JPH11204598A - ハイブリッドic - Google Patents

ハイブリッドic

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JPH11204598A
JPH11204598A JP10006478A JP647898A JPH11204598A JP H11204598 A JPH11204598 A JP H11204598A JP 10006478 A JP10006478 A JP 10006478A JP 647898 A JP647898 A JP 647898A JP H11204598 A JPH11204598 A JP H11204598A
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hybrid
burn
voltage
test
wiring
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JP10006478A
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Toshiya Nakano
俊哉 中野
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Mitsubishi Electric Corp
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 ベアチップ実装された半導体パワー素子のゲ
ート・ソース間の定格電圧を超える電圧でバーンインテ
ストを行うことのできるハイブリッドICを提供する 【解決手段】 本発明のハイブリッドICは、半導体パ
ワー素子及び該半導体パワー素子の制御回路とで構成さ
れるハイブリッドICにおいて、半導体パワー素子のゲ
ート・ソース間に所定の電位差を設けると共に、制御回
路に規定値以下の電圧を供給するバーンインテスト専用
の回路を形成する除去可能な配線を有することを特徴と
する。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、パワーMOSFE
T等の半導体パワー素子をベアチップ実装したハイブリ
ッドICのバーンインテストに関するものである。
【0002】
【従来の技術】従来より、パワーMOSFET等の半導
体パワー素子と当該半導体パワー素子を制御する制御回
路とを同一基板上に実装したハイブリッドICが知られ
ている。上記ハイブリッドICの基板には、トランスフ
ァーモールドされた半導体パワー素子を実装する場合も
あれば、モールドされていない半導体パワー素子を実装
(以下、ベアチップ実装という)する場合もある。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】トランスファーモール
ドされた半導体パワー素子の場合、ハイブリッドIC基
板に実装する前の段階でバーンインテストを実行するこ
とができる。一方、樹脂などでモールドされていない半
導体パワー素子の場合、ベアチップ実装後のハイブリッ
ドIC基板に対してバーンインテストを実行することに
なる。
【0004】通常、ハイブリッドICに実装される制御
回路には、半導体パワー素子のゲート・ソース間に定格
GSS以上の電圧が印加されるのを防止するため保護用
のツェナーダイオードを備えることが多い。上記のツェ
ナーダイオードは、半導体パワー素子のゲート・ソース
間にツェナー電圧VZ(但し、VZ<VGSSの関係を満た
す)以上の電圧が印加されないように働く。このため、
ベアチップ実装後の半導体パワー素子のゲート・ソース
間に上記ツェナー電圧VZを超える電圧を印加してバー
ンインテストを実行することはできなかった。また、半
導体パワー素子の定格電圧VGSSが制御回路の定格電圧
ccよりも高い場合には、ゲート・ソース間の電圧を、
該制御回路に定格電圧Vcc以下の電圧が印加される値に
設定することが必要であった。
【0005】本発明の目的は、制御回路の定格電圧Vcc
や半導体パワー素子の保護用に設けるツェナーダイオー
ドのツェナー電圧VZによる制約を受けずに、半導体パ
ワー素子のバーンインテストを行うことのできるハイブ
リッドICを提供することを目的とする。
【0006】
【課題を解決するための手段】本発明の第1のハイブリ
ッドICは、半導体パワー素子及び該半導体パワー素子
の制御回路とで構成されるハイブリッドICにおいて、
半導体パワー素子のゲート・ソース間に所定の電位差を
設けると共に、制御回路に供給される電圧を規定値以下
にするバーンインテスト用の回路を備え、上記回路は、
除去可能な配線を利用して形成されたことを特徴とす
る。
【0007】本発明の第2のハイブリッドICは、上記
第1のハイブリッドICにおいて、上記除去可能な配線
として、バーンインテスト実行後に除去可能な低抵抗素
子を用いることを特徴とする。
【0008】本発明の第3のハイブリッドICは、上記
第1のハイブリッドICにおいて、上記除去可能な配線
として、バーンインテスト実行後に開放可能なパターン
を有する配線を用いることを特徴とする。
【0009】本発明の第4のハイブリッドICは、上記
第1乃至第3のハイブリッドICにおいて、更に、バー
ンインテスト実行後に短絡可能なパターンを有する配線
を用いることを特徴とする。
【0010】本発明の第5のハイブリッドICは、半導
体パワー素子及び該半導体パワー素子の制御回路とで構
成されるハイブリッドICにおいて、制御回路の所定の
素子への電圧の供給を遮断するスイッチを備えたことを
特徴とする。
【0011】
【発明の実施の形態】(1)発明の概要 本発明のハイブリッドICは、製品としての設計図通り
の配線の他に、製品として完成する前に実行するバーン
インテスト用の配線を、バーンインテストの実行後に容
易に除去可能な状態で備える。また、必要に応じて、バ
ーンインテストの実行時に回路を開放しておき、バーン
インテストの実行後に短絡させる配線を備える。これに
より、制御回路の定格電圧Vccや半導体パワー素子の保
護用に設けるツェナーダイオードのツェナー電圧VZ
よる制約を受けずに、半導体パワー素子のゲート・ソー
ス間の定格電圧VGSSを超える電圧でのバーンインテス
トを実行可能にする。
【0012】上記特徴を具備する本発明のハイブリッド
ICの実施の形態1〜5について説明する前に、本発明
のハイブリッドICの概要について説明する。図1は、
本発明の一実施例であるハイブリッドIC100の正面
図である。ハイブリッドIC100は、同一基板上に定
格電圧VGSSのパワーMOSFET101と定格電圧V
ccの制御回路150を実装してなる。パワーMOSFE
T101は、ベアチップ実装されている。図示するよう
にパワーMOSFET101は放熱板108上に設けら
れており、ソース102、ゲート103はアルミワイヤ
ボンドで基板表面に接続されている。ドレイン104
は、チップ裏面側に設けられている。制御回路150
は、ツェナー電圧VZ(但し、VZ<VGSSの関係を満た
す)のツェナーダイオードを備えている。当該ツェナー
ダイオードは、パワーMOSFET101のゲート・ソ
ース間にツェナー電圧VZ以上の電圧が印加されないよ
うに電圧制御を行う。当該ハイブリッドIC100は、
縦3cm,横3.5cm程度の大きさである。
【0013】ハイブリッドIC100は、はんだ付け予
定部106のようにバーンインテスト実行時には回路を
開放しておき、バーンインテスト実行後にはんだ付けを
行い回路を短絡する箇所、及び、レーザカット予定部1
07のようにバーンインテスト実行時に回路を短絡して
おき、バーンインテスト実行後にレーザにより切断また
は除去して回路を開放する箇所を備える。なお、はんだ
付け予定部106及びレーザカット予定部107は、複
数の箇所に設けても良い。
【0014】ハイブリッドIC100では、上記はんだ
付け予定部106及びレーザカット予定部107を利用
して、パワーMOSFET101のゲート・ソース間に
所定の電圧(例えば定格電圧VGSS)を印加すると共
に、ツェナーダイオードに印加される電圧をツェナー電
圧VZ以下にするバーンインテスト用の回路を形成す
る。これにより、保護用に設けるツェナーダイオードの
ツェナー電圧VZによる制約を受けずに、半導体パワー
素子のゲート・ソース間の定格電圧VGSSを超える電圧
でのバーンインテストを実行可能にする。
【0015】また、同様にして、制御回路150の定格
電圧VccがパワーMOSFET101の定格電圧VGSS
以下の場合には、はんだ付け予定部106及びレーザカ
ット予定部107を利用して制御回路150に印加され
る電圧を定格電圧Vccよりも低くするバーンインテスト
用の回路を形成する。これにより、制御回路の定格電圧
ccによる制約を受けずに、半導体パワー素子のゲート
・ソース間の定格電圧VGSSを超える電圧でのバーンイ
ンテストを実行可能にする。
【0016】バーンインテストの実行後は、はんだ付け
予定部106にはんだ付けを行い配線を接続し、レーザ
カット予定部107のレーザカットを行い配線を切断す
ることで、製品としてのハイブリッドIC基板100が
完成される。完成後のハイブリッドIC100は、外部
ピン105を残してパッケージングされる。
【0017】(2)実施の形態1 図2は、実施の形態1にかかるハイブリッドIC200
の回路図である。なお、上記ハイブリッドIC100と
同一の構成物については同一の参照番号を付し、ここで
の重複した説明は省く。ハイブリッドIC200は、バ
ーンインテストの実行時に、制御回路150内に内蔵さ
れる半導体パワー素子の保護回路を構成するツェナーダ
イオード115にツェナー電圧VZを超える電圧が印加
されないように、回路を短絡する配線112を設けたこ
とを特徴とする。配線112は、細線で囲むように、外
部ピン105aにつながる配線上の点aと、抵抗RG
11及び抵抗RGH110との間の点bとを接続して回路
を短絡させる。
【0018】ハイブリッドIC200の外部ピン105
aには、電源200より電源電圧VBが印加される。パ
ワーMOSFET101のソース102に接続される外
部ピン105bには、電源電圧VBが負荷201を介し
て印加される。外部ピン105cは、パワーMOSFE
T101のソース接地用端子として使用される。
【0019】制御回路150内にはトランジスタ11
3,116、ツェナーダイオード114、ダイオード1
15、インバータ117、バッファ118より構成され
る保護回路が設けられている。
【0020】配線112が設けられていない場合におい
て、バッファ118の電位が”H”場合、トランジスタ
113はオン、トランジスタ116はオフとなってお
り、制御回路150の出力としてトランジスタ113の
エミッタ電圧が出力される。ここで、バッファ118の
電位がツェナー電圧VZよりも低い場合には、バッファ
118の電位からトランジスタ113のベース・エミッ
タ間電圧VBEを差し引いた電圧がパワーMOSFET1
01のゲートに印加される。
【0021】また、バッファ118の電位がツェナー電
位VZよりも高い場合には、バッファ118の電位がツ
ェナーダイオード114でクランプされ、バッファ11
8の電位に関係なくツェナー電圧VZからトランジスタ
113のベース・エミッタ間電圧VBEを差し引いた電圧
がパワーMOSFET101のゲートに印加される。
【0022】当該保護回路によりパワーMOSFET1
01のゲート・ソース間にツェナー電圧VZを超える電
圧が印加されるのが防止される。このことは、換言すれ
ば、配線112が設けられていない状態では、パワーM
OSFET101のゲートにツェナー電圧VZ以上の電
圧を印加することができないことを意味する。
【0023】一方、配線112が設けられている状態に
おいて、外部ピン105aに印加された電圧VBは、抵
抗RG111及びダイオード115を介してツェナーダ
イオード114に入力される。パワーMOSFET10
1のゲート・ソース間の定格電圧VGSSが±20Vであ
り、ツェナー電圧VZが18V程度の場合、抵抗RG11
1は、例えば200Ω程度の値に設定する。抵抗RGH
10は、抵抗RG111に比べて十分小さな値に設定す
る。当該構成を採用することで、外部ピン105aを介
して入力される電源電圧VBは、その大半がパワーMO
SFET101のゲートに印加される。
【0024】また、当該構成においてツェナーダイオー
ド114に流れる電流IZDは、(VB−(ダイオード1
15における電圧降下)−(ツェナーダイオード114
による電圧降下))/RG111で表される。ツェナー
ダイオード114を内包するICである制御回路150
の熱抵抗が100℃/W程度の時、外部ピン105aよ
り電源電圧VB=25Vを印加しても、ツェナーダイオ
ード114におけるパワーロスPwは、32mA×18
V=0.58W程度と小さく、制御回路150の温度上
昇分は100×0.58=58℃となる。一般に樹脂モ
ールドされたICの耐熱温度は150度であり、この場
合において、周辺の温度が92℃以下の場合には、ツェ
ナーダイオード114が破壊されることはない。
【0025】以上のことより理解されるように、配線1
12を設けることで、パワーMOSFET101のゲー
ト・ソース間にツェナー電圧VZ及び定格電圧VGSSを超
える例えば25Vの電圧を印加してバーンインテストを
行うことが可能になる。
【0026】バーンインテストの実行後には、上記配線
112をレーザなどで切断して回路を開放する。これに
より、製品としてのハイブリッドIC基板200が完成
される。
【0027】(3)実施の形態2 図3は、実施の形態2にかかるハイブリッドIC300
の要部構成を示す図である。本回路図は、図2に示した
実施の形態1にかかるハイブリッドIC200の点線1
40で囲んだ部分の構成を示す図である。この点線部分
140を除く回路の構成は、ハイブリッドIC200と
同じである。
【0028】ハイブリッドIC300では、厚膜抵抗基
板をベースにしており、電源電圧VBの印加される配線
上の点aと、抵抗RG111及び抵抗RGH110との間
の点bとの間を、厚膜印刷抵抗RCD120を用いて短絡
する。なお、ハイブリッドIC300が金属基板等の印
刷抵抗が使用できない基板をベースにしている場合に
は、抵抗RCD120としてトリマブルチップ抵抗器を用
いれば良い。
【0029】上記構成において、半導体パワー素子10
1に印加される電圧は、抵抗RCD120とRG111と
の分圧値となるため、抵抗RCD120は、抵抗RG11
1よりも十分小さな抵抗値に設定することが必要であ
る。たとえば、RG111の値が200Ωの場合には、
CD120は、数Ω〜数10Ω程度に設定することが好
ましい。
【0030】点aと点b間を抵抗RCD120を用いて短
絡したことによる作用及び効果、及び、当該抵抗RCD
20を除去又はレーザにより切断して回路を開放するこ
とで生じる作用及び効果については、上記実施の形態1
で説明したハイブリッドIC200と同じである。しか
し、本実施の形態におけるハイブリッドIC300のよ
うに、単なる配線112を用いて回路を短絡する場合に
比べて、抵抗RCD120を用いて回路を短絡した方が、
バーンインテスト実行後に行うレーザビームによる回路
の開放が容易となる利点を有する。
【0031】(4)実施の形態3 図4は、実施の形態3にかかるハイブリッドIC400
の要部構成を示す図である。本回路図は、図2に示した
実施の形態1にかかるハイブリッドIC200の点線1
40で囲んだ部分の構成を示す図である。この点線部分
140を除く回路の構成は、ハイブリッドIC200と
同じである。上記実施の形態1及び2で示したハイブリ
ッドIC200及び300では、抵抗RG111の値が
小さい場合、ツェナーダイオード114の動抵抗を小さ
くして熱抵抗を下げるため、ツェナーダイオード114
のサイズを大きくする必要があった。ハイブリッドIC
400では、バーンインテストの実行時には、電源電圧
Bの印加される配線上の点aと、抵抗RG111及び抵
抗RGH110との間の点bとの間を短絡すると共に、点
bから抵抗RGを介して制御回路150に延びる配線を
開放する。
【0032】ハイブリッドIC400では、図1に示し
たはんだ付け予定部106と同じ形状のはんだ付け部1
21及び122を基板上に設ける。バーンインテストの
実行時には、はんだ付け部121にはんだ付けを行って
おき、外部ピン105aより供給される電源電圧VB
直接半導体パワー素子101のゲートに印加する。ま
た、はんだ付け部122を開放しておき、抵抗RG11
1を介して制御回路150に電圧が印加されるのを防止
する。
【0033】図5は、はんだ付け部122の構成を示す
図である。(a)に示すように、はんだ付け部122
は、接続する一方の端子を略コ字状に囲む配線パターン
を採用する。当該配線パターンを採用することで、
(b)に示すように、はんだ125を一点に付けるだけ
で、正確に配線の接続を行うことができる。また、少量
のはんだで配線の接続を行うため、はんだを吸い取る
(除去する)ことも容易に行うことができる。なお、は
んだ付け部121、及び、以下に説明する実施の形態4
で用いるはんだ付け部123の構成も上記はんだ付け部
122と同じである。
【0034】バーンインテストの実行後は、はんだ付け
部121のはんだを吸い取り配線を切断すると共に、は
んだ付け部122のはんだ付けを行い配線を接続する。
これにより、製品としてのハイブリッドIC400を完
成することができる。
【0035】(5)実施の形態4 図6は、実施の形態4にかかるハイブリッドIC500
の構成を示す図である。ハイブリッドIC500は、上
記実施の形態3にかかるハイブリッドIC400に更に
はんだ付け部123を追加したものである。
【0036】バーンインテストの実行時には、はんだ付
け部121のはんだ付けを行うと共に、はんだ付け部1
22、123にははんだ付けを行わない。これにより、
バーンインテストの実行時には制御回路150と、半導
体パワー素子101とが完全に分離されることとなり、
制御回路150の定格電圧Vcc及びツェナー電圧VZ
考慮せずに適切なバーンインテストを実行することがで
きる。
【0037】バーンインテストの実行後には、はんだ付
け部121のはんだを吸い取り配線を切断すると共に、
はんだ付け部122、123のはんだ付けを行い配線を
接続する。これにより、製品としてのハイブリッドIC
500が完成される。
【0038】(6)実施の形態5 図7は、実施の形態5にかかるハイブリッドIC600
の要部構成を示す図である。本回路図は、図2に示した
実施の形態1にかかるハイブリッドIC200の点線1
50で囲んだ部分、即ち制御回路150の構成を示す図
である。この制御回路150を除く点線140で囲んだ
部分の構成は、実施の形態1のハイブリッドIC200
より配線112を除去したものを採用する。
【0039】ハイブリッドIC600は、バーンインテ
ストの実行時にツェナーダイオード114にツェナー電
圧VZ以上の電圧が印加されるのを防止するため、該ツ
ェナーダイオード114の電圧入力部にスイッチ130
を設けたことを特徴とする。当該スイッチ130は、”
L”のBI信号が入力されている場合に回路を接続
し、”H”のBI信号が入力されているときに回路を切
断するものである。バーンインテストの実行時に”H”
のBI信号を供給してスイッチ130を切断しておくこ
とで、保護対象の回路素子(ツェナーダイオード11
4)は保護される。
【0040】なお、バーンインテストの実行時に制御回
路150に定格電圧Vcc以上の電圧が印加されるのを防
止するため、点c及び点dの位置に上記スイッチ130
と同じスイッチを設けても良い。当該構成を採用するこ
とで、パワーMOSFET101のバーンインテスト実
行時に制御回路150全体を保護することができる。
【0041】ハイブリッドIC600では、スイッチ1
30を採用することで、はんだを用いずに適切なバーン
インテストを実行することができる。なお、上記スイッ
チ130は、逆特性のものを用いても良い。
【0042】
【発明の効果】本発明の第1のハイブリッドICでは、
半導体パワー素子のゲート・ソース間に所定の電位差を
設けると共に、制御回路に規定値以下の電圧を供給する
バーンインテスト専用の回路を備え、該回路は除去可能
な配線を利用して形成されている。上記バーンインテス
ト用の回路を備えることで、制御回路の定格電圧VGSS
や半導体パワー素子の保護用に設けられるツェナーダイ
オードのツェナー電圧VZの制約を受けることなく、適
切なバーンインテストを実行することができる。また、
バーンインテストの実行後は、該バーンインテスト用の
回路を除去することで、容易に製品としてのハイブリッ
ドICを形成することができる。
【0043】本発明の第2のハイブリッドICでは、上
記第1のハイブリッドICにおいて、除去可能な配線と
して、バーンインテスト実行後に除去可能な低抵抗素子
を用いることで、バーンインテスト実行後における配線
の除去を容易にすることができる。
【0044】本発明の第3のハイブリッドICでは、上
記第1のハイブリッドICにおいて、除去可能な配線と
して、バーンインテスト実行後に開放可能なパターンを
有する配線を用いることで、バーンインテスト実行後に
おける配線の除去を用意にすることができる。
【0045】本発明の第4のハイブリッドICでは、上
記第1〜第3のハイブリッドICにおいて、更に、バー
ンインテスト実行後に短絡可能なパターンを有する配線
を用いることで、より適切なバーンインテスト用の回路
を構成することができる。
【0046】本発明の第5のハイブリッドICでは、半
導体パワー素子のゲート・ソース間に所定の電位差を設
けると共に、制御回路への電圧の供給を遮断するスイッ
チを備える。当該スイッチを備えることで、制御回路の
定格電圧VGSSや半導体パワー素子の保護用に設けられ
るツェナーダイオードのツェナー電圧VZの制約を受け
ることなく、適切なバーンインテストを実行することが
できる。また、バーンインテスト実行後には、スイッチ
を切り換えるだけで、製品としてのハイブリッドICを
形成することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】 ハイブリッドICの正面図を示す図である。
【図2】 実施の形態1にかかるハイブリッドICの回
路図である。
【図3】 実施の形態2にかかるハイブリッドICの回
路図である。
【図4】 実施の形態3にかかるハイブリッドICの回
路図である。
【図5】 はんだ付け部の構成を示す図である。
【図6】 実施の形態4にかかるハイブリッドICの回
路図である。
【図7】 実施の形態5にかかるハイブリッドICの回
路図である。
【符号の説明】
100,200,300,400,500,600 ハ
イブリッドIC、 101 パワーMOSFET、 1
03,111,120 抵抗、 112 配線、 11
4 ツェナーダイオード、 121,122,123
はんだ付け部、125 はんだ、 130 スイッチ、
150 制御回路、 200 電源
フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 FI H01L 21/822 H01L 27/04 T 27/12

Claims (5)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 半導体パワー素子及び該半導体パワー素
    子の制御回路とで構成されるハイブリッドICにおい
    て、 半導体パワー素子のゲート・ソース間に所定の電位差を
    設けると共に、制御回路に供給される電圧を規定値以下
    にするバーンインテスト用の回路を備え、 上記回路は、除去可能な配線を利用して形成されたこと
    を特徴とするハイブリッドIC。
  2. 【請求項2】 請求項1に記載のハイブリッドICにお
    いて、 上記除去可能な配線として、バーンインテスト実行後に
    除去可能な低抵抗素子を用いることを特徴とするハイブ
    リッドIC。
  3. 【請求項3】 請求項1に記載のハイブリッドICにお
    いて、 上記除去可能な配線として、バーンインテスト実行後に
    開放可能なパターンを有する配線を用いることを特徴と
    するハイブリッドIC。
  4. 【請求項4】 請求項1乃至請求項3の何れかに記載の
    ハイブリッドICにおいて、 更に、バーンインテスト実行後に短絡可能なパターンを
    有する配線を用いることを特徴とするハイブリッドI
    C。
  5. 【請求項5】 半導体パワー素子及び該半導体パワー素
    子の制御回路とで構成されるハイブリッドICにおい
    て、 制御回路内の所定の素子への電圧の供給を遮断するスイ
    ッチを備えたことを特徴とするハイブリッドIC。
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