JPH11123685A - 真空把持部材 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【解決手段】 ワーク移動装置側に取付けるシリンダ２
１と、このシリンダ２１内部を第１室３６並びに第２室
３７に区分しつつ移動するピストン４０と、第１室３６
に設けた大気連通孔２９と、第２室３７を貫通しつつピ
ストン４０から延びたピストンロッド４１と、このピス
トンロッド４１の先端に取付けた吸着パッド６０と、こ
の吸着パッド６０を第２室３７に連通するためにピスト
ンロッド４１に開けた連通路４２と、第２室３７に接続
した真空発生手段３３と、第２室３７の容積を拡大する
方向へピストン４０を押す付勢手段３８とから真空把持
部材２０を構成した。 【効果】 パッドのワークの押付け圧力が、ピストンの
上下面の圧力差で決まるり、第２室の容積を拡大する方
向へピストンを押す付勢手段を設けたので、ピストンが
急激に落下することがなく、吸着パッド並びにワークを
傷める心配がない。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は真空把持部材に関す
る。

【０００２】

【従来の技術】真空把持部を備えたワーク移動装置は、
一般にフレームに複数個の吸着パッドを固定的に取付
け、これらの吸着パッドでワークを真空吸着した後、フ
レームを上昇若しくは横移動するものである。

【０００３】この様な装置で、吸着パッドをワークに押
し付けるには、フレーム全体を動かしたり、又は、吸着
パッド専用の昇降用シリンダを設けて行なっていた。フ
レーム全体を動かす場合は、ワークを押し潰す虞れがあ
り、吸着パッド専用の昇降用シリンダを設ける場合は、
昇降用シリンダの空圧コントロールが必要で制御回路が
複雑になっていた。また、ワークの吸着面が平坦であれ
ば問題はないが、凹凸がある場合若しくは傾斜している
場合は吸着パッドが正しく吸着せずに吸着不良になって
いた。

【０００４】そこで、例えば特公昭４０−１４４９９号
公報「硝子板又は板状体截替装置」では、同公報第１図
に示されるように、真空チャック１６をコイルスプリン
グ（緩衝用発条）で付勢し、ある程度真空チャック１６
が移動できるようにしたものである。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】しかし、上記コイルス
プリングは、圧縮代に比例した反力を発生するため、真
空チャック１６を過度にワークに押付け、真空チャック
１６自身を傷める虞れがある。従って、コイルスプリン
グは一過性の衝撃力吸収にのみ有効であるから、凹凸を
有したり、傾斜しているワークには不適である。そこ
で、本発明の目的は、吸着パッドに過大な反力を作用さ
せる心配がなく且つ、被吸着面が傾いた場合でも、安定
した吸着を確保できる技術を提供することにある。

【０００６】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に本発明の請求項１は、ワーク移動装置に取付ける真空
把持部材において、この真空把持部材を、ワーク移動装
置側に取付けるシリンダと、このシリンダ内部を第１室
並びに第２室に区分しつつ移動するピストンと、第１室
に設けた大気連通孔と、第２室を貫通しつつピストンか
ら延びたピストンロッドと、このピストンロッドの先端
に取付けた吸着パッドと、この吸着パッドを第２室に連
通するためにピストンロッドに開けた連通路と、第２室
に接続した真空発生手段と、第２室の容積を拡大する方
向へピストンを押す付勢手段とから構成した。真空発生
手段を作動すると、第２室が負圧になり、ピストンに掛
かる圧力差により、ピストンはストロークを伸ばす方向
に移動し、吸着パッドがワークに当接すると直ちに吸着
するので、真空把持部材の正確な位置決め制御が不要で
ある。また、吸着パッドのワークの押付け圧力が、ピス
トンの上下面の圧力差で決まり、第２室の容積を拡大す
る方向へピストンを押す付勢手段を設けたので、ピスト
ンが急激に落下することがなく、吸着パッド並びにワー
クを傷める心配がない。真空発生手段の作動を止める
と、吸着パッドはワークの吸着を解除し、第１室と第２
室は圧力バランスし付勢手段によりピストンはストロー
クを縮める方向に移動するので、ワークの吸着解除後、
直ちに、ワーク移動装置を移動しても、ピストンロッド
がワークに当たってワークを引き摺る虞れはない。

【０００７】請求項２は、連通路に、ワークに当ってい
るときに開き、その他では閉じる弁機構を介設したこと
を特徴とする。ワークの吸着から吸着解除までの吸着パ
ッドに真空が必要なときにだけ開く弁機構を内蔵したこ
とにより、真空把持部材の吸着のための真空の制御が確
実におこなえる。

【０００８】請求項３は、連通路に、第２室側が吸着パ
ッド側より低圧のときに閉じるが弁体に明けた小孔を通
じて少量の空気が流れ、第２室側が吸着パッド側より高
圧もしくは同圧のときに開く小孔付きの弁機構を介設し
たことを特徴とする。複数個の真空把持部材を１台の真
空発生手段で作動させる場合に、ある１個の真空把持部
材が吸着不良で吸着パッドが大気に開放状態になった
時、この吸着不良の真空把持部材の空気流路の真空発生
手段側の圧力は吸着パッド側圧力より低くなるので、こ
の弁機構の空気流路は小孔のみになり、通過空気量は少
なく真空発生手段の発生する真空度に、ほとんど影響を
与えない。従って、他の吸着状態の吸着パッドが吸着力
を失うことはない。

【０００９】

【発明の実施の形態】本発明の実施の形態を添付図に基
づいて以下に説明する。なお、図面は符号の向きに見る
ものとする。以下、真空とは、物理学上の完全真空をい
うのではなく、吸着に必要な程度の真空度をいう。図１
は、本発明に係るワーク移動装置の斜視図であり、ワー
ク移動装置１は、自走台車２と、この自走台車２に載せ
た昇降平行リンク３と、この昇降平行リンク３の上端に
取付けた多段伸縮アーム付きスライダー４と、この多段
伸縮アーム付きスライダー４の先端に取付けた昇降フレ
ーム５とからなる。自走台車２は、車体６に前輪７，７
と後輪８，８（片側不図示）とを取付け、自走するもの
であり、昇降平行リンク３は、昇降用の平行リンク９，
９は図示しないギヤを介して反転し、平行リンク９，９
の先端に設けた多段伸縮アーム付きスライダー４を昇降
するものであり、多段伸縮アーム付きスライダー４は、
左右に移動させるスライダー１０に第１連結移動アーム
１１及び第２連結移動アーム１２を図示しないロッドレ
スシリンダにて前後に伸縮するものであり、昇降フレー
ム５は、真空把持部材２０…（…は複数を示す。以下同
様。）を取付けワークＷを吸着把持するものである。

【００１０】図２は、本発明に係る真空把持部材の断面
図であり、真空把持部材２０は、シリンダ２１と、この
シリンダ２１の上部に捩じ込んだ蓋２２と、シリンダ２
１内を摺動するピストン４０と、このピストン４０の下
面から下方に延ばしたピストンロッド４１と、このピス
トンロッド４１の下端に設けた弁機構５０と、この弁機
構５０の下端に設けた吸着パッド６０とからなる。

【００１１】シリンダ２１は、内部に設けた蓋２２の締
結用の雌ねじ２３と、この雌ねじ２３の下部のピストン
摺動孔２４と、このピストン摺動孔２４に続く下部にば
ね収納孔２５と、このばね収納孔２５に続く仕切り孔２
６と、この仕切り孔２６の下部のパッキン収納孔２７
と、このパッキン収納孔２７の下部の逃し孔２８とを備
え、また、雌ねじ２３と、ピストン摺動孔２４との間に
は大気連通孔２９…と、外面からばね収納孔２５に通じ
る貫通孔３０と、この貫通孔３０に通じる継手３１とを
備えたものである。継手３１から延びたチューブ３２の
他端には真空発生手段としてのエジェクタ３３を設け
た。３４はパッキンであり、３５はパッキン押えであ
る。

【００１２】エジェクタ３３は、図示しない内部に備え
た狭まり管に、外部から高速の空気を通すと、狭まり部
に真空を発生させるものであり、前記狭まり部にチュー
ブ３２、継手３１及び貫通孔３０を介してシリンダ２１
内部に接続したので、シリンダ２１内部の空気を吸引
し、真空にするものである。また、高速の空気を止める
と、狭まり部には大気圧が作用し、チューブ３２、継手
３１及び貫通孔３０を介してシリンダ２１内部にも大気
圧が作用することになる。以下、エジェクタ３３を作動
させるとは、上述の狭まり管に高速の空気を通した時の
作用をいい、エジェクタ３３の作動を止めるとは、空気
を止めればよい。

【００１３】ピストン４０の上面を４０ａとし、上面４
０ａ上のピストン摺動孔２４とピストン摺動孔２４から
上の蓋２２の下端までを第１室３６とすると、第１室３
６の上部に大気連通孔２９…を設けたので、第１室３６
には常に大気圧が作用する。ピストン４０の下面を４０
ｂとし、下面４０ｂ下のピストン摺動孔２４とばね収納
孔２５を第２室３７とすると、第２室３７には、貫通孔
３０、継手３１及びチューブ３２を介してエジェクタ３
３に接続しているので、エジェクタ３３の作動時には、
真空が作用し、エジェクタ３３の作動を止めると大気圧
が作用する。ばね収納孔２５の下部面２５ａと、ピスト
ン４０の下面４０ｂの間に、第２室３７の容積を拡大す
る方向へピストン４０を押す付勢手段としての圧縮ばね
３８を設ける。ピストン４０の下面４０ｂから第２室３
７を貫通しつつ延びたピストンロッド４１は、軸心を通
り、一端をロッド下端４１ａに開口し、他端を第１室３
６に開口した連通路４２を備える。連通路４２のピスト
ンロッド下端４１ａの開口部を４２ａとし、第１室３６
の開口部を４２ｂとする。ピストン４０は、第１室３６
に作用する圧力即ち、大気圧と、第２室３７に作用する
圧力及び圧縮ばね３８とによって力を受け、ピストン摺
動孔２４内を摺動するものである。

【００１４】弁機構５０は、弁箱５１と、この弁箱５１
の下端に取付けた弁座５２と、一端を弁箱５１内とし他
端を吸着パッド６０内に突出した側面視略十字状の段付
き円柱の弁体５３と、弁箱５１内に設け弁体５３を吸着
パッド６０側に付勢する圧縮ばね５４と、弁機構５０内
において空気流路を遮断するＯリング５５とからなる。
５６はロックナットである。弁体５３は、ワークＷの吸
着時及び吊り上げ時において、吸着パッド６０がワーク
Ｗに当っているときに、弁体５３の下端５３ｄもワーク
Ｗに当って、弁体５３を後退するように吸着パッド６０
内へ弁体５３の下部を突出させたものである。なお、弁
体５３の大径部を５３ａ、その下部面を５３ｂ、下部小
径部を５３ｃとする。

【００１５】ピストンロッド４１に開けた連通路４２に
続く空気通孔として弁箱５１内の空間を形成する段付き
柱状空間の小径部を５１ａ、大径部を５１ｂとし、ま
た、弁座５２の上面を５２ａ、上下貫通孔を５２ｂとす
る。弁機構５０が開の状態とは、弁体５３の下端５３ｄ
がワークＷに当り、弁体５３が上方に後退し、弁体５３
に密着したＯリング５５も上がり、Ｏリング５５と弁座
５２の上面５２ａとの間に隙間ができ、この隙間が空気
流路となる状態をいう。また、弁機構５０が閉の状態と
は、弁体５３の上下の圧力に関係なく、弁体５３の下端
５３ｄがワークＷに当っていない場合には、圧縮ばね５
４の押付け力により、弁体５３が下方に下がり、弁体に
５３に密着したＯリング５５も下がり、弁体５３の大径
部下部面５３ｂとＯリング５５とが密着し、またＯリン
グ５５と弁座５２の上面５２ａとが密着して、弁体５３
内部の柱状空間の大径部５１ｂと弁座５２の上下貫通孔
５２ｂとの連通を遮断し、エジェクタ３３から吸着パッ
ド６０への空気流路が連通しない状態をいう。

【００１６】パッド６０内の空気は、上下貫通孔５２ｂ
と下部小径部５３ｃとの隙間が形成する空気流路Ａ、上
面５２ａとＯリング５５との隙間が形成する空気流路
Ｂ、弁箱５１内の大径部５１ｂと弁体５３の大径部５３
ａとの隙間が形成する空気流路Ｃを経て弁箱５１内の柱
状空間に入り、更にピストンロッド４１内の連通路４２
を経て第２室３７に入り、第２室３７から貫通孔３０、
継手３１及びチューブ３２を介してエジェクタ３３に至
る空気流路を通り排気される。なお、ピストン４０のス
トロークは、ピストン４０の上限の位置、即ちピストン
４０が圧縮ばね３８に付勢されて上方に上がり、ロック
ナット５６がパッキン押え３５に当接したときのピスト
ン４０の位置から、第２室３７が真空になりピストン４
０が下がり、ピストン４０の下限の位置即ちピストン下
面４０ｂがピストン摺動孔下部面２４ａに当接する位置
までの距離をいう。なお、真空発生手段はエジェクタに
限らず、真空ポンプでもよい。

【００１７】４０ｃはピストン４０に設けたマグネッ
ト、４３は第１室３６内に設けたリードスイッチ４３で
あり、これにより、ピストン４０の上下動を感知するこ
とが可能になる。例えば、ピストン４０の上下動で移載
したワークＷを所定の場所に下ろしたことを検出し、適
宜、供給エアーをストップして吸着パッド６０からワー
クＷを切り離すなどの制御に利用することができる。ま
た、５３ｅは逆止弁５０に設けたマグネット、５１ｃは
弁箱５１に設けたリードスイッチであり、これにより、
逆止弁５０の上下動を感知することが可能になる。例え
ば、逆止弁５０の上下動で吸着パッド６０の伸縮を検知
し、移載したワークＷを所定の場所に下ろしたことを検
出することができ、適宜、供給エアーをストップして吸
着パッド６０からワークＷを切り離すなどの制御に利用
することができる。

【００１８】以上に述べた真空把持部材２０の作用を次
に説明する。図３（ａ），（ｂ），（ｃ）は、本発明に
係る真空把持部材の吸着時の断面図である。（ａ）は、
エジェクタ３３（図２参照）作動前の真空把持部材２０
の断面図であり、ピストン上面４０ａ及びピストン下面
４０ｂに作用する圧力は、共に大気圧であってバランス
しているため、圧縮ばね３８により押し上げられて、ピ
ストン４０は上限の位置にあり、ピストンロッド４１に
取付けられた吸着パッド６０も、引き上げられ上限の位
置にある。この図のピストン下面４０ｂの位置から、ピ
ストン下面４０ｂがピストン摺動孔下部面２４ａに当接
する位置までがピストンのストロークＳである。吸着パ
ッド６０下面とワークＷ上面との距離をＴとすると、Ｔ
＜Ｓの位置になるように吸着パッド６０をワークＷに近
づければ、吸着可能である。従って、昇降フレーム５又
は真空把持部材２０を精度よくワークＷに近付ける必要
はなく、位置決め制御は容易である。弁機構５０は、圧
縮ばね５４により、弁体５３は下方に押付けられ、閉じ
た状態である。

【００１９】（ｂ）において、エジェクタ３３（図２参
照）を作動させると、ピストン４０の下面４０ｂ下の第
２室３７は真空になり、ピストン４０の上面４０ａ上に
作用する大気圧との圧力差により、ピストン４０にかか
る上方から下方への力が発生し、圧縮ばね３８の下方か
ら上方へ押し上げる力に抗して、ピストン４０は、下が
り始める。弁機構５０の弁体５３の下端５３ｄはワーク
Ｗに当る前であり、弁機構５０は閉じた状態である。

【００２０】（ｃ）において、ピストン４０は下がり、
弁機構５０の弁体５３の下端５３ｄがワークＷに当た
り、弁体５３が押し上げられることで、弁機構５０は開
く。また、吸着パッド６０はワークＷに当接する。弁機
構５０が開くことで、エジェクタ３３（図２参照）は吸
着パッド６０内の空気を排気して真空にし、吸着パッド
６０はワークＷに吸着する。従って、エジェクタ３３の
起動操作のみの単純な操作で、ピストン４０の下降から
吸着パッド６０のワークＷの吸着までの制御ができる。

【００２１】図４は、本発明に係る真空把持部材のワー
クの吊り上げ時の断面図である。（ａ）において、パッ
ド６０が吸着したワークＷの荷重はピストンロッド４１
を介してピストン４０に掛かるため、ピストン４０は下
がり、ピストン摺動孔２４の下部面２４ａに圧接する。
即ち、ピストン摺動孔２４の下部面２４ａがワークＷの
荷重を受けることになる。また、吊り上げ時には、弁機
構５０の弁体５３の下端５３ｄはワークＷに当たり、弁
機構５０は開き、エジェクタ３３（図２参照）と吸着パ
ッド６０内とは連通している。

【００２２】図５は、本発明に係る真空把持部材のワー
クの吸着解除時の断面図である。ワークＷの吸着を解除
するには、昇降フレーム５を下げ、ワークＷを目的の場
所に降ろす。なお、ワークＷの接地の際、ピストン４０
のストロークがクッションになるので、円滑な接地をす
ることができる。ワークを床にあずけた後、エジェクタ
３３（図２参照）の作動を止める。吸着パッド６０がワ
ークＷに吸着している限り、弁機構５０が開いているの
で、第２室３７から大気圧の空気が吸着パッド６０内に
流れ込み吸着パッド６０内の真空度が下がる。その結
果、吸着パッド６０はワークＷの吸着を解除する。吸着
パッド６０がワークＷの吸着を解除すると、ピストン４
０は圧縮ばね３８により上方に移動し、吸着パッド６０
は、引き上げられ、図３（ａ）の状態に戻る。吸着パッ
ド６０は、吸着解除後、直に引き上げられるので、昇降
フレーム５を吸着解除後、直に前後左右に移動してもピ
ストンロッド４１がワークＷに当り、ワークＷを引き摺
る虞れはない。ワークＷの吸着から吸着解除までの吸着
パッド６０に真空が必要なときにだけ開く弁機構５０を
内蔵したことにより、真空把持部材２０の吸着のための
真空の制御が確実におこなえる。

【００２３】図６（ａ），（ｂ）は本発明に係る真空把
持部材の比較検討図である。（ａ）の比較例は、従来の
ばね式の真空把持部材であり、左右のばね式真空把持部
材１００，１１０が右上がりに傾いて置かれたワークＷ
1を吸着した状態を示す図であり、左のばね式真空把持
部材１００の圧縮ばね１０１が圧縮され、長さＬ1とな
り、右のばね式真空把持部材１１０の圧縮ばね１１１が
圧縮され、長さＬ2となったことを示す。Ｌ1＞Ｌ2 で
あり、左右のばね式真空把持部材１００，１１０の取付
けスパンＲが大きくなると、（Ｌ1-Ｌ2）も大きくな
り、左右のばね式真空把持部材１００，１１０の吸着の
ための押付け力に大きな差がでる。そのため、左のばね
式真空把持部材１００が押付けが足りず、吸着不良にな
り、若しくは、右のばね式真空把持部材１１０の押付け
が過大になり、吸着パッド１１２若しくはワークＷ1を
傷つける虞れがある。

【００２４】（ｂ）は、本実施例を示し、左右の真空把
持部材６５，７５が右上がりに傾いて置かれたワークＷ
1を吸着した状態を示す図であり、大気圧をＰ0とし、エ
ジェクタ３３（不図示）を作動させ、左右の真空把持部
材６５，７５の第２室６６，７６に、圧力Ｐ3（真空）
を作用させると、左右の真空把持部材６５，７５のピス
トン６７，７７に作用する圧力は共に（Ｐ0−Ｐ3）であ
る。また、ピストン６７，７７を弾発する圧縮ばね６
８，７８は、ピストン６７，７７の上下の圧力がバラン
スした場合に、ピストン６７，７７を上方に維持するた
めのもので、押付け力を発生させるためのものではない
ので、圧縮ばね６８，７８が発生する力は小さく、ピス
トン６７，７７がワークＷに与える押付け力に対する影
響は少ない。従って、傾いて置かれたワークＷ1を吸着
した場合でも、各真空把持部材６５，７５の押付け力
は、ピストンの上下面の圧力差で決まるので、所定値を
超えることはなく、吸着パッド６０及びワークＷを傷め
る心配はない。

【００２５】図７は、本発明に係る真空把持部材の別実
施例の断面図であり、真空把持部材７０は、シリンダ２
１と、このシリンダ２１の上部に捩じ込んだ蓋２２と、
シリンダ２１内を摺動するピストン４０と、このピスト
ン４０の下面から下方に延ばしたピストンロッド４１
と、このピストンロッド４１の下端に設けた弁機構８０
と、この弁機構８０の下端に設けた吸着パッド６０とか
らなる。上述の真空把持部材２０（図２参照）とは、弁
機構８０の部分のみ異なり、その他の同じ構成は同符合
を付することにより説明を省略する。

【００２６】なお、８０ａは弁機構８０内に組込んだ検
出ピン、８０ｂは検出ピン８０ａに取付けたマグネッ
ト、８０ｃは弁機構８０と検出ピン８０ａ間に挿入した
圧縮ばね、８０ｄは弁機構８０に取り付けたリードスイ
ッチであり、検出ピン８０ａの上下動を検出可能にし
た。これにより、吸着パッド６０の伸縮状態を検知する
ことが可能になり、適宜、供給エアーをストップして吸
着パッド６０からワークＷを切り離すなどの制御に利用
することができる。

【００２７】図８は、本発明に係る弁機構の分解斜視図
であり、弁機構８０は、弁箱８１と、この弁箱８１の下
端にビス８２，８２（片側省略）で取付けた弁座８３
と、この弁座８３の上部で弁箱８１下部に捩じ込んだフ
ィルター押え８４と、このフィルター押え８４で固定し
たフィルター８５と、このフィルター８５の上部に設け
た弁体としてのフロート８６と、このフロート８６を下
方のフィルター８５の方向に押し付ける圧縮ばね８７と
からなる。フロート８６は、縦断面がＵ字状のもので、
外側面に複数の縦リブ８８…と、底面に小孔８９とを備
える。また、フロート８６が浮き上がった場合、弁箱８
１がフロート８６の上端と接する部分は、密着してシー
ル面９０を形成する。

【００２８】図９（ａ），（ｂ）は本発明に係る真空把
持部材の別実施例の吸着前と吸着時の断面図である。
（ａ）において、ワークＷを吸着させるため、先ず、エ
ジェクタ３３（図７参照）を作動させると、ピストン４
０の下部の第２室３７は真空になり、ピストン４０上部
の第１室は大気圧が作用しているため、ピストン４０に
上方から下方へに力が作用し、圧縮ばね３８の下方から
上方へ押し上げる力に抗して、ピストン４０は降下す
る。一方、吸着パッド６０がワークＷに接する前におい
ては、吸着パッド６０内は大気圧が作用しており、弁機
構８０のフロート８６は上面の真空と下面の大気圧の圧
力差で上に上がり、フロート８６の上端とシール面９０
とが密着する。しかし、フロート８６の底面の小孔８９
から吸着パッド６０内の空気を排気する。

【００２９】（ｂ）において、吸着パッド６０がワーク
Ｗに接っし、吸着パッド６０内の空気が排気され、吸着
パッド６０内が真空になると、フロート８６上下には共
に真空が作用し、圧力はバランスしており、圧縮ばね８
７により、フロート８６は下がる。

【００３０】図１０は本発明に係る真空把持部材の別実
施例のワーク吊り上げ時の断面図である。吸着パッド６
０に掛かるワークＷの荷重はロッド４１を介してピスト
ン４０に掛かるため、ピストン４０は下がり、ピストン
摺動孔２４の下部面２４ａに圧接する。即ち、ピストン
摺動孔２４の下部面２４ａがワークＷの荷重を受けるこ
とになる。また、吊り上げ時には、エジェク３３（図７
参照）は作動中であり、第２室３７には真空が作用して
いるので、第２室３７と連通しているフロート８６上面
と吸着パッド６０の圧力が作用するフロート８６下面に
は共に真空が作用し、圧力的にはバランスしているた
め、圧縮ばね８７により下方に押され、フロートは８６
下がったままである。

【００３１】図１１は本発明に係る真空把持部材の別実
施例のワークの吸着解除時の断面図である。ワークＷの
吸着の解除は、ワークＷを目的の場所に降ろし、エジェ
クタ３３（図７参照）の作動を止める。ワークＷを降ろ
す時、ピストン４０のストロークがクッションになり、
ワークＷを円滑に降ろすことができる。エジェクタ３３
の作動を止めると、フロート８６の外側と弁箱８１のと
の隙間及び小孔８９とが空気流路となり、第２室３７か
ら大気圧の空気が吸着パッド６０内に流れ込むので吸着
パッド６０内の真空度は下がり、吸着パッド６０は吸着
力を失い、吸着パッド６０はワークＷの吸着を解除す
る。

【００３２】図１２（ａ），（ｂ），（ｃ）は本発明に
係る真空把持部材の別実施例の作用説明図である。
（ａ）は、エジェクタ９２を１個使用し、真空把持部材
７０を３個使用して、ワークＷを吸着した場合で、これ
ら真空把持部材を左から７０Ａ，７０Ｂ，７０Ｃとした
とき、真空把持部材７０Ｃが、ワークＷの段部Ｖに当接
しため吸着が不完全な状態を示す。（ｂ）は、完全に吸
着した真空把持部材７０Ｂの弁機構８０Ｂの内部の状態
を示す。フロート８６Ｂの上下の圧力は共に真空状態Ｐ
3でバランスしており、圧縮ばね８７Ｂによりフロート
８６Ｂは、下方に押付けられている。このため、フロー
ト８６Ｂの上端部はシール面９０Ｂから離れ上方の連通
路４２Ｂと下方の吸着パッド６０Ｂとは、広い空気流路
で連絡され、吸着パッド６０Ｂ内は真空Ｐ3が常時作用
している。（ｃ）は、ワークＷの段部Ｖに吸着パッド６
０Ｃが当接し不完全に吸着した真空把持部材７０Ｃの弁
機構８０Ｃの内部の状態を示す。フロート８６Ｃの上方
の圧力は真空Ｐ3で下方の圧力は大気圧Ｐ0であり、Ｐ3
＜Ｐ0でフロート８６Ｃは上に上がり、フロート８６Ｃ
の上端部がシール面９０Ｃに密着し、フロート８６Ｃの
外周からの空気流路を遮断し、フロート８６Ｃの底部に
設けた小孔８９Ｃのみが空気流路になる。しかし、小孔
８９Ｃの直径ｄは小さいので、空気の通過流量は小さ
く、エジェクタ３３による真空度の低下はほとんどな
い。従って、他の真空把持部材７０Ａ，７０Ｂの吸着力
の低下はほとんどなく、ワークＷを吊り上げた後、吸着
力が低下してワークＷが落下する虞れはない。

【００３３】

【発明の効果】本発明は上記構成により次の効果を発揮
する。請求項１の真空把持部材は、ワーク移動装置側に
取付けるシリンダと、このシリンダ内部を第１室並びに
第２室に区分しつつ移動するピストンと、第１室に設け
た大気連通孔と、第２室を貫通しつつピストンから延び
たピストンロッドと、このピストンロッドの先端に取付
けた吸着パッドと、この吸着パッドを第２室に連通する
ためにピストンロッドに開けた連通路と、第２室に接続
した真空発生手段と、第２室の容積を拡大する方向へピ
ストンを押す付勢手段とからなるので、真空発生手段を
作動すると、第２室が負圧になり、ピストンに掛かる圧
力差により、ピストンはストロークを伸ばす方向に移動
し、吸着パッドがワークに当接すると同時に吸着するの
で、真空把持部材の正確な位置決め制御が不要である。
また、吸着パッドのワークの押付け圧力が、ピストンの
上下面の圧力差で決まり、第２室の容積を拡大する方向
へピストンを押す付勢手段を設けたので、ピストンが急
激に落下することがなく、吸着パッドへ作用する力が一
定以下となり、吸着パッド並びにワークを傷める心配が
ない。

【００３４】真空発生手段の作動を止めると、吸着パッ
ドはワークの吸着を解除すると共に、第１室と第２室と
が圧力バランスすることで、付勢手段によりピストンは
ストロークを縮める方向に移動するので、ワークの吸着
解除後、直ちに、ワーク移動装置を移動しても、ピスト
ンロッドがワークに当たってワークを引き摺る虞れはな
い。

【００３５】請求項２の真空把持部材は、連通路に、ワ
ークに当っているときに開き、その他では閉じる弁機構
を介設したので、ワークの吸着から吸着解除までの吸着
パッドに真空が必要なときにだけ開く弁機構を内蔵した
ことになり、真空把持部材の吸着のための真空の制御が
確実におこなえる。

【００３６】請求項３の真空把持部材は、連通路に、第
２室側が吸着パッド側より低圧のときに閉じるが弁体に
明けた小孔を通じて少量の空気が流れ、第２室側が吸着
パッド側より高圧もしくは同圧のときに開く小孔付きの
弁機構を介設したので、複数個の真空把持部材を１台の
真空発生手段で作動させる場合に、ある１個の真空把持
部材が吸着不良で吸着パッドが大気に開放状態になった
時、この吸着不良の真空把持部材の空気流路の真空発生
手段側の圧力は吸着パッド側圧力より低くなるので、こ
の弁機構の空気流路は小孔のみになり、通過空気量は少
なく真空発生手段の発生する真空度に、ほとんど影響を
与えない。従って、他の吸着状態の吸着パッドが吸着力
を失うことはない。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係るワーク移動装置の斜視図

【図２】本発明に係る真空把持部材の断面図

【図３】本発明に係る真空把持部材の吸着時の断面図

【図４】本発明に係る真空把持部材のワークの吊り上げ
時の断面図

【図５】本発明に係る真空把持部材のワークの吸着解除
時の断面図

【図６】本発明に係る真空把持部材の比較検討図

【図７】本発明に係る真空把持部材の別実施例の断面図

【図８】本発明に係る弁機構の分解斜視図

【図９】本発明に係る真空把持部材の別実施例の吸着前
と吸着時の断面図

【図１０】本発明に係る真空把持部材の別実施例のワー
ク吊り上げ時の断面図

【図１１】本発明に係る真空把持部材の別実施例のワー
クの吸着解除時の断面図

【図１２】本発明に係る真空把持部材の別実施例の作用
説明図

【符号の説明】 １…ワーク移動装置、５…昇降フレーム、２０，６５，
７０，７０Ａ，７０Ｂ，７０Ｃ，７５…真空把持部材、
２１…シリンダ、３３…真空発生手段（エジェクタ）、
３８…付勢手段（圧縮ばね）、４０…ピストン、４１…
ピストンロッド、４２…連通路（空気通孔）、５０…弁
機構、６０…吸着パッド、８０…弁機構、８６…弁体
（フロート）、８９…小孔、Ｗ，Ｗ1…ワーク。

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 ワーク移動装置に取付ける真空把持部材
   において、 この真空把持部材は、ワーク移動装置側に取付けるシリ
   ンダと、このシリンダ内部を第１室並びに第２室に区分
   しつつ移動するピストンと、第１室に設けた大気連通孔
   と、第２室を貫通しつつピストンから延びたピストンロ
   ッドと、このピストンロッドの先端に取付けた吸着パッ
   ドと、この吸着パッドを第２室に連通するためにピスト
   ンロッドに開けた連通路と、第２室に接続した真空発生
   手段と、第２室の容積を拡大する方向へピストンを押す
   付勢手段とからなることを特徴とした真空把持部材。
2. 【請求項２】 前記連通路に、ワークに当っているとき
   に開き、その他では閉じる弁機構を介設したことを特徴
   とする請求項１記載の真空把持部材。
3. 【請求項３】 前記連通路に、第２室側が吸着パッド側
   より低圧のときに閉じるが弁体に明けた小孔を通じて少
   量の空気が流れ、第２室側が吸着パッド側より高圧もし
   くは同圧のときに開く小孔付きの弁機構を介設したこと
   を特徴とする請求項１記載の真空把持部材。