JPH11237556A - 結合部材 - Google Patents

結合部材

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JPH11237556A
JPH11237556A JP10351198A JP35119898A JPH11237556A JP H11237556 A JPH11237556 A JP H11237556A JP 10351198 A JP10351198 A JP 10351198A JP 35119898 A JP35119898 A JP 35119898A JP H11237556 A JPH11237556 A JP H11237556A
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JP
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adhesive
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bonding
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coupling
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Application number
JP10351198A
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English (en)
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Nessen-Lapp Kerstin Von
ケルスティン・フォン・ネッセン−ラップ
Bernhard Trier
ベルンハルト・トリィエル
Michael Trunz
ミヒャエル・トルンツ
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Carl Zeiss SMT GmbH
Carl Zeiss AG
Original Assignee
Carl Zeiss SMT GmbH
Carl Zeiss AG
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Publication date
Application filed by Carl Zeiss SMT GmbH, Carl Zeiss AG filed Critical Carl Zeiss SMT GmbH
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    • G02—OPTICS
    • G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B7/00—Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B29—WORKING OF PLASTICS; WORKING OF SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE IN GENERAL
    • B29C—SHAPING OR JOINING OF PLASTICS; SHAPING OF MATERIAL IN A PLASTIC STATE, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; AFTER-TREATMENT OF THE SHAPED PRODUCTS, e.g. REPAIRING
    • B29C65/00—Joining or sealing of preformed parts, e.g. welding of plastics materials; Apparatus therefor
    • B29C65/48—Joining or sealing of preformed parts, e.g. welding of plastics materials; Apparatus therefor using adhesives, i.e. using supplementary joining material; solvent bonding
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16B—DEVICES FOR FASTENING OR SECURING CONSTRUCTIONAL ELEMENTS OR MACHINE PARTS TOGETHER, e.g. NAILS, BOLTS, CIRCLIPS, CLAMPS, CLIPS OR WEDGES; JOINTS OR JOINTING
    • F16B11/00—Connecting constructional elements or machine parts by sticking or pressing them together, e.g. cold pressure welding
    • F16B11/006—Connecting constructional elements or machine parts by sticking or pressing them together, e.g. cold pressure welding by gluing
    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 熱膨張率の小さい大きな部材を十分に確実な
工程で、力のロスなく、ｎｍ範囲の許容差条件を満たす
ように結合する手段を開発すること。 【解決手段】 本発明は、少なくとも２つの部材を互い
に結合する結合部材に関する。本発明によれば、２つの
結合面の少なくとも一方に、第３の材料から成る補整部
材に対する少なくとも１つの凹部が設けられ、この補整
部材は少なくとも１つの接着部又は接着間隙により２つ
の部材と結合されており、接着部で補整部材と２つの部
材とを接着結合するために、接着剤を使用する。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、少なくとも２つの
部材から組立られており、その第１の部材は第１の材料
から成り且つ第２の部材は第２の材料から成り、２つの
部材の各々は少なくとも１つの結合面を介して接合し、
結合面は互いに対向し、且つ２つの部材は少なくとも１
つの接着結合部により互いに結合されている結合部材に
関する。
【０００２】
【従来の技術】ある種の用途（特に、複数の個別の部材
から大型の部材を製造する場合）におては、製造後の部
材を（好ましくは、その鏡面、測定面又は別の構成要素
に対する支持面に対して）最小限の変形にとどめるべき
である（許容される変形の範囲はナノメートル単位であ
る）。この場合、製造すべき部材の大きさのみならず、
特にその形状（とりわけ、その内縁部の形状）との関連
を考慮する。このような部材は、関連する大きさがナノ
メートルであるような領域（たとえば、顕微鏡での観
察，天文学など）で使用されるのが好ましい。
【０００３】精密接合に関する従来の技術によれば、２
つの部材を互いに固定結合する方法は、一般に２つ知ら
れている。 ａ）突合せ密着時、光学面はファンデルワールス力によ
って互いに結合される。この場合、突合せ密着は主に仕
上げ時に一時的に力をロスせずに結合するために使用さ
れる。この方法では、結合縁部が液体でぬれたときに、
突合せ密着により結合された２つの部材が容易に外れて
しまうという欠点が見られる。また、突合せ密着に全く
震動が伴わないということはありえない。製造時に、mm
単位の寸法をもつ小さな光学要素を永続的に結合するた
めに突合せ密着を使用することもある。cm単位の大きさ
の大きな要素を永続的な結合を保つために必要な信頼性
をもって結合するのは不可能である。突合せ密着を改善
し且つ確実にするために、突合せ密着面の外側に保護ラ
ッカー及び／又はパテの帯を設けることにより、結合の
耐性を高めることはできるが、それも完璧ではない。 ｂ）通常、接着部の形状を巧妙に定めることにより（接
着間隙及び接着パッドを最適化する）、圧力少なく接着
したときの接着部は最適化される。このような最適化に
際して基礎を成す課題（接着間隙は１／１０mm、パッド
は６×６mm）は従来の技術に照らして考慮される。接着
後の部材には、形のぴったりとはまり合った、力のロス
のない結合が必ずしも可能になっていないという欠点が
ある。結合のクリープが避けられず、また、それと関連
して部材の互いに対するずれが生じるため、多くの用途
においてそれなりの問題が起こる。
【０００４】ドイツ特許第３７１１４６６号からは、熱
強制力を発生することなく通しボルトによって少なくと
も２つの部材を互いに結合する装置が知られている。こ
の装置は、通しボルトが結合面で強い力を発生するため
に、結合後に２つの部材を後処理しなければならないと
いう欠点を有する。そのため、結合は非常に安定してい
る。ドイツ特許第３９３４５４６号からは、中間部材を
介して２つの部材を接着結合する装置が知られている
が、この中間部材は２つの部材の表面まで通っており、
その領域の表面を利用することができない。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】本発明の目的は、特に
熱膨張率の小さい大きな部材（たとえば、ケイ酸塩，セ
ラミック，インバーなど）を十分に確実な工程で、力の
ロスなく、ｎｍ範囲の許容差条件を満たすように結合す
る手段を開発することである。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本発明は、少なくとも２
つの部材から組立てられており、その第１の部材が第１
の材料から成り且つ第２の部材が第２の材料から成り、
その２つの部材の各々は少なくとも１つの結合面を介し
て接合し、結合面は互いに対向し、且つ２つの部材は少
なくとも１つの接着結合部により互いに結合されている
結合部材であって、２つの結合面の少なくとも一方に、
第３の材料から成る補整部材用の少なくとも１つの凹部
が設けられていることと、この補整部材は少なくとも１
つの接着部又は接着間隔により２つの部材と結合されて
おり、補整部材と２つの部材とを接着部で接着結合する
ために接着剤が使用されることとを特徴とする。
【０００７】固定すべき２つの部材の中にある（すなわ
ち、２つの部材により内側に包囲されている）補整要素
の使用はこれまで実現されておらず、この補整要素によ
って初めて、外観の面でも妨げとならずに接着時の収縮
の影響を一部又は全て排除することができるという意味
で、容易に思いつけるというものでもない。
【０００８】しかし、本発明の新規性とレベルの高さは
単に２つの結合方法を組合わせたということだけではな
く、結合される部材の変形をごくわずかに、場合によっ
ては測定できない程度にまで抑制できるという点にあ
る。接着部の形状を巧妙に設定すると共に、接着部を結
合面の内側に適切に配置することにより、補整部材の有
利な作用を助けることができる。この新規の結合部によ
り、寸法の大きな、すなわち、１０cmを越える大きさの
光学要素を形状がぴったりとはまり合い、力のロスをな
くすように互いに結合することが可能である（結合すべ
き面の長さが４０cmを越えるような状況で実験を行っ
た）。接着剤のクリープは起こらない。必要な強度は接
着部により確保される。
【０００９】接着を行うことにより結合後の部材の変形
はわずかになるので、特に小さな波長で動作する光学機
器に適用するのに適している。たとえば、ＵＶ顕微鏡で
特に必要であるような位置決めテーブル（Ｘ方向，Ｙ方
向，多くの場合にＺ方向への運動を伴う）が挙げられ
る。熱応力を回避するため、使用される全ての部材（補
整部材も含む）は同一の材料から形成されているのが好
ましいであろう。
【００１０】
【発明の実施の形態】以下、添付の図面を参照して一実
施形態に基づいて本発明をさらに詳細に説明する。以下
に示す実施形態は本発明を限定する性質のものではな
く、本発明の他の有利な構成を含んでいる。図１及び図
２に示す接着部により、接着と、その結果として発生す
る変形とによる力の作用を他の結合方法の場合の十分の
一にまで減少させることができる。以下に説明する２つ
の部材３０，３１の結合部は、２つの接着部分の間に挿
入されて、接着剤の収縮によって生じる応力という形態
をとる力を自らに吸収する応力低減要素３７（補整部材
と呼んでも良い）を使用する。従来の技術により知られ
ている結合方法と比較して、このようにして得られる接
着結合において発生する精密接合後の部材３０，３１の
変形は著しく少ない。
【００１１】接着により接合後の部材３０，３１で生じ
る変形の物理的背後関係は、一般に、接着剤の収縮に基
づくものである。２つの接着結合部の一方における長さ
変化はほぼ次の式で表せる。 ε＝δｌ／ｌ0 式中、εは伸び、δｌは長さ変化、ｌ0は変化前の長さ
である。 Ｆ／Ａ＝Ｅ*ε 式中、Ｆは力、Ａは接着面、Ｅは弾性係数である。これ
に基づき、 Ｆ／Ａ＝E*δｌ／ｌ0 →Ｆ＝Ｅ*Ａ*δｌ／ｌ0 →Ｆ 〜
Ｅ*Ａ
【００１２】Ｆを、従って、接着部４３に加わる力をで
きる限り小さくすべき場合、δｌは接着剤の収縮により
あらかじめ与えられ且つｌ0 は一方又は双方の接着間隙
４１，４２（その深さは、たとえば、接着剤の導入が不
可避であることによって、任意に減少させることができ
ない）によりあらかじめ与えられているので、Ａ又はＥ
を小さくしなければならない。面Ａは任意に減少させる
ことができず、一般に、必要な保持力により確定され
る。弾性係数は、接着すべき部材３０，３１により確定
されている。それにもかかわらず、力を減少させること
ができるようにするために、結合すべき２つの部材３
０，３１の間に追加の部材３７を使用する。２つの接着
部の間の、接着すべき部材３０，３１の間の空間３４に
挿入されるこの部材３７については、横断面及び／又は
弾性係数を自由に選択できる。
【００１３】図１は、上述の考えを利用した解決方法に
よる１つの構成を示す。結合すべき部材３０，３１
（（熱膨張率の関係上）同一の材料から成るのが好まし
く、たとえば、ケイ酸塩、セラミック又はインバーから
成るが、異なっても良い）は、それぞれ１つの結合面３
２，３３を有し、２つの部材はそれらの結合面で互いに
突合せ密着される。突合せ密着前に、部材３１に結合面
３３に向かった空間３４（たとえば、矩形又は円筒形な
どの所望の形状）を形成する。この空間には２本の管路
３５，３６が通じている。
【００１４】この空間３４の底面には、第１の接着間隙
４４を有する補整要素３７が、補整要素３７と空間３４
の側壁３９ａ，３９ｂとの間に空隙４０，４１が残るよ
うに挿入接着される。補整要素３７を空間３４に挿入接
着した後、部材３１及び補整要素３７を貫通する第１の
管路３５を形成する。この管路は後に第２の接着間隙４
２の中央で終わり、補整要素３７の第２の接着部への接
着剤の供給は第１の管路３５を経て行われることにな
る。空隙４０の側方には、２つの部材３０，３１を一体
に突合せ密着した後の状態で第２の管路３６を形成する
別の凹部が設けられている。
【００１５】２つの部材３０，３１を互いに突合せ密着
した後、必要量の接着剤を第１の管路３５の中に注入す
ると、第１の管路３５の、注入された接着剤の上方には
ガス圧力が発生する。このガス圧力は接着剤を補整要素
３７と部材３０との間の第２の接着間隙４２へと押し出
す。２度目の接着が行われた後は、第１の管路３５の中
に接着剤はなくなっている。力を有効に減少させるため
には、引張り力を受容する働きをすべき補整要素３７は
結合すべき部材３０，３１より著しく小さい（できれ
ば、５０％小さい、好ましくは１０％）弾性係数を有し
ていなければならない。
【００１６】できる限り収縮の小さい（１０％未満、好
ましくは３％未満、さらに好ましくは１％未満又は０．
６％未満）接着剤を適切に選択することにより、所望の
通りの力の減少を得ることができる。接着剤供給管路３
５を結合すべき部材３０，３１のうち第２の部材３０を
貫通させて第２の接着間隙４２まで導き、ガス抜き管路
３６を部材３１の中に、結合面３２，３３から離して配
置することも可能であるのは自明であろう。
【００１７】図２は、図１に示す接着部（図１の４３）
の変形列を示す。この場合、変形は補整要素（図１の３
７）の形状及び接着剤供給管路５５（図１の３５）の位
置にのみ関連するものである。図１に関して説明したよ
うに、結合すべき部材の一方４６に空間４７と、排気管
路４８となるべき凹部とを形成する。この空間４７の大
きさは、挿入接着すべき補整要素５０と空間４７の側壁
との間の、補整要素５０の周囲に空隙４９を確保するよ
うに定められている。補整要素５０は接着剤により空間
４７の中に固定され、接着剤は第１の接着間隙５１の全
体を満たす。これにより、２つの部材４５，４６は互い
に対向する２つの結合面５３，５４で、第２の部材４５
に設けられた接着剤供給管路５５が補整要素５０の上方
の、接着面の中心でできる限り正確に位置を定めて終わ
るように突合せ密着される。その後、接着剤は先に図１
に関連して説明したのと同様に供給されるのであるが、
この場合にも、接着剤は接着間隙５２をできる限り完全
に満たすべきであろう。
【００１８】この実施形態では、引張り力及び曲げ力を
吸収する働きをする補整要素５０は、接着のために使用
される接着板５０ａ，５０ｂの下方の、結合ロッド５０
ｃの両端部に、横断面の狭い部分を有する。この細くな
った部分は、補整要素５０の材料の弾性係数が結合すべ
き部材４５，４６の弾性係数と全く同じであるか又はそ
れより大きい場合にも、図１で説明した効果を発揮す
る。
【００１９】しかし、図１又は図２による結合部によっ
て結合すべき２つの部材の間で発生する力それ自体が余
りにも大きくなってしまうこともありうる。結合部によ
り結合部材に加わる力をほぼ零にしたいのであれば、結
合すべき２つの部材と補整要素との間の側方まで接着剤
を塗布しなければならない。これをどのようにして実現
できるかを図３に示す。
【００２０】結合すべき第１の部材６０の結合面６２に
は、所望の横断面形状（好ましくは円形）を有する上に
向かって開いた空間６４があり、この空間６４の底面に
ガス抜き管路６６が通じている。結合すべき２つの部材
６０，６１を組立てる前に、この空間６４の中で、側方
から少なくともほぼ完全に周囲を囲んでいる接着間隙７
２に、長手方向スリットを有し、内部が中空である結合
管６８を、空間６４の底面に至るまでに、まだ空隙６９
が特に接着剤を残さずに形成され且つ補整要素６８は空
間６４の底面より上で終わるように接着する。
【００２１】結合すべき第２の部材６１の結合面６３に
も、同様に、所望の横断面形状（好ましくは円形）を有
する上に向かって開いた空間６５があり、側方の、後に
出来上がるべき結合部のほぼ中央の位置に、接着剤供給
管路６７が通じている。この空間６５の結合面６３に近
接する端部には、空間６５の他の部分より大きい直径を
有する周囲溝７０が形成されている。この溝７０は、毛
管力によって与えられる接着剤の流れを結合管６８と第
２の部材６１との間で停止させるために必要である。
【００２２】この空間６５の直径は、結合すべき２つの
部材６０，６１の互いに対する調整を後で可能にするた
めに、結合すべき他方の部材６１にある空間６４よりわ
ずかに大きい。２つの部材６０，６１をその結合面６
２，６３で突合せ密着した後、あらかじめ定めた必要量
の接着剤を接着剤供給管路６７に注入し、負圧により結
合管６８と第２の部材６１との間の接着間隙７１へ送り
出す。このとき、接着剤供給管路６７が空間６５の中
で、できれば結合管６８のスリット７３の反対の側で終
わるように注意すべきである。ここでも、結合管６８は
結合すべき部材６０，６１のうち第２の部材６１にある
空間６５の底面より上にあるので、部材６１と結合管６
８との間に空隙７４が残っている。これら２つの空隙６
９，７４は、結合管６８から部材６０，６１へ力が伝達
されないという意味で重要である。この目的は、第１の
部材６０と結合管６８との間の接着部７２と、第２の部
材６１と結合管６８との間の接着部７１との間にある空
隙７５によっても達成される。結合管６８にはスリット
７３があるため、結合管６８は、その側方から作用を及
ぼす接着剤の収縮によって発生する力を結合すべき２つ
の部材６０，６１の間の結合面６２，６３へ伝達するこ
となく、接着剤の収縮に対応できる。
【００２３】図面に示した全ての概略図について、正し
い大きさの関係が描かれているわけではないという点に
注意すべきである。接着剤は毛管力によって接着間隙に
流入しなければならず、従って、接着間隙の幅は十分の
数ミリメートルを越えてはならないため、特に全ての接
着間隙は図示したものより著しく狭い。接着剤として
は、できる限り収縮が少なく且つ結合すべき部材の材料
との確実な接着を可能にするあらゆる接着剤が適してい
る。好ましい材料であるケイ酸塩及びセラミックに対し
ては、特に、収縮が３％未満又は０．６％未満のエポキ
シ接着剤が適している。接着剤供給管路には、接着実施
後、できる限り接着剤を残しておかないのが好ましいで
あろう。
【００２４】結合すべき２つの部材の突合せ密着面に接
着部を設けることは、特に強い加速又はその変化がある
ときに、結合すべき２つの部材を互いに確実に結合する
上で有用である。すなわち、接着部の保持力は、結合す
べき部材がその結合面で互いに離れようとしたときに初
めて完全な効果を発揮しなければならない。これは、結
合される部材の形状及び加速方向に対する結合面の位置
に応じて異なる速さで得られる。結合面は突合せ密着に
よって尚一層互いに結合されることが可能である。
【００２５】図１及び図２の場合に、補整要素を受け入
れるための空間を２つの部材の一方のみに形成しなけれ
ばならないというわけではない。この空間を分割して、
できる限り厳密に対向する２つの空間を形成しても全く
同様である。しかし、この変形には、突合せ密着時に結
合すべき２つの部材をより精密に調整しなければならな
いという欠点もある。ただし、特殊な場合には、この方
法が有利になることもある。熱安定性の関係上、結合さ
れる部材の全ての構成要素は１つの材料のみから製造さ
れるべきであろう。結合される部材の位置測定のため
に、その表面の一部を鏡面にすることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】 本発明による接着部の第１の構成を示す図。
【図２】 本発明による接着部の第１の構成の変形例を
示す図。
【図３】 本発明による接着部の第２の構成を示す図。
【符号の説明】
３０，４５，６０…第１の部材、３１，４６，６１…第
２の部材、３２，３３，５３，５４，６２，６３…結合
面、３４，４７，６４，６５…空間、３７，５０…補整
要素、４０，４１，４９…空隙、４２，４４，５１，５
２…接着間隙、５０ａ，５０ｂ…接着板、５０ｃ…結合
ロッド、６７…管路、６８…結合管、７１…接着間隙、
７２…接着部、７３…スリット、６９，７４，７５…空
隙。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 ベルンハルト・トリィエル ドイツ連邦共和国・82110・ゲルマリン ク・リッター−フォン−ハルト−シュトラ ーセ・１ (72)発明者 ミヒャエル・トルンツ ドイツ連邦共和国・73479・エルヴァンゲ ン・エリカシュトラーセ・９

Claims (15)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 少なくとも２つの部材（３０，３１；４
    ５，４６；６０，６１）から組立てられており、その第
    １の部材（３０；４５；６０）が第１の材料から成り且
    つ第２の部材（３１；４６；６１）が第２の材料から成
    り、２つの部材（３０，３１；４５，４６；６０，６
    １）の各々は少なくとも１つの結合面（３２，３３；５
    ３；５４；６２，６３）を介して接合し、結合面（３
    ２，３３；５３，５４；６２，６３）は互いに対向し、
    且つ２つの部材（３０，３１；４５，４６；６０，６
    １）は少なくとも１つの接着結合部により互いに結合さ
    れている結合部材において、２つの結合面（３２，３
    ３；５３，５４；６２，６３）の少なくとも一方に、第
    ３の材料から成る補整部材（３７，５０，６８）用の少
    なくとも１つの凹部（３４，４７，６４，６５）が設け
    られていることと、この補整部材（３７，５０，６８）
    は少なくとも１つの接着部又は接着間隔（４２，４４；
    ５１，５２；７１，７２）により２つの部材（３０，３
    １；４５，４６；６０，６１）と結合されており、補整
    部材（３７，５０，６８）と２つの部材（３０，３１；
    ４５，４６；６０，６１）とを接着部（４２，４４；５
    １，５２；７１，７２）で接着結合するために接着剤が
    使用されることとを特徴とする結合部材。
  2. 【請求項２】 接着部又は接着間隔（４２，４４；５
    １，５２；７１，７２）は結合すべき部材（３０，３
    １；４５，４６；６０，６１）と補整部材（３７，５
    ０，６８）との間に設けられていることを特徴とする請
    求項１記載の結合部材。
  3. 【請求項３】 ２つの結合部材（３０，３１；４５，４
    ６；６０，６１）はそれぞれ少なくとも１つの結合面
    （３２，３３；５３，５４；６２，６３）で互いに突合
    せ密着されていることと、接着部（４２，４４；５１，
    ５２；７１，７２）の凹部は少なくともほぼ突合せ密着
    面（３２，３３；５３，５４；６２，６３）に位置して
    いることを特徴とする請求項１又は２記載の結合部材。
  4. 【請求項４】 補整部材（３７，５０）の側方に空隙
    （４０，４１，４９）が設けられていることを特徴とす
    る請求項１から３のいずれか１項に記載の結合部材。
  5. 【請求項５】 補整部材（５０）は２つの接着板（５０
    ａ，５０ｂ）と、それらの接着板（５０ａ，５０ｂ）を
    結合する結合ロッド（５０ｃ）とから構成されており、
    接着板（５０ａ，５０ｂ）の横断面は結合ロッド（５０
    ｃ）の横断面より大きいことを特徴とする請求項１から
    ４のいずれか１項に記載の結合部材。
  6. 【請求項６】 結合すべき２つの部材（６０，６１）の
    各々に、各々の凹部（６４，６５）としてそれぞれ１つ
    の空間が形成されていることと、それらの対向する空間
    （６４，６５）の中に補整要素（６８）が配置されてい
    ることと、補整要素（６８）と２つの空間（６４，６
    ５）の側壁との間に少なくとも１つの接着部又は接着間
    隔（７１，７２）がそれぞれ設けられていることを特徴
    とする請求項１から３のいずれか１項に記載の結合部
    材。
  7. 【請求項７】 補整要素（６８）の下方にそれぞれ空隙
    （６９，７４）が形成されていることと、第１の部材
    （６０）と結合管（６８）との間の接着部（７２）と、
    第２の部材（６１）と結合管（６８）との間の接着部
    （７１）との間に空隙（７５）が設けられていることを
    特徴とする請求項６記載の結合部材。
  8. 【請求項８】 補整要素（６８）は中空の結合管である
    ことを特徴とする請求項６又は７記載の結合部材。
  9. 【請求項９】 結合管（６８）の側方に長手方向スリッ
    ト（７３）が形成されていることを特徴とする請求項
    ６，７又は８記載の結合部材。
  10. 【請求項１０】 長手方向スリット（７３）は中空の結
    合管（６８）の全長にわたって形成されていることを特
    徴とする請求項９記載の結合部材。
  11. 【請求項１１】 接着剤供給管路（６７）を有する部材
    （６１）にある空間（６５）の周囲を巡る溝（７０）は
    接着剤が出口部で接着間隙（７１）から流出するのを阻
    止するために形成されていることを特徴とする請求項６
    から１０のいずれか１項に記載の結合部材。
  12. 【請求項１２】 接着剤供給管路（６７）の出口開口は
    長手方向スリット（７３）の反対側に配置されているこ
    とを特徴とする請求項８から１１のいずれか１項に記載
    の結合部材。
  13. 【請求項１３】 結合部材は位置決めテーブルであるこ
    とを特徴とする請求項１から１２のいずれか１項に記載
    の結合部材。
  14. 【請求項１４】 位置決めテーブルは、４００ｎｍ未満
    の波長で動作する光学機器に組込まれていることを特徴
    とする請求項１３記載の結合部材。
  15. 【請求項１５】 光学機器は顕微鏡であることを特徴と
    する請求項１４記載の結合部材。
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