JPH11268251A - 印刷用マスク版の洗浄方法及び洗浄装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 印刷物が付着・堆積したマスク版のマスク部
に何等の損傷を与えることなく、マスク部の表面、裏面
や開口部に付着・堆積した印刷物（ソルダーペースト）
を洗浄除去する方法及び装置を提供する。 【解決手段】 印刷物が付着・堆積したマスク版に、モ
ース硬度１．０〜４．０の微粒子からなる洗浄材を、異
形噴射ノズルあるいは異形複合噴射ノズルより噴射し
て、マスク部に高速吹付け処理する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、印刷物が付着・堆
積したマスク版の洗浄方法、特に電子部品実装における
ソルダーペースト印刷用マスク版や、電子部品製造にお
けるシャドウマスク版等の洗浄に関する。

【０００２】

【従来の技術】プリント配線板への電子部品の実装に当
たっては、印刷用マスク版を使用して多数のプリント配
線板へソルダーペースト印刷を繰り返し行うが、その際
マスク部の開口部壁にソルダーペーストの一部が付着・
堆積して開口部の一部または全部を閉塞して、ソルダー
ペースト印刷の不良を引き起こす。このような多数刷り
を行うに当たっては、印刷不具合を起こす前に、ソルダ
ーペーストが一部付着・堆積したマスク版を印刷機より
取り外し、マスク部の表面や裏面のみならず、その開口
部に付着・堆積したソルダーペーストを洗浄・除去して
印刷用マスク版を再利用している。

【０００３】従来、印刷用マスク版の洗浄は、ソルダー
ペーストのフラックスを溶解するアルコール系、グリコ
ールエーテル系、またはケトン系等の有機溶剤からなる
洗浄液中に印刷用マスク版を浸漬し、超音波洗浄した
り、あるいは洗浄液を印刷用マスク版にスプレー洗浄し
た後、液切りして、乾燥していた。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
方法では洗浄液は、使用中に大気中に蒸発して、臭気や
作業者の健康に有害となるものが多く、局所排気を実施
しても手作業であるために作業環境上好ましくなかっ
た。また、洗浄液切りや、乾燥工程は、手作業をも必要
とし、かつ、作業時間がかかった。さらに、マスク部は
スクリーン張りの支持枠に接着剤で固定して、印刷用マ
スク版を製造するが、使用する接着剤によっては、洗浄
液で膨潤したり、溶解・剥離してしまうことがある。す
なわち、このような洗浄剤で印刷用マスク版を洗浄すれ
ば、マスク部固定用接着剤の使用が著しく限定される状
況にあった。

【０００５】一方、ブラスト加工は、各種製品、部品、
部材の表面形態や状態を変えて機能を発揮させる用途に
積極的に使用されてきた。たとえば、金属表面のスケー
ル剥離や錆落とし、金属製品やプラスチック製品のバリ
取り加工、塗装や接着などの下地処理（梨地加工）、シ
ョットピーニング等に使用されている。

【０００６】本発明者等は、有機溶剤を使用する前記問
題点を解決し、ブラスト加工を応用し印刷用マスク版の
マスク部に何等の損傷を与えることなく、マスク部の表
面、裏面、開口部に付着・堆積したソルダーペーストを
剥離・除去する洗浄方法を提供することを目的に鋭意検
討を重ねた結果、本発明を完成するに至った。

【０００７】

【課題を解決するための手段】本発明は、印刷物が付着
・堆積したマスク版に、モース硬度１．０〜４．０の微
粒子からなる洗浄材をマスク部の両面に高速吹付け処理
し、付着・堆積物を除去することを特徴とする印刷用マ
スク版の洗浄方法にある。

【０００８】さらに本発明は、印刷物が付着・堆積した
マスク版に、モース硬度１．０〜４．０の微粒子からな
る洗浄材をマスク部の両面に高速吹付け処理し、付着・
堆積物を除去した後、水洗することを特徴とする印刷用
マスク版の洗浄方法にある。

【０００９】また本発明は、印刷物が付着・堆積したマ
スク版を、モース硬度１．０〜４．０の微粒子からなる
洗浄材をマスク部に高速吹付け処理して付着・堆積物を
洗浄除去する装置であって、圧縮空気式洗浄材吸引型ブ
ラスト装置の洗浄材吸引ユニットに、走査方向に対して
垂直方向に長軸を持つ異形噴射口を有し、該噴射口断面
積の圧縮空気管断面積に対する比が１〜１０の異形噴射
ノズルを連結してなることを特徴とする印刷用マスク版
の洗浄装置にある。

【００１０】またさらに本発明は、上記装置において異
形噴射ノズル噴射口の外周部に流体吐出口を設けた複合
噴射ノズルとしたことを特徴とする印刷用マスク版の洗
浄装置にある。

【００１１】

【発明の実施の形態】本発明において、「洗浄材」と
は、マスク部に付着・堆積した印刷物をマスク部に何等
の損傷を与えることなく洗浄・除去する固体物質を意味
するものとする。また、「マスク部」は、図１に示すよ
うに、印刷パターンを有するシート材料からなり、金属
材料からなるメタルマスク、金属材料及びポリマー材料
の複合シート材料からなる金属／プラスチックハイブリ
ッドマスクなどがある。

【００１２】以下、本発明を図面を参照しながら説明す
る。図１は、印刷用マスク版の平面模式図である。該版
は、アルミ製パイプまたは鋳鉄製支持枠９に張ったスク
リーン８に、マスク１を接着剤でスクリーン８に接着し
た接着部７から構成されており、ソルダーペースト印刷
に供する。

【００１３】図２は、ソルダーペースト印刷に使用し
て、洗浄を必要とする印刷マスク版のマスク部１の拡大
平面模式図を示したものである。開口部４、特に開口形
状の細かい開口部４１の壁面や、コーナー部にソルダー
ペースト５２が残存しており、また、マスク部表面１Ａ
の周辺部に付着・堆積した余剰ソルダーペースト５３や
ソルダーペースト中のフラックス５４が油膜状に付着し
ている状態を示す。図３（ａ）は、図２のＸ−Ｘ切断断
面図であって、マスク部の裏面１Ｂに裏回りしたソルダ
ーペースト５１が開口部周辺に付着した状態を示してい
る。

【００１４】本発明を実施するに当たっては、まず、ソ
ルダーペーストが付着・堆積した印刷マスク版に洗浄材
を高速吹付けする。洗浄材の高速吹付けに先立ってソル
ダーペーストが付着・堆積しているマスク版を温度７０
℃以下の熱風乾燥機で乾燥して、付着・堆積ソルダーペ
ースト中の低沸点希釈剤等を除去して置くことが好まし
い。ソルダーペースト中に低沸点希釈剤が残存している
と洗浄材が低沸点希釈剤で湿潤・凝集して、洗浄材が再
利用できなくなることがある。乾燥温度は高いほど乾燥
時間は短くなるが、印刷用マスク版にはスクリーンや接
着剤を使用しているので、該版の寸法安定性の点から室
温から７０℃以下の温度が好ましい。

【００１５】なお、本発明を実施するに当たり水溶性微
粒子からなる洗浄材を使用して、かつ、後述する本発明
の異形複合噴射ノズルを使用した洗浄材と水滴ミストの
同時高速吹付けの場合には、ソルダーペーストが付着・
堆積したマスク版を乾燥する必要はない。また、余剰ペ
ーストは図３の符号５３に示したように、局所的に分厚
い塊になっていることがあるのでので、この場合は乾燥
に先立って、そのほとんどをヘラなどを用いて除去して
おくことが好ましい。

【００１６】次に、マスク部の表面１Ａにモース硬度
１．０〜４．０の微粒子からなる洗浄材を高速吹付けす
ることによって、マスク部表面１は勿論のこと、その開
口部４の壁面に何等の損傷を与えることなく付着・堆積
したソルダーペーストだけを選択的に除去する（図３
（ｂ））。洗浄作業手順としては、まず１Ａ面を洗浄し
た後、次に裏面１Ｂを同様に洗浄するが、マスク部の両
面に洗浄材を同時高速吹付けしてソルダーペーストを洗
浄・除去してもよい。

【００１７】マスク部１に洗浄材を高速吹付けする手段
としては、洗浄材を圧縮空気または遠心力によりマスク
部面に吹付ける方法があるが、圧縮空気による方法は後
述する粒径が小さく、かつ、密度の小さい洗浄材を加速
するのに好適である。さらに、圧縮空気法には、乾式法
と湿式法が考えられるが、洗浄材と洗浄・除去したマス
ク部付着・堆積物とを分離して洗浄材を再利用する上で
乾式法の方が優れている。

【００１８】マスク部に何等の損傷を与えずにマスク部
に付着・堆積したソルダーペーストを洗浄・除去するた
めには、洗浄材の粒径、硬度、さらには、洗浄条件を適
切に選定する必要がある。

【００１９】そのためには、洗浄材として微粒子を選
び、かつ、そのモース硬度は１．０〜４．０の範囲のも
のから選ぶ。さらに洗浄材の高速吹付け条件は、図４に
示した異形噴射ノズルを使用してゲージ圧０．１〜１．
４ＭＰａ、マスク版面−噴射口距離を１０〜２００ｍｍ
とする。洗浄材として使用する微粒子の硬度がモース硬
度が１．０未満では、特にプラスチックからなる微粒子
を洗浄材に用いた場合に、洗浄後開口部に付着・堆積し
たソルダーペーストが洗浄除去されるものの開口部の一
部に洗浄材が引っかかった状態で残ることがあるので好
ましくない。一方モース硬度４．０以上では、図７の拡
大写真に示すように、その開口部エッジが洗浄材で変形
するので好ましくない。

【００２０】モース硬度１．０〜４．０の微粒子として
は、具体的にはプラスチック系微粒子及び低分子結晶微
粒子がある。プラスチック系微粒子としては、モース硬
度が上記の範囲のナイロン、ポリカーボネート樹脂、ポ
リエステル樹脂、アクリル樹脂、ユリア樹脂、ポバール
樹脂製のものが使用できる。

【００２１】低分子結晶微粒子としては、食塩、炭酸水
素ナトリウム、尿素、ペンタエリスリトール等があり、
これらの微粒子は高速吹付け処理の際に破砕されてさら
に微粉末となり、洗浄材として再利用困難であるが、水
溶性であるために、洗浄後の水洗で容易に除去できる。
さらに、上記水溶性低分子結晶微粒子洗浄材が、開口部
の一部に引っかかった状態で残ったとしても後の水洗で
容易に除去できる。また、高速吹付け処理の際に起こる
洗浄材による粉塵飛散を防止するために、図５に示す異
形複合噴射ノズルを使用した洗浄材と水滴ミストの同時
高速吹付け洗浄を行ってもよい。

【００２２】洗浄材の粒径は、大きいほどマスク部表面
に対する洗浄効果は大きいが、マスク部の開口壁をも洗
浄する必要があるので、マスク部に吹付けられる洗浄材
粒子が該マスク部の開口部を貫通できる大きさでなけれ
ばならない。すなわち、洗浄材の粒径は、該マスク部に
存在する開口のうち、最小の開口幅より小さいものを使
用する必要がある。さらに、該開口部のコーナー側壁を
洗浄するためには洗浄材の粒子径は、最小開口幅１００
〜１５０μｍの１／２以下であることが好ましい。

【００２３】洗浄材の高速吹付け条件は、特に限定する
必要がないが、圧縮空気のゲージ圧０．１〜１．４ＭＰ
ａ、噴射ノズル口とマスク版との距離を１０〜２００ｍ
ｍとするなどと穏和な条件であればよい。

【００２４】洗浄材の高速吹付け処理で洗浄した印刷用
マスク版には、剥離したソルダーペースト片や洗浄材粒
子片が付着しているので、印刷用マスク版の両面に加圧
空気をスプレーしてそれらを除去する。このようにして
洗浄されたマスク部の両面は、水が均一に濡れる状態ま
でソルダーペーストが除去されているので、ソルダーペ
ースト印刷にそのまま使用できる。

【００２５】しかし、印刷用マスク版に付着した剥離ソ
ルダーペースト片や洗浄材粒子片の除去を完全にするた
め、上記の加圧空気によるスプレー除去の後、必要に応
じて印刷用マスク版を温度５０℃以下の水で物理洗浄し
てもよい。物理洗浄法としては、印刷用マスク版を水槽
に浸漬しながら超音波洗浄してもよいし、印刷用マスク
版に水をスプレーする、いわゆるスプレー洗浄であって
もよい。水洗後の印刷用マスクは、７０℃以下の温度で
乾燥する。

【００２６】本発明の洗浄方法に好適に使用できる洗浄
装置を図４に模式的に示す。この装置は圧縮空気式洗浄
材吸引型ブラスト装置であって、洗浄材吸引ユニット２
には、圧縮空気管２１と、洗浄材吸引管２２が洗浄材吸
引部２３に固定されており、圧縮空気管２１の軸線上に
異形噴射口３５を備えた異形噴射ノズル３が設けられて
いる。異形噴射口３５は走査方向に対して垂直方向に長
軸を有している。洗浄材吸引管２２は図示してないが洗
浄材タンク（貯槽）に連結されている。また、噴射口３
５の断面積の圧縮空気管２１の断面積２４に対する比が
１〜１０であって、噴射口３５と洗浄されるマスク版面
との距離を１０〜２００ｍｍとすることができるように
なっている。

【００２７】ここで異形噴射ノズルとは、ノズル噴射口
の形状が円形とは異なり長軸及び短軸を有する形状のも
のであって、具体的には矩形（スリット形）、楕円形及
びマユ形等があるが、ノズル加工の容易さから矩形及び
楕円形が好ましい。図４（ｂ）に図４（ａ）の矢印Ａか
ら見て矩形ものを示している。ノズルの長軸と短軸の比
は１．１〜１００の範囲のものが好ましい。なお、図４
において（ｃ）図の符号２４は圧縮空気管２１の断面を
表している。

【００２８】本発明者らは、噴射口の形状を走査方向に
対して垂直方向に長軸を持つ異形噴射口３５とし、該噴
射口３５の断面積の圧縮空気管２１の断面積２４に対す
る比が１〜１０の異形噴射ノズル３がマスク版面の均一
洗浄性の面よりより好ましいことを見いだした。異形噴
射口３５の断面積の圧縮空気管２１の断面積２４に対す
る比が１未満では、洗浄材吸引部２３における洗浄材吸
引管２２よりの洗浄材吸引量が不十分であり、本発明の
洗浄を行うことができない。一方、異形噴射口３５の断
面積の圧縮空気管２１の断面積２４に対する比が１０を
超えると噴射口での空気圧低下が大きくなり、実用的で
はない。さらに、前記したように、穏和な噴射条件とす
るために、圧縮空気式洗浄材吸引型ブラスト装置は異形
噴射口３５とマスク版面との距離を１０〜２００ｍｍと
することができるものがよい。

【００２９】すでに述べたように、食塩、炭酸水素ナト
リウム、尿素、ペンタエリスリトール等の低分子結晶微
粒子の洗浄材を使用した場合には、粉塵の飛散が著し
い。そこで、洗浄材の高速噴射時に噴射口３５の周辺よ
り流体ミストを発生させ、粉塵の飛散を抑制することが
好ましい。これには、図５（ａ）に示すように図４に示
した圧縮空気式洗浄材吸引型ブラスト装置の洗浄材吸引
ユニット２３に、走査方向に対して垂直方向に長軸を持
つ異形噴射口３５を有し、該異形噴射口３５の外周部に
流体吐出口３６を有する異形複合噴射ノズル３１を連結
した洗浄装置を使用する。図５の洗浄装置においても噴
射口３５の断面積の圧縮空気管２１の断面積２４に対す
る比は１〜１０であり、噴射口３５とマスク版面との距
離を１０〜２００ｍｍとすることができるものである必
要がある。

【００３０】図５において図（ｂ）は、図（ａ）におい
て矢印Ｂから見た異形複合噴射ノズル３１の正面を表し
ており、符号３３は異形複合噴射ノズル噴射部、符号３
６は噴射口３５を取囲む流体導入管３２より導入された
流体の吐出口である。

【００３１】異形複合噴射ノズル３１においてミストを
発生させる流体としては、防爆性の点等から水などの不
燃性流体が好ましい。該流体は流体吐出口３６まで流体
導入管３２で輸送しておくことにより、洗浄材４を洗浄
材噴出口３５より高速噴射の際に該流体が強制的にミス
ト状となって洗浄材とともに噴射され粉塵の飛散を防止
する。

【００３２】なお、本発明の異形複合噴射ノズルを使用
した洗浄材と水滴ミストの同時高速吹付けの場合には、
半乾・半湿法であり、洗浄材の再利用は困難である。

【００３３】

【実施例】以下、実施例を掲げて、さらに本発明を具体
的に説明する。使用に供した印刷用マスク版は、次の通
りである。自社製メタルマスク版で、マスク部はビッカ
ース硬度４００のニッケル製、サイズは３２０ｍｍ×３
２０ｍｍ、最小開口幅が０．１５０ｍｍのものである。
このマスク版に（株）田村製作所製ソルダーペーストＲ
ＭＡ−２０−２１をウレタンスキージを使用してソルダ
ーペースト印刷を行い、開口部に一部ハンダ詰まりを起
こさせた。このハンダ詰まりを起こしたマスク部を拡大
観察すると、図２及び図３ａに模式的に示したようなソ
ルダーペーストの付着・堆積がみられた。なお、以下の
実施例では、マスク部表面の周辺部に残存したソルダー
ペースト（図３（ａ）の符号５３に示した）をヘラでこ
すり除去して、洗浄実験に供した。

【００３４】また、使用した洗浄材は、次の６種であ
る。 洗浄材１；ポリエステル樹脂製、モース硬度３．０、比
重１．３８、粒径０．０６０〜０．１２５ｍｍ 洗浄材２；ナイロン樹脂製、モース硬度２．０、比重
１．１５、粒径０．２ｍｍ 洗浄材３；ポバール樹脂製、モース硬度３．５、比重
１．２６、粒径０．０６０〜０．１２５ｍｍ 洗浄材４；炭酸水素ナトリウム、モース硬度２〜３、比
重２．１６、平均粒径０．１２ｍｍ 洗浄材５；ポリエステル樹脂製、モース硬度３．０、比
重１．３８、粒径０．２５０〜０．４２０ｍｍ 洗浄材６；炭酸カルシウム、モース硬度５、比重２．７
１、粒径０．０８ｍｍ

【００３５】［実施例１］ソルダーペーストが付着・堆
積したメタルマスク版を温度７０℃に設定した熱風循環
乾燥機に入れ、５分間乾燥した。冷却後、図４に示した
噴射口３５の断面積の圧縮空気管２１の断面積２４の比
５．５の異形噴射ノズル３を使用して、メタルマスク版
のマスク部１（４００ｍｍ×５００ｍｍ）にほぼ直角
に、マスク−噴射口間隔１００ｍｍに設定してゲージ圧
０．３ＭＰａに加圧した圧縮空気を圧縮空気管２１より
供給して「洗浄材１」を噴射させながら、マスク面を一
定速度でスキャンさせた。次にメタルマスク版を裏返し
して同様に一定速度でスキャンさせた。スキャンニング
に要する時間は、片面３分であった。剥離したソルダー
ペースト片や洗浄時に付着した洗浄材は、加圧空気をス
プレーして除去した。このようにして洗浄されたマスク
部の両面は、水が均一に濡れる状態までソルダーペース
トは除去されているので、ソルダーペースト印刷にその
まま使用できた。

【００３６】［実施例２］実施例１と全く同一の条件
で、付着・堆積したソルダーペーストを剥離・洗浄した
メタルマスク版を水温４１℃に調節した水入り超音波洗
浄機（東京硝子器械（株）製、ＦＵ−３０１Ｃ型）に浸
漬して発信出力７５０Ｗで３分間水洗した。拡大模式図
３ｂ及び図６の拡大写真に示すように、洗浄処理前のマ
スク部の表面及び開口部に付着・堆積したハンダ粒子
（拡大模式図３（ｂ））は、洗浄処理で除去されてお
り、該メタルマスクに何等の損傷は見られなかった。

【００３７】［実施例３］「洗浄材２」を使用した以外
は、すべて実施例１と同様の条件で洗浄を行ったのち、
実施例２と同様の条件で物理洗浄を行ったところ、実施
例２と同様にソルダーペーストは十分に洗浄・除去され
た。

【００３８】［実施例４］「洗浄材３」を使用した以外
は、すべて実施例１と同様の条件で洗浄を行った。洗浄
時に付着した洗浄材は、加圧空気スプレーで除去したの
ち、５０℃の温水スプレーでさらに水洗、乾燥した。実
施例１と同様にソルダーペーストは十分に洗浄・除去さ
れた。

【００３９】［実施例５］図５に示した噴射口３５の断
面積の圧縮空気管２１の断面積２４の比５．５の異形複
合噴射ノズル３１を使用して、異形噴射口３５より「洗
浄材４」を、圧縮空気のゲージ圧０．３ＭＰａで高速噴
射させることにより流体吐出口３６まで輸送管３２より
供給された水をミスト状にして、ソルダーペーストが付
着・堆積したメタルマスク版に一定速度で噴射口−マス
ク間隔を１００ｍｍとしスキャンニングしながら高速吹
付け処理を行った。次にメタルマスク版を裏返しして同
様に一定速度でスキャンさせた。洗浄時に付着した一部
水に溶解した洗浄材やソルダーペーストは、直ちに温度
５０℃の温水スプレーで水洗し、乾燥した。実施例２と
同様にソルダーペーストは十分に洗浄・除去された。

【００４０】［比較例１］使用したマスク部の最小開口
幅０．１５０ｍｍよりも粒径の大きい粒径０．２５０〜
０．４２０ｍｍ、モース硬度３．０のポリエステル樹脂
製「洗浄材５」を使用した以外は、すべて実施例１と同
様の条件で洗浄を行った。マスク部の表面に付着・堆積
したソルダーペーストは、きれいに洗浄・除去された
が、開口部内壁に付着・堆積していたソルダーペースト
は、コーナー部の洗浄・除去が十分ではなく、特に、開
口部が洗浄材の粒径より小さい開口部内壁はほとんど洗
浄されていなかった。洗浄材は、洗浄操作で一部破損し
て細かい粒径に細分されるが、その細分化されてできた
小粒径分による洗浄作用だけでは開口部の洗浄に不十分
であった。

【００４１】［比較例２］モース硬度５の無機系「洗浄
材６」を使用した。洗浄材の硬度が高かったので圧縮空
気のゲージ圧０．２ＭＰａに下げた以外は、すべて実施
例１の条件で洗浄を行ったところ、ソルダーペーストは
十分に洗浄・除去された。しかし、マスク部の表面部に
細かい研削跡がつくと共に、特に開口部のエッジ部が洗
浄材でえぐられて鈍化した（図７の拡大写真参照）。ソ
ルダーペーストの印刷時、鈍化した開口部エッジより該
ペーストの裏回りが増大するので、多数刷り印刷用版と
して使用できない。

【００４２】

【発明の効果】以上説明したように、印刷物が付着・堆
積したマスク版に関する本発明の洗浄方法及び洗浄装置
は、有機溶剤等の有機物を全く使用しない方法及び装置
であるので、従来の有機洗浄液を使用した洗浄方法の課
題であった作業上の臭気や作業者の健康に関わる作業環
境上に問題及び使用後の洗浄材の廃棄の問題を一挙に解
決した。また、マスク部をスクリーン張りの支持枠に接
着剤で固定して、マスク版を製造する作業が容易となっ
た。

【図面の簡単な説明】

【図１】印刷マスク版の平面模式図である。

【図２】マスク部にソルダーペーストが付着・堆積した
状態を示す拡大平面模式図である。

【図３】（ａ）は図２のＸ−Ｘ断面図で、ソルダーペー
ストが付着・堆積した状態を、（ｂ）は洗浄後の状態を
示す拡大断面図である。

【図４】（ａ）は洗浄材吸引ユニットに本発明の異形噴
射ノズルを設けた状態を示す側面模式図、（ｂ）は噴射
ノズルを矢印Ａから見た正面図、（ｃ）は図（ａ）の符
号２１の部分の断面図である。

【図５】（ａ）は洗浄材吸引ユニットに本発明の異形複
合ノズルを設けた状態を示す側面模式図、（ｂ）は
（ａ）の噴射ノズルを矢印Ｂから見た正面図、（ｃ）は
（ａ）の符号２１の部分の断面図である。

【図６】実施例２の方法で洗浄したマスク部の図面代用
拡大写真である。

【図７】比較例２の方法で洗浄したマスク部の図面代用
拡大写真である。

【符号の説明】

１ マスク部 ２ 洗浄材吸引ユニット ２１ 圧縮空気管 ２２ 洗浄材吸引管 ２３ 洗浄材吸引部 ２４ 圧縮空気管の断面 ３ 異形噴射ノズル ３１ 異形複合噴射ノズル ３２ 流体導入管 ３３ 異形複合ノズル噴射部 ３５ 異形噴射口 ３６ 流体吐出口 ４ 開口部 ４１ マスク部内での最小開口幅を持つ開口部 ５１ 裏面開口部周辺に付着したソルダーペースト ５２ 開口部内壁に付着・堆積したソルダーペースト ５３ マスク部周辺部に堆積・残存した余剰ソルダー
ペースト ５４ マスク部表面に残存したフラックスの高沸点分 ７ マスク部の接着部分 ８ スクリーン ９ 支持枠

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 吉原 敏雄 埼玉県川越市芳野台１−103−52 株式会 社プロセス・ラボ・ミクロン内 (72)発明者 星野 光祐 千葉県我孫子市青山17番地 株式会社ニッ チュー我孫子工場内 (72)発明者 上原 紀之 東京都台東区柳橋１−27−３ 株式会社ニ ッチュー内 (72)発明者 古岩井 朋行 千葉県我孫子市青山17番地 株式会社ニッ チュー我孫子工場内

Claims (8)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 印刷物が付着・堆積したマスク版に、モ
   ース硬度１．０〜４．０の微粒子からなる洗浄材をマス
   ク部の両面に高速吹付け処理し、付着・堆積物を除去す
   ることを特徴とする印刷用マスク版の洗浄方法。
2. 【請求項２】 印刷物が付着・堆積したマスク版に、モ
   ース硬度１．０〜４．０の微粒子からなる洗浄材をマス
   ク部の両面に高速吹付け処理し、付着・堆積物を除去し
   た後、水洗することを特徴とする印刷用マスク版の洗浄
   方法。
3. 【請求項３】 印刷物がソルダーペーストであることを
   特徴とする請求項１または２記載の印刷用マスク版の洗
   浄方法。
4. 【請求項４】 微粒子からなる洗浄材の粒径がマスク部
   の最小開口幅より小さいことを特徴とする請求項１、２
   または３記載の印刷用マスク版の洗浄方法。
5. 【請求項５】 微粒子からなる洗浄材が水溶性材料から
   なることを特徴とする請求項１〜４の何れか記載の印刷
   用マスク版の洗浄方法。
6. 【請求項６】 マスク版の水洗が物理洗浄であることを
   特徴とする請求項２〜５の何れか記載の印刷用マスク版
   の洗浄方法。
7. 【請求項７】 印刷物が付着・堆積したマスク版を、モ
   ース硬度１．０〜４．０の微粒子からなる洗浄材をマス
   ク部に高速吹付け処理して付着・堆積物を洗浄除去する
   装置であって、圧縮空気式洗浄材吸引型ブラスト装置の
   洗浄材吸引ユニットに、走査方向に対して垂直方向に長
   軸を持つ異形噴射口を有し、該噴射口断面積の圧縮空気
   管断面積に対する比が１〜１０の異形噴射ノズルを連結
   してなることを特徴とする印刷用マスク版の洗浄装置。
8. 【請求項８】 請求項７記載の装置において、異形噴射
   ノズル噴射口の外周部に流体吐出口を設けた複合噴射ノ
   ズルとしたことを特徴とする印刷用マスク版の洗浄装
   置。