JPH11201165A - 制御型磁気軸受装置 - Google Patents
制御型磁気軸受装置Info
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- JPH11201165A JPH11201165A JP10002707A JP270798A JPH11201165A JP H11201165 A JPH11201165 A JP H11201165A JP 10002707 A JP10002707 A JP 10002707A JP 270798 A JP270798 A JP 270798A JP H11201165 A JPH11201165 A JP H11201165A
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- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 claims abstract description 38
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 20
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-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16C—SHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
- F16C2360/00—Engines or pumps
- F16C2360/44—Centrifugal pumps
- F16C2360/45—Turbo-molecular pumps
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 電磁石制御装置の構成が簡単で安価であり、
しかもバイアス電流値の変更が容易な磁気軸受装置を提
供する。 【解決手段】 制御型磁気軸受装置は、回転体１を非接
触支持する１対の電磁石２、３と、回転体１の変位を検
出する変位検出装置４と、変位検出装置４からの変位検
出信号に基づいて電磁石２、３に供給する励磁電流を制
御する電磁石制御装置13とを備えている。電磁石制御装
置13は、ディジタル信号処理プロセッサで構成された制
御演算部14を備えている。制御演算部14は、変位検出信
号に基づいて電磁石２、３に対する制御電流値Ｉcを演
算し、一定のバイアス電流値Ｉoと制御電流値Ｉcを加算
した値を一方の励磁電流値とし、バイアス電流値Ｉoか
ら制御電流値Ｉcを減算した値を他方の励磁電流値とし
て出力する。
しかもバイアス電流値の変更が容易な磁気軸受装置を提
供する。 【解決手段】 制御型磁気軸受装置は、回転体１を非接
触支持する１対の電磁石２、３と、回転体１の変位を検
出する変位検出装置４と、変位検出装置４からの変位検
出信号に基づいて電磁石２、３に供給する励磁電流を制
御する電磁石制御装置13とを備えている。電磁石制御装
置13は、ディジタル信号処理プロセッサで構成された制
御演算部14を備えている。制御演算部14は、変位検出信
号に基づいて電磁石２、３に対する制御電流値Ｉcを演
算し、一定のバイアス電流値Ｉoと制御電流値Ｉcを加算
した値を一方の励磁電流値とし、バイアス電流値Ｉoか
ら制御電流値Ｉcを減算した値を他方の励磁電流値とし
て出力する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】この発明は、たとえばターボ
分子ポンプなどに使用され、回転体を磁気軸受により磁
気的に非接触支持する制御型磁気軸受装置に関する。
分子ポンプなどに使用され、回転体を磁気軸受により磁
気的に非接触支持する制御型磁気軸受装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】この種の制御型磁気軸受装置として、１
組のアキシアル磁気軸受と２組のラジアル磁気軸受とで
回転体を非接触支持するものが知られている。アキシア
ル磁気軸受は、回転体を１つのアキシアル制御軸（アキ
シアル方向の制御軸）方向の両側から挟むように配置さ
れた１対の電磁石を備えている。各ラジアル磁気軸受
は、互いに直交する２つのラジアル制御軸（ラジアル方
向の制御軸）のそれぞれについて、回転体をラジアル制
御軸方向の両側から挟むように配置された１対の電磁石
を備えている。各磁気軸受における各制御軸方向の１対
の電磁石には、電磁石制御装置から励磁電流が供給され
る。電磁石制御装置は、１つの制御軸方向の回転体の変
位を検出する変位検出装置からの変位検出信号に基づい
てその制御軸方向の１対の電磁石に供給する励磁電流を
制御するものであり、１対の電磁石に供給される励磁電
流は、一定のバイアス電流に対して、変位検出信号に応
じて変化する制御電流を加算あるいは減算したものであ
る。つまり、１対の電磁石の一方に供給される励磁電流
は、バイアス電流に制御電流を加算したものであり、他
方に供給される励磁電流は、バイアス電流から制御電流
を減算したものである。そして、電磁石制御装置は、変
位検出信号に基づいて１対の電磁石に対する制御電流値
を演算し、一定のバイアス電流値と上記制御電流値を加
算した値を一方の電磁石に対する励磁電流値とし、上記
バイアス電流値から上記制御電流値を減算した値を他方
の電磁石に対する励磁電流値とする。
組のアキシアル磁気軸受と２組のラジアル磁気軸受とで
回転体を非接触支持するものが知られている。アキシア
ル磁気軸受は、回転体を１つのアキシアル制御軸（アキ
シアル方向の制御軸）方向の両側から挟むように配置さ
れた１対の電磁石を備えている。各ラジアル磁気軸受
は、互いに直交する２つのラジアル制御軸（ラジアル方
向の制御軸）のそれぞれについて、回転体をラジアル制
御軸方向の両側から挟むように配置された１対の電磁石
を備えている。各磁気軸受における各制御軸方向の１対
の電磁石には、電磁石制御装置から励磁電流が供給され
る。電磁石制御装置は、１つの制御軸方向の回転体の変
位を検出する変位検出装置からの変位検出信号に基づい
てその制御軸方向の１対の電磁石に供給する励磁電流を
制御するものであり、１対の電磁石に供給される励磁電
流は、一定のバイアス電流に対して、変位検出信号に応
じて変化する制御電流を加算あるいは減算したものであ
る。つまり、１対の電磁石の一方に供給される励磁電流
は、バイアス電流に制御電流を加算したものであり、他
方に供給される励磁電流は、バイアス電流から制御電流
を減算したものである。そして、電磁石制御装置は、変
位検出信号に基づいて１対の電磁石に対する制御電流値
を演算し、一定のバイアス電流値と上記制御電流値を加
算した値を一方の電磁石に対する励磁電流値とし、上記
バイアス電流値から上記制御電流値を減算した値を他方
の電磁石に対する励磁電流値とする。
【０００３】図１は、回転体(1)を１つのラジアル制御
軸方向に非接触支持する１対の電磁石(2)(3)、回転体
(1)の上記制御軸方向の変位を検出する変位検出装置
(4)、および変位検出装置(1)の出力信号である変位検出
信号に基づいて電磁石(2)(3)に供給する励磁電流を制御
する従来の電磁石制御装置(5)の１例を示している。
軸方向に非接触支持する１対の電磁石(2)(3)、回転体
(1)の上記制御軸方向の変位を検出する変位検出装置
(4)、および変位検出装置(1)の出力信号である変位検出
信号に基づいて電磁石(2)(3)に供給する励磁電流を制御
する従来の電磁石制御装置(5)の１例を示している。
【０００４】１対の電磁石(2)(3)は、回転体(1)を上記
制御軸方向の両側から挟むように配置され、制御装置
(5)から供給される励磁電流により回転体(1)を上記制御
軸方向の反対側に吸引して非接触支持するようになって
いる。
制御軸方向の両側から挟むように配置され、制御装置
(5)から供給される励磁電流により回転体(1)を上記制御
軸方向の反対側に吸引して非接触支持するようになって
いる。
【０００５】変位検出装置(4)は、図示は省略したが、
回転体(1)を上記制御軸方向の両側から挟むように配置
された１対の位置センサを備えている。各位置センサは
回転体(1)との空隙（ギャップ）の大きさに比例した信
号を出力するものであり、変位検出装置(4)は、１対の
位置センサの一方の出力信号から他方の出力信号を減算
することにより、回転体(1)の上記制御軸方向の目標位
置に対する変位に比例した変位検出信号を制御装置(5)
に出力する。
回転体(1)を上記制御軸方向の両側から挟むように配置
された１対の位置センサを備えている。各位置センサは
回転体(1)との空隙（ギャップ）の大きさに比例した信
号を出力するものであり、変位検出装置(4)は、１対の
位置センサの一方の出力信号から他方の出力信号を減算
することにより、回転体(1)の上記制御軸方向の目標位
置に対する変位に比例した変位検出信号を制御装置(5)
に出力する。
【０００６】電磁石制御装置(5)は、ＡＤ変換器(6)、制
御電流演算部(7)、ＤＡ変換器(8)、加算器(9)、減算器
(10)および２つの電力増幅器(11)(12)を備えている。
御電流演算部(7)、ＤＡ変換器(8)、加算器(9)、減算器
(10)および２つの電力増幅器(11)(12)を備えている。
【０００７】変位検出装置(4)からの変位検出信号は、
ＡＤ変換器(6)によりディジタル値に変換されて、制御
電流演算部(7)に入力する。制御電流演算部(7)はたとえ
ばディジタル信号処理プロセッサで構成されており、変
位検出信号に基づいて、たとえばＰＩＤ演算により、電
磁石(2)(3)に対する制御電流値Ｉcを演算する。制御電
流演算部(17)から出力される制御電流値ＩcはＤＡ変換
器(8)によりアナログ値に変換されて、加算器(9)および
減算器(10)に供給される。加算器(9)および減算器(10)
には、制御電流値Ｉcの他に、一定のバイアス電流値Ｉo
が入力している。バイアス電流値Ｉoは、たとえば、ポ
テンショメータを調整することにより、所定の値に設定
されている。加算器(9)は、バイアス電流値Ｉoと制御電
流値Ｉcを加算し、その結果得られた信号（Ｉo＋Ｉc）
を第１の励磁電流信号として第１の電力増幅器(11)に供
給する。第１の電力増幅器(11)は、第１の励磁電流信号
（Ｉo＋Ｉc）を増幅し、これに比例する励磁電流を第１
の電磁石(2)に供給する。減算器(10)は、バイアス電流
値Ｉoから制御電流値Ｉcを減算し、その結果得られた信
号（Ｉo−Ｉc）を第２の励磁電流信号として第２の電力
増幅器(12)に供給する。第２の電力増幅器(12)は、第２
の励磁電流信号（Ｉo−Ｉc）を増幅し、これに比例する
励磁電流を第２の電磁石(3)に供給する。その結果、回
転体(1)が上記制御軸方向の目標位置に支持される。
ＡＤ変換器(6)によりディジタル値に変換されて、制御
電流演算部(7)に入力する。制御電流演算部(7)はたとえ
ばディジタル信号処理プロセッサで構成されており、変
位検出信号に基づいて、たとえばＰＩＤ演算により、電
磁石(2)(3)に対する制御電流値Ｉcを演算する。制御電
流演算部(17)から出力される制御電流値ＩcはＤＡ変換
器(8)によりアナログ値に変換されて、加算器(9)および
減算器(10)に供給される。加算器(9)および減算器(10)
には、制御電流値Ｉcの他に、一定のバイアス電流値Ｉo
が入力している。バイアス電流値Ｉoは、たとえば、ポ
テンショメータを調整することにより、所定の値に設定
されている。加算器(9)は、バイアス電流値Ｉoと制御電
流値Ｉcを加算し、その結果得られた信号（Ｉo＋Ｉc）
を第１の励磁電流信号として第１の電力増幅器(11)に供
給する。第１の電力増幅器(11)は、第１の励磁電流信号
（Ｉo＋Ｉc）を増幅し、これに比例する励磁電流を第１
の電磁石(2)に供給する。減算器(10)は、バイアス電流
値Ｉoから制御電流値Ｉcを減算し、その結果得られた信
号（Ｉo−Ｉc）を第２の励磁電流信号として第２の電力
増幅器(12)に供給する。第２の電力増幅器(12)は、第２
の励磁電流信号（Ｉo−Ｉc）を増幅し、これに比例する
励磁電流を第２の電磁石(3)に供給する。その結果、回
転体(1)が上記制御軸方向の目標位置に支持される。
【０００８】上記のような従来の電磁石制御装置(5)で
は、制御電流演算部(7)で演算したディジタルの制御電
流値Ｉcをアナログ値に変換した後にバイアス電流値Ｉo
との加算あるいは減算を行っているため、次のような問
題がある。
は、制御電流演算部(7)で演算したディジタルの制御電
流値Ｉcをアナログ値に変換した後にバイアス電流値Ｉo
との加算あるいは減算を行っているため、次のような問
題がある。
【０００９】まず、制御電流演算部(7)で演算された制
御電流値Ｉcは、変位検出信号の極性すなわち回転体(1)
の変位の方向により変化し、正負両方の極性をとりう
る。このため、ＤＡ変換器(8)として高価な両極性入力
のＤＡ変換器を用いる必要がある。また、バイアス電流
値Ｉoを設定するためのポテンショメータなどのアナロ
グ機器、バイアス電流値Ｉoと制御電流値Ｉcとのアナロ
グ的な加算、減算を行うための加算器(9)、減算器(10)
というアナログ回路が必要である。このため、電磁石制
御装置(5)が高価なものになる。さらに、バイアス電流
値Ｉoはポテンショメータなどによって設定されるた
め、バイアス電流値Ｉoの変更が面倒であり、とくに磁
気軸受装置の運転中にバイアス電流値Ｉoを変更するこ
とはきわめて困難である。
御電流値Ｉcは、変位検出信号の極性すなわち回転体(1)
の変位の方向により変化し、正負両方の極性をとりう
る。このため、ＤＡ変換器(8)として高価な両極性入力
のＤＡ変換器を用いる必要がある。また、バイアス電流
値Ｉoを設定するためのポテンショメータなどのアナロ
グ機器、バイアス電流値Ｉoと制御電流値Ｉcとのアナロ
グ的な加算、減算を行うための加算器(9)、減算器(10)
というアナログ回路が必要である。このため、電磁石制
御装置(5)が高価なものになる。さらに、バイアス電流
値Ｉoはポテンショメータなどによって設定されるた
め、バイアス電流値Ｉoの変更が面倒であり、とくに磁
気軸受装置の運転中にバイアス電流値Ｉoを変更するこ
とはきわめて困難である。
【００１０】この発明の目的は、上記の問題を解決し、
電磁石制御手段の構成が簡単で安価であり、しかもバイ
アス電流値の変更が容易な磁気軸受装置を提供すること
にある。
電磁石制御手段の構成が簡単で安価であり、しかもバイ
アス電流値の変更が容易な磁気軸受装置を提供すること
にある。
【００１１】
【課題を解決するための手段および発明の効果】この発
明による磁気軸受装置は、回転体を１つの制御軸方向の
両側から挟んで前記制御軸方向に非接触支持する１対の
電磁石と、前記回転体の前記制御軸方向の変位を検出す
る変位検出手段と、前記変位検出手段からの変位検出信
号に基づいて前記１対の電磁石に供給する励磁電流を制
御する電磁石制御手段とを備えている制御型磁気軸受装
置において、前記電磁石制御手段が、前記変位検出信号
に基づいて前記１対の電磁石に対する制御電流値を演算
し、一定のバイアス電流値と前記制御電流値を加算した
値を一方の励磁電流値とし、前記バイアス電流値から前
記制御電流値を減算した値を他方の励磁電流値として出
力するディジタル処理手段を備えていることを特徴とす
るものである。
明による磁気軸受装置は、回転体を１つの制御軸方向の
両側から挟んで前記制御軸方向に非接触支持する１対の
電磁石と、前記回転体の前記制御軸方向の変位を検出す
る変位検出手段と、前記変位検出手段からの変位検出信
号に基づいて前記１対の電磁石に供給する励磁電流を制
御する電磁石制御手段とを備えている制御型磁気軸受装
置において、前記電磁石制御手段が、前記変位検出信号
に基づいて前記１対の電磁石に対する制御電流値を演算
し、一定のバイアス電流値と前記制御電流値を加算した
値を一方の励磁電流値とし、前記バイアス電流値から前
記制御電流値を減算した値を他方の励磁電流値として出
力するディジタル処理手段を備えていることを特徴とす
るものである。
【００１２】ディジタル処理手段としては、たとえばＭ
ＰＵ（マイクロプロセッサ）、ディジタル信号処理プロ
セッサなどが使用される。ディジタル信号処理プロセッ
サ（Digital Signal Processor）とは、ディジタル信号
を入力してディジタル信号を出力し、ソフトウェアプロ
グラムが可能で、高速実時間処理が可能な専用ハードウ
ェアをさす。なお、以下、これを「ＤＳＰ」と略すこと
にする。
ＰＵ（マイクロプロセッサ）、ディジタル信号処理プロ
セッサなどが使用される。ディジタル信号処理プロセッ
サ（Digital Signal Processor）とは、ディジタル信号
を入力してディジタル信号を出力し、ソフトウェアプロ
グラムが可能で、高速実時間処理が可能な専用ハードウ
ェアをさす。なお、以下、これを「ＤＳＰ」と略すこと
にする。
【００１３】ディジタル処理手段において演算された２
つの励磁電流値は、ＤＡ変換器によりアナログ値に変換
されて、励磁電流信号として電力増幅器に供給される。
つの励磁電流値は、ＤＡ変換器によりアナログ値に変換
されて、励磁電流信号として電力増幅器に供給される。
【００１４】変位検出信号に基づく制御電流値の演算、
バイアス電流値の設定、バイアス電流値に対する制御電
流値の加算、減算がディジタル処理手段によりディジタ
ル的に行われるので、従来のようなポテンショメータ、
加算器、減算器などのアナログ機器、アナログ回路が不
要である。また、ディジタル処理手段からＤＡ変換器に
供給される２つの励磁電流値は、すでにバイアス電流値
に対する制御電流値の加算、減算が行われたものである
から、これら２つの励磁電流値の極性は同一でかつ一定
であり、ＤＡ変換器として、安価な単極性入力のＤＡ変
換器を用いることができる。したがって、電磁石制御手
段の構成が簡単で、これを安価に製作することができ
る。さらに、バイアス電流値は、ディジタル処理手段に
接続された不揮発性メモリなどに記憶しておくことがで
きるので、バイアス電流値の変更が簡単であり、磁気軸
受装置の運転中でも、必要に応じて、バイアス電流値を
容易に変更することができる。
バイアス電流値の設定、バイアス電流値に対する制御電
流値の加算、減算がディジタル処理手段によりディジタ
ル的に行われるので、従来のようなポテンショメータ、
加算器、減算器などのアナログ機器、アナログ回路が不
要である。また、ディジタル処理手段からＤＡ変換器に
供給される２つの励磁電流値は、すでにバイアス電流値
に対する制御電流値の加算、減算が行われたものである
から、これら２つの励磁電流値の極性は同一でかつ一定
であり、ＤＡ変換器として、安価な単極性入力のＤＡ変
換器を用いることができる。したがって、電磁石制御手
段の構成が簡単で、これを安価に製作することができ
る。さらに、バイアス電流値は、ディジタル処理手段に
接続された不揮発性メモリなどに記憶しておくことがで
きるので、バイアス電流値の変更が簡単であり、磁気軸
受装置の運転中でも、必要に応じて、バイアス電流値を
容易に変更することができる。
【００１５】たとえば、前記ディジタル処理手段に不揮
発性メモリが接続され、前記不揮発性メモリに前記バイ
アス電流値が記憶されている。
発性メモリが接続され、前記不揮発性メモリに前記バイ
アス電流値が記憶されている。
【００１６】たとえば、前記不揮発性メモリがパソコン
（パーソナルコンピュータ）などのコンピュータに接続
され、前記コンピュータにより前記不揮発性メモリに記
憶されているバイアス電流値が書き替えられる。
（パーソナルコンピュータ）などのコンピュータに接続
され、前記コンピュータにより前記不揮発性メモリに記
憶されているバイアス電流値が書き替えられる。
【００１７】
【発明の実施の形態】以下、図２を参照して、この発明
の実施形態について説明する。
の実施形態について説明する。
【００１８】図２は図１の相当する図面であり、図２に
おいて、図１のものと同じ部分には同一の符号を付して
いる。
おいて、図１のものと同じ部分には同一の符号を付して
いる。
【００１９】この実施形態の場合、電磁石制御装置（電
磁石制御手段）(13)は、ＡＤ変換器(6)、制御演算部(1
4)、ＤＡ変換器(15)および２つの電力増幅器(11)(12)を
備えている。制御演算部(14)はＤＳＰで構成されてお
り、これにはＲＯＭ(16)および不揮発性メモリであるフ
ラッシュメモリ(17)が接続されている。また、フラッシ
ュメモリ(17)が、シリアル通信ボード(18)およびケーブ
ル(19)を介してパソコン(20)に接続されている。ＲＯＭ
(16)には、制御演算部(14)における処理プログラムなど
が格納されている。フラッシュメモリ(17)には、バイア
ス電流値Ｉoを記憶したテーブル(20)、磁気軸受の制御
パラメータを記憶したテーブル（図示略）などが格納さ
れている。
磁石制御手段）(13)は、ＡＤ変換器(6)、制御演算部(1
4)、ＤＡ変換器(15)および２つの電力増幅器(11)(12)を
備えている。制御演算部(14)はＤＳＰで構成されてお
り、これにはＲＯＭ(16)および不揮発性メモリであるフ
ラッシュメモリ(17)が接続されている。また、フラッシ
ュメモリ(17)が、シリアル通信ボード(18)およびケーブ
ル(19)を介してパソコン(20)に接続されている。ＲＯＭ
(16)には、制御演算部(14)における処理プログラムなど
が格納されている。フラッシュメモリ(17)には、バイア
ス電流値Ｉoを記憶したテーブル(20)、磁気軸受の制御
パラメータを記憶したテーブル（図示略）などが格納さ
れている。
【００２０】制御演算部(14)は、機能的には、制御電流
演算手段(22)および励磁電流演算手段(23)を備えてい
る。制御電流演算手段(22)は、従来例を示す図１の制御
電流演算部(6)と同様、変位検出装置（変位検出手段）
(4)からの変位検出信号をＡＤ変換器(6)でディジタル化
した変位検出値に基づいて、電磁石(2)(3)に対する制御
電流値Ｉcを演算する。励磁電流演算手段(23)は、フラ
ッシュメモリ(17)に記憶されているバイアス電流値Ｉo
と制御電流演算手段(22)で演算された制御電流値Ｉcを
加算し、その結果得られた値（Ｉo＋Ｉc）を第１の励磁
電流値としてＤＡ変換器(15)に出力するとともに、上記
バイアス電流値Ｉoから上記制御電流値Ｉcを減算し、そ
の結果得られた値（Ｉo−Ｉc）を第２の励磁電流値とし
てＤＡ変換器(15)に出力する。第１の励磁電流値（Ｉo
＋Ｉc）はＤＡ変換器(15)によりアナログ信号に変換さ
れて、第１の励磁電流信号（Ｉo＋Ｉc）として第１の電
力増幅器(11)に供給され、第１の電力増幅器(11)は第１
の励磁電流信号（Ｉo＋Ｉc）を増幅し、これに比例する
励磁電流を第１の電磁石(2)に供給する。第２の励磁電
流値（Ｉo−Ｉc）はＤＡ変換器(15)によりアナログ信号
に変換されて、第２の励磁電流信号（Ｉo−Ｉc）として
第２の電力増幅器(12)に供給され、第２の電力増幅器(1
2)は第２の励磁電流信号（Ｉo−Ｉc）を増幅し、これに
比例する励磁電流を第２の電磁石(3)に供給する。
演算手段(22)および励磁電流演算手段(23)を備えてい
る。制御電流演算手段(22)は、従来例を示す図１の制御
電流演算部(6)と同様、変位検出装置（変位検出手段）
(4)からの変位検出信号をＡＤ変換器(6)でディジタル化
した変位検出値に基づいて、電磁石(2)(3)に対する制御
電流値Ｉcを演算する。励磁電流演算手段(23)は、フラ
ッシュメモリ(17)に記憶されているバイアス電流値Ｉo
と制御電流演算手段(22)で演算された制御電流値Ｉcを
加算し、その結果得られた値（Ｉo＋Ｉc）を第１の励磁
電流値としてＤＡ変換器(15)に出力するとともに、上記
バイアス電流値Ｉoから上記制御電流値Ｉcを減算し、そ
の結果得られた値（Ｉo−Ｉc）を第２の励磁電流値とし
てＤＡ変換器(15)に出力する。第１の励磁電流値（Ｉo
＋Ｉc）はＤＡ変換器(15)によりアナログ信号に変換さ
れて、第１の励磁電流信号（Ｉo＋Ｉc）として第１の電
力増幅器(11)に供給され、第１の電力増幅器(11)は第１
の励磁電流信号（Ｉo＋Ｉc）を増幅し、これに比例する
励磁電流を第１の電磁石(2)に供給する。第２の励磁電
流値（Ｉo−Ｉc）はＤＡ変換器(15)によりアナログ信号
に変換されて、第２の励磁電流信号（Ｉo−Ｉc）として
第２の電力増幅器(12)に供給され、第２の電力増幅器(1
2)は第２の励磁電流信号（Ｉo−Ｉc）を増幅し、これに
比例する励磁電流を第２の電磁石(3)に供給する。
【００２１】バイアス電流値Ｉoは正の値であり、その
絶対値は制御電流値Ｉcの絶対値より大きい。したがっ
て、制御演算部(14)からＤＡ変換器(15)に供給される第
１の励磁電流値（Ｉo＋Ｉc）および第２の励磁電流値
（Ｉo−Ｉc）は、常に正の値であり、ＤＡ変換器(15)と
して、安価な正の単極性入力のＤＡ変換器を用いること
ができる。
絶対値は制御電流値Ｉcの絶対値より大きい。したがっ
て、制御演算部(14)からＤＡ変換器(15)に供給される第
１の励磁電流値（Ｉo＋Ｉc）および第２の励磁電流値
（Ｉo−Ｉc）は、常に正の値であり、ＤＡ変換器(15)と
して、安価な正の単極性入力のＤＡ変換器を用いること
ができる。
【００２２】バイアス電流値Ｉoを変更する必要がある
ときは、パソコン(20)により、フラッシュメモリ(17)の
テーブル(20)の内容を書き替えることができる。また、
必要に応じて、パソコン(20)により、フラッシュメモリ
(17)のテーブルに記憶された磁気軸受の制御パラメータ
などを書き替えることもできる。しかしながら、電磁石
制御装置(13)は、パソコンなどのコンピュータに接続さ
れなくてもよい。
ときは、パソコン(20)により、フラッシュメモリ(17)の
テーブル(20)の内容を書き替えることができる。また、
必要に応じて、パソコン(20)により、フラッシュメモリ
(17)のテーブルに記憶された磁気軸受の制御パラメータ
などを書き替えることもできる。しかしながら、電磁石
制御装置(13)は、パソコンなどのコンピュータに接続さ
れなくてもよい。
【図１】図１は、従来例を示す磁気軸受装置の主要部の
構成図である。
構成図である。
【図２】図２は、この発明の実施形態を示す磁気軸受装
置の主要部の構成図である。
置の主要部の構成図である。
(1) 回転体 (2)(3) 電磁石 (4) 変位検出装置 (13) 電磁石制御装置 (14) 制御演算部 (17) フラッシュメモリ (20) パソコン (22) 制御電流演算手段 (23) 励磁電流演算手段
Claims (3)
- 【請求項１】回転体を１つの制御軸方向の両側から挟ん
で前記制御軸方向に非接触支持する１対の電磁石と、前
記回転体の前記制御軸方向の変位を検出する変位検出手
段と、前記変位検出手段からの変位検出信号に基づいて
前記１対の電磁石に供給する励磁電流を制御する電磁石
制御手段とを備えている制御型磁気軸受装置において、 前記電磁石制御手段が、前記変位検出信号に基づいて前
記１対の電磁石に対する制御電流値を演算し、一定のバ
イアス電流値と前記制御電流値を加算した値を一方の励
磁電流値とし、前記バイアス電流値から前記制御電流値
を減算した値を他方の励磁電流値として出力するディジ
タル処理手段を備えていることを特徴とする制御型磁気
軸受装置。 - 【請求項２】前記ディジタル処理手段に不揮発性メモリ
が接続され、前記不揮発性メモリに前記バイアス電流値
が記憶されていることを特徴とする請求項１の制御型磁
気軸受装置。 - 【請求項３】前記不揮発性メモリがコンピュータに接続
され、前記コンピュータにより前記不揮発性メモリに記
憶されているバイアス電流値が書き替えられることを特
徴とする請求項２の制御型磁気軸受装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10002707A JPH11201165A (ja) | 1998-01-09 | 1998-01-09 | 制御型磁気軸受装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10002707A JPH11201165A (ja) | 1998-01-09 | 1998-01-09 | 制御型磁気軸受装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11201165A true JPH11201165A (ja) | 1999-07-27 |
Family
ID=11536774
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10002707A Pending JPH11201165A (ja) | 1998-01-09 | 1998-01-09 | 制御型磁気軸受装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH11201165A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2011101471A (ja) * | 2009-11-04 | 2011-05-19 | Canon Inc | 回転電動機の制御装置 |
| CN105333010A (zh) * | 2015-12-11 | 2016-02-17 | 珠海格力节能环保制冷技术研究中心有限公司 | 一种磁悬浮轴承控制装置及磁悬浮轴承系统 |
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-
1998
- 1998-01-09 JP JP10002707A patent/JPH11201165A/ja active Pending
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