JPH11140657A - 無電解めっき方法 - Google Patents

無電解めっき方法

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JPH11140657A
JPH11140657A JP32693197A JP32693197A JPH11140657A JP H11140657 A JPH11140657 A JP H11140657A JP 32693197 A JP32693197 A JP 32693197A JP 32693197 A JP32693197 A JP 32693197A JP H11140657 A JPH11140657 A JP H11140657A
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JP
Japan
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component
electroless plating
plated
plating
attached
Prior art date
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Pending
Application number
JP32693197A
Other languages
English (en)
Inventor
Kenzo Iwama
健造 岩間
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Ricoh Co Ltd
Original Assignee
Ricoh Co Ltd
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Publication date
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 超音波発振子を取り付けた無電解めっき槽を
用い、部品に付着したガスを超音波により容易に除去で
きるようにした無電解めっき方法を提供する。 【解決手段】 ヒータ1で温度調節されためっき液4
に、部品吊し治具3に取り付けられた被めっき部品5を
浸漬してめっきを施す。このとき、超音波発振子6を作
動させて超音波を部品5に付与することにより、めっき
処理中に発生し、被めっき部品5に付着したガスを除去
する。この結果、被めっき部品5の微細穴や微細溝に対
しても均一にめっきを施すことができる。また、超音波
発振子6をめっき槽2の側部及び底部に複数個取り付け
ることにより、形状が複雑な被めっき部品5や、微細穴
や微細溝が複数の面に設けられている被めっき部品5に
おいても、付着ガスを確実に除去することができる。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、無電解めっき方法
に関し、より詳細には、各種無電解めっきにおいて精密
な微細穴や微細溝を有する部品に均一にめっきを施すこ
とができ、めっき精度・均一性が要求される部品に適用
することが可能な無電解めっき方法に関する。
【0002】
【従来の技術】無電解めっきでは、めっき処理中に発生
するガスがめっきを施すべき部品に付着し、そのままめ
っきを続行すると、ガス付着部分にめっきが析出せず、
ピンホール等の欠陥が発生する場合がある。特に、部品
が有する穴部や溝部は付着したガスが離脱しにくく、付
着ガス対策として一般的にはめっき液を吹きかけたり、
空気撹拌、または、部品の揺動等を行ったりしている。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、1mm以
下の微細穴や微細溝を有する部品では、上述したような
対策を施してもガス抜きを充分に行うことができず、ガ
ス抜きのできない部分にはめっきが析出せずに欠陥とな
ってしまう。また、形状が複雑な部品では、部品全面を
対象とするガス抜きは困難であり、前記対策が有効とは
言えない。
【0004】本発明は、上述のごとき実情に鑑みてなさ
れたもので、超音波発振子を取り付けた無電解めっき槽
を用い、部品に付着したガスを超音波により容易に除去
できるようにした無電解めっき方法を提供することを目
的とするものである。
【0005】
【課題を解決するための手段】請求項1の発明は、欠陥
の少ないめっきを必要とする精密な機械加工部品に無電
解めっきを行う無電解めっき方法において、無電解めっ
き処理の工程中にめっき処理と同時に前記機械加工部品
に対して超音波振動を作用させ、該無電解めっき処理で
発生し、前記機械加工部品に付着したガスを除去するこ
とにより、前記機械加工部品に均一に無電解めっきを施
すようにしたことを特徴とし、もって、欠陥のない均一
なめっき被膜を安定して得ることができ、例えば、1mm
以下の微細穴もしくは微細溝を有する部品に対しても欠
陥のないめっきを施すことが可能となるようにしたもの
である。
【0006】請求項2の発明は、請求項1記載の無電解
めっき方法において、前記超音波振動を発生させる超音
波発振子を無電解めっきを行うためのめっき槽の側部お
よび/または底部に取り付けることを特徴とし、もっ
て、形状の複雑な部品にも対応でき、微細穴及び微細溝
の数,設置面,位置,高さに関係なく、欠陥のないめっ
きを施すことが可能となるようにしたものである。
【0007】請求項3の発明は、請求項1または2記載
の無電解めっき方法において、前記超音波振動の周波数
を20〜40KHzとすることを特徴とし、もって、超音
波周波数の出力が最適化され、めっきされた皮膜が部品
から剥離されることなく、欠陥のないめっきを施すこと
が可能となるようにしたものである。
【0008】
【発明の実施の形態】以下に、本発明による無電解めっ
き方法の一実施例を添付された図面を参照して具体的に
説明する。図1は、本発明による超音波無電解めっき装
置の一実施例を説明するための概略構成図で、図中、1
はヒータ、2はめっき槽、3は部品吊し治具、4はめっ
き液、5は被めっき部品、6は超音波発振子、7は超音
波出力制御盤である。
【0009】(請求項1の発明)めっき槽2に超音波発
振子6を取り付け、超音波振動を被めっき部品5に与え
ながらめっきを施す。ヒータ1で温度調節されためっき
液4に、部品吊し治具3に取り付けられた被めっき部品
5を浸漬し、超音波発振子6を作動させて超音波を被め
っき部品5に付与することで、めっき処理中に発生し、
被めっき部品5に付着したガスを除去する。この結果、
被めっき部品5が有する微細穴や微細溝にも均一にめっ
きを施すことができる。
【0010】(請求項2の発明)超音波発振子6をめっ
き槽2の側部及び底部に複数個取り付ける。この構成に
より、被めっき部品5として、形状が複雑な部品や、微
細穴や微細溝が複数の面に設けられた部品に対しても、
付着したガスを確実に除去することができる。
【0011】(請求項3の発明)超音波出力制御盤7に
より、超音波周波数を20〜40KHzの範囲に調整して
めっきを行う。この条件により、めっき膜が超音波によ
り剥離されることなく、かつ有効に付着ガスを除去する
ことができる。
【0012】上記の方法でめっき処理を行うことによ
り、これまでガスが抜けずに苦慮し、設計変更を余儀な
くされていた微細穴や微細溝を有する精密めっき部品に
対しても、設計上、あるいは機能上の譲歩をする必要な
く、有効なめっき処理を行うことができる。
【0013】
【発明の効果】請求項1の効果:欠陥の少ないめっきを
必要とする精密な機械加工部品に無電解めっきを行う無
電解めっき方法において、無電解めっき処理の工程中に
めっき処理と同時に前記機械加工部品に対して超音波振
動を作用させ、該無電解めっき処理で発生し、前記機械
加工部品に付着したガスを除去することにより、前記機
械加工部品に均一に無電解めっきを施すようにしたの
で、欠陥のない均一なめっき被膜を安定して得ることが
でき、例えば、1mm以下の微細穴もしくは微細溝を有す
る部品に対しても欠陥のないめっきを施すことが可能と
なる。
【0014】請求項2の効果:請求項1記載の無電解め
っき方法において、前記超音波振動を発生させる超音波
発振子を無電解めっきを行うためのめっき槽の側部およ
び/または底部に取り付けるので、形状の複雑な部品に
も対応でき、微細穴及び微細溝の数,設置面,位置,高
さに関係なく、欠陥のないめっきを施すことが可能とな
る。
【0015】請求項3の効果:請求項1または2記載の
無電解めっき方法において、前記超音波振動の周波数を
20〜40KHzとするので、超音波周波数の出力が最適
化され、めっきされた皮膜が部品から剥離されることな
く、欠陥のないめっきを施すことが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【図1】 本発明による超音波無電解めっき装置の一実
施例を説明するための概略構成図である。
【符号の説明】
1…ヒータ、2…めっき槽、3…部品吊し治具、4…め
っき液、5…被めっき部品、6…超音波発振子、7…超
音波出力制御盤。

Claims (3)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 欠陥の少ないめっきを必要とする精密な
    機械加工部品に無電解めっきを行う無電解めっき方法に
    おいて、無電解めっき処理の工程中にめっき処理と同時
    に前記機械加工部品に対して超音波振動を作用させ、該
    無電解めっき処理で発生し、前記機械加工部品に付着し
    たガスを除去することにより、前記機械加工部品に均一
    に無電解めっきを施すようにしたことを特徴とする無電
    解めっき方法。
  2. 【請求項2】 請求項1記載の無電解めっき方法におい
    て、前記超音波振動を発生させる超音波発振子を無電解
    めっきを行うためのめっき槽の側部および/または底部
    に取り付けることを特徴とする無電解めっき方法。
  3. 【請求項3】 請求項1または2記載の無電解めっき方
    法において、前記超音波振動の周波数を20〜40KHz
    とすることを特徴とする無電解めっき方法。
JP32693197A 1997-11-12 1997-11-12 無電解めっき方法 Pending JPH11140657A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP32693197A JPH11140657A (ja) 1997-11-12 1997-11-12 無電解めっき方法

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JP32693197A JPH11140657A (ja) 1997-11-12 1997-11-12 無電解めっき方法

Publications (1)

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JPH11140657A true JPH11140657A (ja) 1999-05-25

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ID=18193374

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JP32693197A Pending JPH11140657A (ja) 1997-11-12 1997-11-12 無電解めっき方法

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JP (1) JPH11140657A (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2002063067A1 (fr) * 2001-02-07 2002-08-15 Tokyo Electron Limited Procede et appareil de depot autocatalytique

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
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WO2002063067A1 (fr) * 2001-02-07 2002-08-15 Tokyo Electron Limited Procede et appareil de depot autocatalytique

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