JPH1125534A - 光磁気ディスク - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 記録時の出力のマージンを十分確保し、制御
を容易として情報の記録も容易とする。 【解決手段】 同心円状又は渦巻き状の案内溝１を形成
し、その底面をグルーブ部１ｃとし、これら案内溝間の
領域をランド部２とした基板上に光磁気記録膜を形成
し、図中Ｗ₁ で示すグルーブ部１ｃの幅及び図中Ｗ₂ で
示すランド部２の幅を３５０ｎｍ以上とし、上記グルー
ブ部１ｃとランド部２の境界領域となる案内溝１の側壁
１ａ，１ｂを傾斜面とし、その幅を１６０ｎｍ以上とす
る。図中Ｗ₁で示すグルーブ部１ｃの幅及び図中Ｗ₂ で
示すランド部２の幅が５００ｎｍ以下であることが好ま
しい。案内溝１は開口側に向かって幅が徐々に大となさ
れており、上記案内溝１の傾斜面とされる側壁１ａ，１
ｂの案内溝の底面に対する傾斜角が６０゜以上であるこ
とが好ましい。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、光磁気ディスクに
関する。詳しくは、基板の情報記録領域に対応する部分
の形状を規定することにより、記録時の磁界印加手段の
出力のマージンを十分に確保し、記録時の磁界印加手段
の制御を容易として記録を容易とする光磁気ディスクに
係わるものである。

【０００２】

【従来の技術】オーディオ用或いはビデオ用、その他の
各種情報を記録する光記録媒体としては、その記録及び
／又は再生を光を照射することにより行う、光ディス
ク、光カード、光磁気ディスク、相変化型の光記録媒体
等といった、いわゆる再生専用型、書き換え可能型、追
記型の光記録媒体が挙げられる。

【０００３】この中でも、書き換え可能型の光磁気ディ
スクは、以下に示すような構成を有する。すなわち、透
明基板の一主面にトラッキング信号の検出或いは再生信
号のクロストーク抑制のための案内溝が同心円状或いは
渦巻き状に形成されている。そして、この案内溝形成面
上に真空蒸着或いはスパッタ等の手法により窒化珪素，
窒化アルミニウム，酸化珪素，ＺｎＳ等の透明誘電体膜
が形成され、さらに真空蒸着或いはスパッタ等の手法に
よりＴｂＦｅＣｏ，ＧｄＦｅＣｏ，ＤｙＦｅＣｏ，Ｔｂ
ＦｅＣｏＣｒ等のアモルファス希土類遷移金属磁性膜或
いはＰｔＣｏ等の垂直磁化膜といった光磁気記録膜が形
成され、さらにまた上記透明誘電体膜が形成されてい
る。さらには、真空蒸着或いはスパッタ等の手法により
Ａｌ，ＡｌＴｉ，ＡｌＣｒ等のアルミニウムを主とする
金属反射膜が形成され、さらにスピンコート法により紫
外線硬化型樹脂よりなる保護膜が形成されてなる。

【０００４】そして、このような光磁気ディスクにおい
ては、案内溝の底面（以下、グルーブ部と称する。）に
情報信号を記録するグルーブ記録、隣り合う案内溝間の
領域（以下、ランド部と称する。）に情報信号を記録す
るランド記録、或いはグルーブ部とランド部の両者に情
報信号を記録するランドグルーブ記録の３つの方式のう
ちいずれかの方式で情報信号の記録が行われている。

【０００５】上記光磁気ディスクに情報を記録する方法
としては、いわゆる光変調方式と磁界変調方式が挙げら
れるが、磁界変調方式の方がオーバーライト可能である
ことから有利であるとされている。なお、上記磁界変調
方式は、上記光磁気記録膜に対して光学系により光を連
続的に照射するとともに、磁界印加手段により信号に応
じて外部磁界を反転して情報の記録を行うものである。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】ところで、上述のよう
な光磁気ディスクに対して磁界変調方式により情報の記
録を行う場合、当然のことながら、光磁気ディスク上で
光学系を移動させることにより光を光磁気記録膜上で移
動させ、外部磁界を印加する磁界印加手段をこれに追従
するように移動させるようにしている。このとき、例え
ばランドグルーブ記録においては、上記光学系は基板の
案内溝に沿って移動し、グルーブ部及びランド部に光を
照射し、磁界印加手段はこれに追従して移動して外部磁
界を印加し、グルーブ部及びランド部に記録マークを形
成して情報の記録を行う。

【０００７】すなわち、光学系より光が照射されて第１
のスポットが形成され、当該第１のスポットに外部磁界
が印加されて所定の向きの磁界が書き込まれた後、上記
第１のスポットに若干重なるように第２のスポットが形
成され、同様に所定の向きの磁界が書き込まれると、上
記の重なった部分で磁界印加時にキュリー点以上の温度
となった領域は第２のスポットに対応した磁界に書き直
されることとなり、光学系の進行方向である光磁気ディ
スクの周方向においては、重ね書きされる領域の端部に
より各記録マーク毎に境界が確実に定められる。

【０００８】また、上記のようにして記録を行った場
合、光磁気ディスクの径方向においては、磁界印加時に
キュリー点以上の温度となっている領域の中で磁界が印
加されている領域において磁界が書き直されることとな
り、記録マーク毎の径方向における境界は、磁界を印加
する記録時における磁界印加手段の出力の大きさによっ
て決定されることとなる。

【０００９】このとき、記録マーク毎の径方向における
境界は、十分なジッターが得られること、完全にオーバ
ーライトできること、記録マークが隣接する情報記録領
域にはみだして形成されないようにすることから、以下
に示すような領域に形成されるべきである。すなわち、
例えばランドグルーブ記録においては、所定のグルーブ
部の端部から隣接するランド部の端部までに形成される
必要がある。

【００１０】従って、記録マーク毎の径方向の境界が上
記のような領域に形成されるように、記録時における磁
界印加手段の出力の大きさを所定のマージン内に制御す
る必要がある。このとき、出力のマージンが狭いと制御
が困難であり、情報の記録が困難となってしまう。そこ
で、上記出力のマージンは、±１０％程度とされるのが
実用的であるとされている。

【００１１】そこで、本発明は、上述の実情に鑑みて提
案されるものであって、記録時の出力のマージンを十分
確保することが可能であり、制御が容易で情報の記録も
容易な光磁気ディスクを提供しようとするものである。

【００１２】

【課題を解決するための手段】上述の課題を解決するた
め、本発明に係る光磁気ディスクは、同心円状又は渦巻
き状の案内溝が形成され、その底面がグルーブ部とされ
るとともに、これら案内溝間の領域がランド部とされて
なる基板上に光磁気記録膜が形成され、上記グルーブ部
及びランド部に開口数０．８以上の光学系を用いた磁界
変調記録により情報の記録が行われて、情報記録領域と
される光磁気ディスクにおいて、上記情報記録領域に対
応するグルーブ部及びランド部の幅が３５０ｎｍ以上で
あり、上記グルーブ部とランド部の境界領域となる案内
溝の側壁が傾斜面とされ、当該傾斜面の幅が１６０ｎｍ
以上であることを特徴とするものである。

【００１３】なお、上記本発明の光磁気ディスクにおい
ては、上記情報記録領域に対応するグルーブ部及びラン
ド部の幅が５００ｎｍ以下であることが好ましい。

【００１４】また、上記本発明の光磁気ディスクにおい
ては、上記案内溝は開口側に向かって幅が徐々に大とな
されており、上記案内溝の傾斜面とされる側壁の案内溝
の底面に対する傾斜角が６０゜以上であることが好まし
い。

【００１５】本発明の光磁気ディスクにおいては、同心
円状又は渦巻き状の案内溝が形成され、その底面がグル
ーブ部とされるとともに、これら案内溝間の領域がラン
ド部とされてなる基板上に光磁気記録膜が形成されてお
り、情報記録領域に対応するグルーブ部及びランド部の
幅が３５０ｎｍ以上であり、上記グルーブ部とランド部
の境界領域となる案内溝の側壁が傾斜面とされ、当該傾
斜面の幅が１６０ｎｍ以上とされていることから、ＮＡ
０．８以上の光学系を用いた磁界変調方式により情報の
記録を行った場合において、記録時の磁界印加手段の出
力のマージンが十分確保される。

【００１６】また、上記本発明の光磁気ディスクにおい
て、上記情報記録領域に対応するグルーブ部及びランド
部の幅を５００ｎｍ以下とすれば、光磁気ディスクの記
録容量として８ギガバイト程度が確保され、高記録容量
化される。

【００１７】さらに、上記本発明の光磁気ディスクにお
いて、上記案内溝が開口側に向かって幅が徐々に大とな
されており、上記案内溝の傾斜面とされる側壁の案内溝
の底面に対する傾斜角が６０゜以上とされていれば、案
内溝の径方向のピッチが高まり、高記録密度化される。

【００１８】

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を図面
を参照しながら説明する。

【００１９】本発明に係る光磁気ディスクは、トラッキ
ング信号の検出或いは再生信号のクロストーク抑制のた
めに形成されるものであり、図１に示すような側壁１
ａ，１ｂが底面１ｃに対して傾斜しており、開口側に向
かって幅が徐々に大となされる断面略コ字状の案内溝１
が一主面上に同心円状又は渦巻き状に形成された透明基
板上に光磁気記録膜及び反射膜が形成されてなるもので
ある。

【００２０】このとき、透明基板の案内溝形成面上に真
空蒸着或いはスパッタ等の手法により窒化珪素，窒化ア
ルミニウム，酸化珪素，ＺｎＳ等の透明誘電体膜が形成
され、この上に真空蒸着或いはスパッタ等の手法により
ＴｂＦｅＣｏ，ＧｄＦｅＣｏ，ＤｙＦｅＣｏ，ＴｂＦｅ
ＣｏＣｒ等のアモルファス希土類遷移金属磁性膜或いは
ＰｔＣｏ等の垂直磁化膜といった上記光磁気記録膜が形
成され、さらにまた上記透明誘電体膜が積層形成される
ことが好ましい。さらにまた、この上に真空蒸着或いは
スパッタ等の手法によりＡｌ，ＡｌＴｉ，ＡｌＣｒ等の
アルミニウムを主とする金属反射膜が形成され、さらに
スピンコート法により紫外線硬化型樹脂よりなる保護膜
が形成されることが好ましい。

【００２１】そして、上記光磁気記録膜中の基板の案内
溝１の底面１ｃ（以下、グルーブ部１ｃと称する。）及
び径方向に隣り合う案内溝間の領域（以下、ランド部２
と称する。）に対応する領域に対して、開口数が０．８
以上の光学系により光が連続的に照射されるとともに信
号に応じて外部磁界が反転されることにより（磁界変調
記録により）情報の記録が行われて情報記録領域とされ
るものである。

【００２２】このとき、上記光磁気ディスクにおいては
特に、情報記録領域に対応する基板のグルーブ部１ｃ及
びランド部２の幅が３５０ｎｍ以上，５００ｎｍ以下と
されている。言い換えれば、いわゆるランドグルーブ記
録の場合には図１中Ｗ₁ 及びＷ₂ で示されるグルーブ部
１ｃ及びランド部２の幅が３５０ｎｍ以上，５００ｎｍ
以下とされていれば良い。

【００２３】さらに、上記光磁気ディスクにおいては、
図中Ｗ₃ で示す上記グルーブ部１ｃとランド部２の境界
領域となる案内溝の側壁１ａ，１ｂの幅が１６０ｎｍ以
上とされている。

【００２４】なお、このとき、上記光磁気ディスクにお
いては、図２に模式的に示すように、案内溝１の側壁１
ａ，１ｂのグルーブ部１ｃに対する傾斜角θが６０゜以
上とされている。ただし、上記案内溝１は、その幅が開
口側に向かって徐々に大きくなるものであることから、
上記傾斜角θは９０゜未満となされることが好ましい。

【００２５】上記本発明を適用した光磁気ディスクにお
いては、情報記録領域に対応する基板のグルーブ部１ｃ
及びランド部２の幅が３５０ｎｍ以上とされ、上記案内
溝１の側壁１ａ，１ｂの幅が１６０ｎｍ以上とされてい
ることから、磁界変調方式により情報の記録を行った場
合において、記録時の磁界印加手段の出力のマージンが
十分確保され、記録時の磁界印加手段の制御が容易で情
報の記録も容易となる。そしてこのとき、上記光磁気デ
ィスクにおいては、情報記録領域に対応するグルーブ部
及びランド部２の幅が５００ｎｍ以下とされていること
から、光磁気ディスクの記録容量として８ギガバイト程
度が確保され、高記録容量化される。

【００２６】さらに、上記本発明を適用した光磁気ディ
スクにおいては、上記案内溝１の側壁１ａ，１ｂのグル
ーブ１ｃに対する傾斜角θを６０゜以上としていること
から、案内溝１の径方向のピッチが高まり、高記録密度
化されて高記録容量化される。

【００２７】

【実施例】続いて、本発明の効果を確認するべく、以下
に示すような実験を行った。

【００２８】先ず、一主面側に側壁が底面に対して傾斜
しており、開口側に向かって幅が徐々に大となされる断
面略コ字状の案内溝が同心円状又は渦巻き状に形成され
ており、案内溝のグルーブ部及びランド部の幅が４００
ｎｍとされ、案内溝の側壁の幅が１８０ｎｍとされてお
り、案内溝の側壁のグルーブ部に対する傾斜角が６０゜
とされている透明基板と、案内溝の側壁の幅が９０ｎｍ
とされる以外は同様の透明基板を用意し、これらを用い
て光磁気記録膜及び反射膜を形成して光磁気ディスクを
用意した。

【００２９】そして、これらの光磁気ディスクに対し、
開口数が０．８、波長が６３５ｎｍの光学系を使用して
磁界印加手段の磁界印加の際の記録出力を変更しなが
ら、０．２２μｍ／ｂｉｔのランダム信号をグルーブ記
録により案内溝に対応する１トラックにのみ記録して、
そのジッターを調査した。案内溝の側壁の幅が１８０ｎ
ｍとされている光磁気ディスクの結果を図３中に△で、
案内溝の側壁の幅が９０ｎｍとされている光磁気ディス
クの結果を図４中に△で示す。なお、図３及び図４とも
に、縦軸がジッターの値を示し、横軸が磁界印加手段の
記録出力を示す。

【００３０】さらに、上記各光磁気ディスクに対し、同
様の方法で１トラックに対して２回記録（オーバーライ
ト）して、そのジッターを調査した。案内溝の側壁の幅
が１８０ｎｍとされている光磁気ディスクの結果を図３
中に□で併せて示し、案内溝の側壁の幅が９０ｎｍとさ
れている光磁気ディスクの結果を図４中に□で併せて示
す。

【００３１】さらにまた、上記各光磁気ディスクに対
し、同様の方法で所定の１トラックに記録した後、ラン
ド記録により上記案内溝の両隣となるランド部に対応す
るトラックにも同様にして記録を行い、案内溝に対応す
る１トラックにおけるジッターを調査した。案内溝の側
壁の幅が１８０ｎｍとされている光磁気ディスクの結果
を図３中に○で併せて示し、案内溝の側壁の幅が９０ｎ
ｍとされている光磁気ディスクの結果を図４中に○で併
せて示す。

【００３２】図３及び図４中△で示されるグルーブ記録
により１トラックのみに記録した場合のジッターを初期
値として考えた場合、図３及び図４中□で示される１ト
ラックにオーバーライトする場合、図３及び図４中○で
示される所定の１トラックの両隣にも記録する場合にお
ける磁界印加手段の記録出力は、上記初期値とほぼ同等
の結果が得られる範囲とされる必要があり、この範囲が
記録出力のマージンとなる。

【００３３】すなわち、図３及び図４の結果から、案内
溝の側壁の幅が１８０ｎｍとされている光磁気ディスク
における記録出力のマージンは±２０％、案内溝の側壁
の幅が９０ｎｍとされている光磁気ディスクにおける記
録出力のマージンは±８％と見積もられ、この記録出力
のマージンは、案内溝の側壁の幅に大きく影響されるこ
とが確認された。

【００３４】次に、記録領域となるグルーブ部の幅と案
内溝の側壁の幅を変化させて種々の透明基板を形成し、
これらに光磁気記録膜と反射膜を形成し、光磁気ディス
クを形成し、上述と同様にして記録出力のマージンを調
査したところ、記録領域となるグルーブ部の幅も記録出
力マージンに大きく影響することが確認された。なお、
上記記録出力のマージンは±１０％が実用的である。そ
こで、記録出力のマージンが±１０％となるようなグル
ーブ部の幅と案内溝の側壁の幅の組合わせを図５に示
す。図５中横軸はグルーブ部の幅を示し、図５中縦軸は
案内溝の側壁の幅を示す。

【００３５】ところで、グルーブ部の幅を狭くしていく
と、再生信号量が低下していくことが予想される。そこ
で、案内溝の側壁の幅を一定とし、グルーブ部の幅を変
化させて、透明基板を用意し、これに光磁気記録膜と反
射膜を形成して光磁気ディスクとし、前述と同様にして
１トラックに記録を行った場合のジッターを調査した。
結果を図６に示す。図６中横軸はグルーブ部の幅を示
し、縦軸はジッターを示す。図６の結果から、グルーブ
部の幅が小さくなると、再生信号量の低下やクロストー
クの上昇などの理由から、ジッターが低下しているのが
わかる。実用的なジッターの範囲は８％以下であり、こ
れを考慮すると、グルーブ部の幅は３００ｎｍ以上とさ
れることが好ましいことが確認された。

【００３６】すなわち、このことと、図５の結果から、
グルーブ部の幅を３００ｎｍ以上としたときに案内溝の
側壁の幅を１６０ｎｍ以上とすれば、実用的なジッター
が確保されるとともに、記録出力のマージンとして±１
０％を確保することが可能であることが確認された。

【００３７】

【発明の効果】以上の説明からも明らかなように、本発
明の光磁気ディスクにおいては、同心円状又は渦巻き状
の案内溝が形成され、その底面がグルーブ部とされると
ともに、これら案内溝間の領域がランド部とされてなる
基板上に光磁気記録膜が形成されており、情報記録領域
に対応するグルーブ部及びランド部の幅が３５０ｎｍ以
上であり、上記グルーブ部とランド部の境界領域となる
案内溝の側壁が傾斜面とされ、当該傾斜面の幅が１６０
ｎｍ以上とされていることから、ＮＡ０．８以上の光学
系を用いた磁界変調方式により情報の記録を行った場合
において、記録時の磁界印加手段の出力のマージンが十
分確保され、記録時の磁界印加手段の制御が容易とされ
て記録が容易に行われる。

【００３８】また、上記本発明の光磁気ディスクにおい
て、上記情報記録領域に対応するグルーブ部はランド部
の幅を５００ｎｍ以下とすれば、光磁気ディスクの記録
容量として８ギガバイト程度が確保され、高記録容量化
され、高記録容量化される。

【００３９】さらに、上記本発明の光磁気ディスクにお
いて、上記案内溝が開口側に向かって幅が徐々に大とな
されており、上記案内溝の傾斜面とされる側壁の案内溝
の底面に対する傾斜角が６０゜以上とされていれば、案
内溝の径方向のピッチが高まり、高記録密度化されて高
記録容量化される。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係る光磁気ディスクの案内溝近傍を示
す要部拡大斜視図である。

【図２】本発明に係る光磁気ディスクの案内溝近傍を示
す模式図である。

【図３】記録出力とジッターの関係の一例を示す特性図
である。

【図４】記録出力とジッターの関係の他の例を示す特性
図である。

【図５】グルーブ部の幅と案内溝の側壁の幅の関係を示
す特性図である。

【図６】グルーブ部の幅とジッターの関係を示す特性図
である。

【符号の説明】

１ 案内溝、１ａ，１ｂ 側壁、１ｃ グルーブ部、２
ランド部

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 同心円状又は渦巻き状の案内溝が形成さ
   れ、その底面がグルーブ部とされるとともに、これら案
   内溝間の領域がランド部とされてなる基板上に光磁気記
   録膜が形成され、 上記グルーブ部及びランド部に開口数０．８以上の光学
   系を用いた磁界変調記録により情報の記録が行われる光
   磁気ディスクにおいて、 上記グルーブ部及びランド部の幅が３５０ｎｍ以上であ
   り、 上記グルーブ部とランド部の境界領域となる案内溝の側
   壁が傾斜面とされ、当該傾斜面の幅が１６０ｎｍ以上で
   あることを特徴とする光磁気ディスク。
2. 【請求項２】 上記グルーブ部及びランド部の幅が５０
   ０ｎｍ以下であることを特徴とする請求項１記載の光磁
   気ディスク。
3. 【請求項３】 上記案内溝は開口側に向かって幅が徐々
   に大となされており、上記案内溝の傾斜面とされる側壁
   の案内溝の底面に対する傾斜角が６０゜以上であること
   を特徴とする請求項１記載の光磁気ディスク。