JPH11242803A - バッチ製作サーボ書込ヘッド - Google Patents

バッチ製作サーボ書込ヘッド

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JPH11242803A
JPH11242803A JP10322843A JP32284398A JPH11242803A JP H11242803 A JPH11242803 A JP H11242803A JP 10322843 A JP10322843 A JP 10322843A JP 32284398 A JP32284398 A JP 32284398A JP H11242803 A JPH11242803 A JP H11242803A
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JP
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head
tape
magnetic
ferrite
wafer
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JP10322843A
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English (en)
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Patricia A Beck
パトリシア・エー・ベック
Paul W Poorman
ポール・ダブリュー・プアマン
George M Clifford Jr
ジョージ・エム・クリフォード，ジュニア
Richard H Henze
リチャード・エイチ・ヘンズ
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HP Inc
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Hewlett Packard Co
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Abstract

(57)【要約】 （修正有） 【課題】テープおよびヘッドの磨耗を減らしながら、サ
ーボ書込ヘッドの製造効率を上げ、また精細な形体に対
するサーボ・パターン形成を改善する。 【解決手段】多数のヘッドを一つ以上のフェライト・ウ
ェーハからバッチとして製作する。名目上平らな、大き
いウェーハ表面および一様なフォトレジスト施工および
平面的写真平版に適する輪郭は、精密なサーボ・パター
ン形成を可能とする。ヘッドの丸み付き前縁は、空気ベ
アリングを作ってテープのおよびヘッドの磨耗を減ら
す。その上、ヘッドの磨耗はすべて、サーボ・パターン
を形成するヘッドの領域ではなく、前縁で発生する。サ
ーボ書込ヘッドは、実質的に平面状のヘッド表面を備え
ることができる。前縁は、テープがヘッド表面の上を通
る前に前縁と接触するようにヘッド表面に隣接して配置
されている。前縁は丸みが付けられてヘッド表面とテー
プとの間に空気ベアリングを形成している。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、一般に磁気記録媒
体に対してデータを記録し、読取ることに関し、更に詳
細に記せば、タイミング基準サーボ・パターンをフレキ
シブル磁気記憶媒体に書込むための改良された磁気書込
ヘッド装置に関する。
【０００２】
【関連技術の記載】磁気ヘッドの位置を磁気記憶媒体の
トラックに対して維持するサーボ制御システムは、周知
である。1995年１月３日に発行さアルブレヒト等の「サ
ーボ制御システム」という名称のヨーロッパ特許出願、
ＥＰ 0 690 442 Ａ2 は、サーボ位置コードを磁気記録
テープの幅を横断してテープの長さに下流に向かって書
込む磁気記録ヘッドを備えたサーボ制御システムを記述
している。ヘッドは、テープを下る方向に多数の間隙を
も備えている。ヘッドは、テープの幅方向に間を隔てて
設けられた多数の隙間のあるパターンをテープの長さに
沿って書込むことができる。このような記録ヘッドの長
所は、サーボ・コードをテープの長さ全体に沿ってテー
プの幅全体を横断する個別の区域（バンド）に１パスで
書込むことができることである。これは、一つのパター
ンの互いに対する位置精度を上げる。これはまた、各バ
ンドを別々に書込めばかなり高価になるであろうから大
きな経済的長所を与える。
【０００３】図１の部分に示したように、通常の従来技
術のヘッド100は、ガラス120の層により分離されたフェ
ライト110の二つの平行片から製作されている。フェラ
イト-ガラス-フェライト・ヘッド100の上面は、曲がっ
て、テープの接触面を形成している。この曲面は、最初
薄い磁気シード層140で、次に後に数ミクロンの厚さの
磁性材料の層130で覆われる。書込パターンを形成する
間隙150は、磁性層130を貫き、中心ガラス領域の上方シ
ード層140まで広がっている。一つ以上のターンを有す
るワイヤ巻線160がヘッド100の長軸を横断してガラスの
隣まで広がるフェライトの溝170を通過している。ワイ
ヤ160を通過する電流が間隙150内の磁界にエネルギを与
える。磁界は通過するテープ（図示せず）に間隙パター
ンを書込む。通過テープとヘッドとの接触は、テープお
よびヘッドに共に磨耗を生じ、それにより両者の寿命を
短くする。
【０００４】従来技術の方法を利用すれば、各ヘッド10
0を個別に（すなわち、別々に分離して）製作せねばな
らない。別々に分離したヘッドの小さい大きさおよび形
状は、一様な厚さを有するフォトレジスト層を施すのを
困難にする。フォトレジストは記録間隙のパターンを作
るのに使用されるので、一様なフォトレジスト層を形成
することは特に重要な考慮事項あである。フォトレジス
トの厚さの非一様性は、パターンの品質に、特に狭い間
隙寸法の場合、直接且つ悪い影響を与える。このような
パターンには細い線（約1.5μｍ）の形成が必要であ
る。線幅を減らせば一層効率のよい書込および一層精密
な位置信号が許容される可能性があり、サーボ制御が向
上する。また、表面が曲がっているので、写真平版プロ
セスでヘッドの曲率を補償しなければならない。この曲
面上に記録間隙をパターン化するのにフォトレジストの
平らな層を施すのは特に困難である。回転によりレジス
トを施すことは、部品の長さ対幅の比が１よりはるかに
大きい場合には困難である。レジストを電気めっきし、
浸漬し、部品に噴射することができるが、この方法は、
厄介でサブミクロン公差について洗練されていない。
【０００５】この丸みのある形状を作るには、ヘッドを
個別に機械加工せねばならないが、それらを棒状に作っ
て製作費用を減らすことができる。図２は、幾つかのヘ
ッド100が入っている棒200を示す。長軸に垂直な線210
は、棒を鋸で挽いて離し、個別ヘッド100を形成できる
場所を示す。棒200を幾つかのヘッド100に切断すること
ができるが、手順はやはり非常に効率的ではなく、フォ
トレジストの一様性を達成するには同じまたは一層困難
でさえある問題を与える。
【０００６】したがって、多数間隙サーボ書込ヘッド
は、ヘッドおよびテープに磨耗を生じ、製造に費用がか
かり、サーボ・パターンの形成に限界があり、多数の用
途で磁気記憶装置の使用を妨げることがわかる。
【０００７】したがって、サーボ書込ヘッドの製造効率
を上げ、また精密な形体に対するサーボ・パターンを向
上させる未解決のバッチ製作技法の必要性が存在する。
【０００８】
【発明の概要】テープおよびヘッドの磨耗を減らしなが
ら、サーボ書込ヘッドの製造効率を上げ、また精密な形
体のパターン形成を改善するバッチ製作技法を説明す
る。多数のヘッドが一つ以上のフェライト・ウェーハか
らバッチとして製作される。一様なフォトレジストの施
工および平面状写真平版術に適する名目上平らな、大き
いウェーハ面および輪郭は、精密なサーボパターン形成
を可能とする。ヘッドの丸みのある前縁は空気ベアリン
グを作りテープのおよびヘッドの磨耗を減らす。その
上、ヘッド磨耗はすべてサーボ・パターンを形成するヘ
ッドの領域にではなく、前縁に生ずる。
【０００９】本発明の一局面によれば、サーボ書込ヘッ
ドは、実質的に平面状のヘッド表面を備えている。前縁
は、テープがヘッド表面上を通過する前に前縁と接触す
るようにヘッド表面に隣接して配置されている。好適実
施形態では、前縁は、丸みを付けられてヘッド表面とテ
ープとの間に空気ベアリングを形成している。丸みのあ
る後縁をテープがヘッド表面上を通過してから後縁上を
通過するようにヘッド表面に隣接して配置することがで
きる。前縁または後縁のいずれかにブレンディング、研
削、またはファセティングにより丸みを付けることがで
きる。
【００１０】ヘッドは有利に、テープの幅および長さに
わたりサーボ・データの単一パス記録を可能とすること
ができる。説明したようなヘッドは、ヘッドの磁気記録
領域の磨耗を減少させる。好適実施形態では、ヘッドの
幾何学的構成はヘッドの縁で低接触圧力を生ずるので、
ヘッドの縁で発生する磨耗はすべて、減少し、ヘッド寿
命が延びる。
【００１１】本発明の他の局面によれば、ヘッドは、非
磁性スペーサを有する上部フェライト・ウェーハから形
成されている。非磁性材料は、写真平版で形成され、ス
ペーサの上方に間隙を作る。非磁性材料をフォトレジス
ト、半導体材料、ガラス、金属、または類似のものとす
ることができる。材料を後に除去して空隙を残すことさ
え可能である。非磁性材料は、磁界がループを描いて通
過テープと交差する領域を形成し、それにより磁気パタ
ーンをテープに移す。形成された間隙パターンは、テー
プに書かれたパターンとは異なることがある。間隙パタ
ーンを適切に選択することにより、サーボ・パターンの
質を高めることができる。別の非磁性空間を上部フェラ
イト・ウェーハの後にスペーサに近接して形成し、磁気
回路の質を高めることができる。他に、下部フェライト
・ウェーハを上部フェライト・ウェーハに組み合わせて
間隙の周りの磁気回路を完成することができる。誘導性
巻線は、フェライトまたはスペーサの溝を通過すること
ができる。多数のヘッドを上部および下部フェライト・
ウェーハのバッチ処理により形成することができる。
【００１２】更に、ヘッドの構成は、ヘッドをバッチ製
作により容易に作ることができるようになっている。そ
の上、ヘッドは、プロセス制御を増大する他に一般的寸
法制御を増大させても製作することができる。線幅減少
の可能性は一層効率よい書込および一層精密な位置信号
を可能とし、サーボ制御を向上させる。書込効率は更に
間隙の周りの磁気回路の完成により高揚する。
【００１３】本発明は、付図と関連する下記詳細説明に
より容易に理解されるであろう。付図において、類似参
照数字は、類似構造要素を指している。
【００１４】
【好適な実施例の詳細な説明】本発明の実施形態を下に
図１−図１４を参照して説明する。しかし、本発明はこ
れら限定された実施形態を越えて広がっているので、当
業者はこれらの図に関してここに示した詳細な記述は、
説明目的のものであることを容易に理解するであろう。
【００１５】本発明は、位置サーボ情報を磁気テープ
に、上記ヨーロッパ特許出願 ＥＰ 0690 442Ａ2 にアル
ブレヒト等が記述したヘッドと同様の仕方で、書込むの
に使用されることを目的としている。
【００１６】図３は、本発明の一実施形態による、記録
テープ310がヘッド300の上を通過している状態の、サー
ボ書込ヘッド300の断面を示す図面である。テープ310は
最初ヘッド300にヘ ッド300の前縁にある曲面320で接触
している。テープ310は、テープ310とヘッドの表面330
との間に形成された空気ベアリングにより支持されて平
らな表面330の上にあり続ける。
【００１７】サーボ・コードをテープ310の上に複製す
るには、磁気間隙150（または複数の間隙）をヘッド300
の中心の近くに所要パターンを成して設ける。これらパ
ターンを、非磁性スペーサ340の上に堆積された（窒化
鉄アルミニウム（ＦeＡlＮ）、ＦeＴaＮ、またはＮiＦe
のような）高モーメント磁性材料の薄い（数μｍ）層39
0に写真平版で形成するか、またはエッチすることがで
きる。
【００１８】テープ310は、ヘッドの反対の縁まで続
き、入り口と同様の後側曲がり縁350の上方でヘッドを
出る。一実施形態では、ヘッド300の上面330に対するテ
ープ310の傾斜は、約１−２度である。縁320および350
は、好適半径 0.5−2.0ｍｍで整形されている。
【００１９】一実施形態の場合、ヘッド300の上の平ら
な表面への滑らかな遷移が縁320および350に存在する。
代わりに、平らな表面330の縁で傾斜の突然変化がある
ように丸みのある縁320または350を形成することができ
る。すなわち、たとえば、丸みカッタの深さを、丸みの
中心線が丸みの半径の値より平らな表面に近くなるよう
に設定することができる。
【００２０】この丸み縁の幾何学構成は、テープ310が
二つの縁320および350の上方を低接触圧力で通過し、薄
い空気ベアリングにより表面から分離されたヘッド300
の平らな部分330の上方を進行できるようにする。テー
プ310がヘッド300から分離されているということは、ヘ
ッド300がスペーサ340の近くでほとんど磨耗せず、ヘッ
ド300とテープ310との間で材料がほとんど移転しないと
いうことを意味する。ヘッド300の平らな部分330とテー
プ310との間の間隔は丸み半径の選択、テープ張力、テ
ープ速度、およびテープの特性により制御される。小さ
いヘッド−テープ間隔（良好なパターン移転に好適であ
る）がテープ310とヘッド300の前縁320との間に捕らえ
られる空気の量を極小にすることにより維持される。
【００２１】テープ310が前縁320でヘッド300と接触す
るにつれて、テープに密着する空気の大部分は、空気ベ
アリング領域内に運ばれないようになる。この前縁320
は、テープ入口点での小さい半径と協働する。鋭い縁が
同じ目的に役立つが、それはテープ310とヘッド300との
間に極めて高い接触圧力を生じ、したがってテープ310
の損傷を生ずる。他に、そのように多量の空気が、テー
プが全表面を横断してヘッドと接触する境界面から排除
され、したがって磨耗を増大させる。設計時に適切に小
さい半径を選択することにより、なお大量の空気を空気
ベアリング領域内に運ばれないようにしながら接触圧力
が極小になる。
【００２２】従来技術のように、本発明の一実施形態
は、非磁性材料（ガラスのような）がフェライト360の
２片を、たとえば、100−500ミクロンの距離だけ分離す
るスペーサ340の領域を備えている。書込電流により作
られる磁束は、このときヘッド300の上面330に堆積され
た磁性層390に大幅に閉じこめられる。この材料390（パ
ターン書込間隙を有する）は、非磁性材料340およびフ
ェライト360の平らな上面の上方に広がり、曲がり縁320
および350の上方に広がることができる。
【００２３】従来技術と異なり、本発明の一実施形態で
は、フェライト360は、図１でのように非磁性材料によ
り完全に二つの半部に分割されず、（図３に示すよう
に）間隙150の近くにだけ非磁性スペーサ340を備えてい
る。 したがって、スペーサ340は、この実施形態の場合
にはヘッドの下まで広がっていない。
【００２４】巻線160は、ヘッド300の下部分370のいず
れかの側の周りに巻かれている。代わりに、巻線160を
下部分370の下の周りに巻くか、または上部分360の周り
に巻くことができる。
【００２５】本発明の磁気ヘッドを写真平版術を利用し
てフェライトのウェーハ状スラブ（これらは正方形また
は丸くて最大収量を与えるが、他の形状が可能である。
ただし効率的でない）の上にバッチ製作して先に説明し
た間隙150を形成することができる。図４は、サーボ書
込ヘッドをバッチ製作するための上部フェライト・ウェ
ーハ400の上面図を示す図面である。図５は、上部フェ
ライト・ウェーハ400の側面図を示す図面である。本発
明の一実施形態は、磁気間隙の領域に平らな表面を使用
し、多数のヘッドを大きいフェライトおよびガラス（ま
たはセラミックのような他の非磁性材料）の上に効率良
く配置できるようにしている。ガラスを幾つかの方法の
一つにより追加することができる。溝410を上部フェラ
イト・ウェーハ400に切り込み、ガラスフリットを詰
め、再溶解する。適切に小さければ、溝410をセラミッ
クのような半導体業界で既知の他の非磁性材料で埋め、
象眼プロセスで磨き戻すことができる。好適には、上面
は適切に平らで研磨されている。
【００２６】代わりに、図１２に示すような非磁性材料
1210およびフェライト1220のサンドイッチ1200を構成す
ることができる。したがって、その最も簡単なとき、ウ
ェーハは、図１２に示すように「寄木」様式に組み立て
られたフェライト/ガラス/フェライトの一片である。写
真平版術、磁性材料堆積、および類似のものが、得られ
た「寄木」に関して行なわれ、この寄木は、切り離さ
れ、必要なら、輪郭を付けて、フェライト内に非磁性ス
ペーサのある個別ヘッドを形成する。背の高い「寄木」
を構成することも可能であり、これは次にスラブに切断
されて、丁度いま説明した短い単一スラブ「寄木」とし
て処理される。
【００２７】代わりに、構造の形状を成層する前に規定
することができる。図１３は、図１２でのように形成さ
れたヘッドを示す図面であり、この場合ヘッドは本発明
の代わりの実施形態による非磁性材料1210および輪郭フ
ェライト1220の交番層を備えている。図１３は、フェラ
イト層1220を非磁性層1210の周りに対称であると図示し
てあるが、代わりに、フェライト層1220を非対称にする
ことができ、非磁性材料を部品の下までずっと広げる必
要はないことに注目する。
【００２８】これらヘッドの縁を一連の浅い溝420をフ
ェライト・ウェーハの表面上にガラス埋め込み溝410に
平行に機械加工により形成することができる。図６は、
図５の拡大部分600にある浅い溝420およびガラス埋め込
み溝410を示す。同様に、図７は、図５の拡大部分700に
ある浅い溝420の一方の側を示す。半径または他の丸い
縁を、ブレンディング、研削、またはファセティングの
ような多様な技法によりこれらの縁に施すことができ
る。ブレンディングには、紙の折り重ね、または同様の
手順で縁を壊すことが関係している。研削（または機械
加工）は、規定形状（すなわち、特別に形成された形
状）を使用して達成される。ファセティングは一連の小
さい切り込みを次第に角度を大きくして作る技法であ
る。
【００２９】テープは、（丸みが導入されている）前縁
および後縁のわずかな角度の周りにだけ巻くので、丸み
半径および得られる溝は、ミクロンの10分の１以下の深
さまで機械加工するだけでよい。正確な加工深さは、所
要半径、テープの巻き角により、および製造の考慮事項
にらよって決まる。一実施形態では、約50μｍの深さま
で加工して側面により良い研磨を得ている。この実施形
態では、角710は５と15度との間にあり、角720は約45度
である。曲がった前縁および後縁を作るために、より深
い溝を各ヘッドの縁に沿って加工したいことがある。し
かし、より深い溝は、更に困難なフォトレジスト施工の
問題を提起する。したがって、更に平面状の構造が望ま
しい。このような場合には、溝を材料で（または他の場
合溝に橋架けする材料を使用して）埋める（全体にまた
は部分的に）か覆うかすることにより一層一様なフォト
レジスト施工が可能になる。
【００３０】浅溝を有するウェーハ上で多数のヘッドを
バッチ処理すると一様なフォトレジスト層を施すことが
可能になる。一様なフォトレジスト層は、非磁性スペー
サの上方の磁性層に正確に形成された間隙を形成し、そ
れにより精密なサーボ・パターンを記録するのに役立
つ。回転すると、流体フォトレジストは、フェライト・
スラブの平らな表面上を一様な厚さで流れる。浅い深
さ、比較的広い幅、および傾いた側壁は、鋭い不連続の
周りをどろどろにするかまたは流す代わりに、流体フォ
トレジストに溝の輪郭をたどらせ、半径方向外側に移動
させる。代わりに、輪郭を形成する前に平版印刷術およ
び堆積を平らな表面上に行なうことができる。
【００３１】精密な線幅制御は、トラック密度の将来の
改善に決定的な精密サーボ・パターンを可能とする。間
隙近辺の平らな表面も、フォトレジストを露出するとき
間隙区域全体にわたりマスクの鋭い像を投射させる。
【００３２】標準の半導体マスクは、パターンを平らな
表面上にだけ随意選択的に結像することができる（ステ
ッパは局部的に平らな表面を取ることさえある）。従来
技術のヘッドは、大きい円筒形表面を備え、精密な写真
平版露出を円筒形表面の頂点に限定している。線幅の変
動は、+/-0.5μｍ以下にすべきである。パターンが更に
頂点から広がるにつれて、線幅制御は、一層問題にな
る。表面に結像することができるパターンの横幅を厳し
く制限しなければならないか、またはステップを変化を
補償するように取らねばならない。
【００３３】マスクを差別的に片寄せる（マスク区域上
方でマスクの間隙の線幅を変えて平らなマスクから曲が
ったヘッド曲面までの変化する距離のような、変化する
プロセス・パラメータに適応させる）ことは、扱いにく
く、不正確であり、表面の曲がりがいつでも正確に同じ
であると仮定している。曲がった表面は、平らな表面よ
り繰り返し研削および研磨するのが困難である。
【００３４】本発明の平らな表面を用いれば、マスクの
差別的片寄せは不必要で、標準の写真平版作像技法は、
投射、直接書込であろうと、接触であろうと、線幅の変
動を極小にし、プロセスの一様性および反復可能性を増
大させる。変動を0.1μｍ以下に減らすことができる。
更に、磁性層を一度に（別個の部分の上ではなく）ウェ
ーハ400全体の上に堆積することができるので、製造効
率が達成される。
【００３５】その上、上部フェラ イト・ウェーハ400の
底部を適切な厚さに機械加工することができる。溝410
の非磁性スペーサがウェーハの底部まで延びていなけれ
ば、セパレータが露出するまでフェライトを機械加工す
ることができる。図１１（図１０の部分1100の拡大図面
である）に示すように、別の非磁性空間を作り出す傾斜
溝430を、分離溝に平行な上部フェライト・ウェーハ400
の底部に機械加工して磁気回路の効率を高め、セパレー
タを露出することができる。一実施形態では角1110は約
90度である。代わりに、溝を長方形にすることができ
る。
【００３６】業界で公知であるように、薄い磨耗層を、
上方をテープが通るヘッドの表面に堆積させることがで
きる。本発明の或る実施形態では、空気ベアリングがヘ
ッドとテープとの間に形成されてもこの磨耗層を採用す
ることができる。層が非常に薄いので磁性層が書込能力
に与える影響は最小限である。
【００３７】図１４は、本発明の代わりの実施形態によ
り磨耗層1420および別の薄い軟磁性または非磁性の層14
30を備えて形成された上部ヘッド部分1400を示す図面で
ある。この実施形態では、薄い（すなわち、好適に約10
00オングストローム）層1430がフェライト層360（非磁
性スペーサ340を有する）とＦeＡlＮ層390との間に形成
されている。薄層1430は、それにより材料の表面を平滑
にするよう被覆しまたは充填するので有利であることが
見いだされている。その他、その層が導電性であれば、
薄層1430は検査（たとえば、走査電子顕微鏡による）を
補助する。磨耗層1420はＦeＡlＮ層390およびフォトレ
ジスト間隙150の上方に形成されることに注目のこと。
磨耗層1410を追加する別の利益は、表面1410を間隙材料
150をテープに露出させずに滑らかにすることができる
ことである。
【００３８】図８（上面図）および図９（側面図）に示
すように、溝810が下部フェラ イト・ウェーハ800に機
械加工されている。下部ウェーハ800の上は図１０に示
すように上部ウェーハ400（写真平版パターンを備えて
いる）の底部になっている。ウェーハ400および800を共
に結合してから、図１０に示すように成層構造を縁溝10
10に沿って鋸挽きして棒にし、次に交差方向に鋸挽きし
て個別ヘッド300にする。
【００３９】代わりに、取り扱い強度を増すため、平版
印刷を行なう前に構造を作って共に結合するることがで
きる。
【００４０】更に他の実施形態では、ヘッドを図１２に
示すように無輪郭、輪郭付き、または予備輪郭形成した
部品で形成し、または上部ウェーハ400と同様ではある
が巻線に対する設備がある、すなわち、追加下部ウェー
ハ800の無い上部ウェーハだけを使用して形成してい
る。無輪郭扁平ウェーハの場合には、前縁および後縁の
形体は、「寄木」を棒または個別ヘッドに分離してから
製作することができる。
【００４１】再び図３を参照して、下半部370の溝は、
長さ方向下方に、テープ310の走行方向に垂直なヘッド3
00の中心に延びる通路（空間）になっている。ワイヤ16
0は、穴を通してコアの外側の周りに巻かれ、従来技術
と同様に、電流が加えられたとき磁気回路に電力を与え
るトロイダル巻線を形成している。しかし、本発明の磁
気回路は、従来技術のものより効率が良い。これは、薄
い磁性上部層の一方の側から他方に延びるフェライトの
連続磁気経路（細い結合線を除く）が存在するからであ
る。磁性材料の小さい分路は、ヘッドを動作不能にせず
に部分360を非磁性スペーサ340の直上または直下に接続
することができる。しかし、磁気スペーサ340の下のこ
のような分路は好ましくない。他方、磁気部分370の追
加は部分360を含む磁気回路を完成するので、従来技術
に比較して特に有利である。その上、部分340、360、お
よび370で区切られる開放中心区域の幾らかまたはすべ
ては、ガラス のような非磁性材料の追加（たとえば、
構造的支持体を追加する）により埋めることができる。
【００４２】更に他の実施形態では、ヘッドの丸みのあ
る縁は、材料の層をヘッド面に追加して所要断面を近似
することにより形成される。
【００４３】このように磁気テープ用サーボ書込ヘッド
を説明してきた。ヘッドは、サーボ・データの単一パス
記録を有利に可能にすることができる。説明したような
ヘッドの幾何学構成は、ヘッドの磁気記録領域の磨耗を
少なくし、ヘッドの縁でテープにかかる接触圧力を低く
するので、磨耗が減り、ヘッド寿命が延びる。
【００４４】更に、ヘッドの設計は、ヘッドをバッチ製
作により容易に作ることができるようなものである。そ
の上、ヘッドは、プロセス制御を増すばかりでなく一般
的寸法制御をも増して製作が可能になる。平らな表面上
の線幅を減らせる可能性は、一層効率的な書込および一
層精密なサーボ制御を可能とする。書込効率は更に磁気
回路の完成により従来に比較して上がる。
【００４５】本発明の多数の特徴および長所は、述べた
説明から明らかであり、したがって、本発明のこのよう
なすべての特徴および長所を付記した特許請求の範囲に
より包含するつもりである。更に、当業者は多数の修正
および変更を容易に行なえるから、本発明を例示し且つ
説明した正確な構造および動作に限定するのは望ましく
ない。したがって、適切なすべての修正案および同等案
を本発明の範囲内に入るものとして分類することができ
る。
【００４６】次のものは、発明の実施態様の例である。 (1)磁気テープに対するサーボ書込方法であって、テー
プを前縁を有する実質的に平面状のヘッド表面の上を通
すステップであって、前縁は、テープがヘッド表面の上
を通る前に前縁と接触するようにヘッド表面に隣接し、
ヘッド表面とテープとの間に空気ベアリングを形成する
ように丸みが付けられているものであるステップと、ヘ
ッドを使用してサーボ位置コードをテープに書込むステ
ップと、を備えていることを特徴とする方法。 (2)前縁の丸み付けは、ヘッド表面にブレンディング、
研削、機械加工、およびファセティングの所定の一つ以
上を行なうことにより達成されることを特徴とする実施
態様１に記載のヘッド。 (3)テープを後縁の上を通すステップであって、後縁
は、テープがヘッド表面の上を通ってから後縁の上を通
るようにヘッド表面に隣接し、丸みが付けられているも
のであるステップを備えていることを特徴とする実施態
様１に記載のヘッド。 (4)後縁の丸み付けは、ヘッド表面からブレンディン
グ、研削、機械加工、およびファセティングの所定の一
つ以上を行なうことにより達成されることを特徴とする
実施態様３に記載の方法。 (5)磁気テープ用サーボ書込ヘッドを作る方法であっ
て、ヘッドの上部フェライト・ウェーハにスペーサを形
成するステップと、スペーサに非磁性材料を設置してサ
ーボ・パターンの一部をテープに書込むためのフェライ
ト−非磁性材料−フェライト構成を形成するステップ
と、を備えていることを特徴とする方法。 (6)複数のヘッドが上部および下部フェライト・ウェー
ハのバッチ処理により形成されることを特徴とする実施
態様５に記載の方法。 (7)非磁性材料の上に少なくとも一つの磁気間隙を有す
る磁性材料の層を形成し、サーボ・パターンを書込むた
めの磁気パターンを形成するステップを備えていること
を特徴とする実施態様５に記載の方法。 (8)下部フェライト・ウェーハを上部フェライト・ウェ
ーハと組み合わせて間隙の周りに磁気回路を完成するス
テップを備えていることを特徴とする実施態様５に記載
の方法。 (9)誘導巻線を追加するステップを備え、この場合ヘッ
ドは誘導巻線を通す溝を備えていることを特徴とする実
施態様８に記載の方法。 (10)複数のヘッドを上部および下部フェライト・ウェー
ハのバッチ処理により形成するステップを備えているこ
とを特徴とする実施態様８に記載の方法。 (11)上部フェライト・ウェーハに間隙の近くに非磁性空
間を形成して磁気回路の質を高揚するステップを備えて
いることを特徴とする実施態様５に記載の方法。 (12)誘導巻線を上部フェライト・ウェーハの一部の周り
を通すステップを備えていることを特徴とする実施態様
５に記載の方法。 (13)上部フェライト・ウェーハが間隙の周りに磁気分路
を形成していることを特徴とする実施態様５に記載の方
法。 (14)上部フェライト・ウェーハは、実質的に平面状のヘ
ッド表面および前縁を備えており、前縁は、テープがヘ
ッド表面の上を通る前に前縁と接触するように、ヘッド
表面に隣接して設けられており、ヘッド表面とテープと
の間に空気ベアリングを形成するように前縁に丸みを付
けるステップを備えていることを特徴とする実施態様５
に記載の方法。
【図面の簡単な説明】
【図１】位置サーボ情報を磁気テープに書込むのに使用
する従来技術のフェライト-ガラス-フェライト・ヘッド
を示す図面である。
【図２】従来技術のものと動揺の幾つかのサーボ書込ヘ
ッドが入っている棒を示す図面であり、長軸に垂直な線
は、棒を鋸で挽いて分離し、個別ヘッドを形成すること
ができる場所を示す。
【図３】本発明によるサーボ書込ヘッドの断面を示す図
面であり、記録テープがヘッド上方を通過している。
【図４】本発明の一実施形態によるサーボ書込ヘッドの
バッチ製作のための上部フェライト・ウェーハの上面図
を示す図面である。
【図５】図４の上部フェライト・ウェーハの側面図を示
す図面である。
【図６】上部フェライト・ウェーハの図５の側面図の拡
大部分600を示す図面である。
【図７】上部フェライト・ウェーハの図５の側面図の拡
大部分700を示す図面である。
【図８】本発明の一実施形態によるサーボ書込ヘッドの
バッチ製作のための下部フェライト・ウェーハの上面図
を示す図面である。
【図９】図８の上部フェライト・ウェーハの側面図を示
す図面である。
【図１０】本発明の一実施形態によるサーボ書込ヘッド
のバッチ製作のための図５の上部フェライト・ウェーハ
と図９の下部フェライト・ウェーハとの組合せを示す側
面図である。
【図１１】上部フェライト・ウェーハの図１０の側面図
の拡大部分1100を示す図面である。
【図１２】本発明の代わりの実施形態による非磁性材料
およびフェライトの交番層のブロックを示す図面であ
る。
【図１３】本発明の代わりの実施形態による非磁性材料
および輪郭付きフェライトの交番層を示す図面である。
【図１４】本発明の代わりの実施形態による磨耗層およ
び追加薄層を備えて形成された上部ヘッド部分を示す図
面である。
【符号の説明】
１５０ 間隙 １６０ 巻線 ３００ ヘッド ３４０ 非磁性スペーサ ３６０ フェライト ３７０ 下部分 ４００ 上部フェライト・ウェーハ １２００ サンドイッチ
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 ジョージ・エム・クリフォード，ジュニア アメリカ合衆国カリフォルニア州ロス・ア ルトス・ヒルズ タングルウッド・レーン 26789 (72)発明者 リチャード・エイチ・ヘンズ アメリカ合衆国カリフォルニア州サン・カ ルロス ハワード・アベニュー2610

Claims (10)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】磁気テープ用サーボ書込ヘッドにおいて、 実質的に平面状のヘッド表面と、 テープがヘッド表面の上を通る前に前縁と接触するよう
    にヘッド表面に隣接している前縁であって、ヘッド表面
    とテープとの間に空気ベアリングを形成するように丸み
    が付けられている前縁と、を備えていることを特徴とす
    るヘッド。
  2. 【請求項２】テープがヘッド表面の上を通ってから後縁
    の上を通るようにヘッド表面に隣接している後縁であっ
    て、丸みが付けられている後縁を備えていることを特徴
    とする請求項１に記載のヘッド。
  3. 【請求項３】磁気テープ用サーボ書込ヘッドにおいて、 スペーサを有する上部フェライト・ウェーハと、 スペーサにある、サーボ・パターンの一部をテープに書
    込むためのフェライト−非磁性材料−フェライト構成を
    形成する非磁性材料と、を備えていることを特徴とする
    ヘッド。
  4. 【請求項４】複数のヘッドが上部フェライト・ウェーハ
    のバッチ処理により形成されることを特徴とする請求項
    ３に記載のヘッド。
  5. 【請求項５】非磁性材料の上に少なくとも一つの磁気間
    隙を有し、サーボ・パターンをテープに書込むための磁
    気パターンを形成する磁性材料の層を備えていることを
    特徴とする請求項３に記載のヘッド。
  6. 【請求項６】上部フェライト・ウェーハと組み合わされ
    て間隙の周りに磁気回路を完成している下部フェライト
    ・ウェーハを備えていることを特徴とする請求項３に記
    載のヘッド。
  7. 【請求項７】非磁性空間が間隙の近くで上部フェライト
    ・ウェーハに形成され、磁気回路の質を高揚しているこ
    とを特徴とする請求項３に記載のヘッド。
  8. 【請求項８】上部フェライト・ウェーハは、実質的に平
    面状のヘッド表面を備えており、 テープがヘッド表面の上を通る前に前縁と接触するよう
    にヘッド表面に隣接している前縁であって、ヘッド表面
    とテープとの間に空気ベアリングを形成するように丸み
    が付けられている前縁を備えていることを特徴とする請
    求項３に記載のヘッド。
  9. 【請求項９】誘導巻線を備え、誘導巻線は上部フェライ
    ト・ウェーハの一部の周りを通ることを特徴とする請求
    項３に記載のヘッド。
  10. 【請求項１０】上部フェライト・ウェーハは、間隙の周
    りに磁気分路を形成していることを特徴とする請求項３
    に記載のヘッド。
JP10322843A 1997-10-28 1998-10-28 バッチ製作サーボ書込ヘッド Pending JPH11242803A (ja)

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US08/959,509 US6018444A (en) 1997-10-28 1997-10-28 Batch fabricated servo write head having low write-gap linewidth variation

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