JPH11201920A - 真空系観察・分析装置による試料の観察・分析方法と、真空系観察・分析装置用試料ボックス - Google Patents
真空系観察・分析装置による試料の観察・分析方法と、真空系観察・分析装置用試料ボックスInfo
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- JPH11201920A JPH11201920A JP10017837A JP1783798A JPH11201920A JP H11201920 A JPH11201920 A JP H11201920A JP 10017837 A JP10017837 A JP 10017837A JP 1783798 A JP1783798 A JP 1783798A JP H11201920 A JPH11201920 A JP H11201920A
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Landscapes
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 試料準備装置２で準備した金属リチウム等の
試料３を、真空系観察・分析装置１の観察ルーム９に入
れて観察・分析するにおいて、試料３の酸化・吸湿を防
止して高精度高品質観察・分析を可能にする。 【解決手段】 凹設した試料ポケット２３に、ポケット
２３の内外圧差によって蓋板２２が閉鎖気密を維持し、
かつ、ポケット２３内外圧の均衡によって蓋板２２がば
ね付勢力によって自動開放可能の試料ボックス２０を、
試料準備装置２の不活性ガス雰囲気のグローブルーム５
に入れて試料３をポケット２３に収納し、続いて、ポケ
ット２３内を真空状態にして蓋板２２が吸着覆着したポ
ケット２３の閉鎖気密状態にセットし、しかるのち、そ
の試料ボックス２０を真空系観察・分析装置１の観察ル
ーム９に移して試料台１１にセットし、その観察ルーム
９を真空状態にすることによって蓋板２２を自動開放形
態になし、ポケット２３内の試料３に電子線１２を照射
して観察・分析する観察・分析方法と試料ボックス２０
が特徴である。
試料３を、真空系観察・分析装置１の観察ルーム９に入
れて観察・分析するにおいて、試料３の酸化・吸湿を防
止して高精度高品質観察・分析を可能にする。 【解決手段】 凹設した試料ポケット２３に、ポケット
２３の内外圧差によって蓋板２２が閉鎖気密を維持し、
かつ、ポケット２３内外圧の均衡によって蓋板２２がば
ね付勢力によって自動開放可能の試料ボックス２０を、
試料準備装置２の不活性ガス雰囲気のグローブルーム５
に入れて試料３をポケット２３に収納し、続いて、ポケ
ット２３内を真空状態にして蓋板２２が吸着覆着したポ
ケット２３の閉鎖気密状態にセットし、しかるのち、そ
の試料ボックス２０を真空系観察・分析装置１の観察ル
ーム９に移して試料台１１にセットし、その観察ルーム
９を真空状態にすることによって蓋板２２を自動開放形
態になし、ポケット２３内の試料３に電子線１２を照射
して観察・分析する観察・分析方法と試料ボックス２０
が特徴である。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、走査型電子顕微鏡
または電子線マイクロアナライザ等の真空系観察・分析
装置において、金属リチウム等の試料に粒子線・電磁波
を照射して観察・分析する方法と、その真空系観察・分
析装置に用いる試料ボックスに関するものである。
または電子線マイクロアナライザ等の真空系観察・分析
装置において、金属リチウム等の試料に粒子線・電磁波
を照射して観察・分析する方法と、その真空系観察・分
析装置に用いる試料ボックスに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】金属リチウム・アルカリ金属・アルカリ
土類金属等の超酸化性・超吸湿性の試料の表面状態（凹
凸）の観察や試料表面の元素量を測定する場合は、走査
型電子顕微鏡（元素量測定の場合は元素分析用検出器を
付設）によって行われる。即ち、その走査型電子顕微鏡
の観察分析ルームに試料をセットして、その観察分析ル
ームを概ね真空状態（０．００１Ｐа以下）にして電子
線を照射して観察・分析される。そして、その試料は作
業用手袋を有して真空雰囲気とアルゴンガス等による不
活性ガス雰囲気に設定可能の試料準備装置の試料ルーム
内で準備され、前記の走査型電子顕微鏡の観察分析ルー
ムに移される。
土類金属等の超酸化性・超吸湿性の試料の表面状態（凹
凸）の観察や試料表面の元素量を測定する場合は、走査
型電子顕微鏡（元素量測定の場合は元素分析用検出器を
付設）によって行われる。即ち、その走査型電子顕微鏡
の観察分析ルームに試料をセットして、その観察分析ル
ームを概ね真空状態（０．００１Ｐа以下）にして電子
線を照射して観察・分析される。そして、その試料は作
業用手袋を有して真空雰囲気とアルゴンガス等による不
活性ガス雰囲気に設定可能の試料準備装置の試料ルーム
内で準備され、前記の走査型電子顕微鏡の観察分析ルー
ムに移される。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】以上の従来の走査型電
子顕微鏡による試料の観察・分析方法は、別体の試料準
備装置の不活性ガス雰囲気中で慎重に準備した試料が、
電子顕微鏡の観察分析ルーム内へセットするまでの移行
コース内で大気と接触するので、金属リチウム等の超酸
化性・超吸湿性の試料表面は酸化・吸湿状態となり、正
確な観察分析ができない難点がある。
子顕微鏡による試料の観察・分析方法は、別体の試料準
備装置の不活性ガス雰囲気中で慎重に準備した試料が、
電子顕微鏡の観察分析ルーム内へセットするまでの移行
コース内で大気と接触するので、金属リチウム等の超酸
化性・超吸湿性の試料表面は酸化・吸湿状態となり、正
確な観察分析ができない難点がある。
【０００４】そして、その酸化・吸湿を防止するため
に、試料ルーム内で準備した試料を真空状態に設定可能
の試料容器に入れて電子顕微鏡へ移し変えるとしても、
その移し変えのために試料容器から取り出した試料は短
時間にしても大気と接触するので、有効な酸化・吸湿の
防止対策とはならず、また、電子顕微鏡の観察分析ルー
ムと試料準備装置の試料ルームを真結して真空雰囲気・
不活性雰囲気内での試料移送を図るとしても、装置が巨
大化すると共に装置が超高価になるので実用性がなく、
安価にして実用性に優れる試料の酸化・吸湿の防止対策
が当該分野で求められている。
に、試料ルーム内で準備した試料を真空状態に設定可能
の試料容器に入れて電子顕微鏡へ移し変えるとしても、
その移し変えのために試料容器から取り出した試料は短
時間にしても大気と接触するので、有効な酸化・吸湿の
防止対策とはならず、また、電子顕微鏡の観察分析ルー
ムと試料準備装置の試料ルームを真結して真空雰囲気・
不活性雰囲気内での試料移送を図るとしても、装置が巨
大化すると共に装置が超高価になるので実用性がなく、
安価にして実用性に優れる試料の酸化・吸湿の防止対策
が当該分野で求められている。
【０００５】本発明は、以上の従来技術の難点を解消
し、併せて、当該分野の技術要求に応える試料の観察・
分析方法と試料用ボックスを提供するものである。
し、併せて、当該分野の技術要求に応える試料の観察・
分析方法と試料用ボックスを提供するものである。
【０００６】
【課題を解決するための手段】以上の技術課題を解決す
る本発明は「不活性ガス雰囲気ルーム内で試料を準備し
て該不活性ガス雰囲気ルーム内の別体の試料ボックスの
試料ポケットに該試料を収納し、続いて該試料ポケット
を真空状態にして蓋閉鎖気密状態にロックし、しかるの
ち、該試料ボックスを真空系観察・分析装置の観察分析
ルームに移して、該観察分析ルームを真空状態にするこ
とによって前記試料ポケットを蓋自動開放のオープン形
態になし、しかるのち、前記試料ポケット内の前記試料
に粒子線・電磁波を照射して観察・分析することを特徴
とする真空系観察・分析装置による試料の観察・分析方
法」と、
る本発明は「不活性ガス雰囲気ルーム内で試料を準備し
て該不活性ガス雰囲気ルーム内の別体の試料ボックスの
試料ポケットに該試料を収納し、続いて該試料ポケット
を真空状態にして蓋閉鎖気密状態にロックし、しかるの
ち、該試料ボックスを真空系観察・分析装置の観察分析
ルームに移して、該観察分析ルームを真空状態にするこ
とによって前記試料ポケットを蓋自動開放のオープン形
態になし、しかるのち、前記試料ポケット内の前記試料
に粒子線・電磁波を照射して観察・分析することを特徴
とする真空系観察・分析装置による試料の観察・分析方
法」と、
【０００７】「逆止弁つき排気バルブを有してボックス
本体の上面に凹設した試料ポケットと、開放付勢ばねを
有して該試料ポケットの上方開口部を気密閉鎖可能の蓋
板を備え、前記試料ポケット内が概ね真空状態にして、
かつ、前記試料ポケット外が概ね１気圧の圧力関係にお
いて前記蓋板が閉鎖気密状態を維持すると共に、前記試
料ポケットの内外圧が概ね均衡した圧力関係において、
前記蓋板が前記付勢ばねの付勢力によって自動開放可能
に構成された構造を特徴とする真空系観察・分析装置用
試料ボックス」が特徴である。
本体の上面に凹設した試料ポケットと、開放付勢ばねを
有して該試料ポケットの上方開口部を気密閉鎖可能の蓋
板を備え、前記試料ポケット内が概ね真空状態にして、
かつ、前記試料ポケット外が概ね１気圧の圧力関係にお
いて前記蓋板が閉鎖気密状態を維持すると共に、前記試
料ポケットの内外圧が概ね均衡した圧力関係において、
前記蓋板が前記付勢ばねの付勢力によって自動開放可能
に構成された構造を特徴とする真空系観察・分析装置用
試料ボックス」が特徴である。
【０００８】即ち、本発明の観察・分析方法は、試料準
備装置の不活性ガス雰囲気内で準備した観察・分析用試
料を、その不活性ガス雰囲気内で別体の試料ボックスの
試料ポケットに収納して、ポケット内を真空気密状態に
セットロックして観察・分析装置に移し変え、その観察
・分析装置の観察分析ルームを真空状態にすることによ
って自動的に蓋オープン形態にして観察・分析するプロ
セスを特徴とするものである。そして、本発明の試料ボ
ックスは「付勢ばね・逆止弁つき排気バルブ」と「ポケ
ット内外の圧力差条件によって気密閉鎖状態の蓋板が自
動オープン可能の蓋板構成」によって試料の真空雰囲気
内温存移送を可能にするものである。
備装置の不活性ガス雰囲気内で準備した観察・分析用試
料を、その不活性ガス雰囲気内で別体の試料ボックスの
試料ポケットに収納して、ポケット内を真空気密状態に
セットロックして観察・分析装置に移し変え、その観察
・分析装置の観察分析ルームを真空状態にすることによ
って自動的に蓋オープン形態にして観察・分析するプロ
セスを特徴とするものである。そして、本発明の試料ボ
ックスは「付勢ばね・逆止弁つき排気バルブ」と「ポケ
ット内外の圧力差条件によって気密閉鎖状態の蓋板が自
動オープン可能の蓋板構成」によって試料の真空雰囲気
内温存移送を可能にするものである。
【０００９】
【作用】以上の本発明の真空系観察・分析装置による観
察・分析方法は、試料準備装置の不活性ガス雰囲気ルー
ムから観察・分析装置の観察分析ルームへ移送セットす
る試料を真空雰囲気内に温存し、しかるのち、その観察
分析ルームの真空雰囲気内に露出して観察・分析するの
で、試料準備から観察・分析に至る一連のプロセスにお
ける試料は大気接触が完全遮断される。従って、超酸化
性・超吸湿性試料の酸化・吸湿がパーフェクト形態で防
止できる。そして、本発明の試料ボックスは試料ポケッ
トの内外圧力条件によって蓋閉鎖気密状態維持と蓋板自
動開放ができるので、コンパクト簡易構造のもので本発
明の観察・分析方法の前記作用が円滑に達成できる。
察・分析方法は、試料準備装置の不活性ガス雰囲気ルー
ムから観察・分析装置の観察分析ルームへ移送セットす
る試料を真空雰囲気内に温存し、しかるのち、その観察
分析ルームの真空雰囲気内に露出して観察・分析するの
で、試料準備から観察・分析に至る一連のプロセスにお
ける試料は大気接触が完全遮断される。従って、超酸化
性・超吸湿性試料の酸化・吸湿がパーフェクト形態で防
止できる。そして、本発明の試料ボックスは試料ポケッ
トの内外圧力条件によって蓋閉鎖気密状態維持と蓋板自
動開放ができるので、コンパクト簡易構造のもので本発
明の観察・分析方法の前記作用が円滑に達成できる。
【００１０】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施形態を説明す
る。まず、本発明の観察・分析装置用試料ボックスの一
実施形態を図２を参照して説明する。即ち、本発明の試
料ボックス２０は、直方体金属ブロックのボックス本体
２１の前半部分の上面に試料ポケット２３（以下、単に
ポケット２３という）が凹設され、このポケット２３は
周壁を貫通してポケット２３と連通する排気孔２６の先
端の逆止弁つき排気バルブ２５と上方開口部が閉鎖・開
放できる蓋板２２を備えている。そして、蓋板２２は、
ブロック本体２１の側壁と蓋板２２の側縁間に連結した
リンクバー２４を介してヒンジ連結されて移動可能であ
り、ポケット２３の上方開口部を閉鎖したりボックス本
体２１の後半部分に載置セットされてポケット２３が開
口できる。そして、ポケット２３の周縁のボックス本体
２１の上面には、閉鎖姿勢の蓋板２２に接合してポケッ
ト２３を気密にシールできるシールリング３１が装着さ
れている。
る。まず、本発明の観察・分析装置用試料ボックスの一
実施形態を図２を参照して説明する。即ち、本発明の試
料ボックス２０は、直方体金属ブロックのボックス本体
２１の前半部分の上面に試料ポケット２３（以下、単に
ポケット２３という）が凹設され、このポケット２３は
周壁を貫通してポケット２３と連通する排気孔２６の先
端の逆止弁つき排気バルブ２５と上方開口部が閉鎖・開
放できる蓋板２２を備えている。そして、蓋板２２は、
ブロック本体２１の側壁と蓋板２２の側縁間に連結した
リンクバー２４を介してヒンジ連結されて移動可能であ
り、ポケット２３の上方開口部を閉鎖したりボックス本
体２１の後半部分に載置セットされてポケット２３が開
口できる。そして、ポケット２３の周縁のボックス本体
２１の上面には、閉鎖姿勢の蓋板２２に接合してポケッ
ト２３を気密にシールできるシールリング３１が装着さ
れている。
【００１１】さらに、以上の蓋板２２の移動機構のリン
クバー２４は、ボックス本体２１への連結ピン３０に付
勢ばねのコイルばね２７が嵌装され、このコイルばね２
７の一端２８がリンクバー２４に固定されると共に、他
端２９がボックス本体２１に固定されている。そして、
ポケット２３を閉鎖した蓋板２２を指先で軽く押えて排
気バルブ２５から吸引排気してポケット２３内を概ね真
空状態にすると、ポケット２３外の大気圧によって蓋板
２２の押圧力を生じて、押え指先を離しても蓋板２２は
そのままポケット２３に吸着覆着してポケット２３の真
空状態を気密維持すると共に、その状態の試料ボックス
２０を真空雰囲気中に置くとポケット２３の内外圧力の
均衡によって蓋板２２の押圧力が消滅し、コイルばね２
７の付勢力によって蓋板２２が自動的にボックス本体２
１の後半部分に移動してポケット２３が開放される付勢
力条件の蓋板２２の閉鎖開放構成になっている。
クバー２４は、ボックス本体２１への連結ピン３０に付
勢ばねのコイルばね２７が嵌装され、このコイルばね２
７の一端２８がリンクバー２４に固定されると共に、他
端２９がボックス本体２１に固定されている。そして、
ポケット２３を閉鎖した蓋板２２を指先で軽く押えて排
気バルブ２５から吸引排気してポケット２３内を概ね真
空状態にすると、ポケット２３外の大気圧によって蓋板
２２の押圧力を生じて、押え指先を離しても蓋板２２は
そのままポケット２３に吸着覆着してポケット２３の真
空状態を気密維持すると共に、その状態の試料ボックス
２０を真空雰囲気中に置くとポケット２３の内外圧力の
均衡によって蓋板２２の押圧力が消滅し、コイルばね２
７の付勢力によって蓋板２２が自動的にボックス本体２
１の後半部分に移動してポケット２３が開放される付勢
力条件の蓋板２２の閉鎖開放構成になっている。
【００１２】以上の試料ボックス２０は、後述する試料
準備装置の準備ルームに入れて金属リチウム等の試料３
を不活性ガス雰囲気中で収納し、ポケット２３を真空気
密状態にして別装置の観察・分析装置に移され蓋板２２
を真空雰囲気内で自動開放して試料の観察・分析が行な
われる。
準備装置の準備ルームに入れて金属リチウム等の試料３
を不活性ガス雰囲気中で収納し、ポケット２３を真空気
密状態にして別装置の観察・分析装置に移され蓋板２２
を真空雰囲気内で自動開放して試料の観察・分析が行な
われる。
【００１３】続いて、図１を参照して本発明の真空系観
察・分析装置による試料の観察・分析方法の一実施形態
を説明する。即ち、試料準備装置２の不活性ガス雰囲気
中で準備した要観察・分析試料の金属リチウムの試料３
を真空系観察・分析装置１に移して試料３の表面状態を
観察するにおいて、試料準備装置２を「ルーム壁に端部
を固定した作業手袋４を有するグローブルーム５」と
「資材・用具の準備ルーム６」をドア８を介して連通・
遮断できる２室構造にして以下の手順・手法によって試
料観察する。
察・分析装置による試料の観察・分析方法の一実施形態
を説明する。即ち、試料準備装置２の不活性ガス雰囲気
中で準備した要観察・分析試料の金属リチウムの試料３
を真空系観察・分析装置１に移して試料３の表面状態を
観察するにおいて、試料準備装置２を「ルーム壁に端部
を固定した作業手袋４を有するグローブルーム５」と
「資材・用具の準備ルーム６」をドア８を介して連通・
遮断できる２室構造にして以下の手順・手法によって試
料観察する。
【００１４】即ち、図２に示す蓋板２２開放状態の試料
ボックス２０と試料３を生成する資料素材・手動吸気ポ
ンプ・ピンセット・導電性テープ等（図示しない）の資
材用具を、ドア７を開いて準備ルーム６に入れてドア７
を閉じ、真空ポンプ１７によって準備ルーム６を真空状
態にした後、アルゴンボンベ１６からアルゴンガスを入
れて準備ルーム６を不活性ガス１気圧雰囲気にする。
ボックス２０と試料３を生成する資料素材・手動吸気ポ
ンプ・ピンセット・導電性テープ等（図示しない）の資
材用具を、ドア７を開いて準備ルーム６に入れてドア７
を閉じ、真空ポンプ１７によって準備ルーム６を真空状
態にした後、アルゴンボンベ１６からアルゴンガスを入
れて準備ルーム６を不活性ガス１気圧雰囲気にする。
【００１５】続いて、ドア８を開いて準備ルーム６内の
試料ボックス２０と資材用具を、アルゴンガス１気圧雰
囲気のグローブルーム５へ移して前記の資材用具を用い
て試料３を準備し、蓋板開放状態の試料ボックス２０の
ポケット２３に導電性テープを必要に応じて敷いて、そ
の上に試料３を入れてポケット２３内に試料３をセット
する。続いて、手動吸気ポンプを試料ボックス２０の排
気バルブ２５に接続して蓋板２２を指先で押えて蓋板２
２を閉鎖状態にして吸引排気し、ポケット２３内を真空
状態にして蓋板２２を閉鎖気密状態にセットロックし、
そのセットロック状態の試料ボックス２０を準備ルーム
６を経由して大気中へ取り出す。
試料ボックス２０と資材用具を、アルゴンガス１気圧雰
囲気のグローブルーム５へ移して前記の資材用具を用い
て試料３を準備し、蓋板開放状態の試料ボックス２０の
ポケット２３に導電性テープを必要に応じて敷いて、そ
の上に試料３を入れてポケット２３内に試料３をセット
する。続いて、手動吸気ポンプを試料ボックス２０の排
気バルブ２５に接続して蓋板２２を指先で押えて蓋板２
２を閉鎖状態にして吸引排気し、ポケット２３内を真空
状態にして蓋板２２を閉鎖気密状態にセットロックし、
そのセットロック状態の試料ボックス２０を準備ルーム
６を経由して大気中へ取り出す。
【００１６】しかるのち、その試料ボックス２０を別装
置の真空系観察・分析装置１（この実施形態のものは、
粒子線の一つである電子線を利用した走査型電子顕微
鏡）の試料出入口１０から試料台１１に載置し、続い
て、試料台１１を前進させて観察ルーム９に入れて試料
出入口１０を閉じ、吸気孔１５から吸引排気して観察ル
ーム９を真空状態にして試料ボックス２０の蓋板２２を
自動開放させてポケット２３を開放状態にする。しかる
のち、ポケット２３内の試料３に電子線１２を照射して
ブラウン管で像を見ながら試料台１１を三軸方向に移動
調整して試料ボックス２０を適当な観察ポジションに設
定し、検出器１３によって試料３の表面状態を観察す
る。
置の真空系観察・分析装置１（この実施形態のものは、
粒子線の一つである電子線を利用した走査型電子顕微
鏡）の試料出入口１０から試料台１１に載置し、続い
て、試料台１１を前進させて観察ルーム９に入れて試料
出入口１０を閉じ、吸気孔１５から吸引排気して観察ル
ーム９を真空状態にして試料ボックス２０の蓋板２２を
自動開放させてポケット２３を開放状態にする。しかる
のち、ポケット２３内の試料３に電子線１２を照射して
ブラウン管で像を見ながら試料台１１を三軸方向に移動
調整して試料ボックス２０を適当な観察ポジションに設
定し、検出器１３によって試料３の表面状態を観察す
る。
【００１７】以上の実施形態の観察・分析方法は前記の
作用があり、試料３の準備から電子線照射観察に至る一
連のプロセスにおいて、試料３は大気接触が完全遮断さ
れるので、金属リチウム等の超酸化性・超吸湿性試料３
の酸化・吸湿を完全防止して高精度の観察・分析ができ
る。そして、その高精度観察・分析を可能にする試料ボ
ックス２０は、蓋板開閉の電動部が存在しない構造簡素
コンパクトにして使い易く安価に製作できる実用的メリ
ットがある。
作用があり、試料３の準備から電子線照射観察に至る一
連のプロセスにおいて、試料３は大気接触が完全遮断さ
れるので、金属リチウム等の超酸化性・超吸湿性試料３
の酸化・吸湿を完全防止して高精度の観察・分析ができ
る。そして、その高精度観察・分析を可能にする試料ボ
ックス２０は、蓋板開閉の電動部が存在しない構造簡素
コンパクトにして使い易く安価に製作できる実用的メリ
ットがある。
【００１８】なお、本発明は前記の実施形態に限定され
ず、電子線マイクロアナライザ・Ｘ線光電子分光装置・
オージェ電子分光装置・二次イオン質量分析装置等の他
の真空系観察・分析装置にも応用するものである、さら
に、試料ボックス２０は、図３例示のようにボックス本
体２１に「付勢ばねつき蝶番３２」で連結した蓋板構成
にして、蓋板２２の自動起立開放または１８０°回転開
放の構造にすることがある。この図３のものはボックス
本体２１が小形化できる。
ず、電子線マイクロアナライザ・Ｘ線光電子分光装置・
オージェ電子分光装置・二次イオン質量分析装置等の他
の真空系観察・分析装置にも応用するものである、さら
に、試料ボックス２０は、図３例示のようにボックス本
体２１に「付勢ばねつき蝶番３２」で連結した蓋板構成
にして、蓋板２２の自動起立開放または１８０°回転開
放の構造にすることがある。この図３のものはボックス
本体２１が小形化できる。
【００１９】
【発明の効果】以上の説明のとおり、本発明の真空系観
察・分析装置による試料の観察・分析方法と試料ボック
スは、試料の準備から観察・分析に至る一連のプロセス
において、試料の大気接触を完全遮断するので、超酸化
性・超吸湿性の試料の観察・分析が極めて高精度にして
高品質観察・分析が可能になると共に、小形コンパクト
にして使い易く、かつ、安価に入手できる試料ボックス
によって、その高品質観察・分析が達成できる高実用性
を有して当該技術分野の要求に応える効果がある。
察・分析装置による試料の観察・分析方法と試料ボック
スは、試料の準備から観察・分析に至る一連のプロセス
において、試料の大気接触を完全遮断するので、超酸化
性・超吸湿性の試料の観察・分析が極めて高精度にして
高品質観察・分析が可能になると共に、小形コンパクト
にして使い易く、かつ、安価に入手できる試料ボックス
によって、その高品質観察・分析が達成できる高実用性
を有して当該技術分野の要求に応える効果がある。
【図１】本発明の観察・分析方法の一実施形態の手順・
手法の説明図
手法の説明図
【図２】本発明の試料ボックスの一実施形態を示し、
（Ａ）は蓋板開放状態の斜視図、（Ｂ）は蓋板閉鎖状態
の斜視図、（Ｃ）は蓋板のばね付勢機構を示す要部側面
図、（Ｄ）は（Ｂ）の横断面図
（Ａ）は蓋板開放状態の斜視図、（Ｂ）は蓋板閉鎖状態
の斜視図、（Ｃ）は蓋板のばね付勢機構を示す要部側面
図、（Ｄ）は（Ｂ）の横断面図
【図３】本発明の試料ボックスの他の実施形態の側面図
１ 真空系観察・分析装置 ２ 試料準備装置 ３ 試料 ４ 作業手袋 ５ グローブルーム ６ 準備ルーム ９ 観察分析ルーム １１ 試料台 １２ 電子線 １３ 検出器 ２０ 試料ボックス ２１ ボックス本体 ２２ 蓋板 ２３ 試料ポケット ２４ リンクバー ２５ 排気バルブ ２６ 排気孔 ２７ コイルばね ３０ 連結ピン ３１ シールリング ３２ 蝶番
Claims (2)
- 【請求項１】 不活性ガス雰囲気ルーム内で試料を準備
して該不活性ガス雰囲気ルーム内の別体の試料ボックス
の試料ポケットに該試料を収納し、続いて該試料ポケッ
トを真空状態にして蓋閉鎖気密状態にロックし、しかる
のち、該試料ボックスを真空系観察・分析装置の観察分
析ルームに移して、該観察分析ルームを真空状態にする
ことによって前記試料ポケットを蓋自動開放のオープン
形態になし、しかるのち、前記試料ポケット内の前記試
料に粒子線・電磁波を照射して観察・分析することを特
徴とする真空系観察・分析装置による試料の観察・分析
方法。 - 【請求項２】 逆止弁つき排気バルブを有してボックス
本体の上面に凹設した試料ポケットと、開放付勢ばねを
有して該試料ポケットの上方開口部を気密閉鎖可能の蓋
板を備え、前記試料ポケット内が概ね真空状態にして、
かつ、前記試料ポケット外が概ね１気圧の圧力関係にお
いて前記蓋板が閉鎖気密状態を維持すると共に、前記試
料ポケットの内外圧が概ね均衡した圧力関係において、
前記蓋板が前記付勢ばねの付勢力によって自動開放可能
に構成された構造を特徴とする真空系観察・分析装置用
試料ボックス。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10017837A JPH11201920A (ja) | 1998-01-13 | 1998-01-13 | 真空系観察・分析装置による試料の観察・分析方法と、真空系観察・分析装置用試料ボックス |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10017837A JPH11201920A (ja) | 1998-01-13 | 1998-01-13 | 真空系観察・分析装置による試料の観察・分析方法と、真空系観察・分析装置用試料ボックス |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11201920A true JPH11201920A (ja) | 1999-07-30 |
Family
ID=11954806
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10017837A Pending JPH11201920A (ja) | 1998-01-13 | 1998-01-13 | 真空系観察・分析装置による試料の観察・分析方法と、真空系観察・分析装置用試料ボックス |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH11201920A (ja) |
Cited By (12)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2010038601A (ja) * | 2008-08-01 | 2010-02-18 | Toyota Motor Corp | 分析装置 |
| JP2014074656A (ja) * | 2012-10-04 | 2014-04-24 | Horiba Ltd | 試料ホルダ、試料室及びｘ線分析装置 |
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| CN104730292A (zh) * | 2015-02-12 | 2015-06-24 | 天津力神电池股份有限公司 | 一种锂离子电池嵌锂态负极电镜样品的制备及观测方法 |
| CN107768221A (zh) * | 2016-12-13 | 2018-03-06 | 万向二三股份公司 | 一种用于空气或水分敏感样品的扫描电镜样品台及制样方法 |
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| DE102022133028A1 (de) | 2022-12-12 | 2024-06-13 | Kammrath Und Weiss Gmbh | Transfermodul und Transferverfahren für ein Probenmaterial |
| CN118425212A (zh) * | 2024-05-15 | 2024-08-02 | 中国科学技术大学 | 样品保护装置 |
| CN119901544A (zh) * | 2023-10-27 | 2025-04-29 | 中国石油天然气股份有限公司 | 一种用于能量色散x射线光谱仪的样品取样装置及使用方法 |
-
1998
- 1998-01-13 JP JP10017837A patent/JPH11201920A/ja active Pending
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| WO2024125909A1 (en) | 2022-12-12 | 2024-06-20 | Kammrath & Weiss Gmbh | Transfer module and transfer method for a sample material |
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| CN118425212A (zh) * | 2024-05-15 | 2024-08-02 | 中国科学技术大学 | 样品保护装置 |
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