JPH11120591A - 偏向ミラーの回動位置検出装置 - Google Patents

偏向ミラーの回動位置検出装置

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JPH11120591A
JPH11120591A JP28155197A JP28155197A JPH11120591A JP H11120591 A JPH11120591 A JP H11120591A JP 28155197 A JP28155197 A JP 28155197A JP 28155197 A JP28155197 A JP 28155197A JP H11120591 A JPH11120591 A JP H11120591A
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deflecting mirror
mirror
light receiving
holder
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JP28155197A
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Takashi Takishima
俊 滝島
Toshio Nakagishi
利夫 仲岸
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Pentax Corp
Original Assignee
Asahi Kogaku Kogyo Co Ltd
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 小型、軽量且つ簡単な構成であり、受光素子
の感度差に基づくオフセットを容易に除去することがで
きる偏向ミラーの回動位置検出装置を提供する。 【解決手段】 偏向ミラー31を正面側に保持するミラ
ーホルダー30が回動軸Pを中心に回動可能とされ、ミ
ラーホルダー30の背面側には偏向ミラー31の背面3
1Bを露呈させるための窓部34Bが設けられ、発光素
子と2つの受光素子とを具備するフォトセンサーアッセ
ンブリ41が偏向ミラー31の背面31Bに対向配置さ
れ、偏向ミラー31の背面31B又は正面31Aがフォ
トセンサーアッセンブリ41の発光素子により発光され
た光を反射する反射面として用いられ、この反射面で反
射された光をフォトセンサーアッセンブリ41の一方の
受光素子で受光して出力された受光出力と、他方の受光
素子で受光して出力された受光出力との差動出力に基づ
いて前記偏向ミラーの回動位置を検出する。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】この発明は、光ディスク装
置、光カード等に利用可能な偏向ミラーの回動位置検出
装置に関する。
【0002】
【従来の技術】従来から、偏向ミラーの回動位置検出装
置には、図10に示す構成のものが知られている。図1
0(a)、(b)において、1がベース部材、2がミラ
ーホルダーである。ミラーホルダー2は、サスペンショ
ン部材としての板バネ3により、ベース部材1に揺動可
能に支持されている。ミラーホルダー2の一面には、偏
向ミラー4が設けられている。ミラーホルダー2の他面
には、コイル5が設けられている。ベース部材1には、
コイル5に対向させて、磁気ヨーク部材6が設けられて
いる。ベース部材1の上面には、回路基板7がビス8で
固定されている。回路基板7には、フォトセンサーアッ
センブリ9が設けられている。フォトセンサーアッセン
ブリ9には、その中央に発光素子としてのLEDチップ
9Aが設けられ、その両側に受光素子としてのフォトト
ランジスタ9B、9Bが設けられている。ミラーホルダ
ー2の上面のフォトセンサーアッセンブリ9に対向する
位置には、1個の反射板10が設けられ、LEDチップ
9Aが発光して反射板10で反射した光を、フォトトラ
ンジスタ9B、9Bが受光する構成となっている。
【0003】この種の検出装置では、ミラーホルダー2
がベース部材1に対して矢印A方向に揺動すると、反射
板10はフォトセンサーアッセンブリ9に対して略平行
に移動するので、フォトトランジスタ9B、9Bが受光
する光量に差が生じる。これにより、フォトトランジス
タ9B、9Bの受光出力の差分が変化し、偏向ミラー4
の回動位置が検出される。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】しかし、従来の偏向ミ
ラーの回動位置検出装置では、反射板10をミラーホル
ダー2の上面に設け、回路基板7をベース部材1の上面
に設けて、フォトセンサーアッセンブリ9を反射板10
に対向させる構成であるために、偏向ミラーの回動位置
検出装置が大型化するとともに、回動部の軽量化が難し
いという不都合がある。
【0005】さらに、フォトトランジスタ9B、9Bの
感度に差がある場合、偏向ミラーの中立位置における回
動位置検出信号がゼロとなるようにフォトセンサーアッ
センブリと反射板との相対的位置関係を調整する事が好
ましいが、フォトセンサーアッセンブリが前記回路基板
に設けられているので、レイアウト上、作業上その調整
は困難であり、このため各製品毎に検出回路を工夫して
オフセット調整を行わなければならず、偏向ミラーの回
動位置検出装置の検出回路が複雑化していた。
【0006】この発明の目的は、小型、軽量で且つ簡単
な構成であり、しかも、受光素子の感度差に基づくオフ
セットを容易に除去することができる偏向ミラーの回動
位置検出装置を提供することにある。
【0007】
【課題を解決するための手段】請求項1の発明は、偏向
ミラーを正面側に保持するミラーホルダーが回動軸を中
心に回動可能とされ、前記ミラーホルダーの背面側には
偏向ミラーの背面を露呈させるための窓部が設けられ、
発光素子と2つの受光素子とを具備するフォトセンサー
アッセンブリが前記偏向ミラーの背面に対向配置され、
前記偏向ミラーの背面又は正面が前記フォトセンサーア
ッセンブリの発光素子により発光された光を反射する反
射面として用いられ、該反射面で反射された光を前記フ
ォトセンサーアッセンブリの一方の受光素子で受光して
出力された受光出力と、他方の受光素子で受光して出力
された受光出力との差動出力に基づいて前記偏向ミラー
の回動位置を検出することを特徴とする偏向ミラーの回
動位置検出装置である。
【0008】請求項2の発明は、前記偏向ミラーの背面
に前記発光素子からの光を反射する反射コートを施した
ことを特徴とする請求項1記載の偏向ミラーの回動位置
検出装置である。
【0009】請求項3の発明は、前記偏向ミラーの背面
に前記発光素子からの光を透過する透過コートを施し、
前記偏向ミラーの正面に前記発光素子からの光を反射す
る反射コートを施したことを特徴とする請求項1記載の
偏向ミラーの回動位置検出装置である。
【0010】請求項4の発明は、前記ミラーホルダーが
ベース部材に回動可能に軸支され、該ベース部材に当接
する当接面を有するフォトセンサーホルダーに前記フォ
トセンサーアッセンブリが保持され、前記発光素子と2
つの受光素子とは前記当接面と略平行な面内に配置さ
れ、前記フォトセンサーホルダーが前記当接面を前記ベ
ース部材に対して摺接させながら前記2つの受光素子の
配列方向に沿って移動可能とされていることを特徴とす
る請求項1乃至請求項3のいずれか1項記載の偏向ミラ
ーの回動位置検出装置である。
【0011】請求項5の発明は、前記フォトセンサーホ
ルダーの当接面と前記反射面及び偏向ミラー面とが平行
となる位置を前記ミラーホルダーの回動の基準位置と
し、前記2つの受光素子の配列方向を前記回動軸と直交
させ、前記ミラーホルダーを前記基準位置に保持して且
つ前記当接面を前記ベース部材に対して摺接させながら
前記2つの受光素子の配列方向に沿って前記フォトセン
サーホルダーを移動させることにより、前記2つの受光
素子の感度差に基づくオフセットを除去することを特徴
とする請求項4記載の偏向ミラーの回動位置検出装置で
ある。
【0012】
【発明の実施の形態】この発明の実施の形態について、
図面を用いて説明する。
【0013】[実施の形態1]図1、図2において、2
0がベース部材、30がミラーホルダーである。ミラー
ホルダー30には、その正面に偏向ミラー31が取り付
けられている。偏向ミラー31は、例えば、光ディスク
装置のトラッキングサーボ制御に用いられる。ミラーホ
ルダー30の上部と下部とには、軸受け部32B、32
Aが設けられている。ミラーホルダー30の両側面部に
は、偏平コイル33A、33Bが設けられている。偏平
コイル33A、33Bの末端が通電回路(図示を省略)
に接続されている。ベース部材20には、偏向ミラー3
1と向かい合うように、開口21が設けられている。こ
の開口21に入射する光が偏向ミラー31の正面31A
で反射される。
【0014】ベース部材20は、下板部22Aと上板部
22Bとを有し、下板部22Aには、固定ピボット23
Aが設けられ、上板部22Bには、可動ピボット23B
が設けられている。その固定ピボット軸23A、可動ピ
ボット軸23Bがそれぞれ軸受け部32A、32Bに軸
支されることにより、ミラーホルダー30は図2の矢印
Bの様に揺動可能とされている。ベース部材20の上板
部22Bには、板バネ24Aがビス24Bで固定され、
その板バネ24Aが中間材24Cを介し可動ピボット2
3Bを外側から所定の圧力で押圧している。ベース部材
20の側板部20A、20Bの内部には、永久磁石25
A、25Bが、偏平コイル33A、33Bと向かい合う
ように取り付けられている。ミラーホルダー30は、偏
平コイル33A、33Bに流す電流と永久磁石25A、
25Bとの間の電磁誘導作用により、固定ピボット23
Aと可動ピボット23Bとを結ぶ軸線Pを回動軸として
回動する。
【0015】ミラーホルダー30の背面には、凹部34
Aが設けられ、この凹部34Aには、円形の窓部34B
が設けられている。窓部34Bの深さが、図3に示すよ
うに、偏向ミラー31にまで至るので、偏向ミラー31
の背面31Bが露呈されている。また、ミラーホルダー
30は、窓部34Bから凹部34Aへ向かって広がる傾
斜部34Cを備える。
【0016】その窓部34Bで露呈される背面31Bは
正面31Aと平行であり、後述するフォトセンサーアッ
センブリ41からのLED光101を主に反射する反射
コートが施され、反射面として利用するものである。背
面31Bには、反射コートを施す代わりに、白色塗料を
塗布したり、LED光101を主に反射する反射テープ
を貼ってもよい。
【0017】ベース部材20の背面部20C、20Cに
は、図4に示すように、その上部片隅と下部片隅とにX
方向に細長い案内突起26がそれぞれ形成されている。
各背面部20C、20Cにはフォトセンサーホルダー4
0の当接面40A、40Aが当接し、その案内突起26
はフォトセンサーホルダー40に設けられた切り欠き部
40Bと係合して、フォトセンサーホルダー40を位置
決めする役割を果たす。
【0018】フォトセンサーホルダー40には、フォト
センサーアッセンブリ41が配設されている。フォトセ
ンサーアッセンブリ41は、図5に示すように、発光素
子としてのLED41Aと、受光素子としてのフォトト
ランジスタ41B、41Cとを備える。フォトトランジ
スタ41Bとフォトトランジスタ41Cとは、当接面4
0Aと略平行な同一平面41D上に横に並んで1個のパ
ッケージに収容されている。また、別パッケージのLE
D41Aは、フォトトランジスタ41B、41Cを収容
するパッケージの上方に配置されている。フォトセンサ
ーアッセンブリ41の6本の端子は、フォトセンサーホ
ルダー40の外壁面から外側に出されている。
【0019】フォトセンサーアッセンブリ41のLED
41A、フォトトランジスタ41B、41Cは、図6に
示すように、LED41Aのアノード端子が電源(図示
を省略)のプラス側に接続され、LED41Aのカソー
ド端子が電源のマイナス側に接続され、フォトトランジ
スタ41B、41Cの各コレクタが電源のプラス側に接
続されている。また、フォトトランジスタ41Bのエミ
ッタが差動アンプリファイア43のプラス側に接続さ
れ、フォトトランジスタ41Cのエミッタが差動アンプ
リファイア43のマイナス側に接続されている。差動ア
ンプリファイア43は、フォトトランジスタ41B、4
1Cの受光出力Q1、Q2の差分に基づき、差動出力Q
3を生成する役割を果たす。
【0020】つぎに、この実施の形態1の作用を、フォ
トセンサーホルダー40の当接面40Aと、反射面とし
ての背面31B及び偏向ミラー面としての正面31Aと
が平行となる位置をミラーホルダー30の回動の基準位
置Oとし、フォトセンサーアッセンブリ41のLED4
1Aの中心を通るとともにフォトトランジスタ41Bと
41Cとから等距離にあって、X方向及び軸線Pと直交
する直線上のフォトセンサーアッセンブリ41の位置を
設計中心位置Mとして説明する。
【0021】フォトセンサーアッセンブリ41のLED
41Aから出射されたLED光101は、反射面として
の偏向ミラー31の背面31Bで反射されて、フォトト
ランジスタ41B、41Cで受光される。ミラーホルダ
ー30が軸線Pを中心にして回動すると、背面31Bが
フォトトランジスタ41B側に向くか、または、フォト
トランジスタ41C側に向く。背面31Bがフォトトラ
ンジスタ41B側に向くと、フォトトランジスタ41B
の受光量が増加してフォトトランジスタ41Cの受光量
が減少し、背面31Bがフォトトランジスタ41C側に
向くと、フォトトランジスタ41Bの受光量が減少して
フォトランジスタ41Cの受光量が増加する。このた
め、ミラーホルダー30の回動によって、フォトトラン
ジスタ41B、41Cの各受光出力Q1、Q2に差が生
じる。
【0022】ここで、ミラーホルダー30が基準位置O
にあるときの各受光出力Q1、Q2を等しく設定すれ
ば、いずれの受光出力が大きいかにより、すなわち、差
動出力Q3の正負により、ミラーホルダー30の回動方
向がわかる。また、その差動出力Q3の大きさと回動角
度とに比例関係を持たせておけば、差動出力Q3の大き
さによりミラーホルダー30の回動角度を容易に算出す
ることができる。
【0023】図7(a)は、各フォトトランジスタ41
B、41Cの受光感度が同一で、且つ、LED41Aの
発光強度分布に片寄りがないと仮定したときの、フォト
トランジスタ41B、41Cの出力特性曲線を示してい
る。ミラーホルダー30が回動して、偏向ミラー31の
背面31Bがフォトトランジスタ41Bの方へ向くと、
背面31Bで反射されてフォトトランジスタ41Bに入
射する光の量が増加する。フォトトランジスタ41Bの
受光出力Q1の特性は、反射面の形状、反射面とLED
との距離、LEDの放射角等により変化するが、ここで
は、ミラーホルダーの回転範囲(実線で示した範囲)内
において、図7(a)に示すような略直線状の出力変化
を示す。なお、フォトトランジスタ41Cも、フォトト
ランジスタ41Bと同様な特性であるが、フォトトラン
ジスタ41Bに入射する光の量が増加しているときは、
逆にフォトトランジスタ41Cに入射する光の量は減少
している。
【0024】その受光出力Q1、Q2の差動出力Q3が
図7(b)に示すものとなり、その差動出力Q3のリニ
ア範囲Lを利用すれば、回動角度との間に比例関係を得
る。ここで、受光出力Q1の特性曲線と受光出力Q2の
特性曲線との交点Q4、すなわち、フォトトランジスタ
41Bの出力とフォトトランジスタ41Cの出力とが等
しいとき、差動出力Q3がゼロとなり、これがミラーホ
ルダー30の回動角度の基準位置Oとなる。
【0025】以上の説明では、便宜上、フォトトランジ
スタ41B、41Cの受光感度が同一で、且つ、LED
41Aの発光強度分布に片寄りがないと仮定した。しか
し、実際上、フォトトランジスタ41B、41Cの感度
には差があり、LED41Aの発光強度分布にも片寄り
があるので、図8に示すように、受光出力Q1の特性と
受光出力Q2の特性とには差異がある。この差異がある
と、フォトトランジスタ41Bの出力とフォトトランジ
スタ41Cの出力との等しい点が基準位置Oからオフセ
ットする。つまり、差動出力Q3が基準位置Oでゼロに
ならず、Q3=δとなる。
【0026】この差動出力Q3がゼロになるように、ミ
ラーホルダー30を基準位置Oに保持した状態で、当接
面40Aをベース部材20の背面部20Cに摺接させな
がらX方向に沿ってフォトセンサーホルダー40を反射
面である背面31Bと略平行に移動させる。この移動に
より、背面31Bに対するフォトトランジスタ41B、
41Cの位置が変化するので、背面31Bで反射されて
フォトトランジスタ41B、41Cに入射する光量がそ
れぞれ変化し、その受光出力Q1、Q2が順次変化す
る。すなわち、フォトトランジスタ41B、41Cに感
度差がある場合や、LED41Aの発光強度分布に片寄
りがある場合でも、設計中心位置Mを移動させる事によ
り受光出力Q1、Q2に基づく差動出力Q3が順次変化
し、基準位置Oでの差動出力Q3をゼロにすることがで
きる。
【0027】この実施の形態1によれば、ミラーホルダ
ー30を軸線Pを中心に回動可能とし、偏向ミラー31
の背面31Bを反射面とする構成としたので、別途偏向
角検出用の反射板を必要とせず、コストダウン及び装置
の小型化、軽量化、簡略化を図ることができる。ミラー
ホルダー30の軽量化は、凹部34Aを設けることによ
っても積極的に図っているので、ミラーホルダー30を
回動させる際の応答性は良好なものとなっている。
【0028】また、ミラーホルダー30を基準位置Oに
保持した状態において、案内突起26に沿ってフォトセ
ンサーホルダー40をベース部材20に対して移動させ
ると、フォトセンサーホルダー40は反射面である背面
31Bと略平行にフォトトランジスタ41B、41Cの
配列方向に移動するので、そのフォトトランジスタ41
B、41Cの受光出力Q1、Q2が順次変化するととも
に差動出力Q3も順次変化し、フォトトランジスタ41
B、41Cの感度差に基づくオフセットを容易に除去す
ることができる。
【0029】さらに、LED41Aとして指向性の狭い
ものを用いれば、フォトトランジスタ41Bとフォトト
ランジスタ41Cとの間隔を狭くすることができ、装置
を小型化することができる。このようにフォトトランジ
スタ41B、41Cの間隔を変更したり、あるいは、窓
部34Bの大きさを変更すること等により、回動角度の
検出感度を調整することができるので、設計の自由度を
大きくすることができる。
【0030】[実施の形態2]実施の形態2では、実施
の形態1の偏向ミラー31の正面31Aを、偏向ミラー
面として用いるとともに次のようにして反射面としても
用いている。
【0031】図9に示すように、窓部34Bで露呈され
る背面31Bには、フォトセンサーアッセンブリ41か
らのLED光101を主に透過させる透過コート31C
が施されており、フォトセンサーアッセンブリ41から
のLED光101は背面31Bを透過する。
【0032】偏向ミラー31の正面31Aには、背面3
1Bを透過したLED光101を反射するための反射コ
ート31Dが施され、この反射コート31Dで反射され
たLED光101は、再び透過コート31Cを透過して
フォトトランジスタ41B、41Cに入射する。なお、
反射コート31D上には、さらに、開口21からの光1
02を反射させるための反射コート31Eが施されてい
る。
【0033】このように、偏向ミラー31の正面31A
は、開口21からの光102を反射すると共に、フォト
センサーアッセンブリ41からのLED光101を反射
する反射面としても用いられ、偏向ミラー31の内面反
射が利用されている。
【0034】この実施の形態2によれば、フォトセンサ
ーアッセンブリ41から反射面までの距離が、実施の形
態1の場合と較べて長くなるので、ミラーホルダー30
が回動すると、LED光101の反射光が大きく振れる
ことになる。この結果、回動角度の検出感度を向上させ
ることができる。
【0035】なお、実施の形態1、2では、フォトセン
サーアッセンブリ41のLED41Aを、フォトトラン
ジスタ41B、41Cに対して上方に配置したが、LE
D41Aを下方に配置してもよい。また、LED41A
のパッケージがフォトトランジスタ41B、41Cのパ
ッケージと別であったが、LED41Aとフォトトラン
ジスタ41B、41Cとを同じパッケージに収容したフ
ォトセンサーアッセンブリを用いてもよい。
【0036】実施の形態1、2では、窓部34Bは円形
を呈するが、その形状はこれに限られるものではなく、
LED光101の通過を許容し偏向ミラー31の背面3
1B又は正面31Aを反射面として利用可能とするもの
ならば、例えば四角形等に形成されていても構わない。
【0037】
【発明の効果】本発明は、以上説明したように、ミラー
ホルダーの偏向ミラーを偏向角検出用の反射面として共
用するので、別途反射板を必要とせず、小型、軽量で且
つ簡単な構成にすることができる。
【0038】また、案内突起に沿ってフォトセンサーホ
ルダーを移動させると、当接面をベース部材に対して摺
接させながら2つの受光素子の配列方向に沿ってフォト
センサーホルダーが移動するので、ミラーホルダーを基
準位置に保持しつつそのフォトセンサーホルダーの移動
を行うことによって、2つの受光素子の受光出力が順次
変化してこれらの差動出力も順次変化し、受光素子の感
度差に基づくオフセットを容易に除去することができ
る。
【図面の簡単な説明】
【図1】この発明に係わる偏向ミラーの回動位置検出装
置の要部断面図である。
【図2】図1のI−I断面を示す断面図である。
【図3】反射面の形状を示す図である。
【図4】図1に示すベース部材とフォトセンサーホルダ
ーとを背面部から目視した場合の構成を模式的に示す分
解斜視図である。
【図5】フォトセンサーアッセンブリを示す斜視図であ
る。
【図6】フォトセンサーアッセンブリの電気的接続関係
を示す回路図である。
【図7】フォトセンサーアッセンブリを用いて、ミラー
ホルダーの回動角度の検出の一例を示す説明図であっ
て、(a)は同一感度を有するフォトトランジスタを用
いた場合の出力特性曲線を示し、(b)はその差動出力
曲線を示す。
【図8】感度差のあるフォトトランジスタを用いた場合
の出力特性曲線の一例を示す図であって、その感度差に
よってオフセットが生じる理由の説明図である。
【図9】実施の形態2で形成される反射面での、光の反
射の様子を示す図である。
【図10】従来の偏向ミラーの回動位置検出装置の説明
図であって、(a)は分解斜視図、(b)は側面図であ
る。
【符号の説明】 20 ベース部材 30 ミラーホルダー 31 偏向ミラー 31A 正面 31B 背面 34B 窓部 40 フォトセンサーホルダー 41 フォトセンサーアッセンブリ P 軸線(回動軸)

Claims (5)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 偏向ミラーを正面側に保持するミラーホ
    ルダーが回動軸を中心に回動可能とされ、前記ミラーホ
    ルダーの背面側には偏向ミラーの背面を露呈させるため
    の窓部が設けられ、発光素子と2つの受光素子とを具備
    するフォトセンサーアッセンブリが前記偏向ミラーの背
    面に対向配置され、前記偏向ミラーの背面又は正面が前
    記フォトセンサーアッセンブリの発光素子により発光さ
    れた光を反射する反射面として用いられ、該反射面で反
    射された光を前記フォトセンサーアッセンブリの一方の
    受光素子で受光して出力された受光出力と、他方の受光
    素子で受光して出力された受光出力との差動出力に基づ
    いて前記偏向ミラーの回動位置を検出することを特徴と
    する偏向ミラーの回動位置検出装置。
  2. 【請求項2】 前記偏向ミラーの背面に前記発光素子か
    らの光を反射する反射コートを施したことを特徴とする
    請求項1記載の偏向ミラーの回動位置検出装置。
  3. 【請求項3】 前記偏向ミラーの背面に前記発光素子か
    らの光を透過する透過コートを施し、前記偏向ミラーの
    正面に前記発光素子からの光を反射する反射コートを施
    したことを特徴とする請求項1記載の偏向ミラーの回動
    位置検出装置。
  4. 【請求項4】 前記ミラーホルダーがベース部材に回動
    可能に軸支され、該ベース部材に当接する当接面を有す
    るフォトセンサーホルダーに前記フォトセンサーアッセ
    ンブリが保持され、前記発光素子と2つの受光素子とは
    前記当接面と略平行な面内に配置され、前記フォトセン
    サーホルダーが前記当接面を前記ベース部材に対して摺
    接させながら前記2つの受光素子の配列方向に沿って移
    動可能とされていることを特徴とする請求項1乃至請求
    項3のいずれか1項記載の偏向ミラーの回動位置検出装
    置。
  5. 【請求項5】 前記フォトセンサーホルダーの当接面と
    前記反射面及び偏向ミラー面とが平行となる位置を前記
    ミラーホルダーの回動の基準位置とし、前記2つの受光
    素子の配列方向を前記回動軸と直交させ、前記ミラーホ
    ルダーを前記基準位置に保持して且つ前記当接面を前記
    ベース部材に対して摺接させながら前記2つの受光素子
    の配列方向に沿って前記フォトセンサーホルダーを移動
    させることにより、前記2つの受光素子の感度差に基づ
    くオフセットを除去することを特徴とする請求項4記載
    の偏向ミラーの回動位置検出装置。
JP28155197A 1997-06-27 1997-10-15 偏向ミラーの回動位置検出装置 Withdrawn JPH11120591A (ja)

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US09/492,823 US6285484B1 (en) 1997-06-27 2000-01-27 Rotation detecting system for galvano mirror
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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KR100894653B1 (ko) 2006-04-11 2009-04-24 엔이씨 일렉트로닉스 가부시키가이샤 수광 반도체 장치 및 광 픽업 장치

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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100894653B1 (ko) 2006-04-11 2009-04-24 엔이씨 일렉트로닉스 가부시키가이샤 수광 반도체 장치 및 광 픽업 장치

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