JPS6316539A - 表面分析用高真空装置 - Google Patents
表面分析用高真空装置Info
- Publication number
- JPS6316539A JPS6316539A JP61159868A JP15986886A JPS6316539A JP S6316539 A JPS6316539 A JP S6316539A JP 61159868 A JP61159868 A JP 61159868A JP 15986886 A JP15986886 A JP 15986886A JP S6316539 A JPS6316539 A JP S6316539A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- sample
- bellows
- valve
- high vacuum
- exchange
- Prior art date
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- Pending
Links
- 238000004458 analytical method Methods 0.000 claims abstract description 18
- 238000005211 surface analysis Methods 0.000 claims 1
- 238000004381 surface treatment Methods 0.000 abstract description 6
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 abstract description 4
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 3
- 238000011282 treatment Methods 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 238000010894 electron beam technology Methods 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
- 230000000704 physical effect Effects 0.000 description 1
Landscapes
- Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は試料の表面に例えば電子線、ｘ！！あるいは光
線等を照射して発生する光電子またはオージェ電子等の
エネルギ分析を行うことによって、試料表面の物性を分
析する場合等に用いるための高真空装置に関する。
線等を照射して発生する光電子またはオージェ電子等の
エネルギ分析を行うことによって、試料表面の物性を分
析する場合等に用いるための高真空装置に関する。
このような装置において多数の試料を能率よく分析する
ためには分析室の真空を破ることなく試料の交換を行う
必要がある。しかし従来の装置はこれが不可能であるか
、あるいは極めて複雑で大型の装置を必要とした。従っ
て本発明は機構が簡単で、試料の交換あるいはその表面
処理等を容易、迅速に行い得る装置を提供するものであ
る。
ためには分析室の真空を破ることなく試料の交換を行う
必要がある。しかし従来の装置はこれが不可能であるか
、あるいは極めて複雑で大型の装置を必要とした。従っ
て本発明は機構が簡単で、試料の交換あるいはその表面
処理等を容易、迅速に行い得る装置を提供するものであ
る。
本発明は試料に例えばＸ！ＩＩを照射する装置および発
生した光電子のエネルギ分析のための検出器等を具備し
、かつ高真空に排気される分析室の壁面にベローズの一
端を連結して、その底面に試料支持杆の基端を結着し、
先端に試料保持部を形成すると共にこの支持杆の適当な
位置に開閉弁を設ける。かつ分析室における上記ベロー
ズと対向する部分に試料交換のための開口をもうけて、
その外側に試料交換室を配置したものである。従って試
料の交換に際してはベローズを圧縮させることにより、
支持杆先端の試料を交換室に送り込むと同時に前記開閉
弁で上記開口を閉じて、その後に交換室を大気に開放す
ることにより試料の交換を行い、あるいはこの交換室に
任意の気体を送り込むと共に加熱する等、試料に所望の
表面処理を施すごとができる。しかも上述のように機構
が簡単で操作ら容易であると共に装置を小形に形成し得
る等の効果がある。
生した光電子のエネルギ分析のための検出器等を具備し
、かつ高真空に排気される分析室の壁面にベローズの一
端を連結して、その底面に試料支持杆の基端を結着し、
先端に試料保持部を形成すると共にこの支持杆の適当な
位置に開閉弁を設ける。かつ分析室における上記ベロー
ズと対向する部分に試料交換のための開口をもうけて、
その外側に試料交換室を配置したものである。従って試
料の交換に際してはベローズを圧縮させることにより、
支持杆先端の試料を交換室に送り込むと同時に前記開閉
弁で上記開口を閉じて、その後に交換室を大気に開放す
ることにより試料の交換を行い、あるいはこの交換室に
任意の気体を送り込むと共に加熱する等、試料に所望の
表面処理を施すごとができる。しかも上述のように機構
が簡単で操作ら容易であると共に装置を小形に形成し得
る等の効果がある。
第１図は本発明実施例の試料交換または処理時における
縦断面の略図である。すなわち弁ｌを介して高真空ポン
プに連結された分析室２には、例えば試料にＸ線を照射
して光電子を発生させるためのＸ線発生器３および試料
から発生した光電子を捕捉してその速度分析等を行うた
めの検出器４が設けられている。この分析室２にベロー
ズ５の開口端を連結すると共にそのベローズと対向する
位置に試料交換室６に通ずる円錐状の開ロアをベローズ
５と対向するように形成しである。また試料支持杆８を
ベローズ５と同軸的に配置して、その一端をこのベロー
ズの底面９に結着し、かつ適当な位置に円錐状断面の開
閉弁１０を形成すると共に先端を試料１１の保持部Ｉ２
としである。なお交換室６は連結部１３を切り離して試
料１１の交換を行い得ると共に表面処理のための、開閉
弁１４．１４を有するガス導管夏５．１５および弁Ｉ６
を有する排気口１７、加熱処理の１こめのヒータ１８等
を設けである。また前記開ロアと分析室２との間には必
要に応じて大口径の開閉弁Ｉ９を設けると共に前記ベロ
ーズ５の底面９を支柱２０゜２０によって摺動自在に支
持し、かつ図示してないが、これを駆動するモータ等を
設けである。第２図はそのモータでベローズ５を伸長さ
せて、分析を行う状態における縦断面の略図、更に第３
図は第２図の状態における開閉弁１９の拡大図、第４図
はそのＡ−Ａ断面図で、この弁は第４図に矢印ｐで示し
たように移動する円板状の可動子２１によって分析室２
に通ずる開口２２を開閉する乙ので、可動子２１の周縁
には０リング２３を設けである。
縦断面の略図である。すなわち弁ｌを介して高真空ポン
プに連結された分析室２には、例えば試料にＸ線を照射
して光電子を発生させるためのＸ線発生器３および試料
から発生した光電子を捕捉してその速度分析等を行うた
めの検出器４が設けられている。この分析室２にベロー
ズ５の開口端を連結すると共にそのベローズと対向する
位置に試料交換室６に通ずる円錐状の開ロアをベローズ
５と対向するように形成しである。また試料支持杆８を
ベローズ５と同軸的に配置して、その一端をこのベロー
ズの底面９に結着し、かつ適当な位置に円錐状断面の開
閉弁１０を形成すると共に先端を試料１１の保持部Ｉ２
としである。なお交換室６は連結部１３を切り離して試
料１１の交換を行い得ると共に表面処理のための、開閉
弁１４．１４を有するガス導管夏５．１５および弁Ｉ６
を有する排気口１７、加熱処理の１こめのヒータ１８等
を設けである。また前記開ロアと分析室２との間には必
要に応じて大口径の開閉弁Ｉ９を設けると共に前記ベロ
ーズ５の底面９を支柱２０゜２０によって摺動自在に支
持し、かつ図示してないが、これを駆動するモータ等を
設けである。第２図はそのモータでベローズ５を伸長さ
せて、分析を行う状態における縦断面の略図、更に第３
図は第２図の状態における開閉弁１９の拡大図、第４図
はそのＡ−Ａ断面図で、この弁は第４図に矢印ｐで示し
たように移動する円板状の可動子２１によって分析室２
に通ずる開口２２を開閉する乙ので、可動子２１の周縁
には０リング２３を設けである。
上述の装置において、第１図の状態では開閉弁１０が円
錐状の開ロアに大気圧で強力に圧接して分析室２は高真
空を保持する。従って連結部Ｉ３を開いて試料１１の交
換を行ったのち交換室６を排気し、更に必要に応じては
導管１５から還元処理用のガス等を送り込むと共にヒー
タ１８で試料を加熱してこれに表面処理等を施すことが
できる。
錐状の開ロアに大気圧で強力に圧接して分析室２は高真
空を保持する。従って連結部Ｉ３を開いて試料１１の交
換を行ったのち交換室６を排気し、更に必要に応じては
導管１５から還元処理用のガス等を送り込むと共にヒー
タ１８で試料を加熱してこれに表面処理等を施すことが
できる。
つぎに交換室６を充分高真空に排気したのち前記モータ
でベローズ５を第２図のように伸長させて、試料１１を
Ｘ線発生器３および検出器４等に対向させる。かっ弁１
９を閉じて分析室２を充分高真空に排気し、所望の分析
を行う。なお実施例のように開閉弁１９を設けるときは
、この状態で交換室６を開いて所望の処置を施すこと等
もできる。
でベローズ５を第２図のように伸長させて、試料１１を
Ｘ線発生器３および検出器４等に対向させる。かっ弁１
９を閉じて分析室２を充分高真空に排気し、所望の分析
を行う。なお実施例のように開閉弁１９を設けるときは
、この状態で交換室６を開いて所望の処置を施すこと等
もできる。
このように本発明の装置は試料の交換およびその表面処
理等を簡易に行い得ると共に分析室は常に高真空の状態
を保持するから、充分高い真空度を維持する。従って試
料の交換後高真空に達するまでに長時間を要するような
欠点もなく多数の試料について能率よく分析を行うこと
ができる。しかも構成が簡単で小型な装置が得られると
共に取り扱いも容易である。
理等を簡易に行い得ると共に分析室は常に高真空の状態
を保持するから、充分高い真空度を維持する。従って試
料の交換後高真空に達するまでに長時間を要するような
欠点もなく多数の試料について能率よく分析を行うこと
ができる。しかも構成が簡単で小型な装置が得られると
共に取り扱いも容易である。
第１図は試料を交換する状態における本発明実施例の構
成を示した断面図、第２図は第１図の装置における試料
分析状態の断面図、第３図は第１図、第２図の装置に用
いられている開閉弁の拡大図、第４図は第３図のＡ−Ａ
断面図である。なお図において１．＋４．１６．１９は
弁、２は分析室、３はＸ線発生器、４は光電子検出器、
５はベローズ、６は試料交換室、７は開口、８は試料支
持杆、９はベローズの底面、１０は開閉弁、）Ｉは試料
、１２は試料保持部、１３は連結部、１７は排気口、２
０は支柱、２１は弁の可動子、２２は弁の開口部、２３
はＯリング、である。
成を示した断面図、第２図は第１図の装置における試料
分析状態の断面図、第３図は第１図、第２図の装置に用
いられている開閉弁の拡大図、第４図は第３図のＡ−Ａ
断面図である。なお図において１．＋４．１６．１９は
弁、２は分析室、３はＸ線発生器、４は光電子検出器、
５はベローズ、６は試料交換室、７は開口、８は試料支
持杆、９はベローズの底面、１０は開閉弁、）Ｉは試料
、１２は試料保持部、１３は連結部、１７は排気口、２
０は支柱、２１は弁の可動子、２２は弁の開口部、２３
はＯリング、である。
Claims (1)
- 高真空に排気される分析室の壁面にベローズの開口端を
連結すると共に試料交換室へ通ずる開口をこのベローズ
と対向するように形成して、上記ベローズと同軸的に配
置して基端をこのベローズの底面に結着した試料支持杆
の先端に試料保持部を形成し、かつ上記試料支持杆の適
当な位置に前記開口の縁に圧接してこの開口を密閉する
開閉弁を設けたことを特徴とする表面分析用高真空装置
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61159868A JPS6316539A (ja) | 1986-07-09 | 1986-07-09 | 表面分析用高真空装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61159868A JPS6316539A (ja) | 1986-07-09 | 1986-07-09 | 表面分析用高真空装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6316539A true JPS6316539A (ja) | 1988-01-23 |
Family
ID=15702969
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP61159868A Pending JPS6316539A (ja) | 1986-07-09 | 1986-07-09 | 表面分析用高真空装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6316539A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH02132761U (ja) * | 1989-04-07 | 1990-11-05 | ||
| JPH0545307A (ja) * | 1991-08-14 | 1993-02-23 | Kokusai Chodendo Sangyo Gijutsu Kenkyu Center | 表面分析方法および表面分析装置 |
| JPH0545308A (ja) * | 1991-08-14 | 1993-02-23 | Kokusai Chodendo Sangyo Gijutsu Kenkyu Center | 表面分析装置 |
| CN109459457A (zh) * | 2018-09-11 | 2019-03-12 | 东莞中子科学中心 | 一种用于白光中子源带电粒子探测谱仪的样品换样器 |
-
1986
- 1986-07-09 JP JP61159868A patent/JPS6316539A/ja active Pending
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH02132761U (ja) * | 1989-04-07 | 1990-11-05 | ||
| JPH0545307A (ja) * | 1991-08-14 | 1993-02-23 | Kokusai Chodendo Sangyo Gijutsu Kenkyu Center | 表面分析方法および表面分析装置 |
| JPH0545308A (ja) * | 1991-08-14 | 1993-02-23 | Kokusai Chodendo Sangyo Gijutsu Kenkyu Center | 表面分析装置 |
| CN109459457A (zh) * | 2018-09-11 | 2019-03-12 | 东莞中子科学中心 | 一种用于白光中子源带电粒子探测谱仪的样品换样器 |
| CN109459457B (zh) * | 2018-09-11 | 2021-07-06 | 东莞中子科学中心 | 一种用于白光中子源带电粒子探测谱仪的样品换样器 |
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