JPH11236632A

JPH11236632A - セリウムの回収方法

Info

Publication number: JPH11236632A
Application number: JP10041614A
Authority: JP
Inventors: Hiroshi Kobu; 弘古布; Tsutomu Kiyohara; 力清原; Ichiro Kamioka; 一郎神岡
Original assignee: Mitsubishi Chemical Corp
Current assignee: Mitsubishi Chemical Corp
Priority date: 1998-02-24
Filing date: 1998-02-24
Publication date: 1999-08-31
Anticipated expiration: 2018-02-24
Also published as: JP3747616B2

Abstract

(57)【要約】【目的】クロムエッチングに使用された硝酸アンモニ
ウムセリウム（IV）を含むクロムエッチング廃液から溶
解したクロムを除去し、セリウムを経済的に回収する方
法を提供する。【構成】クロムエッチング廃液中のセリウムとクロム
を還元し、３価セリウムと３価クロムが含まれる溶液に
変え、更にｐＨを上げ、クロムの水酸化物を沈殿除去
し、セリウムの溶液を回収するセリウムの回収方法、回
収したセリウム溶液のｐＨを上げるとともに酸化剤を供
給し、セリウム及び微量に残留しているクロムを酸化
し、かつ、セリウムを水酸化物にして沈殿させ、クロム
を６価クロムにして溶解除去するセリウムの回収方法、
及び、回収したセリウムを用いたエッチング液。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明はクロムエッチング等
に使用されたクロムエッチング溶液からのセリウムの回
収方法に関し、より詳細には硝酸アンモニウムセリウム
（IV）と酸とにより構成されるクロムエッチング液の溶
液で、セリウムとクロムを含む溶液からのセリウムの回
収方法に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】半導体や液晶ディスプレイ製造時には金
属薄膜のエッチングが必要となる。中でもクロムエッチ
ングにはセリウムの化合物が用いられる為、使用された
後の廃液には４価のセリウムと６価のクロムが溶解して
いる。共に強酸化性の物質で有害であるため廃液中から
これらの物質を除去する必要がある。その処理には従来
より、特開昭52-68860号公報のようにクロム，セリウム
を含有する硝酸アンモニウムセリウム（IV）廃液に亜硫
酸水素ナトリウムを加え、クロムを還元し、次いで水酸
化カルシウムを加え、該廃液中のクロムをセリウム水酸
化物と共沈させて除去する方法が広く行われたきた。ま
た特開平9-85264 号公報のように４価セリウム及び６価
クロムを還元した後、吸着剤に吸着させ除去する方法も
考案されている。しかし、いずれにせよ、これらの方法
では高価なセリウムを大量に廃棄してしまうことにな
る。

【０００３】またセリウムの精製方法として特開昭62-1
91422 号公報のように３価のセリウムを酸化剤で４価に
し、セリウム４価と他の物質との性質の違いにより分離
精製する方法が提案されているが、この方法ではクロム
エッチング廃液のように不純物としてクロムが混入して
いるものに対してはセリウムとクロムが共沈してしまう
為、セリウムからクロムを分離除去することができなか
った。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】本発明は、上記の様
に、セリウムとクロムを含有する廃液の処理時に、高価
なセリウムを大量に廃棄しなくてはならないような現状
の廃液処理方法の改良方法であって、高価なセリウムを
回収でき、廃棄物を減らし環境に対して負荷の小さい、
セリウム及びクロム含有廃液の処理方法を提供すること
を目的とする。

【０００５】

【課題を解決するための手段】本発明者らは上記課題を
解決すべく鋭意検討を重ねた。その結果、セリウムとク
ロムとの分離を難しくしているのは４価セリウムとクロ
ムとの共沈であることがわかり、本発明では、少なくと
もセリウムとクロムを含有する溶液に還元剤を供給する
ことにより、含まれる４価セリウム及び６価クロムをそ
れぞれ３価セリウム及び３価クロムに還元し、４価セリ
ウムとクロムの共沈を防止し、次いでクロムを分離除去
することにより、セリウムを回収する方法を見いだし
た。このクロムを分離する方法としては、ｐＨを上昇さ
せ３価クロムを水酸化クロムとして沈殿除去する方法が
有効であった。

【０００６】即ち本発明の要旨は、セリウム及びクロム
を含有する溶液に還元剤を供給し、該溶液中の４価セリ
ウム及び６価クロムをそれぞれ３価セリウム及び３価ク
ロムに還元し、次いでクロムを含む沈殿物を分離するこ
とにより、セリウムを回収することを特徴とするセリウ
ムの回収方法に存する。なお、上記でクロムを分離後の
３価セリウム溶液に、酸化剤及びアルカリを供給し、液
性をアルカリ性にして３価セリウムを４価セリウムにし
た後、セリウムを回収すること、上記でクロムを分離
後、該分離したクロムを、アルカリ溶液に供給し液性を
アルカリ性にして酸化剤を共存させ、３価セリウムを４
価セリウムにした後、セリウムを回収すること、上記で
回収されたセリウムを硝酸アンモニウムセリウム（IV）
として回収すること、及び、上記の方法で回収されたセ
リウムを使用したエッチング液も、本発明の要旨として
含まれる。

【０００７】

【発明の実施の形態】本発明で用いられるセリウム及び
クロムを含有する溶液とは、少なくともセリウム及びク
ロムを含有すればいずれの溶液も用いることができる
が、特に本発明においては、半導体や液晶ディスプレイ
製造時の金属薄膜のエッチング、主としてクロムのエッ
チングに使用された、硝酸アンモニウムセリウム（IV）
を含むクロムエッチング廃液が、好適に用いられる。

【０００８】特開昭52-68860号公報による処理方法で
も、還元剤を供給して３価クロムに還元しているが、現
在還元剤として使用されている亜硫酸水素ナトリウムの
ような物質は系を汚し、セリウムの回収を実質上できな
くしている。本発明においては系を汚染しない、もしく
は回収するセリウムに影響を与えない還元剤であればい
ずれも使用可能であるが、特に特開昭62-191422 号公報
のようにセリウムの製造方法では一般的に３価セリウム
の酸化剤として使用されている過酸化水素が、溶液ｐＨ
によってはセリウムの還元剤として好適に使用可能であ
ることがわかった。以下、過酸化水素を例に本発明を説
明するが、本発明はこれに限定されるものではない。過
酸化水素はｐＨが低い範囲では４価セリウムに対し還元
剤として働く。反応速度の面から言えば、この還元反応
は好ましくはｐＨ０．６以下の範囲で、更に好ましくは
ｐＨ０以下で行うと良い。更に本発明においては、過酸
化水素はｐＨが低い範囲では６価クロムに対しても還元
剤として働くことが見出された。６価クロムを還元でき
る範囲はセリウムを還元できる範囲より更に低いが、ｐ
Ｈ１以下、好ましくはｐＨ０．５以下、更に好ましくは
ｐＨ０以下で行うと良い。

【０００９】ここでセリウム及びクロムを含有する溶液
のｐＨが高い場合は、過酸化水素がセリウム及びクロム
に対し還元剤として働かない為、該溶液に酸を供給して
ｐＨを下げる前処理をしてから過酸化水素を供給する必
要がある。この時のｐＨは１以下、好ましくは０．５以
下、更に好ましくは０以下で行うのが良い。即ち、本発
明においては、セリウム及びクロムを含有する溶液が、
過酸化水素により４価セリウム及び６価クロムを還元で
きるｐＨを有することが必要である。

【００１０】この時必要な過酸化水素の量は還元時に過
酸化水素の分解も起こる為、セリウム及びクロムを還元
する当量以上の量となる。しかし過酸化水素を該溶液中
に残すと後の工程でｐＨを上昇させた時に過酸化水素が
逆に酸化剤として働き、セリウムが４価に酸化され、セ
リウムの回収率が落ちる。その為、過酸化水素はセリウ
ム及びクロムを還元させるに必要十分な量で、それ以上
の過酸化水素は入れない方が良い。供給する過酸化水素
が処理液中に含まれるセリウムとクロムを還元させる分
量以上入った場合には、過酸化水素で還元される物質を
供給して過酸化水素を分解除去する必要がある。これに
は４価セリウムを含む物質を供給するのが良い。その方
法の一つとしてはセリウム及びクロムを含有する溶液自
体を再度供給する方法もあるし、新たに硝酸アンモニウ
ムセリウム（IV）を含む溶液を供給する方法もある。ま
た過酸化水素により酸化される物質を入れても過酸化水
素を分解除去することが可能である。

【００１１】過酸化水素を除去する他の方法として、過
酸化水素を自己分解して除去する方法がある。過酸化水
素は自己分解することにより酸素と水になり、除去する
ことが可能であるし、分解物はセリウムの回収に対し、
なんら問題を起こさないからである。このように過酸化
水素の除去方法にはいくつかの方法があるが、ここで挙
げた方法に限定されるものではない。また過酸化水素の
自己分解速度は常温ではかなり遅い。そこで過酸化水素
の自己分解を促進させることにより、早く水酸化セリウ
ムを回収することができる。自己分解を促進させる方法
として加熱，赤外線照射，紫外光照射が有効であった
が、自己分解を促進させる方法としてこれだけに限定さ
れるものではない。

【００１２】このように還元剤の量は液を還元させるに
過不足無い量を供給するのが良い。この為には、該処理
液の液性を電気化学的手法もしくは分光学的手法を用い
て測定しながら供給を行えば良い。電気化学的手法とし
ては酸化還元電位、分光学的手法としては４価セリウム
又は６価クロムの吸収の低下、３価クロムの吸収の増加
を見て酸化還元の状態を知ることができる。しかし該処
理液の液性をみる方法としてこれらの方法に限定される
ものではない。

【００１３】本発明においては上記のようにしてセリウ
ムとクロムを還元した処理液から、クロムを含む沈殿物
質として除去する点に特徴を有する。この時、好適な例
としては、処理液にアルカリを供給してクロムを沈殿除
去する方法が挙げられる。この時使用するアルカリはｐ
Ｈを上昇させるだけであるからアルカリであれば、いず
れでも良く、供給する形態も、固体でも、水溶液でも構
わない。アルカリとして考えられるのは、水酸化リチウ
ム，水酸化ナトリウム，水酸化カリウム，水酸化カルシ
ウム、アンモニア又はそれらの水溶液であるが、これだ
けに限定されるものではない。この時ｐＨが８を越える
と回収率が低下するので、回収率を上昇させる為にはｐ
Ｈコントロールを正確に行う必要が出てくる。クロムを
沈殿除去する時の好ましいｐＨは５〜７の間になる。停
止するｐＨを低くすると液中に残留するクロム量が増加
するがセリウム回収率は高くなる。ｐＨを高くすると残
留クロム量は低下するが、セリウム回収率は低下する。
このように液の条件によりセリウム回収率及びセリウム
純度が変化する。よって該処理液のｐＨを上昇させるに
あたり、電気化学的手法又は分光学的手法を用いて該処
理液の液性を測定しながらアルカリを供給し、該処理液
に対し最適な量のアルカリを供給するようにするべきで
ある。この時用いられる電気化学的手法としてはｐＨ又
は酸化還元電位を、分光学的手法としては液の濁度、も
しくは沈殿物をフィルトレーション等の手法を用いて除
去した液のクロムの吸収を測定するのが良い。しかし液
性の測定方法としてこれらの方法に限定されるものでは
ない。

【００１４】更にクロムを含む沈殿物（以下「クロム沈
殿物」と称する。）の分離方法としては濾過又は遠心分
離で除去可能である。これらの方法を併用する方法も考
えられる。しかしクロム沈殿物の分離方法としてこれら
の方法に限定されるものではない。

【００１５】上記のようにしてセリウム及びクロムを含
有する溶液からクロム沈殿物を除去し、セリウムの水溶
液を得る方法を開発した。しかしこのセリウムの水溶液
中にはクロムを沈殿除去させた後も、クロムが微量残っ
ており、本発明においては、更にこの残留クロムの除去
方法についても検討した。

【００１６】その結果、上記で得られたセリウムの水溶
液から、セリウムを析出物とし、クロムを酸化して６価
クロムとして液中に溶解し、固液分離をして、セリウム
のみを回収する方法を開発した。先のクロムを沈殿除去
した後のセリウム水溶液のｐＨは５〜８程度である。こ
の水溶液のｐＨを上昇させると液中に溶解しているセリ
ウムもクロムも水酸化物として沈殿してくる。アルカリ
の状態で過酸化水素を共存させると、セリウムもクロム
も酸化される。この時４価の水酸化セリウムは過酸化水
素と赤色の錯体を生成し沈殿しているが、酸化され生成
した６価クロムは液中に溶解することが判明した。この
時のｐＨはアルカリであれば良いが、クロムの溶解を実
際に行わせるには速度の問題から好ましくは１０以上、
更に好ましくは１２以上が良い。このような方法を用い
ると回収したセリウムをエッチング液として必要な４価
に酸化するとともにクロムの除去を同時に行うことがで
きる。この沈殿物を分離すれば、セリウムを回収するこ
とができる。

【００１７】先に述べた工程でクロム沈殿物を分析する
とクロムとセリウムの水酸化物の混合物であり、かなり
の量のセリウムが含まれることが分かった。これはクロ
ム及びセリウムが沈殿を生成するｐＨの範囲が近いこと
と、クロムとセリウムの共沈が起こっていることが考え
られる。これから更にクロムとセリウムを精密に分離す
る方法を検討した。その結果、ここで記述した残留クロ
ムの除去方法が使えることが分かった。回収した沈殿物
をアルカリ性の状態で過酸化水素と共存させることによ
り、クロムが酸化され溶解してくる。セリウムも酸化さ
れるが、４価の水酸化セリウムは過酸化水素と錯体を形
成し沈殿となる為、液中にはセリウムは観測されない。
この時のｐＨはアルカリであれば良いが、速度的な問題
から好ましくはｐＨ１０以上、更に好ましくはｐＨ１２
以上である。必要なセリウム濃度になるまでこの操作を
繰り返すことにより精密な分離ができる。この為には回
収物中のクロム含量を定量するか、溶解しているクロム
の含量を測定することにより沈殿物中に含まれるクロム
含量を推定する必要がある。沈殿物中のクロム含量の測
定にも溶液中のクロム含量の測定にも多くの方法がある
が、分光学的手法もしくは電気化学的手法を用いて測定
するのが良い。分光学的手法としてはＩＣＰ発光や、蛍
光Ｘ線測定、吸光度の測定等があり、電気化学的手法と
しては酸化還元電位等の測定がある。この方法により、
クロム沈殿物からセリウムとクロムの分離が可能にな
り、セリウムを回収することができる。

【００１８】上記で述べた残留クロムの除去方法におい
てｐＨがクロムの酸化と密接な関係がある為、ｐＨコン
トロールが重要になる。ｐＨが低い状態で過酸化水素を
共存させてもクロムの酸化が起きず、クロムが溶解して
こないのである。よってアルカリを供給する時には、電
気化学的手法や分光学的手法を使用して液性を測定しな
がら行うのが良い。電気化学的手法としてはｐＨや酸化
還元電位、分光学的手法としてはクロム６価の吸収を測
定する方法がある。しかし測定方法としてこれらに限定
されるものではない。

【００１９】これらの方法で回収できるセリウム沈殿物
は赤色の水酸化セリウムの過酸化水素付加錯体である。
よってこのまま固液分離し、硝酸等の酸に溶解するとセ
リウム４価は沈殿物自体に含まれる過酸化水素により還
元されてしまい、３価セリウムの溶液になってしまう。
この溶液をエッチング液として使用するには再度セリウ
ムを酸化する必要が生じる。これを回避するためには、
水酸化セリウムの過酸化水素付加錯体から過酸化水素を
除去する必要がある。

【００２０】過酸化水素を除去する方法の一つとして、
セリウムの過酸化水素錯体から過酸化水素を自己分解し
て除去する方法がある。過酸化水素は自己分解すること
により酸素と水になり、除去することが可能であるし、
分解物はセリウムの回収に対し、なんら問題を起こさな
いからである。過酸化水素が除去されると、セリウム沈
殿物は赤色から水酸化セリウムの黄色に変化し、過酸化
水素の除去が確認できる。これは固液分離をする前でも
後でも構わない。

【００２１】過酸化水素の自己分解速度は常温ではかな
り遅い。そこで過酸化水素の自己分解を促進させること
により、早く水酸化セリウムを回収することができる。
自己分解を促進させる方法として加熱，赤外線照射，紫
外光照射が有効であるが、自己分解を促進させる方法と
してこれだけに限定されるものではない。

【００２２】上記のようにして回収されたセリウム水酸
化物は硝酸アンモニウムセリウム（IV）にして回収する
ことが可能である。即ち、回収した水酸化セリウムを硝
酸に溶解し、濾過後硝酸アンモニウムを投入し、濃縮・
複塩化し析出物を硝酸アンモニウムセリウム（IV）とし
て回収する。しかし水酸化セリウムから硝酸アンモニウ
ムセリウム（IV）として回収する方法としてはこの方法
に限定されるものではない。

【００２３】回収した硝酸アンモニウムセリウム（IV）
は再度エッチング液として使用可能な状態にすることが
できる。回収した硝酸アンモニウムセリウム（IV）を純
水溶解し過塩素酸を供給後濃度調整して例えば、硝酸セ
リウムアンモニウム１３重量（wt）％、過塩素酸５ｗｔ
％の溶液としエッチング液として使用可能な状態にする
ことができる。エッチング速度を測定すれば、試薬から
調整したものとの比較ができる。なお、本発明で回収し
たセリウムを使用したクロムエッチング液の組成やその
調整方法はこの方法に限定されるものではない。

【００２４】

【実施例】以下、本発明につき実施例を挙げて説明する
が、本発明はこれらに限定されるものではない。実施例１硝酸アンモニウムセリウム（IV）１３wt% 、過塩素酸５
wt% の組成のクロムのエッチング液によりクロム薄膜を
エッチングした廃液で、６価クロム濃度０．０１７ｍｏ
ｌ／ｌ，４価セリウム濃度０．１６４ｍｏｌ／ｌ，３価
セリウム濃度０．１０２ｍｏｌ／ｌの溶液１００ｍｌに
１．２％過酸化水素水２８ｍｌを供給し、セリウム及び
クロムを還元した。その後、水酸化ナトリウム溶液を用
いてｐＨを６．２まで上昇させ、水酸化クロムを沈殿さ
せた。更に沈殿物を除去し、濾液に過酸化水素及び水酸
化ナトリウムを供給してｐＨを１２．５まで上昇させ
た。１時間攪拌後、８０℃にして２時間攪拌し、その後
固液分離して水酸化セリウムを回収した。この水酸化セ
リウムを硝酸に溶解し、濾過後硝酸アンモニウムを投入
し、濃縮・複塩化し析出物を硝酸アンモニウムセリウム
（IV）として回収した。この時セリウムとしての回収率
は８９ｗｔ％、混入クロム濃度は１００ｗｔｐｐｍ以下
であった。この硝酸アンモニウムセリウム（IV）を純水
溶解し過塩素酸を供給後濃度調製して硝酸アンモニウム
セリウム（IV）１３wt％、過塩素酸５ｗｔ％の溶液を５
０ｍｌ作った。クロム膜の方はガラス基板上にクロムを
１５００Åスパッタリングした基板を作り、回収したセ
リウムから調製したエッチング液に付け、ゆっくり攪拌
しながらクロムをエッチングさせた。エッチングの終了
はガラス基板の透過光を測定して求めた。この時のエッ
チング速度は３０Å／ｓであり、試薬から調製したもの
とほぼ同じであった。比較例１上記実施例と同じエッチング液の廃液１００ｍｌに、水
酸化ナトリウムを供給してｐＨ６．２まで上昇させ、そ
の時の沈殿物を得た。その結果、クロム及びセリウムの
殆どが共沈してしまい、クロムとセリウムの分離ができ
なかった。

【００２５】

【発明の効果】本発明によれば、クロムエッチング液の
使用済み廃液からセリウム及びクロムを回収することが
可能になり、今まで廃棄していたセリウム水酸化物及び
クロム水酸化物の廃棄物を減少させることが可能であ
り、環境対策としての効果が大きいとともに、高価なセ
リウムを回収することによりクロムエッチングのコスト
ダウンに寄与する。

【図面の簡単な説明】

【図１】セリウムの回収方法の一例を示す図面である。

フロントページの続き (51)Int.Cl.⁶ 識別記号ＦＩＣ０２Ｆ 1/72 Ｃ０２Ｆ 1/72 ＺＣ２２Ｂ 3/44 Ｃ２３Ｆ 1/26 Ｃ２３Ｆ 1/26 1/46 1/46 Ｃ２２Ｂ 3/00 Ｑ

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】セリウム及びクロムを含有する溶液に還
元剤を供給し、該溶液中の４価セリウム及び６価クロム
をそれぞれ３価セリウム及び３価クロムに還元し、次い
でクロムを含む沈殿物を分離することにより、セリウム
を回収することを特徴とするセリウムの回収方法。
【請求項２】溶液のｐＨを上昇させクロムを水酸化ク
ロムを含む沈殿物質とすることにより、クロムを分離す
ることを特徴とする請求項１記載のセリウムの回収方
法。
【請求項３】還元剤が過酸化水素であることを特徴と
する請求項１又は２記載のセリウムの回収方法。
【請求項４】セリウム及びクロムを含有する溶液が、
過酸化水素により４価セリウム及び６価クロムを還元で
きる範囲のｐＨを有することを特徴とする請求項３記載
のセリウムの回収方法。
【請求項５】セリウム及びクロムを含有する溶液に、
酸を供給して過酸化水素により４価セリウム及び６価ク
ロムを還元できる範囲のｐＨとすることを特徴とする請
求項３記載のセリウムの回収方法。
【請求項６】過酸化水素が、処理溶液中に含まれるセ
リウム及びクロムを還元させる分のみ供給されることを
特徴とする請求項３〜５のいずれかに記載のセリウムの
回収方法。
【請求項７】過酸化水素が、処理溶液中に含まれるセ
リウム及びクロムを還元させた後、余剰分は除去される
ことを特徴とする請求項３〜５のいずれかに記載のセリ
ウムの回収方法。
【請求項８】過酸化水素の除去が、過酸化水素で還元
される物質の供給によりなされることを特徴とする請求
項７記載のセリウムの回収方法。
【請求項９】過酸化水素で還元される物質が、４価セ
リウムを含む物質であることを特徴とする請求項８記載
のセリウムの回収方法。
【請求項１０】過酸化水素の除去が、過酸化水素で酸
化される物質の供給によりなされることを特徴とする請
求項７記載のセリウムの回収方法。
【請求項１１】過酸化水素の除去が、過酸化水素の自
己分解によりなされることを特徴とする請求項７記載の
セリウムの回収方法。
【請求項１２】過酸化水素の自己分解が、加熱，赤外
線照射又は紫外線照射により促進されることを特徴とす
る請求項１１記載のセリウムの回収方法。
【請求項１３】セリウム及びクロムを含有する溶液
に、電気化学的手法を用いて該溶液の液性を測定しなが
ら還元剤の供給を行うことを特徴とする請求項１〜１２
のいずれかに記載のセリウムの回収方法。
【請求項１４】溶液のｐＨの上昇が、ｐＨ８以下で停
止されることを特徴とする請求項２〜１３のいずれかに
記載のセリウムの回収方法。
【請求項１５】溶液のｐＨの上昇が、ｐＨ５〜７の間
で停止されることを特徴とする請求項２〜１３のいずれ
かに記載のセリウムの回収方法。
【請求項１６】溶液のｐＨの上昇が、電気化学的手法
又は分光学的手法を使用して液性を測定しながらアルカ
リを供給することによりなされることを特徴とする請求
項２〜１５のいずれかに記載のセリウムの回収方法。
【請求項１７】請求項１〜１６において、クロムを分
離後の３価セリウム溶液に、酸化剤及びアルカリを供給
し、液性をアルカリ性にして３価セリウムを４価セリウ
ムにした後、セリウムを回収することを特徴とするセリ
ウムの回収方法。
【請求項１８】請求項１〜１６において、クロムを含
む沈殿物を分離後、該分離したクロムを含む沈殿物を、
アルカリ溶液に供給し液性をアルカリ性にして酸化剤を
共存させ、３価セリウムを４価セリウムにしクロムを溶
解させた後、セリウムを回収することを特徴とするセリ
ウムの回収方法。
【請求項１９】酸化剤が過酸化水素であることを特徴
とする請求項１７又は１８記載のセリウムの回収方法。
【請求項２０】アルカリ又はアルカリ溶液供給後の液
性が、ｐＨ１０以上であることを特徴とする請求項１７
〜１９のいずれかに記載のセリウムの回収方法。
【請求項２１】アルカリ又はアルカリ溶液供給後の液
性が、ｐＨ１２以上であることを特徴とする請求項１７
〜１９のいずれかに記載のセリウムの回収方法。
【請求項２２】アルカリ又はアルカリ溶液供給が、電
気化学的手法又は分光学的手法を使用して液性を測定し
ながら行うことを特徴とする請求項１７〜２１のいずれ
かに記載のセリウムの回収方法。
【請求項２３】セリウムの回収が、固液分離によりセ
リウム沈殿物を回収することによりなされることを特徴
とする請求項１７〜２２のいずれかに記載のセリウムの
回収方法。
【請求項２４】セリウムの回収が、残留した過酸化水
素を除去した後、固液分離によりセリウム水酸化物を回
収することによりなされることを特徴とする請求項１９
〜２３のいずれかに記載のセリウムの回収方法。
【請求項２５】回収したセリウム沈殿物又はセリウム
水酸化物中のクロム含量が所望の量となるまで請求項１
７〜２４のいずれかに記載の方法を繰り返すことを特徴
とする請求項１７〜２４のいずれかに記載のセリウムの
回収方法。
【請求項２６】クロム含量を分析して請求項１７〜２
４のいずれかに記載の方法を繰り返す必要があるか判断
することを特徴とする請求項２５記載のセリウムの回収
方法。
【請求項２７】クロム含量の分析が、電気化学的手法
又は分光学的手法を用いて液性を測定することにより行
われることを特徴とする請求項２６記載のセリウムの回
収方法。
【請求項２８】過酸化水素の除去が、過酸化水素の自
己分解によりなされることを特徴とする請求項２４記載
のセリウムの回収方法。
【請求項２９】過酸化水素の自己分解が、加熱，赤外
線照射又は紫外線照射により促進されることを特徴とす
る請求項２８記載のセリウムの回収方法。
【請求項３０】請求項１〜３０において回収されたセ
リウムを硝酸アンモニウムセリウム（IV）として回収す
ることを特徴とするセリウムの回収方法。
【請求項３１】請求項３０において回収した硝酸アンモ
ニウムセリウム（IV）をクロムエッチング液として使用
可能な状態にして回収することを特徴とするセリウムの
回収方法。
【請求項３２】請求項１〜３１の方法で回収されたセリ
ウムを使用したクロムエッチング液。