JPH11201641A - 自動乾燥装置 - Google Patents

自動乾燥装置

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JPH11201641A
JPH11201641A JP10006849A JP684998A JPH11201641A JP H11201641 A JPH11201641 A JP H11201641A JP 10006849 A JP10006849 A JP 10006849A JP 684998 A JP684998 A JP 684998A JP H11201641 A JPH11201641 A JP H11201641A
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JP
Japan
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desiccant
refrigerator
humidity
vent
heating
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JP10006849A
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Tadaichi Ushida
唯一 牛田
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Toyo Living Co Ltd
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Toyo Living Co Ltd
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 乾燥剤の吸湿残存水分が庫内に逆流するのを
確実に防ぐことができると共に、庫内を低コストで常に
超低湿度に保持することができる自動乾燥装置を提供す
る。 【解決手段】 密閉庫内2に、乾燥剤8と、この乾燥剤
8を加熱して再生処理する発熱体7と、庫内用通気口6
A及び庫外用通気口6Bを開閉するシャッター10,1
1とを備え、このシャッター10,11で庫内用通気口
6Aを開いて庫外用通気口6Bを閉じた時に庫内2の多
湿状態の空気を乾燥剤8によって除湿処理すると共に、
シャッター10,11で庫内用通気口6Aを閉じて庫外
用通気口6Bを開いた時に乾燥剤8から排出された水分
を含む状態の空気を庫外3に排出させるようにした自動
乾燥装置1において、乾燥剤8の加熱時間とシャッター
10,11の開閉作動時間に時間差を設けたタイマー制
御回路30を備えた。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、密閉庫内を自動的
に除湿処理して、半導体等の電子部品や精密機器や食品
等の長期保管に最適な自動乾燥装置に関する。
【0002】
【従来の技術】この種の自動乾燥装置として、図7
(a),(b)に開示されたものがある。この自動乾燥
装置1′は密閉キャビネット型になっていて、その庫内
2は側壁1aにより庫外3と仕切られている。この庫内
2の側壁1a側にはドライユニット(自動乾燥機)4を
取り付けてあり、該ドライユニット4のハウジング5内
には乾燥室5Aと通気制御室5Bとを区画する隔壁6,
6を付設してある。
【0003】図7(a)に示すように、乾燥室5A内に
は、内部にヒーター(発熱体)7と、このヒーター7を
包囲する粒状等の特殊乾燥剤(ゼオラム)8を内装した
一組の乾燥剤容器9を縦型状に並設し、上記隔壁6,6
に開設した庫内用通気口6A及び庫外用通気口6Bを交
互に開閉するシーソー状の一対のシャッター10,11
を各支軸13A,13Bを支点として揺動自在に支持し
てある。
【0004】さらに、図7(b)に示すように、支軸1
3A,13Bには、T型状の傾動杆14A,14Bが一
対のシャッター10,11とそれぞれ一体的に連動する
ように固設されており、一方の傾動杆14Aを図7
(b)において時計方向に付勢するバネ15Aと、他方
の傾動杆14Bを反時計方向に付勢するバネ15Bとを
ハウジング5内にそれぞれ張設する一方、ワイヤー1
6,17を介して形状記憶合金コイル(シャッター駆動
手段)18により各傾動杆14A,14Bを互いに連係
させたものであり、該形状記憶合金コイル18を、加熱
体19を支持する加熱板20に連設した筒体21内に貫
挿するようにして、加熱体19の発熱により筒体21内
で加熱させると共に、乾燥剤8よりの対流熱によっても
加熱させて変態現象を誘起させ、効果的に収縮させるこ
とによって各バネ15A,15Bに抗して一方の傾動杆
14Aが反時計方向に、また他方の傾動杆14Bが時計
方向に連動状に作動されるように構成したものであり、
ヒーター7及び加熱体19はそれぞれタイマースイッチ
22を介して電源23に導通自在に接続されている。
【0005】また、タイマースイッチ22については、
図8に示すように、6時間を1サイクルとして、5時間
30分経過後に30分間該タイマースイッチ22が開成
されてヒーター7及び加熱板19に通電し、これらの発
熱によって乾燥剤8及び形状記憶合金コイル18を加熱
するように構成されている。
【0006】尚、図7(a),(b)中、符号1A,1
Bは側壁1aに開設した排気口と吸気口を示し、また、
5C,5Dはいずれも通気制御室5Bを密閉状の庫内2
に連通させる庫内通気口であって、傾動杆14A,14
Bの各脚14C,14Dとハウジング5との間にはバネ
24A,24Bを介装して、傾動杆14A,14Bの作
動の応答性を向上させ、低湿度の庫内2の空気の漏れを
低減させている。
【0007】次に、上記構成の自動乾燥装置1′の作用
について説明する。まず、タイマースイッチ22が開放
され、ヒーター7及び加熱体19が不作動で発熱してい
ない状態にあっては、形状記憶合金コイル18が常温で
伸長状態であって、バネ15A,15Bによって付勢さ
れ、一方の傾動杆14Aは図7(b)中時計方向に、ま
た他方の傾動杆14Bは反時計方向に回転され、各支軸
13A,13Bとにより該傾動杆14A,14Bに対し
て連動状とされた一対のシャッター10,11がそれぞ
れ同方向に回転され、いずれも図7(a)中で点線にて
示すように位置される。
【0008】これによって、庫内用通気口6Aが開か
れ、庫外用通気口6Bが閉じられる。この結果、乾燥室
5Aは庫内用通気口6A及び庫内通気口5C,5Dを介
して庫内2と連通され、該庫内2の多湿状態の空気は乾
燥剤容器9内の乾燥剤8によって除湿処理されて軽量化
された後、庫内2の庫内通気口5Cから図7(a)中矢
印Bで示すように庫内2に自然対流状態で帰還される一
方、この空気量を補填するように庫内2の未処理の空気
が図7(a)中矢印Aで示すように乾燥室5A内に流入
されて、順次庫内2の除湿処理が継続され、この除湿時
間が5時間30分間実施されて庫内2は十分乾燥状態に
処理される。これにより、庫内2に格納された半導体等
の収納品は低湿度状態に保管される。
【0009】上記5時間30分にわたる吸湿乾燥処理の
後にタイマースイッチ22が閉成されてヒーター7と加
熱体19に通電されると、乾燥処理室5A内では、ヒー
ター7により乾燥剤8が加熱されて再生処理され、一
方、筒体21内に配設された形状記憶合金コイル18は
加熱体19の発熱により加熱板20を介して筒体21内
において急速に加熱されると共に、隣接する乾燥処理室
5A内の乾燥剤8の熱によっても複合状に加熱される。
これによって、形状記憶合金コイル18は乾燥剤8の再
生処理に追随し、タイミングを整合させて筒体21内で
収縮することとなる。
【0010】その結果、各傾動杆14A,14Bはバネ
15A,15Bに抗し、また、バネ24A,24Bに付
勢されて、支軸13A,13Bを支点として、それぞれ
反時計方向もしくは時計方向に回転され、この各支軸1
3A,13Bに連結された一対のシャッター10,11
がそれぞれ同方向に回転されて、図7(a)中実線にて
示す位置に移動され、庫外用通気口6Bが開かれる一
方、庫内用通気口6Aが閉じられる。
【0011】これによって、乾燥室5Aは庫外用通気口
6B及び排気口1Aと吸気口1Bとにより庫外3と連通
され、ヒーター7で加熱されて乾燥剤8から排出された
水分を十分内包した状態の高温の空気は、図7(a)中
矢印Cで示すように,一挙に排気口1Aから庫外3に排
出され、代わってその空気量を補填するするように、図
7(a)中矢印Dで示すように、自動的に庫外3の新鮮
な空気が吸気口1B及び庫外用通気口6Bから自然対流
状に連続的に供給され、引き続いて乾燥剤8から除湿さ
れた水分を庫外3に排出させ、30分間にわたって乾燥
剤8は十分再生処理される。そして、6時間後また上記
と同じサイクルで吸湿と湿気排出を繰り返し行う。
【0012】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、前記従
来の自動乾燥装置1′では、図8に示すように、6時間
を1サイクルとして、その内30分間を乾燥剤8の加熱
と、湿気排出及び吸湿を行うシャッター開閉動作のため
の形状記憶合金コイル18への通電とを、同時刻同時間
の単一サイクルで行っていたため、図4に示すように、
乾燥剤8の温度が加熱終了時(30分後)は最高の温度
になっていて、該乾燥剤8の温度が冷却するまでの約3
0分間は余分の水分(吸湿残存水分)が開かれた庫内用
通気口6Aから庫内2へ逆排出(逆流)される虞があっ
た。この場合には、図5の点線で示すように、庫内2の
湿度が一時的に急上昇してしまい、庫内2を低湿度に常
に維持することが難しかった。
【0013】そこで、本発明は、前記した課題を解決す
べくなされたものであり、乾燥剤の吸湿残存水分が庫内
に逆流するのを確実に防ぐことができると共に、庫内を
低コストで常に超低湿度に保持することができる自動乾
燥装置を提供することを目的とする。
【0014】
【課題を解決するための手段】請求項1の発明は、密閉
庫内に、乾燥剤と、この乾燥剤を加熱して再生処理する
発熱体と、庫内用通気口及び庫外用通気口を開閉するシ
ャッターとを備え、このシャッターで前記庫内用通気口
を開いて前記庫外用通気口を閉じた時に前記庫内の多湿
状態の空気を前記乾燥剤によって除湿処理すると共に、
該シャッターで前記庫内用通気口を閉じて前記庫外用通
気口を開いた時に前記乾燥剤から排出された水分を含む
状態の空気を庫外に排出させるようにした自動乾燥装置
において、前記発熱体への再生通電加熱時間と前記シャ
ッターの開閉作動時間に時間差を設けた複数の制御機能
を有するタイマー制御回路を備えたことを特徴とする。
【0015】請求項2の発明は、請求項1記載の自動乾
燥装置であって、前記庫内に、該庫内の湿度を感知して
前記タイマー制御回路をON・OFF制御する湿度調節
器を配置すると共に、前記乾燥剤と前記シャッターとを
少なくとも備えたドライユニットを複数配置し、この複
数のドライユニットを前記湿度調節器を介して前記タイ
マー制御回路により該各ドライユニットの作動サイクル
時間に時間差を設けてそれぞれ制御自在にしたことを特
徴とする。
【0016】請求項3の発明は、請求項2記載の自動乾
燥装置であって、前記湿度調節器の設定湿度を変更し
て、各湿度領域において前記複数のドライユニットの運
転をそれぞれ可変自在にしたことを特徴とする。
【0017】
【発明の実施の形態】以下、本発明の一実施形態を図面
に基づいて説明する。
【0018】図1(a),(b)は本発明の一実施形態
の自動乾燥装置の要部の各断面図、図2は同自動乾燥装
置に用いられるタイマー制御回路の構成図、図3は自動
乾燥装置のタイマーサイクルと乾燥剤の加熱時間及びシ
ャッターの開閉作動時間の関係を示す説明図である。
【0019】図1(a),(b)に示すように、自動乾
燥装置1は、その密閉庫内2に、乾燥剤8と、この乾燥
剤8を加熱して再生処理するヒーター(発熱体)7と、
庫内用通気口6A及び庫外用通気口6Bを開閉する一対
のシャッター10,11等を備えたドライユニット(自
動乾燥機)4を取り付けてある点、上記一対のシャッタ
ー10,11でドライブユニット4の庫内用通気口6A
を開いて庫外用通気口6Bを閉じた時に庫内2の多湿状
態の空気を乾燥剤8によって除湿処理すると共に、該一
対のシャッター10,11で庫内用通気口6Aを閉じて
庫外用通気口6Bを開いた時に乾燥剤8から排出された
水分を含む状態の空気を庫外3に排出させるようにして
ある点等は、前記従来例の自動乾燥装置1′の構成と同
様であるので、同一構成部分には同一符号を付して詳細
な説明は省略する。
【0020】ここで、ヒーター7への再生通電加熱時間
(乾燥剤8の加熱時間)と一対のシャッター10,11
の開閉作動時間に時間差Tを設けた複数の制御機能を有
するタイマー制御回路30を、ヒーター7及び形状記憶
合金コイル(シャッター駆動手段)18を加熱する加熱
体19にそれぞれ接続してある。また、このタイマー制
御回路30にはAC電源(電源)40を接続してあると
共に、庫内2の湿度を感知して該タイマー制御回路30
をON・OFF制御する湿度検出センサーとしての湿度
調節器50を接続してある。
【0021】図2に示すように、タイマー制御回路30
は、AC電源40に接続される一対の入力端子31,3
2と、この一対の入力端子31,32に接続された制御
回路33と、この制御回路33に接続されたICタイマ
ー回路34と、このICタイマー回路34に接続された
4つの出力端子36〜39とで構成されている。このタ
イマー制御回路30の2つの出力端子36,37から乾
燥剤8を加熱するヒーター7への通電が行われ(例え
ば、図3に示すように、1サイクルを6時間とした場合
に、30分通電をONし、5時間30分通電をOFFす
る)、残りの2つの出力端子38,39から一対のシャ
ッター10,11を開閉駆動させる形状記憶合金コイル
18の加熱体19への通電を行うようになっている(例
えば、図3に示すように、1サイクルを6時間とした場
合に、1時間通電をONし、5時間通電をOFFす
る)。この場合に、乾燥剤8の加熱時間と一対のシャッ
ター10,11の開閉作動時間の時間差Tは30分とな
る。
【0022】以上実施形態の自動乾燥装置1のタイマー
制御回路30による乾燥剤8の温度変化と時間の関係を
図4に示す。この図4のA1ポイントで乾燥剤8の加熱
を開始する。これにより、乾燥剤8の温度は30分間で
約100〜110℃に上昇し、この間吸着水分の排出作
業を行う。A2ポイントで加熱を終了し、乾燥剤8の温
度上昇は停止し、その後、周囲温度により乾燥剤8の温
度が順次低下していく。その過程のA3ポイント(70
℃)はA2ポイントからの余熱で、まだ乾燥剤8の吸着
水分は緩やかに排出している温度域である。A3ポイン
ト以降(70℃以下)では、乾燥剤8の吸着水分の排出
がほぼ無くなるので、このA3ポイントで一対のシャッ
ター10,11によるドライブユニット4の庫内用通気
口6Aと庫外用通気口6Bの切り替えを行う。即ち、A
3ポイントで一対のシャッター10,11によりドライ
ブユニット4の庫内用通気口6Aを開いて庫外用通気口
6Bを閉じて、庫内2の多湿状態の空気を乾燥剤8によ
って除湿処理する。
【0023】従来の自動乾燥装置1′では、A1ポイン
トの乾燥剤8の加熱の開始と共に、一対のシャッター1
0,11で庫内用通気口6Aを閉じ、庫外用通気口6B
を開いて乾燥剤8から排出された水分を含む状態の空気
を庫外3に排出させ、また、A2ポイントで乾燥剤8の
加熱停止と一対のシャッター10,11による庫内用通
気口6Aの開動作と庫外用通気口6Bの閉動作への切替
を同時に行っていたので、乾燥剤8の吸湿残存水分が庫
内2へ排出する虞があり、これにより、庫内2の湿度を
上昇させていたが、本自動乾燥装置1では、A1ポイン
トの乾燥剤8の加熱の開始と共に、一対のシャッター1
0,11で庫内用通気口6Aを閉じ、庫外用通気口6B
を開いて乾燥剤8から排出された水分を含む状態の空気
を庫外3に排出させ、A2ポイントで加熱停止のみと
し、A3ポイントで一対のシャッター10,11による
庫内用通気口6Aの開動作と庫外用通気口6Bの閉動作
への切替を行っているため、乾燥剤8の吸湿残存水分の
庫内2への排出は最小となり、庫内2の湿度は低湿度に
保持される。
【0024】図4の乾燥剤8の加熱時間と一対のシャッ
ター10,11の切替に時間差Tをを設けることによ
り、従来の自動乾燥装置1′と本自動乾燥装置1による
庫内2の湿度の変化と時間の関係を図5に示す。この図
5は図4と同じ時間軸としたもので、B1ポイントは乾
燥剤8の加熱により庫内2及びドライブユニット4のハ
ウジング5からの微小リーク(空気漏れ)により、庫内
2の湿度は上昇する(B1〜B2間の30分間)。従来
の自動乾燥装置1′は点線で示すように、B2ポイント
(乾燥剤8の加熱停止)後も一対のシャッター10,1
1の切替を同時に行っているため、庫内2へ湿気が逆流
する虞があり、約1時間にわたり庫内2の湿度は上昇す
る。本自動乾燥装置1によると、B2ポイント後も一対
のシャッター10,11の切替は行われず(一対のシャ
ッター10,11で庫内用通気口6Aを閉じ、庫外用通
気口6Bを開いた状態のため)、B3ポイント(即ち、
図4のA3ポイントは湿気排出しない温度)で一対のシ
ャッター10,11を切替える。これにより、B3ポイ
ント以降は、庫内2の湿度は速やか低下し、乾燥剤8の
加熱サイクル中の温度上昇を最小限に抑制することがで
きる。その結果、従来は5〜10%がこの種の装置の低
湿度下限値であったものを、1%の超低湿度にまで低下
させ、その状態を安定的に保持し得る自動乾燥装置1を
低コストで提供することができる。
【0025】このように、自動乾燥装置1は、乾燥剤8
の加熱時間と一対のシャッター10,11の開閉の切替
時間にT時間(例えば30分)の時間差を設け、このT
時間の設定時間は、加熱終了時の乾燥剤8の温度(11
0〜150℃)から水分を排出しなくなる温度(約60
〜70℃)まで低下した時間とし、その時点で一対のシ
ャッター10,11の切替を行う。T時間は乾燥剤8の
容量や種類、乾燥剤容器9の大きさによって異なるが、
通常60〜80℃程度で排水作用は殆ど生じないので、
T時間のタイムラグを行うことにより(図3で示すA点
の位置でシャッター切替を行う)、庫内2への湿気排出
(逆流)は殆ど行われず、再生時の温度上昇による加湿
作用が無くなる分、庫内2の湿度低湿作用は促進され
る。
【0026】この効果が従来のものと比べ、庫内2の低
湿作用を一層促進させ、低湿作用能力(低湿性能)が2
倍以上に向上し、庫内2の湿度を1%の超低湿度にまで
低下させることができ、安定した超低湿度を常に維持す
ることができる。このため、超低湿度の自動乾燥装置1
の利用時に、庫内2へ半導体等の収納品を入れるための
図示しない扉の開閉を行っても、庫内2への湿度低下が
微小時間で済み、特に扉の開閉頻度の少ない場合には、
通常6時間のサイクル周期(タイマー周期)をタイマー
制御回路30に接続された図示しないスイッチ一つで1
2時間サイクルや18時間サイクルに設定変更すること
により、超低湿度1%を保持したまま乾燥剤8の加熱時
間のサイクル当たりの比率を1/2や1/3とすること
ができ、簡単に省エネルギーを達成することができる。
即ち、電気料金を1/2や1/3にすることができる。
また、庫内2へ収納する収納品として半導体パッケージ
を収納した場合、半導体パッケージの吸湿による水分ク
ラックの発生を防止し、品質向上ひいては歩留まり向上
のため超低湿度保管が可能となる。さらに、自動乾燥装
置1の維持費を窒素ガス等の不活性ガスを用いる場合に
比べて1/10の維持費で済ますことができる。
【0027】また、図6に示すように、1サイクル時間
を3時間として、乾燥剤加熱時間やシャッター切替間隔
を可変させることもできる。さらに、タイマー制御回路
30の出力端子を例えば8つに増やして、庫内2にドラ
イユニット4を2つ配置し、この2つのドライユニット
4,4を湿度調節器50を介してタイマー制御回路30
により該2つのドライユニット4,4の作動サイクル時
間に時間差(例えば3時間)を設けてそれぞれ制御自在
にしてもよい。この場合は、1サイクル時間が6時間の
場合でも相互に3時間づつずらすことで、1サイクル時
間を上記図6に示すものと同様に機能させることがで
き、庫内2の湿度を利用目的に合う適正な湿度に調節す
ることができて汎用性を向上させることができる。ま
た、上記湿度調節器50の設定湿度を変更して、各湿度
領域において上記2つのドライユニット4,4の運転を
それぞれ可変自在にしてもよい。この場合には、庫内2
に収納される収納品に適した最適な湿度に該庫内2の湿
度を容易かつ自由に調節することができる。
【0028】尚、前記実施形態によれば、シャッターを
開閉動させるシャッター駆動手段として形状記憶合金コ
イルを用いたが、モーターや電磁弁等をシャッター駆動
手段としてもよい。さらに、タイマー制御回路をICタ
イマー回路等により構成したが、電気抵抗やキャバンタ
ー等により構成してもよい。
【0029】
【発明の効果】以上説明したように、請求項1の発明に
よれば、乾燥剤の加熱時間と湿気排出及び吸湿を行うシ
ャッターの開閉作動時間に時間差を設けることにより、
乾燥剤の吸湿残存水分の庫内への逆流を確実に防止する
ことができると共に、庫内を低コストで常に超低湿度に
維持することができる。
【0030】請求項2の発明によれば、庫内の湿度を利
用目的に合う適正な湿度に調節することができ、汎用性
を向上させることができる。
【0031】請求項3の発明によれば、請求項2の効果
に加えて、庫内に収納される収納品に適した最適な湿度
に該庫内の湿度を容易かつ自由に調節することができ
る。
【図面の簡単な説明】
【図1】(a)は本発明の一実施形態の自動乾燥装置に
おける乾燥剤容器位置の縦断面図、(b)は同装置にお
ける形状記憶合金コイルの加熱手段位置の縦断面図であ
る。
【図2】上記自動乾燥装置に用いられるタイマー制御回
路の構成図である。
【図3】上記自動乾燥装置のタイマーサイクルと乾燥剤
加熱時間及びシャッター切替間隔の関係を示す説明図で
ある。
【図4】上記自動乾燥装置における乾燥剤の温度と時間
の関係を示す説明図である。
【図5】上記自動乾燥装置の庫内の湿度と時間の関係を
示す説明図である。
【図6】上記自動乾燥装置における他の態様のタイマー
サイクルと乾燥剤加熱時間及びシャッター切替間隔の関
係を示す説明図である。
【図7】(a)は従来例の自動乾燥装置における乾燥剤
容器位置の縦断面図、(b)は同装置における形状記憶
合金コイルの加熱手段位置の縦断面図である。
【図8】上記従来例の自動乾燥装置のタイマーサイクル
と乾燥剤加熱時間及びシャッター切替間隔の関係を示す
説明図である。
【符号の説明】
1 自動乾燥装置 2 庫内 4 ドライユニット 6A 庫内用通気口 6B 庫外用通気口 7 ヒーター(発熱体) 8 乾燥剤 10,11 シャッター 30 タイマー制御回路 50 湿度調節器

Claims (3)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 密閉庫内に、乾燥剤と、この乾燥剤を加
    熱して再生処理する発熱体と、庫内用通気口及び庫外用
    通気口を開閉するシャッターとを備え、このシャッター
    で前記庫内用通気口を開いて前記庫外用通気口を閉じた
    時に前記庫内の多湿状態の空気を前記乾燥剤によって除
    湿処理すると共に、該シャッターで前記庫内用通気口を
    閉じて前記庫外用通気口を開いた時に前記乾燥剤から排
    出された水分を含む状態の空気を庫外に排出させるよう
    にした自動乾燥装置において、前記発熱体への再生通電
    加熱時間と前記シャッターの開閉作動時間に時間差を設
    けた複数の制御機能を有するタイマー制御回路を備えた
    ことを特徴とする自動乾燥装置。
  2. 【請求項2】 請求項1記載の自動乾燥装置であって、 前記庫内に、該庫内の湿度を感知して前記タイマー制御
    回路をON・OFF制御する湿度調節器を配置すると共
    に、前記乾燥剤と前記シャッターとを少なくとも備えた
    ドライユニットを複数配置し、この複数のドライユニッ
    トを前記湿度調節器を介して前記タイマー制御回路によ
    り該各ドライユニットの作動サイクル時間に時間差を設
    けてそれぞれ制御自在にしたことを特徴とする自動乾燥
    装置。
  3. 【請求項3】 請求項2記載の自動乾燥装置であって、 前記湿度調節器の設定湿度を変更して、各湿度領域にお
    いて前記複数のドライユニットの運転をそれぞれ可変自
    在にしたことを特徴とする自動乾燥装置。
JP10006849A 1998-01-16 1998-01-16 自動乾燥装置 Pending JPH11201641A (ja)

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* Cited by examiner, † Cited by third party
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GB2369070A (en) * 2000-11-18 2002-05-22 Russell Smith Geoffrey Regenerating desiccant humidity vent
CN100402937C (zh) * 2004-10-29 2008-07-16 李泉 电子除湿柜及其除湿方法
CN102795412A (zh) * 2012-07-24 2012-11-28 昆山德能防潮科技有限公司 可快速降湿的防潮柜
DE112021003105T5 (de) 2020-06-03 2023-04-06 Fanuc Corporation Laser-Vorrichtung

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