JPH11267964A - 平面研磨装置及びそれに用いるキャリヤ - Google Patents

平面研磨装置及びそれに用いるキャリヤ

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JPH11267964A
JPH11267964A JP9236398A JP9236398A JPH11267964A JP H11267964 A JPH11267964 A JP H11267964A JP 9236398 A JP9236398 A JP 9236398A JP 9236398 A JP9236398 A JP 9236398A JP H11267964 A JPH11267964 A JP H11267964A
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  • Grinding Of Cylindrical And Plane Surfaces (AREA)
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  • Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【課題】 研磨が終わったワークを外周チャックにより
キャリヤのワーク保持穴から取り出すことができるよう
にする。３昇降機構を得る。 【解決手段】 平面研磨装置に、複数の爪部材１１でワ
ークＷを外周チャックするチャック手段１０を設けると
共に、キャリヤ７におけるワーク保持穴９の穴縁に、上
記チャック手段１０の爪部材１１を挿入可能な複数の切
欠１７を設け、該切欠１７の位置でワーク保持穴９内の
研磨済ワークＷを外周チャックして取り出す。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、半導体ウエハや磁
気ディスク基板のようなディスク形をしたワークを研磨
するための平面研磨装置と、それに使用するワーク保持
用のキャリヤに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】ラッピングマシンやポリッシングマシン
等の平面研磨装置は、同心状に位置する太陽歯車と内歯
歯車及び上下の定盤を備え、両歯車に噛合して遊星運動
するキャリヤに保持させたワークの両面を上下の定盤で
研磨加工するものである。
【０００３】このような平面研磨装置においては、一般
に、研磨が終了したワークをキャリヤのワーク保持穴か
ら取り出す場合、バキュームチャック式のチャック手段
により吸着して取り出すようにしていた。
【０００４】ところが、このようなバキュームチャック
による方法は、研磨したワークの表面に染みや汚れを生
じさせることが多く、これが原因でワークの品質低下を
来し易かった。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】本発明の技術的課題
は、研磨したワークを表面に染みや汚れを生じさせるこ
とキャリヤのワーク保持穴から取り出すための手段を提
供することにある。
【０００６】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するた
め、本発明によれば、中央に位置する太陽歯車と、該太
陽歯車を取り囲んで位置する内歯歯車と、これらの両歯
車に噛合して太陽歯車の回りを遊星運動するワーク保持
用のキャリヤと、該キャリヤのワーク保持穴内に保持さ
れたワークを両側から挟んで研磨する上下の定盤と、研
磨が終わったワークを上記キャリヤのワーク保持穴から
取り出すためのチャック手段とを備え、上記チャック手
段が、ワークの外周をチャックするための開閉自在の複
数の爪部材を備えると共に、上記キャリヤが、ワーク保
持穴の穴縁に、上記チャック手段の爪部材を挿入してワ
ーク外周に係止させるための複数の切欠を備えているこ
とを特徴とする平面研磨装置が提供される。
【０００７】また、本発明によれば、平面研磨装置にお
ける太陽歯車及び内歯歯車に噛合するギヤ部と、研磨す
べきワークを収容するためのワーク保持穴とを備え、該
ワーク保持穴の穴縁に、ワークを外周チャックするチャ
ック手段における複数の爪部材を挿入するための複数の
切欠を備えていることを特徴とするキャリヤが提供され
る。
【０００８】本発明によれば、キャリヤにおけるワーク
保持穴の穴縁にチャック手段の爪部材を挿入可能な複数
の切欠を形成し、この切欠を利用してワークを外周チャ
ックして取り出すようにしたので、研磨したワークを、
表面にバキュームチャックする場合のような染みや汚れ
を付着させることなく取り出すことができる。
【０００９】
【発明の実施の形態】図１は本発明の平面研磨装置の一
例を示すもので、１は機体、２は該機体１上に回転自在
に配設された下定盤、３は該下定盤２の上方に図示しな
いエアシリンダにより昇降自在に支持された回転自在の
上定盤、４は上記下定盤２の中央部に回転自在に配設さ
れた太陽歯車、５は下定盤２を取り囲む位置に回転自在
に配設された内歯歯車であって、これらの両定盤２，３
及び両歯車４，５は、図示しないモータに伝動機構を介
して連結され、所要の方向に所要の速度で駆動回転され
るようになっている。
【００１０】上記下定盤２上には、研磨すべきワークＷ
を保持する複数のキャリヤ７が等間隔で配設されてい
る。このキャリヤ７は、図２及び図３からも分かるよう
に、外周のギヤ部８が上記両歯車４，５に噛合し、これ
ら両歯車４，５の回転により自転しながら太陽歯車４の
回りを公転するいわゆる遊星運動を行うもので、ディス
ク形のワークＷを保持する１つ又は複数の円形のワーク
保持穴９を有し、該ワーク保持穴９内に保持したワーク
Ｗを上下の定盤２，３により研磨加工するものである。
上下の定盤２，３の表面には研磨パッド６が貼り付けら
れている。
【００１１】上記機体１の下定盤２に隣接する位置に
は、研磨が終了したワークＷをキャリヤ７のワーク保持
穴９から取り出すためのチャック手段１０が設けられて
いる。このチャック手段１０は、複数（図示の例では３
つ）の爪部材１１によってワークＷの外周をチャックす
るもので、支持機構１３により昇降自在且つ旋回自在に
支持されたチャックアーム１４の先端にチャックヘッド
１５が設けられ、このチャックヘッド１５に上記爪部材
１１が、エアシリンダ等のアクチュエータによって開閉
自在なるように取り付けられている。
【００１２】上記各爪部材１１の下端部１１ａは内側に
向けて尖っていて、この下端部１１ａが研磨パッド６を
若干圧縮してワークＷの下に潜り込み、該ワークＷに係
止するようになっている。
【００１３】なお、図１では上記チャック手段１０がワ
ークＷのチャック位置に移動している状態が示されてい
るが、上定盤３が下降して研磨が行われる時は、このチ
ャック手段１０のチャックアーム１４が作業の邪魔にな
らない位置に旋回することは当然である。
【００１４】一方、上記キャリヤ７における各ワーク保
持穴９の穴縁には、上記チャック手段１０の爪部材１１
を挿入するための複数の切欠１７が設けられ、これらの
切欠１７の位置で上記爪部材１１がワークＷを外周チャ
ックするように構成されている。上記切欠１７は、各ワ
ーク保持穴９に相互に同じ位置関係にあるように形成さ
れている。
【００１５】上記チャック手段１０は、各キャリヤ７に
対応する位置に１つずつ設けられ、ワークＷを取り出す
ときは、太陽歯車４及び内歯歯車５によりキャリヤ７を
その位置で一定角度ずつ間欠的に自転のみさせながら、
チャック手段１０に対応する取出位置に旋回してきたワ
ークＷをワーク保持穴９から順次取り出すようになって
いる。
【００１６】上記構成を有する平面研磨装置において、
各キャリヤ７のワーク保持穴９内に保持された未加工ワ
ークの研磨は、公知の平面研磨装置と同様にして行われ
る。即ち、図示しない適宜のローディング手段によって
各キャリヤ７のワーク保持穴９内に未加工ワークＷが供
給されると、上定盤３が図１の位置から下降すると共
に、両歯車４，５及び両定盤２，３が回転し、太陽歯車
４の回りを遊星運動するキャリヤ７に保持されたワーク
Ｗの上下両面が上下の定盤２，３により研磨加工され
る。
【００１７】研磨が終了すると、上記両歯車４，５及び
両定盤２，３が停止し、図１に示すように、上定盤３が
待機位置に上昇すると共に、チャック手段１０がチャッ
ク位置に旋回し、加工済ワークＷを各キャリヤ７から取
り出す。このとき、太陽歯車４及び内歯歯車５の回転数
及び回転方向を制御することによってキャリヤ７をその
位置で一定角度ずつ間欠的に自転させることにより、取
出位置に旋回してきたワークＷをワーク保持穴９から順
次取り出すようにする。
【００１８】上記ワークＷの取り出しは、図３に示すよ
うに、各爪部材１１を切欠１７内に挿入して、その先端
部１１ａをワークＷの下側に潜り込ませることにより外
周に係止させ、その状態で該ワークＷを持ち上げること
により行う。このとき、上記爪部材１１を通じて又は別
に設けた他のノズル等を通じてワーク保持穴９内に純水
等の液体を充満させ、この液体でワークＷを浮上させる
ようにすれば、各爪部材１１でワークＷの外周に簡単に
チャックすることができる。
【００１９】かくして、キャリヤ７におけるワーク保持
穴９の穴縁に切欠１７を設けるという簡単な手段を施す
だけで、加工が終了したワークを、その表面にバキュー
ムチャックする場合のような吸着痕を設けることなくキ
ャリヤ７から取り出すことができる。
【００２０】図示した実施例では、キャリヤ７と同数の
チャック手段１０を各キャリヤ７に対応する位置に設け
ているが、１つのチャック手段１０だけを設け、キャリ
ヤ７をその位置に順次移動させながらワークＷを取り出
すようにしても良い。また、３つのワーク保持穴を有す
るキャリヤについて説明したが、ワーク保持穴の数は１
つであっても良く、あるいは２つであっても４つ以上で
あっても良いことは勿論である。
【００２１】なお、上記チャック手段１０は、上述した
ように加工済ワークを取り出すためのアンローデング手
段としてだけでなく、未加工ワークをキャリヤ７に供給
するためのローディング手段としても使用することがで
きる。しかし、研磨する前のワークには吸着痕が付いて
も特に問題はないため、バキュームチャック式のローデ
ィング手段を別に設けても良い。
【００２２】
【発明の効果】このように本発明によれば、キャリヤに
おける各ワーク保持穴の穴縁に切欠を設けるという簡単
な手段を施すだけで、加工済ワークを、その表面にバキ
ュームチャックする場合のような吸着痕を付けることな
くキャリヤから取り出すことができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に係る平面研磨装置の位置実施例を示す
断面図である。
【図２】キャリヤの平面図である。
【図３】ワークの取り出し状態における図１の要部拡大
図である。
【符号の説明】
２ 下定盤 ３ 上定盤 ４ 太陽歯車 ５ 内歯歯車 ７ キャリヤ ９ ワーク保持穴 １０ チャック手段 １１ 爪部材 １７ 切欠

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】中央に位置する太陽歯車と、該太陽歯車を
    取り囲んで位置する内歯歯車と、これらの両歯車に噛合
    して太陽歯車の回りを遊星運動するワーク保持用のキャ
    リヤと、該キャリヤのワーク保持穴内に保持されたワー
    クを両側から挟んで研磨する上下の定盤と、研磨が終わ
    ったワークを上記キャリヤのワーク保持穴から取り出す
    ためのチャック手段とを備え、 上記チャック手段が、ワークの外周をチャックするため
    の開閉自在の複数の爪部材を備えると共に、上記キャリ
    ヤが、ワーク保持穴の穴縁に、上記チャック手段の爪部
    材を挿入してワーク外周に係止させるための複数の切欠
    を備えている、ことを特徴とする平面研磨装置。
  2. 【請求項２】平面研磨装置における太陽歯車及び内歯歯
    車に噛合するギヤ部と、研磨すべきワークを収容するた
    めのワーク保持穴とを備え、該ワーク保持穴の穴縁に、
    ワークの外周をチャックする複数の爪部材を備えたチャ
    ック手段における上記爪部材を挿入するための複数の切
    欠を備えていることを特徴とするキャリヤ。
JP9236398A 1998-03-20 1998-03-20 平面研磨装置及びそれに用いるキャリヤ Withdrawn JPH11267964A (ja)

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