JPH11116280A - 透明の低抵抗被覆を有する透明支持体 - Google Patents
透明の低抵抗被覆を有する透明支持体Info
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- JPH11116280A JPH11116280A JP10215429A JP21542998A JPH11116280A JP H11116280 A JPH11116280 A JP H11116280A JP 10215429 A JP10215429 A JP 10215429A JP 21542998 A JP21542998 A JP 21542998A JP H11116280 A JPH11116280 A JP H11116280A
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- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03C—CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
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- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C28/00—Coating for obtaining at least two superposed coatings either by methods not provided for in a single one of groups C23C2/00 - C23C26/00 or by combinations of methods provided for in subclasses C23C and C25C or C25D
-
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 ４００〜７００ｎｍの波長範囲内でできるだ
け一定の高い透過率を有するような被覆を有し、したが
って赤色光線の印象を回避することができる支持体。 【解決手段】 支持体上に直接に施こされた酸化物層、
この酸化物層上の薄手の透明な金属層およびこの金属層
上の第２の酸化物層を有する透明の低抵抗被覆を有する
透明支持体の場合に、第２の酸化物層（４）上にもう１
つの薄手の透明な酸化物層（５）が設けられており、こ
の酸化物層上にさらに酸化物層（６）が設けられてい
る。
け一定の高い透過率を有するような被覆を有し、したが
って赤色光線の印象を回避することができる支持体。 【解決手段】 支持体上に直接に施こされた酸化物層、
この酸化物層上の薄手の透明な金属層およびこの金属層
上の第２の酸化物層を有する透明の低抵抗被覆を有する
透明支持体の場合に、第２の酸化物層（４）上にもう１
つの薄手の透明な酸化物層（５）が設けられており、こ
の酸化物層上にさらに酸化物層（６）が設けられてい
る。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、支持体上に直接に
施こされた酸化物層、この酸化物層上の薄手の透明な金
属層およびこの金属層上の第２の酸化物層を有する透明
の低抵抗被覆を有する透明支持体に関する。
施こされた酸化物層、この酸化物層上の薄手の透明な金
属層およびこの金属層上の第２の酸化物層を有する透明
の低抵抗被覆を有する透明支持体に関する。
【０００２】
【従来の技術】このような透明支持体は、例えばドイツ
連邦共和国特許出願公開第４２３９３５５号明細書に記
載されており、かつ大面積のディスプレー（モニター）
に使用することができる。この支持体は、４００〜６０
０ｎｍの波長範囲に亘って８０％を超える透過率を有
し、このことは、モニターの使用にとって好ましいこと
である。しかし、波長がよりいっそう大きい場合には、
透過率は、明らかに８０％以下に減少し、それによって
反射の結果として赤色の色印象が生じ、この色印象は、
種々の使用の場合、殊に大面積のディスプレーの場合に
は、差し障りがあるものとして感じられる。被覆は、僅
かな電気抵抗を有しなければならないので、透過率の減
少を阻止するために、金属層の層厚の減少の可能性があ
ってはならない。
連邦共和国特許出願公開第４２３９３５５号明細書に記
載されており、かつ大面積のディスプレー（モニター）
に使用することができる。この支持体は、４００〜６０
０ｎｍの波長範囲に亘って８０％を超える透過率を有
し、このことは、モニターの使用にとって好ましいこと
である。しかし、波長がよりいっそう大きい場合には、
透過率は、明らかに８０％以下に減少し、それによって
反射の結果として赤色の色印象が生じ、この色印象は、
種々の使用の場合、殊に大面積のディスプレーの場合に
は、差し障りがあるものとして感じられる。被覆は、僅
かな電気抵抗を有しなければならないので、透過率の減
少を阻止するために、金属層の層厚の減少の可能性があ
ってはならない。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】本発明は、４００〜７
００ｎｍの波長範囲内でできるだけ一定の高い透過率を
有するような被覆を有し、したがって赤色光線の印象を
回避することができる支持体を開発するという問題に基
づくものである。
００ｎｍの波長範囲内でできるだけ一定の高い透過率を
有するような被覆を有し、したがって赤色光線の印象を
回避することができる支持体を開発するという問題に基
づくものである。
【０００４】
【課題を解決するための手段】この問題は、本発明によ
れば、第２の酸化物層上にもう１つの薄手の透明な酸化
物層が設けられており、この酸化物層上に被覆層として
さらに酸化物層が設けられていることによって解決され
る。
れば、第２の酸化物層上にもう１つの薄手の透明な酸化
物層が設けられており、この酸化物層上に被覆層として
さらに酸化物層が設けられていることによって解決され
る。
【０００５】
【発明の実施の形態】意外なことに、第２の金属層およ
び被覆層によって赤色光線の範囲内で透過率の減少を回
避することができ、この場合、透過率は、残りの目視可
能なスペクトル範囲内で本質的に減少されることがな
い。これら２つの金属層は、それぞれドイツ連邦共和国
特許出願公開第４２３９３５５号明細書に記載の金属層
に等しい層厚を有することができ、したがって全体的に
厚手の金属被覆のために電気抵抗は回避され、かつ８０
％を超える透過率の際に約５．５Ω／□の層系の電気抵
抗を達成することができ、かつ７０％の透過率の際に
２．５Ω／□のみの電気抵抗を達成することができる。
本発明による支持体の製造は、僅かな付加的な費用でス
パッター装置中で行なうことができる。それというの
も、このスパッター装置中には、さらに第１の３つの層
を調節するために金属酸化物を有するターゲットおよび
純粋な金属を有するターゲットが存在していなければな
らないからである。
び被覆層によって赤色光線の範囲内で透過率の減少を回
避することができ、この場合、透過率は、残りの目視可
能なスペクトル範囲内で本質的に減少されることがな
い。これら２つの金属層は、それぞれドイツ連邦共和国
特許出願公開第４２３９３５５号明細書に記載の金属層
に等しい層厚を有することができ、したがって全体的に
厚手の金属被覆のために電気抵抗は回避され、かつ８０
％を超える透過率の際に約５．５Ω／□の層系の電気抵
抗を達成することができ、かつ７０％の透過率の際に
２．５Ω／□のみの電気抵抗を達成することができる。
本発明による支持体の製造は、僅かな付加的な費用でス
パッター装置中で行なうことができる。それというの
も、このスパッター装置中には、さらに第１の３つの層
を調節するために金属酸化物を有するターゲットおよび
純粋な金属を有するターゲットが存在していなければな
らないからである。
【０００６】本発明のもう１つの実施態様によれば、酸
化物層がＩＴＯ層（インジウム−錫−酸化物）である場
合には、支持体は、その被覆に基づいて特に良好な光学
的性質を有する。
化物層がＩＴＯ層（インジウム−錫−酸化物）である場
合には、支持体は、その被覆に基づいて特に良好な光学
的性質を有する。
【０００７】純粋な銀は、白色の外観のために光学的理
由から金属層に最も好適である。しかし、金属層の十分
な硬度を達成するために、金属層が僅かな合金成分の銅
を有する銀からなることは、好ましい。
由から金属層に最も好適である。しかし、金属層の十分
な硬度を達成するために、金属層が僅かな合金成分の銅
を有する銀からなることは、好ましい。
【０００８】本発明による支持体のモニターとしての使
用のために、酸化物層が３０〜７０ｎｍの層厚を有しか
つ金属層が６〜１２ｎｍの層厚を有する場合には、層厚
は、最適に定められている。
用のために、酸化物層が３０〜７０ｎｍの層厚を有しか
つ金属層が６〜１２ｎｍの層厚を有する場合には、層厚
は、最適に定められている。
【０００９】本発明は、種々の実施態様を可能にする。
次に、本発明の基本原理をさらに明らかにするために、
図面を参照することにする。
次に、本発明の基本原理をさらに明らかにするために、
図面を参照することにする。
【００１０】
【実施例】図１は、ガラス状支持体１の部分領域を示
し、この部分領域上には、最初にインジウム−錫−酸化
物（ＩＴＯ）からなる厚さ３０〜７０ｎｍの酸化物層２
がスパッタリングによって施こされていた。その上に
は、僅かな銅成分を合金成分として有する、銀からなる
厚さ６〜１２ｎｍの薄手の金属層３が延在している。更
に、インジウム−錫−酸化物からなる厚さ３０〜７０ｎ
ｍの酸化物層４が続いており、もう１つの金属層５およ
び被覆層としてさらに酸化物層６が引き続いている。２
つの外側層５および６は、等しく得られ、かつ酸化物層
２および金属層３と等しい厚さを有している。
し、この部分領域上には、最初にインジウム−錫−酸化
物（ＩＴＯ）からなる厚さ３０〜７０ｎｍの酸化物層２
がスパッタリングによって施こされていた。その上に
は、僅かな銅成分を合金成分として有する、銀からなる
厚さ６〜１２ｎｍの薄手の金属層３が延在している。更
に、インジウム−錫−酸化物からなる厚さ３０〜７０ｎ
ｍの酸化物層４が続いており、もう１つの金属層５およ
び被覆層としてさらに酸化物層６が引き続いている。２
つの外側層５および６は、等しく得られ、かつ酸化物層
２および金属層３と等しい厚さを有している。
【００１１】図２には、２つのガラス状の被覆された支
持体に関連して、光線の波長に関連する透過率が記載さ
れている。点線で記載された線により、ＩＴＯ、金属お
よびＩＴＯからなる層系を有する公知の支持体について
透過率が記載されている。この透過率は、ほぼ６００ｎ
ｍを上廻る波長で８０％を超えており、さらに７００ｎ
ｍの波長で明らかに６５％に減少している。この減少に
より、このような支持体を有するモニターの場合には、
赤色光線の印象が生じる。
持体に関連して、光線の波長に関連する透過率が記載さ
れている。点線で記載された線により、ＩＴＯ、金属お
よびＩＴＯからなる層系を有する公知の支持体について
透過率が記載されている。この透過率は、ほぼ６００ｎ
ｍを上廻る波長で８０％を超えており、さらに７００ｎ
ｍの波長で明らかに６５％に減少している。この減少に
より、このような支持体を有するモニターの場合には、
赤色光線の印象が生じる。
【００１２】図２には、本発明による被膜を有するガラ
ス状支持体の透過率が実線で示されている。この透過率
は、６００ｎｍまでの波長で公知技術水準による支持体
の場合よりも極く僅かに少ないが、しかし、７００ｎｍ
までの波長で８０％を超えた値に留まり、ひいては赤色
光線の範囲内で減少しない。
ス状支持体の透過率が実線で示されている。この透過率
は、６００ｎｍまでの波長で公知技術水準による支持体
の場合よりも極く僅かに少ないが、しかし、７００ｎｍ
までの波長で８０％を超えた値に留まり、ひいては赤色
光線の範囲内で減少しない。
【図１】本発明による被膜を有する支持体を示す略示断
面図。
面図。
【図２】波長領域に亘って２つの支持体の透過率が記載
されている線図。
されている線図。
１ ガラス状支持体、 ２ 酸化物層、 ３ 薄手の酸
化物層、 ４ 酸化物層、 ５ 金属層、 ６ 酸化物
層
化物層、 ４ 酸化物層、 ５ 金属層、 ６ 酸化物
層
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 ヨハネス シュトレンヴェルク ドイツ連邦共和国 ゲルンハウゼン ヴィ ルヘルム−シェフアー−シュトラーセ ４ (72)発明者 カール−ハインツ クレチュマー ドイツ連邦共和国 ロ−トガウ コブレン ツァ− ヴェーク ３ (72)発明者 ベルトルト オッカー ドイツ連邦共和国 ハーナウ カスターニ エンアレー 67 (72)発明者 ベルント ハインツ ドイツ連邦共和国 アーヘン ブライベル クシュトラーセ 168 (72)発明者 マルクス ベンダー ドイツ連邦共和国 ダルムシュタット ヴ ィルヘルム−グレッシング−シュトラーセ 20
Claims (4)
- 【請求項１】 支持体上に直接に施こされた酸化物層、
この酸化物層上の薄手の透明な金属層およびこの金属層
上の第２の酸化物層を有する透明の低抵抗被覆を有する
透明支持体において、第２の酸化物層（４）上にもう１
つの薄手の透明な酸化物層（５）が設けられており、こ
の酸化物層上に被覆層としてさらに酸化物層（６）が設
けられていることを特徴とする、透明の低抵抗被覆を有
する透明支持体。 - 【請求項２】 酸化物層（２，４，６）がＩＴＯ層（イ
ンジウム−錫−酸化物）である、請求項１記載の透明支
持体。 - 【請求項３】 金属層（３，５）が僅かな合金成分の銅
を有する銀からなる、請求項２記載の透明支持体。 - 【請求項４】 酸化物層（２，４，６）が３０〜７０ｎ
ｍの層厚を有し、かつ金属層（３，５）が６〜１２ｎｍ
の層厚を有する、請求項１から３までのいずれか１項に
記載の透明支持体。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| DE19733053A DE19733053A1 (de) | 1997-07-31 | 1997-07-31 | Transparentes Substrat |
| DE19733053.3 | 1997-07-31 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11116280A true JPH11116280A (ja) | 1999-04-27 |
Family
ID=7837529
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10215429A Pending JPH11116280A (ja) | 1997-07-31 | 1998-07-30 | 透明の低抵抗被覆を有する透明支持体 |
Country Status (3)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH11116280A (ja) |
| KR (1) | KR19990014165A (ja) |
| DE (1) | DE19733053A1 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2005347235A (ja) * | 2004-05-25 | 2005-12-15 | Applied Films Gmbh & Co Kg | 有機発光表面素子の製造方法並びに有機発光表面素子 |
Families Citing this family (11)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2001226148A (ja) * | 1999-12-06 | 2001-08-21 | Nippon Sheet Glass Co Ltd | 熱線遮断ガラス、熱線遮断合わせガラスおよび熱線遮断電熱合わせガラス |
| DE10031280A1 (de) * | 2000-06-27 | 2002-01-24 | Roth & Rauh Oberflaechentechni | Multifunktionale Mehrlagenschicht auf transparenten Kunststoffen und Verfahren zur ihrer Herstellung |
| AU2002229672A1 (en) * | 2000-12-20 | 2002-07-01 | Flabeg Gmbh And Co. Kg | Method for the production of an auxiliary shield for a plasma display and corresponding auxiliary shield produced by said method |
| JP2010503166A (ja) | 2006-09-07 | 2010-01-28 | サン−ゴバン グラス フランス | 有機発光デバイス用基板、基板の使用法およびを製造プロセス、ならびに有機発光デバイス |
| JP5261397B2 (ja) | 2006-11-17 | 2013-08-14 | サン−ゴバン グラス フランス | 有機発光素子用の電極、その酸エッチング、及び、それを組み込んだ有機発光素子 |
| FR2924274B1 (fr) | 2007-11-22 | 2012-11-30 | Saint Gobain | Substrat porteur d'une electrode, dispositif electroluminescent organique l'incorporant, et sa fabrication |
| FR2925981B1 (fr) | 2007-12-27 | 2010-02-19 | Saint Gobain | Substrat porteur d'une electrode, dispositif electroluminescent organique l'incorporant. |
| FR2936358B1 (fr) | 2008-09-24 | 2011-01-21 | Saint Gobain | Procede de fabrication d'un masque a ouvertures submillimetriques pour grille electroconductrice submillimetrique, masque a ouverture submillimetriques, grille electroconductrice submillimetrique. |
| FR2936362B1 (fr) | 2008-09-25 | 2010-09-10 | Saint Gobain | Procede de fabrication d'une grille submillimetrique electroconductrice revetue d'une grille surgrille, grille submillimetrique electroconductrice revetue d'une surgrille |
| FR2944145B1 (fr) | 2009-04-02 | 2011-08-26 | Saint Gobain | Procede de fabrication d'une structure a surface texturee pour dispositif a diode electroluminescente organique et structure a surface texturee |
| FR2955575B1 (fr) | 2010-01-22 | 2012-02-24 | Saint Gobain | Substrat verrier revetu d'une couche haut indice sous un revetement electrode et dispositif electroluminescent organique comportant un tel substrat. |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
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