JPH11193426A - 電気抵抗合金及びその製造法並びにセンサデ バイス - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】本発明は、金およびクロムと所要の副成分から
なり、０〜８００℃における平均の抵抗温度係数が５０
０×１０^−６・℃^−１以下を有することを特徴とする電
気抵抗薄膜およびその製造法を提供するにある。また、
該合金薄膜よりなる接触燃焼式ガスセンサあるいは抵抗
変化型高性能温度センサを提供するにある。 【解決手段】本発明は、原子量比にてクロム０．１〜３
０％および残部金からなる合金を、大気中、非酸化性ガ
ス中、還元性ガス中または真空中の２００℃以上１０５
０℃以下の温度で加熱後、冷却することにより、室温付
近から高温に至るまでの広い温度領域において抵抗温度
係数の小さい電気抵抗合金を提供し、さらに該合金を用
いた渦電流式変位センサおよび抵抗体を提供することが
できる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は金（Ａｕ）、クロム（Ｃ
ｒ）および副成分として鉄（Ｆｅ）、ニッケル（Ｎ
ｉ）、コバルト（Ｃｏ）、マンガン（Ｍｎ）、銀（Ａ
ｇ）、白金（Ｐｔ）、パラジウム（Ｐｄ）、ロジウム
（Ｒｈ）、イリジウム（Ｉｒ）、オスミウム（Ｏｓ）、
ルテニウム（Ｒｕ）、バナジウム（Ｖ）、チタン（Ｔ
ｉ）、ジルコニウム（Ｚｒ）、ハフニウム（Ｈｆ）、モ
リブデン（Ｍｏ）、ニオブ（Ｎｂ）、タングステン
（Ｗ）、タンタル（Ｔａ）、ガリウム（Ｇａ）、ゲルマ
ニウム（Ｇｅ）、インジウム（Ｉｎ）、ベリリウム（Ｂ
ｅ）、錫（Ｓｎ）、アンチモン（Ｓｂ）、銅（Ｃｕ）、
アルミニウム（Ａｌ）、シリコン（Ｓｉ）、炭素
（Ｃ）、ホウ素（Ｂ）および希土類元素と少量の不純物
からなる電気抵抗合金およびその製造法ならびに該合金
を使用した各種センサデバイスに関するものである。

【０００２】さらに詳しくは、本発明は上記電気抵抗合
金の線材または板材を２００〜１０５０℃の非酸化性雰
囲気中または真空中において２秒以上１００時間以下加
熱することにより０〜８００℃または２００〜８００℃
における抵抗温度係数が５００×１０^−６・℃^−１以下
を有する電気抵抗合金の製造法および該合金を使用した
渦電流式変位センサあるいは抵抗体を提供するにある。

【０００３】

【従来の技術】近年、エレクトロニクス関連機器におけ
る部品、例えば電気抵抗体あるいは渦電流式変位センサ
等では、その小型化、高性能化さらには耐環境性の向上
のために、これらの部品に使用される熱的安定性に優れ
た電気抵抗合金材料の開発が強く要望されている。ま
た、それらのデバイスを特殊環境下、特に高温で安定に
動作させるために、高温における熱的安定性に優れた電
気抵抗合金材料の開発が強く要望されている。

【０００４】電気抵抗合金に求められる必要条件として
は、比電気抵抗が適当な値を有すること、比電気抵抗の
温度係数が小さいことが重要であり、その他、電気抵抗
の経時変化が少ないこと、ろう付け性に優れているこ
と、加工しやすいこと、化学的に安定であること、絶縁
体とのなじみ性に優れていることおよびコストが安価で
あること等も重要である。

【０００５】従来電気抵抗が小さい材料としては、銀、
銅および金等の純金属が考えられるが、いずれも電気抵
抗の温度係数が４０００×１０^−６・℃^−１以上の大き
な値を有するため本発明の目的とするセンサデバイスへ
の応用化は難しい。電気抵抗の温度係数は一般に抵抗温
度係数α（単位：ｐｐｍ／℃または１０^−６・℃^−１）
で示され、温度Ｔ_ａとＴ_ｂ（Ｔ_ａ＜Ｔ_ｂとする）との間
におけるその値は次の式で表される。

【０００６】

【数１】

【０００７】ここで、ｐ_ａおよびｐ_ｂ、ならびにＲ_ａお
よびＲ_ｂはそれぞれＴ_ａおよびＴ_ｂの温度における比抵
抗値ならびに抵抗値を示す。

【０００８】

【発明が解決しようとする課題】ところで、これら銀、
銅および金にニッケル（Ｎｉ）、マンガン（Ｍｎ）、コ
バルト（Ｃｏ）あるいはクロム（Ｃｒ）等を少量添加す
ることによって電気特性がかなり改善されることが知ら
れている。その他、パラジウム−銀（Ｐｄ−Ａｇ）系合
金および銅−ニッケル−金（Ｃｕ−Ｎｉ−Ａｕ）系合金
等がある。これらの材料はいずれも電気抵抗の温度係数
が負値あるいは１００×１０^−６・℃^−１以下の極めて
小さい値を有することから、電気抵抗材料への実用化に
際して合金の優れた特性を十分に発揮し得る。しかし、
これらの材料は多くの欠点を有する。例えば、素材が硬
く可撓性が劣ること、化学的安定性にかけること、ある
いは熱エージングによる電気抵抗の経時変化が生ずるこ
と等があった。また、これらは高温での特性が悪く、高
い温度で使用するセンサ等に応用することは不可能であ
った。高温用の電気抵抗材料としては、白金−ロジウム
（Ｐｔ−Ｒｈ）合金等が用いられるが、その電気抵抗の
温度係数は１０００ｐｐｍ／℃以上と大きく、実用に供
することができないという問題があった。

【０００９】

【問題点を解決する手段】そこで本発明は、室温から高
温に至るまで電気抵抗の温度係数が小さいという、従来
にない優れた特性を有する電気抵抗合金に関するもので
あり、関連産業界の要請に応えるべく、鋭意研究された
ものである。その結果、０〜８００℃の温度において優
れた電気特性を有する新規な電気抵抗合金を発見し、ま
た該合金の独創的な製造技術を開発し、さらに該合金か
らなる線材もしくは板材などを使用した高性能な各種セ
ンサデバイスの開発に成功した。

【００１０】すなわち本発明は、比電気抵抗が小さく、
融点が低く、しかも化学的に安定な金（Ａｕ）に注目
し、これにクロム（Ｃｒ）を少量加えた合金について研
究を行った。従来用いられているＡｕ−Ｃｒ合金は０〜
１２０℃の温度範囲において１００×１０^−６・℃^−１
以下の極めて小さい温度係数の値を示し得るが、高温に
おける温度係数は大きく、さらに高温においては熱エー
ジングによる電気抵抗の経時変化が生ずる。温度係数を
小さくさせるために合金を規則化させる必要があり、そ
のため２００℃以下の温度で熱処理が施される。したが
って２００℃以上の温度で使用した場合、規則相から不
規則相への変態を生じさせることとなり、そのため経時
変化が起こると考えられる。

【００１１】この問題点を解決するために高温で熱処理
を施す手段を検討し、幾多の実験の結果、２００〜１０
５０℃の温度で熱処理することにより室温から高温に至
るまで経時変化を伴わない安定な材料を得ることができ
た。さらに、０〜８００℃にわたって電気抵抗の温度係
数が１００×１０^−６・℃^−１以下と小さく、かつ任意
の１００℃内において温度係数ゼロ、抵抗値の変動０．
０５％という優れた特性を有することが明らかになっ
た。その電気抵抗の温度に対する変化がない１００℃の
領域は、クロムの含有量で決めることが可能であること
も明らかにした。

【００１２】すなわち本発明は、２００〜１０５０℃の
温度で熱処理することにより０〜８００℃における抵抗
温度係数が５００×１０^−６・℃^−１以下を有する金
（Ａｕ）およびクロム（Ｃｒ）を主成分とし、さらに電
気的特性の改善などの効果が顕著な副成分として鉄（Ｆ
ｅ）、ニッケル（Ｎｉ）、コバルト（Ｃｏ）、マンガン
（Ｍｎ）、銀（Ａｇ）、白金（Ｐｔ）、パラジウム（Ｐ
ｄ）、ロジウム（Ｒｈ）、イリジウム（Ｉｒ）、オスミ
ウム（Ｏｓ）、ルテニウム（Ｒｕ）、バナジウム
（Ｖ）、チタン（Ｔｉ）、ジルコニウム（Ｚｒ）、ハフ
ニウム（Ｈｆ）、モリブデン（Ｍｏ）、ニオブ（Ｎ
ｂ）、タングステン（Ｗ）、タンタル（Ｔａ）、ガリウ
ム（Ｇａ）、ゲルマニウム（Ｇｅ）、インジウム（Ｉ
ｎ）、ベリリウム（Ｂｅ）、錫（Ｓｎ）、アンチモン
（Ｓｂ）、銅（Ｃｕ）、アルミニウム（Ａｌ）、シリコ
ン（Ｓｉ）、炭素（Ｃ）、ホウ素（Ｂ）および希土類元
素などの元素を含む新規な電気抵抗合金を提供するとと
もに、本発明電気抵抗合金の製造技術および該合金を使
用した渦電流式変位センサまたは抵抗体を提供すること
にある。

【００１３】以下に、本発明合金の製造法について具体
的に説明する。上記組成の原料を大気中、好ましくは非
酸化性ガス（アルゴン、窒素など）または還元性ガス
（水素、ヘリウムなど）などの雰囲気中あるいは真空中
において、適当な溶解炉（高周波誘導溶解炉、電気炉、
タンマン炉、アーク溶解炉など）によって溶解した後、
溶融した該合金を適当な材質、形状および大きさの鋳型
（金型、耐熱性坩堝など）で鋳造するか、あるいは連続
凝固（ゾーンメルト法、タンマン−ブリッジマン法、高
温鋳型法、引き上げ法、吸い上げ法、浮遊帯域溶解法な
ど）させ、所望の形状、例えばインゴット、スラブある
いは丸棒等の素材となす。ついで必要ならば、該素材を
大気中、好ましくは非酸化性ガスや還元性ガスなどの雰
囲気中あるいは真空中において６００〜１０５０℃の温
度で適当な時間加熱後室温まで適当な速度で冷却する。
その後該素材を、必要ならば鍛造または熱間圧延などの
熱間加工を施し、さらにスウェージング機、圧延機ある
いは冷間線引機等により、また必要ならば加工の中間で
６００〜１０５０℃の温度で軟化焼鈍を施しながら、冷
間加工、好ましくは２５％以上の加工率で加工を施して
箔材、線材、例えば線径１０〜１００μｍあるいはリボ
ン等の線材となす。最後に、該線材を、例えば耐熱性の
細いパイプを有する適当な長さの加熱帯と冷却帯から構
成された電気炉により、大気中、好ましくは非酸化性ガ
スまたは還元性ガスなどの雰囲気中あるいは真空中にお
いて２００〜１０５０℃の温度で２秒以上１００時間以
下加熱焼鈍するか、あるいは適度な速度、例えば０．５
〜１０ｍ／分の速度で連続熱処理を施すことにより、０
〜８００℃における平均の抵抗温度係数が５００×１０
^−６・℃^−１以下を有する合金が得られる。

【００１４】本発明の特徴とするところは以下の点にあ
る。第１発明は、原子量比にて、クロム０．１〜３０％
および残部金と少量の不純物からなり、０〜８００℃に
おける平均の抵抗温度係数が５００×１０^−６・℃^−１
以下を有することを特徴とする電気抵抗合金に関するも
のである。

【００１５】第２発明は、原子量比にて、クロム０．１
〜３０％および残部金と少量の不純物からなり、２００
〜８００℃における平均の抵抗温度係数が５００×１０
^−６・℃^−１以下を有することを特徴とする電気抵抗合
金に関するものである。

【００１６】第３発明は、原子量比にて、クロム０．１
〜３０％および副成分として鉄２０％以下、ニッケル２
０％以下、コバルト２０％以下、マンガン２０％以下、
銀２０％以下、白金２０％以下、パラジウム４０％以
下、ロジウム１０％以下、イリジウム１０％以下、オス
ミウム１０％以下、ルテニウム１０％以下、バナジウム
５％以下、チタン５％以下、ジルコニウム５％以下、ハ
フニウム５％以下、モリブデン８％以下、ニオブ５％以
下、タングステン１０％以下、タンタル８％以下、ガリ
ウム３％以下、ゲルマニウム３％以下、インジウム３％
以下、ベリリウム３％以下、錫５％以下、アンチモン３
％以下、銅５％以下、アルミニウム５％以下、シリコン
５％以下、炭素２％以下、ホウ素２％以下および希土類
元素５％以下の１種または２種以上の合計０．００１〜
４０％および残部金と少量の不純物からなり、０〜８０
０℃における平均の抵抗温度係数が５００×１０^−６・
℃^−１以下を有することを特徴とする電気抵抗合金に関
するものである。

【００１７】第４発明は、原子量比にて、クロム０．１
〜３０％および副成分として鉄２０％以下、ニッケル２
０％以下、コバルト２０％以下、マンガン２０％以下、
銀２０％以下、白金２０％以下、パラジウム４０％以
下、ロジウム１０％以下、イリジウム１０％以下、オス
ミウム１０％以下、ルテニウム１０％以下、バナジウム
５％以下、チタン５％以下、ジルコニウム５％以下、ハ
フニウム５％以下、モリブデン８％以下、ニオブ５％以
下、タングステン１０％以下、タンタル８％以下、ガリ
ウム３％以下、ゲルマニウム３％以下、インジウム３％
以下、ベリリウム３％以下、錫５％以下、アンチモン３
％以下、銅５％以下、アルミニウム５％以下、シリコン
５％以下、炭素２％以下、ホウ素２％以下および希土類
元素５％以下の１種または２種以上の合計０．００１〜
４０％および残部金と少量の不純物からなり、２００〜
８００℃における平均の抵抗温度係数が５００×１０
^−６・℃^−１以下を有することを特徴とする電気抵抗合
金に関するものである。

【００１８】第５発明は、原子量比にて、クロム０．１
〜３０％および残部金と少量の不純物からなる合金を、
鍛造、鋳造および熱間加工あるいは冷間加工により線材
または板材等の所望の形状となした後、２００〜１０５
０℃の非酸化性雰囲気中または真空中において２秒以上
１００時間以下加熱する工程よりなり、０〜８００℃に
おける平均の抵抗温度係数が５００×１０^−６・℃^−１
以下を有する合金を得ることを特徴とする電気抵抗合金
の製造法に関するものである。

【００１９】第６発明は、原子量比にて、クロム０．１
〜３０％および残部金と少量の不純物からなる合金を、
鍛造、鋳造および熱間加工または冷間加工により線材ま
たは板材等の所望の形状となした後、２００〜１０５０
℃の非酸化性雰囲気中または真空中において２秒以上１
００時間以下加熱する工程よりなり、２００〜８００℃
における平均の抵抗温度係数が５００×１０^−６・℃
^−１以下を有する合金を得ることを特徴とする電気抵抗
合金の製造法に関するものである。

【００２０】第７発明は、原子量比にて、クロム０．１
〜３０％および副成分として鉄２０％以下、ニッケル２
０％以下、コバルト２０％以下、マンガン２０％以下、
銀２０％以下、白金２０％以下、パラジウム４０％以
下、ロジウム１０％以下、イリジウム１０％以下、オス
ミウム１０％以下、ルテニウム１０％以下、バナジウム
５％以下、チタン５％以下、ジルコニウム５％以下、ハ
フニウム５％以下、モリブデン８％以下、ニオブ５％以
下、タングステン１０％以下、タンタル８％以下、ガリ
ウム３％以下、ゲルマニウム３％以下、インジウム３％
以下、ベリリウム３％以下、錫５％以下、アンチモン３
％以下、銅５％以下、アルミニウム５％以下、シリコン
５％以下、炭素２％以下、ホウ素２％以下および希土類
元素５％以下の１種または２種以上の合計０．００１〜
４０％および残部金と少量の不純物からなる合金組成を
有する合金を、鍛造、鋳造および熱間加工あるいは冷間
加工により線材または板材等の所望の形状となした後、
２００〜１０５０℃の非酸化性雰囲気中または真空中に
おいて２秒以上１００時間以下加熱する工程よりなり、
０〜８００℃における平均の抵抗温度係数が５００×１
０^−６・℃^−１以下を有する合金を得ることを特徴とす
る電気抵抗合金の製造法に関するものである。

【００２１】第８発明は、原子量比にて、クロム０．１
〜３０％および副成分として鉄２０％以下、ニッケル２
０％以下、コバルト２０％以下、マンガン２０％以下、
銀２０％以下、白金２０％以下、パラジウム４０％以
下、ロジウム１０％以下、イリジウム１０％以下、オス
ミウム１０％以下、ルテニウム１０％以下、バナジウム
５％以下、チタン５％以下、ジルコニウム５％以下、ハ
フニウム５％以下、モリブデン８％以下、ニオブ５％以
下、タングステン１０％以下、タンタル８％以下、ガリ
ウム３％以下、ゲルマニウム３％以下、インジウム３％
以下、ベリリウム３％以下、錫５％以下、アンチモン３
％以下、銅５％以下、アルミニウム５％以下、シリコン
５％以下、炭素２％以下、ホウ素２％以下および希土類
元素５％以下の１種または２種以上の合計０．００１〜
４０％および残部金と少量の不純物からなる合金組成を
有する合金を、鍛造、鋳造および熱間加工あるいは冷間
加工により線材または板材等の所望の形状となした後、
２００〜１０５０℃の非酸化性雰囲気中または真空中に
おいて２秒以上１００時間以下加熱する工程よりなり、
２００〜８００℃における平均の抵抗温度係数が５００
×１０^−６・℃^−１以下を有する合金を得ることを特徴
とする電気抵抗合金の製造法に関するものである。

【００２２】第９発明は、原子量比にて、クロム０．１
〜３０％および残部金と少量の不純物からなり、０〜８
００℃における平均の抵抗温度係数が５００×１０^−６
・℃^−１以下を有する電気抵抗合金よりなることを特徴
とする渦電流式変位センサに関するものである。

【００２３】第１０発明は、原子量比にて、クロム０．
１〜３０％および残部金と少量の不純物からなり、２０
０〜８００℃における平均の抵抗温度係数が５００×１
０^−６・℃^−１以下を有する電気抵抗合金よりなること
を特徴とする渦電流式変位センサに関するものである。

【００２４】第１１発明は、原子量比にて、クロム０．
１〜３０％および副成分として鉄２０％以下、ニッケル
２０％以下、コバルト２０％以下、マンガン２０％以
下、銀２０％以下、白金２０％以下、パラジウム４０％
以下、ロジウム１０％以下、イリジウム１０％以下、オ
スミウム１０％以下、ルテニウム１０％以下、バナジウ
ム５％以下、チタン５％以下、ジルコニウム５％以下、
ハフニウム５％以下、モリブデン８％以下、ニオブ５％
以下、タングステン１０％以下、タンタル８％以下、ガ
リウム３％以下、ゲルマニウム３％以下、インジウム３
％以下、ベリリウム３％以下、錫５％以下、アンチモン
３％以下、銅５％以下、アルミニウム５％以下、シリコ
ン５％以下、炭素２％以下、ホウ素２％以下および希土
類元素５％以下の１種または２種以上の合計０．００１
〜４０％および残部金と少量の不純物からなり、０〜８
００℃における平均の抵抗温度係数が５００×１０^−６
・℃^−１以下を有する電気抵抗合金よりなることを特徴
とする渦電流式変位センサに関するものである。

【００２５】第１２発明は、原子量比にて、クロム０．
１〜３０％および副成分として鉄２０％以下、ニッケル
２０％以下、コバルト２０％以下、マンガン２０％以
下、銀２０％以下、白金２０％以下、パラジウム４０％
以下、ロジウム１０％以下、イリジウム１０％以下、オ
スミウム１０％以下、ルテニウム１０％以下、バナジウ
ム５％以下、チタン５％以下、ジルコニウム５％以下、
ハフニウム５％以下、モリブデン８％以下、ニオブ５％
以下、タングステン１０％以下、タンタル８％以下、ガ
リウム３％以下、ゲルマニウム３％以下、インジウム３
％以下、ベリリウム３％以下、錫５％以下、アンチモン
３％以下、銅５％以下、アルミニウム５％以下、シリコ
ン５％以下、炭素２％以下、ホウ素２％以下および希土
類元素５％以下の１種または２種以上の合計０．００１
〜４０％および残部金と少量の不純物からなり、２００
〜８００℃における平均の抵抗温度係数が５００×１０
^−６・℃^−１以下を有する電気抵抗合金よりなることを
特徴とする渦電流式変位センサに関するものである。

【００２６】第１３発明は、請求項５の製造法で得られ
た電気抵抗合金をスパイラル状またはトロイダル状等の
所望の形と成し、これをそのままの状態で無機質または
有機質の電気絶縁体に固定するかまたは該絶縁体内に埋
め込むことにより形成することを特徴とする請求項９に
記載の渦電流式変位センサに関するものである。

【００２７】第１４発明は、請求項６の製造法で得られ
た電気抵抗合金をスパイラル状またはトロイダル状等の
所望の形と成し、これをそのままの状態で無機質または
有機質の電気絶縁体に固定するかまたは該絶縁体内に埋
め込むことにより形成することを特徴とする請求項９に
記載の渦電流式変位センサに関するものである。

【００２８】第１５発明は、請求項７の製造法で得られ
た電気抵抗合金をスパイラル状またはトロイダル状等の
所望の形と成し、これをそのままの状態で無機質または
有機質の電気絶縁体に固定するかまたは該絶縁体内に埋
め込むことにより形成することを特徴とする請求項１１
に記載の渦電流式変位センサに関するものである。

【００２９】第１６発明は、請求項８の製造法で得られ
た電気抵抗合金をスパイラル状またはトロイダル状等の
所望の形と成し、これをそのままの状態で無機質または
有機質の電気絶縁体に固定するかまたは該絶縁体内に埋
め込むことにより形成することを特徴とする請求項１１
に記載の渦電流式変位センサに関するものである。

【００３０】第１７発明は、原子量比にて、クロム０．
１〜３０％および残部金と少量の不純物からなり、０〜
８００℃における平均の抵抗温度係数が５００×１０
^−６・℃^−１以下を有する電気抵抗合金よりなることを
特徴とする抵抗体に関するものである。

【００３１】第１８発明は、原子量比にて、クロム０．
１〜３０％および残部金と少量の不純物からなり、２０
０〜８００℃における平均の抵抗温度係数が５００×１
０^−６・℃^−１以下を有する電気抵抗合金よりなること
を特徴とする抵抗体に関するものである。

【００３２】第１９発明は、原子量比にて、クロム０．
１〜３０％および副成分として鉄２０％以下、ニッケル
２０％以下、コバルト２０％以下、マンガン２０％以
下、銀２０％以下、白金２０％以下、パラジウム４０％
以下、ロジウム１０％以下、イリジウム１０％以下、オ
スミウム１０％以下、ルテニウム１０％以下、バナジウ
ム５％以下、チタン５％以下、ジルコニウム５％以下、
ハフニウム５％以下、モリブデン８％以下、ニオブ５％
以下、タングステン１０％以下、タンタル８％以下、ガ
リウム３％以下、ゲルマニウム３％以下、インジウム３
％以下、ベリリウム３％以下、錫５％以下、アンチモン
３％以下、銅５％以下、アルミニウム５％以下、シリコ
ン５％以下、炭素２％以下、ホウ素２％以下および希土
類元素５％以下の１種または２種以上の合計０．００１
〜４０％および残部金と少量の不純物からなり、０〜８
００℃における平均の抵抗温度係数が５００×１０^−６
・℃^−１以下を有する電気抵抗合金よりなることを特徴
とする抵抗体に関するものである。

【００３３】第２０発明は、原子量比にて、クロム０．
１〜３０％および副成分として鉄２０％以下、ニッケル
２０％以下、コバルト２０％以下、マンガン２０％以
下、銀２０％以下、白金２０％以下、パラジウム４０％
以下、ロジウム１０％以下、イリジウム１０％以下、オ
スミウム１０％以下、ルテニウム１０％以下、バナジウ
ム５％以下、チタン５％以下、ジルコニウム５％以下、
ハフニウム５％以下、モリブデン８％以下、ニオブ５％
以下、タングステン１０％以下、タンタル８％以下、ガ
リウム３％以下、ゲルマニウム３％以下、インジウム３
％以下、ベリリウム３％以下、錫５％以下、アンチモン
３％以下、銅５％以下、アルミニウム５％以下、シリコ
ン５％以下、炭素２％以下、ホウ素２％以下および希土
類元素５％以下の１種または２種以上の合計０．００１
〜４０％および残部金と少量の不純物からなり、２００
〜８００℃における平均の抵抗温度係数が５００×１０
^−６・℃^−１以下を有する電気抵抗合金よりなることを
特徴とする抵抗体に関するものである。

【００３４】第２１発明は、請求項５の製造法で得られ
た電気抵抗合金をスパイラル状またはトロイダル状等の
所望の形と成し、これをそのままの状態で無機質または
有機質の電気絶縁体に固定するかまたは該絶縁体内に埋
め込むことにより形成することを特徴とする請求項１７
に記載の抵抗体に関するものである。

【００３５】第２２発明は、請求項６の製造法で得られ
た電気抵抗合金をスパイラル状またはトロイダル状等の
所望の形と成し、これをそのままの状態で無機質または
有機質の電気絶縁体に固定するかまたは該絶縁体内に埋
め込むことにより形成することを特徴とする請求項１８
に記載の抵抗体に関するものである。

【００３６】第２３発明は、請求項７の製造法で得られ
た電気抵抗合金をスパイラル状またはトロイダル状等の
所望の形と成し、これをそのままの状態で無機質または
有機質の電気絶縁体に固定するかまたは該絶縁体内に埋
め込むことにより形成することを特徴とする請求項１９
に記載の抵抗体に関するものである。

【００３７】第２４発明は、請求項８の製造法で得られ
た電気抵抗合金をスパイラル状またはトロイダル状等の
所望の形と成し、これをそのままの状態で無機質または
有機質の電気絶縁体に固定するかまたは該絶縁体内に埋
め込むことにより形成することを特徴とする請求項２０
に記載の抵抗体に関するものである。

【００３８】

【作用】近年、２００℃以上、特に５００〜８００℃の
高温環境下で使用される渦電流式変位センサあるいは抵
抗体などに用いることができる電気抵抗材料が要求され
ているが、銅や金などの通常の金属導電材料は電気抵抗
の温度係数が大きく、温度変化に対して電気抵抗が大き
く変化してしまうため使用することができない。

【００３９】一般に、電気抵抗材料に必要な特性は次の
通りである。 ア、電気抵抗の温度係数が小さく、抵抗温度曲線が直線
的であること。 イ、抵抗値が安定で、長期間にわたって経年変化が少な
いこと。 ウ、対銅熱起電力が小さいこと。 エ、固有抵抗が大きいこと。 オ、耐食耐酸化性が良好であること。 カ、加工性および機械的性質が良好であること。 キ、ろう接性が良好であること。 このうち特に重要なのがアおよびイであるが、高温まで
使用可能とするためにはさらにオの耐食耐酸化性が重要
となる。

【００４０】これらの特性を満足する電気抵抗材料は、
一般に遷移金属と貴金属または遷移金属同士の合金から
なり、その抵抗温度曲線において負の温度係数をとる範
囲をもち、温度に比例して抵抗が増加する通常の金属お
よび合金の抵抗温度曲線とは非常に異なっている点に特
徴がある。これは遷移金属の電子構造の不完全性に基づ
くもので、他に種々の原子的因子が関係している場合も
ある。

【００４１】金−クロム合金の場合、電気的特性に寄与
し得るファクターとして規則−不規則変態、クロム原子
による反強磁性−常磁性変態が考えられ、そのため従来
使用されてきた金−クロム電気抵抗合金は２００℃以下
の規則相内で長時間熱処理されることにより、０〜１２
０℃の温度において小さい温度係数で、かつ安定な特性
を示す。しかし、このことは上でも述べたように、この
材料を高温で使用することができないことを示唆してい
る。すなわち２００℃以上の温度で使用した場合、その
合金は不規則化するため電気的特性が変化してしまい、
温度係数が増大してしまうからである。

【００４２】２００℃以上の高温で熱処理した場合、０
〜１２０℃における温度係数は増大するが、０〜８００
℃または２００〜８００℃のいずれの範囲における平均
の温度係数も５００×１０^−６・℃^−１以下または４０
０×１０^−６・℃^−１以下と小さく、かつ組成で決まる
任意の１００℃内の温度係数がゼロとなる。異なる組成
における抵抗温度曲線を図１に示す。その１００℃の温
度範囲は、図２に示すように、同じく組成とともに変化
する規則−不規則変態点とは異なる温度依存性を示し、
他の因子による影響を加えて考える必要がある。また、
高温で熱処理しているため同じ高温で使用する場合に変
態を考える必要がなく、経時変化のない安定な特性を示
す。さらに、低温で使用する場合にも、低温であるがゆ
えに規則化の速度が遅いため、通常の測定において特性
が変化することはない。しかも、金が組成の大部分を占
めること、およびクロム自身も耐食性に優れることから
耐食耐酸化性に問題はなく、以上の結果から該合金が室
温付近から高温まで使用可能な材料として適しているこ
とが明らかになった。

【００４３】つぎに、本発明における数値の限定理由に
ついて以下に説明する。該合金の主成分およびその組成
を、原子量比にて、クロム０．１〜３０％および残部金
と限定した理由は、これらの組成範囲外においては０〜
８００℃における平均の抵抗温度係数が５００×１０
^−６・℃^−１を越えて大きくなり、本発明の目的に外れ
ることによる。

【００４４】副成分元素として鉄、ニッケル、白金、パ
ラジウム、モリブデン、タングステン、アルミニウムお
よび希土類元素を選んだのは、０〜８００℃における平
均の抵抗温度係数をさらに低減させることができるから
である。

【００４５】また、副成分元素としてコバルト、マンガ
ン、銀、ロジウム、イリジウム、オスミウム、ルテニウ
ム、バナジウム、チタン、ジルコニウム、ハフニウム、
ニオブ、タンタル、ガリウム、ゲルマニウム、インジウ
ム、ベリリウム、錫、アンチモン、銅、シリコン、炭素
およびホウ素を選んだのは、０〜８００℃における平均
の抵抗温度係数をほとんど変化させずに比電気抵抗を変
えることができるからである。これによって、抵抗値を
増大させて読み取り感度を高くする場合、または抵抗値
を低減させて消費電力を抑えたい場合にも対処すること
が同形状のまま可能となる。

【００４６】さらに、副成分の組成範囲を鉄２０％以
下、ニッケル２０％以下、コバルト２０％以下、マンガ
ン２０％以下、銀２０％以下、白金２０％以下、パラジ
ウム４０％以下、ロジウム１０％以下、イリジウム１０
％以下、オスミウム１０％以下、ルテニウム１０％以
下、バナジウム５％以下、チタン５％以下、ジルコニウ
ム５％以下、ハフニウム５％以下、モリブデン８％以
下、ニオブ５％以下、タングステン１０％以下、タンタ
ル８％以下、ガリウム３％以下、ゲルマニウム３％以
下、インジウム３％以下、ベリリウム３％以下、錫５％
以下、アンチモン３％以下、銅５％以下、アルミニウム
５％以下、シリコン５％以下、炭素２％以下、ホウ素２
％以下および希土類元素５％以下の１種または２種以上
の合計０．００１〜４０％と限定した理由は、これらの
組成範囲外においては０〜８００℃における平均の抵抗
温度係数が５００×１０^−６・℃^−１を越えて大きくな
り、本発明の目的から外れることによる。

【００４７】該合金作製時の熱処理温度を２００℃以上
と限定した理由は、２００℃以下の温度で熱処理した場
合、規則相から不規則相への変態が起こり特性が変化し
てしまうため、該薄膜を高温で使用することができない
ことによる。さらに熱処理温度を１０５０℃以下と限定
した理由は、この温度以上に加熱した場合、該合金が溶
融もしくは溶解してしまうことによる。また、熱処理時
間を２秒以上１００時間以下と限定した理由は、２秒以
下では合金内の原子の移動が起こらないため５００×１
０^−６・℃^−１以下の抵抗温度係数が得られず本発明の
目的から外れ、１００時間以上加熱しても、主たる特性
の向上は得られず、また経済的にも不利であることによ
る。

【００４８】なお、希土類元素はスカンジウム（Ｓ
ｃ）、イットリウム（Ｙ）およびランタン系元素からな
るが、その効果は均等であり、いずれも同効成分であ
る。

【００４９】

【実施例】本発明の実施例について説明する。 実施例１ 試料番号６（組成：Ａｕ−１３％Ｃｒ−１５
％Ｐｄ）の合金の製造と評価 純度９９．９％以上の
金、クロムおよびパラジウムの総重量３００ｇからなる
原料をアルミナ坩堝に入れ、真空中で高周波誘導電気炉
によって溶解した後、よく攪拌して均質な溶融合金とし
た。ついで、これを直径１２ｍ、高さ２００ｍｍの孔を
もつ金型に注入し、得られた丸棒状のインゴットをスウ
ェージング機および冷間線引機により、直径０．５ｍｍ
の細線となした。最後にその線材を水素、アルゴンまた
は大気の雰囲気中もしくは真空中にて種々熱処理を施し
て試料とした。真空中８００℃で熱処理した試料におけ
る抵抗温度係数がゼロとなる１００℃範囲の抵抗温度曲
線を図３に示す。図から、比抵抗値のバラツキが０．０
６％と小さく、温度による抵抗値の変動がほとんど生じ
ないことがわかった。さらに、種々の測定から得られた
この試料の０℃における比電気抵抗および０〜８００℃
における抵抗温度係数を表１に示す。

【００５０】

【表１】

【００５１】実施例２ 試料番号１１（組成：Ａｕ−１
３％Ｃｒ−５％Ｐｔ）の合金の製造と評価 純度９９．９％以上の金、クロムおよび白金の総重量１
０ｇからなる原料を高純度アルミナ坩堝に入れ、酸化を
防ぐために高純度アルゴンガスを吹き付けながらタンマ
ン炉によって溶解した後、よく攪拌して均質な溶融合金
とした。ついで、これを内径３．５ｍｍの石英管中に素
早く吸い上げ丸棒とした。得られた丸棒状のインゴット
をスウェージング機および冷間線引機により、直径０．
５ｍｍの細線に加工した。この細線から適当な長さ切り
取り、冷間加工のままかあるいは水素、アルゴンまたは
大気の雰囲気中もしくは真空中にて２００〜８００℃の
種々の温度で２秒〜１００時間の種々の時間で加熱後室
温まで徐冷する焼鈍を行い電気抵抗測定用試料とした。
またこれとは別に線径０．５ｍｍの細線をさらに精密冷
間圧延機により厚さ０．２８ｍｍおよび０．２２ｍｍの
２種類のリボン状薄板を作製し、上記熱処理条件の中か
ら特性の優れたものを選択し、その条件で熱処理を施し
た。つぎに、これら厚さの異なるリボン状薄板を重ねて
トロイダル状に２０〜５０回巻いた後、再結晶化温度よ
りやや高い３５０〜４００℃で３０分間加熱してくせ付
けを施した。その後厚さ０．２２ｍｍのリボン状コイル
を抜き取り、残ったもう一方の厚さ０．２８ｍｍのトロ
イダル状センサコイルをポリイミド樹脂中に浸漬して、
乾燥固着した後さらにセンサコイル表面の樹脂を研削し
て平滑となし、セラミック製ケース内に装填し、ついで
電極に同軸ケーブルをハンダ付けして渦電流式変位セン
サを作製した。種々の測定から得られたこの試料の０℃
における比電気抵抗および０〜８００℃における抵抗温
度係数を表２に示す。センサにした場合にも測定用試料
と同じ特性が得られ、本発明合金が５００〜８００℃の
高温環境下で使用される渦電流式変位センサあるいは抵
抗体などに用いることができることが判明した。

【００５２】

【表２】

【００５３】実施例３ 試料番号３５（組成：Ａｕ−１
３％Ｃｒ−１０％Ｐｄ−３％Ｐｔ）の合金の製造と評価 純度９９．９％以上の金、クロム、パラジウムおよび白
金の総重量２０ｇからなる原料をアルミナ坩堝に入れ、
その坩堝ごと透明石英管中に真空封入し、タンマン−ブ
リッジマン法により連続凝固させ丸棒の素材となした。
この丸棒を真空中において６００〜１０５０℃の温度で
適当な時間加熱後室温まで適当な速度で冷却させる溶体
化処理を施した。ついで、その丸棒をスウェージング機
および冷間線引機により加工し、直径０．５ｍｍの細線
となした。最後にその線材を水素、アルゴンまたは大気
の雰囲気中もしくは真空中にて種々熱処理を施して試料
とした。得られた試料は金属光沢があり、硬さは純金と
比べて約７倍大きかった。種々の測定から得られたこの
試料の０℃における比電気抵抗および０〜８００℃にお
ける抵抗温度係数を表３に示す。

【００５４】

【表３】

【００５５】表４および表５は、種々の製造法を用いて
作製した薄膜を真空中種々の条件で熱処理を施して本発
明の代表的な合金試料となし、それらについて測定した
０℃における比電気抵抗および０〜８００℃における抵
抗温度係数（ＴＣＲ）を示す。

【００５６】

【表４】

【００５７】

【表５】

【００５８】

【発明の効果】本発明合金は、室温から高温に至るまで
電気抵抗の温度係数が小さいという、従来にない優れた
特性を有する。従来用いられているＡｕ−Ｃｒ合金は０
〜１２０℃の温度範囲において１００×１０^−６・℃
^−１以下の極めて小さい温度係数の値を示し得るが、高
温における温度係数は大きく、さらに高温においては熱
エージングによる電気抵抗の経時変化が生ずるという問
題があった。本発明はこの問題点を解決し、室温から高
温に至るまで経時変化を伴わない安定な材料を得ること
を可能にした。しかも、０〜８００℃にわたって電気抵
抗の温度係数が５００×１０^−６・℃^−１以下と小さ
く、かつ任意の１００℃内において温度係数ゼロ、抵抗
値の変動０．０５％という優れた特性を有することか
ら、従来安定動作が困難であった高温においても、電気
抵抗材料を用いた渦電流式変位センサまたは抵抗体等の
センサデバイスを安定に使用可能とする点に、本発明の
効果がある。

【００５９】これらの特徴は単に高温用というだけでな
く、室温においても使用可能であるので、温度や周囲の
状況が激しく変化する箇所においてその優れた特性を発
揮することが期待できる。例えば航空宇宙船舶は、大気
圏高層部や宇宙空間における極低温から太陽光や大気摩
擦などにさらされた時の急激な温度上昇による高温ま
で、その温度変化はめまぐるしいが、そのような環境下
に設置する電子・電気回路などの配線材に金や銅などの
従来材料を用いた場合、伝達される信号レベルが変化し
てしまう。その点、本発明材料はそのような変化を生じ
させない効果があり、また保護材もしくは補正回路等を
必要とせず、重量、経費、手間などの軽減にも効果があ
る。しかも本発明合金は、耐食性および特性の経時安定
性に優れることから様々な環境下で使用可能であり、ま
た純金よりも硬度が高く比電気抵抗も大きいことから、
純金を用いる場合と比較して形状安定性および高い読み
取り精度を有し、人命に関わる重要性の高いセンサとし
て用いる時、その優れた特性が発揮される。

【図面の簡単な説明】

【図１】図１は、組成が異なるＡｕＣｒ２元合金試料に
おける比電気抵抗の温度依存性を示す特性図である。

【図２】図２は、ＡｕＣｒ２元合金試料における抵抗温
度係数がゼロとなる範囲の中心の温度および規則−不規
則変態温度の組成依存性を示す特性図である。

【図３】図３は、Ａｕ−１３％Ｃｒ−１５％Ｐｄ３元合
金についての４５０〜５５０℃における比電気抵抗の温
度依存性を示す特性図である。

フロントページの続き (51)Int.Cl.⁶ 識別記号 ＦＩ Ｃ２２Ｆ 1/00 ６６１ Ｃ２２Ｆ 1/00 ６６１Ｂ ６８６ ６８６Ａ ６９１ ６９１Ｃ ６９１Ｂ ６９１Ｚ

Claims (24)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】原子量比にて、クロム０．１〜３０％およ
   び残部金と少量の不純物からなり、０〜８００℃におけ
   る平均の抵抗温度係数が５００×１０^−６・℃^−１以下
   を有することを特徴とする電気抵抗合金。
2. 【請求項２】原子量比にて、クロム０．５〜３０％およ
   び残部金と少量の不純物からなり、２００〜８００℃に
   おける平均の抵抗温度係数が４００×１０^−６・℃^−１
   以下を有することを特徴とする電気抵抗合金。
3. 【請求項３】原子量比にて、クロム０．１〜３０％およ
   び副成分として鉄２０％以下、ニッケル２０％以下、コ
   バルト２０％以下、マンガン２０％以下、銀２０％以
   下、白金２０％以下、パラジウム４０％以下、ロジウム
   １０％以下、イリジウム１０％以下、オスミウム１０％
   以下、ルテニウム１０％以下、バナジウム５％以下、チ
   タン５％以下、ジルコニウム５％以下、ハフニウム５％
   以下、モリブデン８％以下、ニオブ５％以下、タングス
   テン１０％以下、タンタル８％以下、ガリウム３％以
   下、ゲルマニウム３％以下、インジウム３％以下、ベリ
   リウム３％以下、錫５％以下、アンチモン３％以下、銅
   ５％以下、アルミニウム５％以下、シリコン５％以下、
   炭素２％以下、ホウ素２％以下および希土類元素５％以
   下の１種または２種以上の合計０．００１〜４０％およ
   び残部金と少量の不純物からなり、０〜８００℃におけ
   る平均の抵抗温度係数が５００×１０^−６・℃^−１以下
   を有することを特徴とする電気抵抗合金。
4. 【請求項４】原子量比にて、クロム０．５〜３０％およ
   び副成分として鉄２０％以下、ニッケル２０％以下、コ
   バルト２０％以下、マンガン２０％以下、銀２０％以
   下、白金２０％以下、パラジウム４０％以下、ロジウム
   １０％以下、イリジウム１０％以下、オスミウム１０％
   以下、ルテニウム１０％以下、バナジウム５％以下、チ
   タン５％以下、ジルコニウム５％以下、ハフニウム５％
   以下、モリブデン８％以下、ニオブ５％以下、タングス
   テン１０％以下、タンタル８％以下、ガリウム３％以
   下、ゲルマニウム３％以下、インジウム３％以下、ベリ
   リウム３％以下、錫５％以下、アンチモン３％以下、銅
   ５％以下、アルミニウム５％以下、シリコン５％以下、
   炭素２％以下、ホウ素２％以下および希土類元素５％以
   下の１種または２種以上の合計０．００１〜４０％およ
   び残部金と少量の不純物からなり、２００〜８００℃に
   おける平均の抵抗温度係数が４００×１０^−６・℃^−１
   以下を有することを特徴とする電気抵抗合金。
5. 【請求項５】原子量比にて、クロム０．１〜３０％およ
   び残部金と少量の不純物からなる合金を、熱間加工また
   は冷間加工により線材または板材等の所望の形状となし
   た後、２００〜１０５０℃の還元性雰囲気、非酸化性雰
   囲気または真空中において２秒以上１００時間以下加熱
   する工程よりなり、０〜８００℃における平均の抵抗温
   度係数が５００×１０^−６・℃^−１以下を有する合金を
   得ることを特徴とする電気抵抗合金の製造法。
6. 【請求項６】原子量比にて、クロム０．５〜３０％およ
   び残部金と少量の不純物からなる合金を、熱間加工また
   は冷間加工により線材または板材等の所望の形状となし
   た後、２００〜１０５０℃の還元性雰囲気、非酸化性雰
   囲気中または真空中において２秒以上１００時間以下加
   熱する工程よりなり、２００〜８００℃における平均の
   抵抗温度係数が４００×１０^−６・℃^−１以下を有する
   合金を得ることを特徴とする電気抵抗合金の製造法。
7. 【請求項７】原子量比にて、クロム０．１〜３０％およ
   び副成分として鉄２０％以下、ニッケル２０％以下、コ
   バルト２０％以下、マンガン２０％以下、銀２０％以
   下、白金２０％以下、パラジウム４０％以下、ロジウム
   １０％以下、イリジウム１０％以下、オスミウム１０％
   以下、ルテニウム１０％以下、バナジウム５％以下、チ
   タン５％以下、ジルコニウム５％以下、ハフニウム５％
   以下、モリブデン８％以下、ニオブ５％以下、タングス
   テン１０％以下、タンタル８％以下、ガリウム３％以
   下、ゲルマニウム３％以下、インジウム３％以下、ベリ
   リウム３％以下、錫５％以下、アンチモン３％以下、銅
   ５％以下、アルミニウム５％以下、シリコン５％以下、
   炭素２％以下、ホウ素２％以下および希土類元素５％以
   下の１種または２種以上の合計０．００１〜４０％およ
   び残部金と少量の不純物からなる合金組成を有する合金
   を、鍛造、鋳造および熱間加工または冷間加工により線
   材または板材等の所望の形状となした後、２００〜１０
   ５０℃の還元性雰囲気、非酸化性雰囲気中または真空中
   において２秒以上１００時間以下加熱する工程よりな
   り、０〜８００℃における平均の抵抗温度係数が５００
   ×１０^−６・℃^−１以下を有する合金を得ることを特徴
   とする電気抵抗合金の製造法。
8. 【請求項８】原子量比にて、クロム０．５〜３０％およ
   び副成分として鉄２０％以下、ニッケル２０％以下、コ
   バルト２０％以下、マンガン２０％以下、銀２０％以
   下、白金２０％以下、パラジウム４０％以下、ロジウム
   １０％以下、イリジウム１０％以下、オスミウム１０％
   以下、ルテニウム１０％以下、バナジウム５％以下、チ
   タン５％以下、ジルコニウム５％以下、ハフニウム５％
   以下、モリブデン８％以下、ニオブ５％以下、タングス
   テン１０％以下、タンタル８％以下、ガリウム３％以
   下、ゲルマニウム３％以下、インジウム３％以下、ベリ
   リウム３％以下、錫５％以下、アンチモン３％以下、銅
   ５％以下、アルミニウム５％以下、シリコン５％以下、
   炭素２％以下、ホウ素２％以下および希土類元素５％以
   下の１種または２種以上の合計０．００１〜４０％およ
   び残部金と少量の不純物からなる合金組成を有する合金
   を、鍛造、鋳造および熱間加工または冷間加工により線
   材または板材等の所望の形状となした後、２００〜１０
   ５０℃の還元性雰囲気、非酸化性雰囲気中または真空中
   において２秒以上１００時間以下加熱する工程よりな
   り、２００〜８００℃における平均の抵抗温度係数が４
   ００×１０^−６・℃^−１以下を有する合金を得ることを
   特徴とする電気抵抗合金の製造法。
9. 【請求項９】原子量比にて、クロム０．１〜３０％およ
   び残部金と少量の不純物からなり、０〜８００℃におけ
   る平均の抵抗温度係数が５００×１０^−６・℃^−１以下
   を有する電気抵抗合金よりなることを特徴とする渦電流
   式変位センサ。
10. 【請求項１０】原子量比にて、クロム０．５〜３０％お
    よび残部金と少量の不純物からなり、２００〜８００℃
    における平均の抵抗温度係数が４００×１０^−６・℃
    ^−１以下を有する電気抵抗合金よりなることを特徴とす
    る渦電流式変位センサ。
11. 【請求項１１】原子量比にて、クロム０．１〜３０％お
    よび副成分として鉄２０％以下、ニッケル２０％以下、
    コバルト２０％以下、マンガン２０％以下、銀２０％以
    下、白金２０％以下、パラジウム４０％以下、ロジウム
    １０％以下、イリジウム１０％以下、オスミウム１０％
    以下、ルテニウム１０％以下、バナジウム５％以下、チ
    タン５％以下、ジルコニウム５％以下、ハフニウム５％
    以下、モリブデン８％以下、ニオブ５％以下、タングス
    テン１０％以下、タンタル８％以下、ガリウム３％以
    下、ゲルマニウム３％以下、インジウム３％以下、ベリ
    リウム３％以下、錫５％以下、アンチモン３％以下、銅
    ５％以下、アルミニウム５％以下、シリコン５％以下、
    炭素２％以下、ホウ素２％以下および希土類元素５％以
    下の１種または２種以上の合計０．００１〜４０％およ
    び残部金と少量の不純物からなり、０〜８００℃におけ
    る平均の抵抗温度係数が５００×１０^−６・℃^−１以下
    を有する電気抵抗合金よりなることを特徴とする渦電流
    式変位センサ。
12. 【請求項１２】原子量比にて、クロム０．５〜３０％お
    よび副成分として鉄２０％以下、ニッケル２０％以下、
    コバルト２０％以下、マンガン２０％以下、銀２０％以
    下、白金２０％以下、パラジウム４０％以下、ロジウム
    １０％以下、イリジウム１０％以下、オスミウム１０％
    以下、ルテニウム１０％以下、バナジウム５％以下、チ
    タン５％以下、ジルコニウム５％以下、ハフニウム５％
    以下、モリブデン８％以下、ニオブ５％以下、タングス
    テン１０％以下、タンタル８％以下、ガリウム３％以
    下、ゲルマニウム３％以下、インジウム３％以下、ベリ
    リウム３％以下、錫５％以下、アンチモン３％以下、銅
    ５％以下、アルミニウム５％以下、シリコン５％以下、
    炭素２％以下、ホウ素２％以下および希土類元素５％以
    下の１種または２種以上の合計０．００１〜４０％およ
    び残部金と少量の不純物からなり、２００〜８００℃に
    おける平均の抵抗温度係数が４００×１０^−６・℃^−１
    以下を有する電気抵抗合金よりなることを特徴とする渦
    電流式変位センサ。
13. 【請求項１３】請求項５の製造法で得られた電気抵抗合
    金をスパイラル状またはトロイダル状等の所望の形と成
    し、これをそのままの状態で無機質または有機質の電気
    絶縁体に固定するかまたは該絶縁体内に埋め込むことに
    より形成することを特徴とする請求項９に記載の渦電流
    式変位センサ。
14. 【請求項１４】請求項６の製造法で得られた電気抵抗合
    金をスパイラル状またはトロイダル状等の所望の形と成
    し、これをそのままの状態で無機質または有機質の電気
    絶縁体に固定するか、または該絶縁体内に埋め込むこと
    により形成することを特徴とする請求項９に記載の渦電
    流式変位センサ。
15. 【請求項１５】請求項７の製造法で得られた電気抵抗合
    金をスパイラル状またはトロイダル状等の所望の形と成
    し、これをそのままの状態で無機質あるいは有機質の電
    気絶縁体に固定するか、または該絶縁体内に埋め込むこ
    とにより形成することを特徴とする請求項１１に記載の
    渦電流式変位センサ。
16. 【請求項１６】請求項８の製造法で得られた電気抵抗合
    金をスパイラル状またはトロイダル状等の所望の形と成
    し、これをそのままの状態で無機質あるいは有機質の電
    気絶縁体に固定するか、または該絶縁体内に埋め込むこ
    とにより形成することを特徴とする請求項１１に記載の
    渦電流式変位センサ。
17. 【請求項１７】原子量比にて、クロム０．１〜３０％お
    よび残部金と少量の不純物からなり、０〜８００℃にお
    ける平均の抵抗温度係数が５００×１０^−６・℃^−１以
    下を有する電気抵抗合金よりなることを特徴とする抵抗
    体。
18. 【請求項１８】原子量比にて、クロム０．５〜３０％お
    よび残部金と少量の不純物からなり、２００〜８００℃
    における平均の抵抗温度係数が４００×１０^−６・℃
    ^−１以下を有する電気抵抗合金よりなることを特徴とす
    る抵抗体。
19. 【請求項１９】原子量比にて、クロム０．１〜３０％お
    よび副成分として鉄２０％以下、ニッケル２０％以下、
    コバルト２０％以下、マンガン２０％以下、銀２０％以
    下、白金２０％以下、パラジウム４０％以下、ロジウム
    １０％以下、イリジウム１０％以下、オスミウム１０％
    以下、ルテニウム１０％以下、バナジウム５％以下、チ
    タン５％以下、ジルコニウム５％以下、ハフニウム５％
    以下、モリブデン８％以下、ニオブ５％以下、タングス
    テン１０％以下、タンタル８％以下、ガリウム３％以
    下、ゲルマニウム３％以下、インジウム３％以下、ベリ
    リウム３％以下、錫５％以下、アンチモン３％以下、銅
    ５％以下、アルミニウム５％以下、シリコン５％以下、
    炭素２％以下、ホウ素２％以下および希土類元素５％以
    下の１種または２種以上の合計０．００１〜４０％およ
    び残部金と少量の不純物からなり、０〜８００℃におけ
    る平均の抵抗温度係数が５００×１０^−６・℃^−１以下
    を有する電気抵抗合金よりなることを特徴とする抵抗
    体。
20. 【請求項２０】原子量比にて、クロム０．５〜３０％お
    よび副成分として鉄２０％以下、ニッケル２０％以下、
    コバルト２０％以下、マンガン２０％以下、銀２０％以
    下、白金２０％以下、パラジウム４０％以下、ロジウム
    １０％以下、イリジウム１０％以下、オスミウム１０％
    以下、ルテニウム１０％以下、バナジウム５％以下、チ
    タン５％以下、ジルコニウム５％以下、ハフニウム５％
    以下、モリブデン８％以下、ニオブ５％以下、タングス
    テン１０％以下、タンタル８％以下、ガリウム３％以
    下、ゲルマニウム３％以下、インジウム３％以下、ベリ
    リウム３％以下、錫５％以下、アンチモン３％以下、銅
    ５％以下、アルミニウム５％以下、シリコン５％以下、
    炭素２％以下、ホウ素２％以下および希土類元素５％以
    下の１種または２種以上の合計０．００１〜４０％およ
    び残部金と少量の不純物からなり、２００〜８００℃に
    おける平均の抵抗温度係数が４００×１０^−６・℃^−１
    以下を有する電気抵抗合金よりなることを特徴とする抵
    抗体。
21. 【請求項２１】請求項５の製造法で得られた電気抵抗合
    金をスパイラル状またはトロイダル状等の所望の形と成
    し、これをそのままの状態で無機質あるいは有機質の電
    気絶縁体に固定するかまたは該絶縁体内に埋め込むこと
    により形成することを特徴とする請求項１７に記載の抵
    抗体。
22. 【請求項２２】請求項６の製造法で得られた電気抵抗合
    金をスパイラル状またはトロイダル状等の所望の形と成
    し、これをそのままの状態で無機質または有機質の電気
    絶縁体に固定するかまたは該絶縁体内に埋め込むことに
    より形成することを特徴とする請求項１８に記載の抵抗
    体。
23. 【請求項２３】請求項７の製造法で得られた電気抵抗合
    金をスパイラル状またはトロイダル状等の所望の形と成
    し、これをそのままの状態で無機質あるいは有機質の電
    気絶縁体に固定するか、または該絶縁体内に埋め込むこ
    とにより形成することを特徴とする請求項１９に記載の
    抵抗体。
24. 【請求項２４】請求項８の製造法で得られた電気抵抗合
    金をスパイラル状またはトロイダル状等の所望の形と成
    し、これをそのままの状態で無機質あるいは有機質の電
    気絶縁体に固定するかまたは該絶縁体内に埋め込むこと
    により形成することを特徴とする請求項２０に記載の抵
    抗体。