
布し、80℃で60分間乾燥し、次いでレジスト上にネ
ガマスクを接触させ、超高圧水銀灯を用いて紫外線を照
射した。未露光部分を1.5%Na2 CO3水溶液で6
0秒間、2.0kg/cm2 のスプレー圧で現像した。
(現像前に加熱処理することもできる。)水洗乾燥後、
全面に紫外線を照射後、150℃で30分間加熱処理を
行なった。これを70℃の無電解銅メッキ液に10時間
浸漬し、約20μmの無電解銅メッキ皮膜を形成し、ア
デイテイブ法多層プリント配線板を作製した。このよう
にしてアデイテイブ法多層プリント配線板が得られる過
程でのレジスト特性について評価した結果を表1に示
す。
た。 ×・・・・現像時、少しでも残渣が残っており、現像さ
れない部分がある。 (耐溶剤性)レジスト硬化膜をアセトンに20分間浸漬
しその状態を目視した。 ○・・・・全く変化がなかった。 ×・・・・フクレやハクリが発生した。 (耐メッキ液) ○・・・・無電解銅メッキ工程で全く変化が見られな
い。 ×・・・・無電解銅メッキ工程で変色、フクレやハクリ
が発生した。 (半田耐熱性)JIS C 6481の試験方法に従っ
て、260℃の半田浴への試験片の10秒浸漬を3回又
は2回行ない、外観の変化を評価した。
行い、外観の変化を評価した。 ○・・・・外観変化なし △・・・・硬化膜の変色が認められるもの ×・・・・硬化膜の浮き、剥れ、半田潜りあり 注)使用したポストフラックス(ロジン系):JIS
C 6481に従ったフラックスを使用。
を2回行ない、煮沸水に10分浸漬後、外観の変化を評
価した。 ○・・・・外観変化なし △・・・・硬化膜の変色が認められるもの ×・・・・硬化膜の浮き、剥れ、半田潜りあり 注)使用したレベラー用フラックス:(株)メック製、
W−121 (レジスト組成物のシェルフライフ)レジスト組成物を
40℃に1ケ月放置した後の状態を観察した。 ○・・・・粘度、その他外観に全く変化なし。 △・・・・粘度がやや増加している。 ×・・・・ゲル化している。
製、光カチオン重合開始剤プロピレンカーボネート40
%希釈品。 *2 UVI−6990:ユニオンカーバイド
(株)製、光カチオン重合開始剤。プロピレンカーボネ
ート50%希釈品。 *3 PCI−061:日本化薬(株)製、光カチ
オン重合開始剤黄色粉末、構造式は、
レゾール・ノボラック型エポキシ樹脂、エポキシ当量2
20、軟化点92℃ *5 KAYARAD DPHA:日本化薬(株)
製、ジペンタエリスリトールペンタ及びヘキサアクリレ
ート混合物。 *6 ルシリンTPO:BASF(株)製、光ラジ
カル重合開始剤 *7 アエロジル380:日本アエロジル(株)
製、無水シリカ
は、シエルフライフが長く、希アルカリ水溶液の現像性
に優れ、その硬化物は、耐溶剤性、耐メッキ液、半田耐
熱性に優れている。
組成物及びその硬化物は、高解像度で、かつ、希アルカ
リ水溶液による現像が容易であるにもかかわらず、イソ
プロピルアルコール、トリクロロエチレン、塩化メチレ
ン、アセトンなどに対する耐溶剤性、高温、高アルカリ
性条件下で長時間行われる無電解メッキに対する耐メッ
ト液性に優れ、更には、はんだ付け工程の260℃前後
の温度にも耐える耐熱性をもそなえたプリント配線板の
製造に特に適している。
Claims (3)
- 【請求項1】1分子中に少なくとも2個以上のエポキシ
基を有するエポキシ化合物(a)と1分子中に少なくと
も1個以上の水酸基と1個のカルボキシル基を有する化
合物(b)の反応物(I)と多塩基酸無水物(c)との
反応物であるエポキシ基含有ポリカルボン酸樹脂
(A)、光カチオン重合開始剤(B)及び希釈剤(C)
を含有することを特徴とする樹脂組成物。 - 【請求項2】請求項1記載のエポキシ基含有ポリカルボ
ン酸樹脂(A)、光カチオン重合開始剤(B)及び希釈
剤(C)を含有することを特徴とする永久レジスト樹脂
組成物。 - 【請求項3】請求項1又は2に記載の樹脂組成物の硬化
物。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP26917196A JP3698499B2 (ja) | 1996-09-20 | 1996-09-20 | 樹脂組成物、永久レジスト樹脂組成物及びこれらの硬化物 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP26917196A JP3698499B2 (ja) | 1996-09-20 | 1996-09-20 | 樹脂組成物、永久レジスト樹脂組成物及びこれらの硬化物 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH1097070A true JPH1097070A (ja) | 1998-04-14 |
| JP3698499B2 JP3698499B2 (ja) | 2005-09-21 |
Family
ID=17468676
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP26917196A Expired - Fee Related JP3698499B2 (ja) | 1996-09-20 | 1996-09-20 | 樹脂組成物、永久レジスト樹脂組成物及びこれらの硬化物 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3698499B2 (ja) |
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2005067567A3 (en) * | 2004-01-05 | 2006-07-13 | Microchem Corp | Photoresist compositions and processess of use |
| JP2007017458A (ja) * | 2005-07-05 | 2007-01-25 | Taiyo Ink Mfg Ltd | 着色感光性樹脂組成物及びその硬化物 |
| WO2007010918A1 (ja) * | 2005-07-20 | 2007-01-25 | Toppan Printing Co., Ltd. | アルカリ現像型感光性着色組成物 |
| JP2008026644A (ja) * | 2006-07-21 | 2008-02-07 | Nippon Kayaku Co Ltd | レジスト組成物 |
| WO2009123276A1 (ja) * | 2008-04-04 | 2009-10-08 | 日本化薬株式会社 | 保護基を有するエポキシ化合物及びこれを含有する硬化性樹脂組成物 |
| JP2010237577A (ja) * | 2009-03-31 | 2010-10-21 | Taiyo Ink Mfg Ltd | 光硬化性樹脂組成物 |
| WO2013018635A1 (ja) * | 2011-07-31 | 2013-02-07 | 日本化薬株式会社 | 感光性樹脂組成物及びその硬化物 |
| WO2018043395A1 (ja) * | 2016-08-31 | 2018-03-08 | 東京応化工業株式会社 | ネガ型感光性樹脂組成物、感光性レジストフィルム、パターン形成方法、硬化膜、硬化膜の製造方法 |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP5885269B2 (ja) | 2011-06-20 | 2016-03-15 | 日本化薬株式会社 | ネガ型感光性樹脂組成物及びその硬化物 |
-
1996
- 1996-09-20 JP JP26917196A patent/JP3698499B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (18)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP1706791A4 (en) * | 2004-01-05 | 2010-04-21 | Microchem Corp | PHOTORESISTIC COMPOSITIONS AND USE PROCESSES |
| JP2007518121A (ja) * | 2004-01-05 | 2007-07-05 | マイクロケム コーポレイション | ホトレジスト組成物及びその使用方法 |
| US7282324B2 (en) * | 2004-01-05 | 2007-10-16 | Microchem Corp. | Photoresist compositions, hardened forms thereof, hardened patterns thereof and metal patterns formed using them |
| WO2005067567A3 (en) * | 2004-01-05 | 2006-07-13 | Microchem Corp | Photoresist compositions and processess of use |
| KR101175945B1 (ko) * | 2004-01-05 | 2012-08-23 | 닛뽄 가야쿠 가부시키가이샤 | 포토레지스트 조성물 및 사용방법 |
| JP2007017458A (ja) * | 2005-07-05 | 2007-01-25 | Taiyo Ink Mfg Ltd | 着色感光性樹脂組成物及びその硬化物 |
| WO2007010918A1 (ja) * | 2005-07-20 | 2007-01-25 | Toppan Printing Co., Ltd. | アルカリ現像型感光性着色組成物 |
| US7695895B2 (en) | 2005-07-20 | 2010-04-13 | Toppan Printing Co., Ltd. | Alkali-developable photosensitive color composition |
| JP2008026644A (ja) * | 2006-07-21 | 2008-02-07 | Nippon Kayaku Co Ltd | レジスト組成物 |
| WO2009123276A1 (ja) * | 2008-04-04 | 2009-10-08 | 日本化薬株式会社 | 保護基を有するエポキシ化合物及びこれを含有する硬化性樹脂組成物 |
| JP2010237577A (ja) * | 2009-03-31 | 2010-10-21 | Taiyo Ink Mfg Ltd | 光硬化性樹脂組成物 |
| WO2013018635A1 (ja) * | 2011-07-31 | 2013-02-07 | 日本化薬株式会社 | 感光性樹脂組成物及びその硬化物 |
| JPWO2013018635A1 (ja) * | 2011-07-31 | 2015-03-05 | 日本化薬株式会社 | 感光性樹脂組成物及びその硬化物 |
| US9223212B2 (en) | 2011-07-31 | 2015-12-29 | Nippon Kayaku Kabushiki Kaisha | Photosensitive resin composition and cured product thereof |
| WO2018043395A1 (ja) * | 2016-08-31 | 2018-03-08 | 東京応化工業株式会社 | ネガ型感光性樹脂組成物、感光性レジストフィルム、パターン形成方法、硬化膜、硬化膜の製造方法 |
| JP2018036533A (ja) * | 2016-08-31 | 2018-03-08 | 東京応化工業株式会社 | ネガ型感光性樹脂組成物、感光性レジストフィルム、パターン形成方法、硬化膜、硬化膜の製造方法 |
| KR20190045178A (ko) * | 2016-08-31 | 2019-05-02 | 도오꾜오까고오교 가부시끼가이샤 | 네거티브형 감광성 수지 조성물, 감광성 레지스트 필름, 패턴 형성 방법, 경화막, 경화막의 제조 방법 |
| US11415888B2 (en) | 2016-08-31 | 2022-08-16 | Tokyo Ohka Kogyo Co., Ltd. | Negative type photosensitive resin composition, photosensitive resist film, pattern forming method, cured film, and method of producing cured film |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3698499B2 (ja) | 2005-09-21 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP2877659B2 (ja) | レジストインキ組成物及びその硬化物 | |
| JPH11140144A (ja) | 樹脂組成物及びその硬化物 | |
| KR102031014B1 (ko) | 알칼리 현상형 수지, 그것을 사용한 감광성 수지 조성물 | |
| TWI656403B (zh) | 感光性樹脂組成物、乾膜及印刷線路板(一) | |
| JP3698499B2 (ja) | 樹脂組成物、永久レジスト樹脂組成物及びこれらの硬化物 | |
| JPH11286535A (ja) | 感光性・熱硬化性樹脂組成物及びそれを用いた樹脂絶縁パターンの形成方法 | |
| JP3901658B2 (ja) | 活性エネルギー線硬化性樹脂、及びそれを用いる組成物並びに硬化物 | |
| JP4095163B2 (ja) | プリント配線板用感光性樹脂組成物並びにそれから形成されるソルダーレジスト皮膜や樹脂絶縁層を有するプリント配線板 | |
| JP4400926B2 (ja) | 感光性樹脂組成物並びにその硬化物 | |
| JPH1097068A (ja) | 樹脂組成物、永久レジスト樹脂組成物及びこれらの硬化物 | |
| JP3953851B2 (ja) | 光硬化性・熱硬化性樹脂組成物 | |
| JP3731778B2 (ja) | 樹脂組成物、永久レジスト樹脂組成物及びこれらの硬化物 | |
| JPH1180294A (ja) | 樹脂組成物及びその硬化物 | |
| JPH11242332A (ja) | 樹脂組成物、その硬化物及びプリント配線板 | |
| JPH10301278A (ja) | 樹脂組成物、永久レジスト樹脂組成物及びこれらの硬化物 | |
| JP3976158B2 (ja) | カチオン硬化性レジストインキ組成物及びその硬化物 | |
| JP3395993B2 (ja) | 樹脂組成物、レジストインキ組成物及びその硬化物 | |
| JP2002234932A (ja) | アルカリ水溶液可溶性エポキシカルボキシレート化合物及びそれを用いた感光性樹脂組成物並びにその硬化物 | |
| JPH1143533A (ja) | 樹脂組成物、永久レジスト樹脂組成物及びこれらの硬化物 | |
| JP3953853B2 (ja) | 光硬化性・熱硬化性樹脂組成物 | |
| JP2001329050A (ja) | 光カチオン硬化型樹脂組成物並びにその硬化物 | |
| JPH11140145A (ja) | 樹脂組成物、永久レジスト樹脂組成物及びその硬化物 | |
| JPH1144954A (ja) | 樹脂組成物、永久レジスト樹脂組成物及びこれらの硬化物 | |
| JPH11327139A (ja) | 樹脂組成物及びその硬化物 | |
| JP2002249644A (ja) | 樹脂組成物、ソルダーレジスト樹脂組成物及びこれらの硬化物 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20040922 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20050421 |
|
| A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20050609 |
|
| TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20050704 |
|
| A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20050705 |
|
| R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110715 Year of fee payment: 6 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140715 Year of fee payment: 9 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| S531 | Written request for registration of change of domicile |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313531 |
|
| R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |