JPH1098082A - 最適プロ−ビングモ−ド設定方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 プロ−バにより行われるプロ−ビングエリア
の設定を、ウェハの電極パッド形成部のみで行うように
して、針の保護を計ることができる最適プロ−ビングモ
−ド設定方法を提供すること。 【解決手段】 ウェハ上にマトリクス状に形成された複
数のチップのうち複数のチップ毎にプロ−ブカ−ドを移
動させて検査する検査方式において、上記プロ−ブカ−
ドを移動させる際に、上記プロ−ブカ−ド４２の端部が
上記ウェハを外れないように、同一チップに少なくとも
２回以上接触し、検査領域を一部重ねるようにした。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明はウェハ上に形成され
たチップの良否を判定するプロ−バにおける最適プロ−
ビングモ−ド設定方式に関する。

【０００２】

【従来の技術】マルチタイプのプロ−ブカ−ドは図６に
示すように、例えば４つのチャンネル（ＣＨ１〜ＣＨ
４）を持ち、各チャンネルはウェハ上に形成された４つ
のチップに接触するように設定されていた。そして、各
チャンネル（ＣＨ１〜ＣＨ４）から得られた信号はテス
タ１１に出力されて検査される。

【０００３】そして、このようなマルチタイプのプロ−
ブカ−ドでウェハの検査を行う場合、検査を行うチップ
が形成された領域を重複しないようにプロ−ブカ−ドを
移動するように設定していた。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】したがって、４つのチ
ップの検査が終了する毎に、プロ−ブカ−ドを次に検査
するチップ上に移動させるようにしていた。図４におい
て、２１はプロ−バであり、このプロ−バ２１から針２
２には信号線２３がそれぞれ接続されている。この針２
２はウェハ２４上に形成されたチップのパッド２５に接
触される。プロ−バ２１で得られた信号はテスタ２１ｔ
に送られて検査される。

【０００５】そして、プロ−ブカ−ドをウェハ２４の縁
の方に移動させていくと、針２２の内の一部の針２２ａ
が、ウェハ２４のテ−パ面２６に差し掛かかる場合があ
る。このような場合には、針２２ａがテ−パ面２２に沿
って押し進むため、図５に示すように針２２ａが破線位
置ａから破線位置ｂまで変形してしまうという問題があ
った。

【０００６】本発明は上記の点に鑑みてなされたもの
で、その目的は、プロ−バにより行われるプロ−ビング
エリアの設定を、ウェハの電極パッド形成部のみで行う
ようにして、針の保護を計ることができる最適プロ−ビ
ングモ−ド設定方式を提供することにある。

【０００７】

【課題を解決するための手段】請求項１に係わる最適プ
ロ−ビンクモ−ド設定方法は、ウェハ上にマトリクス状
に形成された複数のチップのうち複数のチップ毎にプロ
−ブカ−ドを移動させて検査する検査方法において、上
記プロ−ブカ−ドを移動させる際に、上記プロ−ブカ−
ドの端部が上記ウェハを外れないように、チップの検査
領域を一部重ねるようにして検査するようにした。

【０００８】請求項２に係わる最適プロ−ビングモ−ド
設定方法は、ウェハ上にマトリクス状に形成された複数
のチップのうち複数のチップ毎にプロ−ブカ−ドを移動
させて検査する検査方法において、上記プロ−ブカ−ド
のうちの特定チャンネルを上記ウェハ上に整合させる手
段と、上記プロ−ブカ−ドが接触したパッドからの信号
を受け付けるかを指定する記憶手段と、この記憶手段に
よりパッドからの信号を受け付ける設定がされている場
合には、パッドからの信号を受け付けて検査する手段と
を具備したことを特徴とする。

【０００９】

【発明の実施の形態】以下図面を参照して本発明の一実
施の形態について説明する。図１において、３１はプロ
−バである。このプロ−バ３１には、例えば図６に示し
たような４チャンネルのプロ−ブカ−ドが装着されてい
る。

【００１０】そして、このプロ−バ３１にはテストヘッ
ド（ＴＨ）３２が設けられている。そして、このテスト
ヘッド（ＴＨ）３２には信号ライン３３を介してテスタ
３４が接続されている。このプロ−バ３１にはプロ−ブ
カ−ドのうち特定のチャンネルをウェハ上に整合させる
手段を備えている。例えば、その手段は以下のように構
成されている。プロ−バ３１の内部メモリには、図３に
示すようにユ−ザ入力情報が設定されている。プロ−バ
３１は、そのユ−ザ入力情報に基づいて検査するチップ
のＸ，Ｙ座標を指令する。

【００１１】テスタ３２には、プロ−バ３１から送られ
てくる信号に基づいてウェハ上の形成されたチップの検
査を行う機能を備えている。図２及び図３を参照してユ
−ザ入力情報について説明する。まず、図２に示すよう
に、ウェハ４１上には、所定の製造工程を経て縦横に複
数のチップが形成されている。４２ａはマルチタイプ
（４ＣＨ）のプロ−ブカ−ドであり、斜め４５度方向に
配列されたチップを４つ同時に検査することができる。
つまり、プロ−ブカ−ド４２は１ＣＨ〜４ＣＨ（４２1
〜４２4 ）のヘッドを有する。

【００１２】そして、ステップ番号１の場合には、プロ
−ブカ−ド４２のチャンネル１の（Ｘｎ，Ｙｎ）座標が
（２，６）にあることを意味する。オンウェ−ハ情報は
プロ−ブカ−ド４２のどのチャンネルからの信号を取り
込むかを指示する情報が設定される。ここで、１の場合
は“オン”、０の場合は“オフ”となっている。つま
り、“１”の場合は、プロ−ブ針から得られた信号をテ
スタ側に送ってテストすることを意味し、“０”の場合
にはプロ−ブ針から得られた信号が無効で有る旨の情報
を送るようにしている。

【００１３】つまり、ステップ番号が“１”の場合に
は、プロ−ブカ−ド４２のチャンネル１のヘッドの（Ｘ
n ，Ｙn ）座標は（２，６）にあり、CH1 ＝０、CH2 ＝
CH3 ＝CH4 ＝１であるために、CH1 からの信号は読み込
まずに、CH2 〜CH4 からの信号を読み込むようにしてい
る。

【００１４】また、ステップ番号が“２”の場合には、
プロ−ブカ−ド４２のチャンネル１のヘッドの（Ｘn ，
Ｙn ）座標は（３，６）にあり、CH1 〜CH4 ＝１である
ため、CH1 〜CH4 からの信号を全て読み込むことを意味
する。

【００１５】さらに、ステップ番号が“３”の場合に
は、プロ−ブカ−ド４２のチャンネル１のヘッドの（Ｘ
n ，Ｙn ）座標は（４，６）にあり、CH1 〜CH3 ＝０
で、CH4＝１であるために、CH4 からの信号のみを読み
込むことになっている。

【００１６】また、ステップ番号が“４”の場合には、
プロ−ブカ−ド４２のチャンネル１のヘッドの（Ｘn ，
Ｙn ）座標は（５，６）にあり、CH1 ＝CH2 ＝０で、CH
3 ＝CH4 ＝１となっているため、CH3 ，CH4 からの信号
のみを読み込むことになっている。

【００１７】また、ステップ番号が“５”の場合には、
プロ−ブカ−ド４２のチャンネル１の（Ｘn ，Ｙn ）座
標は（５，７）にあり、CH1 〜CH3 ＝０で、CH4 ＝１と
なっているため、CH4 からの信号のみを読み込むことに
なっている。

【００１８】さらに、ステップ番号が“６”の場合に
は、プロ−ブカ−ド４２のチャンネル１の（Ｘn ，Ｙn
）座標は（６，７）にあり、CH1 ，CH2 ＝０で、CH3,C
H4 ＝１となっているため、CH3 及びCH4 からの信号の
みを読み込むことになっている。

【００１９】また、ステップ番号が“７”の場合には、
プロ−ブカ−ド４２のチャンネル１の（Ｘn ，Ｙn ）座
標は（６，８）にあり、CH1 〜CH3 ＝０で、CH4 ＝１と
なっているため、CH4 からの信号のみを読み込むことに
なっている。

【００２０】つまり、図２において、プロ−ブカ−ド４
２が４２ｃの位置にあるときには、４２ｄの位置にある
ときと重なっている。このため、プロ−ブカ−ド４２が
４２ｃの位置にあるときには、４２ｄにあるときと、CH
1 〜CH3 が重なっている。

【００２１】従って、プロ−ブカ−ド４２が４２ｃの位
置にあるとき（つまり、チャンネル１の（Ｘn ，Ｙn ）
座標が（４，６）にあるときには、重なっているCH1 〜
CH3からの信号を取らずに、重なっていないCH4 のみ信
号を取るようにしている。

【００２２】このようにして、プロ−ブカ−ド４２で検
査するときに、検査する領域を重ねるようにして、プロ
−ブカ−ド４２の端部のチャンネルのプロ−ブ針がウェ
ハ４１の端部の図４に示したテ−パ２６に接触して変形
しないようにすることができる。

【００２３】つまり、プロ−バ３１は、その検査する領
域が重なった部分に関しては、例えば最初はテストせず
最後の接触にてテストする様にテスタ３２に指示する。
上記実施の形態では、プロ−ブカ−ド４２が４２ｃにあ
るときに検査デ−タを取り込まないようにしたが、プロ
−ブカ−ド４２が４２ｄにあるときに重なっているチャ
ンネルのデ−タを取り込まないようにしても良い。

【００２４】

【発明の効果】請求項１記載の発明によれば、マルチタ
イプのプロ−ブカ−ドでウェハを検査する場合に、マル
チタイプのプロ−ブカ−ドの端にあるプロ−ブのプロ−
ブ針がウェハの端部のテ−パ面にまで入り込んで、プロ
−ブ針を損傷するのを防止することができる。

【００２５】請求項２記載の発明によれば、プロ−ブカ
−ドの検査領域が重なった部分の信号を受け付けないよ
うにしたので、プロ−ブカ−ドが移動する領域を小さく
でき、しかも、マルチタイプのプロ−ブカ−ドの端にあ
るプロ−ブのプロ−ブ針がウェハの端部のテ−パ面にま
で入り込んで、プロ−ブ針を損傷するのを防止すること
ができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施の形態に係わるプロ−バ装置の
概略構成を示すブロック図。

【図２】同実施の形態に係わるウェハの検査領域の状態
を示す図。

【図３】ユ−ザ入力情報を示す図。

【図４】従来のプロ−バ装置でのプロ−ブ針の状態を示
す図。

【図５】従来のプロ−バ装置でのプロ−ブ針の状態を示
す図。

【図６】マルチタイプのプロ−ブカ−ドを示す図。

【符号の説明】

３１…プロ−バ ３２…テストヘッド ３３…信号ライン ３４…テスタ ４２…プロ−ブカ−ド。

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 ウェハ上にマトリクス状に形成された複
   数のチップのうち複数のチップ毎にプロ−ブカ−ドを移
   動させて検査する検査方法において、 上記プロ−ブカ−ドを移動させる際に、上記プロ−ブカ
   −ドの端部が上記ウェハを外れないように、同一チップ
   に少なくとも２回以上接触し、検査するようにした最適
   プロ−ビングモ−ド設定方法。
2. 【請求項２】 ウェハ上にマトリクス状に形成された複
   数のチップのうち複数のチップ毎にプロ−ブカ−ドを移
   動させて検査する検査方法において、 上記プロ−ブカ−ドのうちの特定チャンネルを上記ウェ
   ハ上の特定チップに整合させる手段と、 上記プロ−ブカ−ドが接触したチップ内のパッドからの
   信号を有効とするか否かを指定する記憶手段と、 この記憶手段によりチップ内のパッドからの信号を無効
   とする設定がされている場合には、当該チップに関して
   はテストしない様にする手段とを具備したことを特徴と
   する最適プロ−ビングモ−ド設定方法。