JPH1119860A - 磁気ヘッドの製造装置及び製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 磁気ヘッドの品質を向上させ磁気ヘッドの
製造の効率化を図る磁気ヘッドの製造装置を提供するこ
と。 【解決手段】 磁気情報記録媒体と摺動して磁気情報記
録媒体に情報を記録再生する磁気ヘッドの曲面状の摺動
面を研磨する研磨手段２０と、磁気ヘッドを保持し、磁
気ヘッドの摺動面を研磨手段２０に加圧接触させる加圧
手段６０と、研磨手段２０を磁気ヘッドの摺動面に対し
て移動させ、同時に加圧手段６０を磁気ヘッドの摺動面
に形成された曲面に沿って加圧手段を揺動させる移動手
段４０と、を有する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、磁気ヘッドの製造
装置及び製造方法の改良、特に磁気ヘッドの品質を向上
させ、磁気ヘッドの製造の効率化を図る磁気ヘッドの製
造装置及び製造方法に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】近年データストレージ用磁気ヘッド装置
の分野において、より高密度で高速な記録再生が行われ
ており、それに伴い磁気ヘッドの高性能化が要求されて
いる。

【０００３】図１２には、データストレージ用磁気ヘッ
ドの切り欠き断面図を示している。図１２に示すデータ
ストレージ用の磁気ヘッドは、例えばテープ幅が約６．
３ｍｍ（１／４インチ）のテープに情報を記録再生する
ためのＱＩＣ（Ｑｕａｒｔｅｒ Ｉｎｃｈ Ｃａｒｔｒ
ｉｄｇｅ）用の磁気ヘッドであり、磁気情報記録媒体と
の摺動面が曲面加工されている。

【０００４】図１２の磁気ヘッドは、内部に抵抗測定用
素子ＲＲを有している。図１２の抵抗測定用素子ＲＲ
は、図１３に示すように、長さ（デプス量）が小さくな
るにつれて、抵抗値が大きくなる特性を有している。こ
の特性を利用して、抵抗値測定用素子を内部に配置して
磁気ヘッドと一緒に研磨すると、磁気ヘッドの摺動面が
研磨されてデプス量が変化し、それに伴い抵抗測定用素
子ＲＲの抵抗値も変化する。図１２の抵抗測定用素子Ｒ
Ｒは端子接続用フレキシブルと接続されており、端子接
続用フレキシブルを抵抗測定器に接続することにより抵
抗測定用素子ＲＲの抵抗値を測定することができる。そ
して、測定された抵抗測定用素子ＲＲの抵抗値により、
磁気ヘッドのデプス量を測定することができる。

【０００５】データストレージ用磁気ヘッドは、高密で
高速の記録再生を行うことのできる記録再生特性の向上
が要求されている。そのため安定して高い出力が得られ
る高精度な磁気ヘッドを提供するため、デプスを磁気ヘ
ッドの摺動面のどの位置においても、デプス量が一定で
あって、かつなめらかなＲ形状であることが要求され
る。この要求に応えるために磁気ヘッドの製造は、以下
の要領で行われている。

【０００６】図１２のデータストレージ用の磁気ヘッド
の製造は、主に３つの工程に分けられる。はじめに第１
工程として、磁気ヘッドの摺動面を曲面加工するため研
削機械を用いて磁気ヘッドを研削する。このとき、図１
３に示すように抵抗測定用素子ＲＲの長さ（デプス量）
が小さくなるにつれて抵抗測定用素子ＲＲの抵抗値が大
きくなる特性を利用して、測定用抵抗素子の抵抗値を端
子接続用フレキシブルを介して測定することによりデプ
ス量を測定しながら研削を行う。抵抗測定用素子ＲＲの
抵抗値が一定の大きさになるまで磁気ヘッドの摺動面が
曲面状に形成されるように研削を行う。

【０００７】次に第２工程として、第１工程において磁
気ヘッドに形成された摺動面のＲ形状を保ちつつ磁気ヘ
ッド全体のデプス量を均一にするために、磁気ヘッドの
摺動面を研磨（ラッピング）する。このとき磁気ヘッド
の摺動面を研磨するためのラップテープを用意して、ラ
ップテープと磁気ヘッドの摺動面を摺動させる。そし
て、磁気ヘッドのデプス量にばらつきがある時は、デプ
ス量が大きいところに高い圧力をかけて研磨を行う。磁
気ヘッドの摺動面をラップテープに数回滑らせた後、端
子接続用フレキシブルを抵抗測定器に接続して、磁気ヘ
ッドの摺動面のデプス量を測定する。磁気ヘッドの摺動
面全体のデプス量にばらつきが無くなるまでこの工程を
繰り返す。最後に第３工程として、磁気ヘッドと磁気情
報記録媒体との接触を良くするために、磁気ヘッドの摺
動面を研磨機を用いて研磨する。

【０００８】従来は、磁気ヘッドのデプス量のばらつき
を調整するという第２工程の作業は、作業者が行ってい
た。具体的には、作業者が研削液を塗布した研磨テープ
（ラップテープ）に磁気ヘッドの摺動面を接触させて滑
らせるようにしながら研磨する。このとき作業者は、磁
気ヘッドに形成されたＲ形状を乱さないように目で確認
しながらＲ形状に沿って磁気ヘッド摺動面の研磨を行
い、磁気ヘッドを研磨するためラップテープ上への圧力
やラップ動作の揺動や往復の回数を微妙に調整する。こ
れらの作業は、作業者の経験や感覚で行われる。ある程
度研磨をしたら、テスター等の抵抗測定器を用いて磁気
ヘッドの測定用抵抗素子の抵抗値を測定する。測定され
た抵抗値が摺動面全体においてほぼ同一になるまで、作
業者は研磨を続ける。

【０００９】

【発明が解決しようとする課題】しかし、作業者が磁気
ヘッドを研磨（ラップ）する際、ラップテープに磁気ヘ
ッドを押しつける圧力や研磨するための時間、ラップテ
ープ上を往復させる回数などを各作業者が経験により決
定していたため、各磁気ヘッドによりデプス量のばらつ
きが生じてしまう。それにより、不良品の数が多くなり
歩留まりが悪く、作業時間が長くなってしまうという問
題が生じている。そして、各デプス量のバランスを取り
つつラップするには、熟練した技術が必要であるため、
技術の習得に時間がかかるという問題がある。また、ラ
ップするときのラップテープとヘッドの接触角度などに
ついても作業者によって決定されるため、第１工程で形
成されたヘッドのテープ接触面の形状が、図１４のよう
に磁気ヘッドの角が落ちたりして乱れることにより、要
求されている磁気情報記録媒体とヘッドの安定したあた
りが得られないという問題がある。

【００１０】そこで本発明は上記課題を解消し、磁気ヘ
ッドの品質を向上させ磁気ヘッドの製造の効率化を図る
磁気ヘッドの製造装置を提供することを目的としてい
る。

【００１１】

【課題を解決するための手段】上記目的は、本発明にあ
っては、磁気情報記録媒体と摺動して磁気情報記録媒体
に情報を記録再生する磁気ヘッドの曲面状の摺動面を研
磨する研磨手段と、磁気ヘッドを保持し、磁気ヘッドの
摺動面を研磨手段に加圧接触させる加圧手段と、研磨手
段を磁気ヘッドの摺動面に対して移動させ、同時に加圧
手段を磁気ヘッドの摺動面に形成された曲面に沿って加
圧手段を揺動させる移動手段と、を有する磁気ヘッドの
製造装置、により達成される。

【００１２】本発明では、加圧手段に保持されている磁
気ヘッドの摺動面が研磨手段に対して圧力をかけながら
接触している。移動手段により研磨手段が直線方向に移
動して磁気ヘッドが磁気ヘッドの摺動面に形成された曲
面に沿って揺動して、磁気ヘッドと研磨手段が擦れ合う
ことにより磁気ヘッドの摺動面が研磨される。これによ
り、磁気ヘッドに形成されている曲面を乱すことなく、
かつ短時間で効率的に磁気ヘッドの研磨を行うことがで
きる。

【００１３】

【発明の実施の形態】以下、本発明の好適な実施の形態
を添付図面に基づいて詳細に説明する。なお、以下に述
べる実施の形態は、本発明の好適な具体例であるから、
技術的に好ましい種々の限定が付されているが、本発明
の範囲は、以下の説明において特に本発明を限定する旨
の記載がない限り、これらの形態に限られるものではな
い。

【００１４】図１に本発明の磁気ヘッドの製造装置の好
ましい実施の形態を示す概略斜視図であり、図２は、図
１の矢印Ａ方向からみた磁気ヘッドの製造装置の正面図
であり、図３は、図１の矢印Ｂ方向からみた側面図を示
している。図１乃至図３を参照して磁気ヘッドの製造装
置１０について説明する。図１の磁気ヘッドの製造装置
１０は、研磨手段２０、移動手段４０、加圧手段６０等
からなっている。

【００１５】図１乃至図３を参照して、研磨手段２０に
ついて詳しく説明する。図１の研磨手段２０は、研磨台
２１、ラック２２、ガイドレール２３、ラップテープ２
４等を有している。図１の研磨台２１は基台Ｂの上に配
置されており、基台Ｂと研磨台２１の底面部の間にガイ
ドレール２３を有している。図１のガイドレール２３
は、研磨台２１が矢印Ｘ方向に移動する際のガイドの役
割を果たす。図２の研磨台２１の右側面部にはラック２
２が形成されており、ラック２２は第２軸４３に設けら
れている第２ピニオン４８とかみ合っている。図１の研
磨台２１は、アクチュエータ２５に接続されており、ア
クチュエータ２５は、研磨台２１を矢印Ｘ方向に移動さ
せることができる。図１の研磨手段２０が矢印Ｘ１、Ｘ
２方向に移動すると、ラック２２にかみ合っており第２
軸４３に固定されている第２ピニオン４８がＲ１、Ｒ２
方向にそれぞれ回転する。

【００１６】図２の研磨台２１の左側面部には、研磨手
段２０のＸ方向の移動を規制するための移動規制手段２
６が配置されている。図４は、移動規制手段２６の拡大
側面図を示しており、移動規制手段２６は移動規制部材
２７ａ、２７ｂ、突起部材２８を有している。図４の突
起部材２８は、その先端が移動規制部材２７ａ，２７ｂ
に当たるように研磨台２１の左側面に固定されている。
図４の移動規制部材２７ａ、２７ｂは基台Ｂに配置され
ており、移動規制部材２７ａ、２７ｂは突起部材２８が
移動規制部材２７ａ、２７ｂに当たったときにその衝撃
を吸収するためのショックアブソーバをそれぞれ有して
いる。図１の研磨手段２０が矢印Ｘ１方向に移動する
と、突起部材２８もＸ１方向に移動する。このとき移動
規制部材２７ａに突起部材２８が当たることにより、研
磨手段２０のＸ１方向の移動を規制する。また、研磨手
段２０が矢印Ｘ２方向に移動する際に、突起部材２８が
移動規制部材２７ｂが突起部材２８と当たることによ
り、研磨手段２０の矢印Ｘ２方向の移動を規制する。

【００１７】図１の研磨台２１の上面部には、磁気ヘッ
ドの摺動面を磁気ヘッドの摺動面を研磨するためのラッ
プテープ２４が設けられている。図１のラップテープ２
４は、研磨台２１に対して水による密着により固定され
ている。これにより、作業者はラップテープ２４の交換
を簡単に行うことができる。図１のラップテープ２４に
磁気ヘッドの曲面加工された摺動面が摺動することによ
り、摺動面のデプス量のばらつきを調整し、所定のデプ
ス量に研磨する。

【００１８】図１乃至図３を参照して移動手段４０につ
いて詳しく説明する。図１の移動手段４０は、支柱４１
ａ、４１ｂ、第１軸４２ａ、４２ｂ、第２軸４３、ギア
４４、第１ピニオン４５、第２ピニオン４８、加圧手段
保持部材５０等を有している。図２の支柱４１ａ、４１
ｂの下端部４１ｃ、４１ｄは、基台Ｂに対して固定され
ている。図２の支柱４１ａ、４１ｂの上端部４１ｅ、４
１ｆには、第１軸４２ａ、４２ｂがベアリングを介して
回転可能にそれぞれ配置されている。図２の第２軸４３
は、左側の支柱４１の中間部４１ｇにベアリングを介し
て回転可能に保持されている。

【００１９】図２の支柱４１ａの右側には、第１ピニオ
ン４５が第１軸４２ａに対して固定されており、ギア４
４が第２軸４３に対して固定されている。図３のギア４
４は第１ピニオン４５とかみ合っており、ギア４４がＲ
１、Ｒ２方向に回転すると第１ピニオン４５が矢印Ｒ
３、Ｒ４方向にそれぞれ揺動する。図２の支柱４１ａ、
４１ｂの内側に、加圧手段６０を保持するための加圧手
段保持部材５０が第１軸４２ａ、４２ｂ、に対して固定
されている。図２の第２軸４３が回転することによりギ
ア４４が回転し、ギア４４とかみ合っている第１ピニオ
ン４５が回転する。図２の第１ピニオン４５は第１軸４
２に固定されているため、第１ピニオン４５が回転する
と第１軸４２も回転する。図２の加圧手段保持部材５０
は第１軸４２ａ、４２ｂに対して固定されているので、
第１軸４２ａが回転することにより、加圧手段保持部材
５０も揺動する。

【００２０】図１、図３の加圧手段保持部材５０は、プ
レート５１、５２、ストラットバー５３、着脱用ネジ５
４等を有している。図２のプレート５１、５２の下端部
５１ａ、５２ａは第１軸４２ａ、４２ｂに固定されてお
り、上部５１ｂ、５２ｂにはストラットバー５３が固定
されている。図３のストラットバー５３には、後述する
プレート６１が着脱可能に固定されている。図３のスト
ラットバー５３の背面部には、着脱用ネジ５４が設けら
れている。磁気ヘッドの製造装置１０から加圧手段６０
がはずれた状態から装着する際に、着脱用ネジ５４によ
りはずす前の状態と装着した後の状態を同一に保つこと
ができる。図３のプレート５１、５２の第１軸４２ａ、
４２ｂからの長さＬ１は、磁気ヘッドの摺動面の曲面加
工を決定している。つまり、加圧手段保持部材５０が揺
動する軌跡は、長さＬ１により決定され、磁気ヘッドも
それと同期して揺動するために長さＬ１が磁気ヘッドの
Ｒ形状を決定することになる。

【００２１】図１乃至図３を参照して加圧手段６０につ
いて詳しく説明する。図１の加圧手段６０は、第１加圧
手段７０、第２加圧手段８０、第３加圧手段９０等を有
している。

【００２２】図３の加圧手段６０は、プレート６１、ガ
イド部６２、テーブル６３を有している。図３のプレー
ト６１の右側面部は、ストラットバー５３に固定されて
いて、加圧手段６０を揺動可能に保持している。図３の
ガイド部６１の左側面部は、ガイド部６２が設けられて
おり、ガイド部６２はプレート６１に対して矢印Ｚ方向
に移動することができる。図３のガイド部６２の左側面
部には、テーブル６３が固定されていて、ガイド部６２
の上面部には、マイクロメータ７１を保持するためのマ
イクロホルダ６４が配置されている。

【００２３】図３のガイド部６２の下端部には、マイク
ロホルダ６５が設けられている。図３のマイクロホルダ
６５は、第２加圧手段８０と第３加圧手段９０とを保持
している。図３のテーブル６３の下端部には、磁気ヘッ
ド保持部材６６がネジにより固定されている。磁気ヘッ
ド保持手段６６は、磁気ヘッドの摺動面を研磨手段２０
に対向させるようにして磁気ヘッドを保持する。

【００２４】図１乃至図３を参照して、第１加圧手段７
０について詳しく説明する。図２の第１の加圧手段７０
は、マイクロメータ７１、スプリング７２、バネホルダ
７３を有している。マイクロメータ７１は、マイクロホ
ルダ６５に保持されており、バネホルダ７３には、スプ
リング７２が巻かれている。バネホルダ７３の上端には
マイクロメータ７１が設けられており、下端側にはテー
ブル６３の上面に接続されている。

【００２５】図１のマイクロメータ７１をＲ５方向に回
転させると、スプリング７１が収縮してテーブル６３に
対して圧力を加わる。そして、テーブル６３と連結して
いるガイド部６２に対して矢印Ｚ１方向に圧力がかか
り、磁気ヘッド保持部材６６に保持されている磁気ヘッ
ドに対して矢印Ｚ１方向の圧力を加えることができる。
逆に、マイクロメータ７０を矢印Ｒ６方向に回転させる
と、スプリング７３によりテーブル６３にかかる圧力を
減少させる。第１加圧手段７０により磁気ヘッドに対し
て圧力を加えることにより、磁気ヘッドの摺動面がラッ
プテープ２１と密着し磁気ヘッドの摺動面のＲ形状を乱
すことなく図１３のように片縁だけを削ることなく摺動
面の研磨を行うことができる。

【００２６】図１乃至図３を参照して、第２加圧手段８
０及び第３加圧手段９０について詳しく説明する。図２
の第２加圧手段８０は、テーブル６３の右側に配置され
ており、マイクロホルダ６５により保持されている。図
２の第２加圧手段８０は、マイクロメータ８１、バネホ
ルダ８２、スプリング８３を有している。バネホルダ８
２の上端部にはマイクロメータが固定されており、バネ
ホルダ８２の下端側は磁気ヘッド保持部材６６の上面に
接触している。バネホルダ８２には、スプリング８３が
巻かれており、磁気ヘッド保持部材６６に対して圧力を
加えることができる。図２のマイクロホルダ６５と磁気
ヘッド保持部材６６の間に、ストッパ８４が設けられて
いる。これは、磁気ヘッド保持部材６６が第２加圧手段
８０の圧力により、研磨台２１に対して所定の角度以上
傾かないようにするためである。

【００２７】図１乃至図３を参照して、第３加圧手段９
０について詳しく説明する。図２の第３加圧手段９０
は、テーブル６３の左側に配置されており、マイクロホ
ルダ６５により保持されている。図２の第３加圧手段９
０は、マイクロメータ９１、バネホルダ９２、スプリン
グ９３を有している。バネホルダ９２の上端部にはマイ
クロメータ９１が固定されており、バネホルダ９２の下
端側は磁気ヘッド保持部材６６の上面に接触している。
図２のバネホルダ９２には、スプリング９３が巻かれて
おり、磁気ヘッド保持部材６６に対して圧力を加えるこ
とができる。図２のマイクロホルダ６５と磁気ヘッド保
持部材６６の間に、ストッパ９４が設けられている。こ
れは、磁気ヘッド保持部材６６が第３加圧手段９０の圧
力により、研磨台２１に対して所定の角度以上傾かない
ようにするためである。

【００２８】図５において、磁気ヘッド保持手段６６に
保持されている磁気ヘッドには、第１加圧手段７０から
圧力Ｆ１、第２加圧手段８０から圧力Ｆ２、第３加圧手
段９０から圧力Ｆ３がかけられる。図５の圧力Ｆ１は、
磁気ヘッド全体に圧力をかけるため、磁気ヘッドの摺動
面全体が常にラップテープ２４に当たるようにすること
ができる。これにより、研磨する際、磁気ヘッドの特定
の部分だけ削れたり、あるいは特定の部分だけ削られな
いということを防止することができる。さらに圧力Ｆ１
を調整するにより、磁気ヘッドの研磨されるデプス量を
調整することができる。そして、図５の圧力Ｆ２、Ｆ３
を調整することにより、磁気ヘッドのデプス量のバラン
スを取ることができる。また、図５のストッパ８４、９
４により圧力Ｆ２、Ｆ３により磁気ヘッド保持手段６６
が極端に傾くことを防止することができる。

【００２９】図６乃至図１０を参照して、磁気ヘッドの
製造装置１０の動作について説明する。はじめに、図６
のように研磨する磁気ヘッドを磁気ヘッド接着治具に固
定する。これは、磁気ヘッドを外部からの衝撃から守
り、磁気ヘッドを直接さわることによる磁気ヘッドの性
能低下を防止するためである。そして、図７のように、
加圧手段６０を磁気ヘッドの製造装置からはずして、仮
置きベースに置く。図７の仮置きベースに置かれている
加圧手段６０の磁気ヘッド保持部材に対して、摺動面が
曲面加工された磁気ヘッドが固定された磁気ヘッド接着
治具をネジにより装着する。マイクロメータ７１、８
１、９１をそれぞれ回転させて磁気ヘッドに圧力を加え
た状態で磁気ヘッドが装着された加圧手段６０を磁気ヘ
ッドの製造装置１０に配置する。そして図３の加圧手段
６０の位置をラップテープ２４に接触するようにプレー
ト６２をＺ方向に移動させて、位置決めをした後プレー
ト６２を固定する。そして、研磨手段２０と磁気ヘッド
の手動面が対向して配置されることにより、磁気ヘッド
の摺動面を研磨できる状態になる。

【００３０】次に、図８のようにアクチュエータ２５を
作動させることにより、研磨手段２０を矢印Ｘ１方向に
移動させる。研磨手段２０が矢印Ｘ１方向に移動するこ
とにより、ラック２２にかみ合っている第２ピニオン４
８が回転し、第２軸４３、ギア４４がＲ１方向に回転す
る。図８のギア４４がＲ１方向に回転すると、ギア４４
にかみ合っている第１ピニオン４５がＲ３方向に揺動
し、第１軸４２に固定されている加圧手段保持部材５
０、磁気ヘッドを保持している加圧手段６０もＲ３方向
に揺動する。図８の研磨手段２０がＸ１方向に移動し、
加圧手段６０に保持されている磁気ヘッドがＲ３方向に
揺動することにより、磁気ヘッドの摺動面が研磨され
る。このとき、図４の研磨手段２０の突起部材２８が移
動規制部材２７ａに当たることにより、研磨手段２０の
Ｘ１方向の移動量を規制しているとともに、加圧手段６
０の揺動を規制している。

【００３１】次に図９に示すようにアクチュエータの作
動により研磨手段２０が矢印Ｘ２方向に移動する。図９
のラック２２と第２ピニオン４８により第２軸４３、ギ
ア４４が矢印Ｒ２方向に回転し、ギア４４と第１ピニオ
ン４５により第１軸４２が矢印Ｒ４方向に回転する。図
９のギア４４がＲ２方向に回転することにより、第１第
１ピニオン４５、加圧手段６０がＲ４方向に揺動する。
図９の加圧手段６０がＲ４方向に揺動することにより、
磁気ヘッドの摺動面を研磨する。このとき、研磨台２１
に設けられている突起部材２８が移動規制部材２７ｂに
当たることにより、研磨手段２０のＸ２方向の移動を規
制すると共に、加圧手段６０の揺動を規制することがで
きる。そして、図１０のようにアクチュエータ２５を作
動させて、研磨手段２０をＸ１方向に移動させることに
より研磨を続ける。

【００３２】以上の動作を繰り返すことにより、研磨手
段と加圧手段が相対的に移動し、磁気ヘッドの摺動面を
研磨する。このとき、磁気ヘッドに組み込まれている抵
抗測定用素子ＲＲは測定用フレキシブルを介して抵抗が
測定され、その測定値が表示手段により常に表示されて
いる。そして作業者が表示手段に表示される抵抗値を確
認しながら研磨を行い、磁気ヘッドのデプス量のばらつ
き具合に応じて研磨台２１に接続されているアクチュエ
ータ２５の作動を止めて、マイクロメータ７１、８１、
９１を回転させて磁気ヘッドにかかる圧力を調整する。

【００３３】例えば、図８の磁気ヘッドが加圧手段６０
に対して固定される際、磁気ヘッドの抵抗測定用素子Ｒ
Ｒの抵抗値を測定したとき、図２の左側のデプス量が右
側に比べて大きかった場合、作業者は図５の左側に配置
されている第３加圧手段９０が磁気ヘッドにかける圧力
の大きさＦ３を第２加圧手段８０が磁気ヘッドにかける
圧力Ｆ２よりも大きく設定する。また、磁気ヘッドの研
磨が進むにつれてデプス量が所定の大きさに近づいてき
たときは、第１加圧手段７０の圧力Ｆ１を小さくして、
デプス量の研磨を小さくする。そして、磁気ヘッドの製
造装置１０に加圧手段６０を配置して研磨を行う。研磨
が進むにつれてデプス量のばらつきが無くなってきた
ら、アクチュエータ２５の作動を止めて第３加圧手段の
圧力Ｆ３を小さくして第２加圧手段８０の圧力Ｆ２と同
じにする。そしてさらに所定のデプス量になるまで研磨
を行う。

【００３４】磁気ヘッドのデプス量がほぼ同一になった
とき、すなわち磁気ヘッドに埋め込まれている抵抗測定
用素子ＲＲの抵抗値がほぼ同一になったとき、図１の着
脱バネ５４をはずして加圧手段６０を仮置きベースに置
く。そして、図８の磁気ヘッドを保持している保持部材
から磁気ヘッドをはずして、新たに研磨されていない磁
気ヘッドを保持部材に装着して上記の動作を繰り返す。

【００３５】ここで磁気ヘッドの抵抗値は、例えば３５
０Ωになるまで研磨を行う。抵抗値が１０Ωで０．１μ
ｍのデプスが研磨されるが、この方法により抵抗落ちの
バランスを±０．０１μｍの精度で研磨することができ
る。また、データストレージ用の磁気ヘッドのヘッド内
の角デプス精度は、±０．２μｍであればよいので、こ
の装置はこれらの条件を十分満たすものとなっている。

【００３６】上記の実施の形態によると、磁気ヘッドの
Ｒ形状は図３の加圧手段保持部材５０の長さＬ１により
一定に定められているので、磁気ヘッドを量産した際の
どの磁気ヘッドのＲ形状も同一形状にすることができ、
歩留まりを良くすることができ、磁気ヘッドのコストを
削減することができる。さらに、図１の第１加圧手段７
０により、磁気ヘッドの摺動面全体がヘッドラップ２４
に常に接触しているため、図１３のように磁気ヘッドの
角がおちるようなことが無くなる。また、作業者は表示
部に表示される抵抗値のみを監視していればよいので、
特別な技術を要することなく磁気ヘッドの研磨を行うこ
とができ、効率的である。そして、従来にくらべて作業
時間を短縮することができる。

【００３７】別の実施の形態 図１１には、本発明の第２の実施の形態を示している。
以下の実施の形態の磁気ヘッドの製造装置は、図１の実
施の形態の磁気ヘッドの製造装置とほぼ同様の構造であ
る。従って、以下の実施の形態の磁気ヘッドの製造装置
における構成要素について、図１の実施の形態の磁気ヘ
ッドの製造装置における構成要素と同じ場合には、同じ
符号を記してその説明を省略する。

【００３８】図１１において、図１と異なる点は、加圧
手段６０の第１加圧手段７０、第２加圧手段８０、第３
加圧手段９０のマイクロメータ７１、８１、９１にモー
タＭ１、Ｍ２、Ｍ３がそれぞれ接続されており、モータ
Ｍ１、Ｍ２、Ｍ３は制御部１００に接続されている。図
１１の制御部１００は、磁気ヘッドの接続端子用フレキ
シブルとも接続しており、磁気ヘッドの抵抗値を把握し
ている。制御部１００は、モータＭ１、Ｍ２、Ｍ３の回
転により磁気ヘッドに与えられる圧力の強さを制御す
る。これにより、接続用フレキシブル端子から送られて
くる抵抗値に従って、モータＭ１、Ｍ２、Ｍ３をそれぞ
れ回転させマイクロメータ７１、８１、９１をそれぞれ
回転させることにより、自動的に磁気ヘッドの摺動面の
研磨をすることができる。

【００３９】上述の実施の形態によると、各ヘッドデプ
スとの相対的な位置が把握できる抵抗値を用いて、ヘッ
ドラップ面のラップ圧力のバランスを変化させること
で、ヘッド摺動面のＲ形状を乱すことなく用意かつ安定
して高精度にデプス量をラップすることができる。従っ
て、本製造方法においてはその効果が発揮され、データ
ストレージドライブにおいて、より高密度で高速の記録
再生が可能になる。

【００４０】ところで、本発明は、上述した各実施の形
態には限定されない。図１の加圧手段は、スプリングに
より磁気ヘッドに対して圧力をかけているが、油圧シリ
ンダや空気圧シリンダであってももちろん構わない。ま
た、磁気ヘッド保持手段は、ネジにより磁気ヘッドを保
持しているが、はめ込みにより磁気ヘッドを保持しても
構わない。上記実施の形態において、図２に示すように
ギア４４、ラック２２、第２ピニオン４８は右側面側に
のみ設けられているが、動作の安定性を良くするために
研磨手段２０の両側面側に配置するようにしても構わな
い。さらに、上記実施の形態においては、研磨手段２０
をＸ方向に移動させることにより、加圧手段６０を揺動
させているが、第２軸４３にアクチュエータを接続し
て、アクチュエータを作動させることにより研磨手段２
０をＸ方向に移動させると共に、加圧手段６０を揺動さ
せるようにしてもよい。

【００４１】

【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
磁気ヘッドの品質を向上させ磁気ヘッドの製造の効率化
を図る磁気ヘッドの製造装置を提供することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の磁気ヘッドの製造装置の好ましい実施
の形態を示す斜視図。

【図２】図１の矢印Ａ方向からみた磁気ヘッドの製造装
置を示す正面図。

【図３】図１の矢印Ｂ方向からみた磁気ヘッドの製造装
置を示す側面図。

【図４】図１の移動規制手段を示す拡大側面図。

【図５】図１の加圧手段の磁気ヘッド保持手段周辺を示
す拡大正面図。

【図６】研磨される磁気ヘッドが磁気ヘッド接着治具に
装着された状態を示す斜視図。

【図７】図１の加圧手段が仮置きベースに置かれている
状態を示す拡大側面図。

【図８】図１の加圧手段が揺動して磁気ヘッドの摺動面
を研磨している状態を示す側面図。

【図９】図１の加圧手段が揺動して磁気ヘッドの摺動面
を研磨している状態を示す側面図。

【図１０】図１の加圧手段が揺動して磁気ヘッドの摺動
面を研磨している状態を示す側面図。

【図１１】本発明の磁気ヘッドの製造装置の別の実施の
形態を示す斜視図。

【図１２】摺動面を研磨される磁気ヘッドを示す切り欠
き断面図。

【図１３】抵抗測定用素子ＲＲの特性を示すグラフ。

【図１４】従来の磁気ヘッドの研磨方法で行った磁気ヘ
ッドを示す断面図。

【符号の説明】

１０・・・磁気ヘッドの製造装置、２０・・・研磨手
段、４０・・・移動手段、６０・・・加圧手段、７０・
・・第１加圧手段、８０・・・第２加圧手段、９０・・
・第３加圧手段、ＲＲ・・・抵抗測定用素子。

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 磁気情報記録媒体と摺動して磁気情報記
   録媒体に情報を記録再生する磁気ヘッドの曲面状の摺動
   面を研磨する研磨手段と、 磁気ヘッドを保持し、磁気ヘッドの摺動面を研磨手段に
   加圧接触させる加圧手段と、 研磨手段を磁気ヘッドの摺動面に対して移動させ、同時
   に加圧手段を磁気ヘッドの摺動面に形成された曲面に沿
   って加圧手段を揺動させる移動手段と、 を有することを特徴とする磁気ヘッドの製造装置。
2. 【請求項２】 加圧手段は、磁気ヘッドの摺動面に対し
   て均一に圧力を加える第１加圧手段と、磁気ヘッドの一
   端側に圧力を加える第２加圧手段と、磁気ヘッドの他端
   側に圧力を加える第３加圧手段とを有していることを特
   徴とする請求項１に記載の磁気ヘッドの製造装置。
3. 【請求項３】 磁気ヘッドの内部に埋め込まれている、
   長さが変わると抵抗値が変わる抵抗素子の抵抗値を測定
   することにより、磁気ヘッドのデプス量を測定する測定
   手段を備え、その測定結果に従って磁気ヘッドの摺動面
   を研磨することを特徴とする請求項１に記載の磁気ヘッ
   ドの製造装置。
4. 【請求項４】 磁気ヘッドを加圧手段の保持部材に保持
   させて、磁気ヘッドの摺動面を研磨手段に加圧接触さ
   せ、 研磨手段を磁気ヘッドの摺動面に対して移動させるする
   と共に、加圧手段を磁気ヘッドの摺動面に形成された曲
   面に沿って揺動させて、磁気ヘッドの摺動面を研磨し、 磁気ヘッドの内部に埋め込まれている、長さが変わると
   抵抗値が変わる抵抗素子の抵抗値を測定することにより
   磁気ヘッドのデプス量を測定する測定手段の測定結果に
   従って磁気ヘッドの摺動面を研磨する、 ことを特徴とする磁気ヘッドの製造方法。