JPH11230989A - プローブカード用プローブ針のクリーニング方法およびクリーニング装置とそれに用いる洗浄液 - Google Patents

プローブカード用プローブ針のクリーニング方法およびクリーニング装置とそれに用いる洗浄液

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JPH11230989A
JPH11230989A JP10107967A JP10796798A JPH11230989A JP H11230989 A JPH11230989 A JP H11230989A JP 10107967 A JP10107967 A JP 10107967A JP 10796798 A JP10796798 A JP 10796798A JP H11230989 A JPH11230989 A JP H11230989A
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正治 水田
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 プローブ針の最先端部の摩耗および形状の変
化が少なく、プローブ針の寿命を延長することが可能な
プローブカード用プローブ針のクリーニング方法および
クリーニング装置とそれに用いる洗浄液を提供する。 【解決手段】 燐酸を含む水溶液もしくは無水クロム酸
と燐酸をとを含む水溶液からなるプローブカード用プロ
ーブ針の洗浄液１にプローブカード用プローブ針１１の
最先端部１２を浸漬する。プローブ針の最先端部１２が
洗浄液１に浸漬されている際、洗浄液１を振動発生部材
１０により振動させる。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】この発明は、半導体検査装置
のクリーニング方法およびクリーニング装置とそれに用
いる洗浄液に関し、より特定的には、プローブカード用
プローブ針のクリーニング方法およびクリーニング装置
とそれに用いる洗浄液に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、半導体装置の検査工程において、
プローブカードと呼ばれる装置が用いられる。図１６
は、従来のプローブカードの断面図である。図１６を参
照して、従来のプローブカードは基板１１６のほぼ中央
部に開口部１１４が形成されている。この開口部１１４
の周辺部には、開口部１１４の中心に向けて複数のプロ
ーブ針１１１が設置されている。そして、このプローブ
針１１１は基板１１６の周辺部に配列された端子（図示
せず）と配線を介して接続されている。この端子は、半
導体装置の検査の際、プローバと呼ばれる検査装置と接
続される。そして、このプローブカードは、検査対象で
ある半導体装置の表面に対向して配置されるとともに、
上記プローブ針１１１の先端がこの半導体装置の表面に
形成された電極と接触するように配置される。こうし
て、半導体装置の表面に形成された電極と接触したプロ
ーブ針１１１を介して、半導体装置の電気的特性の検査
を行なう。
【０００３】図１７は、図１６に示した従来のプローブ
針１１１を説明するための模式図である。図１７を参照
して、プローブ針のリード部の直径Ｄは約０．２５ｍ
ｍ、プローブ針の前端部の長さＬは約７ｍｍ、半導体装
置の電極と接触するプローブ針の最先端部１１２の直径
ｄは約３０μｍである。このプローブ針の材質として
は、タングステンなどが用いられる。
【０００４】そして、このプローブ針の最先端部１１２
は、半導体装置の検査の際、図１８および１９に示すよ
うに、半導体装置の表面に形成された電極１３１と接触
する。図１８および１９は、プローブ針の最先端部が半
導体装置の表面に形成された電極に接触する状況を説明
するための模式図である。図１８に示すように、半導体
装置１３２をプローブ針１１１の方向に上昇させること
により、半導体装置１３２の表面に形成された電極１３
１とプローブ針１１１の最先端部１１２とが接触する。
ここで、半導体装置１３２の電極１３１はアルミニウム
により形成されているが、この電極１３１の表面には薄
い酸化アルミニウム層１３３が形成されている。この酸
化アルミニウム層１３３は絶縁層であるため、図１８に
示すように単純にプローブ針１１１の最先端部１１２に
電極１３１を押し付けただけでは、酸化アルミニウム層
１３３の下に位置するアルミニウム層１３４とプローブ
針１１１の最先端部１１２とが接触することができな
い。このため、プローブ針１１１から電極１３１へ通電
することはできない。
【０００５】そのため、通常、プローブ針１１１の最先
端部１１２を電極１３１に接触させた後、図１９に示す
ように、半導体装置１３２をさらに上昇させる。これに
より、プローブ針１１１が弾性的に変形し、プローブ針
１１１の最先端部１１２は電極１３１上において水平方
向に移動する。このため、電極１３１の表面に存在する
酸化アルミニウム層１３３が電極１３１の表面から部分
的に除去され、電極本体であるアルミニウム層１３４と
プローブ針１１１の最先端部１１２とが直接接触するこ
とができる。ここで、図１９に示した工程を、以下オー
バードライブ工程と呼ぶ。このようにして、従来の検査
工程では、プローブ針１１１の最先端部１１２が電極１
３１と接触していた。
【０００６】しかし、図１９に示したようなオーバード
ライブ工程により、電極１３１の表面から除去された酸
化アルミニウム層１３３の一部は、図２０に示すよう
に、プローブ針１１１の最先端部１１２に付着する。こ
のように、プローブ針１１１の最先端部１１２に絶縁体
である酸化アルミニウムなどの異物１１３が付着する
と、プローブ針１１１の最先端部１１２と半導体装置の
電極１３１（図１９参照）との間の電気的接続が異物１
１３により妨げられ、電極１３１に所定の電流を通電す
ることが困難になる。そのため、このようなプローブ針
を使用し続けると、半導体装置の検査が正確に行なえな
いという問題が発生していた。
【０００７】このため、従来より、プローブ針１１１の
最先端部１１２より酸化アルミニウムなどの異物１１３
を除去するプローブ針のクリーニング作業が行なわれて
いる。
【０００８】図２１は、プローブ針の従来のクリーニン
グ作業において使用されているプローブ針の研磨シート
の断面図である。図２１を参照して、プローブ針の従来
の研磨シート１３５は、シリコンゴム１３６を母材と
し、このシリコンゴム１３６の中に人工ダイヤモンド粉
などの砥粒１３７を分散配置させていた。そして、この
研磨シート１３５にプローブ針１１１（図２０参照）の
最先端部１１２（図２０参照）を所定回数突き刺すこと
により、研磨シート１３５の内部の砥粒１３７によっ
て、プローブ針１１１の表面から異物１１３（図２０参
照）を削り落としていた。このようにして、プローブ針
１１１の最先端部１１２から異物１１３を除去してい
た。
【０００９】図２２は、プローブ針の従来のクリーニン
グ作業の工程図である。図２２を参照して、プローブ針
の従来のクリーニング作業は、４つのステップから構成
されている。ステップ１は、研磨シートに対向してプロ
ーブカードを配置する工程である。ステップ２は、プロ
ーブ針の最先端部を研磨シートに所定回数突き刺す工程
である。ここで、図２３は、このステップ２においてプ
ローブ針の最先端部を研磨シートに所定回数突き刺す工
程を示した模式図である。図２３に示すように、プロー
ブ針１１１の最先端部１１２を、研磨シート１３５に突
き刺すことにより、プローブ針１１１の最先端部１１２
に付着していた酸化アルミニウムなどの異物１１３を、
研磨シート１３５の中の砥粒１３７によって削り取るこ
とができる。
【００１０】しかし、このステップ２が終了した段階で
は、図２４に示すように、プローブ針１１１の最先端部
１１２に、研磨シート１３５（図２３参照）の母材であ
るシリコンゴム１３６（図２３参照）が軟化した、粘性
のあるシリコンゴムの膜１３８が付着している。そし
て、このシリコンゴムの膜１３８に、異物１３９が付着
している。この異物１３９は、ステップ２においてプロ
ーブ針１１１の最先端部１１２から除去された酸化アル
ミニウムなどの異物１１３（図２３参照）、研磨シート
１３５から脱落した砥粒１３７（図２３参照）および研
磨シート１３５の母材であるシリコンゴム１３６（図２
３参照）の一部が分離したものなどである。
【００１１】このため、プローブ針の従来のクリーニン
グ作業では、図２２に示すように、ステップ３として、
プローブ針の最先端部に有機溶剤をスプレーし、この最
先端部に付着した異物１３９（図２４参照）を除去する
工程が必要であった。図２５は、このステップ３が実施
されている状況を示す模式図である。
【００１２】図２５に示すように、有機溶剤１４０をプ
ローブ針１１１の最先端部１１２に吹付けることによ
り、シリコンゴムの膜１３８を溶解し、シリコンゴムの
膜１３８および異物１３９をプローブ針１１１の最先端
部１１２から除去する。
【００１３】このステップ３が終了すると、図２６に示
すように、プローブ針１１１には有機溶剤１４０が付着
している。そのため、プローブ針の従来のクリーニング
作業では、図２２に示すように、ステップ４として空気
をプローブ針１１１（図２６参照）に吹付け、プローブ
針１１１の最先端部１１２に付着している有機溶剤１４
０（図２６参照）を乾燥させると同時に、プローブ針１
１１の表面に残存している異物などを吹き飛ばす工程を
実施している。
【００１４】このようにして、プローブ針の従来のクリ
ーニング作業が行なわれていた。
【００１５】
【発明が解決しようとする課題】従来、図２３に示すよ
うに、研磨シート１３５にプローブ針１１１の最先端部
１１２を突き刺すことにより、プローブ針１１１の最先
端部１１２から異物１１３を除去していた。しかし、こ
の突き刺す工程を数百回繰返す間に、プローブ針１１１
の最先端部１１２の側面や底面も研磨シート１３５の中
の砥粒１３７によって削られ、最先端部１１２の形状が
変化していた。また、この突き刺す工程において、プロ
ーブ針１１１の一部が曲がり、プローブ針１１１の最先
端部１１２の高さにバラツキが発生する場合もあった。
【００１６】こうした場合、図１８および１９に示すよ
うに、半導体装置１３２の電極１３１にプローブ針１１
１の最先端部１１２を接触させる際、プローブ針１１１
の最先端部１１２の形状が変化したり、高さにバラツキ
が発生したりすることにより、プローブ針１１１と電極
１３１との接触が完全ではなく、電極１３１に所定の電
流を通電することが困難になるなどの問題が発生してい
た。
【００１７】また、このように形状の変化したプローブ
針は、メーカーでの修理および再調整などが必要とな
り、保守コストがかかることから、半導体装置の製造コ
ストが上昇する原因の１つにもなっていた。
【００１８】本発明は、上記のような課題を解決するた
めになされたものであって、本発明の１つの目的は、プ
ローブ針の最先端部の摩耗および形状の変化が少なく、
プローブ針の寿命を延長することが可能なプローブカー
ド用プローブ針のクリーニング方法を提供することであ
る。
【００１９】本発明のもう１つの目的は、プローブ針の
最先端部の摩耗および形状の変化が少なく、プローブ針
の寿命を延長することが可能なプローブカード用プロー
ブ針のクリーニング装置を提供することである。
【００２０】本発明のもう１つの目的は、プローブ針の
最先端部の摩耗および形状の変化が少なく、プローブ針
の寿命を延長することが可能な、プローブカード用プロ
ーブ針のクリーニング装置に用いる洗浄液を提供するこ
とである。
【００２１】
【課題を解決するための手段】請求項１に記載のプロー
ブカード用プローブ針の洗浄液は、燐酸を含む水溶液か
らなる。
【００２２】このため、請求項１に記載の発明では、後
述するプローブカード用プローブ針のクリーニング方法
において、上記洗浄液にプローブ針を浸漬し、この洗浄
液に振動を与えることにより、プローブ針の最先端部の
摩耗および形状の変化がほとんどない状態で、上記プロ
ーブ針に付着している酸化アルミニウムなどの異物をプ
ローブ針から除去することができる。この結果、プロー
ブ針のクリーニング作業におけるプローブ針の最先端部
の摩耗や変形を防止できる。これにより、プローブ針の
寿命を延長することが可能となる。
【００２３】請求項２におけるプローブカード用プロー
ブ針の洗浄液は、請求項１の構成において、燐酸の水に
対する含有量が３６ミリリットル／リットルである。
【００２４】請求項３におけるプローブカード用プロー
ブ針の洗浄液では、水溶液が無水クロム酸をさらに含
む。
【００２５】このため、請求項３に記載の発明では、後
述するプローブカード用プローブ針のクリーニング方法
において、上記洗浄液を用いることで、プローブ針の最
先端部の摩耗および形状の変化がほとんどない状態で、
上記プローブ針に付着している酸化アルミニウムなどの
異物をより有効にプローブ針から除去することができ
る。この結果、プローブ針のクリーニング作業における
プローブ針の最先端部の摩耗や変形を防止できる。これ
により、プローブ針の寿命を延長することが可能とな
る。
【００２６】請求項４におけるプローブカード用プロー
ブ針の洗浄液は、請求項１〜３のいずれか１項の構成に
おいて、無水クロム酸の水に対する含有量が２０グラム
／リットルである。
【００２７】請求項５におけるプローブ針クリーニング
装置は、燐酸を含む水溶液からなるプローブ針の洗浄液
を蓄積する洗浄浴槽と、洗浄液を振動させるための振動
発生部材とを備える。
【００２８】このため、請求項５に記載の発明では、上
記洗浄液を用いて、プローブ針の最先端部の摩耗および
形状の変化がほとんどない状態で、プローブ針に付着し
ている酸化アルミニウムなどの異物をプローブ針から除
去することができる。また、洗浄液を振動させることに
より、洗浄液をプローブ針の表面と異物との境界部によ
り確実に浸透させることができる。この結果、プローブ
針のクリーニング作業におけるプローブ針の最先端部の
摩耗や変形を防止しながら、プローブ針の最先端部から
確実に異物を除去することができる。これにより、プロ
ーブ針の寿命を延長することができる。また、洗浄液を
振動させることによって、この物理的な振動により、プ
ローブ針の表面から異物をより確実に除去することもで
きる。
【００２９】請求項６におけるプローブ針クリーニング
装置は、請求項５の構成において、燐酸の水に対する含
有量が３６ミリリットル／リットルである。
【００３０】このため、請求項６に記載の発明では、プ
ローブ針から酸化アルミニウムなどの異物を除去するの
に適した洗浄液を用いるので、プローブ針から異物を確
実に除去することができる。
【００３１】請求項７におけるプローブ針クリーニング
装置は、無水クロム酸と燐酸とを含む水溶液からなるプ
ローブ針の洗浄液を蓄積する洗浄液槽を備える。
【００３２】このため、請求項７に記載の発明では、こ
の洗浄液を用いて、プローブ針の最先端部の摩耗および
形状の変化がほとんどない状態で、プローブ針に付着し
ている酸化アルミニウムなどの異物をプローブ針から除
去することができる。この結果、プローブ針のクリーニ
ング作業におけるプローブ針の最先端部の摩耗や変形を
防止できる。これにより、プローブ針の寿命を延長する
ことができる。
【００３３】請求項８におけるプローブ針クリーニング
装置は、請求項５〜７のいずれか１項の構成において、
プローブ針から洗浄液を除去するための処理液を蓄積す
る後処理浴槽をさらに備える。
【００３４】請求項９におけるプローブ針クリーニング
装置は、請求項８の構成において、プローブ針を乾燥さ
せる乾燥処理手段をさらに備える。
【００３５】請求項１０におけるプローブ針クリーニン
グ装置は、請求項７〜９のいずれか１項の構成におい
て、無水クロム酸の水に対する含有量が２０グラム／リ
ットルであり、燐酸の水に対する含有量が３６ミリリッ
トル／リットルである。
【００３６】このため、請求項１０に記載の発明では、
プローブ針から酸化アルミニウムなどの異物を除去する
のにより適した洗浄液を用いるので、プローブ針から酸
化アルミニウムなどの異物をより確実に除去することが
できる。
【００３７】請求項１１におけるプローブ針クリーニン
グ装置は、請求項７〜１０のいずれか１項の構成におい
て、洗浄液もしくは処理液を振動させるための振動発生
手段をさらに備える。
【００３８】このように、請求項１１に記載の発明で
は、洗浄液もしくは処理液を振動させるための振動発生
手段を備えるので、プローブ針の一部を洗浄液に浸漬し
た状態で、洗浄液を振動させることができる。このた
め、洗浄液がプローブ針の表面と異物との境界部により
確実に浸透し、プローブ針からの異物の除去をより促進
することができる。同時に、この物理的な振動により、
プローブ針の表面から異物をより確実に除去することが
できる。また、プローブ針の一部を処理液に浸漬した状
態で処理液を振動させる場合には、プローブ針から洗浄
液をより確実に除去することができる。
【００３９】請求項１２におけるプローブ針クリーニン
グ装置は、請求項５〜１１のいずれか１項の構成におい
て、洗浄液の温度を制御する温度制御手段をさらに備え
る。
【００４０】このため、請求項１２に記載の発明では、
洗浄液の温度をプローブ針から異物を除去するのに適し
た温度に保つよう制御することができる。その結果、プ
ローブ針からより確実に異物を除去することが可能とな
る。
【００４１】請求項１３におけるプローブ針クリーニン
グ装置は、請求項５〜１２のいずれか１項の構成におい
て、プローブ針と洗浄浴槽における洗浄液の液面との距
離を測定する距離測定手段と、プローブ針と洗浄液の液
面との少なくとも一方の位置を制御する位置調節手段
と、測定された距離の情報に基づいて位置調節手段を制
御する制御手段とをさらに備える。
【００４２】このため、請求項１３に記載の発明では、
プローブ針と洗浄液の液面との間の距離を正確に制御す
ることができる。この結果、プローブ針において異物の
除去が必要な先端部を確実に洗浄液に浸漬させることが
できる。これにより、プローブ針から異物をより確実に
除去することが可能となる。
【００４３】請求項１４におけるプローブ針クリーニン
グ装置は、請求項５〜１３のいずれか１項の構成におい
て、洗浄浴槽と後処理浴槽との少なくともいずれか一方
が、洗浄液もしくは処理液におけるプローブ針を浸漬す
る部分の液面の高さを、浸漬する部分以外の液面の高さ
よりも高く保持する手段を備える。
【００４４】このため、請求項１４に記載の発明では、
プローブカードにおけるプローブ針以外の部分と液面と
の距離を、プローブ針と液面との距離より大きくするこ
とができる。この結果、プローブカードのプローブ針以
外の部分に、洗浄液もしくは処理液が付着することを防
止できる。これにより、洗浄液もしくは処理液がプロー
ブカードにおけるプローブ針以外の部分に付着すること
によって、プローブカードに不良が発生するといった問
題の発生を防止できる。
【００４５】請求項１５におけるプローブ針クリーニン
グ方法は、プローブ針の少なくとも一部を、燐酸を含む
水溶液からなるプローブカード用プローブ針の洗浄液に
浸漬する工程と、洗浄液を振動させながら、プローブ針
の少なくとも一部を洗浄液に浸漬した状態で保持する工
程とを備える。
【００４６】このため、請求項１５に記載の発明では、
プローブ針の最先端部の摩耗および形状の変化はほとん
どない状態で、プローブ針に付着している酸化アルミニ
ウムなどの異物をプローブ針から除去することができ
る。この結果、クリーニング作業におけるプローブ針の
最先端部の摩耗や変形を防止できる。これにより、プロ
ーブ針の寿命を延長することができる。
【００４７】また、洗浄液を振動させるので、洗浄液が
プローブ針の表面と異物との境界部により確実に浸透
し、プローブ針からの異物の除去をより促進することが
できる。同時に、この物理的な振動により、プローブ針
の表面から異物をより確実に除去することができる。
【００４８】請求項１６におけるプローブ針クリーニン
グ方法は、請求項１５の構成において、燐酸の水に対す
る含有量が３６ミリリットル／リットルである。
【００４９】このため、請求項１７に記載の発明では、
プローブ針から酸化アルミニウムなどの異物を除去する
のに適した洗浄液を用いるので、プローブ針から異物を
確実に除去することができる。
【００５０】請求項１７におけるプローブ針クリーニン
グ方法は、無水クロム酸と燐酸とを含む水溶液からなる
プローブカード用プローブ針の洗浄液を加熱する工程
と、プローブ針の少なくとも一部を、加熱された洗浄液
に浸漬する工程と、プローブ針の少なくとも一部を、洗
浄液に浸漬した状態で保持する工程とを備える。
【００５１】このため、請求項１７に記載の発明では、
プローブ針の最先端部の摩耗および形状の変化がほとん
どない状態で、プローブ針に付着している酸化アルミニ
ウムなどの異物をプローブ針から除去することができ
る。この結果、クリーニング作業におけるプローブ針の
先端部の摩耗や変形を防止できる。これにより、プロー
ブ針の寿命を延長することができる。
【００５２】請求項１８におけるプローブ針クリーニン
グ方法は、請求項１７の構成において、洗浄液の加熱温
度は９５℃以上であり、プローブ針の少なくとも一部を
洗浄液に浸漬した状態において保持する時間が１０分以
上である。
【００５３】このため、請求項１８に記載の発明では、
プローブ針から酸化アルミニウムなどの異物をより確実
に除去することができる。
【００５４】請求項１９におけるプローブ針クリーニン
グ方法は、請求項１７または１８の構成において、無水
クロム酸の水に対する含有量が２０グラム／リットルで
あり、燐酸の水に対する含有量が３６ミリリットル／リ
ットルである。
【００５５】請求項２０におけるプローブ針クリーニン
グ方法は、請求項１５〜１９のいずれか１項の構成にお
いて、プローブ針と洗浄液の液面との距離を測定する工
程と、測定された距離の情報に基づいて、プローブ針と
洗浄液の液面との少なくともいずれか一方の位置を制御
する工程とをさらに備える。
【００５６】このため、請求項２０に記載の発明では、
プローブ針と洗浄液の液面との間の距離を正確に制御す
ることが可能となる。この結果、プローブ針のクリーニ
ングしようとする部分を確実に洗浄液に浸漬させること
ができる。このため、プローブ針から酸化アルミニウム
などの異物をより確実に除去することができる。
【００５７】請求項２１におけるプローブ針クリーニン
グ方法は、請求項１７〜２０のいずれか１項の構成にお
いて、プローブ針の少なくとも一部を洗浄液に浸漬した
状態で、洗浄液を振動させる工程をさらに備える。
【００５８】このため、請求項２１に記載の発明では、
洗浄液を振動させることによって、洗浄液がプローブ針
の表面と異物との境界部により浸透し、異物の除去を促
進させることができる。また同時に、洗浄液の物理的な
振動により、プローブ針の表面から異物をより確実に除
去することができる。
【００５９】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を図面
に基づいて説明する。
【００６０】（実施の形態１）図１は、本発明の実施の
形態１におるプローブカード用プローブ針のクリーニン
グ作業を行なう前のプローブ針の最先端部に、異物が付
着した状況を示す模式図である。図１を参照して、プロ
ーブ針１１の最先端部１２には、酸化アルミニウムなど
かなる異物１３が付着している。
【００６１】図２〜４は、本発明の実施の形態１による
プローブカード用プローブ針のクリーニング作業の第１
〜３工程を説明するための模式図である。
【００６２】図２を参照して、本発明の実施の形態１に
よるプローブカード用プローブ針のクリーニング作業の
第１工程では、洗浄浴槽２の内部に洗浄液１が保持され
ている。この洗浄液１は、無水クロム酸と燐酸とを含む
水溶液である。この洗浄液における無水クロム酸の水に
対する含有量は２０グラム／リットルであり、燐酸の水
に対する含有量は３６ミリリットル／リットルである。
洗浄浴槽２の底面には、洗浄液１を加熱するための電熱
ヒータ３が設置されている。
【００６３】そして、この洗浄浴槽２の上方に対向する
ようにプローブカードを準備する。このプローブカード
は、基板１６のほぼ中央部に開口部１４が形成されてい
る。この開口部１４の周辺部には、開口部１４の中心に
向けて複数のプローブ針１１が設置されている。このプ
ローブ針１１が基板１６の周辺部に配置された端子（図
示せず）と配線を介して接続されている。また、プロー
ブ針１１は、基板１６に樹脂１５により固定されてい
る。プローブ針１１の最先端部１２には、図１に示した
ように、異物１３が付着している。
【００６４】次に、図２に示すように、この異物１３が
付着したプローブ針１１の最先端部１２を洗浄液１に浸
漬する。このときの洗浄液１の温度は９５℃以上（沸騰
状態）に保たれている。なお、洗浄液１の温度が９５℃
以下でも、異物を除去する効果は得られるが、洗浄液１
の温度を９５℃以上にすることで、より顕著な効果が得
られる。そして、プローブ針１１の最先端部１２を洗浄
液１に浸漬した状態で１０分間保持する。これにより、
プローブ針１１の最先端部１２から異物１３が除去され
る。この図２に示したクリーニング作業の第１工程の
後、プローブ針１１の最先端部１２には洗浄液１が付着
している。そのため、図３に示すように、プローブ針１
１の最先端部１２に付着した洗浄液１をアルコールなど
によって洗い流す。
【００６５】図３は、本発明の実施の形態１によるプロ
ーブカード用プローブ針のクリーニング作業の第２工程
を説明するための模式図である。図３を参照して、後処
理浴槽７の内部にはアルコールなどの処理液８が満たさ
れている。後処理浴槽７の底部には、処理液８を加熱す
るための電熱ヒータ３が設置されている。なお、この電
熱ヒータ３は設置されていなくてもよい。そして、図２
に示した工程と同様に、プローブ針１１の最先端部１２
を処理液８に浸漬させることで、プローブ針１１の最先
端部１２に付着していた洗浄液１（図２参照）を除去す
る。
【００６６】次に、図３に示した工程の後、図４に示す
ように、プローブ針１１の最先端部１２に送風ファン２
１などを用いて空気２２を吹付けることにより、プロー
ブ針１１の最先端部１２に付着したアルコールなどの処
理液８（図３参照）を乾燥させる。
【００６７】このようにして、本発明の実施の形態１に
よるプローブカード用プローブ針のクリーニング作業は
実施される。
【００６８】ここで、図２に示した本発明の実施の形態
１によるプローブカード用プローブ針のクリーニング作
業の第１工程における洗浄液１（図２参照）に対するプ
ローブ針１１（図２参照）の最先端部１２（図２参照）
の浸漬時間を変化させた試験を行なった。その結果を表
１に示す。
【００６９】
【表１】
【００７０】試験条件としては、使用した洗浄液１は上
記したように無水クロム酸と燐酸とを含む水溶液であ
り、この無水クロム酸の水に対する含有量は２０グラム
／リットル、燐酸の水に対する含有量は３６ミリリット
ル／リットルである。また、洗浄液１の温度は９５℃以
上（沸騰状態）である。そして、プローブ針１１の最先
端部１２の洗浄液１に対する浸漬時間を５分、１０分、
２０分と変化させた。そして、このようなクリーニング
作業を実施した後、プローブ針１１の最先端部１２にお
ける異物１３（図２参照）の残存状況をＳＥＭ（Scanni
ng Electron Microscope）およびＥＰＭＡ（Electron P
robe Microanalysis）により確認した。
【００７１】表１からもわかるように、浸漬時間が５分
のサンプルの場合、クリーニング作業後においてもプロ
ーブ針１１の最先端部１２には酸化アルミニウムなどの
異物が残存していたが、浸漬時間１０分および２０分の
試料については、クリーニング作業を実施した後はプロ
ーブ針１１の最先端部１２から異物１３が除去されてい
た。また、従来のように研磨シートなどにプローブ針１
１を突き刺す工程を実施していないので、プローブ針１
１の最先端部１２において摩耗や変形は発生していなか
った。
【００７２】このように、洗浄液１を用いることによ
り、プローブ針１１の最先端部１２の摩耗や形状の変化
などを防止しつつ、プローブ針１１の最先端部１２の表
面に付着した酸化アルミニウムなどの異物１３を除去す
ることができる。これにより、プローブ針の寿命を延長
することが可能となる。
【００７３】また、本発明の実施の形態１によるプロー
ブカード用プローブ針のクリーニング作業では、図５に
示すように、洗浄浴槽２に洗浄液１の温度を測定する温
度センサ４と、この温度センサ４により測定された洗浄
液１の温度に基づいて、電熱ヒータ３のＯＮ／ＯＦＦ制
御を行なう制御手段を有する制御装置５を備えてもよ
い。
【００７４】これにより、洗浄液１の温度を精度よく管
理することが可能となり、プローブ針１１の最先端部１
２から異物１３を除去する際に、洗浄液１の温度を、こ
のクリーニング作業に最適な範囲に保持することができ
る。この結果、プローブ針１１からの異物１３の除去を
より促進することができる。
【００７５】また、本発明の実施の形態１によるプロー
ブカード用プローブ針のクリーニング作業においては、
図６に示すように、洗浄浴槽２に超音波発生装置６を設
置してもよい。図６は、本発明の実施の形態１によるプ
ローブカード用プローブ針のクリーニング作業において
用いられる洗浄浴槽２の第２の変形例を示した模式図で
ある。
【００７６】図６を参照して、本発明の実施の形態２に
よるプローブカード用プローブ針のクリーニング作業に
おいて用いられる洗浄浴槽２の側面には、超音波発生装
置６が設置されている。このため、プローブ針１１の最
先端部１２を洗浄液１に浸漬し、異物１３を除去する際
に、この超音波発生装置６により洗浄液１を振動させる
ことにより、プローブ針１１表面と異物１３との境界部
に洗浄液をより浸透させることができる。これにより、
異物１３を除去することをより促進することができる。
同時に、この超音波による物理的な振動により、プロー
ブ針１１の最先端部１２表面から異物１３をより確実に
除去することができる。
【００７７】（実施の形態２）図７は、本発明の実施の
形態２によるプローブカード用プローブ針のクリーニン
グ装置を説明するための模式図である。図７を参照し
て、本発明の実施の形態２によるプローブカード用プロ
ーブ針のクリーニング装置は、クリーニング装置全体の
台座２４と、超音波発生装置１０と、固定台座２３と、
洗浄浴槽２と、後処理浴槽７と、乾燥処理槽９とを備え
る。洗浄浴槽２の底部には電熱ヒータ３が設置されてい
る。また、この洗浄浴槽２は、図５に示したように温度
センサ４と温度制御装置５とを備えてもよい。そして、
洗浄浴槽２は実施の形態１で用いた洗浄液と同様の組成
である洗浄液１により満たされている。後処理浴槽７は
アルコールなどの処理液８により満たされている。乾燥
処理槽９の側面にはプローブ針の表面を乾燥させるため
の送風ファン２１が設置されている。そして、異物が付
着したプローブ針を洗浄浴槽２の洗浄液１、後処理浴槽
７のアルコールなどの処理液８に順次浸漬させることが
できる。
【００７８】これにより、プローブ針の最先端部の摩耗
および形状の変化がほとんどない状態で、プローブ針か
ら異物を除去することができる。この結果、プローブ針
の最先端部の変形や摩耗を防止でき、プローブ針の寿命
を延長することができる。
【００７９】その後、乾燥処理槽９においてプローブ針
に送風ファン２１により空気を吹付けることにより、プ
ローブ針の表面を乾燥させることができる。また、洗浄
液１および処理液８にプローブ針を浸漬させた状態で、
振動発生装置１０により、洗浄液１および処理液８に振
動を与えることにより、プローブ針からの異物除去をよ
り促進させることができる。また、電熱ヒータ３によ
り、洗浄液１を加熱することができる。
【００８０】図８は、本発明の実施の形態２によるプロ
ーブカード用プローブ針のクリーニング装置の第１の変
形例を示した模式図である。図８を参照して、本発明の
実施の形態２によるプローブカード用プローブ針のクリ
ーニング装置の第１の変形例は、基本的には図７に示し
たプローブカード用プローブ針のクリーニング装置と同
様の構造を備える。ただし、この第１の変形例では、洗
浄浴槽２、後処理浴槽７および乾燥処理槽９の上に位置
する領域に、プローブカード保持部材１９と保持部材ガ
イド部２０とが設置されている。プローブカード保持部
材１９は、ベース部１８と上下動作が可能な昇降部１７
とからなる。また、プローブカード保持部材１９は、保
持部材ガイド部２０に沿って水平方向移動が可能であ
る。プローブカード保持部材１９の昇降部１７には、ク
リーニング作業の対象であるプローブ針１１を有するプ
ローブカードが保持されている。
【００８１】このプローブカードは、基板１６のほぼ中
央部に開口部１４が形成されている。この開口部１４の
周辺部には、開口部１４の中心に向けて複数のプローブ
針１１が設置されている。そして、このプローブ針１１
は基板１６の周辺部に配置された端子（図示せず）と配
線を介して接続されている。そして、プローブ針１１は
固定用の樹脂１５により基板１６に固定されている。プ
ローブ針１１の最先端部１２表面には異物１３が付着し
ている。
【００８２】図９〜１１は、図８に示した本発明の実施
の形態２によるプローブカード用プローブ針のクリーニ
ング装置の変形例によるプローブ針のクリーニング作業
を示した模式図である。以下、図９〜１１を参照して、
本発明の実施の形態２によるプローブカード用プローブ
針のクリーニング装置の変形例を用いたプローブ針のク
リーニング作業を説明する。
【００８３】図９に示すように、まず、洗浄浴槽２の上
に位置するように、プローブカード保持部材１９を保持
部材ガイド部２０に沿って移動させる。その後、プロー
ブカードを保持した昇降部１７を下降させることによ
り、プローブ針１１の最先端部１２が洗浄液１に浸漬さ
れる。そして、この状態で約１０分間保持される。この
際、洗浄液１は９５℃以上（沸騰状態）に保たれ、さら
に、振動発生装置１０により洗浄液１には振動が与えら
れる。このように、洗浄液１を用いてプローブ針１１の
最先端部１２から異物１３を除去するので、従来の研磨
シートを用いた場合のようにプローブ針１１の最先端部
１２が変形したり研磨されたりするという問題の発生を
防止できる。
【００８４】次に、洗浄作業が終了し、昇降部１７が上
昇した後、プローブカード保持部材１９が保持部材ガイ
ド部２０に沿って水平方向に移動し、後処理浴槽７の上
に位置する領域に到達する。そして、図１０に示すよう
に、昇降部１７が下降することにより、洗浄液１が付着
したプローブ針１１の最先端部１２が、アルコールなど
の処理液８に浸漬される。この際、振動発生装置１０に
より処理液８に振動を与えてもよい。このようにして、
プローブ針１１の最先端部１２から洗浄液１を洗い流
す。
【００８５】次に、昇降部１７が上昇した後、プローブ
カード保持部材１９は保持部材ガイド部２０に沿って水
平方向に移動し、乾燥処理槽９の上に位置する領域に到
達する。そして、図１１に示すように、昇降部１７が下
降することにより、プローブ針１１の最先端部１２を乾
燥処理槽９の内部に位置させる。そして、乾燥処理槽９
の内部において、送風ファン２１を用いてプローブ針１
１の最先端部１２に空気を吹付けることにより、プロー
ブ針１１の最先端部１２に付着していたアルコールなど
の処理液８を除去する。
【００８６】図１２は、本発明の実施の形態２によるプ
ローブカード用プローブ針のクリーニング装置の第２の
変形例の部分拡大図である。図１２を参照して、本発明
の実施の形態２によるプローブカード用プローブ針のク
リーニング装置の第２の変形例は、基本的には図８に示
した第１の変形例と同様の構造を備える。しかし、この
第２の変形例においては、プローブカードの基板１６表
面に設置された距離センサ２５と、この距離センサ２５
の出力データに基づいてプローブカード保持部材１９の
昇降部１７の動作を制御する制御手段を有する制御部材
２６とを備える。このように、距離センサ２５を備えて
いるので、本発明の実施の形態２によるプローブカード
用プローブ針のクリーニング装置の第２の変形例では、
プローブカードの基板１６と処理液１の液面との間の距
離Ｌ１を測定することができる。そして、プローブカー
ドの基板１６の表面からプローブ針１１の最先端部１２
までの距離Ｌ２は既知であるので、プローブ針１１の最
先端部１２と洗浄液１の液面との間の距離Ｌ３を知るこ
とができる。そして、これらの情報に基づいて昇降部１
７の動作を制御することにより、プローブ針１１の最先
端部１２が確実に洗浄液１に浸漬されるようにすること
が可能となる。
【００８７】このため、プローブ針１１の最先端部１２
からより確実に異物を除去することができる。また、昇
降部１７が下降しすぎることを防止できるので、プロー
ブカードの基板１６やプローブ針１１の固定用樹脂１５
などに洗浄液１が付着することも防止できる。
【００８８】図１３は、本発明の実施の形態２によるプ
ローブカード用プローブ針のクリーニング装置における
洗浄浴槽２の変形例を示した模式図である。図１３を参
照して、本発明の実施の形態２によるプローブカード用
プローブ針のクリーニング装置における洗浄浴槽２の変
形例は、その内部に内壁２７と、内壁２７に囲まれた内
部に洗浄液１を送り込む送液部材２８とを備える。この
送液部材２８は、図１３のようにプロペラ状の部材を備
えていてもよいし、他の液体用ポンプなどを用いてもよ
い。
【００８９】このように構成することにより、図１３に
示した洗浄浴槽２の変形例では、内壁２７の下部から送
液部材２８によって内壁２７により囲まれた領域に取込
まれた洗浄液１が、内壁２７の上部からオーバーフロー
する。これにより、内壁２７に囲まれた領域における洗
浄液１の液面２９の位置を、内壁２７に囲まれた領域以
外の領域における洗浄液１の液面３０の位置よりも高く
保つことができる。そのため、内壁２７に囲まれた領域
にプローブ針１１の最先端部１２を浸漬するようにプロ
ーブカードを配置することで、プローブ針１１の最先端
部１２近傍における基板１６と洗浄液１の液面２９との
間の距離よりも、プローブ針１１の最先端部１２近傍以
外の領域におけるプローブカードの基板１６と処理液１
の液面３０との間の距離を大きくすることができる。こ
の結果、洗浄液１がプローブカードの基板１６やプロー
ブ針の固定用樹脂１５などに付着することを防止でき
る。このため、プローブカードが洗浄液１の付着によっ
て損傷を受けることを防止できる。
【００９０】また、内壁２７の内側においては、洗浄液
１が常時流動している。このため、浸漬されたプローブ
針１１の最先端部１２には、常時新しい洗浄液１が接触
することになる。この結果、より有効にプローブ針１１
の最先端部１２から異物を除去することができる。
【００９１】（実施の形態３）図１４は、本発明の実施
の形態３によるプローブカード用プローブ針のクリーニ
ング作業の第１工程を説明するための模式図である。図
１４を参照して、本発明の実施の形態３によるプローブ
カード用プローブ針のクリーニング作業の第１工程で
は、洗浄浴槽２の内部に洗浄液３１が保持されている。
この洗浄液３１は、燐酸を含む水溶液である。燐酸の水
に対する含有量は３６ミリリットル／リットルである。
洗浄浴槽２の側面には、洗浄液３１に振動を与える超音
波発生装置６が設置されている。そして、この洗浄浴槽
２の上方に対向するようにプローブカードを準備する。
このプローブカードは、図２に示したプローブカードと
同様の構造を備える。そして、このプローブカードのプ
ローブ針１１の最先端部１２には、異物１３が付着して
いる。
【００９２】そして、この異物１３が付着したプローブ
針１１の最先端部１２を、図１４に示すように、洗浄液
３１に浸漬する。このときの洗浄液３１の温度は常温で
ある。そして、プローブ針１１の最先端部１２を洗浄液
３１に浸漬した状態で、１０分間保持する。このよう
に、プローブ針１１の最先端部１２を洗浄液３１に浸漬
している際、超音波発生装置６により洗浄液３１に振動
を与える。これにより、プローブ針１１表面と異物１３
との境界部に洗浄液３１をより浸透させることができ
る。
【００９３】このように、洗浄液３１を用いることによ
り、プローブ針１１の最先端部１２において摩耗や形状
の変化などが発生することを防止しつつ、プローブ針１
１の最先端部１２の表面に付着した酸化アルミニウムな
どの異物１３を除去することができる。また、超音波発
生装置６により振動を与えることによって、異物１３の
除去を促進すると同時に、この超音波による物理的な振
動により、プローブ針１１の最先端部１２の表面から異
物をより確実に除去することができる。
【００９４】図１４に示した工程の後、図３および４に
示した本発明の実施の形態１によるプローブカード用プ
ローブ針のクリーニング作業の第２および第３工程を実
施する。
【００９５】このようにして、本発明の実施の形態３に
よるプローブカード用プローブ針のクリーニング作業が
実施される。
【００９６】ここで、図１４に示した本発明の実施の形
態３によるプローブカード用プローブ針のクリーニング
作業の第１工程において、洗浄液３１に対するプローブ
針１１の最先端部１２の浸漬時間を変化させた試験を行
なった。その結果を表２に示す。
【００９７】
【表２】
【００９８】試験条件としては、使用した洗浄液３１は
上記のように燐酸を含む水溶液である。燐酸の水に対す
る含有量は３６ミリリットル／リットルである。また、
洗浄液３１は常温である。そして、プローブ針１１の最
先端部１２の洗浄液３１に対する浸漬時間を５分、１０
分、２０分と変化させた。このようにクリーニング作業
を実施した後、プローブ針１１の最先端部１２における
異物１３（図１４参照）の残存状況を、本発明の実施の
形態１における試験と同様にＳＥＭおよびＥＰＭＡによ
り確認した。
【００９９】この結果、表２からもわかるように、浸漬
時間が５分のサンプルの場合、クリーニング作業後にお
いてもプローブ針１１の最先端部１２には酸化アルミニ
ウムなどの異物の残存が見られたが、浸漬時間１０分お
よび２０分の試料については、クリーニング作業を実施
した後はプローブ針１１の最先端部１２から異物１３が
除去されていた。
【０１００】また、従来のように研磨シートなどにプロ
ーブ針１１を突き刺す工程を実施していないので、プロ
ーブ針１１の最先端部１２において摩耗や変形は発生し
ていなかった。
【０１０１】（実施の形態４）図１５は、本発明の実施
の形態４によるプローブカード用プローブ針のクリーニ
ング装置を説明するための模式図である。図１５を参照
して、本発明の実施の形態４によるプローブカード用プ
ローブ針のクリーニング装置は、基本的には図７に示し
た本発明の実施の形態２によるプローブカード用プロー
ブ針のクリーニング装置と同様の構造を備える。ただ
し、この図１５に示した本発明の実施の形態４によるク
リーニング装置では、洗浄浴槽２が本発明の実施の形態
３で用いた洗浄液と同様の組成である洗浄液３１により
満たされている。また、この燐酸を含む水溶液からなる
洗浄液３１は、常温で超音波発生装置などによる振動を
与えながらプローブ針の最先端部から異物を除去するこ
とができるので、洗浄浴槽２には電熱ヒータなどの部材
は設置しなくてもよい。これにより、クリーニング装置
の構造を簡略化することができる。
【０１０２】このように構成することで、図７に示した
本発明の実施の形態２によるプローブカード用プローブ
針のクリーニング装置と同様に、異物が付着したプロー
ブ針を洗浄浴槽２の洗浄液３１、後処理浴槽７のアルコ
ールなどの処理液８に順次浸漬させることができる。こ
れにより、プローブ針の最先端部の摩耗および形状の変
化がほとんどない状態で、プローブ針から異物を除去す
ることができる。この結果、プローブ針の最先端部の変
形や摩耗を防止でき、プローブ針の寿命を延長すること
ができる。その後、乾燥処理槽９において、プローブ針
に送風ファン２１により空気を吹付けることにより、プ
ローブ針の表面を乾燥させることができる。
【０１０３】また、図８〜１３に示した本発明の実施の
形態２の変形例を、この本発明の実施の形態４によるプ
ローブカード用プローブ針のクリーニング装置に適用し
ても、同様の効果を得ることができる。
【０１０４】今回開示された実施の形態はすべての点で
例示であって制限的なものではないと考えられるべきで
ある。本発明の範囲は上記した説明ではなくて特許請求
の範囲によって示され、特許請求の範囲と均等の意味お
よび範囲内でのすべての変更が含まれることが意図され
る。
【０１０５】
【発明の効果】以上のように、請求項１〜２１に記載の
発明によれば、燐酸を含む水溶液あるいは無水クロム酸
と燐酸とを含む水溶液からなる洗浄液によって、プロー
ブカード用プローブ針の最先端部から酸化アルミニウム
などの異物を除去することができる。この結果、プロー
ブ針の最先端部の摩耗および形状の変化が少なく、プロ
ーブ針の寿命を延長することが可能な、プローブカード
用プローブ針のクリーニング方法およびクリーニング装
置とそれに用いる洗浄液を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】 プローブ針の最先端部に異物が付着した状況
を示す模式図である。
【図２】 本発明の実施の形態１によるプローブカード
用プローブ針のクリーニング作業の第１工程を示した模
式図である。
【図３】 本発明の実施の形態１によるプローブカード
用プローブ針のクリーニング作業の第２工程を説明する
ための模式図である。
【図４】 本発明の実施の形態１によるプローブカード
用プローブ針のクリーニング作業の第３工程を説明する
ための模式図である。
【図５】 図２に示した本発明の実施の形態１によるプ
ローブカード用プローブ針のクリーニング作業の第１工
程において用いる洗浄浴槽の第１の変形例を示した模式
図である。
【図６】 図２に示した本発明の実施の形態１によるプ
ローブカード用プローブ針のクリーニング作業の第１工
程において用いる洗浄浴槽の第２の変形例を示した模式
図である。
【図７】 本発明の実施の形態２によるプローブカード
用プローブ針のクリーニング装置の模式図である。
【図８】 図７に示した本発明の実施の形態２によるプ
ローブカード用プローブ針のクリーニング装置の第１の
変形例を示した模式図である。
【図９】 図８に示した本発明の実施の形態２によるプ
ローブカード用プローブ針のクリーニング装置の第１の
変形例を用いたプローブ針のクリーニング作業の第１工
程を示す模式図である。
【図１０】 図８に示した本発明の実施の形態２による
プローブカード用プローブ針のクリーニング装置の第１
の変形例を用いたプローブ針のクリーニング作業の第２
工程を示す模式図である。
【図１１】 図８に示した本発明の実施の形態２による
プローブカード用プローブ針のクリーニング装置の第１
の変形例を用いたプローブ針のクリーニング作業の第３
工程を示す模式図である。
【図１２】 図７に示した本発明の実施の形態２による
プローブカード用プローブ針のクリーニング装置の第２
の変形例を示した部分拡大図である。
【図１３】 図７に示した本発明の実施の形態２による
プローブカード用プローブ針のクリーニング装置の洗浄
浴槽の変形例を示した模式図である。
【図１４】 本発明の実施の形態３によるプローブカー
ド用プローブ針のクリーニング作業を示した模式図であ
る。
【図１５】 本発明の実施の形態４によるプローブカー
ド用プローブ針のクリーニング装置の模式図である。
【図１６】 従来のプローブカードを説明するための断
面図である。
【図１７】 従来のプローブ針を説明するための模式図
である。
【図１８】 半導体装置の電気的特性の検査を行なう際
の、プローブ針と半導体装置の電極との接触工程の第１
工程を説明するための模式図である。
【図１９】 半導体装置の電気的特性の検査を行なう際
の、プローブ針と半導体装置の電極との接触工程の第２
工程を説明するための模式図である。
【図２０】 プローブ針の最先端部に異物が付着した状
況を示した模式図である。
【図２１】 従来のプローブカード用プローブ針の研磨
シートの断面を示した模式図である。
【図２２】 図２１に示した従来の研磨シートを用いて
プローブカード用プローブ針のクリーニング作業を示し
た工程図である。
【図２３】 図２２に示した従来のプローブカード用プ
ローブ針のクリーニング作業における、ステップ２の工
程を説明するための模式図である。
【図２４】 図２２に示した従来のプローブカード用プ
ローブ針のクリーニング作業における、ステップ２の工
程が終了した段階のプローブ針の状況を示した模式図で
ある。
【図２５】 図２２に示した従来のプローブカード用プ
ローブ針のクリーニング作業における、ステップ３の工
程を示した模式図である。
【図２６】 図２２に示した従来のプローブカード用プ
ローブ針のクリーニング作業における、ステップ３の工
程が終了した段階のプローブ針の状況を示した模式図で
ある。
【符号の説明】
１，３１ 洗浄液、２ 洗浄浴槽、３ 電熱ヒータ、４
温度センサ、５ 制御装置、６，３２ 超音波発生装
置、７ 後処理浴槽、８ 処理液、９ 乾燥処理槽、１
０ 振動発生装置、１１ プローブ針、１２ プローブ
針の最先端部、１３ 異物、１４ 開口部、１５ 樹
脂、１６ 基板、１７ 昇降部、１８ ベース部、１９
プローブカード保持部材、２０ 保持部材ガイド部、
２１ 送風ファン、２２ 空気、２４ 台座、２５ 距
離センサ、２６ 制御部材、２７内壁、２８ 送液部
材、２９ プローブ針浸漬部の洗浄液液面、３０ 周辺
部の洗浄液液面。

Claims (21)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 燐酸を含む水溶液からなるプローブカー
    ド用プローブ針の洗浄液。
  2. 【請求項２】 前記燐酸の水に対する含有量は３６ミリ
    リットル／リットルである、請求項１に記載のプローブ
    針の洗浄液。
  3. 【請求項３】 前記水溶液は無水クロム酸をさらに含
    む、請求項１または２に記載のプローブ針の洗浄液。
  4. 【請求項４】 前記無水クロム酸の水に対する含有量は
    ２０グラム／リットルである、請求項１〜３のいずれか
    １項に記載のプローブ針の洗浄液。
  5. 【請求項５】 燐酸を含む水溶液からなるプローブ針の
    洗浄液を蓄積する洗浄浴槽と、 前記洗浄液を振動させるための振動発生部材とを備え
    る、プローブ針クリーニング装置。
  6. 【請求項６】 前記燐酸の水に対する含有量は３６ミリ
    リットル／リットルである、請求項５に記載のプローブ
    針クリーニング装置。
  7. 【請求項７】 無水クロム酸と燐酸とを含む水溶液から
    なるプローブ針の洗浄液を蓄積する洗浄液槽を備える、
    プローブ針クリーニング装置。
  8. 【請求項８】 前記プローブ針から前記洗浄液を除去す
    るための処理液を蓄積する後処理浴槽をさらに備える、
    請求項５〜７のいずれか１項に記載のプローブ針クリー
    ニング装置。
  9. 【請求項９】 前記プローブ針を乾燥させる乾燥処理手
    段をさらに備える、請求項８に記載のプローブ針クリー
    ニング装置。
  10. 【請求項１０】 前記無水クロム酸の水に対する含有量
    は２０グラム／リットルであり、 前記燐酸の水に対する含有量は３６ミリリットル／リッ
    トルである、請求項７〜９のいずれか１項に記載のプロ
    ーブ針クリーニング装置。
  11. 【請求項１１】 前記洗浄液もしくは前記処理液を振動
    させるための振動発生手段をさらに備える、請求項７〜
    １０のいずれか１項に記載のプローブ針クリーニング装
    置。
  12. 【請求項１２】 前記洗浄液の温度を制御する温度制御
    手段をさらに備える、請求項５〜１１のいずれか１項に
    記載のプローブ針クリーニング装置。
  13. 【請求項１３】 前記プローブ針と前記洗浄浴槽におけ
    る前記洗浄液の液面との距離を測定する距離測定手段
    と、 前記プローブ針と前記洗浄液の液面との少なくとも一方
    の位置を制御する位置調節手段と、 前記測定された距離の情報に基づいて前記位置調節手段
    を制御する制御手段とをさらに備える、請求項５〜１２
    のいずれか１項に記載のプローブ針クリーニング装置。
  14. 【請求項１４】 前記洗浄浴槽と前記後処理浴槽との少
    なくともいずれか一方が、前記洗浄液もしくは前記処理
    液における前記プローブ針を浸漬する部分の液面の高さ
    を、前記浸漬する部分以外の液面の高さよりも高く保持
    する手段を備える、請求項５〜１３のいずれか１項に記
    載のプローブ針クリーニング装置。
  15. 【請求項１５】 プローブ針の少なくとも一部を、燐酸
    を含む水溶液からなるプローブカード用プローブ針の洗
    浄液に浸漬する工程と、 前記洗浄液を振動させながら、前記プローブ針の少なく
    とも一部を前記洗浄液に浸漬した状態で保持する工程と
    を備える、プローブ針クリーニング方法。
  16. 【請求項１６】 前記燐酸の水に対する含有量は３６ミ
    リリットル／リットルである、請求項１５に記載のプロ
    ーブ針クリーニング方法。
  17. 【請求項１７】 無水クロム酸と燐酸とを含む水溶液か
    らなるプローブカード用プローブ針の洗浄液を加熱する
    工程と、 プローブ針の少なくとも一部を、加熱された前記洗浄液
    に浸漬する工程と、 前記プローブ針の少なくとも一部を、前記洗浄液に浸漬
    した状態で保持する工程とを備える、プローブ針クリー
    ニング方法。
  18. 【請求項１８】 前記プローブ針の洗浄液の加熱温度は
    ９５℃以上であり、 前記プローブ針の少なくとも一部を前記洗浄液に浸漬し
    た状態において保持する時間が１０分以上である、請求
    項１７に記載のプローブ針クリーニング方法。
  19. 【請求項１９】 前記無水クロム酸の水に対する含有量
    は、２０グラム／リットルであり、 前記燐酸の水に対する含有量は３６ミリリットル／リッ
    トルである、請求項１７または１８に記載のプローブ針
    クリーニング方法。
  20. 【請求項２０】 前記プローブ針と前記洗浄液の液面と
    の距離を測定する工程と、 前記測定された距離の情報に基づいて、前記プローブ針
    と前記洗浄液の液面との少なくともいずれか一方の位置
    を制御する工程とをさらに備える、請求項１５〜１９の
    いずれか１項に記載のプローブ針クリーニング方法。
  21. 【請求項２１】 前記プローブ針の少なくとも一部を前
    記洗浄液に浸漬した状態で、前記洗浄液を振動させる工
    程をさらに備える、請求項１７〜２０のいずれか１項に
    記載のプローブ針クリーニング方法。
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