RU2125619C1
(ru )
1999-01-27
Система для обработки полупроводникового изделия (варианты), встроенный геттерный насос и способ обработки полупроводникового изделия
US4724677A
(en )
1988-02-16
Continuous cryopump with a device for regenerating the cryosurface
US5520002A
(en )
1996-05-28
High speed pump for a processing vacuum chamber
JPH04326943A
(ja )
1992-11-16
真空排気システム及び排気方法
US3485054A
(en )
1969-12-23
Rapid pump-down vacuum chambers incorporating cryopumps
EP0117523B1
(en )
1988-05-18
Reduced vacuum cryopump
US5947708A
(en )
1999-09-07
Axial flow valve system for linear compressor
KR101057321B1
(ko )
2011-08-17
루버가 연장되는 크라이오펌프
US4198829A
(en )
1980-04-22
Cryopumps
US7037083B2
(en )
2006-05-02
Radiation shielding coating
CN119767508B
(zh )
2026-01-13
吸气薄壁件及制备方法、真空室组件及真空调控方法
US5345787A
(en )
1994-09-13
Miniature cryosorption vacuum pump
JPH11162700A5
(2 )
2005-05-19
US5088895A
(en )
1992-02-18
Vacuum pumping apparatus
US4860546A
(en )
1989-08-29
Vacuum system with molecular flow line
JP2002242877A
(ja )
2002-08-28
真空ポンプ
JP5342367B2
(ja )
2013-11-13
真空排気装置および真空排気装置の使用方法
JPH11162700A
(ja )
1999-06-18
湾曲荷電粒子通路の真空排気方法
JP4008081B2
(ja )
2007-11-14
クライオポンプの再生方法
Danielson
1998
Gas loads in vacuum systems
JP2777713B2
(ja )
1998-07-23
密閉型スクリュ圧縮機の容量制御装置
CN121205903A
(zh )
2025-12-26
真空获得系统及真空的抽取方法
SU407432A1
(ru )
1973-11-21
Устройство для очистки инертных газов
SU585311A1
(ru )
1977-12-25
Адсорбционный ваакумный насос
JP2011062660A
(ja )
2011-03-31
真空排気装置