JPH11271752A - カラーフィルターの修正方法及びカラーフィルターの製造方法 - Google Patents
カラーフィルターの修正方法及びカラーフィルターの製造方法Info
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- JPH11271752A JPH11271752A JP6914198A JP6914198A JPH11271752A JP H11271752 A JPH11271752 A JP H11271752A JP 6914198 A JP6914198 A JP 6914198A JP 6914198 A JP6914198 A JP 6914198A JP H11271752 A JPH11271752 A JP H11271752A
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Landscapes
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- Optical Filters (AREA)
- Liquid Crystal (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】カラーフィルターの欠陥修正を容易に行うこと
が可能な修正方法をおよびその製造方法を提供する。 【解決手段】透明基板１０上に、所定の着色層１２を所
定パターンにて配列することによって構成される液晶表
示体用カラーフィルターの製造工程において、着色層１
２のピンホール３１あるいは着色層上に形成する保護層
のピンホールを、インクジェットヘッド３２を用いて所
定の色の着色材料及び透明保護膜を吐出して、欠陥部を
修正したことを特徴とする。このインクジェットヘッド
３２は、電圧を印加すると変形するセラミック（ピエ
ゾ）を用いるピエゾ方式のため、インクが加熱されるこ
とがなく、欠陥修正に用いる材料の選択の幅を広くする
ことができる。
が可能な修正方法をおよびその製造方法を提供する。 【解決手段】透明基板１０上に、所定の着色層１２を所
定パターンにて配列することによって構成される液晶表
示体用カラーフィルターの製造工程において、着色層１
２のピンホール３１あるいは着色層上に形成する保護層
のピンホールを、インクジェットヘッド３２を用いて所
定の色の着色材料及び透明保護膜を吐出して、欠陥部を
修正したことを特徴とする。このインクジェットヘッド
３２は、電圧を印加すると変形するセラミック（ピエ
ゾ）を用いるピエゾ方式のため、インクが加熱されるこ
とがなく、欠陥修正に用いる材料の選択の幅を広くする
ことができる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、カラーフィルター
の欠陥部分を修正するのに好適なカラーフィルターの修
正方法及びカラーフィルターの製造方法に関するもので
ある。
の欠陥部分を修正するのに好適なカラーフィルターの修
正方法及びカラーフィルターの製造方法に関するもので
ある。
【０００２】
【従来の技術】カラー液晶ディスプレイにおいて、たと
えばＲ（赤）、Ｇ（緑）、Ｂ（青）の各色に着色された
層を多数所定のパターンに配列したカラーフィルターが
用いられる。この様なカラーフィルターを形成する製造
方法としては多くの方法があるが、以下に数種の方法を
説明する。
えばＲ（赤）、Ｇ（緑）、Ｂ（青）の各色に着色された
層を多数所定のパターンに配列したカラーフィルターが
用いられる。この様なカラーフィルターを形成する製造
方法としては多くの方法があるが、以下に数種の方法を
説明する。
【０００３】一般的な製造方法として顔料分散法があ
る。この方法は基板上に顔料を分散した感光性樹脂を塗
布し、これをフォトリソ法にて所定の形状にパターニン
グすることによって単色パターンを形成する。この工程
を３回又は４回繰り返すことによってＲＧＢ（場合によ
ってはさらにＢＫ（黒））のカラーフィルター着色層を
形成する。
る。この方法は基板上に顔料を分散した感光性樹脂を塗
布し、これをフォトリソ法にて所定の形状にパターニン
グすることによって単色パターンを形成する。この工程
を３回又は４回繰り返すことによってＲＧＢ（場合によ
ってはさらにＢＫ（黒））のカラーフィルター着色層を
形成する。
【０００４】その他の方法として染色法が有る。この方
法は基板上に感光性染色基質を塗布した後にこれをフォ
トリソ法にて所定の形状にパターニングする。その後得
られたパターンを染色液に浸積することによって着色パ
ターンを形成する。これを３回繰り返すことによってＲ
ＧＢのカラーフィルター層を形成する。
法は基板上に感光性染色基質を塗布した後にこれをフォ
トリソ法にて所定の形状にパターニングする。その後得
られたパターンを染色液に浸積することによって着色パ
ターンを形成する。これを３回繰り返すことによってＲ
ＧＢのカラーフィルター層を形成する。
【０００５】上記の方法にてカラーフィルターは製造可
能であるが、どの方法においても多数の着色パターンを
欠陥無しに製造することは不可能である。
能であるが、どの方法においても多数の着色パターンを
欠陥無しに製造することは不可能である。
【０００６】そこで、欠陥のあるカラーフィルターも欠
陥部分を修正することによって良品とすることが考えら
れる。
陥部分を修正することによって良品とすることが考えら
れる。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】カラーフィルターの着
色層中及び着色層膜上に異物が混入していた場合の修正
方法としては、異物の突起部を研磨する修正方法があ
る。また、製造工程にてピンホール等の色ヌケが生じて
しまった場合の修正方法としては、色ヌケ部を人手によ
り着色作業を施す修正方法があるが、修正作業に非常に
手間がかかるという問題がある。
色層中及び着色層膜上に異物が混入していた場合の修正
方法としては、異物の突起部を研磨する修正方法があ
る。また、製造工程にてピンホール等の色ヌケが生じて
しまった場合の修正方法としては、色ヌケ部を人手によ
り着色作業を施す修正方法があるが、修正作業に非常に
手間がかかるという問題がある。
【０００８】異物を除去する方法としては、特開平５−
７２５２８号に開示されているように、レーザー光線に
よって着色層中及び膜上の異物部分を除去し、再度着色
する方法が提案されている。しかし、この様なこれまで
の方法では再度着色する際に非常に人手・時間、コスト
がかかる問題を抱えていた。
７２５２８号に開示されているように、レーザー光線に
よって着色層中及び膜上の異物部分を除去し、再度着色
する方法が提案されている。しかし、この様なこれまで
の方法では再度着色する際に非常に人手・時間、コスト
がかかる問題を抱えていた。
【０００９】本発明は上述した事情に鑑みてなされたも
のであり、カラーフィルターの欠陥修正を容易に行うこ
とができるカラーフィルターの修正方法及び歩留まりの
向上を可能とするカラーフィルターの製造方法を提供す
ることを目的とする。
のであり、カラーフィルターの欠陥修正を容易に行うこ
とができるカラーフィルターの修正方法及び歩留まりの
向上を可能とするカラーフィルターの製造方法を提供す
ることを目的とする。
【００１０】
【課題を解決するための手段】上記の課題を解決するた
めに、請求項１に記載の発明にあっては、透明基板上
に、着色層を予め定められたパターンにて配列すること
によって構成されるカラーフィルターの修正方法におい
て、前記着色層のピンホールを検出し、検出された前記
ピンホールに対してインクジェットヘッドを用いて当該
着色層に対応する色の着色材料を吐出することを特徴と
する。
めに、請求項１に記載の発明にあっては、透明基板上
に、着色層を予め定められたパターンにて配列すること
によって構成されるカラーフィルターの修正方法におい
て、前記着色層のピンホールを検出し、検出された前記
ピンホールに対してインクジェットヘッドを用いて当該
着色層に対応する色の着色材料を吐出することを特徴と
する。
【００１１】また、請求項２に記載の発明にあっては、
透明基板上に、着色層を予め定められたパターンにて配
列し、前記着色層の上に透明な保護層を形成することに
よって構成されるカラーフィルターの修正方法におい
て、前記保護層のピンホールを検出し、検出された前記
ピンホールに対してインクジェットヘッドを用いて保護
膜材料を吐出することを特徴とする。
透明基板上に、着色層を予め定められたパターンにて配
列し、前記着色層の上に透明な保護層を形成することに
よって構成されるカラーフィルターの修正方法におい
て、前記保護層のピンホールを検出し、検出された前記
ピンホールに対してインクジェットヘッドを用いて保護
膜材料を吐出することを特徴とする。
【００１２】また、請求項３に記載の発明にあっては、
透明基板上に、着色層を予め定められたパターンにて配
列することによって構成されるカラーフィルターの修正
方法において、前記着色層に混入した異物を検出し、検
出された前記異物をレーザを照射することにより除去
し、異物を除去した部分にインクジェットヘッドを用い
て当該着色層に対応する色の着色材料を吐出することを
特徴とする。
透明基板上に、着色層を予め定められたパターンにて配
列することによって構成されるカラーフィルターの修正
方法において、前記着色層に混入した異物を検出し、検
出された前記異物をレーザを照射することにより除去
し、異物を除去した部分にインクジェットヘッドを用い
て当該着色層に対応する色の着色材料を吐出することを
特徴とする。
【００１３】また、請求項４に記載の発明にあっては、
透明基板上に、着色層を予め定められたパターンにて配
列し、前記着色層の上に透明な保護層を形成することに
よって構成されるカラーフィルターの修正方法におい
て、前記保護層に混入した異物を検出し、検出された前
記異物をレーザを照射することにより除去し、異物を除
去した部分にインクジェットヘッドを用いて、当該保護
層の下に形成される前記着色層に対応する色の着色材料
と保護膜材料とを吐出することを特徴とする。
透明基板上に、着色層を予め定められたパターンにて配
列し、前記着色層の上に透明な保護層を形成することに
よって構成されるカラーフィルターの修正方法におい
て、前記保護層に混入した異物を検出し、検出された前
記異物をレーザを照射することにより除去し、異物を除
去した部分にインクジェットヘッドを用いて、当該保護
層の下に形成される前記着色層に対応する色の着色材料
と保護膜材料とを吐出することを特徴とする。
【００１４】また、請求項５に記載の発明にあっては、
前記インクジェットヘッドから吐出される前記着色材料
は、染料または顔料を含有する液体であることを特徴と
する。
前記インクジェットヘッドから吐出される前記着色材料
は、染料または顔料を含有する液体であることを特徴と
する。
【００１５】また、請求項６に記載の発明にあっては、
前記インクジェットヘッドから吐出される保護膜材料
は、アクリル系の液体樹脂であることを特徴とする。
前記インクジェットヘッドから吐出される保護膜材料
は、アクリル系の液体樹脂であることを特徴とする。
【００１６】また、請求項７に記載の発明にあっては、
前記インクジェットヘッドは電圧を印加すると変形する
ピエゾ素子を用いてインクを吐出させるピエゾ法のヘッ
ドであることを特徴とする。
前記インクジェットヘッドは電圧を印加すると変形する
ピエゾ素子を用いてインクを吐出させるピエゾ法のヘッ
ドであることを特徴とする。
【００１７】本発明によればインクジェットヘッドを用
いて、カラーフィルタの欠陥部分に着色剤もしくは保護
膜材料を吐出することによって、カラーフィルターの欠
陥修正を容易に行うことができる。
いて、カラーフィルタの欠陥部分に着色剤もしくは保護
膜材料を吐出することによって、カラーフィルターの欠
陥修正を容易に行うことができる。
【００１８】また、本発明にて用いるインクジェットヘ
ッドは、ピエゾ方式のため、インクが加熱されることが
なく、欠陥修正に用いる材料の選択の幅を広げることが
できる。
ッドは、ピエゾ方式のため、インクが加熱されることが
なく、欠陥修正に用いる材料の選択の幅を広げることが
できる。
【００１９】また、請求項８に記載の発明にあっては、
カラーフィルターの製造方法において、透明基板上に、
着色層を予め定められたパターンにて配列する着色層形
成工程と、前記着色層を検査する検査工程と、前記検査
工程において前記着色部にピンホールが検出された場合
に、インクジェットヘッドを用いて当該着色層に対応す
る色の着色材料を吐出することにより、前記欠陥部分を
修正する修正工程とを備えたことを特徴とする。
カラーフィルターの製造方法において、透明基板上に、
着色層を予め定められたパターンにて配列する着色層形
成工程と、前記着色層を検査する検査工程と、前記検査
工程において前記着色部にピンホールが検出された場合
に、インクジェットヘッドを用いて当該着色層に対応す
る色の着色材料を吐出することにより、前記欠陥部分を
修正する修正工程とを備えたことを特徴とする。
【００２０】また、請求項９に記載の発明にあっては、
カラーフィルターの製造方法において、透明基板上に、
着色層を予め定められたパターンにて配列する着色層形
成工程と、前記着色層を検査する検査工程と、前記検査
工程において前記着色部に異物が検出された場合に、検
出された前記異物をレーザを照射することにより除去す
る除去工程と、異物を除去した部分にインクジェットヘ
ッドを用いて当該着色層に対応する色の着色材料を吐出
する修正工程とを備えたことを特徴とする。
カラーフィルターの製造方法において、透明基板上に、
着色層を予め定められたパターンにて配列する着色層形
成工程と、前記着色層を検査する検査工程と、前記検査
工程において前記着色部に異物が検出された場合に、検
出された前記異物をレーザを照射することにより除去す
る除去工程と、異物を除去した部分にインクジェットヘ
ッドを用いて当該着色層に対応する色の着色材料を吐出
する修正工程とを備えたことを特徴とする。
【００２１】本発明によればインクジェットヘッドを用
いて、カラーフィルタの欠陥部分に着色剤もしくは保護
膜材料を吐出することによって、カラーフィルターの欠
陥修正を容易に行う修正工程を有するため、修正の作業
効率が高く生産性を向上させることができるとともに、
歩留まりのきわめて高いカラーフィルターの製造方法を
提供することができる。
いて、カラーフィルタの欠陥部分に着色剤もしくは保護
膜材料を吐出することによって、カラーフィルターの欠
陥修正を容易に行う修正工程を有するため、修正の作業
効率が高く生産性を向上させることができるとともに、
歩留まりのきわめて高いカラーフィルターの製造方法を
提供することができる。
【００２２】
【発明の実施の形態】１．カラーフィルタの構造 図１は、本実施形態の修正法が適用されるカラーフィル
ターの概略基本構造を示す縦断面図である。ガラス基板
１０の表面上には、ブラックスマトリクス（以下、「Ｂ
Ｍ」と称する）１１が形成される。ＢＭ１１の材料とし
ては、金属膜あるいは顔料（カーボン等）を用いること
ができる。 このＢＭ１１の格子間には、それぞれ、赤
色（Ｒ）、緑色（Ｇ）及び青（Ｂ）から成る顔料層また
は染料層によって着色層１２が形成される。このカラー
フィルタ１２の表面上には、必要に応じて透明樹脂から
なる保護膜１３が被覆される。さらにその上にＩＴＯ
（Indium Tin Oxide）からなる透明電極１４を形成す
る。また透明電極ＩＴＯ１４についても必要に応じてフ
ォトリソ法にてパターニングを施す。
ターの概略基本構造を示す縦断面図である。ガラス基板
１０の表面上には、ブラックスマトリクス（以下、「Ｂ
Ｍ」と称する）１１が形成される。ＢＭ１１の材料とし
ては、金属膜あるいは顔料（カーボン等）を用いること
ができる。 このＢＭ１１の格子間には、それぞれ、赤
色（Ｒ）、緑色（Ｇ）及び青（Ｂ）から成る顔料層また
は染料層によって着色層１２が形成される。このカラー
フィルタ１２の表面上には、必要に応じて透明樹脂から
なる保護膜１３が被覆される。さらにその上にＩＴＯ
（Indium Tin Oxide）からなる透明電極１４を形成す
る。また透明電極ＩＴＯ１４についても必要に応じてフ
ォトリソ法にてパターニングを施す。
【００２３】図２はカラーフィルターの平面図である。
図２に示したものは、ストライプ配列となっているが、
このほかにモザイク配列、デルタ配列に形成する場合も
ある。顔料分散法、染色法等の製造方法による構造の違
いは無いため、以降顔料分散法にて形成したカラーフィ
ルターを代表例として説明をする。
図２に示したものは、ストライプ配列となっているが、
このほかにモザイク配列、デルタ配列に形成する場合も
ある。顔料分散法、染色法等の製造方法による構造の違
いは無いため、以降顔料分散法にて形成したカラーフィ
ルターを代表例として説明をする。
【００２４】２．カラーフィルタの修正方法 次に、カラーフィルターの欠陥を修正する具体的方法に
ついて説明する。
ついて説明する。
【００２５】２−１．着色層の修正 着色層１２の修正は、ガラス基板１０の上にＢＭ１１を
形成し、その上に着色層１２を形成した後に行われる。
まず、光学的な検査装置（図示せず）を用いて、着色層
１２の欠陥の有無を検査し、欠陥の種類、欠陥部の位
置、及び欠陥個所の色を特定し、インクジェットヘッド
３２を制御する制御データを生成する。また、欠陥部の
位置を示す制御データは、レーザ照射装置（図示せず）
にも送られるようになっている。ここで、着色層１２の
欠陥としては、顔料の分散が適当に行われなっかたこと
に起因する色抜けと、異物の混入・付着がある。
形成し、その上に着色層１２を形成した後に行われる。
まず、光学的な検査装置（図示せず）を用いて、着色層
１２の欠陥の有無を検査し、欠陥の種類、欠陥部の位
置、及び欠陥個所の色を特定し、インクジェットヘッド
３２を制御する制御データを生成する。また、欠陥部の
位置を示す制御データは、レーザ照射装置（図示せず）
にも送られるようになっている。ここで、着色層１２の
欠陥としては、顔料の分散が適当に行われなっかたこと
に起因する色抜けと、異物の混入・付着がある。
【００２６】この検査装置は、着色層１２が形成されて
いる上面から光を照射し、カラーフィルター全体を走査
しながら、反射光を受光し、反射光の強度や波長を解析
することによって、上述した制御データを生成するよう
に構成されている。具体的には、正常なカラーフィルタ
を走査した場合に得られる反射光のパターンを予め記憶
しておき、この基準パターンと実際に走査した際に得ら
れるパターンを比較することによって、制御データを生
成する。
いる上面から光を照射し、カラーフィルター全体を走査
しながら、反射光を受光し、反射光の強度や波長を解析
することによって、上述した制御データを生成するよう
に構成されている。具体的には、正常なカラーフィルタ
を走査した場合に得られる反射光のパターンを予め記憶
しておき、この基準パターンと実際に走査した際に得ら
れるパターンを比較することによって、制御データを生
成する。
【００２７】２−１−１．色抜けの修正 図３は顔料分散法にて形成されたカラーフィルターの製
造工程にてピンホールによる色抜け３１が存在する場合
の修正方法を示した図である。図に示すインクジェット
ヘッド３２は、着色層１２の色に応じて３種類用意され
ており、検査装置からの制御データに基づいて、インク
ジェットヘッド３２の種類が選択されるようになってお
り、また、図示せぬ搬送機構に連結されている。
造工程にてピンホールによる色抜け３１が存在する場合
の修正方法を示した図である。図に示すインクジェット
ヘッド３２は、着色層１２の色に応じて３種類用意され
ており、検査装置からの制御データに基づいて、インク
ジェットヘッド３２の種類が選択されるようになってお
り、また、図示せぬ搬送機構に連結されている。
【００２８】ここで、インクジェットヘッド３２には、
電圧を印加すると変形するセラミック（ピエゾ素子）を
用いたピエゾ方式を用いる。これは、インクを急激に加
熱し発生したバブルによりインクを吐出させるバブル方
式に比べて、修正に用いる液体への熱の影響が無いた
め、欠陥修正に用いる材料の選択の幅が広いからであ
る。
電圧を印加すると変形するセラミック（ピエゾ素子）を
用いたピエゾ方式を用いる。これは、インクを急激に加
熱し発生したバブルによりインクを吐出させるバブル方
式に比べて、修正に用いる液体への熱の影響が無いた
め、欠陥修正に用いる材料の選択の幅が広いからであ
る。
【００２９】例えば、図３に示すように赤色の着色層１
２にピンホール状の欠陥部３１がある場合には、赤色に
対応するインクジェットヘッド３２が選択され、検査装
置からの制御データに従って、搬送機構が当該インクジ
ェットヘッド３２を欠陥部３１の真上に移動させる。
２にピンホール状の欠陥部３１がある場合には、赤色に
対応するインクジェットヘッド３２が選択され、検査装
置からの制御データに従って、搬送機構が当該インクジ
ェットヘッド３２を欠陥部３１の真上に移動させる。
【００３０】この後、インクジェットヘッド３２は、欠
陥部３１に顔料を含有する硬化型樹脂３３を吐出する。
これにより、欠陥部３１に硬化型樹脂３３を充填するこ
とができ、欠陥を修正することが可能となる。なお、染
色法で形成された着色層１２においても同様に修正を施
すことができる。
陥部３１に顔料を含有する硬化型樹脂３３を吐出する。
これにより、欠陥部３１に硬化型樹脂３３を充填するこ
とができ、欠陥を修正することが可能となる。なお、染
色法で形成された着色層１２においても同様に修正を施
すことができる。
【００３１】２−１−２．異物の混入・付着に対する修
正 次に、カラーフィルター着色層１２内又は着色層１２上
に異物等が混入・付着して欠陥が生じた場合の修正方法
について説明する。なお、異物としては、例えば、着色
層１２の塊異物及びガラス粉等が該当する。図５はカラ
ーフィルター製造工程にて異物が混入、付着した場合の
修正方法を示した図である。
正 次に、カラーフィルター着色層１２内又は着色層１２上
に異物等が混入・付着して欠陥が生じた場合の修正方法
について説明する。なお、異物としては、例えば、着色
層１２の塊異物及びガラス粉等が該当する。図５はカラ
ーフィルター製造工程にて異物が混入、付着した場合の
修正方法を示した図である。
【００３２】図５（ａ）は、着色層１２に異物が混入・
付着している一例を示したものである。この場合には、
検査装置によって、異物が混入・付着していることが検
知され、搬送機構を備えたレーザ照射装置に制御データ
が送られる。レーザー照射装置は、制御データの示す位
置情報に基づいて、異物５１の真上に移動し、図５
（ｂ）に示すようにレーザー５２にて異物５１ごと除去
する。この場合、異物５１の除去に伴って、着色層１２
に色抜けが発生する。
付着している一例を示したものである。この場合には、
検査装置によって、異物が混入・付着していることが検
知され、搬送機構を備えたレーザ照射装置に制御データ
が送られる。レーザー照射装置は、制御データの示す位
置情報に基づいて、異物５１の真上に移動し、図５
（ｂ）に示すようにレーザー５２にて異物５１ごと除去
する。この場合、異物５１の除去に伴って、着色層１２
に色抜けが発生する。
【００３３】このため、インクジェットヘッド３２を除
去され色抜けとなった部分に移動させ、図５（ｃ）に示
すようにインクジェットヘッド３２から顔料を含有する
硬化型樹脂３３を吐出させる。これにより、色向け部分
に硬化型樹脂３３を充填することができ、異物５１の混
入による欠陥を修正することが可能となる。
去され色抜けとなった部分に移動させ、図５（ｃ）に示
すようにインクジェットヘッド３２から顔料を含有する
硬化型樹脂３３を吐出させる。これにより、色向け部分
に硬化型樹脂３３を充填することができ、異物５１の混
入による欠陥を修正することが可能となる。
【００３４】２−２．保護層の修正 保護層１３の修正は、着色層１２の上に保護層を形成し
た後に行われる。この場合には、上述した着色層１２の
修正と同様に、まず、光学的な検査装置（図示せず）を
用いて、保護層１３の欠陥の有無を検査し、欠陥の種類
及び欠陥部の位置を特定し、インクジェットヘッド３２
を制御する制御データを生成する。また、欠陥部の位置
を示す制御データは、レーザ照射装置（図示せず）にも
送られるようになっている。ここで、保護層１３の欠陥
としては、着色層１２と同様にピンホールと異物の混入
・付着とがある。
た後に行われる。この場合には、上述した着色層１２の
修正と同様に、まず、光学的な検査装置（図示せず）を
用いて、保護層１３の欠陥の有無を検査し、欠陥の種類
及び欠陥部の位置を特定し、インクジェットヘッド３２
を制御する制御データを生成する。また、欠陥部の位置
を示す制御データは、レーザ照射装置（図示せず）にも
送られるようになっている。ここで、保護層１３の欠陥
としては、着色層１２と同様にピンホールと異物の混入
・付着とがある。
【００３５】２−２−１．ピンホールの修正 図４はカラーフィルター上に被覆される保護膜にピンホ
ール４１が存在する場合の修正方法を示した図である。
例えば、図４に示すようにピンホール状の欠陥部４１が
ある場合には、図示せぬ搬送機構が、検査装置からの制
御データに基づいて、インクジェットヘッド３２を欠陥
部４１の真上に移動させる。この後、インクジェットヘ
ッド３２は、アクリル系の透明樹脂４２を吐出する。こ
れにより、欠陥部４１にアクリル樹脂を充填することが
でき、欠陥を修正することが可能となる。
ール４１が存在する場合の修正方法を示した図である。
例えば、図４に示すようにピンホール状の欠陥部４１が
ある場合には、図示せぬ搬送機構が、検査装置からの制
御データに基づいて、インクジェットヘッド３２を欠陥
部４１の真上に移動させる。この後、インクジェットヘ
ッド３２は、アクリル系の透明樹脂４２を吐出する。こ
れにより、欠陥部４１にアクリル樹脂を充填することが
でき、欠陥を修正することが可能となる。
【００３６】２−１−２．異物の混入・付着に対する修
正 次に、カラーフィルター保護層内又は保護層上に異物等
が混入・付着して欠陥が生じた場合の修正方法について
説明する。図６はカラーフィルター上に被覆される保護
膜中又は膜上に異物の混入・付着が存在する場合の修正
方法を示した図である。
正 次に、カラーフィルター保護層内又は保護層上に異物等
が混入・付着して欠陥が生じた場合の修正方法について
説明する。図６はカラーフィルター上に被覆される保護
膜中又は膜上に異物の混入・付着が存在する場合の修正
方法を示した図である。
【００３７】例えば、図６（ａ）に示すように異物６１
が保護層１３に混入・付着していたとすると、レーザ照
射装置が制御データに基づいて、異物６１の真上に搬送
される。この後、図６（ｂ）に示すようにレーザ照射装
置がレーザー５２を照射して異物６１を除去する。
が保護層１３に混入・付着していたとすると、レーザ照
射装置が制御データに基づいて、異物６１の真上に搬送
される。この後、図６（ｂ）に示すようにレーザ照射装
置がレーザー５２を照射して異物６１を除去する。
【００３８】この後、異物６１が除去され色抜けとなっ
た部分にインクジェットヘッド３２を移動させ、図６
（ｃ）に示すようにインクジェットヘッド３２から保護
層１３と同一成分であるアクリル系の透明樹脂６２及び
保護層１３の下部に形成される着色層１２の色に対応す
る顔料材料を吐出させる。これにより、欠陥を修正する
ことが可能となる。
た部分にインクジェットヘッド３２を移動させ、図６
（ｃ）に示すようにインクジェットヘッド３２から保護
層１３と同一成分であるアクリル系の透明樹脂６２及び
保護層１３の下部に形成される着色層１２の色に対応す
る顔料材料を吐出させる。これにより、欠陥を修正する
ことが可能となる。
【００３９】以上説明した様に、本実施例によれば、イ
ンクジェットヘッドを用いてカラーフィルターの欠陥部
分に着色材及び透明樹脂を吐出することによって、欠陥
部を容易に修正することが可能となり、修正の作業効率
が飛躍的に向上する。また、カラーフィルターの歩留ま
りを向上させることができ、生産効率を向上させ、資源
を有効に利用できることとなる。
ンクジェットヘッドを用いてカラーフィルターの欠陥部
分に着色材及び透明樹脂を吐出することによって、欠陥
部を容易に修正することが可能となり、修正の作業効率
が飛躍的に向上する。また、カラーフィルターの歩留ま
りを向上させることができ、生産効率を向上させ、資源
を有効に利用できることとなる。
【００４０】また、インクジェットヘッド３２には、電
圧を印加すると変形するセラミック（ピエゾ素子）を用
いるようにしたので、バブル方式に比べて、欠陥修正に
用いる材料の選択の幅を広げることができる。
圧を印加すると変形するセラミック（ピエゾ素子）を用
いるようにしたので、バブル方式に比べて、欠陥修正に
用いる材料の選択の幅を広げることができる。
【００４１】なお、上述した実施形態においては液晶表
示装置に用いられるカラーフィルターを一例として説明
したが、本発明はこれに限定されるものではなく、カラ
ーフィルターであればどのようなものに利用されるもの
であってもよい。例えば、半導体撮像素子に用いられる
カラーフィルターに、本発明を適用してもよいことは勿
論である。
示装置に用いられるカラーフィルターを一例として説明
したが、本発明はこれに限定されるものではなく、カラ
ーフィルターであればどのようなものに利用されるもの
であってもよい。例えば、半導体撮像素子に用いられる
カラーフィルターに、本発明を適用してもよいことは勿
論である。
【００４２】また、上述した実施形態において、保護層
１３に異物６１が付着・混入した場合には、レーザー５
２の強度を適切に調整することによって、着色層１２に
キズが発生しないようにできる。この場合には、保護膜
材料のみをインクジェットヘッド３２から吐出するよう
にしてもよい。
１３に異物６１が付着・混入した場合には、レーザー５
２の強度を適切に調整することによって、着色層１２に
キズが発生しないようにできる。この場合には、保護膜
材料のみをインクジェットヘッド３２から吐出するよう
にしてもよい。
【００４３】また、上述した実施形態で説明したカラー
フィルターの修正方法は、カラーフィルターの製造工程
の一部として行うので、カラーフィルターの製造方法と
して把握されることは勿論である。
フィルターの修正方法は、カラーフィルターの製造工程
の一部として行うので、カラーフィルターの製造方法と
して把握されることは勿論である。
【００４４】
【発明の効果】以上説明した様に、本発明によればイン
クジェットヘッドを用いて、カラーフィルタの欠陥部分
に着色剤及び透明樹脂を吐出することによって、カラー
フィルターの欠陥修正を容易に行うことができる。
クジェットヘッドを用いて、カラーフィルタの欠陥部分
に着色剤及び透明樹脂を吐出することによって、カラー
フィルターの欠陥修正を容易に行うことができる。
【００４５】また、本発明にて用いるインクジェットヘ
ッドには、ピエゾ方式のため、インクが加熱されること
がないため、欠陥修正に用いる材料の選択の幅を広げる
ことができる。
ッドには、ピエゾ方式のため、インクが加熱されること
がないため、欠陥修正に用いる材料の選択の幅を広げる
ことができる。
【図１】本発明に係わるカラーフィルターの概略基本構
造を示す縦断面図。
造を示す縦断面図。
【図２】図１に示したカラーフィルターの平面図。
【図３】カラーフィルター製造工程にてピンホールが存
在する場合の修正方法を示した図である。
在する場合の修正方法を示した図である。
【図４】カラーフィルター上に被覆される保護膜にピン
ホールが存在する場合の修正方法を示した図である。
ホールが存在する場合の修正方法を示した図である。
【図５】カラーフィルター製造工程にて異物が混入、付
着した場合の修正方法を示した図である。
着した場合の修正方法を示した図である。
【図６】カラーフィルター上に被覆される保護膜中又は
膜上に異物が存在する場合の修正方法を示した図であ
る。
膜上に異物が存在する場合の修正方法を示した図であ
る。
１０ ガラス基板 １１ ブラックマトリクス １２ 着色層 １３ 保護層 １４ 透明電極 ３１ 色抜け（ピンホール状の欠陥部） ３２ インクジェットヘッド ３３ 顔料を含有した硬化型樹脂 ４１ 保護層ピンホール ４２ アクリル系の透明樹脂 ５１ 着色層内又は上の異物 ５２ レーザー ６１ 保護層中又は層上の異物
Claims (9)
- 【請求項１】透明基板上に、着色層を予め定められたパ
ターンにて配列することによって構成されるカラーフィ
ルターの修正方法において、 前記着色層のピンホールを検出し、 検出された前記ピンホールに対してインクジェットヘッ
ドを用いて当該着色層に対応する色の着色材料を吐出す
ることを特徴とするカラーフィルターの修正方法。 - 【請求項２】透明基板上に、着色層を予め定められたパ
ターンにて配列し、 前記着色層の上に透明な保護層を形成することによって
構成されるカラーフィルターの修正方法において、 前記保護層のピンホールを検出し、 検出された前記ピンホールに対してインクジェットヘッ
ドを用いて保護膜材料を吐出することを特徴とするカラ
ーフィルターの修正方法。 - 【請求項３】透明基板上に、着色層を予め定められたパ
ターンにて配列することによって構成されるカラーフィ
ルターの修正方法において、 前記着色層に混入した異物を検出し、 検出された前記異物をレーザを照射することにより除去
し、 異物を除去した部分にインクジェットヘッドを用いて当
該着色層に対応する色の着色材料を吐出することを特徴
とするカラーフィルターの修正方法。 - 【請求項４】透明基板上に、着色層を予め定められたパ
ターンにて配列し、前記着色層の上に透明な保護層を形
成することによって構成されるカラーフィルターの修正
方法において、 前記保護層に混入した異物を検出し、 検出された前記異物をレーザを照射することにより除去
し、 異物を除去した部分にインクジェットヘッドを用いて、
当該保護層の下に形成される前記着色層に対応する色の
着色材料と保護膜材料とを吐出することを特徴とするカ
ラーフィルターの修正方法。 - 【請求項５】前記インクジェットヘッドから吐出される
前記着色材料は、染料または顔料を含有する液体である
ことを特徴とする、請求項１、３又は４のうちいずれか
１項に記載したカラーフィルターの修正方法。 - 【請求項６】前記インクジェットヘッドから吐出される
保護膜材料は、アクリル系の液体樹脂であることを特徴
とする、請求項２又は４に記載したカラーフィルターの
修正方法。 - 【請求項７】前記インクジェットヘッドは電圧を印加す
ると変形するピエゾ素子を用いてインクを吐出させるピ
エゾ法のヘッドであることを特徴とする、請求項１乃至
６のうちいずれか１項に記載したカラーフィルターの修
正方法。 - 【請求項８】 カラーフィルターの製造方法において、 透明基板上に、着色層を予め定められたパターンにて配
列する着色層形成工程と、 前記着色層を検査する検査工程と、 前記検査工程において前記着色部にピンホールが検出さ
れた場合に、インクジェットヘッドを用いて当該着色層
に対応する色の着色材料を吐出することにより、前記欠
陥部分を修正する修正工程とを備えたことを特徴とする
カラーフィルターの製造方法。 - 【請求項９】 カラーフィルターの製造方法において、 透明基板上に、着色層を予め定められたパターンにて配
列する着色層形成工程と、 前記着色層を検査する検査工程と、 前記検査工程において前記着色部に異物が検出された場
合に、検出された前記異物をレーザを照射することによ
り除去する除去工程と、 異物を除去した部分にインクジェットヘッドを用いて当
該着色層に対応する色の着色材料を吐出する修正工程と
を備えたことを特徴とするカラーフィルターの製造方
法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6914198A JPH11271752A (ja) | 1998-03-18 | 1998-03-18 | カラーフィルターの修正方法及びカラーフィルターの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6914198A JPH11271752A (ja) | 1998-03-18 | 1998-03-18 | カラーフィルターの修正方法及びカラーフィルターの製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11271752A true JPH11271752A (ja) | 1999-10-08 |
Family
ID=13394084
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6914198A Withdrawn JPH11271752A (ja) | 1998-03-18 | 1998-03-18 | カラーフィルターの修正方法及びカラーフィルターの製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH11271752A (ja) |
Cited By (12)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2001029807A1 (en) * | 1999-10-21 | 2001-04-26 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Inspection and repair of active substrate |
| JP2003066218A (ja) * | 2001-08-28 | 2003-03-05 | Canon Inc | カラーフィルタの欠陥修復方法 |
| JP2003322957A (ja) * | 2002-05-08 | 2003-11-14 | Kimoto & Co Ltd | フォトマスク用保護膜修正方法 |
| JP2006337946A (ja) * | 2005-06-06 | 2006-12-14 | Sharp Corp | 液晶カラーフィルタの欠陥除去方法および欠陥除去された液晶パネル |
| JP2007093786A (ja) * | 2005-09-27 | 2007-04-12 | Toyo Ink Mfg Co Ltd | 緑色カラーフィルタ修正用着色組成物および当該組成物を用いて修正されたカラーフィルタ |
| JP2007101809A (ja) * | 2005-10-03 | 2007-04-19 | Sharp Corp | カラーフィルターの修正方法 |
| JP2008151872A (ja) * | 2006-12-14 | 2008-07-03 | Dainippon Printing Co Ltd | カラーフィルタ形成基板の欠陥修正方法およびカラーフィルタ形成基板 |
| JP2008281696A (ja) * | 2007-05-09 | 2008-11-20 | Dainippon Printing Co Ltd | 透明導電性膜付きカラーフィルタ基板の欠陥修正方法および透明導電性膜付きカラーフィルタ基板 |
| JP2011002692A (ja) * | 2009-06-19 | 2011-01-06 | Dainippon Printing Co Ltd | カラーフィルタの修正方法、カラーフィルタの製造方法、および液晶表示装置の製造方法 |
| US7924382B2 (en) | 2005-05-25 | 2011-04-12 | Sharp Kabushiki Kaisha | Liquid crystal display device substrate, method of manufacturing liquid crystal display device substrate, liquid crystal display device and method of manufacturing liquid crystal display device |
| US8181595B2 (en) | 2002-12-24 | 2012-05-22 | Seiko Epson Corporation | Liquid droplet ejecting apparatus, electro-optical device, method of manufacturing the electro-optical device, and electronic apparatus |
| US8273423B2 (en) | 2004-09-29 | 2012-09-25 | Sharp Kabushiki Kaisha | Color filter substrate, liquid crystal display device, production method of color filter substrate, production method of liquid crystal display device |
-
1998
- 1998-03-18 JP JP6914198A patent/JPH11271752A/ja not_active Withdrawn
Cited By (13)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6843904B1 (en) | 1999-10-21 | 2005-01-18 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Inspection and repair of active type substrate |
| WO2001029807A1 (en) * | 1999-10-21 | 2001-04-26 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Inspection and repair of active substrate |
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| US7924382B2 (en) | 2005-05-25 | 2011-04-12 | Sharp Kabushiki Kaisha | Liquid crystal display device substrate, method of manufacturing liquid crystal display device substrate, liquid crystal display device and method of manufacturing liquid crystal display device |
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| JP2011002692A (ja) * | 2009-06-19 | 2011-01-06 | Dainippon Printing Co Ltd | カラーフィルタの修正方法、カラーフィルタの製造方法、および液晶表示装置の製造方法 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20040427 |
|
| A761 | Written withdrawal of application |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A761 Effective date: 20040527 |