JPH0821170B2 - 固定磁気ディスク装置用コアスライダ及びその製造方法 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 （技術分野） 本発明は、固定磁気ディスク装置に用いられる浮上型
のコアスライダ及びその製造方法に関するものである。

（背景技術） 従来から、固定磁気ディスク装置（RDD）に用いられ
る、バルク形状のコアを用いた浮上型磁気ヘッド用コア
スライダの一つとして、第１図に示される如きモノリシ
ック型スライダ１が知られている。このスライダ１は、
スライダ本体２とＣ字形状のヨーク部３とから一体的に
構成されており、その記録媒体との対向面たる摺接面に
は、その摺接方向（移動方向乃至は走行方向）に延びる
所定高さの互いに平行な左右の空気ベアリング部（面）
4a、4bを有し、またそれら空気ベアリング部4a,4bの間
に、トラック部を与える同じ高さのセンターレール５が
設けられ、そしてこのセンターレール５の端部に前記ヨ
ーク部３が一体的に設けられて、それらヨーク部３とス
ライダ本体２にて、磁気ヘッドのための閉磁路が形成さ
れている。

しかしながら、このモノリシック型スライダ１は、フ
ェライトのみで構成されるため、低価格であるという優
位性を有してはいるものの、センターレール５のテーパ
ー加工によりトラック部が形成されるものであるところ
から、トラック幅精度及び狭トラック化が得難く、更に
スライダがディスク上で浮上するためには、空気ベアリ
ング部4a、4bがディスクより外にはみ出すことが出来な
いところから、トラック部（５）がスライダ中央部にあ
ることが有効記録面積を減ずるという記録容量上の欠点
を有していた。

また、スライダ本体とコアとを別体として、それらを
組み合わせてなる、所謂コンポジット型スライダも知ら
れている。このコンポジット型スライダは、トラック部
が直角に加工されたフェライトコアを非磁性のスライダ
本体に埋め込み、固定するものであるところから、トラ
ック幅精度、狭トラック化が、前記モノリシック型に比
べて得易いという利点を有しており、また空気ベアリン
グ部の延長上にトラック部を配することが可能であり、
記録容量上において有利ではあるものの、スライダ本体
やコアを個々に加工し、それらを接合一体化するという
工程の採用が必須となるために、コスト高となる欠点を
有しているのである。

一方、かかるコンポジット型スライダと同様な性能を
持たせ、また低コスト化を図るために、特開昭62−1861
5号公報には、スライダ本体の空気ベアリング部の端部
にヨーク部を一体的に設けて、コアを構成するようにし
た構造のスライダが、明らかにされている。そして、そ
のようなスライダは、予めトラック規定溝にガラスを埋
め込んだ両ブロックを突き合わせて、接合一体化するこ
とにより、ギャップ接合を行ない、その後、空気ベアリ
ング部及びヨーク部をそれぞれ形成するための溝加工を
行なうことによって、製作されることとなる。

しかしながら、この構造では、モノリシック型スライ
ダに比べて、トラック部が空気ベアリング部の延長上に
あるために、空気ベアリング部形成のための溝加工によ
り両者が同時に形成されるという利点を有するものの、
トラック幅規定のための溝入れ、更にはその溝へのガラ
スの埋込みの工程が新たに付加されることとなるところ
から、スライダ製造に際してのトータルの製造工数が多
くなるという点において、優位性を発揮することが出来
ず、加えて、このスライダでは、ヨーク部の断面積が前
記したコンポジット型スライダ、更には第１図の如きモ
ノリシック型スライダに比べて大きく、従ってインダク
タンスが大きくなって、高周波対応、換言すれば高密度
記録に不利であるという問題を内在している。

しかも、上記の如き従来のコアスライダにおいて、そ
の左右の二つの空気ベアリング部やセンターレールを形
成するための溝加工や、それらの面取り加工は、何れ
も、ダイヤモンド砥石等による機械加工により行なわれ
ることとなるところから、チップ１個当たり合計８ヶ所
の砥石加工を施す必要があり、そのため、全工程中の中
で最も加工時間を必要とする工程であったのであり、ま
た面取り加工においては、ダイヤモンド砥石の割出し誤
差に加えて、製品の高さや接着誤差等により、空気ベア
リング部及びトラック（センターレール）の幅に±３μ
ｍの誤差の発生が避けられ得ず、更にダイヤモンド砥石
の加工面には、大きさ:1μｍ以上のチッピングの発生が
避けられ得ない等という問題も内在しているのである。

（解決課題） ここにおいて、本発明は、かかる事情を背景にして為
されたものであって、その解決すべき課題とするところ
は、固定磁気ディスク装置用コアスライダにおいて、ト
レーリング部の面取りを不要と為しつつ、そのトラック
部の保護を図り、且つディスクの損傷を防ぐに有効な構
造を与えると共に、そのコア部のインダクタンスを小さ
くして、高周波対応、ひいては高密度記録に有利と為す
ことにあり、また従来の製造手法に比べて、その製造工
数を格段に低減し、そのコストダウンを有利に図ること
にある。

（解決手段） そして、本発明は、かかる課題解決のために、スライ
ダ本体に設けられた所定高さの互いに平行な左右の空気
ベアリング部の少なくとも一方の端部に、形成されるト
ラック部の幅よりも広いが、該空気ベアリング部の幅よ
りは狭いヨーク部を一体的に配して、該ヨーク部と前記
スライダ本体にて、磁気ヘッドのための閉磁路を構成す
ると共に、前記空気ベアリング部から該ヨーク部上に同
じ高さで延びる狭幅のトラック部を設け、更に該トラッ
ク部より延びて該ヨーク部上に位置する、該トラック部
よりも幅の広い凸部を、該トラック部と同じ高さにおい
て設ける一方、少なくとも、かかる凸部及びトラック部
の周囲に、それら凸部及びトラック部よりも高さの低い
微小段差部を設けたことを特徴とする固定磁気ディスク
装置用コアスライダを、その要旨とするものである。

また、本発明にあっては、（ａ）スライダ本体を与え
る第一のフェライトブロックとヨーク部を与える第二の
フェライトブロックとを突き合わせて一対的に接合せし
め、それらフェライトブロックにて磁気ヘッドのための
閉磁路を構成してなるギャップバーを作製する工程と、
（ｂ）該ギャップバーの空気ベアリング部形成側の面に
対して、互いに平行な所定幅の二つの空気ベアリング部
とそれら空気ベアリング部の少なくとも一方の延長上に
位置する狭幅のトラック部と更に該トラック部の延長上
に位置する、該トラック部の幅よりも広いが、前記空気
ベアリング部の幅よりは狭い凸部とに対応する形状のマ
スクパターンを、前記第一のフェライトブロック側より
第二のフェライトブロック側に延びるように、付与する
工程と、（ｃ）前記ギャップバーの少なくとも前記マス
クパターンの付与された面をエッチングして、該マスク
パターンに対応した凹凸パターンを形成する工程と、
（ｄ）前記エッチングの施されたギャップバーより、前
記互いに平行な空気ベアリング部を左右に有するスライ
ダ本体と、該空気ベアリング部から前記トラック部を介
して同じ高さで延びる凸部を有する、該空気ベアリング
部の幅よりも狭いヨーク部とからなる形状のコアスライ
ダを、少なくとも、かかる凸部及びトラック部の周囲
に、それら凸部及びトラック部よりも高さの低い微小段
差部を残しつつ、切り出す工程とを、含むことを特徴と
する固定磁気ディスク装置用コアスライダの製造方法を
も、その要旨とするものである。

さらに、本発明は、磁気ディスク装置における磁気デ
ィスクに対して、スライダ長手方向に移動せしめられる
磁気ヘッド用コアスライダにおいて、（ｉ）該スライダ
長手方向に所定の領域に亘って延びる、スライダ本体か
ら所定高さで突出した空気ベアリング面を有するスライ
ダ本体と、（ii）該所定領域内の空気ベアリング面上に
形成されると共に、前記スライダ長手方向に対して実質
的に垂直なスライダ幅方向に延びる長手の磁気記録用ギ
ャップと、（iii）前記所定領域内において、該長手の
磁気記録用ギャップを取り囲み、空気ベアリング面の他
の部分の前記スライダ幅方向における幅より狭い幅を有
する空気ベアリング面のギャップ位置部分とを有するこ
とを特徴とする磁気ヘッド用コアスライダも、その要旨
とするものである。

なお、本発明においては、前記空気ベアリング面のギ
ャップ位置部分は、前記スライダ長手方向において空気
ベアリング面のリーディング側部分及びトレーリング側
部分にて境界され、且つそれらリーディング側部分及び
トレーリング側部分は、それぞれ、前記スライダ幅方向
において該ギャップ位置部分より広い幅を有するように
構成されることが、好ましい。

また、好適には、前記トレーリング側部分は、前記ス
ライダ本体に設けられたヨーク部上に形成され、また前
記リーディング側部分は、前記空気ベアリング面の大部
分からなり、更に前記リーディング側部分が、前記スラ
イダ幅方向において、前記トレーリング側部分より広い
幅を有するように構成されるのである。

そして、本発明にあっては、前記スライダ本体が、前
記空気ベアリング面とは異なる、互いに平行な第二の空
気ベアリング面を有し、前記長手の磁気記録用ギャップ
が、前記空気ベアリング面のギャップ位置部分を完全に
横切って延びていることが、好ましい。

さらに、本発明は、磁気ディスク装置における磁気デ
ィスクに対して、スライダ長手方向に移動せしめられる
磁気ヘッド用コアスライダにおいて、（Ｉ）該スライダ
長手方向に所定の領域に亘って延びる、スライダ本体か
ら所定高さで突出した空気ベアリング面を有すると共
に、該空気ベアリング面の前記スライダ長手方向におけ
る中間に位置するギャップ位置部分が、該ギャップ位置
部分を跨ぐリーディング側部分及びトレーリング側部分
より、前記スライダ長手方向に垂直なスライダ幅方向に
おいて狭い幅とされているスライダ本体と、（II）前記
空気ベアリング面のギャップ位置部分に形成されると共
に、前記スライダ幅方向に延びる長手の磁気記録用ギャ
ップとを含む磁気ヘッド用コアスライダをも、その要旨
とするものである。

かかる本発明において、好ましくは、前記長手の磁気
記録用ギャップは、前記空気ベアリング面のギャップ位
置部分を完全に横切って延び、前記トレーリング側部分
は、前記スライダ幅方向において前記リーディング側部
分より狭いヨーク部上に形成され、更に前記リーディン
グ側部分は、前記空気ベアリング面の大部分からなり、
前記スライダ本体は、前記空気ベアリング面とは異な
る、互いに平行な第二の空気ベアリング面を有するもの
である。

また、本発明にあっては、前記リーディング側部分
は、前記スライダ幅方向において、前記トレーリング側
部分より広い幅を有するように構成されていることが、
望ましい。

本発明は、更に、（イ）磁気ヘッド用コアスライダを
与える第一及び第二のフェライトブロックを突き合わせ
て、磁気ギャップを有する閉磁路を構成する工程と、
（ロ）該磁気ギャップにより分断された該フェライトブ
ロック突合せ体の表面に、該表面上の他の領域よりも磁
気ギャップの領域において狭いパターンとされたエッチ
ングマスクを付与する工程と、（ハ）かかるフェライト
ブロック突合せ体の表面をエッチングして、前記パター
ンに対応した凹凸を形成する工程と、を含むことを特徴
とする磁気ディスク装置用磁気ヘッド用コアスライダの
製造方法をも、その要旨とするものである。

なお、本発明において、好適には、前記パターンは、
前記磁気ギャップの領域を間にして、磁気ディスク移動
方向におけるリーディング側部分とトレーリング側部分
に位置し、且つ該磁気ギャップの領域より幅の広い二つ
の領域を有するようにされ、前記エッチングマスクのパ
ターンは、前記磁気ギャップに平行な方向において、前
記表面の他の領域より磁気ギャップの領域において幅が
狭くされるように構成されることとなる。

（作用） ところで、磁気ディスク装置用のコアスライダ、そし
てこれに巻線を施した固定磁気ディスク装置用ヘッドと
しては、次の機能が要求されている。即ち、コアスライ
ダとしては、ディスク上にスライダが接触した状態から
ディスクが回転して浮上する時、或いは浮上状態から接
触状態へ移行する際に（contact start and stop:CSSと
略称する）、かかるスライダがディスクを傷つけないよ
うにすることである。これは、スライダの表面状態、つ
まり空気ベアリング部（面）及びトラック部の表面性、
そしてそれらのエッジ部の形状に依存し、これらの状態
が悪い場合、ディスクを傷つけると同時に、スライダ自
身の破損にも繋がることとなる。

そこで、本発明では、ディスクに対向する摺接面側の
スライダ面に対して、充分な表面性及び平面度を確保す
べく研磨した後、レジストの如きマスクのパターニング
を施して、一括エッチングを行なうことにより、かかる
パターニングに対応して形成される突起部が一様な表面
性及び平面度にて確保され、空気ベアリング部、そして
その延長上にトラック部が形成されるようにしたもので
あり、また本発明では、かかるトラック部の延長上に該
トラック部より幅広の凸部を、空気ベアリング部及びト
ラック部に連結された構成とすることにより、これらが
同一平面上になるところから、幅の狭いトラック部を前
記CSS時に保護する効果をもたらすのである。

また、本発明において、空気ベアリング部のトレーリ
ング側のコーナー部やトラック部の延長上に位置する幅
の大きな凸部のトレーリング側のコーナー部を直角とせ
ず、所定の曲率を持たせた構造とすることにより、上記
CSS時にディスクを傷付け或いはスライダ自らが破損す
る等という事故も良好に防止可能となるのである。

さらに、少なくともトラック部及びそれから延長され
た凸部の周囲には、それらトラック部や凸部よりも高さ
の低い微小領域、換言すれば微小段差部が設けられてい
ることにより、ヨーク加工時及びスライダ切り出し時の
チッピングが許容され、これら加工を容易に出来る特徴
がある。また、磁気記録に重要なトラック部を取り扱い
時等において直接触れることがないため、有効に保護さ
れ、更に従来のコアスライダで必要とされるトレーリン
グ側の面取り加工も不用と為し得たのである。

（実施例） 以下、図面に示される実施例を参照しつつ、本発明を
更に具体的に明らかにすることとする。

先ず、本発明に従う固定磁気ディスク装置用（磁気ヘ
ッド用）コアスライダを得るために、第一及び第二のフ
ェライトブロックが準備される。第一のフェライトブロ
ックはスライダ本体を与え、また第二のフェライトブロ
ックはヨーク部を与えるものである。そして、それらフ
ェライトブロックには、従来からの高透磁率のフェライ
ト材が用いられ、またそれらフェライトブロックは、所
定厚さの長手板状のブロック形状とされ、それらの突合
わせによって、磁気ヘッドのための閉磁路、換言すれば
環状の磁路が構成せしめられる。なお、高透磁率のフェ
ライトブロックとしては、Mn−Znフェライト、Mi−Znフ
ェライト等の単結晶体或いは多結晶体が用いられ、また
単結晶体と多結晶体の複合体も有利に用いられる。ま
た、単結晶体を用いるにあたっては、（100）、（11
0）、（311）、（332）、（611）、（211）等の結晶面
が空気ベアリング面（ディスク摺接面）として有利に選
択される。

そして、かかる選択された第一のフェライトブロック
10及び第二のフェライトブロック12の少なくとも一方の
ブロックに対して、第２図に示されるように、巻線溝14
が形成される。この巻線溝14は、ギャップ対向面のブロ
ック長手方向に少なくとも１条入れられる。この第２図
に示される例では、ギャップバーを２個製造するため、
２条の巻線溝14が入れられており、そしてそれら巻線溝
14、14間の中央の溝16は、ガラス流込み時の空気逃げ溝
として設けられている。次に、それら溝14、16の形成さ
れたフェライトブロック10、12の少なくとも一方のギャ
ップ対向面に、エッチング処理等によって、ギャップ長
に相当する所定の深さのギャップ加工が施される。この
場合のギャップ加工の施される場所は、２条の巻線溝1
4、14に挟まれた領域となる。なお、かかる一対のフェ
ライトブロック10、12の長さは、後のデプス長規制のた
めの研磨の際に、デプス長読取りを容易にするために、
異なる長さとされていることが望ましい。

次いで、かかる巻線溝14が施された一対のフェライト
ブロック10、12は第３図に示される如く、それらのギャ
ップ対向面が突き合わされて、公知の固相反応法による
焼結接合等によって接合一体化せしめられ、またその一
体化された接合体には、その後、その巻線溝14内に、公
知の如く所定のガラスが挿入され、その溶融によってギ
ャップ間隙内にガラスを流し込んで、かかるギャップの
保護が図られる。

また、このようにして得られた二つのフェライトブロ
ック10、12の接合体は、第４図に示されるように、その
中央溝16部分において切断されて二分割され、それぞ
れ、巻線溝14を有する２個のギャップバー18、18とされ
る。

さらに、かくして得られたギャップバー18には、第５
図に示されるように、所定のデプス長:lとなるように、
ディスクが摺接する浮上面側に研磨が施されることとな
る。この際、次工程が空気ベアリング部、トラック部及
び凸部を形成するためのエッチング工程となるところか
ら、レジスト等のマスクの密着性及び均一なサイドエッ
チ量を得るためのフェライトの表面処理が適宜に施され
るのである。

次いで、かかるギャップバー18には、空気ベアリング
部、トラック部、更にその延長上のトラック部より幅広
の凸部を形成するため、第６図に示される如く、そのデ
ィスク摺接面20上に、所定パターンのマスク22が形成さ
れることとなる。このマスク22は、互いに平行な所定幅
の二つの空気ベアリング部とそれら空気ベアリング部の
少なくとも一方の延長上に位置する狭幅のトラック部と
更に該トラック部の延長上に位置する、該トラック部の
幅よりも広いが前記ベアリング部の幅よりは狭い凸部と
に対応する形状のパターンにおいて、第一のフェライト
ブロック10側より第二のフェライトブロック12側に延び
るように付与されるのである。

なお、この所定パターンのマスク22の形成には、スク
リーン印刷等の公知の手法が必要精度と経済性の点から
適宜に選択され、中でも、好適には、パターン精度と工
程の簡便さから、フォトレジストを用いた露光による方
法が採用され、例えば、レジストをディスク摺接面20に
塗布した後、上記した空気ベアリング部、トラック部及
び凸部となるところを残して、他の部分のレジストは除
去し、フェライト面を露出させること等によって、実施
されることとなる。また、かかるマスクには、ポジ型或
いはネガ型のフォトレジストや、真空蒸着、スパッタリ
ング若しくはCVD法等によって形成されたCr等の金属やS
iO若しくはSiO₂等の各種のマスクを使用することが可能
であり、操作性、経済性と併わせて、マスクのフェライ
ト表面への密着性等の点から適宜に選択されることとな
る。

そして、かかる所定パターンのマスク22が付与された
ギャップバー18には、その露出せしめられたフェライト
部分を介して、所定の深さのエッチング処理が施され、
これによって、第７図及び第８図に示される如く、マス
クパターン（22）に対応する凹凸パターンが形成され、
ここに、所定幅の空気ベアリング部24、狭幅のトラック
部26及び該トラック部26よりは幅広で、空気ベアリング
部24よりは幅の狭い凸部28が、所定高さにおいて形成さ
れるのである。なお、かかるエッチング処理は、通常の
電解エッチング或いは化学エッチングにて行なわれるこ
ととなるが、特に有利には、本願出願人が特願昭60−22
2388号において明らかにした、リン酸主体水溶液を用い
た化学エッチング処理にて実施されることとなる。そし
て、このようなエッチング処理によって、空気ベアリン
グ部24、トラック部26、凸部28の周囲には、図示の如く
傾斜面30が形成されることとなるのである。

次いで、このエッチング処理により、ディスク摺接面
20に、空気ベアリング部24、トラック部26、凸部28の設
けられたギャップバー18には、スライダの長さを決める
べく、その幅方向の両端部を切断する加工が施され、例
えば第９図に示される如く、かかるギャップバー18が切
断線32、34にて切断された後、第10図に示されるよう
に、空気ベアリング部24の長手方向のリーディング部
に、空気ベアリング面に対し所定の角度及び所定の長さ
のテーパー部（リーディングランプ）36が形成され、更
にその後、第11図に示される如く、トラック部26及び凸
部28の周りのフェライトブロックが、それらの周りに微
小領域を残して切除せしめられることにより、ヨーク部
38が形成せしめられる。なお、ヨーク部38は、第１図に
示されるヨーク部３と同様なＣ字形状を為している。そ
して、このようなヨーク部38の形成されたギャップバー
18より、第12図に示される如く、二つの空気ベアリング
部24、24が対となるように、切断線40、40によって、ブ
ロック幅方向に平行にギャップバー18を所定の位置にて
切断することにより、第13図に示される、本発明の目的
とする固定磁気ディスク用コアスライダ42の少なくとも
１個が、切り出されることとなるのである。

要するに、第13図に示されるように、ディスク摺接方
向（移動方向）たるスライダ長手方向に延びる互いに平
行な空気ベアリング部24、24を左右に有するスライダ本
体44と、該空気ベアリング部24からトラック部26を介し
て同じ高さで延びる凸部28を有する、該空気ベアリング
部24の幅（即ち、スライダ長手方向に対して垂直なスラ
イダ幅方向における幅）よりも狭いヨーク部38とからな
る形状のコアスライダ42が、かかる凸部28及びトラック
部26の周囲に、更には空気ベアリング部24の周囲にも、
それら凸部28、トラック部26、空気ベアリング部24より
も高さの低い微小領域の段差部46を残しつつ、前記エッ
チング処理の施されたギャップバー18より切り出される
のである。

このように、かかるコアスライダ42は、第14図に拡大
して示されるように、スライダ本体44の空気ベアリング
部24からヨーク部38上に同じ高さで延びる、狭幅のトラ
ック部26を有すると共に、更に該トラック部26から延び
てヨーク部38上に位置する、該トラック部26よりも幅の
広い、しかし空気ベアリング部24よりは幅の狭い凸部28
を、同じ高さにおいて有しているのであり、しかもそれ
ら凸部28、トラック部26、更には空気ベアリング部24の
周りには、高さの低い段差部46が微小領域において形成
されているのであり、これによって、それら突起部、特
に狭幅のトラック部26を前記したCSS時に効果的に保護
し得ることとなったのであり、またスライダ本体44と共
に、磁気ヘッドのための閉磁路を構成するヨーク部38
も、空気ベアリング部24の幅よりも狭くされていること
により、かかるヨーク部38の断面積を小さく為し得て、
そのインダクタンスの増大を抑制せしめ、以て高周波対
応を良好ならしめ、高密度記録を有利と為し得たのであ
る。

そして、このようなコアスライダ42にあっては、空気
ベアリング部24、トラック部26及び凸部28のそれぞれの
表面にて、所定の磁気ディスクに対して摺接せしめられ
る空気ベアリング面が構成されているのであり、また該
空気ベアリング面のうち、空気ベアリング部24上に位置
する部分がリーディング側部分を構成し、更に該トラッ
ク部26上に位置する部分がギャップ位置部分を構成して
いるのであり、更にまた該凸部上に位置する部分がトレ
ーリング側部分を構成している。

なお、かかるスライダ42においては、空気ベアリング
部24のトレーリング側のコーナー部48や、トラック部26
から延びる幅広の凸部28のトレーリング側のコーナー部
50が直角とされておらず、所定の曲率半径を持たせた湾
曲構造とされており、これによって、前述のCSS時にお
けるディスクの損傷やスライダ自らの破損等という事故
が、より一層効果的に防止され得るようになっている。

また、トラック部26と空気ベアリング部24との連結部
52や、トラック部26と凸部28との連結部54において、ト
ラック部26の稜部と空気ベアリング部24の幅方向の稜部
の為す角度を直角と為さず、漸次幅を広げる構造とする
ことが望ましく、これによって、幅の狭いトラック部26
の強度が増大すると共に、磁気ヘッドの性能上、磁束の
絞込み効果が得られるのである。なお、これら連結部5
2、54とトラック部26の延びる方向との為す角度：αと
しては、30°〜60°程度が有効である。尤も、かかる連
結部52、54を湾曲部にて構成し、かかるトラック部26が
曲線的に漸次幅を広げるような構造としても充分効果が
得られるが、本発明にあっては、好ましくは、直線的に
広げることが推奨される。

さらに、トラック部26や空気ベアリング部24、トラッ
ク部延長上の幅の大きな凸部28は、エッチング処理によ
り一括形成される突起部であって、第15図に示される如
く、その側壁は傾斜面30となるが、その側壁とディスク
摺接面の為す角度：βは、45°〜80°、好ましくは60°
〜75°とすることが望ましい。この角度：βが余りにも
大きくなると、エッジの強度が弱くなり、欠け易くなる
という問題を惹起するのであり、また余りにも小さくな
ると、特にトラック部26において問題を生じ、書込み幅
が大きくなり、実効的なトラック幅が大きくなって記録
密度が小さくなるという問題を生じるようになる。

以上、本発明に従う固定磁気ディスク装置用（磁気ヘ
ッド用）コアスライダ及びその製造手法について、その
一例に基づき、詳細に説明してきたが、本発明が、かか
る例示の具体例にのみ限定して解釈されるものでは決し
てなく、本発明の趣旨を逸脱しない限りにおいて、当業
者の知識に基づいて種々なる変更修正、改良等を加えた
形態において実施され得るものであることが、理解され
るべきである。

例えば、上記の具体例においては、磁気ヘッド用コア
の磁気ギャップがトラック部26に位置するように、第一
のフェライトブロック10と第二のフェライトブロック12
の突き合わせによって形成され、それらフェライトブロ
ックの対向するフェライト面にてギャップ長が規定され
るようになっているが、また、そのようなフェライト面
の少なくとも何れか一方に所定厚さの金属磁性性膜を設
けて、かかる磁気ギャップ部に磁性膜を存在せしめるこ
とによって、高保磁力媒体に対して有効な特性を付与し
た複合型磁気ヘッド用コアスライダに対して、本発明を
適用することも可能であり、その場合には、第２図に示
される第一のフェライトブロック10や第二のフェライト
ブロック12の突合わせ面（ギャップ対向面）に対して、
公知の手法に従って、所定の金属磁性膜が所定厚さで形
成せしめられることとなる。また、そのような金属磁性
膜の形成に際しては、それが形成されるフェライト面が
公知の如く波形等の凹凸形状とされる擬似ギャップ対策
を講じることも可能である。そして、そのような金属磁
性膜を磁気ギャップ部に存在せしめる場合にあっては、
エッチング操作において、一般に、そのような金属磁性
膜とフェライトとが同じ速度でエッチングされる条件が
選定され、以て所定のトラック幅がエッチング処理によ
って形成せしめられることとなる。

（発明の効果） 以上の説明から明らかなように、本発明に従う固定磁
気ディスク装置用コアスライダにあっては、トラック部
が空気ベアリング部の延長上に形成されていることによ
って、記録容量上有利であることに加えて、更にトラッ
ク部の延長上のトレーリング側に、かかるトラック部よ
りも幅広の凸部が同じ高さにおいて形成され、しかもそ
れらトラック部や凸部の周囲に微小領域において高さの
低い段差部が設けられることにより、ヨーク加工時及び
スライダ切り出し時のチッピングが許容され、これら加
工を容易に出来る。また、磁気記録に重要なトラック部
を取り扱い時等において直接触れることがないため、有
効に保護され、更に従来のコアスライダで必要とされる
トレーリング側の面取り加工も不要と為し得たのであ
る。

加えて、かかる本発明に従う固定磁気ディスク装置用
コアスライダにおいては、そのヨーク部が空気ベアリン
グ部よりも幅が狭くされているところから、磁路の断面
積、ひいてはインダクタンスの増大が抑制され得て、高
周波対応に有利となり、高密度記録を有利に為し得るの
である。

また、本発明に従うコアスライダの製造手法によれ
ば、空気ベアリング部、トラック部、凸部をエッチング
という手法により一括して且つ高精度な寸法にて加工し
得るところから、かかるコアスライダの製造工数が格段
に低減せしめられ得、以てその製造コストの低減を有利
に図り得ることとなったのである。

さらに、本発明にあっては、トラック部の延長上の該
トラック部より幅広の凸部の形成、またこの凸部及び空
気ベアリング部のコーナー部、更にはトラック部と他の
突起部（空気ベアリング部〜凸部）との連結部を、曲率
を持たせた形状またはテーパー形状にして連結せしめる
ことにより、トラック部の保護やディスクの損傷を防ぐ
ことが可能となると共に、これらの形成がエッチングと
いう手法にて任意に行ない得ることとなったのである。

更にまた、本発明によれば、結晶面の選択とエッチン
グ手法の採用により、空気ベアリング部、トラック部及
びトラック部延長上の凸部の側壁のディスク摺接面に対
して為す角（β）を任意に制御することが可能となり、
これによって、機械的強度とヘッド性能の双方が有利に
得られるのである。本発明では、それらトラック部等の
突起部をエッチング手法にて形成するものであるところ
から、機械加工の如き幅精度、チッピングの制約がな
く、また結晶面の選択により、例えば結晶面として、ギ
ャップ対向面に（100）面、空気ベアリング部面に（11
0）面を選択することによって、65°〜80°の角度のト
ラック形成が可能となるのである。

【図面の簡単な説明】

第１図は、従来の固定磁気ディスク装置用モノリシック
型コアスライダの一例を示す斜視図である。 第２図乃至第12図は、本発明の一実施例に係る各工程の
説明図であって、第２図は、組み合わされる二つのフェ
ライトブロックを示す斜視図、第３図は、それら二つの
フェライトブロックを接合一体化してなる接合体を示す
斜視図、第４図は、そのような接合体を二分割して得ら
れるギャップバーの斜視図、第５図は、研磨加工後のギ
ャップバーを示す側面図、第６図は、所定のマスクパタ
ーンの施されたギャップバーの要部平面図、第７図及び
第８図は、それぞれ、エッチング処理の施されたギャッ
プバーの要部平面図及び要部正面図、第９図は、エッチ
ング処理されたギャップバーの幅方向の両端部の切断位
置を示す要部平面図、第10図は、空気ベアリング部の長
手方向のリーディング部にテーパー部を形成したギャッ
プバーの要部平面図、第11図は、切除によりヨーク部を
形成したギャップバーの要部平面図、第12図は、一つの
コアスライダを切り出すための切断位置を示すギャップ
バーの要部平面図であり、第13図は、上記のようにして
得られた本発明に従うコアスライダの一例を示す平面図
であり、第14図は、そのようなコアスライダにおける要
部拡大部分図であり、第15図は、第14図におけるＡ−Ａ
断面説明図である。 10:第一のフェライトブロック 12:第二のフェライトブロック 14:巻線溝、16:中央溝 18:ギャップバー、20:ディスク摺接面 22:マスク、24:空気ベアリング部 26:トラック部、28:凸部 30:傾斜面、36:テーパー部 38:ヨーク部、42:コアスライダ 44:スライダ本体、46:微小段差部 48、50:コーナー部 52、54:連結部

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 昭54−2110（ＪＰ，Ａ) 特開 昭55−12542（ＪＰ，Ａ) 特開 昭56−105359（ＪＰ，Ａ) 特開 昭62−146412（ＪＰ，Ａ)

Claims (18)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】スライダ本体に設けられた所定高さの互い
   に平行な左右の空気ベアリング部の少なくとも一方の端
   部に、形成されるトラック部の幅よりも広いが、該空気
   ベアリング部の幅よりは狭いヨーク部を一体的に配し
   て、該ヨーク部と前記スライダ本体にて、磁気ヘッドの
   ための閉磁路を構成すると共に、前記空気ベアリング部
   から該ヨーク部上に同じ高さで延びる狭幅のトラック部
   を設け、更に該トラック部より延びて該ヨーク部上に位
   置する、該トラック部よりも幅の広い凸部を、該トラッ
   ク部と同じ高さにおいて設ける一方、少なくとも、かか
   る凸部及びトラック部の周囲に、それら凸部及びトラッ
   ク部よりも高さの低い微小段差部を設けたことを特徴と
   する固定磁気ディスク装置用コアスライダ。
2. 【請求項２】スライダ本体を与える第一のフェライトブ
   ロックとヨーク部を与える第二のフェライトブロックと
   を突き合わせて一体的に接合せしめ、それらフェライト
   ブロックにて磁気ヘッドのための閉磁路を構成してなる
   ギャップバーを作製する工程と、 該ギャップバーの空気ベアリング部形成側の面に対し
   て、互いに平行な所定幅の二つの空気ベアリング部とそ
   れら空気ベアリング部の少なくとも一方の延長上に位置
   する狭幅のトラック部と更に該トラック部の延長上に位
   置する、該トラック部の幅よりも広いが、前記空気ベア
   リング部の幅よりは狭い凸部とに対応する形状のマスク
   パターンを、前記第一のフェライトブロック側より第二
   のフェライトブロック側に延びるように、付与する工程
   と、 前記ギャップバーの少なくとも前記マスクパターンの付
   与された面をエッチングして、該マスクパターンに対応
   した凹凸パターンを形成する工程と、 前記エッチングの施されたギャップバーより、前記互い
   に平行な空気ベアリング部を左右に有するスライダ本体
   と、該空気ベアリング部から前記トラック部を介して同
   じ高さで延びる凸部を有する、該空気ベアリング部の幅
   よりも狭いヨーク部とからなる形状のコアスライダを、
   少なくとも、かかる凸部及びトラック部の周囲に、それ
   ら凸部及びトラック部よりも高さの低い微小段差部を残
   しつつ、切り出す工程とを、 含むことを特徴とする固定磁気ディスク装置用コアスラ
   イダの製造方法。
3. 【請求項３】磁気ディスク装置における磁気ディスクに
   対して、スライダ長手方向に移動せしめられる磁気ヘッ
   ド用コアスライダにして、 該スライダ長手方向に所定の領域に亘って延びる、スラ
   イダ本体から所定高さで突出した空気ベアリング面を有
   するスライダ本体と、 該所定領域内の空気ベアリング面上に形成されると共
   に、前記スライダ長手方向に対して実質的に垂直なスラ
   イダ幅方向に延びる長手の磁気記録用ギャップと、 前記所定領域内において、該長手の磁気記録用ギャップ
   を取り囲み、空気ベアリング面の他の部分の前記スライ
   ダ幅方向における幅より狭い幅を有する空気ベアリング
   面のギャップ位置部分と、 を有することを特徴とする磁気ヘッド用コアスライダ。
4. 【請求項４】前記空気ベアリング面のギャップ位置部分
   が、前記スライダ長手方向において空気ベアリング面の
   リーディング側部分及びトレーリング側部分にて境界さ
   れており、且つそれらリーディング側部分及びトレーリ
   ング側部分が、それぞれ、前記スライダ幅方向において
   該ギャップ位置部分より広い幅を有する請求項（３）記
   載の磁気ヘッド用コアスライダ。
5. 【請求項５】前記トレーリング側部分が、前記スライダ
   本体に設けられたヨーク部上に形成されている請求項
   （４）記載の磁気ヘッド用コアスライダ。
6. 【請求項６】前記リーディング側部分が、前記空気ベア
   リング面の大部分からなる請求項（４）記載の磁気ヘッ
   ド用コアスライダ。
7. 【請求項７】前記リーディング側部分が、前記スライダ
   幅方向において、前記トレーリング側部分より広い幅を
   有する請求項（４）記載の磁気ヘッド用コアスライダ。
8. 【請求項８】前記スライダ本体が、前記空気ベアリング
   面とは異なる、互いに平行な第二の空気ベアリング面を
   有する請求項（３）記載の磁気ヘッド用コアスライダ。
9. 【請求項９】前記長手の磁気記録用ギャップが、前記空
   気ベアリング面のギャップ位置部分を完全に横切って延
   びている請求項（３）記載の磁気ヘッド用コアスライ
   ダ。
10. 【請求項１０】磁気ディスク装置における磁気ディスク
    に対して、スライダ長手方向に移動せしめられる磁気ヘ
    ッド用コアスライダにして、 該スライダ長手方向に所定の領域に亘って延びる、スラ
    イダ本体から所定高さで突出した空気ベアリング面を有
    すると共に、該空気ベアリング面の前記スライダ長手方
    向における中間に位置するギャップ位置部分が、該ギャ
    ップ位置部分を跨ぐリーディング側部分及びトレーリン
    グ側部分より、前記スライダ長手方向に垂直なスライダ
    幅方向において狭い幅とされているスライダ本体と、 前記空気ベアリング面のギャップ位置部分に形成される
    と共に、前記スライダ幅方向に延びる長手の磁気記録用
    ギャップと、 を含む磁気ヘッド用コアスライダ。
11. 【請求項１１】前記長手の磁気記録用ギャップが、前記
    空気ベアリング面のギャップ位置部分を完全に横切って
    延びている請求項（10）記載の磁気ヘッド用のコアスラ
    イダ。
12. 【請求項１２】前記トレーリング側部分が、前記スライ
    ダ幅方向において前記リーディング側部分より狭いヨー
    ク部上に形成されている請求項（10）記載の磁気ヘッド
    用コアスライダ。
13. 【請求項１３】前記リーディング側部分が、前記空気ベ
    アリング面の大部分からなる請求項（12）記載の磁気ヘ
    ッド用コアスライダ。
14. 【請求項１４】前記スライダ本体が、前記空気ベアリン
    グ面とは異なる、互いに平行な第二の空気ベアリング面
    を有する請求項（10）記載の磁気ヘッド用コアスライ
    ダ。
15. 【請求項１５】前記リーディング側部分が、前記スライ
    ダ幅方向において、前記トレーリング側部分より広い幅
    を有する請求項（10）記載の磁気ヘッド用コアスライ
    ダ。
16. 【請求項１６】磁気ヘッド用コアスライダを与える第一
    及び第二のフェライトブロックを突き合わせて、磁気ギ
    ャップを有する閉磁路を構成する工程と、 該磁気ギャップにより分断された該フェライトブロック
    突合せ体の表面に、該表面上の他の領域よりも磁気ギャ
    ップの領域において狭いパターンとされたエッチングマ
    スクを付与する工程と、 かかるフェライトブロック突合せ体の表面をエッチング
    して、前記パターンに対応した凹凸を形成する工程と、 を含むことを特徴とする磁気ディスク装置用磁気ヘッド
    用コアスライダの製造方法。
17. 【請求項１７】前記パターンが、前記磁気ギャップの領
    域を間にして、磁気ディスク移動方向におけるリーディ
    ング側とトレーリング側に位置し、且つ該磁気ギャップ
    の領域より幅の広い二つの領域を有している請求項（1
    6）記載の製造方法。
18. 【請求項１８】前記エッチングマスクのパターンが、前
    記磁気ギャップに平行な方向において、前記表面の他の
    領域より磁気ギャップの領域において幅が狭くされてい
    る請求項（16）記載の製造方法。